JP2003043368A

JP2003043368A - 顕微鏡

Info

Publication number: JP2003043368A
Application number: JP2001233273A
Authority: JP
Inventors: Hironori Utsuki; 裕徳宇津木
Original assignee: Olympus Optical Co Ltd
Current assignee: Olympus Corp
Priority date: 2001-08-01
Filing date: 2001-08-01
Publication date: 2003-02-13

Abstract

(57)【要約】【課題】標本を照明する照明・観察光束を外部から確
実に遮光する。【解決手段】標本を照明する落射投光装置３０と、対
物レンズを具備したレボルバ１０と、落射投光装置３０
に保持されレボルバ１０を焦準させる焦準機構２０と、
レボルバ１０と焦準装置２０とを連結する連結部材２２
と、連結部材２２の外周を覆う壁面部６１及び壁面部６
１から光軸方向側に突出する突起部６２を有し、レボル
バ１０の焦準移動によって生じる落射投光装置３０と連
結部材２２との間の隙間を連結部材２２との間で覆う遮
光壁６０とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、標本を照明する落
射投光装置と、落射投光装置に保持され、対物レンズを
具備したレボルバを焦準させる焦準機構とを備えた顕微
鏡に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年の半導体やＦＰＤなどの大型化に伴
い、検査装置に組み付ける顕微鏡として、ステージを上
下して観察する構造の落射顕微鏡ではなく、標本を照明
する落射投光装置と、落射投光装置に組み付けられ対物
レンズを具備したレボルバを上下動して焦準させる焦準
装置とを備えた顕微鏡が求められている。

【０００３】その一例として、顕微鏡用焦準装置が特開
平５−３４１１９０号公報に記載されている。この顕微
鏡用焦準装置は、落射投光装置と、落射投光装置の上部
に設けられた焦準装置と、レボルバと焦準装置とを機械
的に連結する連結装置とを備えた構造となっている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の顕微鏡
用焦準装置では、レボルバの焦準移動によって落射投光
装置とレボルバとの間隔が変化する。この変化に伴って
落射投光装置とレボルバとの間に隙間が生じて、顕微鏡
の観察光路中や照明光路中に外部光が侵入したり、逆に
照明光が外部に洩れ出す問題がある。

【０００５】本発明はこのような従来の問題点を考慮し
てなされたものであり、標本を照明する落射投光装置に
対物レンズを具備したレボルバを焦準させる焦準装置が
組付けられた顕微鏡において、照明・観察光束を容易・
確実に遮光できる顕微鏡を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１の発明は、標本を照明する落射投光装置
と、対物レンズを具備したレボルバと、前記落射投光装
置に保持されレボルバを焦準させる焦準機構と、前記レ
ボルバと焦準装置とを連結する連結部材と、連結部材の
外周を覆う壁面部及び壁面部から光軸中心側に突出する
突起部を有し、レボルバの焦準移動によって生じる落射
投光装置と連結部材との間の隙間を連結部材との間で覆
う遮光壁とを備えていることを特徴とする。

【０００７】この発明では、レボルバの焦準移動によっ
て生じる落射投光装置と連結部材と間の隙間を遮光壁の
壁面部及び突起部によって遮光壁で覆い隠すことによ
り、照明・観察光が外部から遮光される。

【０００８】請求項２の発明は、請求項１記載の発明で
あって、前記連結部材の外周面に円周方向に沿った溝部
が形成され、前記遮光壁の突起部はこの溝部に入り込む
ように突出していることを特徴とする。

【０００９】このように連結部材の外周面に形成した溝
部に遮光壁の突起部を挿入した構造では、照明・観察光
が外部に漏れる光路が複雑となるため、照明・観察光の
外部からの遮光をさらに確実に行うことができる。

【００１０】請求項３の発明は、標本を照明する落射投
光装置と、対物レンズを具備したレボルバと、前記落射
投光装置に保持されレボルバを焦準させる焦準機構と、
前記レボルバと焦準装置とを連結する連結部材とを備
え、前記落射投光装置側に取り付けられた第１の遮光筒
及び連結部材側に取り付けられた第２の遮光筒が落射投
光装置と連結部材との間に設けられており、第１の遮光
筒及び第２の遮光筒における一方の端部が他方の端部の
内側に挿入されていることを特徴とする。

【００１１】落射投光装置側の第１の遮光筒及び連結部
材側の第２の遮光筒のいずれか一方が他方の内側に挿入
されて第１及び第２の遮光筒がオーバーラップしている
ため、照明光や観察光が外部へ漏れることがなくなり、
確実な遮光を行うことができる。

【００１２】

【発明の実施の形態】（実施の形態１）図１〜図５は本
発明の実施の形態１の顕微鏡を示し、図１はその全体側
面図、図２は正面図、図３は内部を示す断面図、図４は
底面図、図５は遮光筒の底面図である。

【００１３】顕微鏡は、標本１２に照明光を投光する落
射投光装置３０と、落射投光装置３０に固定され標本１
２に焦点を合わせる焦準機構２０とを有する。落射投光
装置３０は、一方の側面３２が壁面に固定され、もう一
方の側面３３には焦準機構２０が取付けられている。焦
準機構２０は、焦準移動を行う焦準本体２１と、複数の
対物レンズ１１を保持するレボルバ１０を焦準本体２１
と連結させる連結部材２２とから構成されている。

【００１４】対物レンズ１１が取り付けられるレボルバ
１０は回転自在であり、レボルバ１０を回転位置決めす
ることにより、所定の倍率の対物レンズ１１を光紬Ｌ１
上に配置できるようになっている。

【００１５】一方、図１に示すように、落射投光装置３
０の端部にはランプ光源３１が設けられ、このランプ光
源３１から発した照明光は、落射投光装置３０内のミラ
ー３５により、その方向を下向きに変え、連結部材２
２、レボルバ１０、対物レンズ１１を介して、標本１２
を照射するようになっている。標本１２の観察像は、対
物レンズ１１を介して、落射投光装置３０の上部に取付
けられた観察鏡筒１４に入射し、接眼レンズ１５を通し
て観察される。

【００１６】図１、図２及び図４に示すように、落射投
光装置３０の側面３２に取付けられた焦準本体２１は、
駆動モータ２４と、駆動用モータ２４の回転を直線方向
の動きに変換するボールネジ部２５と、直線方向へのガ
イド２６を設けた焦準本体枠２７とから構成されてい
る。

【００１７】レボルバ１０を支持する連結部材２２は、
焦準本体枠２７に連結された連結支持部２８と、連結支
持部２８に取り付けられた状態でレボルバ１０が取り付
けられるレボルバ取付部２９とを有している。この構成
により、連結部材２２に取付けられたレボルバ１０は、
駆動モータ２４の回転によりガイド２６に沿った方向に
焦準する。なお、焦準の手段はモータ駆動に限らず、手
動ハンドルによる駆動の構成であっても良い。

【００１８】図１に示すように、落射投光装置３０には
フレーム枠３６が設けられており、このフレーム枠３６
に、ランプ光源３１から発した照明光をミラー４１によ
って標本１２側に方向を変えるミラーユニット４０が取
付けられている。図示するミラーユニット４０は暗視野
観察用であり、リング状の暗視野照明光束Ｌ２とそのリ
ングの中を通過させて観察像を得るための観察光束Ｌ３
とを構成するために必要な遮光筒４２と、フレーム枠３
６に取り付けられ遮光筒４２が組み込まれる保持枠４３
とを備えている。

【００１９】そして、フレーム枠３６とレボルバ１０の
連結部材２２とには、各々、暗視野照明光束Ｌ２と観察
光束Ｌ３とを隔てるための遮光筒５０，５１がそれぞれ
取付けられている。連結部材２２側の遮光筒５１は、図
３及び図５に示すように、連結支持部２８に取り付けら
れた保持板５２と、保持板５２に保持されており、観察
光束Ｌ３を外部から遮光するための筒部５３と、筒部５
３の周囲に位置するように保持板５２に開口されて暗視
野照明光束Ｌ２を通過させる通過穴５４とからなってい
る。ここで、説明を省略するが、フレーム枠３６側の遮
光筒５０もこの遮光筒５１と同様の構成となっている。
レボルバ１０の焦準に伴い、連結部材２２に取付けられ
た遮光筒５１は、フレーム枠３６に取付けられた遮光筒
５０と隙間ｄ３を空けて重なり合った状態で移動する。
なお、遮光筒５０，５１は、焦準ストローク範囲内で常
に相互に重なりあった状態を保つような長さを有してい
る。

【００２０】この実施の形態において、落射投光装置３
０の下面部には、連結部材２２の連結支持部２８を覆う
遮光壁６０が設けられている。遮光壁６０は、連結部材
２２の連結支持部２８の外周を覆い隠すように落射投光
装置３０のフレーム枠３６から垂下した壁面部６１と、
壁面部６１の下端部から連結支持部２８の底面を覆うよ
うに光軸側にオーバーハングした突起部６２とからなっ
ている。

【００２１】この場合、壁面部６１と連結支持部２８の
外周部との間には、連結部材２２がレボルバ１０の焦準
に合わせて円滑に移動できるための隙間ｄ１が設けられ
ている。この隙間ｄ１は遮光性能を考慮して、円滑な移
動を妨げない程度に小さくなっている。突起部６２はレ
ボルバ１０の焦準ストローク、すなわち連結部材２２の
移動範囲が確保されるように、落射投光装置３０の下面
部に対して連結部材２２の移動範囲分を少なくとも隔て
た位置ｄ２に設けられている。さらに突起部６２は、壁
面部６１に対して連結部材２２の移動を妨げない範囲
で、隙間ｄ１よりも光軸側に突出している。

【００２２】このような実施の形態においては、レボル
バ１０の焦準によって生じる落射投光装置３０と連結部
材２２間の隙間ｄ０は連結部材２２の連結支持部２８が
落射投光装置３０の下面部に設けられた壁面部６１と突
起部６２から構成される遮光壁６０により覆い隠され
る。このため、暗視野照明光束Ｌ２が遮光筒５１の保持
板５２により反射して外部へ漏れていく光Ｌ４は、図３
の矢印で示すように、連結部材２２の連結支持部２８と
遮光壁６０の隙間で反射を繰り返して減光していくため
極めて少なくなり、無視できるレベルとなる。

【００２３】また、この実施の形態によれば、隙間ｄ１
の確保に対して困難な調整作業の必要がなく、製造が容
易で確実に暗視野照明光束Ｌ２を外部から遮光すること
ができる。

【００２４】このような実施の形態では、蛍光観察や暗
視野観察等の紫外域を含む大光量の照明光が使用される
観察や、オートフォーカス使用におけるフォーカス検出
用のレーザ光が落射照明光と同じ光経路で投射される観
察においても、外部への照明光の遮光を行うことができ
る。

【００２５】（実施の形態２）図６及び図７は本発明の
実施の形態２を示す。この実施の形態の顕微鏡は、落射
投光装置３０における遮光壁７０と、連結部材２２にお
ける連結支持部８１を除き、実施の形態１と同様の構成
であり、同一の部材には同一の符号を付して対応させて
ある。

【００２６】レボルバ１０の連結部材２２は、焦準本体
枠２７に連結された連結支持部８１と、レボルバ取付部
２９とを有している。また、落射投光装置３０の下面部
には、連結部材２２における連結支持部８１を覆う遮光
壁７０が設けられている。遮光壁７０は連結部材２２の
連結支持部８１の外周部を覆うようにフレーム枠３６か
ら垂下した壁面部７１と、壁面部７１の内面から光軸Ｌ
１側に突出した突起部７２とを有する。

【００２７】連結部材２２の連結支持部８１の外周面に
は、溝部８２が形成されている。溝部８２は連結支持部
８１の外周面に円周方向に沿って窪み状に形成されてお
り、遮光壁７０の突起部７２はこの溝部８２に入り込む
ように壁面部７１から突出している。

【００２８】この実施の形態においても、遮光壁７０の
壁面部７１と連結支持部８１の外周部との間には、実施
の形態１と同様に、レボルバ１０の焦準に合わせて連結
部材２２が円滑に移動できるための隙間ｄ４が設けられ
ている。一方、連結支持部８１の溝部８２は、溝部８２
に入り込む遮光壁７０の突起部７２に対して、レボルバ
１０の焦準すなわち連結部材２２の移動を妨げないよう
な大きさを確保している。

【００２９】この実施の形態によれば、レボルバ１０の
焦準によって生じる落射投光装置３０と連結部材２２間
の隙間ｄ０は、落射投光装置３０下面に設けられた壁面
部７１と連結支持部８１の溝部８２に挿入される突起部
７２により覆い隠される。暗視野照明光束Ｌ２が外部に
漏れる矢印で示す光Ｌ５は、遮光壁７０の突起部７２が
連結支持部８１の溝部８２内に入り込む構造となってい
るため、内部反射を起こして減光される。このため、実
施の形態１に比べて、減光率が大きくなり、実施の形態
１と同等以上の遮光性を確保できる。なお、実施の形態
１と同様に、隙間の困難な調整作業は必要がなく、遮光
が容易となっている。

【００３０】（実施の形態３）図８は、本発明の実施の
形態３を示す。この実施の形態において、暗視野観察で
は、光源（図示省略）から発した照明光はミラーユニッ
ト４０に設けられたミラー４１と遮光筒４２とによっ
て、リング状の照明光束Ｌ２となって標本１２を照明す
る。また、標本１２の観察は、観察光束Ｌ３が遮光筒４
２の内側を通過し、観察鏡筒１４に入射し、接眼レンズ
１５を介して観察される。

【００３１】この実施の形態では、標本１２を照明する
落射投光装置１００と、落射投光装置１００に組み付け
られ対物レンズ１１を具備したレボルバ１０を焦準させ
る焦準装置１０１と、焦準装置１０１とレボルバ１０と
を連結する連結部材１０２とを備えている。落射で暗視
野観察をする場合、リング状の照明光束Ｌ２と、そのリ
ングの中を通過する観察光束Ｌ３とがあるため、観察光
束用遮光筒５０，５１の外側に照明光束用遮光筒１０
３，１０４を配置した２重構造とすることにより、レボ
ルバの焦準移動による隙間が生じないようにしている。

【００３２】すなわち、落射投光装置１００側に第１の
遮光筒としての観察光束用遮光筒５０と照明光束用遮光
筒１０３とを設ける。観察光束用遮光筒５０は、ミラー
ユニット４０の遮光筒４２と連続するように配置され
て、観察光束Ｌ３が通過する観察光路を形成する。これ
に対し、連結部材１０２（レボルバ１０）側には、第２
の遮光筒としての観察光束用遮光筒５１と照明光束用遮
光筒１０４とを設ける。これらの第２の遮光筒としての
観察光束用遮光筒５１及び照明光束用遮光筒１０４は、
それぞれの上部先端が落射投光装置１００側の観察光束
用遮光筒５０及び照明光束用遮光筒１０３の内側に挿入
されるように配置される。

【００３３】この実施の形態において、落射投光装置１
００側の観察光束用遮光筒５０及びレボルバ１０側の観
察光束用遮光筒５１は、遮光性能の確保と観察の明るさ
確保及び遮光筒５０，５１の肉厚確保のため、その隙間
ｄ３が非常に小さいものとなる。従って、２つの観察光
束用遮光筒５０，５１の円滑な摺動を保ちながら、その
隙間ｄ３を極めて少なくするには、メカ的な位置決めだ
けでなく、取付位置の調整を行うことが好ましい。

【００３４】また、照明光束用遮光筒１０３，１０４に
関しても、観察光束用遮光筒５０，５１と同様に、確実
に外部から遮光するために、照明光束用遮光筒１０３，
１０４の隙間ｄ１を極めて小さくする必要があり、メカ
的な位置決め及び取付位置の調整が行われる。

【００３５】この実施の形態において、連結部材１０２
側の観察光束用遮光筒５１及び照明光束用遮光筒１０４
が落射投光装置１００側の観察光束用遮光筒５０及び照
明光束用遮光筒１０３の内側に挿入されていることによ
り、観察光、照明光のいずれも外部へ漏れることがな
く、遮光を確実に行うことができる。なお、この実施の
形態では、落射投光装置１００側の観察光束用遮光筒５
０及び照明光束用遮光筒１０３を連結部材１０２側の観
察光束用遮光筒５１及び照明光束用遮光筒１０４の内側
に挿入しても同様に遮光することができる。

【００３６】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、レボルバの焦
準によって生じる落射投光装置と連結部材間の隙間を、
連結部材と遮光壁とによって覆い隠すため、照明・観察
光を外部から容易・確実に遮光することができる。

【００３７】請求項２の発明によれば、請求項１と同様
な効果を有するのに加え、照明・観察光が外部に漏れる
光路が複雑となるため、照明・観察光の外部からの遮光
をさらに確実に行うことができる。

【００３８】請求項３の発明によれば、落射投光装置側
の第１の遮光筒及び連結部材側の第２の遮光筒のいずれ
か一方が他方の内側に挿入されるため、照明光や観察光
が外部へ漏れることがなくなり、確実な遮光を行うこと
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１の全体側面図である。

【図２】実施の形態１の正面図である。

【図３】内部を示す断面図である。

【図４】実施の形態１の底面図である。

【図５】遮光筒の底面図である。

【図６】実施の形態２の正面図である。

【図７】実施の形態２の内部の断面図である。

【図８】実施の形態３の断面図である。

【符号の説明】

１０レボルバ１２標本２０焦準機構２２連結部材３０落射投光装置６０遮光壁６１壁面部６２突起部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】標本を照明する落射投光装置と、対物レ
ンズを具備したレボルバと、前記落射投光装置に保持さ
れレボルバを焦準させる焦準機構と、前記レボルバと焦
準装置とを連結する連結部材と、連結部材の外周を覆う
壁面部及び壁面部から光軸中心側に突出する突起部を有
し、レボルバの焦準移動によって生じる落射投光装置と
連結部材との間の隙間を連結部材との間で覆う遮光壁と
を備えていることを特徴とする顕微鏡。
【請求項２】前記連結部材の外周面に円周方向に沿っ
た溝部が形成され、前記遮光壁の突起部はこの溝部に入
り込むように突出していることを特徴とする請求項１記
載の顕微鏡。
【請求項３】標本を照明する落射投光装置と、対物レ
ンズを具備したレボルバと、前記落射投光装置に保持さ
れレボルバを焦準させる焦準機構と、前記レボルバと焦
準装置とを連結する連結部材とを備え、前記落射投光装
置側に取り付けられた第１の遮光筒及び連結部材側に取
り付けられた第２の遮光筒が落射投光装置と連結部材と
の間に設けられており、第１の遮光筒及び第２の遮光筒
における一方の端部が他方の端部の内側に挿入されてい
ることを特徴とする顕微鏡。