JP2003025564A - Ink jet head - Google Patents

Ink jet head

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JP2003025564A
JP2003025564A JP2001210072A JP2001210072A JP2003025564A JP 2003025564 A JP2003025564 A JP 2003025564A JP 2001210072 A JP2001210072 A JP 2001210072A JP 2001210072 A JP2001210072 A JP 2001210072A JP 2003025564 A JP2003025564 A JP 2003025564A
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Japan
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nozzle plate
open end
actuator portion
end surface
ink jet
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Ceased
Application number
JP2001210072A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masatomo Matsui
昌朋 松井
Koji Sone
浩二 曽根
Hirobumi Sugimoto
博文 杉本
Takayoshi Oga
隆義 大賀
Naoyuki Seo
直之 瀬尾
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink jet head in which dust and ink adhering to a nozzle plate are wiped off without stripping the nozzle plate. SOLUTION: A nozzle plate 12 is provided with bonding regions 12c and 12d being folded to cover the outer side faces 9c and 9d at an actuator section 9 in the direction intersecting the front end face. Since the nozzle plate 12 has no level difference on the ejection face, ink and dust adhering thereto can be removed effectively. Furthermore, the nozzle plate 12 is not stripped easily because it is bonded to the actuator section 9 even at the bonding regions 12c and 12d.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェットヘ
ッドに関し、特にノズル板の剥がれが生じにくいインク
ジェットヘッドに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inkjet head, and more particularly, to an inkjet head in which the nozzle plate is less likely to come off.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリンタ、複写機、ファクシミリ等に使
用される記録装置のうち、インクジェット式の記録装置
(インクジェット記録装置)は、記録アクチュエータか
らインクを吐出して被記録材に記録を行うものである。
このインクジェット記録装置は、高精細な画像を高速で
記録できること、普通紙に特別の処理を施すことなく記
録できること、多色のインクを使用してカラー画像を記
録するのが容易であることの他、ランニングコストが安
く、ノンインパクト方式であるため騒音が少ない、など
の利点を有している。中でも、紙幅方向に多数の吐出口
を配列したフルマルチタイプの記録アクチュエータを用
いるライン型のものは、記録の一層の高速化が可能であ
る。被記録材としては、紙や樹脂薄板(OHP等)など
の他に、近年では、薄紙や加工紙などから、ガラス、プ
ラスチック、金属にいたるまで様々な被記録材が使用さ
れるようになってきた。
2. Description of the Related Art Among recording devices used in printers, copiers, facsimiles and the like, an inkjet recording device (inkjet recording device) is a device for ejecting ink from a recording actuator to perform recording on a recording material. is there.
This inkjet recording device can record high-definition images at high speed, can record plain paper without any special treatment, and can easily record color images using multicolor inks. It has advantages such as low running cost and less noise due to the non-impact method. Among them, the line type using the full multi type recording actuator in which a large number of ejection ports are arranged in the paper width direction can further increase the speed of recording. As recording materials, in addition to paper and resin thin plates (OHP, etc.), in recent years, various recording materials have been used, from thin paper and processed paper to glass, plastic, and metal. It was

【0003】図7は、従来の圧電形インクジェットヘッ
ドの構成を示す。この圧電形インクジェットヘッドで
は、複数のチャンネル1を形成し、各チャンネル1間の
隔壁2に沿ってチャンネル後方のワイヤーボンディング
領域3まで電極4を配置した圧電素子からなる基台5
と、インク供給孔6を形成した、基台1と同一素材、あ
るいはガラス、セラミックス、樹脂材料などからなるカ
バー7とを張り合わせることにより、一端が開口した圧
力室8を持ったアクチュエータ部9を構成している。そ
して、各圧力室8が開口するアクチュエータ部9の前端
面10に、各圧力室8に対応するノズル孔11を形成し
た、樹脂材料やガラス素材などからなるノズル板12を
接着剤により固着している。
FIG. 7 shows the structure of a conventional piezoelectric ink jet head. In this piezoelectric inkjet head, a plurality of channels 1 are formed, and a base 5 made of a piezoelectric element in which electrodes 4 are arranged along a partition wall 2 between the channels 1 to a wire bonding region 3 behind the channels.
And the cover 7 made of the same material as the base 1 on which the ink supply holes 6 are formed, or made of glass, ceramics, resin material, or the like, are attached to each other to form an actuator portion 9 having a pressure chamber 8 having one end opened. I am configuring. Then, a nozzle plate 12 made of a resin material, a glass material or the like having a nozzle hole 11 corresponding to each pressure chamber 8 is fixed to the front end surface 10 of the actuator portion 9 where each pressure chamber 8 is opened by an adhesive agent. There is.

【0004】ところで、インクジェット記録装置におい
ては、インクの吐出時に発生するインクミストやインク
のリフィル時に発生するサテライトインクなどによっ
て、吐出面(ノズル孔11が配列されたノズル板12の
前面12a)に濡れインクが付着したり、ノズル孔11
からインクを吸引する等の回復処理時にも吐出面に吸引
残りインクが付着することがある。そこで、このような
付着インクを取り除くために、ノズル板12の前面を描
画中に定期的にクリーニングする必要がある。
By the way, in the ink jet recording apparatus, the ejection surface (the front surface 12a of the nozzle plate 12 in which the nozzle holes 11 are arranged) is wetted by the ink mist generated when the ink is ejected or the satellite ink generated when the ink is refilled. Ink adheres or nozzle holes 11
Ink may remain on the ejection surface during recovery processing such as sucking ink from the ink. Therefore, in order to remove such adhered ink, it is necessary to regularly clean the front surface of the nozzle plate 12 during drawing.

【0005】このため、さまざまなクリーニング機構が
提案されていて、ノズル板12をブラシや多孔質材や弾
性材等でふき取るといったワイピング方法が実施されて
いる。一般には図8に示すように、ノズル孔11の配列
方向に対して平行または垂直な方向にワイピング部材1
3を摺動させている。このようなワイピング方法を実施
するに際しては、ノズル板12の前面12aにおける残
留インクのふき取り性(クリーニング性)が重要である
とともに、ワイピング材13の接触時のノズル板12の
耐剥離性が重要である。ところが、ワイピングを模した
摩擦試験、たとえばワイピング部材13としてパーフロ
ロゴムを用いて、ノズル孔11の配列方向に1000往
復のワイピングを行った時には、ワイピング部材13が
接触し始めるノズル板12のエッジ部分12bに剥がれ
が発生した。
For this reason, various cleaning mechanisms have been proposed, and a wiping method such as wiping the nozzle plate 12 with a brush, a porous material, an elastic material or the like has been implemented. Generally, as shown in FIG. 8, the wiping member 1 is arranged in a direction parallel or perpendicular to the arrangement direction of the nozzle holes 11.
3 is sliding. When performing such a wiping method, the wiping property (cleaning property) of the residual ink on the front surface 12a of the nozzle plate 12 is important, and the peeling resistance of the nozzle plate 12 when the wiping material 13 is in contact is also important. is there. However, when a wiping test is performed, for example, when perfluororubber is used as the wiping member 13 and wiping is performed 1000 reciprocations in the arrangement direction of the nozzle holes 11, the wiping member 13 starts to contact the edge portion 12b of the nozzle plate 12. Peeling occurred.

【0006】ノズル板12の剥がれへの対策は、特開平
02-187362号公報などに記載されている。この
特開平02-187362号では、図9に示すように、
ノズル孔11の周縁部を除いたノズル板12の前面12
aとそれに隣接するアクチュエータ部9の外側面の縁部
とを覆う被覆部材14を設けることで、ノズル板12の
ずれや剥離が防止されている。
Countermeasures against peeling of the nozzle plate 12 are described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 02-187362. In this Japanese Patent Laid-Open No. 02-187362, as shown in FIG.
Front surface 12 of nozzle plate 12 excluding the peripheral portion of nozzle hole 11
By providing the covering member 14 that covers a and the edge portion of the outer side surface of the actuator portion 9 adjacent thereto, the nozzle plate 12 is prevented from being displaced or separated.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
たようにノズル板12の前面に被覆部材14を設ける
と、ノズル板12と被覆部材14との間に段差ができて
しまうため、付着した塵や残留インクを除去しきれない
だけでなく、この段差部に濡れインクが溜り、固化する
という問題があった。
However, when the covering member 14 is provided on the front surface of the nozzle plate 12 as described above, a step is formed between the nozzle plate 12 and the covering member 14, so that dust and dirt attached There is a problem that not only the residual ink cannot be completely removed, but also wet ink accumulates on this step portion and solidifies.

【0008】本発明は上記問題を解決するもので、ノズ
ル板に付着した塵やインクをワイピングにより、ノズル
板の剥がれを伴うことなく除去することを目的とする。
The present invention solves the above problems, and an object thereof is to remove dust and ink adhering to a nozzle plate by wiping without causing the nozzle plate to peel off.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明は、ノズル板の周縁部を折り曲げてアクチュエ
ータ部の上下あるいは左右の外側面まで貼付すること
で、吐出面に付着したインクや塵などをワイピングする
際のノズル板の剥がれを防止、低減するようにしたもの
である。
SUMMARY OF THE INVENTION In order to solve the above-mentioned problems, the present invention folds the peripheral edge of a nozzle plate and affixes it to the upper and lower or left and right outer surfaces of an actuator portion, so that ink adhered to the ejection surface and This is to prevent or reduce the peeling of the nozzle plate when wiping dust and the like.

【0010】すなわち、請求項1記載の本発明は、一端
が開放した圧力室を並列に形成したアクチュエータ部
に、各圧力室に対応するノズル孔を形成したノズル板
を、各圧力室が開放した開放端面を覆うように配置し固
着した圧電型のインクジェットヘッドにおいて、前記ノ
ズル板に、前記アクチュエータ部の開放端面と交わる方
向の外側面を覆う折り曲げ部が形成されたもので、ノズ
ル板は、吐出面に段差がないため、付着したインクや塵
等を効果的に除去することができ、また開放端面を覆う
部分だけでなく折り曲げ部でも固着されるので、ワイピ
ングの際に剥がれにくい。
That is, according to the first aspect of the present invention, each pressure chamber has a nozzle plate in which a nozzle hole corresponding to each pressure chamber is formed in an actuator portion in which pressure chambers having one end opened are formed in parallel. In a piezoelectric type inkjet head arranged and fixed so as to cover the open end face, a bent portion is formed on the nozzle plate to cover an outer side surface in a direction intersecting with the open end face of the actuator section. Since there is no step on the surface, the adhered ink, dust, etc. can be effectively removed, and since it is fixed not only at the portion covering the open end surface but also at the bent portion, it does not easily come off during wiping.

【0011】請求項2記載の本発明は、請求項1記載の
インクジェットヘッドにおいて、前記ノズル板の折り曲
げ部は、前記ノズル板の吐出面をワイピングするワイピ
ング手段の移動方向と交わる方向に沿ったアクチュエー
タ部の外側面を覆ったもので、ノズル板のエッジはアク
チュエータ部の外側面に位置していて、ワイピング部材
があたり始める部分に存在しないので、ワイピングによ
るノズル板の剥がれの問題は大幅に改善される。
According to a second aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, the bent portion of the nozzle plate is an actuator along a direction intersecting a moving direction of a wiping means for wiping the ejection surface of the nozzle plate. Since the edge of the nozzle plate is located on the outer surface of the actuator and does not exist where the wiping member starts to hit, the problem of nozzle plate peeling due to wiping is greatly improved. It

【0012】請求項3記載の本発明は、請求項1記載の
インクジェットヘッドにおいて、アクチュエータ部の開
放端面とそれと直交する方向の外側面との間に面取り面
が設けられ、ノズル板は、前記アクチュエータ部の開放
端面と面取り面とを覆ったもので、面取り面が存在する
ことでノズル板の曲げ角度が低減されるので、アクチュ
エータ部に対するノズル板の貼付が容易になる。また、
ワイピング部材はノズル板の表面を、面取り面を覆う部
分から開放端面を覆う部分へとスムーズに移動するの
で、ノズル板への衝撃は低減され、剥がれの問題は大幅
に改善される。この構成は、ワイピング部材がノズル板
に対して、面取り面を覆った部分から当たり始める時に
十分である。
According to a third aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, a chamfered surface is provided between an open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate is the actuator. Since the open end surface and the chamfered surface of the part are covered, and the bending angle of the nozzle plate is reduced due to the existence of the chamfered surface, the nozzle plate can be easily attached to the actuator part. Also,
Since the wiping member smoothly moves the surface of the nozzle plate from the portion covering the chamfered surface to the portion covering the open end surface, the impact on the nozzle plate is reduced and the problem of peeling is greatly improved. This configuration is sufficient when the wiping member starts to hit the nozzle plate from the portion covering the chamfered surface.

【0013】請求項4記載の本発明は、請求項1記載の
インクジェットヘッドにおいて、アクチュエータ部の開
放端面とそれと直交する方向の外側面との間に面取り面
が設けられ、ノズル板は、前記アクチュエータ部の開放
端面と面取り面と外側面とを覆ったもので、面取り面が
存在することでノズル板の曲げ角度が低減されるので、
アクチュエータ部に対するノズル板の貼付が容易にな
る。また、ワイピング部材はノズル板の表面を、面取り
面を覆う部分から開放端面を覆う部分へとスムーズに移
動するので、ノズル板への衝撃は低減され、剥がれの問
題は大幅に改善される。この構成は、ノズル板のエッジ
はアクチュエータ部の外側面に位置しているので、ワイ
ピング部材がノズル板に対して、面取り面を覆った部分
より外側から当たり始める時に十分となる。
According to a fourth aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, a chamfered surface is provided between an open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate is the actuator. By covering the open end surface of the part, the chamfered surface and the outer surface, the bending angle of the nozzle plate is reduced by the presence of the chamfered surface,
The nozzle plate can be easily attached to the actuator section. Moreover, since the wiping member smoothly moves the surface of the nozzle plate from the portion covering the chamfered surface to the portion covering the open end surface, the impact on the nozzle plate is reduced, and the problem of peeling is greatly improved. Since the edge of the nozzle plate is located on the outer surface of the actuator portion, this configuration is sufficient when the wiping member starts to come into contact with the nozzle plate from the outside of the portion covering the chamfered surface.

【0014】請求項5記載の本発明は、請求項1記載の
インクジェットヘッドにおいて、アクチュエータ部の開
放端面とそれと直交する方向の外側面との間にR処理面
が設けられ、ノズル板は、前記アクチュエータ部の開放
端面とR処理面とを覆ったもので、R処理面が存在する
ことでノズル板の曲げ角度が低減されるので、アクチュ
エータ部に対するノズル板の貼付が容易になる。また、
ワイピング部材はノズル板の表面を、R処理面を覆う部
分から開放端面を覆う部分へとスムーズに移動するの
で、ノズル板への衝撃は低減され、剥がれの問題は大幅
に改善される。この構成は、ワイピング部材がノズル板
に対して、R処理面を覆った部分から当たり始める時に
十分である。
According to a fifth aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, an R treatment surface is provided between the open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate is the above-mentioned. Since the open end surface of the actuator part and the R-processed surface are covered, the bending angle of the nozzle plate is reduced due to the existence of the R-processed surface, so that the nozzle plate can be easily attached to the actuator part. Also,
Since the wiping member smoothly moves the surface of the nozzle plate from the portion covering the R-treated surface to the portion covering the open end surface, the impact on the nozzle plate is reduced, and the problem of peeling is greatly improved. This configuration is sufficient when the wiping member starts to hit the nozzle plate from the portion covering the R processing surface.

【0015】請求項6記載の本発明は、請求項1記載の
インクジェットヘッドにおいて、アクチュエータ部の開
放端面とそれと直交する方向の外側面との間にR処理面
が設けられ、ノズル板は、前記アクチュエータ部の開放
端面とR処理面と外側面とを覆ったもので、R処理面が
存在することでノズル板の曲げ角度が低減されるので、
アクチュエータ部に対するノズル板の貼付が容易にな
る。また、ワイピング部材はノズル板の表面を、R処理
面を覆う部分から開放端面を覆う部分へとスムーズに移
動するので、ノズル板への衝撃は低減され、剥がれの問
題は大幅に改善される。この構成は、ノズル板のエッジ
はアクチュエータ部の外側面に位置しているので、ワイ
ピング部材がノズル板に対して、R処理面を覆った部分
より外側から当たり始める時に十分となる。
According to a sixth aspect of the present invention, in the ink jet head according to the first aspect, an R treatment surface is provided between the open end face of the actuator portion and an outer face in a direction orthogonal to the open end face, and the nozzle plate is the above-mentioned. The actuator unit covers the open end surface, the R-processed surface, and the outer side surface of the actuator portion, and the presence of the R-processed surface reduces the bending angle of the nozzle plate.
The nozzle plate can be easily attached to the actuator section. Further, since the wiping member smoothly moves the surface of the nozzle plate from the portion covering the R-treated surface to the portion covering the open end face, the impact on the nozzle plate is reduced, and the problem of peeling is greatly improved. Since this structure has the edge of the nozzle plate located on the outer surface of the actuator portion, it is sufficient when the wiping member starts to come into contact with the nozzle plate from outside the portion covering the R processing surface.

【0016】請求項7記載の本発明は、請求項1〜請求
項6のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおい
て、ノズル板がポリイミド樹脂により作成されたもの
で、ポリイミド樹脂は折り曲げ容易であるため、ノズル
板をアクチュエータ部に沿って折り曲げつつ貼付するこ
とができ、アクチュエータ部に対するノズル板の密着性
を確保できる。ポリイミド樹脂はレーザ加工によって非
常に精度高い穴あけ加工が可能な材料でもある。
According to a seventh aspect of the present invention, in the ink jet head according to any one of the first to sixth aspects, the nozzle plate is made of polyimide resin, and the polyimide resin is easy to bend. The nozzle plate can be attached while being bent along the actuator portion, and the adhesion of the nozzle plate to the actuator portion can be secured. Polyimide resin is also a material that can be drilled with extremely high precision by laser processing.

【0017】請求項8記載の本発明は、請求項1〜請求
項6のいずれかに記載のインクジェットヘッドにおい
て、ノズル板の表面に撥液処理が施されたもので、イン
ク液滴の付着を予防できる。
According to an eighth aspect of the present invention, in the ink jet head according to any one of the first to sixth aspects, the surface of the nozzle plate is subjected to a liquid repellent treatment to prevent ink droplets from adhering. It can be prevented.

【0018】請求項9記載の本発明は、一端が開放した
圧力室を並列に形成したアクチュエータ部に、各圧力室
に対応するノズル孔を形成したノズル板を、各圧力室が
開放した開放端面を覆うように配置し固着して圧電型の
インクジェットヘッドを製造するに際し、折り曲げしろ
を周縁部に形成した樹脂材からなる前記ノズル板を、予
め接着剤を塗布した前記アクチュエータ部に位置合わせ
して配置し、押圧することにより、前記折り曲げしろを
前記アクチュエータ部の開放端面と交わる方向の外側面
に沿わせつつ貼付することを特徴とする。
According to a ninth aspect of the present invention, a nozzle plate having nozzle holes corresponding to each pressure chamber is formed in an actuator portion in which pressure chambers having one end opened are formed in parallel, and an open end surface where each pressure chamber is opened. When manufacturing a piezoelectric inkjet head by arranging and fixing so as to cover the nozzle plate, the nozzle plate made of a resin material with a bending margin formed on the peripheral portion is aligned with the actuator portion to which an adhesive is applied in advance. By arranging and pressing, the bending margin is attached while being along the outer side surface in the direction intersecting the open end surface of the actuator portion.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態におけ
る圧電形インクジェットヘッドについて図面を参照しな
がら説明する。 (実施の形態1)図1は本発明の実施の形態1における
圧電形のインクジェットヘッドの構成を示す。この実施
の形態1のインクジェットヘッドは、先に図5を用いて
説明した従来のものとほぼ同様の構成を有しているの
で、図5をも参照しながら説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION A piezoelectric ink jet head according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. (Embodiment 1) FIG. 1 shows the structure of a piezoelectric ink jet head according to Embodiment 1 of the present invention. The ink jet head according to the first embodiment has substantially the same configuration as the conventional one described with reference to FIG. 5, and therefore the description will be given also with reference to FIG.

【0020】図1(a) に示すように、インクジェットヘ
ッドは、一端が開放した圧力室8が並列に形成された圧
電セラミックス製のアクチュエータ部9の前端面10
に、各圧力室8に対応するノズル孔11が形成されたノ
ズル板12が、前記圧力室8の開口8aを覆うように配
置され固着されている。
As shown in FIG. 1 (a), the ink jet head has a front end face 10 of an actuator portion 9 made of a piezoelectric ceramic in which pressure chambers 8 having one open end are formed in parallel.
A nozzle plate 12 having nozzle holes 11 corresponding to each pressure chamber 8 is arranged and fixed so as to cover the opening 8 a of the pressure chamber 8.

【0021】ただし、ノズル板12は有底筒状であり、
概ね直方体状をなすアクチュエータ部9の前端面10
と、この前端面10に隣接する2対の外側面9c、9d
の周縁部とを覆っている。
However, the nozzle plate 12 has a cylindrical shape with a bottom,
The front end surface 10 of the actuator portion 9 having a substantially rectangular parallelepiped shape
And two pairs of outer surfaces 9c and 9d adjacent to the front end surface 10.
Covers the periphery of the.

【0022】このインクジェットヘッドの製造方法を説
明する。ノズル板12は、50μm厚さのポリイミドフ
ィルムなどの板材を材料として、エキシマレーザーでノ
ズル孔5と外形とを加工することにより、図1(b) に
示すように、アクチュエータ部9の前端面10に対応す
る吐出領域12a’の周囲に、前端面10に隣接する4
外側面9c,9dの周縁部に対応する接着領域12c,
12dを一体に形成しておく。
A method of manufacturing this ink jet head will be described. The nozzle plate 12 is made of a plate material such as a polyimide film having a thickness of 50 μm, and the nozzle hole 5 and the outer shape are processed by an excimer laser, so that the front end face 10 of the actuator portion 9 is processed as shown in FIG. 4 adjacent to the front end face 10 around the ejection region 12a ′ corresponding to
Adhesive regions 12c corresponding to the peripheral portions of the outer side surfaces 9c, 9d,
12d is formed integrally.

【0023】そして、組み立てに際して、粘度3000
cpsの2液性エポキシ系接着剤などの接着材を多孔質
材に含浸して、アクチュエータ部9の前端面10に任意
の量だけ転写する。
When assembled, the viscosity is 3000.
A porous material is impregnated with an adhesive material such as a cps two-component epoxy adhesive agent, and an arbitrary amount is transferred to the front end surface 10 of the actuator portion 9.

【0024】このアクチュエータ部9の前端面10に対
してノズル板12の吐出領域12a’を、微細な位置調
整機構を有する専用のノズル貼付け治具を用いて、ノズ
ル孔11,圧力室8の開口8aどうし位置合わせしつつ
仮合わせする。次いで、ズレがないことを確認しなが
ら、たとえば2MPaの圧力をかけ、100℃にて60
分間放置することにより、接着剤を加熱硬化させる。
The discharge area 12a 'of the nozzle plate 12 is formed on the front end surface 10 of the actuator portion 9 by using a dedicated nozzle attaching jig having a fine position adjusting mechanism, and the nozzle hole 11 and the pressure chamber 8 are opened. 8a Temporary alignment while aligning each other. Then, while confirming that there is no deviation, a pressure of, for example, 2 MPa is applied, and the pressure is 60 at 100 ° C.
The adhesive is heat-cured by leaving it for a minute.

【0025】その後に、側面貼付治具を用いてノズル板
12の接着領域12c,12dを折り曲げつつ、アクチ
ュエータ部9の外側面9c,9dに貼付する。このとき
の接着剤と加熱硬化条件は上記と同一とする。
After that, the side surface jig is used to bend the adhesive regions 12c and 12d of the nozzle plate 12 and to attach them to the outer side surfaces 9c and 9d of the actuator portion 9. The adhesive and heat curing conditions at this time are the same as above.

【0026】このようにして製造したインクジェットヘ
ッドでは、吐出面(ノズル板12の前面)に被覆部材を
配置した従来のインクジェットヘッドのように段差がな
いので、効果的にワイピングすることができ、インクや
塵を除去できる。またノズル板12は、ポリイミドから
成るためアクチュエータ部9への密着性が高く、しかも
アクチュエータ部9の前端面10に対してだけでなく、
外側面9c,9dへも固着されているので、ワイピング
の際に剥がれにくい。
The ink-jet head manufactured in this manner has no step like the conventional ink-jet head in which the covering member is arranged on the ejection surface (the front surface of the nozzle plate 12), so that the wiping can be effectively performed and the ink And dust can be removed. Further, since the nozzle plate 12 is made of polyimide, it has high adhesion to the actuator portion 9 and is not only attached to the front end face 10 of the actuator portion 9,
Since it is also fixed to the outer side surfaces 9c and 9d, it does not easily come off during wiping.

【0027】ノズル板12とアクチュエータ部9との接
着性を評価するために、先に図8を用いて説明した方法
と同様にして、パーフロロゴムからなるワイピング材を
ノズル孔11の配列方向(図中、左右方向)に往復10
00回摺擦させ、その時のノズル板12の状態を観察し
たところ、ノズル板12に剥がれは認められなかった。
In order to evaluate the adhesiveness between the nozzle plate 12 and the actuator section 9, a wiping material made of perfluororubber is arranged in the direction of arrangement of the nozzle holes 11 (in the figure) in the same manner as described above with reference to FIG. , Left and right) 10 round trips
The nozzle plate 12 was rubbed 00 times and the state of the nozzle plate 12 was observed. No peeling was observed on the nozzle plate 12.

【0028】なお、ノズル板12の表面に含フッ素系等
の撥液層を形成しておけば、インクの付着を予め防止、
あるいは低減することができる。撥液層はたとえば、4
フッ化エチレン−6フッ化プロピレン共重合体を、スピ
ンコーターやバーコーターなどを用いて塗布し、その後
に加熱処理することにより形成する。スピンコーターを
用いる場合は、たとえば2000r.p.m.にて15秒回転
させることにより、加熱後に約2μm厚さの撥液層を形
成することが可能である。 (実施の形態2)図2は本発明の実施の形態2における
圧電形のインクジェットヘッドの構成を示す。
If a liquid-repellent layer such as a fluorine-containing system is formed on the surface of the nozzle plate 12, ink adhesion can be prevented in advance.
Alternatively, it can be reduced. The liquid-repellent layer is, for example, 4
The fluorinated ethylene-6-fluorinated propylene copolymer is applied by using a spin coater, a bar coater or the like, and then heat-treated to form the film. When a spin coater is used, it is possible to form a liquid repellent layer having a thickness of about 2 μm after heating by rotating the spin coater at 2000 rpm for 15 seconds. (Second Embodiment) FIG. 2 shows the structure of a piezoelectric ink jet head according to a second embodiment of the present invention.

【0029】このインクジェットヘッドが実施の形態1
のものと異なるのは、ノズル板12はコ字状であり、概
ね直方体状をなすアクチュエータ部9の前端面10と、
この前端面10に隣接する1対の外側面9cの周縁部と
を覆っている点である。外側面9cは、ワイピング手段
の移動方向と交わる方向の外側面である。
This ink jet head is the first embodiment.
2 is different from that of FIG. 1 in that the nozzle plate 12 is U-shaped, and has a substantially rectangular parallelepiped shape, and a front end surface 10 of the actuator portion 9.
This is a point that covers the peripheral portions of the pair of outer side surfaces 9c adjacent to the front end surface 10. The outer side surface 9c is an outer side surface in a direction intersecting the moving direction of the wiping means.

【0030】組み立て前のノズル板12は、図2(b) に
示すように、アクチュエータ部9の前端面10に対応す
る吐出領域12a’と、外側面9cの周縁部に対応する
接着領域12cとが一体に形成される。組み立てに際し
ては、ノズル板12は実施の形態1と同様してアクチュ
エータ部9に貼付される。
As shown in FIG. 2 (b), the nozzle plate 12 before assembly has a discharge area 12a 'corresponding to the front end surface 10 of the actuator portion 9 and an adhesive area 12c corresponding to the peripheral portion of the outer surface 9c. Are integrally formed. At the time of assembly, the nozzle plate 12 is attached to the actuator unit 9 as in the first embodiment.

【0031】このようにして製造したインクジェットヘ
ッドについて、ノズル板12とアクチュエータ部9との
接着性を評価するために、実施の形態1と同様にして、
パーフロロゴムからなるワイピング材を往復1000回
摺擦させ、その時のノズル板12の状態を観察したとこ
ろ、ノズル板12に剥がれは認められなかった。 (実施の形態3)図3は本発明の実施の形態3における
圧電形のインクジェットヘッドの構成を示す。
In order to evaluate the adhesiveness between the nozzle plate 12 and the actuator section 9 of the ink jet head manufactured in this way, the same procedure as in the first embodiment is carried out.
When the wiping material made of perfluororubber was rubbed 1000 times back and forth and the state of the nozzle plate 12 at that time was observed, no peeling was observed on the nozzle plate 12. (Third Embodiment) FIG. 3 shows the structure of a piezoelectric ink jet head according to a third embodiment of the present invention.

【0032】このインクジェットヘッドが実施の形態1
のものと異なるのは、概ね直方体状をなすアクチュエー
タ部9の前端面10とそれと直交する方向の外側面9c
との間に、研磨や切削加工などの面取り加工により面取
り面(前端面10と外側面9cのいずれとも交わる方向
の斜面)9eが設けられ、ノズル板12は、アクチュエ
ータ部9の前端面10と面取り面9eと外側面9cの周
縁部とを覆っている点である。
This ink jet head is the first embodiment.
3 is different from that of FIG. 1 in that the front end surface 10 of the actuator portion 9 having a substantially rectangular parallelepiped shape and the outer surface 9c in a direction orthogonal to the front end surface 10
A chamfered surface (an inclined surface in a direction intersecting with both the front end surface 10 and the outer surface 9c) 9e is provided between the nozzle plate 12 and the front end surface 10 of the actuator portion 9 by polishing or cutting. This is a point that covers the chamfered surface 9e and the peripheral edge of the outer surface 9c.

【0033】これによれば、面取り面9eが存在するこ
とでノズル板12の曲げ角度が低減されるので、アクチ
ュエータ部9に対するノズル板12の貼付が容易にな
る。また、ワイピング部材はノズル板12の表面を、面
取り面9eを覆った部分から前端面10を覆った部分へ
とスムーズに移動することになるので、ノズル板12へ
の衝撃は低減され、剥がれの問題は大幅に改善される。
この構成は、ワイピング部材の先端部がノズル板12に
対して、面取り面9eを覆った部分より外側から当たり
始める時に効果的である。
According to this, since the bending angle of the nozzle plate 12 is reduced by the presence of the chamfered surface 9e, the nozzle plate 12 can be easily attached to the actuator portion 9. Further, since the wiping member smoothly moves the surface of the nozzle plate 12 from the portion covering the chamfered surface 9e to the portion covering the front end face 10, the impact on the nozzle plate 12 is reduced and the nozzle plate 12 is not peeled off. The problem is greatly improved.
This configuration is effective when the tip portion of the wiping member starts to contact the nozzle plate 12 from the outside of the portion that covers the chamfered surface 9e.

【0034】ワイピング材の先端部が面取り面9eから
接触し始めるように構成されている場合は、図4に示し
たように、ノズル板12を、アクチュエータ部9の前端
面10と面取り面9eのみを覆うように設けてもよい。
When the tip of the wiping member is constructed so as to start contacting with the chamfered surface 9e, the nozzle plate 12 is attached only to the front end surface 10 of the actuator portion 9 and the chamfered surface 9e as shown in FIG. You may provide so that it may cover.

【0035】なお、この実施の形態3では、アクチュエ
ータ部9の前端面10の両側に面取り加工を施すように
したが、アクチュエータ部9の前端面10の四方の全て
に面取り加工を施し、実施の形態1のような有底筒状ノ
ズル板12を配置するようにしてもよい。 (実施の形態4)図5は本発明の実施の形態4における
圧電形のインクジェットヘッドの構成を示す。
In the third embodiment, the chamfering process is performed on both sides of the front end face 10 of the actuator portion 9. However, the chamfering process is performed on all four sides of the front end face 10 of the actuator portion 9, and the chamfering process is performed. You may make it arrange | position the bottomed cylindrical nozzle plate 12 like the form 1. (Fourth Embodiment) FIG. 5 shows the structure of a piezoelectric ink jet head according to a fourth embodiment of the present invention.

【0036】このインクジェットヘッドが実施の形態1
のものと異なるのは、概ね直方体状をなすアクチュエー
タ部9の前端面10とそれと直交する方向の外側面9c
との間に、研磨や切削加工などのR処理加工によりR処
理面9fが設けられ、ノズル板12は、アクチュエータ
部9の前端面10とR処理面9fと外側面9cの周縁部
とを覆っている点である。
This ink jet head is the first embodiment.
3 is different from that of FIG. 1 in that the front end surface 10 of the actuator portion 9 having a substantially rectangular parallelepiped shape and the outer surface 9c in a direction orthogonal to the front end surface 10
R processing surface 9f is provided by R processing such as polishing and cutting between the nozzle and the nozzle plate 12, and the nozzle plate 12 covers the front end surface 10 of the actuator portion 9, the R processing surface 9f, and the peripheral portion of the outer surface 9c. That is the point.

【0037】これによれば、R処理面9fが存在するこ
とでノズル板12の曲げ角度が低減されるので、アクチ
ュエータ部9に対するノズル板12の貼付が容易にな
る。また、ワイピング部材はノズル板12の表面を、R
処理面9fを覆った部分から前端面10を覆った部分へ
とスムーズに移動することになるので、ノズル板12へ
の衝撃は低減され、剥がれの問題は大幅に改善される。
この構成は、ワイピング部材の先端部がノズル板12に
対して、R処理面9fを覆った部分より外側から当たり
始める時に効果的である。
According to this, since the bending angle of the nozzle plate 12 is reduced due to the existence of the R processed surface 9f, the nozzle plate 12 can be easily attached to the actuator portion 9. Further, the wiping member is provided on the surface of the nozzle plate 12,
Since it moves smoothly from the portion covering the processing surface 9f to the portion covering the front end surface 10, the impact on the nozzle plate 12 is reduced, and the problem of peeling is greatly improved.
This configuration is effective when the tip portion of the wiping member starts to come into contact with the nozzle plate 12 from the outside of the portion covering the R processing surface 9f.

【0038】ワイピング材の先端部がR処理面9fから
接触し始めるように構成されている場合は、図6に示し
たように、ノズル板12を、アクチュエータ部9の前端
面10とR処理面9fのみを覆うように設けてもよい。
When the tip of the wiping member is configured to start contact with the R processing surface 9f, the nozzle plate 12 is connected to the front end surface 10 of the actuator portion 9 and the R processing surface as shown in FIG. You may provide so that only 9f may be covered.

【0039】なお、この実施の形態4では、アクチュエ
ータ部9の前端面10の両側にR処理加工を施すように
したが、アクチュエータ部9の前端面10の四方の全て
にR処理加工を施し、実施の形態1のような有底筒状ノ
ズル板12を配置するようにしてもよい。
In the fourth embodiment, the R treatment is applied to both sides of the front end face 10 of the actuator portion 9, but the R treatment is applied to all four sides of the front end face 10 of the actuator portion 9, You may make it arrange | position the bottomed cylindrical nozzle plate 12 like Embodiment 1.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施の形態1における圧電形インクジ
ェットヘッドの構成、およびその構成部材であるノズル
板の組み立て前の形状を示す説明図
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a piezoelectric inkjet head according to a first embodiment of the present invention and a shape of a nozzle plate, which is a component thereof, before being assembled.

【図2】本発明の実施の形態2における圧電形インクジ
ェットヘッドの構成、およびその構成部材であるノズル
板の組み立て前の形状を示す説明図
FIG. 2 is an explanatory diagram showing a configuration of a piezoelectric inkjet head according to a second embodiment of the present invention and a shape of a nozzle plate that is a component thereof before assembly.

【図3】本発明の実施の形態3における圧電形インクジ
ェットヘッドの構成を示す平面図
FIG. 3 is a plan view showing the configuration of a piezoelectric inkjet head according to a third embodiment of the present invention.

【図4】図3のインクジェットヘッドとノズル板の配置
が異なる圧電形インクジェットヘッドの平面図
FIG. 4 is a plan view of a piezoelectric inkjet head having a different arrangement of nozzle plates from the inkjet head of FIG.

【図5】本発明の実施の形態4における圧電形のインク
ジェットヘッドの構成を示す平面図
FIG. 5 is a plan view showing the configuration of a piezoelectric inkjet head according to a fourth embodiment of the present invention.

【図6】図5のインクジェットヘッドとノズル板の配置
が異なる圧電形インクジェットヘッドの平面図
FIG. 6 is a plan view of a piezoelectric ink jet head in which the arrangement of the nozzle plate and the ink jet head of FIG. 5 is different.

【図7】従来の圧電形インクジェットヘッドの構成を示
す説明図
FIG. 7 is an explanatory diagram showing a configuration of a conventional piezoelectric inkjet head.

【図8】図7のインクジェットヘッドをワイピングする
状態を示す説明図
FIG. 8 is an explanatory diagram showing a state in which the inkjet head of FIG. 7 is wiped.

【図9】従来の他の圧電形インクジェットヘッドの構成
を示す説明図
FIG. 9 is an explanatory diagram showing the configuration of another conventional piezoelectric inkjet head.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

8 圧力室 9 アクチュエータ部 9c,9d 外側面 9e 面取り面 9f R処理面 10 前端面(開放端面) 11 ノズル孔 12 ノズル板 12c,12d 接着領域(折り曲げ部) 8 pressure chambers 9 Actuator part 9c, 9d outer surface 9e Chamfer 9f R treated surface 10 Front end face (Open end face) 11 Nozzle hole 12 nozzle plate 12c, 12d Bonding area (folded part)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉本 博文 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 (72)発明者 大賀 隆義 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 (72)発明者 瀬尾 直之 香川県高松市古新町8番地の1 松下寿電 子工業株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF65 AF93 AG12 AP13 AP25 AP57 AP60 AP72 BA03 BA14   ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    (72) Inventor Hirofumi Sugimoto             1 Juden Matsushita, 1-8 Koshinmachi, Takamatsu City, Kagawa Prefecture             Child Industry Co., Ltd. (72) Inventor Takayoshi Oga             1 Juden Matsushita, 1-8 Koshinmachi, Takamatsu City, Kagawa Prefecture             Child Industry Co., Ltd. (72) Inventor Naoyuki Seo             1 Juden Matsushita, 1-8 Koshinmachi, Takamatsu City, Kagawa Prefecture             Child Industry Co., Ltd. F-term (reference) 2C057 AF65 AF93 AG12 AP13 AP25                       AP57 AP60 AP72 BA03 BA14

Claims (9)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 一端が開放した圧力室を並列に形成した
アクチュエータ部に、各圧力室に対応するノズル孔を形
成したノズル板を、各圧力室が開放した開放端面を覆う
ように配置し固着した圧電型のインクジェットヘッドに
おいて、 前記ノズル板に、前記アクチュエータ部の開放端面と交
わる方向の外側面に沿う折り曲げ部が形成されたインク
ジェットヘッド。
1. A nozzle plate having nozzle holes corresponding to the pressure chambers is arranged and fixed to an actuator portion in which pressure chambers each having one end opened are arranged in parallel so as to cover the open end face of each pressure chamber. In the piezoelectric type inkjet head described above, the nozzle plate has a bent portion formed along an outer surface in a direction intersecting with the open end surface of the actuator portion.
【請求項2】 ノズル板の折り曲げ部は、前記ノズル板
の吐出面をワイピングするワイピング手段の移動方向と
交わる方向に沿ったアクチュエータ部の外側面を覆った
請求項1記載のインクジェットヘッド。
2. The ink jet head according to claim 1, wherein the bent portion of the nozzle plate covers an outer surface of the actuator portion along a direction intersecting a moving direction of a wiping unit that wipes a discharge surface of the nozzle plate.
【請求項3】 アクチュエータ部の開放端面とそれと直
交する方向の外側面との間に面取り面が設けられ、ノズ
ル板は、前記アクチュエータ部の開放端面と面取り面と
を覆った請求項1記載のインクジェットヘッド。
3. The chamfered surface is provided between an open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate covers the open end surface and the chamfered surface of the actuator portion. Inkjet head.
【請求項4】 アクチュエータ部の開放端面とそれと直
交する方向の外側面との間に面取り面が設けられ、ノズ
ル板は、前記アクチュエータ部の開放端面と面取り面と
外側面とを覆った請求項1記載のインクジェットヘッ
ド。
4. A chamfered surface is provided between an open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate covers the open end surface, the chamfered surface and the outer surface of the actuator portion. 1. The inkjet head according to 1.
【請求項5】 アクチュエータ部の開放端面とそれと直
交する方向の外側面との間にR処理面が設けられ、ノズ
ル板は、前記アクチュエータ部の開放端面とR処理面と
を覆った請求項1記載のインクジェットヘッド。
5. The R processing surface is provided between the open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate covers the open end surface and the R processing surface of the actuator portion. The described inkjet head.
【請求項6】 アクチュエータ部の開放端面とそれと直
交する方向の外側面との間にR処理面が設けられ、ノズ
ル板は、前記アクチュエータ部の開放端面とR処理面と
外側面とを覆った請求項1記載のインクジェットヘッ
ド。
6. An R processing surface is provided between an open end surface of the actuator portion and an outer surface in a direction orthogonal to the open end surface, and the nozzle plate covers the open end surface, the R processing surface and the outer surface of the actuator portion. The inkjet head according to claim 1.
【請求項7】 ノズル板がポリイミド樹脂により作成さ
れた請求項1〜請求項6のいずれかに記載のインクジェ
ットヘッド。
7. The ink jet head according to claim 1, wherein the nozzle plate is made of a polyimide resin.
【請求項8】 ノズル板の表面に撥液処理が施された請
求項1〜請求項6のいずれかに記載のインクジェットヘ
ッド。
8. The ink jet head according to claim 1, wherein the surface of the nozzle plate is subjected to a liquid repellent treatment.
【請求項9】 一端が開放した圧力室を並列に形成した
アクチュエータ部に、各圧力室に対応するノズル孔を形
成したノズル板を、各圧力室が開放した開放端面を覆う
ように配置し固着して圧電型のインクジェットヘッドを
製造するに際し、 折り曲げしろを周縁部に形成した樹脂材からなる前記ノ
ズル板を、予め接着剤を塗布した前記アクチュエータ部
に位置合わせして配置し、押圧することにより、前記折
り曲げしろを前記アクチュエータ部の開放端面と交わる
方向の外側面に沿わせつつ貼付するインクジェットヘッ
ドの製造方法。
9. A nozzle plate having nozzle holes corresponding to each pressure chamber is arranged and fixed to an actuator portion in which pressure chambers having one end opened are arranged in parallel so as to cover the open end face of each pressure chamber. When manufacturing a piezoelectric ink jet head, the nozzle plate made of a resin material with a bending margin formed on the peripheral portion is aligned with the actuator portion coated with an adhesive in advance and pressed. A method for manufacturing an inkjet head, in which the folding margin is applied along an outer surface in a direction intersecting the open end surface of the actuator portion.
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