JP2003042442A - ガス遮断装置 - Google Patents
ガス遮断装置Info
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- JP2003042442A JP2003042442A JP2001227430A JP2001227430A JP2003042442A JP 2003042442 A JP2003042442 A JP 2003042442A JP 2001227430 A JP2001227430 A JP 2001227430A JP 2001227430 A JP2001227430 A JP 2001227430A JP 2003042442 A JP2003042442 A JP 2003042442A
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- gas
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- flow
- rate
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ガス使用量に異常が生じた場合にこれを検出
すること。 【解決手段】 ガスの流量を検出し、流量パルス信号Ａ
を出力する流量検出手段１と、ガスメータの種類により
設定される流量設定値２と流量検出手段１から出力され
る流量パルス信号Ａを入力としてガス使用量Ｂを演算す
る流量演算部３と、流量検出手段１から出力される流量
パルス信号Ａを入力として流量パルス信号数Ｃをカウン
トする流量カウント部４と、流量演算部３で演算したガ
ス使用量Ｂと流量カウント部４でカウントした流量パル
ス信号数Ｃを比較する流量比較部５とから構成されてい
る。これによって、ガス使用量に異常が生じた場合には
これを検出することができる。
すること。 【解決手段】 ガスの流量を検出し、流量パルス信号Ａ
を出力する流量検出手段１と、ガスメータの種類により
設定される流量設定値２と流量検出手段１から出力され
る流量パルス信号Ａを入力としてガス使用量Ｂを演算す
る流量演算部３と、流量検出手段１から出力される流量
パルス信号Ａを入力として流量パルス信号数Ｃをカウン
トする流量カウント部４と、流量演算部３で演算したガ
ス使用量Ｂと流量カウント部４でカウントした流量パル
ス信号数Ｃを比較する流量比較部５とから構成されてい
る。これによって、ガス使用量に異常が生じた場合には
これを検出することができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス使用時に、ガ
ス使用上の安全を図るガス遮断装置に関するものであ
る。
ス使用上の安全を図るガス遮断装置に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のガス遮断装置は、図４に
示すように、ガスメータの種類により設定されるマイク
ロコンピューターを用いた流量設定値２と流量検出手段
から出力される電気的な流量パルス信号Ａを入力として
ガス使用量Ｂを演算するマイクロコンピューターを用い
た流量演算部３と、流量演算部３より出力されるガス使
用量Ｂを、電話回線を介してガス事業者へ通信する通信
部６と、ガス流路内に設けられた遮断弁８と、遮断弁を
駆動する制御手段９と、制御電源１０で構成されたガス
遮断装置。
示すように、ガスメータの種類により設定されるマイク
ロコンピューターを用いた流量設定値２と流量検出手段
から出力される電気的な流量パルス信号Ａを入力として
ガス使用量Ｂを演算するマイクロコンピューターを用い
た流量演算部３と、流量演算部３より出力されるガス使
用量Ｂを、電話回線を介してガス事業者へ通信する通信
部６と、ガス流路内に設けられた遮断弁８と、遮断弁を
駆動する制御手段９と、制御電源１０で構成されたガス
遮断装置。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のガス遮
断装置では、電気的信号によりガス使用量を演算するた
め、電話回線より侵入する外来ノイズにより、流量設定
値２に異常が生じた場合、流量演算部３においてガス使
用量Ｂを正確に演算することが不可能となり、誤ったガ
ス使用量をガス事業者へ通信してしまい、ガス事業者は
誤ったガス料金をガス消費者に請求してしまうという可
能性があった。
断装置では、電気的信号によりガス使用量を演算するた
め、電話回線より侵入する外来ノイズにより、流量設定
値２に異常が生じた場合、流量演算部３においてガス使
用量Ｂを正確に演算することが不可能となり、誤ったガ
ス使用量をガス事業者へ通信してしまい、ガス事業者は
誤ったガス料金をガス消費者に請求してしまうという可
能性があった。
【０００４】本発明は、流量演算部で演算したガス使用
量と流量カウント部でカウントした流量パルス信号数と
を比較する流量比較部を設けることでガス使用量の異常
を検出することを目的とする。
量と流量カウント部でカウントした流量パルス信号数と
を比較する流量比較部を設けることでガス使用量の異常
を検出することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、ガスの流量を
検出し、流量パルス信号を出力する流量検出手段と、ガ
スメータの種類により設定される流量設定値と前記流量
検出手段から出力される流量パルス信号を入力としてガ
ス使用量を演算する流量演算部と、前記流量検出手段か
ら出力される流量パルス信号を入力として流量パルス信
号数をカウントする流量カウント部と、前記流量演算部
で演算したガス使用量と前記流量カウント部でカウント
した流量パルス信号数を比較する流量比較部とを備えた
ものである。
検出し、流量パルス信号を出力する流量検出手段と、ガ
スメータの種類により設定される流量設定値と前記流量
検出手段から出力される流量パルス信号を入力としてガ
ス使用量を演算する流量演算部と、前記流量検出手段か
ら出力される流量パルス信号を入力として流量パルス信
号数をカウントする流量カウント部と、前記流量演算部
で演算したガス使用量と前記流量カウント部でカウント
した流量パルス信号数を比較する流量比較部とを備えた
ものである。
【０００６】本発明によれば、電気的信号によりガス使
用量を演算するガス遮断装置において、流量演算部で演
算したガス使用量と流量カウント部でカウントした流量
パルス信号数とを流量比較部にて比較することによりガ
ス使用量に異常が生じた場合にはこれを検出することが
できる。
用量を演算するガス遮断装置において、流量演算部で演
算したガス使用量と流量カウント部でカウントした流量
パルス信号数とを流量比較部にて比較することによりガ
ス使用量に異常が生じた場合にはこれを検出することが
できる。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明は、ガスの流量を検出し、
流量パルス信号を出力する流量検出手段と、ガスメータ
の種類により設定される流量設定値と流量検出手段から
出力される流量パルス信号を入力としてガス使用量を演
算する流量演算部と、流量検出手段から出力される流量
パルス信号を入力として流量パルス信号数をカウントす
る流量カウント部と、流量演算部で演算したガス使用量
と流量カウント部でカウントした流量パルス信号数を比
較する流量比較部を備え、電気的信号によりガス使用量
を演算するガス遮断装置において、流量演算部で演算し
たガス使用量と流量カウント部でカウントした流量パル
ス信号数を比較する流量比較部することで、ガス使用量
に異常が生じた場合にこれを検出することができる。
又、遮断弁６を駆動し、ガス通路を遮断することができ
る。
流量パルス信号を出力する流量検出手段と、ガスメータ
の種類により設定される流量設定値と流量検出手段から
出力される流量パルス信号を入力としてガス使用量を演
算する流量演算部と、流量検出手段から出力される流量
パルス信号を入力として流量パルス信号数をカウントす
る流量カウント部と、流量演算部で演算したガス使用量
と流量カウント部でカウントした流量パルス信号数を比
較する流量比較部を備え、電気的信号によりガス使用量
を演算するガス遮断装置において、流量演算部で演算し
たガス使用量と流量カウント部でカウントした流量パル
ス信号数を比較する流量比較部することで、ガス使用量
に異常が生じた場合にこれを検出することができる。
又、遮断弁６を駆動し、ガス通路を遮断することができ
る。
【０００８】また、流量比較部から出力される演算訂正
信号により、流量設定値を自動的に再設定する流量演算
訂正部を備え、流量設定値を自動的に再設定することに
より、常に正確なガス使用量を演算することができる。
信号により、流量設定値を自動的に再設定する流量演算
訂正部を備え、流量設定値を自動的に再設定することに
より、常に正確なガス使用量を演算することができる。
【０００９】さらに、流量演算訂正部から出力される流
量訂正履歴信号を記憶する履歴記憶部を備えたもので履
歴記憶部で流量訂正履歴信号を記憶することで、ガス事
業者は電話回線からの外来ノイズの有無を把握すること
ができる。
量訂正履歴信号を記憶する履歴記憶部を備えたもので履
歴記憶部で流量訂正履歴信号を記憶することで、ガス事
業者は電話回線からの外来ノイズの有無を把握すること
ができる。
【００１０】
【実施例】以下本発明の実施例について図面を用いて説
明する。
明する。
【００１１】（実施例１）図１は本発明の実施例１のガ
ス遮断装置の構成図である。図１に示すように、ガスの
流量を検出し、流量パルス信号Ａを出力するガスの流量
検出手段１は、ガスが流れることにより移動する磁石の
磁力変化をリードスイッチを用いて検出する。流量設定
値２、流量演算部３、流量カウント部４、流量比較部５
は１つのマイクロコンピューターを用いて実現する。
ス遮断装置の構成図である。図１に示すように、ガスの
流量を検出し、流量パルス信号Ａを出力するガスの流量
検出手段１は、ガスが流れることにより移動する磁石の
磁力変化をリードスイッチを用いて検出する。流量設定
値２、流量演算部３、流量カウント部４、流量比較部５
は１つのマイクロコンピューターを用いて実現する。
【００１２】また号数、パルス単位等書き込みすること
により、ガスメータの種類を設定する流量設定値２と、
流量設定値２と流量検出手段１から出力される流量パル
ス信号Ａを入力としてガス使用量Ｂを演算する流量演算
部３と、流量検出手段１から出力される流量パルス信号
Ａを入力として流量パルス信号数Ｃをカウントする流量
カウント部４と、流量演算部３で演算したガス使用量Ｂ
と流量カウント部４でカウントした流量パルス信号数Ｃ
を比較する流量比較部５と、流量比較部で判定された判
定信号Ｄと流量演算部３より出力されるガス使用量Ｂと
流量判定部５から出力される判定信号Ｄを、電話回線６
を介してガス事業者へ通信する通信部７と、ガス流路内
に設けられた遮断弁８と、遮断弁を駆動する制御手段９
で構成されている。尚、制御電源はリチウム電池１０を
用いる。
により、ガスメータの種類を設定する流量設定値２と、
流量設定値２と流量検出手段１から出力される流量パル
ス信号Ａを入力としてガス使用量Ｂを演算する流量演算
部３と、流量検出手段１から出力される流量パルス信号
Ａを入力として流量パルス信号数Ｃをカウントする流量
カウント部４と、流量演算部３で演算したガス使用量Ｂ
と流量カウント部４でカウントした流量パルス信号数Ｃ
を比較する流量比較部５と、流量比較部で判定された判
定信号Ｄと流量演算部３より出力されるガス使用量Ｂと
流量判定部５から出力される判定信号Ｄを、電話回線６
を介してガス事業者へ通信する通信部７と、ガス流路内
に設けられた遮断弁８と、遮断弁を駆動する制御手段９
で構成されている。尚、制御電源はリチウム電池１０を
用いる。
【００１３】次に流量設定値が正常の場合の例を説明す
る。
る。
【００１４】流量設定値２にメータ号数、パルス単位書
込み、単位計量体積１リットルと設定する。流量演算部
３は、流量設定値と流量検出手段１から流量パルス信号
Ａが１発入力されるたびガス使用量を１リットル加算す
る。流量カウント部４は、前記流量検出手段１から流量
パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パルス数をカウ
ントする。
込み、単位計量体積１リットルと設定する。流量演算部
３は、流量設定値と流量検出手段１から流量パルス信号
Ａが１発入力されるたびガス使用量を１リットル加算す
る。流量カウント部４は、前記流量検出手段１から流量
パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パルス数をカウ
ントする。
【００１５】例えば、流量検出手段から流量パルス信号
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを１０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。流量比較部５は、
流量演算部３で演算したガス使用量Ｂが１０リットル
と、流量カウント部４でカウントした流量パルス信号数
Ｃが１０を比較、流量設定値に異常がないことを判定す
る。
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを１０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。流量比較部５は、
流量演算部３で演算したガス使用量Ｂが１０リットル
と、流量カウント部４でカウントした流量パルス信号数
Ｃが１０を比較、流量設定値に異常がないことを判定す
る。
【００１６】続いて流量設定値が異常の場合の例を説明
する。
する。
【００１７】流量設定値２にメータ号数、パルス単位書
込み、単位計量体積１リットルと設定する。しかし、外
来ノイズの影響により流量設定値が単位計量体積２リッ
トルと変化してしまった場合、流量演算部３は、流量設
定値と流量検出手段１から流量パルス信号Ａが１発入力
されるたびガス使用量を２リットル加算する。
込み、単位計量体積１リットルと設定する。しかし、外
来ノイズの影響により流量設定値が単位計量体積２リッ
トルと変化してしまった場合、流量演算部３は、流量設
定値と流量検出手段１から流量パルス信号Ａが１発入力
されるたびガス使用量を２リットル加算する。
【００１８】流量カウント部４は、流量検出手段１から
流量パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パルス数を
カウントする。
流量パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パルス数を
カウントする。
【００１９】例えば、流量検出手段から流量パルス信号
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを２０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを２０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。
【００２０】流量比較部５は、流量演算部３で演算した
ガス使用量Ｂが２０リットルと、流量カウント部４でカ
ウントした流量パルス信号数Ｃが１０を比較し、流量設
定値２に異常があることを判定し、判定信号Ｄを通信部
７により電話回線６を介してガス事業者に通報する。
又、制御手段９に遮断信号Ｅを出力することにより、遮
断弁８を駆動し、ガス通路を遮断することができる。
ガス使用量Ｂが２０リットルと、流量カウント部４でカ
ウントした流量パルス信号数Ｃが１０を比較し、流量設
定値２に異常があることを判定し、判定信号Ｄを通信部
７により電話回線６を介してガス事業者に通報する。
又、制御手段９に遮断信号Ｅを出力することにより、遮
断弁８を駆動し、ガス通路を遮断することができる。
【００２１】本実施例により、流量演算部３で演算した
ガス使用量Ｂと前記流量カウント部でカウントした流量
パルス信号数を流量比較部にて比較することでガス使用
量に異常が生じた場合に検出することができる。又、遮
断弁８を駆動し、ガス通路を遮断することができる。
ガス使用量Ｂと前記流量カウント部でカウントした流量
パルス信号数を流量比較部にて比較することでガス使用
量に異常が生じた場合に検出することができる。又、遮
断弁８を駆動し、ガス通路を遮断することができる。
【００２２】（実施例２）図２は本発明の実施例２のガ
ス遮断装置の構成図である。図２に示すように、実施例
１と異なる点は、流量比較部５から出力される演算訂正
信号Ｆにより、流量設定値２を自動的に再設定するマイ
クロコンピューター内の流量演算訂正部１１で構成され
たものである。
ス遮断装置の構成図である。図２に示すように、実施例
１と異なる点は、流量比較部５から出力される演算訂正
信号Ｆにより、流量設定値２を自動的に再設定するマイ
クロコンピューター内の流量演算訂正部１１で構成され
たものである。
【００２３】次に作用を説明する。流量設定値２にメー
タ号数、パルス単位等を書込み、単位計量体積１リット
ルと設定する。しかし、外来ノイズの影響により流量設
定値が単位計量体積２リットルと変化してしまった場
合、流量演算部３は、流量設定値と流量検出手段１から
流量パルス信号Ａが１発入力されるたびガス使用量を２
リットル加算する。流量カウント部４は、流量検出手段
１から流量パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パル
ス数をカウントする。
タ号数、パルス単位等を書込み、単位計量体積１リット
ルと設定する。しかし、外来ノイズの影響により流量設
定値が単位計量体積２リットルと変化してしまった場
合、流量演算部３は、流量設定値と流量検出手段１から
流量パルス信号Ａが１発入力されるたびガス使用量を２
リットル加算する。流量カウント部４は、流量検出手段
１から流量パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パル
ス数をカウントする。
【００２４】例えば、流量検出手段から流量パルス信号
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを２０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを２０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。
【００２５】流量比較部５は、流量演算部３で演算した
ガス使用量Ｂが２０リットルと、流量カウント部４でカ
ウントした流量パルス信号数Ｃが１０を比較し、流量カ
ウンタ部４でカウントした流量パルス信号数Ｃを正と
し、流量演算部３で演算したガス使用量Ｂを誤と判断
し、演算訂正信号Ｆにより流量演算訂正部１１にて流量
設定値２にメータ号数、パルス単位等を再び書込み、単
位計量体積を１リットルと再設定する。
ガス使用量Ｂが２０リットルと、流量カウント部４でカ
ウントした流量パルス信号数Ｃが１０を比較し、流量カ
ウンタ部４でカウントした流量パルス信号数Ｃを正と
し、流量演算部３で演算したガス使用量Ｂを誤と判断
し、演算訂正信号Ｆにより流量演算訂正部１１にて流量
設定値２にメータ号数、パルス単位等を再び書込み、単
位計量体積を１リットルと再設定する。
【００２６】そして、流量設定値を自動的に再設定する
ことで、常に正確なガス使用量を演算することができ
る。
ことで、常に正確なガス使用量を演算することができ
る。
【００２７】（実施例３）図３は本発明の実施例３のガ
ス遮断装置の構成図である。図３に示すように、実施例
１と異なる点は、流量演算訂正部１１から出力される流
量訂正履歴信号Ｇを記憶するマイクロコンピューター内
の履歴記憶部１２で構成されたものである。
ス遮断装置の構成図である。図３に示すように、実施例
１と異なる点は、流量演算訂正部１１から出力される流
量訂正履歴信号Ｇを記憶するマイクロコンピューター内
の履歴記憶部１２で構成されたものである。
【００２８】次に作用を説明する。流量設定値２にメー
タ号数、パルス単位等を書込み、単位計量体積１リット
ルと設定する。しかし、外来ノイズの影響により流量設
定値が単位計量体積２リットルと変化してしまった場
合、流量演算部３は、流量設定値と流量検出手段１から
流量パルス信号Ａが１発入力されるたびガス使用量を２
リットル加算する。流量カウント部４は、流量検出手段
１から流量パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パル
ス数をカウントする。
タ号数、パルス単位等を書込み、単位計量体積１リット
ルと設定する。しかし、外来ノイズの影響により流量設
定値が単位計量体積２リットルと変化してしまった場
合、流量演算部３は、流量設定値と流量検出手段１から
流量パルス信号Ａが１発入力されるたびガス使用量を２
リットル加算する。流量カウント部４は、流量検出手段
１から流量パルス信号Ａが１発入力されるたび流量パル
ス数をカウントする。
【００２９】例えば、流量検出手段から流量パルス信号
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを２０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。
Ａが１０発出力された場合、流量演算部３はガス使用量
Ｂを２０リットルと演算し、流量カウント部４は流量パ
ルス信号数Ｃを１０とカウントする。
【００３０】流量比較部５は、流量演算部３で演算した
ガス使用量Ｂが２０リットルと、流量カウント部４でカ
ウントした流量パルス信号数Ｃが１０を比較し、流量カ
ウンタ部４でカウントした流量パルス信号数Ｃを正と
し、流量演算部３で演算したガス使用量Ｂを誤と判断
し、演算訂正信号Ｆにより流量演算訂正部１１にて流量
設定値２にメータ号数、パルス単位等を再び書込み、単
位計量体積を１リットルと再設定し、流量演算部９より
出力される流量訂正履歴信号Ｇにより、流量設定値の再
設定の有無、日時を履歴記憶部１２に記憶する。
ガス使用量Ｂが２０リットルと、流量カウント部４でカ
ウントした流量パルス信号数Ｃが１０を比較し、流量カ
ウンタ部４でカウントした流量パルス信号数Ｃを正と
し、流量演算部３で演算したガス使用量Ｂを誤と判断
し、演算訂正信号Ｆにより流量演算訂正部１１にて流量
設定値２にメータ号数、パルス単位等を再び書込み、単
位計量体積を１リットルと再設定し、流量演算部９より
出力される流量訂正履歴信号Ｇにより、流量設定値の再
設定の有無、日時を履歴記憶部１２に記憶する。
【００３１】そして、履歴記憶部で流量訂正履歴信号を
記憶することで、ガス事業者は電話回線からの外来ノイ
ズの有無を把握することができる。
記憶することで、ガス事業者は電話回線からの外来ノイ
ズの有無を把握することができる。
【００３２】
【発明の効果】電気的信号によりガス使用量を演算する
ガス遮断装置において、流量演算部で演算したガス使用
量と流量カウント部でカウントした流量パルス信号数を
比較する流量比較部することで、ガス使用量に異常が生
じた場合に検出することができる。又、遮断弁６を駆動
し、ガス通路を遮断することができる。
ガス遮断装置において、流量演算部で演算したガス使用
量と流量カウント部でカウントした流量パルス信号数を
比較する流量比較部することで、ガス使用量に異常が生
じた場合に検出することができる。又、遮断弁６を駆動
し、ガス通路を遮断することができる。
【００３３】また、流量設定値を自動的に再設定するこ
とで、常に正確なガス使用量を演算することができる。
とで、常に正確なガス使用量を演算することができる。
【００３４】さらにまた、履歴記憶部で流量訂正履歴信
号を記憶することで、ガス事業者は電話回線からの外来
ノイズの有無を把握することができる。
号を記憶することで、ガス事業者は電話回線からの外来
ノイズの有無を把握することができる。
【図１】本発明の実施例１のガス遮断装置の構成図
【図２】本発明の実施例２のガス遮断装置の構成図
【図３】本発明の実施例３のガス遮断装置の構成図
【図４】従来のガス遮断装置の構成図
１ 流量検出手段
３ 流量演算部
４ 流量カウント部
５ 流量比較部
１１ 流量演算訂正部
１２ 履歴記億部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 2F030 CA01 CB01 CC13 CE02 CE09
CE32 CF05 CF11
3K068 AA01 BB22 DA00 FA02 FC03
FC06 GA03
Claims (3)
- 【請求項１】 ガスの流量を検出し流量パルス信号を出
力する流量検出手段と、ガスメータの種類により設定さ
れる流量設定値と前記流量検出手段から出力される流量
パルス信号とを入力としてガス使用量を演算する流量演
算部と、前記流量検出手段から出力される流量パルス信
号を入力として流量パルス信号数をカウントする流量カ
ウント部と、前記流量演算部で演算したガス使用量と前
記流量カウント部でカウントした流量パルス信号数とを
比較する流量比較部を備えたガス遮断装置。 - 【請求項２】 流量比較部から出力される演算訂正信号
により、流量設定値を自動的に再設定する流量演算訂正
部を備えた請求項１記載のガス遮断装置。 - 【請求項３】 流量演算訂正部から出力される流量訂正
履歴信号を記憶する履歴記憶部を備えた請求項２記載の
ガス遮断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001227430A JP2003042442A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | ガス遮断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001227430A JP2003042442A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | ガス遮断装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003042442A true JP2003042442A (ja) | 2003-02-13 |
Family
ID=19060091
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001227430A Pending JP2003042442A (ja) | 2001-07-27 | 2001-07-27 | ガス遮断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003042442A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010186211A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Panasonic Corp | ガス遮断装置 |
| JP2019219250A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 三菱電機ビルテクノサービス株式会社 | 検査装置 |
| US11476112B2 (en) * | 2015-09-29 | 2022-10-18 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus |
-
2001
- 2001-07-27 JP JP2001227430A patent/JP2003042442A/ja active Pending
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|---|---|---|---|---|
| JP2010186211A (ja) * | 2009-02-10 | 2010-08-26 | Panasonic Corp | ガス遮断装置 |
| US11476112B2 (en) * | 2015-09-29 | 2022-10-18 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus |
| US11869764B2 (en) | 2015-09-29 | 2024-01-09 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus, substrate processing method and non-transitory computer-readable recording medium |
| JP2019219250A (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 三菱電機ビルテクノサービス株式会社 | 検査装置 |
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