JP2003029226A - Method for correcting luminescent spot defect - Google Patents

Method for correcting luminescent spot defect

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JP2003029226A
JP2003029226A JP2001211160A JP2001211160A JP2003029226A JP 2003029226 A JP2003029226 A JP 2003029226A JP 2001211160 A JP2001211160 A JP 2001211160A JP 2001211160 A JP2001211160 A JP 2001211160A JP 2003029226 A JP2003029226 A JP 2003029226A
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liquid crystal
color filter
laser light
defect
spot defect
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JP2001211160A
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Japanese (ja)
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Kenji Fukumitsu
憲志 福満
Toru Yamamoto
徹 山本
Haruhiko Sugimoto
晴彦 杉本
Norio Kurita
典夫 栗田
Koji Kuno
耕司 久野
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Hamamatsu Photonics KK
Original Assignee
Hamamatsu Photonics KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for correcting a luminescent spot defect by which the luminescent spot defect can satisfactorily be corrected. SOLUTION: The method for correcting the luminescent spot defect of a liquid crystal panel provided with a color filter CF on the image display side of a liquid crystal panel main body having alignment layers OF1 and OF2 sandwiching a liquid crystal layer LC comprises a first stage for detecting the position of the luminescent spot defect and a second stage for irradiating the color filter CF with a Laser beam LB by which a hole can be bored in the color filter CF from the image display side toward the detected luminescent spot defect and making the laser beam arrive at the alignment layers OF1 and OF2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、輝点欠陥修正方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a bright spot defect correction method.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶表示器は、パソコン等の電子情報機
器に設けられたユーザインタ−フェースである。最近の
液晶表示器は大型且つ単位面積当たりの画素数が高密度
である。したがって、1つの液晶表示器当たり数個の画
素に欠陥があることもある。
2. Description of the Related Art A liquid crystal display is a user interface provided in electronic information equipment such as a personal computer. Recent liquid crystal displays are large in size and have a high number of pixels per unit area. Therefore, several pixels may be defective per liquid crystal display.

【0003】このような欠陥画素は、黒色表示の際に白
色輝点として画面上に現れる。従来、この白色輝点が表
示されないように液晶表示器の欠陥を修正する方法が考
案されている。
Such defective pixels appear as white bright spots on the screen during black display. Conventionally, a method of correcting a defect of a liquid crystal display device has been devised so that the white bright spot is not displayed.

【0004】なお、液晶表示器は、液晶パネルの裏面側
にバックライトが取り付けられ、表面側にカラーフィル
タ及び偏光板(膜)が取り付けられて完成する。また、
液晶表示器の完成品においては、液晶パネルは裏面側に
TFT(薄膜トランジスタ)等のスイッチング素子を備
えている。
The liquid crystal display is completed by mounting a backlight on the back side of the liquid crystal panel and a color filter and a polarizing plate (film) on the front side. Also,
In a completed liquid crystal display, the liquid crystal panel has switching elements such as TFTs (thin film transistors) on the back surface side.

【0005】従来から知られる液晶表示器の欠陥修正方
法は、以下の文献(1)〜(12)に記載されている。
Conventionally known defect correcting methods for liquid crystal displays are described in the following documents (1) to (12).

【0006】(1)特開昭60−243635号公報 文献(1)は、欠陥画素に液晶パネル表面側からレーザ
光を照射することによって、液晶の配向状態を乱すこと
により、当該画素の表示色をバックライト点灯時と消灯
時の各色の中間色とする方法を開示している。このよう
な方法においては、欠陥の修正後、カラーフィルタが表
示器の表面側に取り付けられる。
(1) Japanese Patent Application Laid-Open No. 60-243635 (1) discloses that a defective pixel is irradiated with laser light from the surface side of a liquid crystal panel to disturb the alignment state of the liquid crystal and thereby display color of the pixel. Is disclosed as an intermediate color of each color when the backlight is on and off. In such a method, after the defect is corrected, the color filter is attached to the front side of the display.

【0007】(2)特開昭63−240521号公報 文献(2)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側からレー
ザ光を照射することにより、液晶内に発生する気泡によ
って当該液晶を除去した後、液晶スイッチング用のトラ
ンジスタの特定部分にレーザを更に照射して、これを切
断することにより、欠陥画素を修正する方法を開示して
いる。
(2) Japanese Unexamined Patent Publication No. 63-240521 discloses a defective pixel after the liquid crystal is removed by irradiating a defective pixel with a laser beam from the back surface side of the liquid crystal panel to generate bubbles in the liquid crystal. , A method for correcting a defective pixel by further irradiating a specific portion of a liquid crystal switching transistor with a laser and cutting the laser.

【0008】(3)特開平01−187532号公報 文献(3)は、欠陥画素に液晶パネルの表面側からレー
ザ光を照射することにより、表示器の最表面に位置する
偏光膜に傷をつけることにより、欠陥画素を修正する方
法を開示している。液晶及びカラーフィルタを順次透過
して当該偏光膜に至った光は、傷のついた部分で散乱
し、この画素においては中間色が表示される。
(3) Japanese Patent Application Laid-Open No. 01-187532 According to document (3), the polarizing film positioned on the outermost surface of the display is damaged by irradiating the defective pixel with laser light from the surface side of the liquid crystal panel. Thus, a method of repairing a defective pixel is disclosed. Light that has sequentially passed through the liquid crystal and the color filter and reaches the polarizing film is scattered at the scratched portion, and an intermediate color is displayed in this pixel.

【0009】(4)特開平03−21928号公報 文献(4)は、欠陥画素に液晶パネルの表面側からレー
ザ光を照射することにより、カラーフィルタを焼いて黒
化させる欠陥画素の修正方法を開示している。
(4) Japanese Unexamined Patent Publication No. 03-21928 discloses a method of correcting a defective pixel in which the defective pixel is irradiated with laser light from the surface side of the liquid crystal panel to burn the color filter to blacken it. Disclosure.

【0010】(5)特開平03−209422号公報 文献(5)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側からレー
ザ光を照射することにより、液晶スイッチング素子の特
定部分を切断する欠陥が画素の修正方法と、表示器の移
動方法について開示している。
(5) Japanese Patent Laid-Open No. 03-209422 discloses a defective pixel in which a defective pixel that cuts a specific portion of a liquid crystal switching element is corrected by irradiating the defective pixel with laser light from the back surface side of the liquid crystal panel. A method and a method of moving the display are disclosed.

【0011】(6)特開平04−301615号公報 文献(6)は、欠陥画素に液晶パネルの表面側からレー
ザ光を照射することにより、偏光膜及びガラス基板に傷
をつけることにより、欠陥画素を修正する方法を開示し
ている。液晶及びカラーフィルタを順次透過し、ガラス
基板に至った光は、傷のついた部分で拡散し、この画素
においては中間色が表示される。
(6) Japanese Unexamined Patent Publication No. 04-301615 discloses a defective pixel by irradiating the defective pixel with laser light from the surface side of the liquid crystal panel to scratch the polarizing film and the glass substrate. Discloses a method of correcting the. Light that has sequentially passed through the liquid crystal and the color filter and reaches the glass substrate is diffused at the scratched portion, and an intermediate color is displayed in this pixel.

【0012】(7)特開平06−82801号公報 文献(7)は、製造中のスイッチング素子の配線上をプ
ローブでなぞることにより、配線の検査を行い、配線に
不良がある場合には、当該配線にレーザ光を照射して切
断し、しかる後、液晶表示器の組み立てを行う方法を開
示している。
(7) Japanese Unexamined Patent Publication No. 06-82801 (7) discloses that the wiring is inspected by tracing the wiring of the switching element being manufactured with a probe, and if the wiring is defective, the wiring is inspected. It discloses a method of irradiating a wiring with laser light to cut the wiring, and then assembling the liquid crystal display.

【0013】(8)特開平08−146370号公報 文献(8)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側からレー
ザ光をマスクを介して照射することにより、液晶を垂直
配向させ、欠陥画素を修正する方法を開示している。
(8) Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 08-146370 (8) discloses that the defective pixel is repaired by irradiating the defective pixel with laser light from the back side of the liquid crystal panel through a mask to vertically align the liquid crystal. The method of doing is disclosed.

【0014】(9)特開平08−201813号公報 文献(9)は、欠陥画素に液晶パネルの裏面側から、特
定の走査速度と直径のレーザ光を照射することにより、
配向膜又は裏面側の偏光膜を傷つけ、これにより液晶の
配向性を低下させ、欠陥画素を修正する方法を開示して
いる。
(9) Japanese Patent Laid-Open No. 08-201813 (9) discloses that defective pixels are irradiated with laser light of a specific scanning speed and diameter from the back surface side of the liquid crystal panel.
It discloses a method of damaging the alignment film or the polarizing film on the back surface side, thereby lowering the alignment of the liquid crystal, and correcting the defective pixel.

【0015】(10)特開平09−90304号公報 文献(10)は、欠陥画素にレーザ光を照射することに
より、液晶内に発生する気泡によって当該液晶を除去し
た後、続いてレーザ光を照射することで液晶充填空間の
内面に形成されている物質を配向上に飛散・付着させる
ことにより、欠陥画素を修正する方法を開示している。
(10) Japanese Unexamined Patent Publication No. 09-90304 discloses that a defective pixel is irradiated with laser light to remove the liquid crystal by bubbles generated in the liquid crystal, and then the laser light is continuously irradiated. By doing so, a method is disclosed in which the substance formed on the inner surface of the liquid crystal filling space is scattered and adhered on the alignment to correct the defective pixel.

【0016】(11)特開平11−101969号公報 文献(11)は、液晶が接触する配向膜のラビングの仕
方を工夫することで、欠陥の発生を本質的に抑制する方
法を開示している。
(11) Japanese Patent Application Laid-Open No. H11-101969 Document (11) discloses a method of essentially suppressing the occurrence of defects by devising a method of rubbing an alignment film in contact with a liquid crystal. .

【0017】(12)特開平11−264961号公報 文献(12)は、液晶表示器を組み上げる前に、欠陥画
素を観察しながら、レーザ光を照射して、これを修正
し、液晶パネルを移動させる装置を開示している。
(12) Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-264961 discloses a document (12) in which a liquid crystal panel is moved by irradiating a laser beam while observing a defective pixel and correcting the defective pixel before assembling the liquid crystal display. Disclosed is a device that allows for.

【0018】すなわち、従来、液晶表示器の完成前、す
なわち、バックライトを取り付けない状態で、液晶パネ
ルの欠陥状態を評価し、その欠陥を裏面側から修正する
方法(文献(2,5,8,9))と、表面側から修正す
る方法(文献(1,3,4,6,10))とが知られて
いる。また、従来、液晶パネルを組み上げる前に欠陥の
発生を未然に防ぐ方法(文献(7、11))や、液晶パ
ネルを組み上げる前にレーザ光を照射する際の観察光学
系についても知られている。
That is, conventionally, a method of evaluating a defect state of a liquid crystal panel before completion of a liquid crystal display, that is, in a state where a backlight is not attached, and correcting the defect from the back surface side (references (2, 5, 8) , 9)) and a method of correcting from the surface side (references (1, 3, 4, 6, 10)). Further, conventionally, a method of preventing occurrence of defects before assembling a liquid crystal panel (References (7, 11)) and an observation optical system when irradiating laser light before assembling a liquid crystal panel are also known. .

【0019】[0019]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
方法においては、液晶表示器における輝点欠陥の修正に
改良の余地がある。本発明は、このような課題に鑑みて
なされたものであり、輝点欠陥を充分に修正可能な輝点
欠陥の修正方法を提供することを目的とする。
However, in the above-mentioned method, there is room for improvement in correction of the bright spot defect in the liquid crystal display. The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a bright spot defect repairing method capable of sufficiently repairing a bright spot defect.

【0020】[0020]

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
め、本発明に係る輝点欠陥の修正方法は、液晶層を挟む
配向膜を有する液晶パネル本体の画像表示側にカラーフ
ィルタを設けてなる液晶パネルにおける輝点欠陥の修正
方法において、前記輝点欠陥の位置を検出する第1工程
と、検出された前記輝点欠陥に前記画像表示側から、前
記カラーフィルタに孔が開くエネルギーを有するレーザ
光を前記カラーフィルタに照射し、このレーザ光を前記
配向膜に到達させる第2工程とを備えることを特徴とす
る。
In order to solve the above-mentioned problems, a bright spot defect correcting method according to the present invention comprises providing a color filter on an image display side of a liquid crystal panel body having an alignment film sandwiching a liquid crystal layer. In a method of correcting a bright spot defect in a liquid crystal panel, the method includes: a first step of detecting the position of the bright spot defect; and the detected bright spot defect has energy for opening a hole in the color filter from the image display side. A second step of irradiating the color filter with laser light and allowing the laser light to reach the alignment film.

【0021】レーザー光でカラーフィルタに孔を開ける
ことにより、カラーフィルタの下にある配向膜上にカラ
ーフィルタ材料を付着させる。カラーフィルタ材料は、
ホトレジストに染料又は顔料を含ませてなるため、かか
るカラーフィルタ材料の付着によって配向膜による液晶
層の配向性を低下させることができる。文献4に記載の
ように、カラーフィルタを黒化させるに必要なレーザ光
のエネルギーをXとすると、本発明においては、エネル
ギーはXよりも大きいということになる。
By making holes in the color filter with laser light, the color filter material is attached onto the alignment film under the color filter. The color filter material is
Since the photoresist contains a dye or a pigment, the alignment of the liquid crystal layer by the alignment film can be lowered by the adhesion of the color filter material. As described in Reference 4, when the energy of the laser light required to blacken the color filter is X, the energy is larger than X in the present invention.

【0022】配向性が低下すると、液晶層における光の
透過率が低下するように設定されている。したがって、
黒色表示時の輝点欠陥は配向性の低下によって、その明
るさが減少し、当該欠陥部位は目立たなくなる。また、
白色表示時においては、カラーフィルタに孔が開いてい
るので、光の一部が僅かに欠陥部位を透過し、当該欠陥
部位が目立たなくなる。
It is set so that the light transmittance of the liquid crystal layer is lowered when the orientation is lowered. Therefore,
The brightness of the bright spot defect at the time of displaying black is reduced due to the deterioration of the orientation, and the defective portion becomes inconspicuous. Also,
Since holes are formed in the color filter during white display, part of the light slightly passes through the defective portion, and the defective portion becomes inconspicuous.

【0023】なお、配向膜とは、液晶層の配向を制御す
る膜のことであり、通常は、ガラス基板上にコーティン
グされた配向制御用の有機膜に、ラビングという物理的
な処理を施すことによって形成される。
The alignment film is a film for controlling the alignment of the liquid crystal layer, and usually, an organic film for alignment control coated on a glass substrate is subjected to a physical treatment called rubbing. Formed by.

【0024】また、第2工程において照射されたレーザ
光よりも大径のレーザ光を第2工程の前にカラーフィル
タに照射しておくと、かかるレーザ光によって液晶層内
に気泡ができ、第2工程において照射されるレーザ光に
よってカラーフィルタ材料の付着を促進することができ
る。
Further, when the color filter is irradiated with a laser beam having a diameter larger than that of the laser beam irradiated in the second step, bubbles are formed in the liquid crystal layer by the laser beam, and Adhesion of the color filter material can be promoted by the laser light irradiated in the two steps.

【0025】[0025]

【発明の実施の形態】以下、実施の形態に係る輝点欠陥
の修正方法(リペア方法)について説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A method for repairing a bright spot defect (repair method) according to an embodiment will be described below.

【0026】図1は液晶表示器LCDの平面図、図2は
図1に示した液晶表示器LCDのII−II矢印縦断面
図、図3は液晶表示器LCDを一部破断して示す液晶表
示器LCDの斜視図である。
FIG. 1 is a plan view of the liquid crystal display LCD, FIG. 2 is a vertical sectional view of the liquid crystal display LCD shown in FIG. 1, taken along the line II--II, and FIG. 3 is a partially cutaway view of the liquid crystal display LCD. It is a perspective view of a display LCD.

【0027】液晶表示器LCDは、液晶パネルLCPの
裏面側にバックライトBLを取り付けてなる。それぞれ
の外周部を金属枠MFM内に固定することにより、液晶
パネルLCPにバックライトBLが取り付けられる。バ
ックライトBLから出射された光は、下側偏光板PP
1、下側ガラス基板GS1、透明電極TE1、下側配向
膜OF1、液晶層LC、上側配向膜OF2、透明電極T
E2、ブラックマトリクス又はブラックストライプ等の
遮光枠BM内に赤(R)、緑(G)、青(B)の着色樹脂
が埋設されてなるカラーフィルタCF、上側ガラス基板
GS1、上側偏光板PP2、反射防止膜(誘電体多層
膜)DFM、保護フィルムPFMを順次透過する。保護
フィルムPFMは、下部の反射防止膜DFMの凹凸面を
覆うので、表示される画像を鮮明にしている。
The liquid crystal display LCD has a backlight BL attached to the back side of the liquid crystal panel LCP. The backlight BL is attached to the liquid crystal panel LCP by fixing each outer peripheral portion in the metal frame MFM. The light emitted from the backlight BL is the lower polarizing plate PP.
1, lower glass substrate GS1, transparent electrode TE1, lower alignment film OF1, liquid crystal layer LC, upper alignment film OF2, transparent electrode T
E2, a color filter CF in which red (R), green (G), and blue (B) colored resins are embedded in a light-shielding frame BM such as a black matrix or a black stripe, an upper glass substrate GS1, an upper polarizing plate PP2, The antireflection film (dielectric multilayer film) DFM and the protective film PFM are sequentially transmitted. Since the protective film PFM covers the uneven surface of the lower antireflection film DFM, the displayed image is made clear.

【0028】なお、配向膜OF1,OF2は、液晶層L
Cの配向を制御する膜であり、本例では、ガラス基板G
S1,GS2上にコーティングされた配向制御用の有機
膜に、ラビングという物理的な処理を施すことによって
形成される。また、液晶層LCの幅方向への漏れを抑制
するため、TFT側基板(PP1,GS1,OF1)と
カラーフィルタ側基板(PFM,DFM,PP2,GS
2,CF,TE,OF2)との間に、枠体FMが介在し
ている。
The alignment films OF1 and OF2 are the liquid crystal layer L.
It is a film that controls the orientation of C, and in this example, the glass substrate G
It is formed by subjecting an organic film for controlling orientation, which is coated on S1 and GS2, to a physical treatment called rubbing. Further, in order to suppress the leakage of the liquid crystal layer LC in the width direction, the TFT side substrate (PP1, GS1, OF1) and the color filter side substrate (PFM, DFM, PP2, GS).
2, CF, TE, OF2), the frame FM is interposed.

【0029】バックライトBLからの光は、下側偏光板
PP1によって特定の偏光成分が選択され、液晶層LC
が偏光方位を90度回転させれば、この回転した偏光成
分がカラーフィルタCFを透過し、上側偏光板PP2に
入射する。上側偏光板PP2の偏光方位が、下側偏光板
PP1の偏光方位に対して90度回転していれば、この
時、バックライトBLの光は表示側へ抜け、カラーフィ
ルタCFの透過色が表示される。
The light from the backlight BL has a specific polarization component selected by the lower polarizing plate PP1 and the liquid crystal layer LC.
When the polarization direction is rotated by 90 degrees, the rotated polarization component passes through the color filter CF and is incident on the upper polarizing plate PP2. If the polarization azimuth of the upper polarization plate PP2 is rotated 90 degrees with respect to the polarization azimuth of the lower polarization plate PP1, at this time, the light of the backlight BL is emitted to the display side, and the transmitted color of the color filter CF is displayed. To be done.

【0030】液晶層LCが偏光方位の変換を行わなけれ
ば、バックライトBLの光は表示側に抜けず、カラーフ
ィルタCFの透過色は表示されない。すなわち、この時
には黒色が観察される。詳説すれば、液晶層LCがな
い場合、配向膜が無い又はその配向性付与度が低いた
めに液晶層LCが配向性を有さない場合、或いは電圧
の印加によって液晶層LCの分子が縦方向に並んだ場合
には、黒色表示ということになる。
If the liquid crystal layer LC does not change the polarization direction, the light of the backlight BL does not escape to the display side, and the transmitted color of the color filter CF is not displayed. That is, black is observed at this time. More specifically, when there is no liquid crystal layer LC, when the liquid crystal layer LC does not have orientation due to the absence of an alignment film or the low degree of orientation imparting, or when molecules are applied to the liquid crystal layer LC in the vertical direction. If it is lined up with, it means that it is displayed in black.

【0031】なお、偏光板PP1,PP2と液晶層LC
の偏光方位の関係は原理的には幾つもある。また、偏光
板を用いない形式の表示方法も提案されている。
The polarizing plates PP1 and PP2 and the liquid crystal layer LC
In principle, there are many relations of polarization directions. Also, a display method of a type that does not use a polarizing plate has been proposed.

【0032】ここでは、結果的に液晶層LCの配向性が
低下すると、液晶層LCにおける光の透過率が低下する
ように設定されているものとする。
Here, it is assumed that the light transmittance of the liquid crystal layer LC is set to be lowered when the orientation of the liquid crystal layer LC is consequently lowered.

【0033】図4は、図2に示したカラーフィルタCF
における1つの着色樹脂(G)の1画素内の領域を、T
FT側基板に設けられたスイッチング素子と共に抜き出
して示す斜視図である。スイッチング素子は薄膜トラン
ジスタ(TFT)Sであり、薄膜トランジスタSには電
界印加用の透明電極TE2が電気的に接続されている。
透明電極TE1と透明電極TE2との間に印加される電
圧を制御すると、液晶層LC内の電界が変化し、これを
透過する偏光方位を制御することができる。すなわち、
薄膜トランジスタSを制御することで、図2に示したバ
ックライトBLからの白色光Lの透過率を制御すること
ができる。
FIG. 4 shows the color filter CF shown in FIG.
The area within one pixel of one colored resin (G) in
It is a perspective view extracted and shown with the switching element provided in the FT side substrate. The switching element is a thin film transistor (TFT) S, and a transparent electrode TE2 for applying an electric field is electrically connected to the thin film transistor S.
When the voltage applied between the transparent electrode TE1 and the transparent electrode TE2 is controlled, the electric field in the liquid crystal layer LC changes, and the polarization azimuth that transmits the electric field can be controlled. That is,
By controlling the thin film transistor S, the transmittance of the white light L from the backlight BL shown in FIG. 2 can be controlled.

【0034】本実施の形態に係る輝点欠陥の修正方法
は、液晶層LCを挟む配向膜OF1,OF2を有する液
晶パネル本体の画像表示側にカラーフィルタCFを設け
てなる液晶パネルにおける輝点欠陥の修正方法におい
て、この輝点欠陥の位置を検出する第1工程と、検出さ
れた輝点欠陥に画像表示側から、カラーフィルタCFに
孔が開くエネルギーを有するレーザ光LBをカラーフィ
ルタCFに照射し、このレーザ光を配向膜OF1,OF
2に到達させる第2工程とを備える。
The bright spot defect correcting method according to the present embodiment is a bright spot defect in a liquid crystal panel in which a color filter CF is provided on the image display side of a liquid crystal panel body having alignment films OF1 and OF2 sandwiching a liquid crystal layer LC. In the correction method, the color filter CF is irradiated with a first step of detecting the position of the bright spot defect, and the detected bright spot defect is irradiated from the image display side with laser light LB having energy for opening holes in the color filter CF. Then, this laser light is applied to the alignment films OF1 and OF.
The second step of reaching 2 is provided.

【0035】輝点欠陥の位置は、液晶パネルLCPにお
いて黒色表示を行い、これをCCD(ビデオ)カメラに
より観察することにより検出し、検出された位置に一致
するようにレーザ光源からレーザ光LBを照射する。こ
の位置は、有限の面積を有する領域として与えられる。
レーザ光LBの照射時においては、この領域内の指定さ
れた地点にレーザ光LBを照射する。この領域は透明電
極TE1の大きさに一致する。
The position of the bright spot defect is detected by displaying black on the liquid crystal panel LCP and observing it with a CCD (video) camera, and the laser light LB is emitted from the laser light source so as to coincide with the detected position. Irradiate. This position is given as a region having a finite area.
When the laser light LB is applied, the laser light LB is applied to a designated point in this area. This area corresponds to the size of the transparent electrode TE1.

【0036】また、レーザ光LBは保護フィルムPFM
を通過している。すなわち、保護フィルムPFMが貼っ
てあるので、レーザ光LC照射時にボケの少ない画像を
得ることができ、正確な欠陥位置を検出することができ
る。
The laser beam LB is used as a protective film PFM.
Is passing through. That is, since the protective film PFM is attached, an image with less blurring can be obtained at the time of laser light LC irradiation, and an accurate defect position can be detected.

【0037】図4においては、上記領域の重心位置と、
重心位置から所定距離の位置にレーザ光LBを照射す
る。また、この領域の端部の位置を検出して、当該端部
からの離隔距離を指定し、レーザ光LBを照射してもよ
い。本例のレーザ光LBは平行光又はカラーフィルタC
Fよりも深部側に焦点を有する。
In FIG. 4, the position of the center of gravity of the above area and
The laser beam LB is applied to a position at a predetermined distance from the center of gravity. Further, the position of the end of this region may be detected, the distance from the end may be designated, and the laser beam LB may be emitted. The laser light LB of this example is a parallel light or a color filter C.
The focus is on the deeper side than F.

【0038】第1回目のレーザ光LB(パルス)は大き
な径(光軸に垂直な断面積が大きい)を有し、この照射
によってカラーフィルタCFに孔を開けると共に、液晶
層LC内に気泡を発生させる。カラーフィルタCFの材
料の一部は配向膜OF1に付着する。
The first laser beam LB (pulse) has a large diameter (a cross-sectional area perpendicular to the optical axis is large), and this irradiation makes a hole in the color filter CF and causes bubbles in the liquid crystal layer LC. generate. Part of the material of the color filter CF adheres to the alignment film OF1.

【0039】図5は、このレーザ光照射時の液晶パネル
LCPの部分断面図である。カラーフィルタCFの着色
樹脂R、透明電極TE2、配向膜OF2、OF1、透明
電極TE1に孔が開き、孔の周囲には付着物が堆積し、
また、液晶層LC中に気泡BBが発生している。気泡の
大きさはレーザ光LBのエネルギー密度に依存する。な
お、エネルギー密度は、エネルギー/断面積で与えられ
る。レーザ光LBのエネルギー密度は、気泡BBが複数
の画素を含む大きさを有するように設定される。
FIG. 5 is a partial sectional view of the liquid crystal panel LCP at the time of this laser light irradiation. A hole is opened in the colored resin R of the color filter CF, the transparent electrode TE2, the alignment films OF2, OF1, and the transparent electrode TE1, and an adhered substance is deposited around the hole,
In addition, bubbles BB are generated in the liquid crystal layer LC. The size of the bubble depends on the energy density of the laser light LB. The energy density is given by energy / cross-sectional area. The energy density of the laser light LB is set so that the bubble BB has a size including a plurality of pixels.

【0040】第2回目以降のレーザ光LBは、相対的に
上記よりも小さな径(光軸に垂直な断面積が小さい)を
有し、上記気泡BBの消滅前に照射される。この照射に
よって、少なくともカラーフィルタCFの材料の一部は
配向膜に付着する。
The laser light LB from the second time onward has a relatively smaller diameter (smaller cross-sectional area perpendicular to the optical axis) than the above, and is irradiated before the bubble BB disappears. By this irradiation, at least a part of the material of the color filter CF adheres to the alignment film.

【0041】すなわち、本実施形態の方法においては、
第2工程(以降)において照射されたレーザ光LBより
も大径のレーザ光LBを第2工程の前にカラーフィルタ
に照射しておいたので、かかるレーザ光LBによって液
晶層LC内に気泡を形成することができ、第2工程(以
降)において照射されるレーザ光LBによってカラーフ
ィルタ材料や他の構成物の付着を促進することができ
る。
That is, in the method of this embodiment,
Since the color filter is irradiated with the laser light LB having a diameter larger than that of the laser light LB irradiated in the second step (or later), bubbles are generated in the liquid crystal layer LC by the laser light LB. It can be formed, and the adhesion of the color filter material and other constituents can be promoted by the laser beam LB irradiated in the second step (or later).

【0042】カラーフィルタ材料は、ホトレジストに染
料又は顔料を含ませてなる。カラーフィルタ材料の付着
によって配向膜OF1による液晶層LCの配向性を低下
させることができる。レーザ光のエネルギーは、カラー
フィルタCFを黒化させるに必要なレーザ光のエネルギ
ーよりも大きい。
The color filter material comprises a photoresist containing a dye or pigment. The attachment of the color filter material can reduce the orientation of the liquid crystal layer LC by the orientation film OF1. The energy of the laser light is larger than the energy of the laser light required to blacken the color filter CF.

【0043】なお、本例においては、レーザ光LBは、
配向膜OF1を貫通しており、貫通孔の周辺部にカラー
フィルタ材料が付着している。換言すれば、カラーフィ
ルタCFに形成された孔の径よりも、液晶層LCの配向
性低下に寄与する領域の面積の方が大きい。
In this example, the laser light LB is
It penetrates through the alignment film OF1, and the color filter material is attached to the peripheral portion of the through hole. In other words, the area of the region that contributes to the reduction in the orientation of the liquid crystal layer LC is larger than the diameter of the hole formed in the color filter CF.

【0044】液晶層LCの配向性が低下すると、液晶層
LCにおける光の透過率が低下する。したがって、黒色
表示時の輝点欠陥は当該配向性の低下によって、その明
るさが減少し、当該欠陥部位は目立たなくなる。また、
白色表示時においては、偏光方位の関係から原理的には
当該欠陥部位を光が透過しない場合においても、僅かな
成分が欠陥部位を透過した場合に、カラーフィルタに孔
が開いているので、カラーフィルタCFによる減衰量が
小さくなり、当該欠陥部位が目立たなくなる。
When the orientation of the liquid crystal layer LC is lowered, the light transmittance of the liquid crystal layer LC is lowered. Therefore, the brightness of the bright spot defect at the time of black display decreases due to the reduction of the orientation, and the defective portion becomes inconspicuous. Also,
In the case of white display, in principle, even if light does not pass through the defective part due to the polarization orientation, when the slight component passes through the defective part, holes are formed in the color filter. The amount of attenuation by the filter CF becomes small, and the defective portion becomes inconspicuous.

【0045】特に、配向性低下は黒色表示時の透過光量
の低下をもたらすが、カラーフィルタCFに形成された
孔の径は、白色表示時における輝度の増加に寄与するの
で、上述のように、カラーフィルタCFに形成された孔
の径よりも、液晶層LCの配向性低下に寄与する領域の
面積の方が大きい場合には、黒色表示時の輝度の低下と
白色表示時の輝度の増加を部分的に独立して制御するこ
とができる。
In particular, the decrease in orientation brings about a decrease in the amount of transmitted light during black display, but the diameter of the holes formed in the color filter CF contributes to an increase in brightness during white display. When the area of the region that contributes to the lowering of the orientation of the liquid crystal layer LC is larger than the diameter of the hole formed in the color filter CF, the brightness of the black display decreases and the brightness of the white display increases. It can be controlled partially independently.

【0046】図6は、上記輝度欠陥の修正を行う欠陥修
正装置のブロック図である。XYZステージSTG上に
は、液晶表示器LCDが配置される。落射照明ILから
出射した照明光はハーフミラーHM1によって反射さ
れ、ハーフミラーHM2を透過し、結像レンズ(対物レ
ンズ)OBJによって集光され、液晶表示器LCDの画
像表示側を照明する。なお、ハーフミラーHM1,HM
2は、それぞれ、ダイクロイックミラーとすることがで
きる。
FIG. 6 is a block diagram of a defect repairing device for repairing the above-mentioned brightness defect. A liquid crystal display LCD is arranged on the XYZ stage STG. The illumination light emitted from the epi-illumination IL is reflected by the half mirror HM1, passes through the half mirror HM2, is condensed by the imaging lens (objective lens) OBJ, and illuminates the image display side of the liquid crystal display LCD. The half mirrors HM1 and HM
Each of the two can be a dichroic mirror.

【0047】液晶表示器LCDによる上記照明光の反射
光、或いはバックライトBLからの光Lは、レンズOB
J、ミラーHM2,HM2、結像レンズLNSを順次通
過して、撮像素子(電荷結合素子)CCDに入射する。
したがって、液晶表示器LCDの対物レンズOBJ直下
の像が撮像素子CCDよって撮像され、この映像信号は
制御装置CONTに入力され、表示器DSPに表示され
る。制御装置CONTは、入力された映像信号に基づい
て、欠陥部位の位置を検出する。
The reflected light of the above-mentioned illumination light by the liquid crystal display LCD or the light L from the backlight BL is reflected by the lens OB.
J, the mirrors HM2 and HM2, and the imaging lens LNS are sequentially passed, and the light is incident on the image pickup device (charge coupled device) CCD.
Therefore, the image immediately below the objective lens OBJ of the liquid crystal display LCD is picked up by the image pickup device CCD, and this video signal is input to the control unit CONT and displayed on the display DSP. The control device CONT detects the position of the defective portion based on the input video signal.

【0048】すなわち、まず、液晶表示器LCDによっ
て黒色表示を行い、XYZステージSTGを駆動しなが
ら、撮像素子CCDに観察される液晶表示器LCDの表
面の走査を行う。走査時において、輝点が観察された場
合、すなわち、映像信号に含まれる輝度信号が所定値を
超えた場合、その領域を欠陥部位の位置として認定す
る。当該位置の検出後、XYZステージSTGを駆動
し、結像レンズOBJの直下に欠陥部位を位置させ、上
述したように、レーザ光LBを照射する。
That is, first, black display is performed by the liquid crystal display LCD, and the surface of the liquid crystal display LCD observed by the image pickup device CCD is scanned while driving the XYZ stage STG. When a bright spot is observed during scanning, that is, when the luminance signal included in the video signal exceeds a predetermined value, the area is identified as the position of the defective portion. After detecting the position, the XYZ stage STG is driven to position the defective portion immediately below the imaging lens OBJ, and the laser beam LB is irradiated as described above.

【0049】レーザ光源LSから出射されたレーザ光L
Bは、減光器(アッテネータ)ATによって光量調整が
行われた後、シャッターSTを通過し、反射率が50%
を超えるハーフミラーHM3によって反射され、マスク
交換器MC内に設置された所望のマスクを透過し、ミラ
ーHM2によって反射され、結像レンズOBJによって
集光され、検出された欠陥部位に照射される。レーザ光
源LSとしては、Nd:YAGレーザ発振器、XeCl
エキシマレーザ発振器等を用いることができる。
Laser light L emitted from the laser light source LS
The light intensity of B is adjusted by an attenuator AT and then passes through a shutter ST to have a reflectance of 50%.
Is reflected by the half mirror HM3 exceeding the above, passes through a desired mask installed in the mask exchanger MC, is reflected by the mirror HM2, is condensed by the imaging lens OBJ, and is irradiated to the detected defective portion. As the laser light source LS, an Nd: YAG laser oscillator, XeCl
An excimer laser oscillator or the like can be used.

【0050】なお、制御装置CONTは、XYZステー
ジSTGの他、レーザ光源LS、減光器AT、シャッタ
ーST、マスク交換器MC、落射照明ILを、それぞ
れ、制御信号SM、SL、SA、SS、SC、SIによって制
御している。ハーフミラーHM3を透過したレーザ光L
Bの光量は光検出器PDによって検出され、制御装置C
ONTは当該検出値に基づいて、液晶表示器LCDに照
射されるレーザ光LBのエネルギーを制御する。
[0050] The control unit CONT other XYZ stage STG, the laser source LS, the dimmer AT, shutter ST, mask exchanger MC, the epi-illumination IL, respectively, the control signal S M, S L, S A , S S , S C , S I. Laser light L transmitted through the half mirror HM3
The light amount of B is detected by the photodetector PD, and the control device C
The ONT controls the energy of the laser beam LB with which the liquid crystal display LCD is irradiated, based on the detected value.

【0051】すなわち、減光器ATを制御すれば、レー
ザ光LBのエネルギーの大きさを変えることができ、マ
スク交換器MCを制御すればレーザ光LBの断面形状や
直径を変えることができ,シャッターSTの開閉を制御
すれば、レーザ光LBの照射時間を制御することができ
る。なお、マスク交換器MC内には遮光板もマスクとし
て格納されている。また、このマスクは、レンズOBJ
の倍率に応じて切り替えることができる。
That is, if the dimmer AT is controlled, the energy level of the laser beam LB can be changed, and if the mask exchanger MC is controlled, the cross-sectional shape and diameter of the laser beam LB can be changed. By controlling the opening / closing of the shutter ST, the irradiation time of the laser light LB can be controlled. In addition, a light shielding plate is also stored as a mask in the mask exchanger MC. In addition, this mask is a lens OBJ
Can be switched according to the magnification of.

【0052】また、対物レンズOBJは、倍率の異なる
複数の対物レンズ群からなり、それぞれが電動のレボル
バRV(図7参照)に固定されている。制御装置CON
Tは、レボルバRVを回転させることにより、対物レン
ズOBJの倍率を可変することができる。レーザ光LB
の照射及び観察には25倍の高倍率レンズが、観察には
7.6倍の低倍率のレンズが用いられる。すなわち、レ
ーザ光LBの照射時においては、観察時よりも倍率を上
げる。なお、上記では、レーザ光の照射光学系と、観察
光学系とは同軸光学系を構成している。
The objective lens OBJ is made up of a plurality of objective lens groups having different magnifications, each fixed to an electrically driven revolver RV (see FIG. 7). Controller CON
T can change the magnification of the objective lens OBJ by rotating the revolver RV. Laser light LB
A high-magnification lens of 25 times is used for irradiation and observation, and a low-magnification lens of 7.6 times is used for observation. That is, when the laser beam LB is irradiated, the magnification is increased as compared with the observation. In the above, the laser light irradiation optical system and the observation optical system form a coaxial optical system.

【0053】図7は図6に示した欠陥修正装置の正面
図、図8は側面図である。なお、図6において示した表
示器DSP及び制御装置CONTの記載は省略してあ
る。
FIG. 7 is a front view of the defect repairing apparatus shown in FIG. 6, and FIG. 8 is a side view. The display DSP and the control device CONT shown in FIG. 6 are omitted.

【0054】XYZステージSTGは、Z方向駆動ステ
ージ上に固定されたXY方向駆動ステージと、当該XY
方向駆動ステージ上に固定された載置台1からなる。載
置台1は水平に配置される。XY方向駆動ステージは、
直交する2軸方向に延在するボールネジとACサーボモ
ータからなり、載置台1を水平面内において前後左右に
移動させる。Z方向駆動ステージは、XY方向駆動ステ
ージを鉛直方向に移動させる。
The XYZ stage STG includes an XY-direction driving stage fixed on the Z-direction driving stage, and the XYZ driving stage.
It comprises a mounting table 1 fixed on a directional drive stage. The mounting table 1 is arranged horizontally. The XY direction drive stage is
The mounting table 1 is composed of a ball screw and an AC servomotor extending in two orthogonal directions, and moves the mounting table 1 forward, backward, leftward and rightward. The Z-direction drive stage moves the XY-direction drive stage in the vertical direction.

【0055】レーザ光源LSからマスク交換器MCに至
るレーザ光学系OP1は、レボルバRVの上部に取り付
けられている。
The laser optical system OP1 from the laser light source LS to the mask changer MC is attached to the upper part of the revolver RV.

【0056】XYZステージSTG、撮像素子CCD、
レーザ光学系OP1等の装置主要部は、除振台の上に固
定された整形箱BOX内に収納されており、整形箱BO
Xは前面側に開口OPNを有する。XY方向駆動ステー
ジを駆動し、更に、このステージと載置台1との間の相
対的一次元水平移動を行うスライドレールSLDを介し
て載置台1を移動させると、開口OPNから液晶表示器
LCDが露出する。この場合、作業者は液晶表示器LC
Dを容易に装着できる。
XYZ stage STG, image pickup device CCD,
The main parts of the device such as the laser optical system OP1 are housed in a shaping box BOX fixed on a vibration isolation table.
X has an opening OPN on the front side. When the XY driving stage is driven, and further the mounting table 1 is moved via the slide rail SLD which performs relative one-dimensional horizontal movement between the stage and the mounting table 1, the liquid crystal display LCD is opened from the opening OPN. Exposed. In this case, the operator is the liquid crystal display LC
D can be installed easily.

【0057】載置台1の下には、液晶表示器LCDの駆
動を行う信号を中継する駆動信号中継ユニットCIRが
設けられている。作業者は、液晶表示器LCDを載置台
1上に固定すると共に、液晶表示器LCDから延びる配
線を中継ユニットCIRに接続する。中継ユニットCI
Rは、載置台1の下部に配置されているので、これらの
接続配線距離を短くし、駆動信号の遅延を抑制する。な
お、液晶表示器LCDが大型の場合には、中継ユニット
は複数であることが好ましく、スライドレールSLDに
よって中継ユニットCIRは整形箱BOXの外に取り出
されるので、作業が効率化される。
Below the mounting table 1, a drive signal relay unit CIR for relaying a signal for driving the liquid crystal display LCD is provided. The operator fixes the liquid crystal display LCD on the mounting table 1 and connects the wiring extending from the liquid crystal display LCD to the relay unit CIR. Relay unit CI
Since R is arranged below the mounting table 1, the connection wiring distance between these is shortened and the delay of the drive signal is suppressed. When the liquid crystal display LCD is large, it is preferable that the number of relay units is plural, and since the relay unit CIR is taken out of the shaping box BOX by the slide rail SLD, the work efficiency is improved.

【0058】図9は、上記装置において行われる欠陥修
正工程を示すフローチャートである。
FIG. 9 is a flow chart showing the defect repairing process performed in the above apparatus.

【0059】まず、製品のID番号を制御装置CONT
に入力する(S100)。すなわち、液晶表示器LCD
の種類及び当該パネルのID番号を制御装置CONTに
入力する。この入力はキーボードを介して行ってもよい
が、液晶表示器LCDにバーコードが貼り付けられてい
る場合には、バーコードリーダを用いて行っても良い。
First, the ID number of the product is set to the control device CONT.
(S100). That is, the liquid crystal display LCD
And the ID number of the panel are input to the control device CONT. This input may be performed via the keyboard, or may be performed using a barcode reader when the barcode is attached to the liquid crystal display LCD.

【0060】次に、液晶表示器LCDを欠陥修正装置に
取り付ける(S102)。開口OPNから載置台1を引
き出し、この上に液晶表示器LCDをセットする。更
に、液晶表示器LCDと中継ユニットCIRとを電気的
に接続する。
Next, the liquid crystal display LCD is attached to the defect correcting device (S102). The mounting table 1 is pulled out from the opening OPN, and the liquid crystal display LCD is set thereon. Further, the liquid crystal display LCD and the relay unit CIR are electrically connected.

【0061】続いて、制御装置CONTは、液晶表示器
LCDの水平面内におけるアライメント調整を行う(S
104)。すなわち、液晶表示器LCDの画素列がX又
はY方向に一致するように、水平面内において液晶表示
器LCDの位置を移動させる。なお、液晶パネルLCP
のアライメントマークAMは、金属枠MFMの内側に位
置するため、制御装置CONTは撮像素子CCDによっ
て撮像された画像内の端部の位置を検出し、この位置を
基準に移動量に補正をかけることができる。
Subsequently, the control unit CONT performs alignment adjustment in the horizontal plane of the liquid crystal display LCD (S).
104). That is, the position of the liquid crystal display LCD is moved in the horizontal plane so that the pixel rows of the liquid crystal display LCD coincide with the X or Y direction. Liquid crystal panel LCP
Since the alignment mark AM of is located inside the metal frame MFM, the control unit CONT detects the position of the end portion in the image captured by the image sensor CCD and corrects the movement amount based on this position. You can

【0062】しかる後、欠陥画素のある部位(輝点欠
陥)の座標を制御装置CONTに入力する(S10
6)。上述の説明においては、制御装置CONTは液晶
表示器LCDの表面の走査後に、続けて、欠陥修正を行
ったが、ここでは、欠陥位置の検査自体は別工程におい
て既に行われているものとする。このような場合におい
て、制御装置CONTが、LANケーブルを介してホス
トコンピュータに接続されている場合、制御装置CON
TはID番号に対応する欠陥位置の座標をホストコンピ
ュータから受信することができる。
After that, the coordinates of the portion having the defective pixel (bright spot defect) are input to the control unit CONT (S10).
6). In the above description, the controller CONT carries out defect correction after scanning the surface of the liquid crystal display LCD, but here it is assumed that the defect position inspection itself has already been carried out in another step. . In such a case, when the control device CONT is connected to the host computer via a LAN cable, the control device CON
T can receive the coordinates of the defect position corresponding to the ID number from the host computer.

【0063】次に、欠陥位置の検索を行う(S10
8)。すなわち、まず、制御装置CONTは、上記座標
情報に基づいて、欠陥が結像レンズOBJの直下に位置
するようにXY方向駆動ステージを駆動する。続いて、
バックライトBLを点灯させ、液晶パネルLCPを裏面
側から照明し、液晶パネルLCPの像を撮像素子CCD
によって撮影する。中継ユニットCIRを介して液晶表
示器LCDを全黒状態で動作させる。この時、欠陥は発
光するので、制御装置CONTは撮影された画像情報に
基づき、欠陥が結像レンズ(対物レンズ)OBJの光軸
上に位置するように、XY方向駆動ステージを微小駆動
する。
Next, the defect position is searched (S10).
8). That is, first, the control device CONT drives the XY direction drive stage based on the coordinate information so that the defect is located immediately below the imaging lens OBJ. continue,
The backlight BL is turned on to illuminate the liquid crystal panel LCP from the back side, and the image of the liquid crystal panel LCP is captured by the image sensor CCD.
To shoot by. The liquid crystal display LCD is operated in the all black state via the relay unit CIR. At this time, since the defect emits light, the control device CONT minutely drives the XY-direction drive stage based on the image information taken so that the defect is located on the optical axis of the imaging lens (objective lens) OBJ.

【0064】この欠陥位置の検索時においては、その重
心位置が欠陥位置として与えられる。対物レンズOBJ
の実視野は1.4mm程度に設定する。このような方法
は、大型のパネル、例えば22型のパネルを水平移動さ
せる場合にも有効であり、移動ストローク500mm、
位置決め精度が30μm程度であっても輝度欠陥位置を
正確に検出することができる。
At the time of searching for this defect position, the position of its center of gravity is given as the defect position. Objective lens OBJ
The actual field of view is set to about 1.4 mm. Such a method is also effective when horizontally moving a large panel, for example, a 22-inch panel, and a moving stroke of 500 mm,
Even if the positioning accuracy is about 30 μm, the luminance defect position can be accurately detected.

【0065】次に、液晶層LC中に気泡を発生させる
(S110)。この場合、制御装置CONTは、まず、
マスク交換器MCを駆動し、第1のマスクを光路上に移
動させ、続いて、レーザ光源LSを駆動する。レーザ光
源LSからは1つのレーザ光パルスが出射され、第1の
マスクを透過して、欠陥に照射される。パルスの生成は
シャッタSTの断続的な開閉によって行うこともでき
る。この照射によって、カラーフィルタCFに孔が開
き、液晶層LC中には気泡BBが発生する。この時、気
泡BBを撮像素子CCDによって確認することができ
る。
Next, bubbles are generated in the liquid crystal layer LC (S110). In this case, the control unit CONT first
The mask changer MC is driven to move the first mask on the optical path, and then the laser light source LS is driven. One laser light pulse is emitted from the laser light source LS, passes through the first mask, and is irradiated onto the defect. The pulse can also be generated by intermittently opening and closing the shutter ST. By this irradiation, holes are formed in the color filter CF, and bubbles BB are generated in the liquid crystal layer LC. At this time, the bubble BB can be confirmed by the image pickup device CCD.

【0066】次に、マスクの交換とレーザ光出力の変更
を行う(S112)。この場合、制御装置CONTは、
マスク交換器MCを駆動し、第2のマスクを光路上に移
動させる。レーザ光LBの出力は減光器ATによって調
整される。
Next, the mask is replaced and the laser light output is changed (S112). In this case, the control device CONT
The mask changer MC is driven to move the second mask on the optical path. The output of the laser light LB is adjusted by the dimmer AT.

【0067】続いて、レーザ光源LSを駆動し、カラー
フィルタCFに孔を開ける(S114)。この場合、レ
ーザ光源LSからは、まず、1つのレーザ光パルスが出
射され、第2のマスクを透過して、欠陥内の別の地点に
照射される。この照射によって、カラーフィルタCFに
孔が開き、カラーフィルタ材料、ITO材料、配向膜材
料等が飛散し、配向膜OF1上に付着する。XY方向駆
動ステージを駆動することによって液晶表示器LCDを
水平面内において移動させながら、繰り返し周波数fで
レーザ光LBのパルスを出射し、次々にレーザ光LBの
照射位置を変えていく。
Then, the laser light source LS is driven to make a hole in the color filter CF (S114). In this case, first, one laser light pulse is emitted from the laser light source LS, passes through the second mask, and is irradiated onto another point in the defect. By this irradiation, holes are formed in the color filter CF, and the color filter material, the ITO material, the alignment film material, and the like are scattered and adhere to the alignment film OF1. While the liquid crystal display LCD is moved in the horizontal plane by driving the XY direction drive stage, the pulse of the laser light LB is emitted at the repetition frequency f, and the irradiation position of the laser light LB is changed one after another.

【0068】第2のマスク使用時のレーザ光LBの径
は、第1のマスク使用時のレーザ光LBの径よりも小さ
い。2回目以降のレーザ光LBは第1回目のものよりも
エネルギーが小さい。これは、液晶層LCが気泡によっ
て排除された状態においては、エネルギーは小さくて
も、材料の充分な付着を行わせることができることがで
きるからである。なお、付着した堆積物は、気泡BBの
消滅後も付着したままである。
The diameter of the laser light LB when using the second mask is smaller than the diameter of the laser light LB when using the first mask. The laser light LB from the second time onward has smaller energy than that from the first time. This is because in the state where the liquid crystal layer LC is removed by the bubbles, the material can be sufficiently adhered even if the energy is small. Note that the attached deposit remains attached even after the bubble BB disappears.

【0069】最後に、修正された欠陥を検査する(S1
16)。この場合、表示器DSPに表示された画像を観
察しながら、輝度欠陥の修正状態を検査し、入力された
結果を制御装置CONTに入力し、制御装置CONT内
に記憶する。なお、制御装置CONTがLANケーブル
を介してホストコンピュータに接続されている場合は、
修正終了の旨をホストコンピュータに通知する。なお、
輝度の閾値を設定し、画像内の輝度が全て当該閾値以下
となった場合に、制御装置CONTが自動的に輝度欠陥
の修正終了を判定してもよい。
Finally, the repaired defect is inspected (S1).
16). In this case, while observing the image displayed on the display DSP, the correction state of the brightness defect is inspected, and the input result is input to the control device CONT and stored in the control device CONT. When the control device CONT is connected to the host computer via a LAN cable,
Notify the host computer that the modification is complete. In addition,
A brightness threshold value may be set, and when all the brightness in the image are equal to or less than the threshold value, the control device CONT may automatically determine the correction end of the brightness defect.

【0070】図10は、液晶表示器LCDの全体の検査
・修正工程を示すフローチャートである。
FIG. 10 is a flow chart showing the inspection / correction process of the entire liquid crystal display LCD.

【0071】まず、液晶パネルLCPの欠陥検査を行う
(検査I:S1)。
First, the liquid crystal panel LCP is inspected for defects (inspection I: S1).

【0072】検査の結果が良好であれば、次の工程に進
むが、欠陥が発見された場合には、TFT基板側から当
該欠陥部位にレーザ光を照射し、欠陥を修正する(S
2)。この修正工程は、レーザ光の照射方向が逆である
点を除いて、上記方法と同じである。この修正工程の
後、再び、修正が確実に行われたどうかを検査する(検
査II:S3)。
If the inspection result is good, the process proceeds to the next step, but if a defect is found, the defect portion is irradiated with laser light to correct the defect (S).
2). This correction process is the same as the above method except that the irradiation direction of the laser light is opposite. After this correction step, it is inspected again whether or not the correction is surely performed (inspection II: S3).

【0073】検査Iの結果が良好であった液晶パネルL
CP、或いは修正が確実に行われた液晶パネルLCPに
は、バックライトBLが取り付けられ、モジュールとし
て組み立てられる(S4)。
Liquid crystal panel L showing good result of inspection I
The backlight BL is attached to the CP or the liquid crystal panel LCP that has been surely corrected, and assembled as a module (S4).

【0074】再び、組み立てられたモジュール、すなわ
ち、液晶表示器LCDの検査を行う(検査III:S
5)。
Again, the assembled module, that is, the liquid crystal display LCD is inspected (inspection III: S).
5).

【0075】検査の結果が良好であれば、検査工程は終
了となるが、欠陥が発見された場合には、カラーフィル
タ基板側から当該欠陥部位にレーザ光を照射し、欠陥を
修正し(S6)、その後、検査を行う(検査IV:S
7)。
If the inspection result is good, the inspection process ends, but if a defect is found, the defect portion is irradiated with laser light to correct the defect (S6). ), And then an inspection (inspection IV: S
7).

【0076】なお、これらの検査(I,II,III,
IV)の方法は、上述のステップ116と同一であり、
また、ステップS6において行われる輝度欠陥の修正工
程は、上述の通りである。
These tests (I, II, III,
Method IV) is the same as step 116 above,
Further, the process of correcting the brightness defect performed in step S6 is as described above.

【0077】なお、検査Iにおいては、上記に加えて、
断線検査、ムラ・シミ検査、液晶内に設けられるスペー
サの不均一性検査、偏光板の検査を行うこともできる。
また、輝点欠陥は、TFTアレイ不良、カラーフィルタ
不良、異物混入等によって生じ、断線はTFTアレイ不
良、異物混入等によって生じ、ムラ・シミは洗浄不良、
配向印刷不良、ラビング不良、異物混入によって生じ、
スペーサの不均一性はスペーサの散布や異物混入によっ
て生じる。
In the inspection I, in addition to the above,
It is also possible to perform disconnection inspection, unevenness / stain inspection, non-uniformity inspection of spacers provided in the liquid crystal, and inspection of polarizing plate.
In addition, bright spot defects are caused by defective TFT array, defective color filter, inclusion of foreign matter, etc., disconnection is caused by defective TFT array, incorporation of foreign matter, etc.
Caused by defective alignment printing, defective rubbing, or foreign matter
The non-uniformity of the spacers is caused by the dispersion of the spacers or the inclusion of foreign matter.

【0078】次に、第1回目に照射される気泡発生用レ
ーザ光LBの断面形状と、第2回目以降に照射される微
調整用レーザ光LBの断面形状について説明する。
Next, the cross-sectional shape of the bubble-forming laser light LB that is irradiated for the first time and the cross-sectional shape of the fine adjustment laser light LB that is irradiated for the second time and thereafter will be described.

【0079】図11は、第1回目に照射されるレーザ光
LBの透明電極TE1上での形状を示し、図12は第2
回目以降に照射されるレーザ光LBの透明電極TE1上
での形状を示す。これらの形状は、レーザ光LBの横断
面(光軸に垂直な断面)形状と同一であり、カラーフィ
ルタCF或いは配向膜OF1,OF2に形成された貫通
孔の形状と同一である。
FIG. 11 shows the shape of the laser beam LB irradiated for the first time on the transparent electrode TE1, and FIG. 12 shows the second shape.
The shape on the transparent electrode TE1 of the laser beam LB irradiated after the first time is shown. These shapes are the same as the shape of the cross section (section perpendicular to the optical axis) of the laser beam LB, and the shape of the through holes formed in the color filter CF or the alignment films OF1 and OF2.

【0080】図11(a)、図11(b)、図11
(c)、図11(d)、図11(e)に示すように、第
1回目に照射されるレーザ光LBの断面形状は円形又は
方形であり、円形の場合は直径、方形の場合は最大径が
8μm乃至24μmに設定され、レーザ光LBのエネル
ギー密度は15J/cm2乃至50J/cm2である。
11 (a), 11 (b) and 11
As shown in (c), FIG. 11 (d), and FIG. 11 (e), the cross-sectional shape of the laser beam LB irradiated for the first time is circular or square. maximum diameter is set to 8μm or 24 [mu] m, the energy density of the laser beam LB is 15 J / cm 2 to 50 J / cm 2.

【0081】図12(a)、図12(b)、図12
(c)、図12(d)に示すように、第2回目以降に照
射される複数のレーザ光LBの断面形状は円形又は方形
であり、円形の場合は直径、方形の場合は最大径が2μ
m乃至4μmに設定され、レーザ光LBのエネルギー密
度は25J/cm2乃至65J/cm2である。レーザ光
LBが照射される領域の幅は2μm乃至透明電極TE1
の幅であり、長さは2μm乃至透明電極TE1の長さで
ある。これらは、それぞれX及びY方向に一致する。全
体としてレーザ光LBのスポットは複数個形成される
が、これらのスポットは行列状に整列する。行数は1行
以上である。なお、図12(d)に示されるレーザ光L
Bのスポットのうち大径のものは、図11(c)に示し
たものである。
12 (a), 12 (b) and 12
As shown in (c) and FIG. 12 (d), the cross-sectional shape of the plurality of laser beams LB irradiated after the second time is circular or square, and the diameter is the case in the circle and the maximum diameter is the case in the square. 2μ
m to be set to 4 [mu] m, the energy density of the laser beam LB is 25 J / cm 2 to 65 J / cm 2. The width of the region irradiated with the laser beam LB is 2 μm to the transparent electrode TE1.
And the length is from 2 μm to the length of the transparent electrode TE1. These correspond to the X and Y directions, respectively. Although a plurality of spots of the laser beam LB are formed as a whole, these spots are aligned in a matrix. The number of lines is one or more. The laser light L shown in FIG.
The large-diameter spot of B is shown in FIG. 11 (c).

【0082】また、上記では気泡発生用レーザ光を1回
だけ照射したが、2回以上照射してもよい。
Further, in the above, the laser light for bubble generation is irradiated only once, but it may be irradiated twice or more.

【0083】[0083]

【発明の効果】本発明の輝度欠陥修正方法によれば、輝
点欠陥を充分に修正することができる。
According to the brightness defect repairing method of the present invention, bright spot defects can be repaired sufficiently.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】液晶表示器の平面図である。FIG. 1 is a plan view of a liquid crystal display.

【図2】図1に示した液晶表示器のII−II矢印縦断
面図である。
2 is a vertical sectional view of the liquid crystal display shown in FIG. 1, taken along line II-II.

【図3】図3は液晶表示器LCDを一部破断して示す液
晶表示器LCDの斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of the liquid crystal display LCD showing the liquid crystal display LCD partially broken away.

【図4】図2に示したカラーフィルタCFにおける1つ
の着色樹脂(G)の1画素内の領域を、TFT基板に設
けられたスイッチング素子と共に抜き出して示す斜視図
である。
FIG. 4 is a perspective view showing a region in one pixel of one colored resin (G) in the color filter CF shown in FIG. 2 together with a switching element provided on a TFT substrate.

【図5】レーザ光照射時の液晶パネルLCPの部分断面
図である。
FIG. 5 is a partial cross-sectional view of the liquid crystal panel LCP at the time of laser light irradiation.

【図6】輝度欠陥の修正を行う欠陥修正装置のブロック
図である。
FIG. 6 is a block diagram of a defect repairing device that repairs a brightness defect.

【図7】図6に示した欠陥修正装置の正面図である。FIG. 7 is a front view of the defect repairing device shown in FIG.

【図8】図6に示した欠陥修正装置の側面図である。8 is a side view of the defect repairing device shown in FIG.

【図9】欠陥修正装置において行われる欠陥修正工程を
示すフローチャートである。
FIG. 9 is a flowchart showing a defect repairing process performed in the defect repairing apparatus.

【図10】液晶表示器LCDの全体の検査・修正工程を
示すフローチャートである。
FIG. 10 is a flowchart showing an inspection / correction process of the entire liquid crystal display LCD.

【図11】第1回目に照射されるレーザ光LBの透明電
極TE1上での形状を示す該当部位の平面図である。
FIG. 11 is a plan view of the relevant portion showing the shape of the laser beam LB irradiated for the first time on the transparent electrode TE1.

【図12】第2回目以降に照射されるレーザ光LBの透
明電極TE1上での形状を示す該当部位の平面図であ
る。
FIG. 12 is a plan view of the relevant portion showing the shape on the transparent electrode TE1 of the laser beam LB irradiated after the second time.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…載置台、AT…減光器、BB…気泡、BL…バック
ライト、BM…遮光枠、BOX…整形箱、CCD…撮像
素子、CF…カラーフィルタ、CIR…駆動信号中継ユ
ニット、CONT…制御装置、DSP…表示器、TE1
…透明電極、FM…枠体、GS1,GS2…ガラス基
板、HM1,HM2…ハーフミラー、HM3…ハーフミ
ラー、IL…落射照明、L…白色光、LB…レーザ光、
LC…液晶層、LCD…液晶表示器、LCP…液晶パネ
ル、LNS…結像レンズ、LS…レーザ光源、MC…マ
スク交換器、MFM…金属枠、OBJ…結像レンズ、O
F1,OF2…配向膜、OP1…レーザ光学系、OPN
…開口、PD…光検出器、PFM…保護フィルム、PP
1,PP2…偏光板、RV…レボルバ、S…薄膜トラン
ジスタ、SLD…スライドレール、ST…シャッター、
STG…ステージ、TE2…透明電極。
1 ... Mounting table, AT ... Attenuator, BB ... Bubbles, BL ... Backlight, BM ... Shading frame, BOX ... Shaping box, CCD ... Imaging device, CF ... Color filter, CIR ... Drive signal relay unit, CONT ... Control Equipment, DSP ... Display, TE1
... transparent electrode, FM ... frame, GS1, GS2 ... glass substrate, HM1, HM2 ... half mirror, HM3 ... half mirror, IL ... epi-illumination, L ... white light, LB ... laser light,
LC ... Liquid crystal layer, LCD ... Liquid crystal display, LCP ... Liquid crystal panel, LNS ... Imaging lens, LS ... Laser light source, MC ... Mask exchanger, MFM ... Metal frame, OBJ ... Imaging lens, O
F1, OF2 ... Alignment film, OP1 ... Laser optical system, OPN
… Aperture, PD… Photo detector, PFM… Protective film, PP
1, PP2 ... Polarizing plate, RV ... Revolver, S ... Thin film transistor, SLD ... Slide rail, ST ... Shutter,
STG ... Stage, TE2 ... Transparent electrode.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉本 晴彦 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 (72)発明者 栗田 典夫 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 (72)発明者 久野 耕司 静岡県浜松市市野町1126番地の1 浜松ホ トニクス株式会社内 Fターム(参考) 2H048 BA43 BB14 BB44 2H088 FA10 FA13 FA15 FA16 FA24 FA30 HA03 HA12 MA01 MA16 MA18 5C094 AA07 AA42 BA43 CA19 CA24 EA04 EA07 EB02 ED03 ED15 5G435 AA03 AA17 BB12 FF13 GG12 KK05 KK10    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Haruhiko Sugimoto             1 Hamamatsuho, 1126 Nomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture             Tonics Co., Ltd. (72) Inventor Norio Kurita             1 Hamamatsuho, 1126 Nomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture             Tonics Co., Ltd. (72) Inventor Koji Kuno             1 Hamamatsuho, 1126 Nomachi, Hamamatsu City, Shizuoka Prefecture             Tonics Co., Ltd. F-term (reference) 2H048 BA43 BB14 BB44                 2H088 FA10 FA13 FA15 FA16 FA24                       FA30 HA03 HA12 MA01 MA16                       MA18                 5C094 AA07 AA42 BA43 CA19 CA24                       EA04 EA07 EB02 ED03 ED15                 5G435 AA03 AA17 BB12 FF13 GG12                       KK05 KK10

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液晶層を挟む配向膜を有する液晶パネル
本体の画像表示側にカラーフィルタを設けてなる液晶パ
ネルにおける輝点欠陥の修正方法において、前記輝点欠
陥の位置を検出する第1工程と、検出された前記輝点欠
陥に前記画像表示側から、前記カラーフィルタに孔が開
くエネルギーを有するレーザ光を前記カラーフィルタに
照射し、前記レーザ光を前記配向膜に到達させる第2工
程とを備えることを特徴とする輝点欠陥の修正方法。
1. A method of correcting a bright spot defect in a liquid crystal panel comprising a liquid crystal panel main body having an alignment film sandwiching a liquid crystal layer and having a color filter on the image display side, the first step of detecting the position of the bright spot defect. And a second step of irradiating the color filter with laser light having energy for opening holes in the color filter from the image display side to the detected bright spot defect, and allowing the laser light to reach the alignment film. A method for correcting a bright spot defect, comprising:
【請求項2】 前記第2工程において照射されたレーザ
光よりも大径のレーザ光を前記第2工程の前に前記カラ
ーフィルタに照射する工程を備えることを特徴とする請
求項1に記載の輝点欠陥の修正方法。
2. The method according to claim 1, further comprising a step of irradiating the color filter with a laser beam having a diameter larger than that of the laser beam emitted in the second step before the second step. How to fix bright spot defects.
JP2001211160A 2001-07-11 2001-07-11 Method for correcting luminescent spot defect Pending JP2003029226A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007206550A (en) * 2006-02-03 2007-08-16 Toshiba Corp Defective pixel correcting device for liquid crystal panel

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