JP4661126B2

JP4661126B2 - Ink jet recording head and method of manufacturing ink jet recording head

Info

Publication number: JP4661126B2
Application number: JP2004233584A
Authority: JP
Inventors: 虎彦神田
Original assignee: Fuji Xerox Co Ltd; Fujifilm Business Innovation Corp
Current assignee: Fujifilm Business Innovation Corp
Priority date: 2004-08-10
Filing date: 2004-08-10
Publication date: 2011-03-30
Anticipated expiration: 2024-08-10
Also published as: JP2006051640A

Description

本発明は、インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to an inkjet recording head and a method for manufacturing an inkjet recording head.

インクジェット記録ヘッドは、常に安定して高い印字品位を維持するため、インク滴の吐出特性（例えば、インク滴の吐出方向、インク滴径、インク滴速度等）が安定している必要がある。 Ink jet recording heads always need to have stable ink droplet ejection characteristics (for example, ink droplet ejection direction, ink droplet diameter, ink droplet velocity, etc.) in order to maintain high print quality stably.

しかし、インク滴をノズルから吐出した際に発生するサテライト滴等の微細なインクミストやゴミなどのノズルの周縁部への付着、ノズルからインクが溢れるオーバーシュート現象などによって、ノズルの周縁部のインクの濡れが不均一となると、インク滴の吐出特性は不安定になる。 However, the ink on the peripheral edge of the nozzle is caused by the adhesion of fine ink mist such as satellite droplets generated when the ink droplet is ejected from the nozzle or dust to the peripheral edge of the nozzle, or the overshoot phenomenon that the ink overflows from the nozzle. If the wetting of the ink becomes uneven, the ejection characteristics of the ink droplets become unstable.

したがって、ノズルの周縁部のインク濡れを均一にするために、インクを弾く撥液膜をノズル面に形成するとともに、定期的にノズル表面をワイパーでワイピングしてインクやゴミを除去している。しかし、ノズル面の撥液膜は、例えば、記録用紙の擦れやワイピング等による機械的な摩擦によって破壊されることがある。 Therefore, in order to make the ink wetting at the periphery of the nozzle uniform, a liquid repellent film that repels ink is formed on the nozzle surface, and the nozzle surface is periodically wiped with a wiper to remove ink and dust. However, the liquid repellent film on the nozzle surface may be destroyed by mechanical friction due to, for example, rubbing of recording paper or wiping.

よって、このような機械的な摩擦を防止するため、ノズルの周囲にザグリ（段差）を設ける構成が知られている。（例えば、特許文献１差参照）。 Therefore, in order to prevent such mechanical friction, a structure in which counterbore (step) is provided around the nozzle is known. (For example, see Patent Document 1 difference).

そして、このザグリの径はノズルの２倍から８倍であり、ザグリの深さ（段差）は５０μｍ以下が良いとされている。（例えば、特許文献２差参照）。 The diameter of the counterbore is 2 to 8 times that of the nozzle, and the depth (step) of the counterbore is preferably 50 μm or less. (For example, see Patent Document 2 difference).

また、ザグリの具体的な製造方法については、放電加工、フォトエッチング、ポンチによるプレス加工、レーザ加工などが用いられている。（例えば、特許文献３参照）。 Further, as a specific method for manufacturing the counterbore, electric discharge machining, photoetching, press working with a punch, laser machining, and the like are used. (For example, refer to Patent Document 3).

あるいは、ノズルが形成されたプレートに、ザグリとなる孔をもつ金属プレートを積層して、ノズルの周囲にザグリ（段差）を形成する方法が開示されている。（例えば、特許文献４参照）。
特開平４−１６９２３８号公報特開平４−１７６６５７号公報特開平５−１５５０２７号公報特開平４−２３４６６５号公報 Alternatively, a method is disclosed in which a metal plate having a counterbore hole is stacked on a plate on which a nozzle is formed, and a counterbore (step) is formed around the nozzle. (For example, refer to Patent Document 4).
JP-A-4-169238 Japanese Patent Laid-Open No. 4-176657 Japanese Patent Laid-Open No. 5-155027 JP-A-4-234665

しかし、例えば、図１６（Ａ）に示すように、ワイパーブレード５２０でワイピングしても完全には拭き取られずに、図１６（Ｂ）に示すように、若干拭き残しインク５５０が生じる。この拭き残しインク５５０が、どこに拭き残されるかは、単純に確率の問題である。よって、図１６（Ｂ）に示すように、偶然ノズル１０の周縁部に拭き残しインク５５０Ａが拭き残されることもある。そして、このようにノズル１０の周縁部に拭き残しインク５５０Ａがあると、ノズル１０の周縁部のインクの濡れが不均一となり、インク滴の吐出特性（インク滴の吐出方向、インク滴径、インク滴の滴速度等）が安定せず、印字品位が低下する。 However, for example, as shown in FIG. 16A, even if wiping is performed with the wiper blade 520, the ink is not completely wiped off, and as shown in FIG. Where the unwiped ink 550 is left unwiped is simply a matter of probability. Therefore, as shown in FIG. 16B, the ink 550A left unwiped on the peripheral edge of the nozzle 10 may be accidentally left unwiped. If there is ink 550A left unwiped at the peripheral edge of the nozzle 10 in this way, the ink wets at the peripheral edge of the nozzle 10 becomes non-uniform, and the ink droplet ejection characteristics (ink droplet ejection direction, ink droplet diameter, ink The drop speed, etc.) is not stable and the print quality is reduced.

本発明は、上記問題を解決すべく成されたもので、ノズルの周縁部のインクの濡れを均一にし、吐出特性が安定したインクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and an object thereof is to provide an ink jet recording head having uniform ink wetting at the peripheral portion of a nozzle and having stable ejection characteristics, and a method for manufacturing the ink jet recording head. To do.

請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、少なくとも前記ノズルの周縁部には、前記インクを弾く撥液膜が形成され、前記ザグリの壁面には前記撥液膜が形成されていない領域を有し、前記ノズルと前記撥液膜が形成されたノズル面にザグリプレートが接合され、前記ザグリプレートに前記サグリとなるザグリ孔が形成され、前記ザグリプレートは、前記ノズル面との接合面に該ノズル面の前記撥液膜を貫通する複数の突起部を備えることを特徴としている。
The inkjet recording head according to claim 1, wherein the inkjet recording head includes a nozzle that ejects ink and a counterbore formed around the nozzle, and the ink is repelled at least at a peripheral portion of the nozzle. A liquid repellent film is formed, the wall surface of the counterbore has a region where the liquid repellent film is not formed, and a counterbore plate is bonded to the nozzle and the nozzle surface on which the liquid repellent film is formed. The counterbore plate is provided with a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface at the joint surface with the nozzle surface .

請求項１に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクを弾く撥液膜が少なくともノズルの周縁部に形成されている。よって、ノズルの周縁部のインク濡れが均一となるので、インクの吐出特性（例えば、インク滴の吐出方向、インク滴径、インク滴速度等）が安定する。また、ノズルの周囲にはザグリに形成されている。このため、例えば、記録用紙の擦れやワイパーによるワイピング等による機械的な摩擦によるノズル周縁部の撥液膜の破壊が防止される。 In the ink jet recording head according to the first aspect, a liquid repellent film that repels ink is formed at least on the peripheral edge of the nozzle. Therefore, ink wetting at the peripheral edge of the nozzle becomes uniform, and ink ejection characteristics (for example, ink droplet ejection direction, ink droplet diameter, ink droplet velocity, etc.) are stabilized. Further, a counterbore is formed around the nozzle. For this reason, for example, breakage of the liquid repellent film on the peripheral edge of the nozzle due to mechanical friction such as rubbing of the recording paper or wiping with a wiper is prevented.

更に、ザグリの壁面には撥液膜が形成されていない領域を有する。この撥液膜液が形成されていない領域はインクが付着しやすい。このため、撥液膜が形成されたノズル周縁部より、ザグリの壁面はインクが付着しやすい。よって、例えば、ワイパーでワイピングしても、ザグリ壁面に拭き残しインクが貯まり、ノズルの周縁部には吹き残しインクは残らない。したがって、ノズル周縁部のインクの濡れが均一となり、吐出特性が安定する。
また、ノズルと撥液膜が形成されたノズル面にザグリプレートが接合され、ザグリプレートにサグリとなるザグリ孔が形成されている。したがって、ザグリの大きさや形状は、ザグリプレートの厚みやザグリ孔の加工形状によって、容易に管理できるので好適である。
また、ザグリプレートはノズル面との接合面にノズル面の撥液膜を貫通する複数の突起部を備えている。よって、撥液膜上にはザグリプレートを接合にしくいが、突起部が撥液膜を貫通するのでノズル面とザグリプレートとを容易に、かつ強固に接合できる。
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドは、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドにおいて、少なくとも前記ノズルの周縁部には、前記インクを弾く撥液膜が形成され、前記ザグリの壁面には前記撥液膜が形成されていない領域を有し、前記ノズルと前記撥液膜が形成されたノズル面にザグリプレートが接合され、前記ザグリプレートに前記サグリとなるザグリ孔が形成され、前記ザグリプレートと前記ノズル面とは接着剤で接合され、前記接着剤には前記ノズル面の前記撥液膜を貫通する粒子が混合されていることを特徴としている。
請求項２に記載のインクジェット記録ヘッドは、ザグリプレートとノズル面とは接着剤で接合されている。撥液膜上にはザグリプレートを接着剤で接着しにくい。しかし、接着剤に混合されている粒子が撥液膜を貫通するので、ノズル面とザグリプレートとを容易に、かつ強固に接着できる。
Further, the counterbore wall has a region where no liquid repellent film is formed. Ink is likely to adhere to a region where the liquid repellent film liquid is not formed. For this reason, the ink tends to adhere to the wall surface of the counterbore from the peripheral edge of the nozzle on which the liquid repellent film is formed. Therefore, for example, even if wiping with a wiper, ink left unwiped on the counterbore wall is accumulated, and ink left behind is not left on the peripheral edge of the nozzle. Therefore, the ink is uniformly wet at the peripheral edge of the nozzle, and the ejection characteristics are stabilized.
Further, a counterbore plate is joined to the nozzle surface on which the nozzle and the liquid repellent film are formed, and a counterbore hole serving as a counterbore is formed in the counterbore plate. Therefore, the size and shape of the counterbore are suitable because they can be easily managed by the thickness of the counterbore plate and the shape of the counterbore hole.
The counterbore plate includes a plurality of protrusions that penetrate the liquid-repellent film on the nozzle surface on the joint surface with the nozzle surface. Therefore, it is difficult to bond the counterbore plate on the liquid repellent film, but since the protrusion penetrates the liquid repellent film, the nozzle surface and the counterbore plate can be easily and firmly bonded.
The ink jet recording head according to claim 2, wherein the ink jet recording head includes a nozzle for ejecting ink and a counterbore formed around the nozzle, and the ink is repelled at least at a peripheral portion of the nozzle. A liquid repellent film is formed, the wall surface of the counterbore has a region where the liquid repellent film is not formed, and a counterbore plate is bonded to the nozzle surface on which the liquid repellent film is formed, and the counterbore plate A counterbore hole serving as the sagging is formed, the counterbore plate and the nozzle surface are joined with an adhesive, and the adhesive is mixed with particles penetrating the liquid repellent film on the nozzle surface. It is a feature.
In the ink jet recording head according to the second aspect, the counterbore plate and the nozzle surface are joined by an adhesive. It is difficult to bond the counterbore plate with an adhesive on the liquid repellent film. However, since the particles mixed in the adhesive penetrate the liquid repellent film, the nozzle surface and the counterbore plate can be easily and firmly bonded.

請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項１又は請求項２に記載の構成において、前記撥液膜が形成されていない領域は、前記ザグリの壁面の全周にわたって繋がって存在することを特徴としている。
According to a third aspect of the present invention, there is provided the ink jet recording head according to the first or second aspect , wherein the region where the liquid repellent film is not formed is connected over the entire circumference of the wall surface of the counterbore. It is a feature.

請求項３に記載のインクジェット記録ヘッドは、ザグリの壁面の全周にわたって繋がって、撥液膜が形成されていない領域が存在する。換言すると、ノズルの周縁部の撥液膜から連続する撥液膜が形成されていない領域がザグリの壁面の全周にわたって存在している。よって、ザグリの壁面の全周にわたってインクが付着しやすい領域が存在するので、例えば、ワイパーでワイピングしても、ザグリの壁面の全周にわたって拭き残しインクが貯まるので、より効果的にノズルの周縁部に吹き残しインクを残さない。
In the ink jet recording head according to the third aspect, there is an area where the liquid repellent film is not formed so as to be connected over the entire circumference of the counterbore wall. In other words, a region where a continuous liquid repellent film is not formed from the liquid repellent film at the peripheral edge of the nozzle exists over the entire circumference of the counterbore wall. Therefore, there is a region where ink tends to adhere to the entire circumference of the counterbore wall. For example, even if wiping with a wiper, the remaining ink is collected over the entire circumference of the counterbore wall, so that the periphery of the nozzle is more effectively Do not leave ink on the part.

請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の構成において、前記ノズル面の前記ザグリプレートと接合する領域の前記撥液膜は部分的に除去され、該ノズル面が部分的に露出する非膜部を有していることを特徴としている。
The inkjet recording head according to claim 4 is the configuration according to any one of claims 1 to 3 , wherein the liquid repellent film in a region of the nozzle surface joined to the counterbore plate is partially removed. The nozzle surface has a non-film portion that is partially exposed.

請求項４に記載のインクジェット記録ヘッドは、ノズル面のザグリプレートと接合する領域の撥液膜は部分的に除去され、ノズル面が部分的に露出する非膜部を有している。撥液膜上にはザグリプレートを接合にしくいが、非膜部を有しているのでノズル面とザグリプレートとを、例えば、接着剤や熱溶着などで容易に、かつ強固に接着できる。 According to a fourth aspect of the present invention, the liquid repellent film in the region where the nozzle surface is joined to the counterbore plate is partially removed, and the non-film portion where the nozzle surface is partially exposed is provided. Although it is difficult to bond the counterbore plate on the liquid repellent film, the nozzle surface and the counterbore plate can be easily and firmly bonded to each other by, for example, an adhesive or heat welding because the non-film portion is provided.

請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の構成において、前記ノズル面と前記ザグリプレートとは、熱膨張率が略等しい材質であることを特徴としている。
The inkjet recording head according to claim 5 is the configuration according to any one of claims 1 to 4 , wherein the nozzle surface and the counterbore plate are made of a material having substantially the same coefficient of thermal expansion. It is a feature.

請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドは、ノズル面とザグリプレートとは、熱膨張率が略等しい材質である。よって、ノズル面とザグリプレートとを接合後に温度が変化しても、ノズル面とザグリプレートとは同じように熱膨張する。したがって、熱膨張差による不具合、例えば、ノズル面の反りやウネリ、あるいはノズル面とザグリプレートとの接合不良などが防止される。
In the ink jet recording head according to claim 5 , the nozzle surface and the counterbore plate are made of a material having substantially the same thermal expansion coefficient. Therefore, even if the temperature changes after joining the nozzle surface and the counterbore plate, the nozzle surface and the counterbore plate thermally expand in the same manner. Therefore, problems due to the difference in thermal expansion, for example, warpage or undulation of the nozzle surface, or poor bonding between the nozzle surface and the counterbore plate, can be prevented.

請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドは、請求項５に記載の構成において、前記ノズル面と前記ザグリプレートとは、同材質であることを特徴としている。
According to a sixth aspect of the invention , in the configuration of the fifth aspect , the nozzle surface and the counterbore plate are made of the same material.

請求項６に記載のインクジェット記録ヘッドは、ノズル面とザグリプレートとは同材質であるので、熱膨張率が略等しい。よって、請求項５と同様の作用を奏す。
In the ink jet recording head according to the sixth aspect, since the nozzle surface and the counterbore plate are made of the same material, the coefficients of thermal expansion are substantially equal. Thus, the same effect as that of claim 5 is obtained.

請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第２工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第３工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第４工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第５工程は、複数の突起部を有する工具を前記ノズル面に圧接し、前記突起部で前記撥液膜を部分的に破壊して除去し、前記ノズル面が露出する非膜部を形成した後、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴している。
請求項１０に記載に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第２工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第３工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第４工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第４工程は、複数の突起部を有する工具を前記ノズル面に圧接し、前記突起部で前記撥液膜を部分的に破壊して除去し、前記ノズル面が露出する非膜部を形成した後、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第２工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第３工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第４工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第４工程は、複数の突起部を有する工具を前記ノズル面に圧接し、前記突起部で前記撥液膜を部分的に破壊して除去し、前記ノズル面が露出する非膜部を形成した後、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
請求項１６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第２工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第３工程と、前記ノズル面に前記ノズルと、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔と、を形成する第４工程と、を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第３工程は、複数の突起部を有する工具を前記ノズル面に圧接し、前記突起部で前記撥液膜を部分的に破壊して除去し、前記ノズル面が露出する非膜部を形成した後、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
8. The method of manufacturing an ink jet recording head according to claim 7, wherein the nozzle is formed in the method of manufacturing an ink jet recording head comprising a nozzle for ejecting ink and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming the nozzle on the nozzle surface; a third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; and a fourth step of forming a countersunk hole as a counterbore, and a fifth step of joining said counterbore plate to the nozzle face, Bei example, said fifth step of joining said counterbore plate to the nozzle surface, a plurality of A tool having a protrusion is pressed against the nozzle surface, and the liquid repellent film is partially destroyed and removed by the protrusion to form a non-film portion from which the nozzle surface is exposed. It is characterized by bonding the replated on the nozzle surface.
The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 10, wherein the nozzle is formed in a method for manufacturing an ink jet recording head comprising a nozzle for ejecting ink and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the nozzle surface, a second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate, and a third step of forming a counterbore hole serving as the counterbore on the counterbore plate; A fourth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface, and a fifth step of forming the nozzle on the nozzle surface, wherein the fourth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface includes a plurality of steps After the tool having a protrusion is pressed against the nozzle surface, the liquid-repellent film is partially destroyed and removed by the protrusion, and a non-film portion exposing the nozzle surface is formed. It is characterized by joining the counterbore plate to the nozzle face.
14. The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 13, wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle for ejecting ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a surface; a second step of forming the nozzle on the nozzle surface; a third step of forming a liquid repellent film on a counterbore plate; A fourth step of bonding to the nozzle surface, and a fifth step of forming a counterbore hole serving as the counterbore in the counterbore plate, wherein the fourth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface includes a plurality of protrusions A tool having a portion is pressed against the nozzle surface, the liquid repellent film is partially destroyed and removed by the protrusion, and a non-film portion exposing the nozzle surface is formed. It is characterized by joining the grease plate to the nozzle face.
The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 16, wherein the nozzle is provided with a nozzle for ejecting ink and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; a third step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface; A fourth step of forming the nozzle and a counterbore hole serving as the counterbore in the counterbore plate, and the third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes a plurality of protrusions. Is pressed against the nozzle surface, the liquid-repellent film is partially destroyed and removed by the protrusions, and a non-film portion exposing the nozzle surface is formed, and then the counterbore plate is It is characterized in that joined to the nozzle surface.

請求項７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、第１工程でノズルが形成されるノズル面にインクを弾く撥液膜を形成する。第２工程でノズル面にノズルを形成する。第３工程でザグリプレートに撥液膜を形成する。第４工程でザグリとなるザグリ孔を形成する。そして、第５工程でザグリプレートを、ノズル面に接合する。
請求項１０に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、第１工程でノズルが形成されるノズル面にインクを弾く撥液膜を形成し、第２工程でザグリプレートに撥液膜を形成する。第３工程でザグリプレートにザグリとなるザグリ孔を形成する。第４程でザグリプレートをノズル面に接合する。そして、第５工程でノズル面にノズルを形成する。
請求項１３に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、第１工程でノズルが形成されるノズル面にインクを弾く撥液膜を形成し、第２工程でノズル面にノズルを形成する。第３工程でザグリプレートに撥液膜を形成する。第４工程でザグリプレートを前記ノズル面に接合する。第５工程でザグリプレートにザグリとなるザグリ孔を形成する。
請求項１６に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、第１工程でノズルが形成されるノズル面にインクを弾く撥液膜を形成し、第２工程でザグリプレートに撥液膜を形成する。第３工程でザグリプレートをノズル面に接合する。そして、第４工程で、ノズル面にノズルと、ザグリプレートにザグリとなるザグリ孔と、を形成する。
According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet recording head, wherein a liquid repellent film that repels ink is formed on a nozzle surface on which nozzles are formed in the first step. In the second step, nozzles are formed on the nozzle surface. In the third step, a liquid repellent film is formed on the counterbore plate. In the fourth step, counterbore holes to be counterbore are formed. Then, in the fifth step, the counterbore plate is joined to the nozzle surface.
According to a tenth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an ink jet recording head, wherein a liquid repellent film that repels ink is formed on a nozzle surface where nozzles are formed in a first step, and a liquid repellent film is formed on a counterbore plate in a second step. In the third step, counterbore holes to be counterbore are formed in the counterbore plate. The counterbore plate is joined to the nozzle surface in the fourth step. In the fifth step, nozzles are formed on the nozzle surface.
In the ink jet recording head manufacturing method according to the thirteenth aspect, a liquid repellent film that repels ink is formed on the nozzle surface where the nozzle is formed in the first step, and the nozzle is formed on the nozzle surface in the second step. In the third step, a liquid repellent film is formed on the counterbore plate. In the fourth step, a counterbore plate is joined to the nozzle surface. In the fifth step, counterbore holes to be counterbore are formed in the counterbore plate.
According to a sixteenth aspect of the present invention, a liquid repellent film that repels ink is formed on a nozzle surface on which nozzles are formed in the first step, and a liquid repellent film is formed on a counterbore plate in the second step. In the third step, the counterbore plate is joined to the nozzle surface. In the fourth step, a nozzle is formed on the nozzle surface, and a counterbore hole serving as a counterbore is formed in the counterbore plate.

このようにザグリプレートに撥液膜を形成後にザグリとなるザグリ孔を形成しているので、ザグリの壁面には撥液膜が形成されていない。よって、請求項１と同様の作用を奏す。また、ザグリの大きさや形状は、ザグリプレートの厚みやザグリ孔の加工形状によって容易に管理できる。 Thus, since the counterbore hole which becomes a counterbore is formed after forming the liquid repellent film on the counterbore plate, the liquid repellent film is not formed on the wall surface of the counterbore. Therefore, the same effect as that of the first aspect is achieved. Also, the size and shape of the counterbore can be easily managed by the thickness of the counterbore plate and the shape of the counterbore hole.

更に、撥液膜は凸凹がない（ノズルとザグリ孔が形成されていない）ノズル面とザグリプレートに形成するので、例えば、特開平４−１６９２３８号公報に記載されているような、ザグリを形成後に撥液膜を形成する方法と比較し、簡略で均一に形成する方法、例えば、スピンンコート法で、撥液膜を形成できるので、好適である。
また、複数の突起部を有する工具を前記ノズル面に圧接し、突起部でノズル面のザグリプレートと接合する領域の撥液膜を部分的に破壊して除去し、ノズル面が露出する非膜部を形成した後に、ザグリプレートをノズル面に接合している。よって、撥液膜上にはザグリプレートを接合にしくいが、非膜部を有しているのでノズル面とザグリプレートとを、例えば、接着剤や熱溶着などで容易に、かつ強固に接着できる。
Further, since the liquid repellent film is formed on the nozzle surface and the counterbore plate without irregularities (no nozzles and counterbore holes are formed), for example, a counterbore is formed as described in JP-A-4-169238. Compared with a method of forming a liquid repellent film later, it is preferable because the liquid repellent film can be formed by a simple and uniform method, for example, a spinn coating method.
Further, a tool having a plurality of protrusions is pressed against the nozzle surface, and the liquid repellent film in the region where the protrusions join the counterbore plate is partially destroyed and removed, and the nozzle surface is exposed. After forming the part, the counterbore plate is joined to the nozzle surface. Therefore, it is difficult to bond the counterbore plate on the liquid repellent film, but since it has a non-film part, the nozzle surface and the counterbore plate can be easily and firmly bonded to each other by, for example, an adhesive or heat welding. .

請求項８に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第２工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第３工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第４工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートは、前記ノズル面との接合面に該ノズル面の前記撥液膜を貫通する複数の突起部を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第５工程は、前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記突起部を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
請求項１１に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第２工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第３工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第４工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートは、前記ノズル面との接合面に該ノズル面の前記撥液膜を貫通する複数の突起部を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第４工程は、前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記突起部を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
請求項１４に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第２工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第３工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第４工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートは、前記ノズル面との接合面に該ノズル面の前記撥液膜を貫通する複数の突起部を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第４工程は、前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記突起部を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
請求項１７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第２工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第３工程と、前記ノズル面に前記ノズルと、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔と、を形成する第４工程と、を備え、前記ザグリプレートは、前記ノズル面との接合面に該ノズル面の前記撥液膜を貫通する複数の突起部を備え、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第３工程は、前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記突起部を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。
The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 8 , wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle for ejecting ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming the nozzle on the nozzle surface; a third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; and A fourth step of forming a counterbore hole serving as a counterbore, and a fifth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface, wherein the counterbore plate has the repellency of the nozzle surface on a joint surface with the nozzle surface. A plurality of protrusions penetrating the liquid film, wherein the fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface presses the counterbore plate against the nozzle surface; The raised portion partially penetrates into the liquid-repellent film, it is characterized by joining the counterbore plate to the nozzle face.
The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 11, wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle for ejecting ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; a third step of forming a counterbore hole serving as the counterbore on the counterbore plate; A fourth step of bonding a counterbore plate to the nozzle surface, and a fifth step of forming the nozzle on the nozzle surface, wherein the counterbore plate has the repelling property of the nozzle surface on the bonding surface with the nozzle surface. The fourth step of providing a plurality of protrusions penetrating the liquid film, and joining the counterbore plate to the nozzle surface, presses the counterbore plate against the nozzle surface, A protrusion partially penetrates into the liquid-repellent film, it is characterized by joining the counterbore plate to the nozzle face.
The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 14, wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a surface; a second step of forming the nozzle on the nozzle surface; a third step of forming a liquid repellent film on a counterbore plate; A fourth step of bonding to the nozzle surface and a fifth step of forming a counterbore hole serving as the counterbore in the counterbore plate, wherein the counterbore plate has the repellency of the nozzle surface on the bonding surface with the nozzle surface. The fourth step of providing a plurality of protrusions penetrating the liquid film, and joining the counterbore plate to the nozzle surface, presses the counterbore plate against the nozzle surface, A protrusion partially penetrates into the liquid-repellent film, it is characterized by joining the counterbore plate to the nozzle face.
The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 17, wherein the nozzle is provided with a nozzle for ejecting ink and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; a third step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface; A fourth step of forming the nozzle and a counterbore hole serving as the counterbore in the counterbore plate, wherein the counterbore plate penetrates the liquid-repellent film of the nozzle surface at a joint surface with the nozzle surface The third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface, pressing the counterbore plate against the nozzle surface, and connecting the protrusion to the nozzle surface. Liquid film partially penetrates into and is characterized by bonding the counterbore plate to the nozzle face.

請求項８、請求項１１、請求項１４、請求項１７に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、ノズル面との接合面にノズル面の撥液膜を貫通する複数の突起部を備えたザグリプレートをノズル面に圧接し、突起部を撥液膜に部分的に貫通させ、ザグリプレートをノズル面に接合している。よって、撥液膜上にはザグリプレートを接合にしくいが、突起部が撥液膜を貫通するので、ノズル面とザグリプレートとを容易に、かつ強固に接合できる。
The method of manufacturing an ink jet recording head according to any one of claims 8, 11, 14, and 17 includes a counterbore provided with a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface on the joint surface with the nozzle surface. The plate is pressed against the nozzle surface, the protrusion is partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is bonded to the nozzle surface. Therefore, it is difficult to bond the counterbore plate on the liquid repellent film, but since the protrusion penetrates the liquid repellent film, the nozzle surface and the counterbore plate can be easily and firmly bonded.

請求項９に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第２工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第３工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第４工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートと前記ノズル面とは前記ノズル面の前記撥液膜を貫通する粒子が混合された接着剤で接合され、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第５工程は、前記ザグリプレートと前記ノズル面との間に前記接着剤を塗付して前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記粒子を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としてている。  The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 9, wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle for ejecting ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming the nozzle on the nozzle surface; a third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; and A fourth step of forming a counterbore hole serving as a counterbore, and a fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface, wherein the counterbore plate and the nozzle surface penetrate the liquid repellent film of the nozzle surface. The fifth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface is bonded between the counterbore plate and the nozzle surface. The serial adhesive denoted coated pressed the counterbore plate to the nozzle surface, the particles partially penetrate the liquid-repellent film, and the counterbore plate is characterized in that joined to the nozzle surface.
請求項１２に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第２工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第３工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第４工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートと前記ノズル面とは前記ノズル面の前記撥液膜を貫通する粒子が混合された接着剤で接合され、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第４工程は、前記ザグリプレートと前記ノズル面との間に前記接着剤を塗付して前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記粒子を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。  The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 12, wherein the nozzle is provided with a nozzle for ejecting ink and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; a third step of forming a counterbore hole serving as the counterbore on the counterbore plate; A fourth step of bonding a counterbore plate to the nozzle surface, and a fifth step of forming the nozzle on the nozzle surface, wherein the counterbore plate and the nozzle surface penetrate the liquid repellent film of the nozzle surface. The fourth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface is bonded between the counterbore plate and the nozzle surface. Wherein the adhesive denoted coated pressed the counterbore plate to the nozzle surface, the particles partially penetrate the liquid-repellent film, it is characterized by joining the counterbore plate to the nozzle face.
請求項１５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、前記ノズル面に前記ノズルを形成する第２工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第３工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第４工程と、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔を形成する第５工程と、を備え、前記ザグリプレートと前記ノズル面とは前記ノズル面の前記撥液膜を貫通する粒子が混合された接着剤で接合され、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第４工程は、前記ザグリプレートと前記ノズル面との間に前記接着剤を塗付して前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記粒子を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。  16. The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 15, wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle for ejecting ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a surface; a second step of forming the nozzle on the nozzle surface; a third step of forming a liquid repellent film on a counterbore plate; A fourth step of bonding to the nozzle surface, and a fifth step of forming a counterbore hole serving as the counterbore in the counterbore plate, wherein the counterbore plate and the nozzle surface penetrate the liquid repellent film of the nozzle surface. The fourth step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface is bonded between the counterbore plate and the nozzle surface. Wherein the adhesive denoted coated pressed the counterbore plate to the nozzle surface, the particles partially penetrate the liquid-repellent film, it is characterized by joining the counterbore plate to the nozzle face.
請求項１８に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、インクを吐出するノズルと、前記ノズルの周囲に形成されたザグリと、を備えたインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記ノズルが形成されるノズル面に前記インクを弾く撥液膜を形成する第１工程と、ザグリプレートに撥液膜を形成する第２工程と、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する第３工程と、前記ノズル面に前記ノズルと、前記ザグリプレートに前記ザグリとなるザグリ孔と、を形成する第４工程と、を備え、前記ザグリプレートと前記ノズル面とは前記ノズル面の前記撥液膜を貫通する粒子が混合された接着剤で接合され、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合する前記第３工程は、前記ザグリプレートと前記ノズル面との間に前記接着剤を塗付して前記ザグリプレートを前記ノズル面に圧接し、前記粒子を前記撥液膜に部分的に貫通させ、前記ザグリプレートを前記ノズル面に接合することを特徴としている。  The method for manufacturing an ink jet recording head according to claim 18, wherein the nozzle is formed in the method for manufacturing an ink jet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle. A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on the surface; a second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate; a third step of bonding the counterbore plate to the nozzle surface; A fourth step of forming the nozzle and a counterbored hole serving as the counterbore in the counterbore plate, wherein the counterbore plate and the nozzle surface are mixed with particles penetrating the liquid repellent film of the nozzle surface. In the third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface, the adhesive is bonded between the counterbore plate and the nozzle surface. Subjected the counterbore plates were pressed against the nozzle surface, the particles partially penetrate the liquid-repellent film, said counterbore plate is characterized in that joined to the nozzle surface.

請求項９、請求項１２、請求項１５、請求項１８に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法は、ザグリプレートとノズル面との間にノズル面の撥液膜を貫通する粒子が混合された接着剤を塗付し、ザグリプレートをノズル面に圧接し、粒子を撥液膜を部分的に貫通させ、ザグリプレートをノズル面に接合している。よって、撥液膜上にはザグリプレートを接着剤で接合にしくいが、接着剤の中の粒子が撥液膜を貫通するので、ノズル面とザグリプレートとを容易に、かつ強固に接合できる。
The method of manufacturing an ink jet recording head according to claim 9, claim 12, claim 15, or claim 18 is an adhesion in which particles penetrating the liquid repellent film on the nozzle surface are mixed between the counterbore plate and the nozzle surface. An agent is applied, the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, particles are partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is bonded to the nozzle surface. Therefore, it is difficult to bond the counterbore plate on the liquid repellent film with an adhesive, but since the particles in the adhesive penetrate the liquid repellent film, the nozzle surface and the counterbore plate can be bonded easily and firmly.

以上説明したように本発明によれば、ザグリの壁面には撥液膜が形成されていない領域を有するので、撥液膜が形成されたノズル周縁部より、インクが付着しやすい。よって、例えば、ワイパーでワイピングしても、ザグリの壁面に拭き残しインクが貯まり、ノズルの周縁部には吹き残しインクは残らない。したがって、ノズルの周縁部のインクの濡れが均一となり、吐出特性が安定する。 As described above, according to the present invention, since the liquid repellent film has a region on the wall surface of the counterbore, ink is more likely to adhere from the peripheral edge of the nozzle on which the liquid repellent film is formed. Therefore, for example, even when wiping with a wiper, ink left unwiped is accumulated on the wall surface of the counterbore, and ink left behind is not left on the peripheral edge of the nozzle. Accordingly, the ink is uniformly wet at the peripheral edge of the nozzle, and the ejection characteristics are stabilized.

本発明の第１の実施形態に係るインクジェット記録ヘッド１１２の構成の概要を説明する。 An outline of the configuration of the ink jet recording head 112 according to the first embodiment of the present invention will be described.

図１及び図２に示すようにインクジェット記録ヘッド１１２は、マトリックス状に配置されたインク滴を吐出するノズル１０と菱形形状をした圧力室１２と備え、ノズル１０と圧力室１２とはノズル連通路１６で連通されている。 As shown in FIGS. 1 and 2, the inkjet recording head 112 includes nozzles 10 that eject ink droplets arranged in a matrix and a pressure chamber 12 that has a rhombus shape, and the nozzle 10 and the pressure chamber 12 are connected to a nozzle communication path. 16 is communicated.

また、図示しないインク供給部から導入されたインクが充填される共通インク流路１４を備えている。そして、共通インク流路１４の開口部２０と圧力室１２とが、インク供給路１８で連通されている。 In addition, a common ink flow path 14 that is filled with ink introduced from an ink supply unit (not shown) is provided. The opening 20 of the common ink flow path 14 and the pressure chamber 12 are communicated with each other through an ink supply path 18.

圧力室１２の上面には振動板３４が接着され、振動板３４の上面には、圧電素子３６が接着され、圧電素子３６の上面にはボール半田４０を介して配線基板３８が接合されている。 A vibration plate 34 is bonded to the upper surface of the pressure chamber 12, a piezoelectric element 36 is bonded to the upper surface of the vibration plate 34, and a wiring board 38 is bonded to the upper surface of the piezoelectric element 36 via a ball solder 40. .

ノズル１０は、平面視すると圧力室１２の菱形形状の角部に位置し、インク供給路１８はノズル１０の位置と対角線上に反対の角部と連通している。 The nozzle 10 is located at a diamond-shaped corner of the pressure chamber 12 in plan view, and the ink supply path 18 communicates with a corner opposite to the position of the nozzle 10 diagonally.

各ノズル１０の周囲には、ザグリ２００が形成されている。また、図２に示すように、ノズル面１０Ａとザグリ面２００Ｂとには、撥液膜２１０が形成されている。ただし、図１４に示すように、ザグリ２００のザグリ壁面２００Ａには、撥液膜２１０は形成されていない。 A counterbore 200 is formed around each nozzle 10. As shown in FIG. 2, a liquid repellent film 210 is formed on the nozzle surface 10A and the counterbore surface 200B. However, as shown in FIG. 14, the liquid repellent film 210 is not formed on the counterbore wall surface 200 A of the counterbore 200.

なお、上述した図２と図１４とを含め、以下の説明に用いる各図に描かれている撥液膜２１０の厚みは、判りやすくするため、実際の厚みより厚く描いている。また、図１と図７では、撥液膜２１０は省略してある。 In addition, the thickness of the liquid repellent film 210 depicted in each drawing used in the following description including FIG. 2 and FIG. 14 described above is larger than the actual thickness for easy understanding. 1 and 7, the liquid repellent film 210 is omitted.

つぎに、インクジェット記録ヘッド１１２の製造方法の概要を説明する。 Next, an outline of a method for manufacturing the ink jet recording head 112 will be described.

図１と図２とに示すように、ノズル１０が形成されるノズルプレート２２と、ノズル連通路１６と共通インク流路１４となる孔が形成されたインクプールプレート２４、２６と、ノズル連通路１６と共通インク流路１４の開口部２０となる孔が形成されたスループレート２８と、インク供給路１８となる孔が形成されたインク供給路プレート３０と、圧力室１２となる孔が形成された圧力室プレート３２と、を順番に積層し接合する。 As shown in FIGS. 1 and 2, the nozzle plate 22 in which the nozzle 10 is formed, the ink pool plates 24 and 26 in which the nozzle communication path 16 and the holes that become the common ink flow path 14 are formed, and the nozzle communication path 16 and a through plate 28 in which a hole to be the opening 20 of the common ink flow path 14 is formed, an ink supply path plate 30 in which a hole to be the ink supply path 18 is formed, and a hole to be the pressure chamber 12. The pressure chamber plates 32 are laminated and joined in order.

なお、ノズルプレート２２の材質はポリイミドであり、インクプールプレート２４、２６、スループレート２８、圧力室プレート３２の材質はＳＵＳである。また、圧力室１２等になる各孔は、エッチング加工によって形成されている。 The material of the nozzle plate 22 is polyimide, and the material of the ink pool plates 24 and 26, the through plate 28, and the pressure chamber plate 32 is SUS. Moreover, each hole used as the pressure chamber 12 etc. is formed by the etching process.

ノズルプレート２２の表面（ノズル面１０Ａ）（図１４参照）に撥液膜２１０を形成し、エキシマレーザでノズル１０を開ける。ノズル１０を形成後に圧力室プレート３２に振動板３４を接着し、振動板３４の上面に各圧力室１２に対応した圧電素子３６を接着する。 A liquid repellent film 210 is formed on the surface (nozzle surface 10A) (see FIG. 14) of the nozzle plate 22, and the nozzle 10 is opened with an excimer laser. After forming the nozzle 10, the vibration plate 34 is bonded to the pressure chamber plate 32, and the piezoelectric elements 36 corresponding to the pressure chambers 12 are bonded to the upper surface of the vibration plate 34.

さて一方、図４（Ａ）に示すように、ザグリプレート２２０は、ノズルプレート２２と同じポリイミドからなり、一方の面には、突起部２２０Ａが形成されており、他方の面は平坦な面となっている。なお、突起部２２０Ａは、例えば、予めメッキ法で硬質の金属薄膜（図示省略）を形成し、ローレット加工を行うことで形成することができる。図４（Ｂ）に示すように、ザグリプレート２２０の突起部２２０Ａが形成されていない面に撥液膜２１０を形成する。そして、図４（Ｃ）に示すように、ノズル１０より大きく、ザグリ２００となるザグリ孔２０２と、共通インク流路１４（図２参照）に対応する部分となるダンパー孔２０４と、をあける。なお、このように撥液膜２１０を形成後に、ザグリ孔２０２をあけたので、ザグリ壁面２００Ａには撥液膜２１０は形成されていない。また、ザグリ２００の深さ、大きさ、形状などは、ザグリプレート２２０の厚みやザグリ孔２０２の加工形状によって、容易に管理できるので好適である。 On the other hand, as shown in FIG. 4A, the counterbore plate 220 is made of the same polyimide as the nozzle plate 22, and a protrusion 220A is formed on one surface, and the other surface is a flat surface. It has become. The protrusion 220A can be formed, for example, by forming a hard metal thin film (not shown) in advance by a plating method and performing knurling. As shown in FIG. 4B, a liquid repellent film 210 is formed on the surface of the counterbore plate 220 where the protrusions 220A are not formed. Then, as shown in FIG. 4C, a counterbore hole 202 that is larger than the nozzle 10 and becomes the counterbore 200 and a damper hole 204 that is a part corresponding to the common ink flow path 14 (see FIG. 2) are opened. In addition, since the counterbore hole 202 was opened after forming the liquid repellent film 210 in this way, the liquid repellent film 210 is not formed on the counterbore wall surface 200A. Further, the depth, size, shape, and the like of the counterbore 200 are preferable because they can be easily managed by the thickness of the counterbore plate 220 and the processing shape of the counterbore hole 202.

なお、ノズル１０及びザグリ孔２０２があけられていない平担な面に、撥液膜２１０を形成している。よって、スピンコート法などの簡略な方法で、均一の厚みの撥液膜２１０を形成できる。 A liquid repellent film 210 is formed on a flat surface where the nozzle 10 and the counterbore 202 are not formed. Therefore, the liquid repellent film 210 having a uniform thickness can be formed by a simple method such as a spin coating method.

さて、図５（Ａ）と図５（Ｂ）とに示すように、ザグリプレート２２０に接着剤１５０（図５（Ｃ）参照）を塗布し、ザグリプレート２２０の突起部２２０Ａが形成されている面をノズルプレート２２に押圧し、接合する。なお、図５（Ｃ）に示すように、突起部２２０Ａは、ノズルプレート２２の撥液膜２１０を貫通してノズルプレート２２に突き刺さる。したがって、接着剤で接合しにくい撥液膜２１０上であっても、ザグリプレート２２０を強固に接合できる。 Now, as shown in FIGS. 5A and 5B, adhesive 150 (see FIG. 5C) is applied to the counterbore plate 220 to form a protrusion 220A of the counterbore plate 220. The surface is pressed against the nozzle plate 22 and joined. As shown in FIG. 5C, the protrusion 220A penetrates the nozzle plate 22 through the liquid repellent film 210 of the nozzle plate 22. Therefore, the counterbore plate 220 can be firmly bonded even on the liquid repellent film 210 that is difficult to bond with an adhesive.

そして、図２に示すように、圧電素子３６毎にボール半田４０を形成した配線基板３８を圧電素子３６と接合する。なお、圧電素子３６の両面には電極層が形成されており圧電素子３６と配線基板３８とは電気的に接続されている。また、圧電素子３６と振動板３４とは導電性材にて接続されている。 Then, as shown in FIG. 2, a wiring board 38 on which ball solder 40 is formed for each piezoelectric element 36 is joined to the piezoelectric element 36. Electrode layers are formed on both surfaces of the piezoelectric element 36, and the piezoelectric element 36 and the wiring board 38 are electrically connected. The piezoelectric element 36 and the diaphragm 34 are connected by a conductive material.

さて、インクジェット記録ヘッド１１２は、駆動電圧が圧電素子３６に印加されると、圧電素子３６がたわみ変形して、圧力室１２のインクを加圧し、ノズル１０からインク滴が吐出する。このとき圧力室１２に発生する圧力波は共通インク流路１４まで伝播し、伝播した圧力波はクロストークなどの不具合を生じる原因となる。しかし、図２に示すように、共通インク流路１４の底面を構成するノズルプレート２２がダンパーとなって、伝播した圧力波を吸収する。したがって、クロストークなどの不具合が防止される。なお、ザグリプレート２２０には、共通インク流路１４に対応する部分にダンパー孔２０４が形成されている。よって、共通インク流路１４の底面はノズルプレート２２が露出している。したがって、ザグリプレート２２０をノズルプレート２２に接合しても、ダンパー効果が減少することはない。 When the drive voltage is applied to the piezoelectric element 36, the inkjet recording head 112 is deformed by bending, and pressurizes the ink in the pressure chamber 12 and ejects ink droplets from the nozzle 10. At this time, the pressure wave generated in the pressure chamber 12 propagates to the common ink flow path 14, and the propagated pressure wave causes a problem such as crosstalk. However, as shown in FIG. 2, the nozzle plate 22 constituting the bottom surface of the common ink flow path 14 serves as a damper to absorb the propagated pressure wave. Therefore, problems such as crosstalk are prevented. The counterbore plate 220 is formed with a damper hole 204 at a portion corresponding to the common ink flow path 14. Therefore, the nozzle plate 22 is exposed on the bottom surface of the common ink flow path 14. Therefore, even if the counterbore plate 220 is joined to the nozzle plate 22, the damper effect does not decrease.

また、前述したように、ノズルプレート２２とザグリプレート２２０とは、同じポリイミドであるので熱膨張率が等しい。なお、撥液膜２１０やザグリプレート２２０の突起部２２０Ａの形成側に形成した金属薄膜（図示省略）は、厚みが非常に薄いので、熱膨張に対する影響は殆どない。よって、接合後に温度が変化しても、ノズルプレート２２とザグリプレート２２０とは等しく熱膨張する。したがって、熱膨張差による不具合、例えば、ノズル面１０Ａに反りやウネリが生じたり、あるいは、ノズルプレート２２とザグリプレート２２０との接合面が剥離したり、接着強度が低下したりすることがない。 As described above, since the nozzle plate 22 and the counterbore plate 220 are made of the same polyimide, they have the same coefficient of thermal expansion. Note that the metal thin film (not shown) formed on the side where the liquid repellent film 210 and the protrusion 220A of the counterbore plate 220 are formed has a very small thickness and thus has little influence on thermal expansion. Therefore, even if the temperature changes after joining, the nozzle plate 22 and the counterbore plate 220 thermally expand equally. Therefore, there is no problem due to the difference in thermal expansion, for example, warpage or undulation in the nozzle surface 10A, or the joint surface between the nozzle plate 22 and the counterbore plate 220 is not peeled off or the adhesive strength is not lowered.

更に、ノズルプレート２２とザグリプレート２２０ともに樹脂性であるので、撥液膜２１０にダメージを与えることなく、レーザ加工やプレス加工などによって、ノズル１０及びザグリ孔２００（ザグリ２００）を容易に形成することができる。 Furthermore, since the nozzle plate 22 and the counterbore plate 220 are both resinous, the nozzle 10 and the counterbore hole 200 (the counterbore 200) are easily formed by laser processing, press processing, or the like without damaging the liquid repellent film 210. be able to.

つぎに第１の実施形態のインクジェット記録ヘッド１１２を備えたインクジェット記録装置１０２について説明する。 Next, the ink jet recording apparatus 102 provided with the ink jet recording head 112 of the first embodiment will be described.

図６に示すように、インクジェット記録装置１０２はインクジェット記録ヘッド１１２を搭載するキャリッジ１０４、キャリッジ１０４を主走査方向Ｍに走査する為の主走査機構１０６、記録媒体としての記録用紙Ｐを副走査方向Ｓに走査する為の副走査機構１０８、及びメンテナンスステーション１１０等を含んで構成されている。 As shown in FIG. 6, the ink jet recording apparatus 102 includes a carriage 104 on which an ink jet recording head 112 is mounted, a main scanning mechanism 106 for scanning the carriage 104 in the main scanning direction M, and a recording paper P as a recording medium in the sub scanning direction. A sub-scanning mechanism 108 for scanning S, a maintenance station 110, and the like are included.

インクジェット記録ヘッド１１２は、ノズル１０が形成されたノズル面１０Ａが記録用紙Ｐと対向するようにキャリッジ１０４上に搭載されており、主走査機構１０６によって主走査方向Ｍに移動されながら記録用紙Ｐに対してインク滴を吐出することにより、一定のバンド領域ＢＥに対して画像の記録を行う。主走査方向Ｍへの１回の移動が終了すると、副走査機構１０８によって記録用紙Ｐが副走査方向Ｓに搬送され、再びキャリッジ１０４を主走査方向Ｍに移動させながら次のバンド領域ＢＥを記録する。こうした動作を複数回繰り返すことにより、記録用紙Ｐの全面にわたって画像記録を行うことができる。 The ink jet recording head 112 is mounted on the carriage 104 so that the nozzle surface 10A on which the nozzles 10 are formed faces the recording paper P, and is moved onto the recording paper P while being moved in the main scanning direction M by the main scanning mechanism 106. On the other hand, by ejecting ink droplets, an image is recorded on a certain band area BE. When one movement in the main scanning direction M is completed, the recording paper P is conveyed in the sub scanning direction S by the sub scanning mechanism 108, and the next band region BE is recorded while moving the carriage 104 in the main scanning direction M again. To do. By repeating such an operation a plurality of times, image recording can be performed over the entire surface of the recording paper P.

メンテナンスステーション１１０には、キャップ、ダミージェット受け、クリーニング機構１３０等を含んで構成されており、吸引回復動作、ダミージェット動作、クリニーニング動作等の各種メンテナンスを行う。 The maintenance station 110 includes a cap, a dummy jet receiver, a cleaning mechanism 130, and the like, and performs various maintenance such as a suction recovery operation, a dummy jet operation, and a cleaning operation.

図７はクリーニング機構１３０の概略図である。なお、図７では、ノズル１０及びザグリ２００を１０個しか描いていないが、実際には更に多くのノズル１０及びザグリ２００が形成されている。さて、クリーニング機構１３０にはブレードホルダー１３４に保持されたワイパーブレード１２０が、インクジェット記録ヘッド１１２に対向する形で配置されている。また、ブレードホルダー１３４及びワイパーブレード１２０は図示しない昇降機構によって、ワイパーブレード１２０とインクジェット記録ヘッド１１２の下面（本実施形態の場合はザグリプレート２２０とノズルプレート２２）とがオーバーラップした位置と、この位置から退避した退避位置との間を移動するようになっている（図７の矢印Ｙ方向）。 FIG. 7 is a schematic view of the cleaning mechanism 130. In FIG. 7, only 10 nozzles 10 and counterbore 200 are drawn, but in reality, more nozzles 10 and counterbore 200 are formed. A wiper blade 120 held by a blade holder 134 is disposed in the cleaning mechanism 130 so as to face the ink jet recording head 112. In addition, the blade holder 134 and the wiper blade 120 are arranged at positions where the wiper blade 120 and the lower surface of the ink jet recording head 112 (the counterbore plate 220 and the nozzle plate 22 in the present embodiment) overlap each other by a lifting mechanism (not shown). It moves between the retracted position retracted from the position (in the direction of arrow Y in FIG. 7).

そして、図８に示すように、昇降機構がワイパーブレード１２０をインクジェット記録ヘッド１１２の下面とオーバーラップした位置へと移動させた状態で、ワイパーブレード１２０あるいはインクジェット記録ヘッド１１２のいずれか一方、または両方を主走査方向Ｍへと移動させ、インクジェット記録ヘッド１１２の下面（本実施形態の場合は撥液膜２１０が形成されたザグリプレート２２０及びノズルプレート２２）を払拭してクリーニングする。なお、図８では、ワイパーブレード１１２を移動させた場合を示している。 Then, as shown in FIG. 8, with the lifting mechanism moving the wiper blade 120 to a position overlapping the lower surface of the inkjet recording head 112, either the wiper blade 120 or the inkjet recording head 112, or both Is moved in the main scanning direction M, and the lower surface of the inkjet recording head 112 (in this embodiment, the counterbore plate 220 and the nozzle plate 22 on which the liquid repellent film 210 is formed) is wiped and cleaned. FIG. 8 shows a case where the wiper blade 112 is moved.

つぎに、本実施形態の作用を説明する。 Next, the operation of this embodiment will be described.

図２に示すように、インクジェット記録ヘッド１１２は、ノズル１０の周縁部にインクを弾く撥液膜２１０が形成されている。このため、ノズル１０の周縁部のインクの濡れが均一となり、インクの吐出特性（例えば、インク滴の吐出方向、インク滴径、インク滴速度等）が安定する。 As shown in FIG. 2, the ink jet recording head 112 has a liquid repellent film 210 that repels ink at the peripheral edge of the nozzle 10. For this reason, wetting of the ink at the peripheral portion of the nozzle 10 becomes uniform, and ink ejection characteristics (for example, ink droplet ejection direction, ink droplet diameter, ink droplet velocity, etc.) are stabilized.

しかし、図８に示すように、インク滴をノズル１０から吐出した際に発生するサテライト滴等の微細なインクミストなどの付着インク６００がノズル１０の周縁部へ付着（付着インク６００Ａ）し、ノズル１０の周縁部のインクの濡れが不均一となると、インク滴の吐出特性が不安定になる。 However, as shown in FIG. 8, attached ink 600 such as fine ink mist such as satellite drops generated when ink droplets are ejected from the nozzle 10 adheres to the peripheral portion of the nozzle 10 (attached ink 600A), and the nozzle If the wetting of the ink at the peripheral edge 10 becomes non-uniform, the ejection characteristics of the ink droplets become unstable.

このため、インクジェット記録装置１０２は、所定のタイミングでインクジェット記録ヘッド１１２をメンテナンスステーション１１０上に移動し、図８に示すように、ワイパーブレード１２０で、付着インク６００をクリーニングする。 For this reason, the inkjet recording apparatus 102 moves the inkjet recording head 112 onto the maintenance station 110 at a predetermined timing, and cleans the adhered ink 600 with the wiper blade 120 as shown in FIG.

さて、このようなワイパーブレード１２０によるワイピングや、記録用紙Ｐの擦れ等による機械的な摩擦により、撥液膜２１０が破壊されることがある。しかし、ノズル１０の周囲にザグリ２００が形成されているので、ノズル１０の周縁部には機械的なダメージを受けない。よって、ノズル１０の周縁部の撥液膜２１０の破壊が防止される。したがって、長期にわたってノズル１０の周縁部のインクの濡れが均一となり、インクの吐出特性が安定する。なお、ザグリプレート２０２の厚み、すなわちザグリ２００の段差は、５μｍから５０μｍの範囲となっている。これは、５μｍ未満であると機械的な摩擦からノズル１０の周縁部も保護する作用が得られなくなり、また、５０μｍより大きいとザグリ２００内のノズル１０の周囲の付着インク６００の除去ができないからである。 Now, the lyophobic film 210 may be destroyed by such wiping by the wiper blade 120 or mechanical friction due to rubbing of the recording paper P or the like. However, since the counterbore 200 is formed around the nozzle 10, the peripheral portion of the nozzle 10 is not mechanically damaged. Therefore, destruction of the liquid repellent film 210 at the peripheral edge of the nozzle 10 is prevented. Therefore, wetting of the ink at the peripheral edge of the nozzle 10 becomes uniform over a long period of time, and ink ejection characteristics are stabilized. The thickness of the counterbore plate 202, that is, the step of the counterbore 200 is in the range of 5 μm to 50 μm. This is because if it is less than 5 μm, the peripheral portion of the nozzle 10 cannot be protected from mechanical friction, and if it is greater than 50 μm, the adhered ink 600 around the nozzle 10 in the counterbore 200 cannot be removed. It is.

さて、ワイパーブレード１２０でワイピングしても完全には拭き取られずに、若干、インクが拭き残される。 Now, even if wiping with the wiper blade 120 is performed, the ink is not completely wiped off, and the ink is slightly wiped off.

図１６（Ｂ）に示すように、従来のインクジェット記録ヘッドでは、拭き残しインク５５０が拭き残される場所は、単純に確率の問題である。よって、偶然ノズル１０の周縁部に拭き残されることもある。そして、ノズル１０の周縁部に拭き残しインク５５０Ａがあると、ノズル１０の周縁部のインクの濡れが不均一となり、吐出特性（インク滴の吐出方向、吐出特性インク滴径、インク滴の滴速度等）が安定せず、印字品位が低下する。 As shown in FIG. 16B, in the conventional inkjet recording head, the place where the unwiped ink 550 is left unwiped is simply a problem of probability. Therefore, it may be wiped off on the peripheral edge of the nozzle 10 by accident. If there is ink 550A left unwiped at the peripheral edge of the nozzle 10, the ink wetting at the peripheral edge of the nozzle 10 becomes uneven, and the discharge characteristics (ink droplet discharge direction, discharge characteristic ink droplet diameter, ink droplet drop speed) Etc.) is not stable, and the print quality deteriorates.

これに対し、本実施形態では、図１４に示すように、ザグリ２００のザグリ壁面２００Ａには撥液膜２１０は形成されていない。このため、ザグリ壁面２００Ａは、撥液膜が形成されたノズル１０の周縁部より、インクが付着しやすい。よって、図８（Ｂ）に示すように、ザグリ壁面２００Ａに拭き残しインク６５０が拭き残り、その他の場所には、拭き残しインク６５０が拭き残されない。つまり、ノズル１０の周縁部に拭き残しインクが、拭き残されないように、ザグリ壁面２００Ａに積極的に拭き残しインク６５０を拭き残す構成となっている。したがって、偶然ノズル１０の周縁部の拭き残しインクが拭き残され、吐出特性が安定せず、印字品位が低下することがない。 On the other hand, in this embodiment, as shown in FIG. 14, the liquid repellent film 210 is not formed on the counterbore wall surface 200A of the counterbore 200. For this reason, the counterbore wall surface 200 A is more susceptible to ink adhesion than the peripheral edge portion of the nozzle 10 on which the liquid repellent film is formed. Therefore, as shown in FIG. 8B, the unwiped ink 650 is left on the counterbore wall surface 200A, and the unwiped ink 650 is not left unwiped in other places. That is, the ink 650 is left to be wiped off positively on the counterbore wall surface 200 A so that the ink left on the peripheral edge of the nozzle 10 is not wiped off. Therefore, the ink left by wiping off the peripheral edge of the nozzle 10 is accidentally left unwiped, the discharge characteristics are not stabilized, and the print quality is not deteriorated.

なお、図１７に示すように、従来のインクジェット記録ヘッドは、ザグリ５００を形成後に撥液膜５１０を形成している。よって、図１５に示すように、ザグリ壁面５００Ａにも撥液膜５１０が形成されている。これに対し、既に説明したように、本実施形態では、図３に示すように、撥液膜２１０を形成後にザグリ孔２０２（ザグリ２００）をあけたザグリプレート２２０を、ノズル１０と撥液膜２１０が形成されたノズルプレート２２に接合したので、図１４に示すように、ノズル１０の周縁部には撥液膜２１０が形成されているが、ザグリ壁面２００Ａには撥液膜２１０は形成されていない。更に、図５（Ｃ）に示すように、ザグリプレート２２０の突起部２２０Ａが、ノズルプレート２２の撥液膜２１０を貫通してノズルプレート２２に突き刺さっているので、接合しにくい撥液膜２１０上でも、ザグリプレート２２０を強固に接合できる。 As shown in FIG. 17, the conventional ink jet recording head has the liquid repellent film 510 formed after the counterbore 500 is formed. Therefore, as shown in FIG. 15, the liquid repellent film 510 is also formed on the counterbore wall surface 500A. On the other hand, as already described, in the present embodiment, as shown in FIG. 3, the counterbore plate 220 in which the counterbore holes 202 (borebodies 200) are formed after the liquid repellent film 210 is formed is replaced with the nozzle 10 and the liquid repellent film. As shown in FIG. 14, the liquid repellent film 210 is formed on the peripheral edge of the nozzle 10, but the liquid repellent film 210 is formed on the counterbore wall surface 200A. Not. Further, as shown in FIG. 5C, the protrusion 220A of the counterbore plate 220 penetrates the liquid repellent film 210 of the nozzle plate 22 and pierces the nozzle plate 22. However, the counterbore plate 220 can be firmly joined.

つぎに、第２の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。 Next, a second embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st Embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図９（Ｂ）に示すように、ザグリプレート４００は、両面とも平坦な面であり、一方の面に撥液膜２１０を形成する。そして、ザグリ２００となるザグリ孔２０２と、共通インク流路１４に対応する部分となるダンパー孔２０４とをあける。 As shown in FIG. 9B, the counterbore plate 400 is a flat surface on both sides, and a liquid repellent film 210 is formed on one surface. Then, a counterbore hole 202 serving as the counterbore 200 and a damper hole 204 serving as a portion corresponding to the common ink flow path 14 are opened.

図９（Ａ）に示すように、ノズルプレート２２の撥液膜２１０に、複数の突起部３００Ａを有する工具３００を押圧し、突起部３００Ａをノズルプレート２２の撥液膜２１０を貫通させてノズルプレート２２に突き刺さしたのち、離間する。よって、図９（Ｄ）に示すように、ノズルプレート２２の撥液膜２１０は部分的に破壊されて除去され、ノズル面１０Ａが露出する非膜部２１０Ａが形成される。そして、図９（Ｃ）と図９（Ｄ）とに示すように、ザグリプレート４００に接着剤１５０を塗布し、ザグリプレート４００を接合する。なお、ノズル面１０Ａが露出した非膜部２１０Ａが形成されているので、接着剤で接合しにくい撥液膜２１０上であっても、ザグリプレート４００を強固に接合できる。 As shown in FIG. 9A, a tool 300 having a plurality of protrusions 300A is pressed against the liquid repellent film 210 of the nozzle plate 22, and the protrusions 300A are passed through the liquid repellent film 210 of the nozzle plate 22 to form a nozzle. After being stabbed into the plate 22, it leaves | separates. Therefore, as shown in FIG. 9D, the liquid repellent film 210 of the nozzle plate 22 is partially destroyed and removed, and a non-film portion 210A where the nozzle surface 10A is exposed is formed. Then, as shown in FIGS. 9C and 9D, the adhesive 150 is applied to the counterbore plate 400, and the counterbore plate 400 is joined. Since the non-film portion 210A where the nozzle surface 10A is exposed is formed, the counterbore plate 400 can be firmly bonded even on the liquid repellent film 210 that is difficult to bond with an adhesive.

第１の実施形態と同様に、図９（Ｄ）に示すように、ザグリ２００のザグリ壁面２００Ａには撥液膜２１０が形成されていない。よって、図８に示すように、ザグリ壁面２００Ａに積極的に拭き残しインク６５０を拭き残す構成となっている。したがって、偶然ノズル１０の周縁部の拭き残しインク６５０が拭き残され、吐出特性が安定せずに印字品位が低下することがない。 Similarly to the first embodiment, as shown in FIG. 9D, the liquid repellent film 210 is not formed on the counterbore wall surface 200 A of the counterbore 200. Therefore, as shown in FIG. 8, the ink 650 is positively left on the counterbore wall surface 200 A. Accordingly, the ink 650 left unwiped at the peripheral edge of the nozzle 10 is accidentally left unwiped, and the discharge characteristics are not stabilized and the print quality is not deteriorated.

つぎに、第３の実施形態について説明する。なお、第１の実施形態及び第２の実施形態と同一の部材には同一の符号を付し、重複した説明は省略する。 Next, a third embodiment will be described. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st Embodiment and 2nd Embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

第２の実施形態と同様に、ザグリプレート４００は、両面とも平坦な面であり、一方の面に撥液膜２１０を形成する。そして、ザグリ２００となるザグリ孔２０２と、共通インク流路１４に対応する部分となるダンパー孔２０４とをあける。（図９（Ｂ）を参考）。 As in the second embodiment, the counterbore plate 400 is a flat surface on both sides, and the liquid repellent film 210 is formed on one surface. Then, a counterbore hole 202 serving as the counterbore 200 and a damper hole 204 serving as a portion corresponding to the common ink flow path 14 are opened. (See FIG. 9B).

そして、図１０に示すように、ザグリプレート４００に接着剤１６０を塗布し、ザグリプレート４００をノズルプレート２２に押圧し、接合する。なお、図１０（Ｂ）に示すように、接着剤１６０中に粒子１６２が混合されており、ザグリプレート４００を押圧することで、粒子１６２がノズルプレート２２の撥液膜２１０を貫通し、ノズルプレート２２に突き刺さる。したがって、接着剤で接合しにくい撥液膜２１０上であっても、ザグリプレート４００を強固に接合できる。 Then, as shown in FIG. 10, the adhesive 160 is applied to the counterbore plate 400, and the counterbore plate 400 is pressed against the nozzle plate 22 to be joined. As shown in FIG. 10B, particles 162 are mixed in the adhesive 160, and when the counterbore plate 400 is pressed, the particles 162 penetrate the liquid repellent film 210 of the nozzle plate 22, and the nozzles The plate 22 is pierced. Therefore, the counterbore plate 400 can be firmly bonded even on the liquid repellent film 210 that is difficult to bond with an adhesive.

第１及び第２の実施形態と同様に、図１０（Ａ）に示すように、ザグリ２００のザグリ壁面２００Ａには撥液膜２１０は形成されていない。よって、図８に示すように、ザグリ壁面２００Ａに積極的に拭き残しインク６５０を拭き残す構成となっている。したがって、偶然ノズル１０の周縁部の拭き残しインク６５０が拭き残され、吐出特性が安定せずに印字品位が低下することがない。 As in the first and second embodiments, as shown in FIG. 10A, the liquid repellent film 210 is not formed on the counterbore wall surface 200A of the counterbore 200. Therefore, as shown in FIG. 8, the ink 650 is positively left on the counterbore wall surface 200 A. Accordingly, the ink 650 left unwiped at the peripheral edge of the nozzle 10 is accidentally left unwiped, and the discharge characteristics are not stabilized and the print quality is not deteriorated.

なお、第１から第３の実施形態での撥液膜２１０とは、吐出するインクを弾く性質ものを指す。よって、インクの種類に応じた撥液膜２１０を形成する。例えば、水性インクの場合は水を弾く性質の撥液膜を、溶剤インクの場合は溶剤を弾く性質の撥液膜を、ワックスからなる固形インクの場合はワックスを弾く性質の撥液膜を、ノズル面に形成すれば良い。 Note that the liquid repellent film 210 in the first to third embodiments indicates a property of repelling the ejected ink. Therefore, the liquid repellent film 210 corresponding to the type of ink is formed. For example, in the case of water-based ink, a liquid repellent film that repels water, in the case of solvent ink, a liquid repellent film that repels solvent, in the case of solid ink made of wax, a liquid repellent film that repels wax, What is necessary is just to form in a nozzle surface.

尚、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではない。 In addition, this invention is not limited to said embodiment.

例えば、上記実施の形態では、図３に示すように、ノズル１０と撥液膜２１０とが形成されたノズルプレート２２に、ザグリ孔２０２と撥液膜２１０とが形成されたザグリプレート２１０，４００を接合したが、これに限定されない。例えば、図１１に示すように、撥液膜が形成されたノズルプレートに、ザグリ孔と撥液膜が形成されたザグリレートを接合したのち、ノズルをあけてもよい。あるいは、図１２に示すように、ノズルと撥液膜が形成されたノズルプレートに、撥液膜が形成されたザグリプレートを接合したのち、ザグリプレートにザグリを形成してもよい。また、図１３に示すように、撥液膜が形成されたノズルプレートに撥液膜が形成されたザグリプレートを接合したのち、ノズルとザグリとを形成してもよい。 For example, in the above embodiment, as shown in FIG. 3, counterbore plates 210 and 400 in which the counterbore hole 202 and the liquid repellent film 210 are formed in the nozzle plate 22 in which the nozzle 10 and the liquid repellent film 210 are formed. However, the present invention is not limited to this. For example, as shown in FIG. 11, the nozzle plate may be opened after the counterbore hole and the counterbore formed with the liquid repellent film are joined to the nozzle plate formed with the liquid repellent film. Alternatively, as shown in FIG. 12, a counterbore plate with a liquid repellent film may be joined to a nozzle plate with a nozzle and a liquid repellent film, and then a counterbore plate may be formed. Further, as shown in FIG. 13, the nozzle and the counterbore may be formed after the counterbore plate having the liquid-repellent film formed thereon is joined to the nozzle plate having the liquid-repellent film formed thereon.

また、サグリ壁面には、撥液膜が一部分形成されていても良い。例えば、ザグリプレートに撥液膜を形成後にザグリ孔をインク吐出方向からプレス加工によって開口した場合、撥液膜が流動してザグリ壁面に一部被ってしまうことがあるが、このような場合も本発明は有効である。要は、ザグリ壁面に、撥液膜が形成されていない領域を有していれば良い。 A part of the liquid repellent film may be formed on the sagging wall surface. For example, if a counterbore hole is opened by pressing from the ink discharge direction after forming a liquid repellent film on the counterbore plate, the liquid repellent film may flow and partially cover the counterbore wall. The present invention is effective. In short, it is only necessary that the counterbore wall has a region where the liquid repellent film is not formed.

また、ザグリプレートには撥液膜が形成されていなくても良い。 Further, the counterbore plate may not have a liquid repellent film formed thereon.

また、ザグリは、数ノズル共通としても良い。形状も円形以外、例えば、長方形や正方形、楕円形など任意の形状で良い。 The counterbore may be common to several nozzles. The shape may be any shape other than a circle, such as a rectangle, square, or ellipse.

また、上記実施の形態では、ノズル１０、圧力室１２、インク供給路１８、ノズル連通路１６は、それぞれ別々のプレートに形成され接合されていたが、これに限定されない。例えば、ノズル、圧力室、インク供給路、ノズル連通路を全て１枚のプレートに形成しても良い。あるいは、ノズルのみノズルプレートに形成し、圧力室、インク供給路、ノズル連通路とを別のプレートに形成してノズルプレートと接合しても良い。あるいは、その他の形態であっても良い。 Moreover, in the said embodiment, although the nozzle 10, the pressure chamber 12, the ink supply path 18, and the nozzle communication path 16 were each formed and joined to a separate plate, it is not limited to this. For example, the nozzle, pressure chamber, ink supply path, and nozzle communication path may all be formed on a single plate. Alternatively, only the nozzles may be formed on the nozzle plate, and the pressure chamber, the ink supply path, and the nozzle communication path may be formed on separate plates and joined to the nozzle plate. Alternatively, other forms may be used.

また、例えば、上記実施の形態では圧電素子３６は、１枚の圧電素子３６のたわみ振動によって圧力室１２を加圧したが、これに限定されない。例えば、圧電素子を積層する形態であっても良いし、縦振動タイプの圧電素子であっても良い。あるいは、その他形態の圧電素子であっても良い。 Further, for example, in the above-described embodiment, the piezoelectric element 36 pressurizes the pressure chamber 12 by the flexural vibration of one piezoelectric element 36, but the present invention is not limited to this. For example, a piezoelectric element may be stacked, or a longitudinal vibration type piezoelectric element may be used. Or the piezoelectric element of another form may be sufficient.

また、上記実施の形態では、アクチュエータは圧電素子３６と振動板３４とからなっているが、これに限定されない。例えば、圧力室内のインクを加熱し発泡させることで加圧する発熱抵抗体であっても良いし、静電力や磁力を利用したものであっても良い。あるいは、その他の形態のアクチュエータであっても良い。 In the above embodiment, the actuator includes the piezoelectric element 36 and the diaphragm 34, but the present invention is not limited to this. For example, a heating resistor that pressurizes the ink in the pressure chamber by heating and foaming may be used, or an electrostatic force or magnetic force may be used. Or the actuator of another form may be sufficient.

また、上記実施の形態では、インクジェット記録ヘッド１１２はキャリッジ１０４によって搬送しながら記録を行ったが、これに限定されるものではない。例えば、ノズルを記録媒体の全般にわたって配置したインクジェット記録ヘッドを用い、インクジェット記録ヘッドは固定して、記録媒体のみを搬送しながら記録を行っても良い。 In the above embodiment, the inkjet recording head 112 performs recording while being conveyed by the carriage 104, but the present invention is not limited to this. For example, an inkjet recording head in which nozzles are arranged over the entire recording medium may be used, and the inkjet recording head may be fixed and recording may be performed while only the recording medium is being conveyed.

また、本明細書におけるインクジェット記録とは、記録用紙上への文字や画像の記録に限定されるものではない。すなわち、記録媒体は紙に限定されるものでなく、また吐出する液体もインクに限定されるものではない。例えば、高分子フィルムやガラス上にインクを吐出してディスプレイ用カラーフィルターを作成したり、溶接状態の半田を基板上に吐出して部品実装用のバンプを形成したりするなど、工業用的に用いられる液滴噴射装置全般に対して本発明を利用することが可能である。 In addition, the inkjet recording in the present specification is not limited to recording characters and images on recording paper. That is, the recording medium is not limited to paper, and the liquid to be ejected is not limited to ink. For example, industrial applications such as creating color filters for displays by discharging ink onto polymer films or glass, and forming bumps for mounting components by discharging solder in a welded state onto a substrate. The present invention can be applied to all droplet ejecting apparatuses used.

（Ａ）は、本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの要部を示す断面斜視図である。（Ｂ）は（Ａ）のＸ部の拡大図である。FIG. 2A is a cross-sectional perspective view showing a main part of the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention. (B) is the enlarged view of the X section of (A). 本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの要部を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating a main part of the ink jet recording head according to the first embodiment of the invention. 本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドの製造において、ノズルプレートとザグリプレートとの接合工程の概要を示す工程図である。FIG. 5 is a process diagram illustrating an outline of a joining process between a nozzle plate and a counterbore plate in the manufacture of the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention. 本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのザグリプレートの製造工程を（Ａ）から（Ｃ）に順番に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the counterbore plate of the inkjet recording head which concerns on 1st Embodiment of this invention in order from (A) to (C). 本発明の第１実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのノズルプレートにザグリプレートを接合する工程を（Ａ）から（Ｂ）に順番に示し、（Ｃ）は（Ｂ）のザグリ部分の拡大図である。The steps of joining the counterbore plate to the nozzle plate of the ink jet recording head according to the first embodiment of the present invention are shown in order from (A) to (B), and (C) is an enlarged view of the counterbore part of (B). . インクジェット記録装置の部分断面斜視図である。It is a partial cross-sectional perspective view of an inkjet recording device. インクジェット記録装置のクリーニング機構を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the cleaning mechanism of an inkjet recording device. ワイパーブレードでワイピングする様子を（Ａ）から（Ｂ）に模式的に示す図である。It is a figure which shows typically a mode that it wipes with a wiper blade from (A) to (B). 本発明の第２実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのノズルプレートにザグリプレートを接合する工程を（Ａ）から（Ｃ）に順番に示し、（Ｄ）は（Ｃ）のザグリ部分の拡大図である。The steps of joining the counterbore plate to the nozzle plate of the ink jet recording head according to the second embodiment of the present invention are shown in order from (A) to (C), and (D) is an enlarged view of the counterbore part of (C). . （Ａ）は、本発明の第３実施形態に係るインクジェット記録ヘッドのザグリプレートとノズルプレートとの接合部分を模式的に示し、（Ｂ）は（Ａ）のＺ部分の拡大図である。(A) shows typically a joint portion between a counterbore plate and a nozzle plate of an ink jet recording head according to a third embodiment of the present invention, and (B) is an enlarged view of a Z portion in (A). 本発明に係るその他のノズルプレートとザグリプレートとの接合工程の概要を示す工程図である。It is process drawing which shows the outline | summary of the joining process of the other nozzle plate and counterbore plate which concern on this invention. 本発明に係るその他のノズルプレートとザグリプレートとの接合工程の概要を示す工程図である。It is process drawing which shows the outline | summary of the joining process of the other nozzle plate and counterbore plate which concern on this invention. 本発明に係るその他のノズルプレートとザグリプレートとの接合工程の概要を示す工程図である。It is process drawing which shows the outline | summary of the joining process of the other nozzle plate and counterbore plate which concern on this invention. 本発明に係るインクジェット記録ヘッドのザグリ壁面の拡大図である。It is an enlarged view of a counterbore wall surface of the ink jet recording head according to the present invention. 従来のインクジェット記録ヘッドのザグリ壁面の拡大図である。It is an enlarged view of a counterbore wall surface of a conventional inkjet recording head. 従来のインクジェット記録ヘッドにおいて、ワイパーブレードでワイピングする様子を（Ａ）から（Ｂ）に模式的に示す図である。FIG. 6 is a diagram schematically illustrating a state of wiping with a wiper blade in a conventional inkjet recording head, from (A) to (B). 従来のインクジェット記録ヘッドにおいて、ノズルプレートとザグリプレートとの接合工程の概要を示す工程図である。In the conventional inkjet recording head, it is process drawing which shows the outline | summary of the joining process of a nozzle plate and a counterbore plate.

Explanation of symbols

１０ノズル
１０Ａノズル面
１１２インクジェット記録ヘッド
１６０接着剤
１６２粒子
２００ザグリ
２０２ザグリ孔
２００Ａザグリ壁面（ザグリの壁面）
２１０撥液膜
２１０Ａ非膜部
２２０ザグリプレート
２２０Ａ突起部
４００ザグリプレート DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Nozzle 10A Nozzle surface 112 Inkjet recording head 160 Adhesive 162 particle | grain 200 200 counterbore 202 counterbore hole 200A counterbore wall surface (wall face of counterbore)
210 Liquid repellent film 210A Non-film part 220 counterbore plate 220A Protrusion part 400 counterbore plate

Claims

In an inkjet recording head comprising a nozzle that ejects ink and a counterbore formed around the nozzle,
A liquid repellent film that repels the ink is formed at least on the peripheral edge of the nozzle,
The counterbore wall has a region where the liquid repellent film is not formed,
A counterbore plate is joined to the nozzle surface on which the nozzle and the liquid repellent film are formed, and a counterbore hole serving as the counterbore is formed in the counterbore plate.
The counterbore plate is provided with a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface on a joint surface with the nozzle surface.

In an inkjet recording head comprising a nozzle that ejects ink and a counterbore formed around the nozzle,
A liquid repellent film that repels the ink is formed at least on the peripheral edge of the nozzle,
The counterbore wall has a region where the liquid repellent film is not formed,
A counterbore plate is joined to the nozzle surface on which the nozzle and the liquid repellent film are formed, and a counterbore hole serving as the counterbore is formed in the counterbore plate.
The counterbore plate and the nozzle surface are bonded with an adhesive, and the adhesive is mixed with particles penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface.

Region where the liquid-repellent film is not formed, the ink-jet recording head according to claim 1 or claim 2, characterized by the presence connected over the entire periphery of the counterbore wall.

2. The liquid repellent film in a region of the nozzle surface that is joined to the counterbore plate is partially removed, and has a non-film portion where the nozzle surface is partially exposed . The ink jet recording head according to claim 3 .

The inkjet recording head according to any one of claims 1 to 4, wherein the nozzle surface and the counterbore plate are made of a material having substantially the same coefficient of thermal expansion.

6. The ink jet recording head according to claim 5, wherein the nozzle surface and the counterbore plate are made of the same material.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming the nozzle on the nozzle surface;
A third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A fourth step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
A fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
With
The fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A tool having a plurality of protrusions is pressed against the nozzle surface, and the liquid-repellent film is partially destroyed and removed by the protrusions to form a non-film portion from which the nozzle surface is exposed. Is bonded to the nozzle surface. A method for manufacturing an ink jet recording head.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming the nozzle on the nozzle surface;
A third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A fourth step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
A fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
With
The counterbore plate includes a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface on a joint surface with the nozzle surface,
The fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A method of manufacturing an ink jet recording head, wherein the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the protrusion is partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is bonded to the nozzle surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming the nozzle on the nozzle surface;
A third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A fourth step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
A fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
With
The counterbore plate and the nozzle surface are bonded with an adhesive mixed with particles penetrating the liquid repellent film on the nozzle surface,
The fifth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
The adhesive is applied between the counterbore plate and the nozzle surface, the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the particles are partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is moved to the nozzle A method of manufacturing an ink jet recording head, comprising bonding to a surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A third step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
A fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fifth step of forming the nozzle on the nozzle surface;
With
The fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A tool having a plurality of protrusions is pressed against the nozzle surface, and the liquid-repellent film is partially destroyed and removed by the protrusions to form a non-film portion from which the nozzle surface is exposed. Is bonded to the nozzle surface. A method for manufacturing an ink jet recording head.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A third step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
A fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fifth step of forming the nozzle on the nozzle surface;
With
The counterbore plate includes a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface on a joint surface with the nozzle surface,
The fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A method of manufacturing an ink jet recording head, wherein the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the protrusion is partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is bonded to the nozzle surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A third step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
A fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fifth step of forming the nozzle on the nozzle surface;
With
The counterbore plate and the nozzle surface are bonded with an adhesive mixed with particles penetrating the liquid repellent film on the nozzle surface,
The fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
The adhesive is applied between the counterbore plate and the nozzle surface, the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the particles are partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is moved to the nozzle A method of manufacturing an ink jet recording head, comprising bonding to a surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming the nozzle on the nozzle surface;
A third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fifth step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
With
The fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A tool having a plurality of protrusions is pressed against the nozzle surface, and the liquid-repellent film is partially destroyed and removed by the protrusions to form a non-film portion from which the nozzle surface is exposed. Is bonded to the nozzle surface. A method for manufacturing an ink jet recording head.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming the nozzle on the nozzle surface;
A third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fifth step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
With
The counterbore plate includes a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface on a joint surface with the nozzle surface,
The fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A method of manufacturing an ink jet recording head, wherein the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the protrusion is partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is bonded to the nozzle surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming the nozzle on the nozzle surface;
A third step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fifth step of forming a counterbore hole to be the counterbore in the counterbore plate;
With
The counterbore plate and the nozzle surface are bonded with an adhesive mixed with particles penetrating the liquid repellent film on the nozzle surface,
The fourth step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
The adhesive is applied between the counterbore plate and the nozzle surface, the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the particles are partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is moved to the nozzle A method of manufacturing an ink jet recording head, comprising bonding to a surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fourth step of forming the nozzle on the nozzle surface and a counterbore hole serving as the counterbore on the counterbore plate;
With
The third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A tool having a plurality of protrusions is pressed against the nozzle surface, and the liquid-repellent film is partially destroyed and removed by the protrusions to form a non-film portion from which the nozzle surface is exposed. Is bonded to the nozzle surface. A method for manufacturing an ink jet recording head.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fourth step of forming the nozzle on the nozzle surface and a counterbore hole serving as the counterbore on the counterbore plate;
With
The counterbore plate includes a plurality of protrusions penetrating the liquid-repellent film on the nozzle surface on a joint surface with the nozzle surface,
The third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
A method of manufacturing an ink jet recording head, wherein the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the protrusion is partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is bonded to the nozzle surface.

In a method for manufacturing an inkjet recording head, comprising: a nozzle that ejects ink; and a counterbore formed around the nozzle;
A first step of forming a liquid repellent film that repels the ink on a nozzle surface on which the nozzle is formed;
A second step of forming a liquid repellent film on the counterbore plate;
A third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface;
A fourth step of forming the nozzle on the nozzle surface and a counterbore hole serving as the counterbore on the counterbore plate;
With
The counterbore plate and the nozzle surface are bonded with an adhesive mixed with particles penetrating the liquid repellent film on the nozzle surface,
The third step of joining the counterbore plate to the nozzle surface includes:
The adhesive is applied between the counterbore plate and the nozzle surface, the counterbore plate is pressed against the nozzle surface, the particles are partially penetrated through the liquid repellent film, and the counterbore plate is moved to the nozzle A method of manufacturing an ink jet recording head, comprising bonding to a surface.