JP2001277514A - Liquid ejection recording head, liquid ejection recorder, and method for manufacturing liquid ejection recording head - Google Patents

Liquid ejection recording head, liquid ejection recorder, and method for manufacturing liquid ejection recording head

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JP2001277514A JP2000098669A JP2000098669A JP2001277514A JP 2001277514 A JP2001277514 A JP 2001277514A JP 2000098669 A JP2000098669 A JP 2000098669A JP 2000098669 A JP2000098669 A JP 2000098669A JP 2001277514 A JP2001277514 A JP 2001277514A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To realize a liquid ejection recording head in which an orifice plate is bonded surely to a base body while ensuring planarity of a face of the orifice plate, i.e., the ejection opening forming face of the liquid ejection recording head. SOLUTION: Nozzles 7 are formed between a heater board 1 and a top plate 5, and a chip tank 11 is set on a base plate 3 secured with the heater board 1. The chip tank 11 has a front plate part 11b covering the periphery of the front end face 1b of the heater board 1 and the front end face 5b of the top plate 5 wherein cuts 33, 34 are made stepwise in the edge parts 31, 32 of the front plate part 11b. When an orifice plate 6 is bent along the edge parts 31, 32 and bonded, an arc can be formed at the bend of the orifice plate 6 depending on the bending stress because the cuts 33, 34 are made and the face 6b of the orifice plate 6 is prevented from floating or projecting significantly.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、オリフィスプレー
トに形成された複数の吐出口から記録紙に向けてインク
を吐出して、その記録紙に対して記録を行う液体噴射記
録ヘッド、その液体噴射記録ヘッドを搭載した液体噴射
記録装置、および液体噴射記録ヘッドの製造方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid ejecting recording head for ejecting ink from a plurality of ejection openings formed in an orifice plate toward recording paper and performing recording on the recording paper, and the liquid ejecting head. The present invention relates to a liquid jet recording apparatus equipped with a recording head and a method for manufacturing a liquid jet recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】液体噴射記録装置は、例えば液体噴射記
録ヘッドに、液体であるインクを供給し、液体噴射記録
ヘッドに設けられたピエゾ素子や電気熱変換体等のイン
ク滴吐出手段を画像データに基づいて駆動することによ
って用紙等の記録媒体にインクドットパターンで画像を
形成するものである。
2. Description of the Related Art A liquid jet recording apparatus supplies a liquid ink, for example, to a liquid jet recording head, and applies an ink droplet ejection means such as a piezo element or an electrothermal converter provided in the liquid jet recording head to image data. The image is formed on a recording medium such as paper by an ink dot pattern by driving based on.

【0003】このように液体噴射記録ヘッドの吐出口か
らインクを吐出することにより記録を行うインクジェッ
ト記録装置は低騒音、高速記録等の点で優れた記録装置
として知られている。
An ink jet recording apparatus which performs recording by discharging ink from the discharge ports of a liquid jet recording head is known as a recording apparatus excellent in terms of low noise, high speed recording and the like.

【0004】この種の液体噴射記録ヘッドは、例えば図
28に示されるようにインクを吐出するための複数の吐
出口141が形成されたオリフィスプレート140と、
各吐出口141に連通した液流路401を形成するため
の溝が形成された天板400と、液流路401の壁面の
一部を構成し、かつ吐出のための熱エネルギーを発生す
る電気熱変換体501を備えた素子基板500とから構
成されている。
A liquid jet recording head of this type includes an orifice plate 140 having a plurality of ejection ports 141 for ejecting ink, as shown in FIG. 28, for example.
A top plate 400 in which a groove for forming a liquid flow path 401 communicating with each discharge port 141 is formed. And an element substrate 500 having a heat converter 501.

【0005】一般にオリフィスプレート140は、素子
基板500と天板400との接合段差や、素子基板50
0と天板400との、インクに対する濡れ性の違いに起
因するところのインクの吐出方向のずれを防止するため
に、吐出口面を同一部材で構成することを主な目的の1
つとして設けられたものである。このオリフィスプレー
ト140は、天板400と一体的に設けられる場合と、
天板400とは別部材で設けられて天板400や素子基
板500に接合される場合とがある。
[0005] Generally, the orifice plate 140 is provided with a step difference between the element substrate 500 and the top plate 400 or the element substrate 50.
In order to prevent a shift in the ink ejection direction due to a difference in wettability of the ink between the ink jet head 0 and the top plate 400, the main object of the present invention is to form the ejection port surface with the same member.
It is provided as one. The orifice plate 140 is provided integrally with the top plate 400,
The top plate 400 may be provided as a separate member from the top plate 400 and joined to the top plate 400 or the element substrate 500 in some cases.

【0006】オリフィスプレート140が天板400と
別部材で設けられる場合には、オリフィスプレート14
0の各吐出口141を、素子基板500と天板400と
の圧接によって形成された液流路401に対して位置決
めしてアライメントを行った後にオリフィスプレート1
40が、素子基板500および天板400からなるヘッ
ド基体の前端面に接合される。この方法は、耐久性が必
要とされるオリフィスプレート140の材質を任意に選
択することができるという利点を有している。
When the orifice plate 140 is provided separately from the top plate 400, the orifice plate 14
After positioning each discharge port 141 with respect to the liquid flow path 401 formed by press-contact between the element substrate 500 and the top plate 400 and performing alignment, the orifice plate 1
40 is joined to the front end face of the head base composed of the element substrate 500 and the top plate 400. This method has an advantage that the material of the orifice plate 140 requiring durability can be arbitrarily selected.

【0007】一方、オリフィスプレート140が天板4
00と一体的に設けられる場合には、オリフィスプレー
ト140と天板400とが、液流路401となる溝が吐
出口141に連通した一体部材であり、天板400と素
子基板500との簡単な機械的な圧接によって各液流路
401が形成されるため、液体噴射記録ヘッドの生産性
が優れている。
On the other hand, the orifice plate 140 is
In the case where the top plate 400 and the element substrate 500 are provided integrally with each other, the orifice plate 140 and the top plate 400 are an integral member in which a groove serving as the liquid flow path 401 communicates with the discharge port 141. Since each liquid flow path 401 is formed by appropriate mechanical pressure contact, the productivity of the liquid jet recording head is excellent.

【0008】一般に、オリフィスプレート140が樹脂
材料からなる場合、複数の吐出口141はエキシマレー
ザー加工によって形成される。その加工の際に用いられ
るエキシマレーザー光は光学系によって光量分布が均一
化されており、複数の吐出口141は、このような光学
系を介したレーザー光によって1工程もしくは2〜3工
程の加工で形成される。これにより、吐出口141同士
の相対位置や、吐出口141の配列ピッチの精度を高く
して複数の吐出口141を形成することができるととも
に、吐出口141の形状および開口面積の均一化が図ら
れている。
Generally, when the orifice plate 140 is made of a resin material, the plurality of discharge ports 141 are formed by excimer laser processing. The excimer laser light used in the processing has a uniform light amount distribution by an optical system, and the plurality of discharge ports 141 are processed in one step or two to three steps by the laser light passing through such an optical system. Is formed. This makes it possible to form the plurality of outlets 141 with high precision in the relative positions of the outlets 141 and the arrangement pitch of the outlets 141, and to make the shape and opening area of the outlets 141 uniform. Have been.

【0009】また、吐出口の形成装置において、このよ
うな光学系の集光特性上、エキシマレーザーの光束は、
光学系がオリフィスプレートの加工部の入射面から後退
するほど広がることになる。さらに、エキシマレーザー
光を照射して樹脂をアブレーションする加工は、オリフ
ィスプレート140の、入射面側と反対側の面に形成さ
れる穴の大きさが、その入射面に形成される穴の大きさ
よりも大きくなるという特徴を有している。
In the discharge port forming apparatus, the light beam of the excimer laser is
The more the optical system retreats from the entrance surface of the processed part of the orifice plate, the more it spreads. Further, in the process of ablating the resin by irradiating the excimer laser beam, the size of the hole formed on the surface of the orifice plate 140 opposite to the incident surface side is larger than the size of the hole formed on the incident surface. Also has the feature that it becomes larger.

【0010】上記の2つの特徴から、オリフィスプレー
ト140と天板400とが一体化した部材に吐出口14
1を形成する場合には、オリフィスプレート140に液
流路401側からレーザー光を照射し、照射されたレー
ザー光がオリフィスプレート140からインク吐出方向
に出射する。
[0010] Due to the above two features, the discharge port 14 is formed as a member in which the orifice plate 140 and the top plate 400 are integrated.
In the case of forming 1, the laser beam is irradiated to the orifice plate 140 from the liquid flow path 401 side, and the irradiated laser light is emitted from the orifice plate 140 in the ink ejection direction.

【0011】具体的には、図29に示されるように、天
板400の、オリフィスプレート140側と反対側にマ
スク222が配置され、マスク222を通過したレーザ
ー光221が、液流路401となる液流路溝233の内
壁面に干渉することがないように、天板200がレーザ
ー光221の光軸221aに対して傾けられて保持され
ている。このようにしてマスク222を通してオリフィ
スプレート140にレーザー光221を照射することに
より、天板200に対して傾斜した吐出口141がオリ
フィスプレート140に形成される。
More specifically, as shown in FIG. 29, a mask 222 is disposed on the top plate 400 on the side opposite to the orifice plate 140 side, and the laser beam 221 passing through the mask 222 The top plate 200 is held inclined with respect to the optical axis 221a of the laser beam 221 so as not to interfere with the inner wall surface of the liquid flow channel groove 233. By irradiating the orifice plate 140 with the laser beam 221 through the mask 222 in this manner, the orifice plate 140 is formed with the discharge port 141 inclined with respect to the top plate 200.

【0012】ここで、レーザー221が、オリフィスプ
レート140の、吐出口141が形成される吐出口形成
面140aに対して垂直にオリフィスプレート140に
照射されて吐出口141が形成されるため、作製された
液体噴射記録ヘッドでは、インクが吐出口形成面(フェ
イス面)140aから垂直に吐出される。
Here, the laser 221 is irradiated on the orifice plate 140 perpendicularly to the discharge port forming surface 140a of the orifice plate 140 where the discharge port 141 is formed, so that the discharge port 141 is formed. In the liquid ejection recording head, ink is ejected vertically from the ejection port forming surface (face surface) 140a.

【0013】このような構成の天板200およびオリフ
ィスプレート140を有する液体噴射記録ヘッドは、吐
出口141の向き(レーザー加工時の傾斜方向)と素子
基板500との傾斜量に相当する分だけ液体噴射記録装
置の本体で傾斜して保持され、インクが液体噴射記録ヘ
ッドから記録媒体に対して垂直に吐出される。
In the liquid jet recording head having the top plate 200 and the orifice plate 140 having such a configuration, the amount of the liquid corresponding to the direction of the discharge port 141 (inclination direction at the time of laser processing) and the amount of inclination with respect to the element substrate 500 are adjusted. The ink is held at an angle by the main body of the ejection recording apparatus, and ink is ejected perpendicularly to the recording medium from the liquid ejection recording head.

【0014】これに対して、オリフィスプレート140
と天板400とが別部材で形成される場合は、上記のよ
うにレーザー光の光軸が天板400に干渉するというこ
とがないため、液体噴射記録ヘッドが記録媒体に対して
垂直に保持される。
On the other hand, the orifice plate 140
When the top plate 400 and the top plate 400 are formed as separate members, the optical axis of the laser beam does not interfere with the top plate 400 as described above. Is done.

【0015】一般に、インクジェット記録装置のような
液体噴射記録装置では、液流路内の気泡の除去や、長期
間の放置によってインクの粘度が増すことの回避等のた
め、液流路内のインクを吸引してインクを排出させるに
より液体噴射記録ヘッドの状態を回復させる吸引回復動
作、または液流路内のインクを加圧して排出させること
により液体噴射記録ヘッドの状態を回復させる加圧回復
動作が行われている。さらには、液体噴射記録ヘッドの
吐出口周辺部におけるインクの増粘や乾燥を防止するた
めに、オリフィスプレートの表面にキャップ部材を当接
させてその面を密封するキャッピング動作が行われてい
る。
In general, in a liquid jet recording apparatus such as an ink jet recording apparatus, the ink in the liquid flow path is used to remove bubbles in the liquid flow path and to prevent the viscosity of the ink from increasing due to long-term storage. Suction recovery operation for recovering the state of the liquid ejection recording head by sucking ink and discharging ink, or pressure recovery operation for recovering the state of the liquid ejection recording head by pressing and discharging ink in the liquid flow path Has been done. Further, in order to prevent thickening and drying of the ink around the discharge ports of the liquid jet recording head, a capping operation is performed in which a cap member is brought into contact with the surface of the orifice plate to seal the surface.

【0016】また、連続的にインクを吐出させた場合等
には、紙面から跳ね返ったインクや、空中の霧状の液体
(インクミスト)がオリフィスプレートの表面に付着
し、その表面に余分な液体が溜まることがある。この場
合、オリフィスプレートの表面に付着した余分な液体に
よって不安定な吐出が引き起こされたり、場合によって
は不吐出が引き起こされてしまうことがある。そこで、
オリフィスプレートの表面に付着した残留インクを拭き
取る清掃手段として、ゴム、エラストマー、または吸水
性の材料等で形成されたブレードを用い、そのブレード
によって、オリフィスプレートに付着したインクを拭き
取ったりしている。
In the case where ink is continuously ejected, ink splashed from the paper surface or mist-like liquid (ink mist) in the air adheres to the surface of the orifice plate, and excess liquid is deposited on the surface of the orifice plate. May accumulate. In this case, unstable ejection may be caused by extra liquid adhering to the surface of the orifice plate, or non-ejection may be caused in some cases. Therefore,
As a cleaning means for wiping residual ink adhered to the surface of the orifice plate, a blade made of rubber, an elastomer, a water-absorbing material, or the like is used, and the ink adhered to the orifice plate is wiped off by the blade.

【0017】しかしながら、オリフィスプレートにおい
てキャップ部材が密着する領域を、オリフィスプレート
のフェイス面における吐出口の外周部に確保しようとす
ると、オリフィスプレートの面積を大きくする必要があ
り、その面積が大きいと、肉厚の薄いフィルム状部材で
あるオリフィスプレートのハンドリング(取り扱い)が
悪化し、天板や素子基板との接合精度が低下してしまう
ことになる。さらに、オリフィスプレート全体の接合面
積が大きくなると、オリフィスプレートに作用する接着
剤の硬化収縮応力が増大することになり、オリフィスプ
レートのキャッピング部分の平面性が損なわれてキャッ
ピング不良が引き起こされたり、あるいは吐出口の周辺
部分が変形して、吐出口の向きや配列精度の悪化が引き
起こされたりする。
However, in order to secure the area of the orifice plate where the cap member is in close contact with the outer peripheral portion of the discharge port on the face surface of the orifice plate, it is necessary to increase the area of the orifice plate. Handling (handling) of the orifice plate, which is a thin film-shaped member, is deteriorated, and the joining accuracy with the top plate and the element substrate is reduced. Further, when the bonding area of the entire orifice plate is increased, the curing shrinkage stress of the adhesive acting on the orifice plate is increased, and the flatness of the capping portion of the orifice plate is impaired, resulting in poor capping or The peripheral portion of the discharge port is deformed, and the direction of the discharge port and the arrangement accuracy are deteriorated.

【0018】このため、図28に示したような従来の液
体噴射記録ヘッドでは、オリフィスプレート140の周
囲にシール部材を設け、そのシール部材にキャップ部材
を当接させてオリフィスプレート140の表面を密封す
ることにより、吐出口面のキャッピング動作を行う等の
対処をしていた。
For this reason, in the conventional liquid jet recording head as shown in FIG. 28, a seal member is provided around the orifice plate 140, and a cap member is brought into contact with the seal member to seal the surface of the orifice plate 140. By doing so, measures such as performing a capping operation on the discharge port surface have been taken.

【0019】次に、回復装置の一例を、図30に示す液
体噴射記録装置の斜視図を参照して説明する。図30
は、液体噴射記録ヘッドを搭載した従来の液体噴射記録
装置の一例を示す外観斜視図である。図30に示される
液体噴射記録ヘッド101は、図28に示したものと同
様の構成のものである。
Next, an example of the recovery device will be described with reference to a perspective view of the liquid jet recording device shown in FIG. FIG.
1 is an external perspective view showing an example of a conventional liquid jet recording apparatus equipped with a liquid jet recording head. The liquid jet recording head 101 shown in FIG. 30 has the same configuration as that shown in FIG.

【0020】図30に示されるインクジェット記録装置
では、液体噴射記録ヘッド101がキャリッジ102に
搭載されており、液体噴射記録ヘッド101の吐出口形
成面140aに形成された吐出口141よりインクを吐
出して記録媒体105に画像が記録される。キャリッジ
102はガイド軸103により支持され、キャリッジ1
02がその移動方向にガイド軸103によって案内され
ることで、キャリッジ102が被記録媒体105に対向
しながら往復移動する。被記録媒体105は、ピンチロ
ーラ(不図示)によりフィードローラ(不図示)に圧接
されてそれらのローラの間に挟持され、フィードローラ
が回転することにより搬送される。さらに、画像形成後
の被記録媒体105は排出ローラ(不図示)によって記
録装置の外部に排出される。
In the ink jet recording apparatus shown in FIG. 30, a liquid ejection recording head 101 is mounted on a carriage 102, and ink is ejected from ejection ports 141 formed on an ejection port forming surface 140a of the liquid ejection recording head 101. Thus, an image is recorded on the recording medium 105. The carriage 102 is supported by a guide shaft 103 and the carriage 1
The carriage 102 reciprocates while facing the recording medium 105 by the guide 02 being guided by the guide shaft 103 in the moving direction. The recording medium 105 is pressed against a feed roller (not shown) by a pinch roller (not shown), is sandwiched between the rollers, and is conveyed by rotating the feed roller. Further, the recording medium 105 after image formation is discharged to the outside of the recording apparatus by a discharge roller (not shown).

【0021】このインクジェット記録装置にはワイピン
グ装置が備えられており、そのワイピング装置のワイピ
ングブレード104が、液体噴射記録ヘッド101の画
像形成領域の外部に設けられている。液体噴射記録ヘッ
ド101の吐出口形成面140aに付着した紙粉等の異
物や余分なインクは、画像形成領域外に設けられたワイ
ピングブレード104によって掻き取られる。また、吐
出口形成面140aを覆って吐出口141の目詰まりを
防止したり、液体噴射記録ヘッド101の外部より液流
路401内のインクを吸引したりするためにキャップ1
06が設けられている。そのキャップ106と、キャッ
プ106を通して液流路401内のインクを吸引する吸
引手段等とから吸引装置が構成されている。
This ink jet recording apparatus is provided with a wiping device, and a wiping blade 104 of the wiping device is provided outside the image forming area of the liquid jet recording head 101. Foreign matter such as paper dust and extra ink adhered to the ejection port forming surface 140a of the liquid jet recording head 101 are scraped off by the wiping blade 104 provided outside the image forming area. In addition, the cap 1 covers the ejection port forming surface 140a to prevent clogging of the ejection port 141, and sucks ink in the liquid flow path 401 from outside the liquid ejection recording head 101.
06 is provided. A suction device includes the cap 106 and suction means for suctioning ink in the liquid flow path 401 through the cap 106.

【0022】ここで、従来のインクジェット記録装置に
おいてワイピングブレード104により液体噴射記録ヘ
ッド101の吐出口形成面140aの異物やインクを掻
き取ってクリーニングを行う動作(ワイピング動作)に
ついて説明する。
Here, an operation (wiping operation) of cleaning and removing foreign matter and ink on the discharge port forming surface 140a of the liquid jet recording head 101 by the wiping blade 104 in the conventional ink jet recording apparatus will be described.

【0023】図31は、図30に示したインクジェット
記録装置におけるワイピング動作について説明するため
の模式図であり、ワイピングブレード104の状態a,
b,cはそれぞれ、ワイピング動作前、ワイピング動作
中、ワイピング動作後の状態を示している。
FIG. 31 is a schematic diagram for explaining the wiping operation in the ink jet recording apparatus shown in FIG.
b and c show states before the wiping operation, during the wiping operation, and after the wiping operation, respectively.

【0024】図31に示すように、ワイピングブレード
104が状態aから矢印A方向に移動して、液体噴射記
録ヘッド101の吐出口形成面140a上に進入しよう
とすると、ワイピングブレード104の先端部が液体噴
射記録ヘッド101の側方を押しながら湾曲し、その先
端部が適当な圧力で吐出口形成面140aに圧接する。
ワイピングブレード104は、吐出口形成面140aに
圧接した状態bのまま吐出口形成面140a上を通過し
ていくので、吐出口形成面140aに付着した異物やイ
ンクはワイピングブレード140aの端部で掻き取ら
れ、ワイピングブレード140aが完全に液体噴射記録
ヘッド101を通過しきると、ワイピングブレード10
4はその弾性力によって状態cのように回復して元の形
状に復元する。
As shown in FIG. 31, when the wiping blade 104 moves from the state a in the direction of arrow A and attempts to enter the ejection port forming surface 140a of the liquid jet recording head 101, the tip of the wiping blade 104 is moved. The liquid jet recording head 101 bends while pressing it to the side, and its front end is pressed against the discharge port forming surface 140a with an appropriate pressure.
Since the wiping blade 104 passes over the discharge port forming surface 140a while being pressed against the discharge port forming surface 140a, foreign matter and ink attached to the discharge port forming surface 140a are scraped at the end of the wiping blade 140a. When the wiping blade 140a is completely passed through the liquid jet recording head 101,
4 recovers to its original shape by the elastic force as shown in state c.

【0025】以上のような一連のワイピング動作により
吐出口形成面140aをクリーニングすることで、液体
噴射記録ヘッド101からのインクの吐出が安定し、良
好な画像を得ることができる。
By cleaning the ejection port forming surface 140a by a series of wiping operations as described above, the ejection of ink from the liquid ejection recording head 101 is stabilized, and a good image can be obtained.

【0026】[0026]

【発明が解決しようとする課題】液体噴射記録装置は近
年の記録技術の進歩に伴って、さらなる高速、高精細な
記録が要求されており、液体噴射記録ヘッドの吐出口群
は、その吐出口の大きさ(吐出口の開口面積)がより微
小で高密度に形成されることが必須となっている。これ
に伴って、図28に示した液体噴射記録ヘッドにおいて
は、吐出口141と液流路401の加工精度、および吐
出口141と液流路401とのアライメント精度をさら
に向上させていく必要がある。
With the recent advancement of recording technology, higher-speed, higher-definition recording is required for a liquid jet recording apparatus. It is essential that the size (opening area of the discharge port) is finer and formed at a high density. Along with this, in the liquid jet recording head shown in FIG. 28, it is necessary to further improve the processing accuracy of the ejection port 141 and the liquid channel 401 and the alignment accuracy of the ejection port 141 and the liquid channel 401. is there.

【0027】しかしながら、オリフィスプレート140
に開けられる複数の吐出口141が高密度化されると、
隣り合う吐出口141の間隔が狭くなるため、吐出口1
41同士の間の部分の接着面積が小さくなるという問題
点がある。つまり、オリフィスプレート140と液流路
401の間の液流路側壁402にオリフィスプレート1
04を接合する接着剤は、オリフィスプレート400と
天板400との圧接の際に広がって移動するため、隣り
合う吐出口141の間隔に塗布された接着剤が、吐出口
141の内部や液流路401の内部に流れ込むという恐
れがある。接着剤が吐出口内や液流路内へ進入すると、
その接着剤によって吐出口や液流路の内部形状に変化が
起こり、インクの吐出方向に乱れが生じたり、安定した
吐出が得られなくなる等の不具合の原因となる。
However, the orifice plate 140
When the density of the plurality of discharge ports 141 opened in the
Since the interval between the adjacent discharge ports 141 becomes narrow, the discharge port 1
There is a problem that the bonding area of the portion between the 41 is reduced. That is, the orifice plate 1 is provided on the liquid flow path side wall 402 between the orifice plate 140 and the liquid flow path 401.
Since the adhesive for bonding the adhesives 04 spreads and moves when the orifice plate 400 and the top plate 400 are pressed against each other, the adhesive applied to the space between the adjacent discharge ports 141 may cause the inside of the discharge ports 141 and the liquid flow. There is a risk of flowing into the inside of the road 401. When the adhesive enters the discharge port or liquid flow path,
The adhesive causes a change in the internal shape of the discharge port and the liquid flow path, causing disturbances in the ink discharge direction and causing problems such as the inability to obtain stable discharge.

【0028】したがって、オリフィスプレート104と
液流路側壁402とを圧接して接合する際には、圧接
力、接着剤の塗布量、接着剤の塗布領域、接着剤の粘
度、接合面の形状、接着剤の硬化条件、環境条件等を最
適に管理して、接着剤の広がりを規制する必要がある。
このように従来の液体噴射記録ヘッドの構成では、オリ
フィスプレート140の接合工程の難易度が非常に高
く、液体噴射記録ヘッドの生産性を悪化させていた。さ
らに、接着剤の塗布量や塗布領域を制限しているため、
オリフィスプレート140の接着強度を低下させる要因
となっていた。
Therefore, when the orifice plate 104 and the liquid flow path side wall 402 are joined by pressure contact, the pressure contact force, the amount of adhesive applied, the adhesive application area, the viscosity of the adhesive, the shape of the joint surface, It is necessary to optimally manage the curing conditions, environmental conditions, and the like of the adhesive to regulate the spread of the adhesive.
As described above, in the configuration of the conventional liquid jet recording head, the difficulty of the joining process of the orifice plate 140 is extremely high, and the productivity of the liquid jet recording head is deteriorated. Furthermore, since the amount and area of application of the adhesive are limited,
This is a factor that lowers the adhesive strength of the orifice plate 140.

【0029】また、一方では、オリフィスプレート14
0の材質と、液流路構成部材の材質との違いによる熱膨
張率の差の問題がある。つまり、接着剤を加熱硬化させ
る工程の際に、オリフィスプレート140と天板400
が個別に熱膨張を起こすため、吐出口141と液流路4
01との相対位置が変化し、両者の相対位置がずれた状
態で接着剤が硬化してしまうといった問題点がある。
On the other hand, the orifice plate 14
There is a problem of a difference in coefficient of thermal expansion due to a difference between the material of No. 0 and the material of the liquid flow path constituting member. That is, in the step of heating and curing the adhesive, the orifice plate 140 and the top plate 400
Cause thermal expansion individually, the discharge port 141 and the liquid flow path 4
There is a problem that the relative position with respect to 01 changes and the adhesive hardens in a state where the relative positions of the two are shifted.

【0030】これらに対して、特開平2−187342
号公報等のように、樹脂フィルム製のオリフィスプレー
トを、ヘッド基体における液流路一端の開口端側の面に
接合した後に、レーザー光をオリフィスプレートの表面
側から照射して吐出口を加工形成する方法が提案されて
いる。しかしながら、このようにして吐出口を形成する
方法では、レーザー加工時のアブレーションによって生
じるカーボン等のゴミや異物が液流路内に入り込んで、
液流路が目詰まりを起こすという問題点を抱えている。
On the other hand, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2-187342
As described in Japanese Patent Laid-Open Publication No. H10-207, after joining an orifice plate made of a resin film to the surface of the head base on the opening end side of one end of the liquid flow path, a laser beam is irradiated from the front side of the orifice plate to form a discharge port. A way to do this has been proposed. However, in the method of forming the discharge port in this manner, dust and foreign matters such as carbon generated by ablation during laser processing enter the liquid flow path,
There is a problem that the liquid flow path is clogged.

【0031】また、ワイピング動作においても次のよう
な問題点を抱えていた。
The wiping operation also has the following problems.

【0032】すなわち、一般にオリフィスプレートが液
流路(ノズル)形成部材すなわちヘッド基体に接合され
て構成された液体噴射記録ヘッドでは、回復装置のワイ
ピング動作によってインク吐出面をクリーニングする
際、ワイピングブレードの先端がオリフィスプレートの
吐出口形成面(フェイス面)に摺接するために、ワイピ
ング動作の繰り返しによって、オリフィスプレートと液
流路形成部材との接合部が剥離する恐れがあった。
That is, in a liquid jet recording head in which an orifice plate is generally joined to a liquid flow path (nozzle) forming member, that is, a head base, when the ink ejection surface is cleaned by a wiping operation of a recovery device, a wiping blade is used. Since the leading end is in sliding contact with the discharge port forming surface (face surface) of the orifice plate, there is a possibility that the junction between the orifice plate and the liquid flow path forming member may be separated by repeated wiping operations.

【0033】特に、ワイピングブレードがオリフィスプ
レートの吐出口形成面上に進入する際、ワイピングブレ
ード先端がオリフィスプレートの端部稜線を引っ掛ける
ようにして進入するため、ワイピングブレードがオリフ
ィスプレートを引きずってしまう可能性があり、このよ
うな状況下でワイピング動作が繰り返されると、オリフ
ィスプレートの端部が液体噴射記録ヘッドの本体から剥
離してしまうことになる。そして、オリフィスプレート
の端部が僅かでも剥離すると、その後のワイピング動作
の繰り返しによって、オリフィスプレートの剥離は端部
以外の領域まで波及し、液体噴射記録ヘッドに回復不能
な損傷を与えてしまうことになる。
In particular, when the wiping blade enters the discharge port formation surface of the orifice plate, the tip of the wiping blade enters the end ridge of the orifice plate, so that the wiping blade can drag the orifice plate. If the wiping operation is repeated in such a situation, the end of the orifice plate will peel off from the main body of the liquid jet recording head. And even if the end of the orifice plate peels off even slightly, the repetition of the subsequent wiping operation causes the peeling of the orifice plate to spread to areas other than the end, causing irreparable damage to the liquid jet recording head. Become.

【0034】このような問題点を回避するために、前述
したようにオリフィスプレートの周囲にシール部材とし
て前面プレートを配設する構成では、キャッピングに要
する面積が必然的に狭くなり、キャッピング動作の精度
を上げるために高精度な部品を使用しなければならない
といった必要性が伴うことになる。また、前面プレート
の面積を拡大して、キャッピング面積を確保しようとす
ると、前面プレート部品が相対的に大きくなり、液体噴
射記録ヘッドのコストアップ、および記録装置全体の大
型化の要因となってしまう。
In order to avoid such a problem, in the configuration in which the front plate is provided as a seal member around the orifice plate as described above, the area required for capping is inevitably reduced, and the accuracy of the capping operation is reduced. Therefore, there is a necessity that high-precision parts must be used in order to increase the quality. In addition, if the capping area is to be ensured by enlarging the area of the front plate, the front plate components become relatively large, which increases the cost of the liquid jet recording head and increases the size of the entire recording apparatus. .

【0035】さらに、前面プレートとオリフィスプレー
トとの間には段差が形成されることから、オリフィスプ
レートの吐出口形成面上の残留インクをブレードで拭き
取る際にその段差の隅部にインクが溜まったり、ブレー
ドが段差部に摺接してその段差部を擦る際に振動や飛び
越え等を起こして、ブレードの接触が不十分となり、拭
きむらが生じる可能性がある。また、ブレードが、前面
プレートとオリフィスプレートとの段差部を片当り状態
で跨ぐようにして液体噴射記録ヘッドに接触するため、
ブレードに損傷を与えることになり、ブレードの耐久性
の低下を招き、ワイピングの信頼性の面からも問題があ
る。
Further, since a step is formed between the front plate and the orifice plate, when the residual ink on the discharge port forming surface of the orifice plate is wiped by the blade, the ink may accumulate at the corner of the step. When the blade slides on the stepped portion and rubs the stepped portion, vibrations, jumping over, etc. may occur, and the contact of the blade may become insufficient and uneven wiping may occur. Also, since the blade contacts the liquid jet recording head so as to straddle the stepped portion between the front plate and the orifice plate in a one-sided state,
This may damage the blade, lowering the durability of the blade and causing a problem in terms of wiping reliability.

【0036】一方、吐出口形成面で前面プレートを用い
ない構成では、ワイピングブレードがオリフィスプレー
トの端面に引っ掛からないようにワイピングブレードの
可動範囲を狭くして、ワイピングブレードとオリフィス
プレートの吐出口形成面との摺接領域を規制する方法が
ある。ところが、このような方法の場合、第1に、ワイ
ピングブレードをオリフィスプレートフェイス面に対し
て進退させるような構成にする必要があり、ワイピング
装置が高価になるという問題点がある。第2に、ワイピ
ング動作によってワイピングブレードが回収した塵埃
(塵、紙粉、紙けば等)や増粘インク(揮発成分が蒸発
したインク)の再転写による不具合がある。
On the other hand, in a configuration in which the front plate is not used for the discharge port forming surface, the movable range of the wiping blade is narrowed so that the wiping blade does not catch on the end face of the orifice plate, and the discharge port forming surface of the wiping blade and the orifice plate is formed. There is a method of restricting a sliding contact area with the contact. However, in the case of such a method, firstly, it is necessary to make the wiping blade advance and retreat with respect to the orifice plate face surface, and there is a problem that the wiping device becomes expensive. Second, there is a problem due to retransfer of dust (dust, paper dust, paper fuzz, etc.) and thickened ink (ink in which volatile components have evaporated) collected by the wiping blade by the wiping operation.

【0037】すなわち、ワイピング動作によってワイピ
ングブレードの摺接面に回収されて付着した塵埃や増粘
インクが、ワイピングブレードの進退時にオリフィスプ
レートの吐出口形成面へ転写されて戻されたり、その吐
出口形成面に圧接されたりする恐れがある。このよう
に、ワイピングブレードとオリフィスプレートフェイス
面とが摺接する範囲を規制する方法はあまり得策ではな
い。
That is, dust and thickened ink collected and adhered to the sliding contact surface of the wiping blade by the wiping operation are transferred to the discharge port forming surface of the orifice plate when the wiping blade advances and retreats, or the discharge port is formed. There is a risk of being pressed against the forming surface. As described above, it is not very advantageous to control the range in which the wiping blade and the orifice plate face slide.

【0038】本発明の目的は、液流路が形成されたヘッ
ド基体にオリフィスプレートが接合される構成の液体噴
射記録ヘッドで、オリフィスプレートのフェイス面、す
なわち液体噴射記録ヘッドの吐出口形成面の平面性を保
ってオリフィスプレートがヘッド基体に確実に接合さ
れ、また、その吐出口形成面におけるキャップ部材のキ
ャッピング面積を広く取ることができるとともに、ワイ
ピング動作に対してもオリフィスプレートが剥離するこ
とのない液体噴射記録ヘッド、その液体噴射記録ヘッド
を搭載した液体噴射記録装置、およびその液体噴射記録
ヘッドの製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a liquid jet recording head having a structure in which an orifice plate is joined to a head base having a liquid flow path formed therein, wherein the face surface of the orifice plate, that is, the discharge port forming surface of the liquid jet recording head is formed. The orifice plate is securely bonded to the head base while maintaining the flatness, and the capping area of the cap member on the discharge port forming surface can be widened, and the orifice plate can be peeled off even in the wiping operation. It is an object of the present invention to provide a liquid jet recording head, a liquid jet recording apparatus equipped with the liquid jet recording head, and a method of manufacturing the liquid jet recording head.

【0039】[0039]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、液体に気泡を発生させるための熱エネル
ギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネルギ
ー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備えた
ヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連通して一直線上
に配列された複数の吐出口が形成され、前記ヘッド基体
に接合されたオリフィスプレートとを有する液体噴射記
録ヘッドにおいて、前記オリフィスプレートが前記ヘッ
ド基体における前記複数の液流路の開口端側の端部の縁
部に沿って折り曲げられるとともに、前記ヘッド基体
の、前記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に
前記オリフィスプレートの端部が接合されており、前記
ヘッド基体の前記縁部に、前記縁部に沿って延びる切欠
きが形成されている。
In order to achieve the above object, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid, and a plurality of energy generating means each having the energy generating means disposed therein. In a liquid jet recording head having a head base having a liquid flow path, and a plurality of ejection ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow path, and having an orifice plate joined to the head base. The orifice plate is bent along the edge of the end of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths, and the front end face of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths An end of the orifice plate is joined to a surface different from the above, and a notch extending along the edge is formed in the edge of the head base.

【0040】具体的には、前記記録ヘッドの前記縁部の
形状が段付き形状となるように前記切欠きが前記縁部に
形成されていることが好ましい。
Specifically, it is preferable that the notch is formed in the edge so that the edge of the recording head has a stepped shape.

【0041】また、本発明は、液体に気泡を発生させる
ための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、お
よび該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数の
液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連
通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成され、
前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートとを有
する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記オリフィスプレ
ートが前記ヘッド基体における前記複数の液流路の開口
端側の端部の縁部に沿って折り曲げられるとともに、前
記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の前端面
と異なる面に前記オリフィスプレートの端部が接合され
ており、前記ヘッド基体の前記縁部の表面が曲面になっ
ている。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid, a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, A plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the flow paths are formed,
A liquid jet recording head having an orifice plate joined to the head base, wherein the orifice plate is bent along an edge of an opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base, and An end of the orifice plate is joined to a surface of the head substrate different from a front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths, and a surface of the edge of the head substrate is a curved surface.

【0042】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記オリフィス
プレートが前記ヘッド基体における前記複数の液流路の
開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げられるととも
に、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の
前端面と異なる面に前記オリフィスプレートの端部が接
合されており、前記ヘッド基体の前記縁部が面取りされ
ている。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. And a bent orifice plate, the orifice plate is bent along the edge of the opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base, and the head base, An end of the orifice plate is joined to a surface different from a front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths, and the edge of the head base is chamfered.

【0043】さらに、前記オリフィスプレートが前記ヘ
ッド基体の前記前端面にも接着されており、前記ヘッド
基体の前記縁部の表面に前記オリフィスプレートが面で
接していてもよい。あるいは、前記オリフィスプレート
が前記ヘッド基体の、前記前端面と異なる面にのみ接着
されており、前記ヘッド基体の前記縁部の表面に前記オ
リフィスプレートが面で接していてもよい。
Further, the orifice plate may be bonded to the front end surface of the head base, and the orifice plate may be in surface contact with the surface of the edge of the head base. Alternatively, the orifice plate may be adhered only to a surface of the head base different from the front end surface, and the orifice plate may be in surface contact with the surface of the edge of the head base.

【0044】さらに、前記オリフィスプレートが前記ヘ
ッド基体の前記前端面にも接着されており、前記オリフ
ィスプレートの折り曲げ線と前記ヘッド基体の前記前端
面の縁とが所定の距離だけ離れていることが好ましい。
あるいは、前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体
の、前記前端面と異なる面にのみ接着されており、前記
オリフィスプレートの折り曲げ線と前記ヘッド基体の前
記前端面の縁とが所定の距離だけ離れていることが好ま
しい。
Further, the orifice plate is also adhered to the front end face of the head base, and a fold line of the orifice plate and an edge of the front end face of the head base are separated by a predetermined distance. preferable.
Alternatively, the orifice plate is adhered only to a surface of the head base different from the front end face, and a bent line of the orifice plate and an edge of the front end face of the head base are separated by a predetermined distance. Is preferred.

【0045】上記の通りの液体噴射記録ヘッドでは、オ
リフィスプレートをヘッド基体の縁部に沿って折り曲げ
てオリフィスプレートをヘッド基体に接合する構成にお
いて、ヘッド基体の縁部に切欠きが形成されてその縁部
が段付き形状にされたり、その縁部の表面が曲面になっ
ていたり、あるいはその縁部が面取りされていたりする
ことにより、オリフィスプレートの屈曲部には、ヘッド
基体の前端面の端部稜線を中心とした曲げ円弧ではな
く、オリフィスプレートの曲げ応力なりの円弧を形成さ
せることができる。これにより、ヘッド基体における液
流路の開口面側の前端面や縁部、すなわちオリフィスプ
レートを受ける面から、オリフィスプレートが大きく浮
くことや、出っ張ることをなくすことができる。ヘッド
基体の縁部の表面を曲面にしたり、その縁部を面取りし
たりして、その縁部の表面にオリフィスプレートの屈曲
部を面で接するように構成した場合、オリフィスプレー
トの曲げ応力をその縁部の表面に沿って滑らかに分布さ
せることができる。これにより、ヘッド基体の縁部とそ
れに繋がる前端面からオリフィスプレートが大きく浮く
ことや、出っ張ることをなくすことができる。さらに、
ヘッド基体の縁部の形状を上記のいずれかの形状にする
ことにより、オリフィスプレートとヘッド基体の前端面
とを接着剤や、接着性を有する封止材で接着する場合に
おいても、オリフィスプレートの前端面の端部付近に滞
留する接着剤または封止材はある程度変形できるため、
その接着剤または封止材がオリフィスプレートの屈曲部
の曲率にならって変形する。よって、滞留した接着剤ま
たは封止材が、オリフィスプレートを折り曲げた後の接
着面の浮きや剥がれの起点にはならず、オリフィスプレ
ートとヘッド基体の前端面との接着の効果を十分に得る
ことができる。これらの作用によって、オリフィスプレ
ートの、ヘッド基体の前端面に接合された部分のフェイ
ス面、すなわち液体噴射記録ヘッドの吐出口形成面の平
面性を確保できるので、その吐出口形成面におけるキャ
ッピング面積をオリフィスプレートのフェイス面の面積
と同一化することによる液体噴射記録ヘッドの小型化
と、ワイピング動作におけるオリフィスプレートの剥が
れに対する信頼性の向上とを図ることができる。さら
に、オリフィスプレートのフェイス面上に段差がないこ
とにより、ワイピングブレードの耐久性が向上するなど
して、液体噴射記録装置を高寿命化させることが可能な
液体噴射記録ヘッドを実現できる。
In the above-described liquid jet recording head, in the configuration in which the orifice plate is bent along the edge of the head base and the orifice plate is joined to the head base, a notch is formed in the edge of the head base. When the edge is stepped, the surface of the edge is curved, or the edge is chamfered, the bent portion of the orifice plate includes the end of the front end face of the head base. It is possible to form not the bending arc centered on the ridge line, but the bending stress of the orifice plate. This makes it possible to prevent the orifice plate from largely floating or protruding from the front end surface or edge of the head base on the opening side of the liquid flow path, that is, the surface that receives the orifice plate. When the surface of the edge of the head base is curved or the edge is chamfered, and the bent portion of the orifice plate is in contact with the surface of the edge, the bending stress of the orifice plate is reduced. It can be distributed smoothly along the surface of the edge. As a result, it is possible to prevent the orifice plate from largely floating or protruding from the edge of the head base and the front end face connected to the edge. further,
By making the shape of the edge of the head substrate any of the shapes described above, even when the orifice plate and the front end surface of the head substrate are bonded with an adhesive or a sealing material having an adhesive property, the orifice plate is The adhesive or sealing material that stays near the end of the front end face can be deformed to some extent,
The adhesive or sealing material is deformed according to the curvature of the bent portion of the orifice plate. Therefore, the retained adhesive or sealing material does not serve as a starting point of floating or peeling of the bonding surface after the orifice plate is bent, and a sufficient effect of bonding between the orifice plate and the front end surface of the head substrate is obtained. Can be. With these effects, the face of the portion of the orifice plate joined to the front end face of the head base, that is, the flatness of the ejection port forming surface of the liquid jet recording head can be ensured. The size of the liquid jet recording head can be reduced by making the area of the face surface of the orifice plate the same, and the reliability of the orifice plate from peeling off in the wiping operation can be improved. Further, since there is no step on the face surface of the orifice plate, the durability of the wiping blade is improved, and a liquid jet recording head that can extend the life of the liquid jet recording apparatus can be realized.

【0046】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有する液体噴射記録ヘッドにおいて、前記オリフィス
プレートが前記ヘッド基体における前記複数の液流路の
開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げられるととも
に、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の
前端面と異なる面に前記オリフィスプレートの端部が接
合されており、前記オリフィスプレートの前記ヘッド基
体側の面における前記縁部に対応する部分の少なくと一
部に、前記縁部と平行な方向に延びる溝が形成されてい
る。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. And a bent orifice plate, the orifice plate is bent along the edge of the opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base, and the head base, An end of the orifice plate is joined to a surface different from a front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths, and at least one portion of the orifice plate corresponding to the edge portion on the surface of the orifice plate on the head base side. The portion has a groove extending in a direction parallel to the edge.

【0047】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口、および前
記吐出口の周囲に前記吐出口ごとにそれぞれ独立して形
成された複数の凸部を備え、該凸部の少なくとも一部が
前記液流路内に進入して嵌合するように前記ヘッド基体
に接合されたオリフィスプレートとを有する液体噴射記
録ヘッドにおいて、前記オリフィスプレートが前記ヘッ
ド基体における前記複数の液流路の開口端側の端部の縁
部に沿って折り曲げられるとともに、前記ヘッド基体
の、前記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に
前記オリフィスプレートの端部が接合されており、前記
オリフィスプレートの前記ヘッド基体側の面における前
記縁部に対応する部分の少なくと一部に、前記縁部と平
行な方向に延びる溝が形成されている。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed; a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths; and An orifice plate joined to the head base so that each of the ejection ports has a plurality of projections formed independently of each other, and at least a part of the projections enters the liquid flow path and fits therein. Wherein the orifice plate is bent along an edge of an end of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths, and the plurality of liquid flow paths of the head base are provided. The end of the orifice plate is joined to a surface different from the front end surface on the opening end side of the orifice, and a portion corresponding to the edge on the surface of the orifice plate on the head base side. Least part of a groove extending in the edge and parallel direction are formed.

【0048】前記オリフィスプレートの前記溝は複数個
に分割されて形成されていてもよい。また、前記オリフ
ィスプレートの前記溝内の側壁面が前記溝の底面に対し
て傾斜していることが好ましい。さらに、前記オリフィ
スプレートの前記溝における長手方向に対して垂直な方
向の断面形状が楔形であってもよい。さらに、前記オリ
フィスプレートの前記溝が、前記オリフィスプレートの
両端部を除く位置に形成されていてもよい。さらに、前
記オリフィスプレートが前記ヘッド基体の前記前端面に
も接着されて接合されていてもよい。
[0048] The groove of the orifice plate may be divided into a plurality of portions. Preferably, a side wall surface in the groove of the orifice plate is inclined with respect to a bottom surface of the groove. Further, a cross-sectional shape of the groove of the orifice plate in a direction perpendicular to a longitudinal direction may be wedge-shaped. Furthermore, the groove of the orifice plate may be formed at a position other than both ends of the orifice plate. Further, the orifice plate may be bonded and joined to the front end face of the head base.

【0049】上記の通りの液体噴射記録ヘッドでは、オ
リフィスプレートをヘッド基体の縁部に沿って折り曲げ
てオリフィスプレートをヘッド基体に接合する構成にお
いて、オリフィスプレートのヘッド基体側の面における
ヘッド基体の縁部に対応する部分、すなわちオリフィス
プレートにおける折り曲げの内側面の屈曲部に、ヘッド
基体の縁部と平行な方向、すなわちオリフィスプレート
の折り曲げ稜線と平行な方向に延びる溝が形成されたこ
とにより、オリフィスプレートを容易に折り曲げること
が可能になり、液体噴射記録ヘッドの生産性が向上す
る。具体的に説明すると、そのような溝をオリフィスプ
レートに形成したことにより、オリフィスプレートを折
り曲げた際にオリフィスプレート全体の張力が、溝が形
成された部分を境にして分断されることになり、ヘッド
基体へのオリフィスプレートの接合時に、オリフィスプ
レートの、ヘッド基体の前端面に接する面の周辺に反発
力として作用するオリフィスプレートの張力が軽減され
る。したがって、オリフィスプレートを接合する工程の
際に、オリフィスプレートの、ヘッド基体の前端面に接
する部分のフェイス面に生じる波打ちやうねり等の接合
に逆らう反発力が軽減され、その結果、オリフィスプレ
ートのフェイス面の平滑性、およびフェイス面の裏側の
接着面における接合強度が向上するようになる。ここ
で、オリフィスプレートにおける吐出口の周囲に、ヘッ
ド基体の液流路内に進入して嵌合する凸部が形成されて
いる場合には、上記のような作用によりその凸部を液流
路内に容易にはめ込むことができるようになる。さら
に、オリフィスプレートに対して作用する接着剤の熱効
果による収縮応力は、溝が配設された効果によって、主
に溝の内側に向けてのみ作用するようになるため、オリ
フィスプレートの端部に作用する収縮応力は軽減される
ことになる。これにより、接着剤の硬化収縮応力に伴っ
てオリフィスプレート全体に生じる波打ちやうねり等の
不具合は、大幅に抑制されることになる。そして、この
ようにしてオリフィスプレートを、そのフェイス面(前
面)と、折り曲げた両端部の面との3面で固定すること
ができ、ヘッド基体に対してオリフィスプレートをより
強固に保持することができる。したがって、ワイピング
ブレードによる外力に対してオリフィスプレートの煎断
強度が格段に向上し、オリフィスプレートの端部などの
剥離を防止することができる。また、このようにオリフ
ィスプレートを折り曲げる構成の場合、オリフィスプレ
ートのフェイス面に平滑な面積を創出することができる
ようになり、オリフィスプレートの周辺に前面プレート
等の別部材を設けるような構成に比べて、オリフィスプ
レートのフェイス面に段差が形成されるようなことはな
く、平滑な面積が広範囲に確保されて、キャップ部材の
キャッピング面積を広く取れるようになる。さらに、オ
リフィスプレートのフェイス面全域が平滑面となってい
るため、ブレード拭き取り時の液体残留や拭きムラなど
を大幅に削減することができる。その上、平滑な拭き取
り面はブレードに対するダメージも減らすことができる
ため、ブレードの耐久性とワイピングの信頼性を向上さ
せることができる。また、エキシマレーザーを用いた加
工等によりオリフィスプレートの吐出口や凸部などを形
成する際に、そのような溝を同一の工程で形成すること
により、オリフィスプレートの製造コストを大幅に削減
することができる。また、オリフィスプレートにおける
吐出口や凸部、溝の加工にエキシマレーザーを用いるこ
とで、それらの位置精度、および面の平滑性が良好な
上、残留応力が極めて少ない加工をすることができる。
したがって、これらの作用により、液体噴射記録ヘッド
の設計的な自由度が増すとともに、上述したのと同様に
液体噴射記録ヘッドや液体噴射記録装置の小型化および
低コスト化を図ることでき、また、液体噴射記録装置を
高寿命化させることが可能な液体噴射記録ヘッドを実現
できる。
In the liquid jet recording head as described above, in the configuration in which the orifice plate is bent along the edge of the head base and the orifice plate is joined to the head base, the edge of the head base on the surface of the orifice plate on the head base side is provided. A groove extending in a direction parallel to the edge of the head base, that is, in a direction parallel to the bent ridge line of the orifice plate, at a portion corresponding to the portion, that is, a bent portion on the inner surface of the bent portion of the orifice plate. The plate can be easily bent, and the productivity of the liquid jet recording head is improved. Specifically, by forming such a groove in the orifice plate, when the orifice plate is bent, the tension of the entire orifice plate will be divided at the portion where the groove is formed, When the orifice plate is joined to the head base, the tension of the orifice plate acting as a repulsive force around the surface of the orifice plate which is in contact with the front end face of the head base is reduced. Therefore, in the step of bonding the orifice plate, the repulsive force against the bonding such as waving or undulation generated on the face of the portion of the orifice plate in contact with the front end face of the head base is reduced, and as a result, the face of the orifice plate is reduced. The smoothness of the surface and the bonding strength of the bonding surface on the back side of the face surface are improved. Here, in the case where a convex portion that enters and fits into the liquid flow path of the head base is formed around the discharge port of the orifice plate, the convex portion is formed by the above-described operation. It can be easily fitted inside. Furthermore, the shrinkage stress due to the thermal effect of the adhesive acting on the orifice plate acts mainly only toward the inside of the groove due to the effect of the groove, so that the shrinkage stress is applied to the end of the orifice plate. The acting shrinkage stress will be reduced. As a result, problems such as undulations and undulations that occur in the entire orifice plate due to the curing shrinkage stress of the adhesive can be greatly suppressed. In this manner, the orifice plate can be fixed on the three surfaces, that is, the face surface (front surface) and the bent end surfaces, so that the orifice plate can be more firmly held with respect to the head base. it can. Therefore, the breaching strength of the orifice plate is significantly improved with respect to the external force generated by the wiping blade, and peeling of the end of the orifice plate or the like can be prevented. In addition, in the case of such a configuration in which the orifice plate is bent, a smooth area can be created on the face surface of the orifice plate, and compared with a configuration in which another member such as a front plate is provided around the orifice plate. As a result, no step is formed on the face surface of the orifice plate, and a smooth area is secured over a wide range, so that the capping area of the cap member can be increased. Further, since the entire face surface of the orifice plate is smooth, it is possible to greatly reduce liquid residue and uneven wiping when wiping the blade. In addition, the smooth wiping surface can reduce the damage to the blade, so that the durability of the blade and the reliability of wiping can be improved. In addition, when forming the discharge ports and projections of the orifice plate by processing using an excimer laser, etc., by forming such grooves in the same process, the manufacturing cost of the orifice plate can be significantly reduced. Can be. In addition, by using an excimer laser for processing the discharge ports, convex portions, and grooves in the orifice plate, it is possible to perform processing with excellent positional accuracy and smoothness of the surface and extremely low residual stress.
Therefore, by these actions, the degree of freedom in designing the liquid jet recording head is increased, and the size and cost of the liquid jet recording head and the liquid jet recording apparatus can be reduced as described above. A liquid jet recording head that can extend the life of the liquid jet recording apparatus can be realized.

【0050】一方、オリフィスプレートの接合に関して
は、オリフィスプレート背面の吐出口の周辺に各吐出口
ごとに凸部を設け、凸部全域もしくはその一部をヘッド
基体の液流路内に進入させつつオリフィスプレートをヘ
ッド基体に接合することによって、液体通路を吐出口に
連結させるためのオリフィスプレートの圧接時にオリフ
ィスプレートとヘッド基体の前端面との間で接着剤が広
がっても、凸部が接着剤の流れを阻止するため、接着剤
が吐出口の内面や液流路の内面へ流れ込むことを抑制で
きるようになる。また、液流路内に挿入される凸部の外
周面と液流路の内面との隙間には接着剤が流入するもの
の、接着剤は凸部の外周面と液流路の内面との隙間で表
面張力によって停滞するために、さらに液流路の奥まで
は進入して行かないようになる。その上、凸部の外周面
と液流路の内面との隙間部分に停滞した接着剤によっ
て、オリフィスプレートの接合面積が増大して、オリフ
ィスプレート全体の接合強度を向上させることができ
る。さらに、オリフィスプレートが液流路を形成するた
めの部材とは異なる材質で構成されたとしても、オリフ
ィスプレートの凸部が液流路内に挿入されるため、接着
剤のキュア工程の際に、吐出口と液流路との相対位置が
移動しないように物理的に阻止することができるように
なる。
On the other hand, with respect to the joining of the orifice plate, a convex portion is provided for each discharge port around the discharge port on the back surface of the orifice plate, and the whole or a part of the convex portion enters the liquid flow path of the head base. By joining the orifice plate to the head base, even when the adhesive spreads between the orifice plate and the front end face of the head base when the orifice plate is pressed against the discharge port to connect the liquid passage to the discharge port, the protruding portion is formed by the adhesive. Therefore, it is possible to prevent the adhesive from flowing into the inner surface of the discharge port or the inner surface of the liquid flow path. Although the adhesive flows into the gap between the outer peripheral surface of the convex portion inserted into the liquid flow path and the inner surface of the liquid flow channel, the adhesive flows into the gap between the outer peripheral surface of the convex portion and the inner surface of the liquid flow channel. Stagnation due to surface tension, so that the liquid does not enter further into the liquid flow path. In addition, the adhesive stagnating in the gap between the outer peripheral surface of the projection and the inner surface of the liquid flow passage increases the bonding area of the orifice plate, thereby improving the bonding strength of the entire orifice plate. Furthermore, even when the orifice plate is made of a material different from the material for forming the liquid flow path, the convex portion of the orifice plate is inserted into the liquid flow path, so that during the adhesive curing step, This makes it possible to physically prevent the relative position between the discharge port and the liquid flow path from moving.

【0051】さらに、本発明は、被記録媒体に向けて液
体を吐出して該被記録媒体に該液体を付着させることに
より前記被記録媒体に記録を行う液体噴射記録装置であ
って、上述したいずれかの液体噴射記録ヘッドと、前記
液体噴射記録ヘッドにおける前記吐出口が位置した吐出
口形成面の、前記吐出口を含む領域を密封するためのキ
ャップ部材とを有する。
Further, the present invention is a liquid jet recording apparatus for performing recording on the recording medium by discharging a liquid toward the recording medium and attaching the liquid to the recording medium. The liquid ejection recording head includes any one of the liquid ejection recording heads, and a cap member for sealing a region including the ejection ports on the ejection port formation surface of the liquid ejection recording head where the ejection ports are located.

【0052】さらに、本発明は、被記録媒体に向けて液
体を吐出して該被記録媒体に該液体を付着させることに
より前記被記録媒体に記録を行う液体噴射記録装置であ
って、上述したいずれかの液体噴射記録ヘッドと、前記
液体噴射記録ヘッドにおける前記吐出口が位置した吐出
口形成面を拭いて該吐出口形成面をクリーニングするた
めのワイピングブレードとを有する。
Further, the present invention is a liquid jet recording apparatus for performing recording on the recording medium by discharging a liquid toward the recording medium and causing the liquid to adhere to the recording medium. And a wiping blade for wiping the ejection port forming surface of the liquid ejection recording head where the ejection port is located to clean the ejection port forming surface.

【0053】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記
ヘッド基体における前記複数の液流路の開口端側の端部
の縁部に、該縁部に沿って延びる切欠きが形成された前
記ヘッド基体、および前記オリフィスプレートを準備す
る工程と、前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対して
前記オリフィスプレートの前記複数の吐出口を位置合わ
せして前記オリフィスプレートにおける前記吐出口の周
囲の部分を固定する工程と、前記オリフィスプレートを
前記ヘッド基体の前記縁部に沿って折り曲げる工程と、
前記オリフィスプレートの端部を前記ヘッド基体の、前
記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に接合す
る工程とを有する。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. A liquid ejecting recording head having an orifice plate, wherein a notch extending along the edge is provided at an edge of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths. Preparing the formed head base and the orifice plate; and positioning the plurality of discharge ports of the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head base to form the discharge port in the orifice plate. Fixing a portion around an outlet, and bending the orifice plate along the edge of the head base;
Joining the end of the orifice plate to a surface of the head base that is different from the front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths.

【0054】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記
ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の端部にお
ける縁部の表面が曲面となった前記ヘッド基体、および
前記オリフィスプレートを準備する工程と、前記ヘッド
基体の前記複数の液流路に対して前記オリフィスプレー
トの前記複数の吐出口を位置合わせして前記オリフィス
プレートにおける前記吐出口の周囲の部分を固定する工
程と、前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記
縁部に沿って折り曲げる工程と、前記オリフィスプレー
トの端部を前記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口
端側の前端面と異なる面に接合する工程とを有する。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. A liquid ejecting recording head having a orifice plate, wherein the surface of the edge of the head substrate at the open end side of the plurality of liquid flow paths is curved. And preparing the orifice plate, and positioning the plurality of discharge ports of the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head base to fix a portion of the orifice plate around the discharge port. Bending the orifice plate along the edge of the head base, and connecting the end of the orifice plate to the head. And a step of bonding the substrates, the front end surface and a different surface of the open end side of said plurality of liquid flow paths.

【0055】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記
ヘッド基体における前記複数の液流路の開口端側の端部
の縁部が面取りされた前記ヘッド基体、および前記オリ
フィスプレートを準備する工程と、前記ヘッド基体の前
記複数の液流路に対して前記オリフィスプレートの前記
複数の吐出口を位置合わせして前記オリフィスプレート
における前記吐出口の周囲の部分を固定する工程と、前
記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記縁部に沿
って折り曲げる工程と、前記オリフィスプレートの端部
を前記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の前
端面と異なる面に接合する工程とを有する。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. A liquid ejecting recording head having an orifice plate, wherein the head substrate has a chamfered edge at an opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head substrate, and the orifice plate. Preparing, and aligning the plurality of discharge ports of the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head substrate, and fixing a portion of the orifice plate around the discharge ports, Bending the orifice plate along the edge of the head base, and connecting the end of the orifice plate to the head base. And a step of joining to the front end face and different surfaces of the open end side of said plurality of liquid flow paths.

【0056】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有し、前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体にお
ける前記複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って
折り曲げられるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数
の液流路の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィ
スプレートの端部が接合された液体噴射記録ヘッドの製
造方法であって、前記オリフィスプレートの前記ヘッド
基体側の面における前記縁部に対応する部分の少なくと
一部に、前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体に接
合した際に前記ヘッド基体の前記縁部と平行な方向に延
びるような溝溝を形成する工程と、前記ヘッド基体の前
記複数の液流路に対して前記オリフィスプレートの前記
複数の吐出口を位置合わせして前記オリフィスプレート
における前記吐出口の周囲の部分を固定する工程と、前
記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記縁部に沿
って折り曲げる工程と、前記オリフィスプレートの端部
を前記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の前
端面と異なる面に接合する工程とを有する。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. Orifice plate, the orifice plate being bent along the edge of the opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base, and the plurality of liquid flows of the head base being A method for manufacturing a liquid jet recording head in which an end of the orifice plate is joined to a surface different from a front end surface on the opening end side of a path, the method corresponding to the edge on the surface of the orifice plate facing the head base. At least a part of the groove is formed so as to extend in a direction parallel to the edge of the head base when the orifice plate is joined to the head base. Positioning the plurality of discharge ports of the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head base to fix a portion of the orifice plate around the discharge ports; and Bending the plate along the edge of the head substrate, and joining the end of the orifice plate to a surface of the head substrate, which is different from a front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths. Have.

【0057】さらに、前記ヘッド基体の前記複数の液流
路に対して前記オリフィスプレートの前記複数の吐出口
を位置合わせする工程で、前記オリフィスプレートにお
ける前記吐出口の周囲に前記吐出口ごとにそれぞれ独立
して形成された複数の凸部の少なくとも一部を前記液流
路内に進入させて前記液流路に嵌合させることが好まし
い。
Further, in the step of aligning the plurality of discharge ports of the orifice plate with the plurality of liquid flow paths of the head base, each of the discharge ports is provided around the discharge port of the orifice plate. It is preferable that at least a part of the plurality of independently formed protrusions enter the liquid flow path and fit into the liquid flow path.

【0058】さらに、前記オリフィスプレートに前記溝
を形成する工程が、前記複数の吐出口を形成するための
穴加工、および前記複数の凸部を形成するための掘り込
み加工と同時に、前記溝を形成するための掘り込み加工
により行われることが好ましい。この場合、前記複数の
吐出口、前記複数の凸部、および前記溝を、エキシマレ
ーザーを用いた加工により形成することが好ましい。
Further, the step of forming the groove in the orifice plate includes the step of forming the plurality of discharge ports and the digging processing to form the plurality of convex portions simultaneously with forming the plurality of discharge ports. It is preferably performed by digging for forming. In this case, it is preferable that the plurality of ejection ports, the plurality of protrusions, and the grooves are formed by processing using an excimer laser.

【0059】さらに、前記オリフィスプレートを前記ヘ
ッド基体の前記縁部に沿って折り曲げる工程の前に、前
記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の、前記複数の
液流路の開口端側の前端面に接合する工程を有していて
もよい。
Further, before the step of bending the orifice plate along the edge of the head base, the orifice plate is joined to the front end face of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths. It may have a process.

【0060】さらに、本発明は、液体に気泡を発生させ
るための熱エネルギーを発生するエネルギー発生手段、
および該エネルギー発生手段がそれぞれ配置された複数
の液流路を備えたヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ
連通して一直線上に配列された複数の吐出口が形成さ
れ、前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレートと
を有する液体噴射記録ヘッドの製造方法であって、前記
ヘッド基体および前記オリフィスプレートを準備する工
程と、前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対して前記
オリフィスプレートの前記複数の吐出口を位置合わせす
る工程と、前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体
の、前記複数の液流路の開口端側の前端面に接合する工
程と、前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体におけ
る前記複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折
り曲げる工程と、前記オリフィスプレートの端部を前記
ヘッド基体の、前記前端面と異なる面に接合する工程と
を有する。
Further, the present invention provides an energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid,
And a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and a plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with the liquid flow paths, and joined to the head base. A method for manufacturing a liquid jet recording head having a selected orifice plate, wherein the step of preparing the head base and the orifice plate includes the steps of: Positioning the orifice plate to the front end face of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths; and connecting the orifice plate to the plurality of liquids in the head base. Bending along the edge of the end on the open end side of the flow path, and connecting the end of the orifice plate to the front of the head base. And a step of bonding to the surface different from the surface.

【0061】上記の通りの本発明の液体噴射記録ヘッド
の製造方法によれば、オリフィスプレートをヘッド基体
の縁部に沿って折り曲げてオリフィスプレートをヘッド
基体に固定する構成の液体噴射記録ヘッドを作製する際
に、オリフィスプレートをヘッド基体に対して確実に折
り曲げ固定することができ、オリフィスプレートを容易
に折り曲げることが可能になるため、液体噴射記録ヘッ
ドの生産性が向上するという効果がある。また、オリフ
ィスプレートを折り曲げる前にオリフィスプレートをヘ
ッド基体の前端面に接合することで、折り曲げによるオ
リフィスプレートの曲げ剛性により応力が発生し、オリ
フィスプレートの屈曲部はある曲率Rをもった形状にな
ろうとするが、ヘッド基体の少なくとも前端面にはオリ
フィスプレートが接着されて接合されているがため、オ
リフィスプレートのフェイス面の平面性を保って液体噴
射記録ヘッドを作製することができる。この作用によ
り、オリフィスプレートのフェイス面の平面性を確保し
て、そのフェイス面におけるキャッピング面積をオリフ
ィスプレートのフェイス面の面積と同一化することによ
る液体噴射記録ヘッドの小型化と、ワイピング動作にお
けるオリフィスプレートの剥がれに対する信頼性の向上
とを図ることができる。さらに、オリフィスプレートの
フェイス面上に段差がないことにより、ワイピングブレ
ードの耐久性が向上するなどして、液体噴射記録装置を
高寿命化させることが可能な液体噴射記録ヘッドを作製
することができる。
According to the method of manufacturing a liquid jet recording head of the present invention as described above, a liquid jet recording head having a structure in which the orifice plate is bent along the edge of the head base and the orifice plate is fixed to the head base. In this case, the orifice plate can be reliably bent and fixed to the head substrate, and the orifice plate can be easily bent, thereby improving the productivity of the liquid jet recording head. Also, by joining the orifice plate to the front end face of the head base before bending the orifice plate, stress is generated due to the bending rigidity of the orifice plate due to the bending, and the bent portion of the orifice plate becomes a shape having a certain curvature R. However, since the orifice plate is bonded and bonded to at least the front end face of the head base, the liquid jet recording head can be manufactured while maintaining the flatness of the face surface of the orifice plate. By this action, the flatness of the face surface of the orifice plate is ensured, and the capping area on the face surface is made equal to the area of the face surface of the orifice plate to reduce the size of the liquid jet recording head and the orifice in the wiping operation. The reliability against peeling of the plate can be improved. Furthermore, since there is no step on the face surface of the orifice plate, the durability of the wiping blade is improved, and a liquid jet recording head capable of extending the life of the liquid jet recording apparatus can be manufactured. .

【0062】[0062]

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0063】(第1の実施の形態)図1〜図3は、本発
明の第1の実施形態の液体噴射記録ヘッドの構成につい
て説明するための分解斜視図であり、図1では、液体噴
射記録ヘッドの基体が部分的に断面で示されている。ま
た、図3では、液体噴射記録ヘッドのオリフィスプレー
トが折り曲げられる状態が表されている。
(First Embodiment) FIGS. 1 to 3 are exploded perspective views for explaining the structure of a liquid jet recording head according to a first embodiment of the present invention. The substrate of the recording head is partially shown in cross section. FIG. 3 shows a state in which the orifice plate of the liquid jet recording head is bent.

【0064】図1に示すように本実施形態の液体噴射記
録ヘッド15では、支持基板であるベースプレート3上
にヒータボード1がダイボンディングされている。ヒー
タボード1は、液体であるインクを吐出するための熱エ
ネルギーを発生するエネルギー発生手段である電気熱変
換体(以下では、吐出ヒータと称する)1aと、吐出ヒ
ータ1aへ電力を供給する配線とがシリコン成膜プロセ
スによりシリコン基板上に形成されてなるものである。
ベースプレート3の材質としてはアルミニウムまたはセ
ラミックス等が用いられ、ベースプレート3は、吐出ヒ
ータ1aの駆動に伴って生じるヒータボード1の熱を放
熱してヒータボード1を冷却するヒートシンクとしても
機能する。
As shown in FIG. 1, in the liquid jet recording head 15 of this embodiment, the heater board 1 is die-bonded on the base plate 3 which is a supporting substrate. The heater board 1 includes an electrothermal converter (hereinafter, referred to as a discharge heater) 1a that is an energy generating unit that generates thermal energy for discharging liquid ink, and wiring for supplying power to the discharge heater 1a. Are formed on a silicon substrate by a silicon film forming process.
Aluminum or ceramics is used as a material of the base plate 3, and the base plate 3 also functions as a heat sink for cooling the heater board 1 by radiating heat of the heater board 1 generated by driving the discharge heater 1a.

【0065】ヒータボード1の吐出ヒータ1a側の面上
には、インク流路を形成するための天板5が接合されて
いる。天板5のヒータボード1側の面には、液流路であ
るノズル7を形成するための複数の溝と、各ノズル7と
連通した共通液室8を形成するための凹部とが形成され
ている。天板5のこれらの溝や凹部は、例えば感光性樹
脂で形成されていてもよい。それぞれがノズル7となる
複数のインク流路溝は、ヒータボード1の吐出ヒータ1
aの配列と合致するように天板5に配設されており、ヒ
ータボード1と天板5とが接合されることで、一直線上
に1列に並んだ複数のノズル7、および共通液室8が形
成され、各ノズル7に吐出ヒータ1aが配置される。
On the surface of the heater board 1 on the side of the discharge heater 1a, a top plate 5 for forming an ink flow path is joined. On the surface of the top plate 5 on the side of the heater board 1, a plurality of grooves for forming the nozzles 7 serving as liquid flow paths and concave portions for forming the common liquid chambers 8 communicating with the nozzles 7 are formed. ing. These grooves and recesses of the top plate 5 may be formed of, for example, a photosensitive resin. The plurality of ink flow channel grooves, each of which is a nozzle 7,
a, the heater board 1 and the top plate 5 are joined to form a plurality of nozzles 7 arranged in a straight line, and a common liquid chamber. 8 are formed, and a discharge heater 1a is arranged for each nozzle 7.

【0066】複数のノズル7を形成するための溝は、天
板5側でなく、ヒータボード1上に形成されていてもよ
い。その場合、エポキシ等の感光性樹脂層をヒータボー
ド1の上面に積層した後に、エッチング等のようなフォ
トリソ工程を経て、各ノズル7を仕切る隔壁を形成し、
ノズル7となる溝を形成する。次に、ヒータボード1上
の隔壁層を介してヒータボード1上に天板を接合するこ
とにより、ヒータボード1上の溝が天板によって塞が
れ、インク流路としてのノズル7が形成される。
The grooves for forming the plurality of nozzles 7 may be formed on the heater board 1 instead of the top plate 5 side. In that case, after laminating a photosensitive resin layer of epoxy or the like on the upper surface of the heater board 1, through a photolithography process such as etching or the like, partition walls for partitioning the nozzles 7 are formed.
A groove serving as the nozzle 7 is formed. Next, by joining the top plate to the heater board 1 via the partition layer on the heater board 1, the groove on the heater board 1 is closed by the top plate, and the nozzle 7 as an ink flow path is formed. You.

【0067】また、天板5が樹脂で成形されるような形
態では、射出成形によってノズル7用の溝を天板5の下
面に一体的に形成したり、射出成形後にエキシマレーザ
ー加工でノズル7用の溝を形成しても構わない。さら
に、天板5がシリコン等で製作されるような場合は異方
性エッチングによってインク流路溝を形成してもよい。
In the case where the top plate 5 is formed of resin, a groove for the nozzle 7 is integrally formed on the lower surface of the top plate 5 by injection molding, or the nozzle 7 is formed by excimer laser processing after injection molding. May be formed. Further, when the top plate 5 is made of silicon or the like, the ink flow channel may be formed by anisotropic etching.

【0068】いずれにしても、ノズル7用の溝がヒータ
ボード1上面に設けられる形態では、ノズル7用の溝と
吐出ヒータ1aは、半導体成膜技術によって両者の相対
位置が高精度に合わせられて配設されるようになる。一
方、ノズル7用の溝が天板5の下面に設けられる形態で
は、ノズル7用の溝と吐出ヒータ1aはメカニカルなア
ライメント処理によって両者の相対位置が高精度に合わ
せられて配設されるようになる。
In any case, when the groove for the nozzle 7 is provided on the upper surface of the heater board 1, the relative position between the groove for the nozzle 7 and the discharge heater 1a is adjusted with high precision by the semiconductor film forming technique. Will be arranged. On the other hand, in a mode in which the groove for the nozzle 7 is provided on the lower surface of the top plate 5, the groove for the nozzle 7 and the discharge heater 1a are arranged so that their relative positions are accurately adjusted by mechanical alignment processing. become.

【0069】また、天板5には、不図示のインクタンク
から供給されるインクを受けて共通液室8内にインクを
導入する受け口となるインク供給口9が形成されてお
り、共通液室8内のインクが各ノズル7へと供給され
る。共通液室8は、各ノズル7に供給するためのインク
を一時的に収納するタンクとしての役割をもっている。
The top plate 5 is provided with an ink supply port 9 for receiving ink supplied from an ink tank (not shown) and introducing the ink into the common liquid chamber 8. The ink in 8 is supplied to each nozzle 7. The common liquid chamber 8 has a role as a tank for temporarily storing ink to be supplied to each nozzle 7.

【0070】また、液体噴射記録ヘッド15には、ベー
スプレート3や天板5およびヒータボード1に接合され
たチップタンク11が備え付けられている。チップタン
ク11の内部には、インクジェット記録装置のインク供
給経路における液体噴射記録ヘッド15の上流位置に配
設された不図示のインク貯蔵タンクまたはサブタンク等
から天板5のインク供給口9へインクを導くためのイン
ク通路11aが形成されている。このチップタンク11
が、ヒータボード1におけるノズル7の開口端側の前端
面1bの周囲や、天板5におけるノズル7の開口端側の
前端面5bの周囲に配置される前面プレート部11bを
有している。
The liquid jet recording head 15 is provided with a chip tank 11 joined to the base plate 3, the top plate 5, and the heater board 1. Inside the chip tank 11, ink is supplied from an ink storage tank or a sub-tank (not shown) disposed at a position upstream of the liquid jet recording head 15 in the ink supply path of the ink jet recording apparatus to the ink supply port 9 of the top plate 5. An ink passage 11a for guiding is formed. This chip tank 11
Has a front plate portion 11b disposed around the front end surface 1b of the heater board 1 on the opening end side of the nozzle 7 and around the front end surface 5b of the top plate 5 on the opening end side of the nozzle 7.

【0071】これらベースプレート3、ヒータボード
1、天板5、およびチップタンク11とからヘッド基体
4が構成され、そのヘッド基体4にフィルム状のオリフ
ィスプレート6が接合される。このオリフィスプレート
6は、チップタンク11の前面プレート部11bの表面
や、ヒータボード1の前端面1b、および天板5の前端
面5b、すなわちヘッド基体4における複数のノズル7
の開口端側の前端面を覆うようにチップタンク11およ
びベースプレート3に接合される。オリフィスプレート
6には、ノズル7内のインクを被記録媒体に向けて吐出
するための吐出口6aがノズル7の数に対応して所望の
数だけ形成されており、各吐出口6aが、ヒータボード
1と天板5の間のノズル7と連通する。したがって、そ
れらの吐出口6aも、複数のノズル7と同様に一直線上
に1列に並べられて配列されている。複数の吐出口6a
は、オリフィスプレート6の背面側、すなわちヘッド基
体4側となる面側からオリフィスプレート6にエキシマ
レーザー光を照射してオリフィスプレート6を貫通させ
ることにより形成される。
The base plate 3, the heater board 1, the top plate 5, and the chip tank 11 constitute a head base 4, and a film-shaped orifice plate 6 is joined to the head base 4. The orifice plate 6 has a plurality of nozzles 7 on the surface of the front plate portion 11b of the chip tank 11, the front end surface 1b of the heater board 1, and the front end surface 5b of the top plate 5, that is, the head base 4.
Is joined to the chip tank 11 and the base plate 3 so as to cover the front end face on the open end side of the chip. The orifice plate 6 has a desired number of discharge ports 6a for discharging the ink in the nozzles 7 toward the recording medium, corresponding to the number of the nozzles 7, and each of the discharge ports 6a is provided with a heater. It communicates with the nozzle 7 between the board 1 and the top plate 5. Therefore, the discharge ports 6a are also arranged in a line on a straight line like the plurality of nozzles 7. Multiple outlets 6a
Is formed by irradiating the orifice plate 6 with an excimer laser beam from the back side of the orifice plate 6, that is, the surface side which is the head base 4 side, to penetrate the orifice plate 6.

【0072】チップタンク11の上面、すなわちチップ
タンク11の、ベースプレート3側と反対側の面は、前
面プレート部11bの表面に対してほぼ垂直な平面状の
接合面11eとなっており、この接合面11eにオリフ
ィスプレート6の一端部が接合されて固定される。ま
た、ベースプレート3の、チップタンク11側と反対側
の面も、チップタンク11の接合面11eとほぼ同じ大
きさで、前面プレート部11bの表面に対してほぼ垂直
な平面状の接合面となっており、その接合面にオリフィ
スプレート6の他端部が接合されて固定される。
The upper surface of the chip tank 11, that is, the surface of the chip tank 11 opposite to the base plate 3 side is a flat joining surface 11e substantially perpendicular to the surface of the front plate portion 11b. One end of the orifice plate 6 is joined and fixed to the surface 11e. The surface of the base plate 3 on the side opposite to the chip tank 11 side is also substantially the same size as the bonding surface 11e of the chip tank 11, and is a planar bonding surface substantially perpendicular to the surface of the front plate portion 11b. The other end of the orifice plate 6 is joined and fixed to the joint surface.

【0073】チップタンク11の前面プレート部11b
における接合面11d側の縁部31には、後述するよう
にオリフィスプレート6を折り曲げてオリフィスプレー
ト6をヘッド基体4に良好に接合するために、縁部31
に沿って延びる切欠き33が形成されている。また、チ
ップタンク11の前面プレート部11bにおけるベース
プレート3側の縁部32にも、オリフィスプレート6を
折り曲げてオリフィスプレート6をヘッド基体4に良好
に接合するために、縁部32に沿って延びる切欠き34
が形成されている。このように縁部31,32のそれぞ
れに切欠き33,34が形成されることにより、縁部3
1,32のそれぞれの形状が段付き形状となっている。
Front plate portion 11b of chip tank 11
In order to satisfactorily join the orifice plate 6 to the head base 4 by bending the orifice plate 6 as described later, the edge 31
A notch 33 extending along is formed. In addition, a notch extending along the edge portion 32 of the front plate portion 11b of the chip tank 11 at the edge portion 32 on the side of the base plate 3 in order to bend the orifice plate 6 and join the orifice plate 6 to the head base 4 well. Chip 34
Are formed. By forming the notches 33 and 34 in the edges 31 and 32 in this manner, the edges 3 and 32 are formed.
Each of the shapes 1 and 32 has a stepped shape.

【0074】図1〜図3に示すように、オリフィスプレ
ート6の面積はチップタンク11の前面プレート部11
bの面積よりも大きくなっており、オリフィスプレート
6は、吐出口6aの配列方向に対して垂直な方向の断面
形状が「コ」の字形となるように折り曲げ稜線6f,6
gの2個所で折り曲げられてチップタンク11およびベ
ースプレート3に接合される。折り曲げ稜線6fがヘッ
ド基体4の縁部31に沿った折り曲げ線であり、折り曲
げ稜線6gがヘッド基体4の縁部32に沿った折り曲げ
線である。オリフィスプレート6の一端部は、固定部6
iとなってチップタンク11の接合面11eに接合さ
れ、オリフィスプレート6の他端部は、固定部6jとな
ってベースプレート3の、ヒータボード1側と反対側に
面に接合される。
As shown in FIGS. 1 to 3, the area of the orifice plate 6 is
b, and the orifice plate 6 is bent so that the cross-sectional shape in a direction perpendicular to the direction of arrangement of the discharge ports 6a is a U-shape.
g is bent at two points and joined to the chip tank 11 and the base plate 3. The bending ridge line 6f is a bending line along the edge 31 of the head base 4, and the bending ridge line 6g is a bending line along the edge 32 of the head base 4. One end of the orifice plate 6 is
i is joined to the joining surface 11e of the chip tank 11, and the other end of the orifice plate 6 is joined to the surface of the base plate 3 on the side opposite to the heater board 1 side as a fixing portion 6j.

【0075】本実施形態では、オリフィスプレート6が
吐出口6aの配列方向に沿って曲げられる構成である
が、本発明では、オリフィスプレート6が吐出口6aの
配列方向と直角な方向に曲げられるような構成であって
も構わない。
In this embodiment, the orifice plate 6 is bent along the direction in which the discharge ports 6a are arranged. In the present invention, however, the orifice plate 6 is bent in a direction perpendicular to the direction in which the discharge ports 6a are arranged. Configuration may be used.

【0076】そして、オリフィスプレート6の、固定部
6iと6jとの間のフェイス部分6kに吐出口6aの列
が配置されており、このフェイス部分6kが前面プレー
ト部11bの表面、すなわちヘッド基体4における複数
のノズル7の開口端側の前端面に接合される。したがっ
て、前面プレート部11bは、オリフィスプレート6に
おける吐出口6aの周囲の部分をその部分との接合によ
って保持する役割と、記録装置の本体に配設されたキャ
ップ部材のキャッピング動作時にそのキャップ部材から
加えられる脱着力や押圧保持力に対してオリフィスプレ
ート6が十分に耐え得るようにオリフィスプレート6を
支持する役割を担っている。このオリフィスプレート6
の支持には、後述するようにベースプレート3の前端面
部が用いられ、ベースプレート3がオリフィスプレート
6を直接支持する場合もある。オリフィスプレート6の
フェイス部分6kにおけるヘッド基体4側と反対側の面
が、液体噴射記録ヘッド15の吐出口形成面であるフェ
イス面6bとなる。
A row of discharge ports 6a is arranged in a face portion 6k of the orifice plate 6 between the fixed portions 6i and 6j, and the face portion 6k is arranged on the surface of the front plate portion 11b, that is, the head base 4 Are joined to the front end surfaces of the plurality of nozzles 7 on the opening end side. Therefore, the front plate portion 11b serves to hold a portion of the orifice plate 6 around the discharge port 6a by bonding to the portion, and also serves to prevent the cap member provided in the main body of the recording apparatus from capping when the capping operation is performed. The orifice plate 6 has a role of supporting the orifice plate 6 so that the orifice plate 6 can sufficiently withstand the applied detachment force and pressing and holding force. This orifice plate 6
As described later, the front end portion of the base plate 3 is used for supporting the base plate 3, and the base plate 3 may directly support the orifice plate 6. The face of the face portion 6k of the orifice plate 6 opposite to the head base 4 side is the face face 6b which is the ejection port forming face of the liquid jet recording head 15.

【0077】図2に示すように折り曲げられたオリフィ
スプレート6はヘッド基体4に対して、押さえ板12な
どの係合手段や不図示の鋲、あるいは接着剤による接
着、溶着等により、オリフィスプレート6の固定部6
i,6jがヘッド基体4に固定される構成となってい
る。
The orifice plate 6 bent as shown in FIG. 2 is attached to the head base 4 by engaging means such as a pressing plate 12, a stud not shown, or bonding or welding with an adhesive. Fixing part 6
i and 6j are fixed to the head base 4.

【0078】天板5の材質としては、ポリサルフォン、
ポリエーテルサルフォン、ポリプロピレン、変性ポリフ
ェニレンオキサイド、ポリフェニレンサルファイド、エ
ポキシ、または液晶ポリマー等の樹脂、あるいはセラミ
ックス、シリコン、窒化シリコン、ニッケル、カーボ
ン、ガラス等を用いることができる。
The material of the top plate 5 is polysulfone,
Resins such as polyethersulfone, polypropylene, modified polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, epoxy, and liquid crystal polymer, or ceramics, silicon, silicon nitride, nickel, carbon, and glass can be used.

【0079】オリフィスプレート6としては、SUS
(ステンレス鋼)、Ni、Cr、Al等の金属プレー
ト、またはポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテル
サルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリプロピレン等の樹脂成形品や樹脂
フィルム材等を用いることができる。
The orifice plate 6 is made of SUS
(Stainless steel), a metal plate of Ni, Cr, Al or the like, or a resin molded product such as polyimide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, or polypropylene, a resin film material, or the like can be used.

【0080】次に、上述した液体噴射記録ヘッド15の
組立工程の概略を説明する。
Next, an outline of an assembling process of the above-described liquid jet recording head 15 will be described.

【0081】まず、ヒータボード1上の吐出ヒータ1a
と、吐出ヒータ1aに相対する、天板5におけるノズル
7となる溝とが高精度に合致するようにアライメントし
た後に、接着剤等の接合手段あるいは押えばね(不図
示)等の圧接手段によってヒータボード1と天板5とを
密着させることで、インク流路となるノズル7をヒータ
ボード1と天板5との間に形成する。
First, the discharge heater 1a on the heater board 1
Is aligned with the groove serving as the nozzle 7 in the top plate 5 facing the discharge heater 1a so as to match with high precision, and then the heater is joined by a bonding means such as an adhesive or a pressing means such as a pressing spring (not shown). By bringing the board 1 and the top plate 5 into close contact with each other, a nozzle 7 serving as an ink flow path is formed between the heater board 1 and the top plate 5.

【0082】次に、天板5が密着しているヒータボード
1がベースプレート3上に固定されてなるものにチップ
タンク11を組み込み、天板5のインク供給口9とチッ
プタンク11のインク通路11aとを接続する。これに
より、チップタンク11の前面プレート部11bが、ヒ
ータボード1の前端面1b、および天板5の前端面5b
の周囲を覆うことになる。この時、前端面1b,5b
が、前面プレート部11bの前面よりも数十μmから数
百μm程度前方へ突出するように構成されている。
Next, the chip tank 11 is mounted on the base plate 3 in which the heater board 1 to which the top plate 5 is in close contact is fixed, and the ink supply port 9 of the top plate 5 and the ink passage 11a of the chip tank 11 are provided. And connect. As a result, the front plate portion 11b of the chip tank 11 has the front end surface 1b of the heater board 1 and the front end surface 5b of the top plate 5
Will cover the surrounding area. At this time, the front end faces 1b, 5b
Are configured to protrude forward by about several tens μm to several hundred μm from the front surface of the front plate portion 11b.

【0083】次に、ヒータボード1と天板5との密着に
よって前面プレート部11bより突出して形成された前
端面1b,5bに対して、オリフィスプレート6を接着
剤等の接合手段によって接合する。この際、前面プレー
ト部11bの前面が前端面1b,5bよりも後退してい
るため、オリフィスプレート6と前端面1b,5bとの
接合が妨げられないようになっている。
Next, the orifice plate 6 is joined to the front end surfaces 1b and 5b formed so as to protrude from the front plate portion 11b by the close contact between the heater board 1 and the top plate 5 by joining means such as an adhesive. At this time, since the front surface of the front plate portion 11b is retracted from the front end surfaces 1b and 5b, the joining between the orifice plate 6 and the front end surfaces 1b and 5b is not hindered.

【0084】図4は、ヘッド基体4にオリフィスプレー
ト6を接合する工程について説明するための断面図であ
り、図4には、ヘッド基体4のノズル7側の部分の断面
が示されている。また、図5は、本実施形態の液体噴射
記録ヘッド15における吐出口6a側の部分、すなわち
液体噴射記録ヘッド15のフェイス部分の断面図であ
る。
FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a step of joining the orifice plate 6 to the head base 4, and FIG. 4 shows a cross section of a portion of the head base 4 on the nozzle 7 side. FIG. 5 is a cross-sectional view of a portion on the ejection port 6a side of the liquid jet recording head 15 of the present embodiment, that is, a face portion of the liquid jet recording head 15.

【0085】図4に示すように、ヘッド基体4にオリフ
ィスプレート6を接合する際には、まず、オリフィスプ
レート6が折り曲げられていない状態で、ノズル7に吐
出口6aが連通するように、前面プレート部11bより
突出した前端面1b,5bに対してオリフィスプレート
6を位置合わせし、接着剤等の固定手段によりオリフィ
スプレート6を固定する。そして、オリフィスプレート
6のヘッド基体4側の背面と前面プレート部11bとの
間に形成された隙間16に接着剤、または接着力を有す
る封止材等を流し込む。
As shown in FIG. 4, when the orifice plate 6 is joined to the head base 4, first, in a state where the orifice plate 6 is not bent, the front surface is set so that the discharge port 6 a communicates with the nozzle 7. The orifice plate 6 is aligned with the front end surfaces 1b and 5b protruding from the plate portion 11b, and the orifice plate 6 is fixed by fixing means such as an adhesive. Then, an adhesive or a sealing material having an adhesive force is poured into a gap 16 formed between the back surface of the orifice plate 6 on the side of the head base 4 and the front plate portion 11b.

【0086】オリフィスプレート6の背面と前面プレー
ト部11bとの接合には、一般的に耐インク特性に優れ
るエポキシ系の接着剤が用いられる。エポキシ系の接着
剤による接合では、UV照射もしくは加熱によって接着
剤の硬化が促進されるが、接着剤の硬化収縮、熱膨張等
の影響を低減させ、吐出口6aの高精度な配列を維持さ
せるために、UV照射と低温キュアの併用による硬化方
式が好ましいとされる。
For bonding the back surface of the orifice plate 6 and the front plate portion 11b, an epoxy adhesive excellent in ink resistance is generally used. In the bonding with the epoxy adhesive, the curing of the adhesive is promoted by UV irradiation or heating, but the influence of the curing shrinkage and thermal expansion of the adhesive is reduced, and the high-precision arrangement of the discharge ports 6a is maintained. For this reason, a curing method using a combination of UV irradiation and low-temperature curing is considered preferable.

【0087】このようにしてオリフィスプレート6にお
ける吐出口6aの周囲の部分、すなわちオリフィスプレ
ート6のフェイス部分6kをヘッド基体4に固定した後
に、チップタンク11の前面プレート部11bの端部付
近、すなわちヘッド基体4の縁部31,32のそれぞれ
の付近でオリフィスプレート6を折り曲げ、最後にオリ
フィスプレート6の、折り曲げられた固定部6i,6j
を、上述したように押さえ板12等によりヘッド基体4
に固定する。
After the portion of the orifice plate 6 around the discharge port 6a, that is, the face portion 6k of the orifice plate 6, is fixed to the head base 4, the vicinity of the end of the front plate portion 11b of the chip tank 11, that is, The orifice plate 6 is bent near each of the edges 31 and 32 of the head base 4, and finally, the bent fixing portions 6i and 6j of the orifice plate 6 are bent.
Of the head base 4 by the pressing plate 12 or the like as described above.
Fixed to.

【0088】オリフィスプレート6の折り曲げにより、
オリフィスプレート6の材料自体が有する曲げ弾性によ
ってもとの平面に戻ろうとする応力がオリフィスプレー
ト6に発生し、オリフィスプレート6の屈曲部が弧を描
くが、上述したように縁部31,32のそれぞれに切欠
き33,34を形成したことにより、図5に示されるよ
うに前面プレート部11bの前端部稜線11c,11d
のそれぞれが、オリフィスプレート6の折り曲げ稜線6
f,6gより内側にあるため、オリフィスプレート6の
屈曲部でオリフィスプレート6の曲げ応力なりの円弧を
形成させることができる。これにより、オリフィスプレ
ート6の折り曲げ稜線6f,6gが前面プレート部11
bの表面より浮くことなく、オリフィスプレート6を曲
げることができる。
By bending the orifice plate 6,
Due to the bending elasticity of the material of the orifice plate 6 itself, a stress is generated in the orifice plate 6 to return to the original plane, and the bent portion of the orifice plate 6 draws an arc. By forming the notches 33 and 34 respectively, the front end ridge lines 11c and 11d of the front plate portion 11b as shown in FIG.
Are bent ridge lines 6 of the orifice plate 6
Since it is located inside f and 6g, an arc formed by the bending stress of the orifice plate 6 can be formed at the bent portion of the orifice plate 6. As a result, the bent ridge lines 6f and 6g of the orifice plate 6 are aligned with the front plate portion 11
The orifice plate 6 can be bent without floating above the surface b.

【0089】さらに、オリフィスプレート6の背面と前
面プレート部11bとの間の隙間16に接着剤、あるい
は接着力を有する封止材を流し込むと、切欠き33,3
4に封止材溜り16aができる。オリフィスプレート6
の折り曲げ時には、その封止材溜り16aが、切欠き3
3の内壁面とオリフィスプレート6との間や、切欠き3
4オリフィスプレート6との間に入り込み、かつ変形す
るため、封止材溜り16aがオリフィスプレート6の突
起や出っ張りを生じさせることはない。
Further, when an adhesive or a sealing material having an adhesive force is poured into the gap 16 between the back surface of the orifice plate 6 and the front plate portion 11b, the notches 33, 3 are formed.
4 forms a sealing material reservoir 16a. Orifice plate 6
Is bent, the sealing material pool 16a is notched 3
3 between the inner wall surface and the orifice plate 6,
Since it enters between the four orifice plates 6 and is deformed, the sealing material reservoir 16a does not cause protrusions or protrusions of the orifice plate 6.

【0090】また、図5に示される、オリフィスプレー
ト6の折り曲げ稜線6fと前面プレート部11bの前端
部稜線11cとの距離aや、折り曲げ稜線6gと前端部
稜線11dとの距離を適切に設定してやることで、封止
材溜り16aの量のばらつきを吸収することができ、製
造工程でのマージンを大きくすることができる。
The distance a between the bent ridge line 6f of the orifice plate 6 and the front end ridge line 11c of the front plate portion 11b and the distance between the bent ridge line 6g and the front end ridge line 11d shown in FIG. 5 are appropriately set. This makes it possible to absorb variations in the amount of the sealing material reservoir 16a, and to increase the margin in the manufacturing process.

【0091】このように接着剤、または接着力を有する
封止材により、オリフィスプレート6の背面と前面プレ
ート部11bとを接合すると、オリフィスプレート6の
曲げ応力が押さえ込まれ、オリフィスプレート6のフェ
イス面6bの平面性、すなわち液体噴射記録ヘッド15
の吐出口形成面の平面性を、より確実に、かつ信頼性を
高くして得ることができる。フェイス面6bの平面性お
よび信頼性をより確実に得るために、オリフィスプレー
ト6と前面プレート部11bとが接着されていると、折
り曲げ後の接着が望ましいものとなる。
When the back surface of the orifice plate 6 and the front plate portion 11b are joined by the adhesive or the sealing material having an adhesive force as described above, the bending stress of the orifice plate 6 is suppressed, and the face surface of the orifice plate 6 is reduced. 6b, that is, the liquid jet recording head 15
The flatness of the discharge port forming surface can be obtained more reliably and with higher reliability. If the orifice plate 6 and the front plate portion 11b are bonded to more reliably obtain the flatness and reliability of the face surface 6b, bonding after bending is desirable.

【0092】オリフィスプレート6の折り曲げ稜線と、
前面プレート部11bの前端部稜線との距離は、オリフ
ィスプレート6の材質、曲げ剛性、厚み、形状等により
所定の値に設定する。また、オリフィスプレート6と前
面プレート部11bを接合するか接合しないかによって
もその選択肢がひろがる。当然ながら折り曲げ稜線6f
と前端部稜線11cの距離aが大きいほうが、オリフィ
スプレート6の曲げ形状は良好であるが、その分、前面
プレート部11bでオリフィスプレート6を受ける面積
が小さくなる。逆に、距離aが小さすぎると、オリフィ
スプレート6の曲げ形状に不具合がでる。距離a、およ
び図5に示される折り曲げ稜線6fから縁部33の段差
面33bまでの距離bは、オリフィスプレート6の材質
による特性等を考慮し、適切な値に設定することが必要
である。
The bent edge line of the orifice plate 6
The distance between the front plate portion 11b and the front end ridge line is set to a predetermined value according to the material, bending rigidity, thickness, shape, and the like of the orifice plate 6. Further, the choices are expanded depending on whether the orifice plate 6 and the front plate portion 11b are joined or not joined. Naturally, bending ridgeline 6f
The larger the distance a between the front end ridge line 11c and the front end ridge line 11c is, the better the bent shape of the orifice plate 6 is. On the other hand, if the distance a is too small, the bent shape of the orifice plate 6 becomes defective. The distance a and the distance b from the bent ridge line 6f shown in FIG. 5 to the step surface 33b of the edge 33 need to be set to appropriate values in consideration of the characteristics of the material of the orifice plate 6 and the like.

【0093】図6は、オリフィスプレート6を折り曲げ
てヘッド基体4に固定する方法について説明するための
図である。
FIG. 6 is a view for explaining a method of bending the orifice plate 6 and fixing the orifice plate 6 to the head base 4.

【0094】オリフィスプレート6を折り曲げてヘッド
基体4に固定する際には、図6に示すように、オリフィ
スプレート6のそれぞれの両端部がフェイス面6aから
離れる方向へと、吐出口6aの配列方向に対して垂直な
方向にオリフィスプレート6の両端部を引っ張りながら
オリフィスプレート6にテンションを加えて、オリフィ
スプレート6を固定することが好ましい。これにより、
オリフィスプレート6のフェイス面6bの平面性がより
向上し、オリフィスプレート6の、チップタンク11か
らの浮きもなくなるため、オリフィスプレート6の剥離
等を防止する効果が増大することになる。ただし、オリ
フィスプレート6に加えるテンションが必要以上に大き
くなると、吐出口6aが変形して破壊を起こすため、オ
リフィスプレート6の材質や、その強度および形状を考
慮して、そのテンションを適切な値に設定する必要があ
る。
When the orifice plate 6 is bent and fixed to the head base 4, as shown in FIG. 6, both ends of the orifice plate 6 are arranged in a direction away from the face surface 6 a in the arrangement direction of the discharge ports 6 a. It is preferable to fix the orifice plate 6 by applying tension to the orifice plate 6 while pulling both ends of the orifice plate 6 in a direction perpendicular to the orifice plate. This allows
The flatness of the face surface 6b of the orifice plate 6 is further improved, and the orifice plate 6 is not lifted from the chip tank 11, so that the effect of preventing the orifice plate 6 from peeling off is increased. However, if the tension applied to the orifice plate 6 is unnecessarily large, the discharge port 6a is deformed and breaks. Therefore, the tension is adjusted to an appropriate value in consideration of the material of the orifice plate 6 and its strength and shape. Must be set.

【0095】図7は、液体噴射記録ヘッド15における
キャッピング動作について説明するための斜視図であ
る。図8は、液体噴射記録ヘッド15におけるワイピン
グ動作について説明するための模式図である。
FIG. 7 is a perspective view for explaining the capping operation in the liquid jet recording head 15. As shown in FIG. FIG. 8 is a schematic diagram for explaining the wiping operation in the liquid jet recording head 15.

【0096】本実施形態の液体噴射記録ヘッド15は、
被記録媒体に記録を行う液体噴射記録装置であるインク
ジェット記録装置に搭載されるものである。そのインク
ジェット記録装置では、液体噴射記録ヘッド15から被
記録媒体に向けて、液体であるインクが吐出され、その
インクが被記録媒体に付着することで被記録媒体に対し
て記録が行われる。また、液体噴射記録ヘッド15が搭
載されたインクジェット記録装置には、従来の記録装置
と同様に、液体噴射記録ヘッド15のフェイス面6b、
すなわち液体噴射記録ヘッド15における複数の吐出口
6aが位置した吐出口形成面の、それら全ての吐出口6
aを含む領域を密封するためのキャップ部材と、フェイ
ス面6bを拭いてフェイス面6bをクリーニングするた
めのワイピングブレードが備えられている。
The liquid jet recording head 15 of this embodiment is
It is mounted on an ink jet recording apparatus which is a liquid jet recording apparatus for performing recording on a recording medium. In the ink jet recording apparatus, liquid ink is ejected from the liquid jet recording head 15 toward the recording medium, and the ink adheres to the recording medium to perform recording on the recording medium. In addition, in the ink jet recording apparatus equipped with the liquid jet recording head 15, similarly to the conventional recording apparatus, the face surface 6b of the liquid jet recording head 15,
That is, all the ejection ports 6 on the ejection port forming surface of the liquid ejection recording head 15 where the plurality of ejection ports 6a are located.
and a wiping blade for wiping the face surface 6b to clean the face surface 6b.

【0097】本実施形態の液体噴射記録ヘッド15で
は、図7に示すように、液体噴射による記録動作におい
て液体噴射記録ヘッド15の回復動作を行うためにキャ
ップ部材13がオリフィスプレート6のフェイス面6b
上に進入してフェイス面6bに接触し、そのフェイス面
6bにおける吐出口6aの列を含むキャッピング領域1
3aがキャップ部材13により密封される。その際、本
実施形態の液体噴射記録ヘッド15の構成によれば、オ
リフィスプレート6のフェイス面6b、すなわち液体噴
射記録ヘッド15の吐出口形成面は平滑であり、段差が
ないため、フェイス面6bにおけるキャップ部材13と
の接触部は、そのフェイス面6bのどの領域であっても
密封性を良好に確保することができる。したがって、キ
ャップ部材13の部品精度、およびキャップ部材13を
オリフィスプレート6のフェイス面6b上に進入させる
進入位置決め部の精度を高精度に設定する必要がないた
め、回復装置、および液体噴射記録ヘッド15が搭載さ
れる記録装置を簡素化でき、記録装置を安価に作製する
ことができる。
In the liquid jet recording head 15 of this embodiment, as shown in FIG. 7, in order to perform a recovery operation of the liquid jet recording head 15 in a recording operation by liquid jetting, the cap member 13 is attached to the face 6 b of the orifice plate 6.
The capping region 1 including the row of the discharge ports 6a on the face surface 6b by contacting the face surface 6b
3a is sealed by the cap member 13. At this time, according to the configuration of the liquid jet recording head 15 of the present embodiment, the face surface 6b of the orifice plate 6, that is, the discharge port forming surface of the liquid jet recording head 15, is smooth and has no steps, so the face surface 6b , The contact portion with the cap member 13 can ensure good sealing performance in any area of the face surface 6b. Therefore, it is not necessary to set the precision of the component of the cap member 13 and the precision of the entry positioning portion for allowing the cap member 13 to enter the face surface 6b of the orifice plate 6 with high accuracy. Can be simplified, and the recording apparatus can be manufactured at low cost.

【0098】次に、キャップ部材13によってオリフィ
スプレート6のフェイス面6bをキャッピングした後、
あるいは連続吐出後等に行われるワイピング動作につい
て説明する。図8では、ワイピングブレードの状態aが
ワイピング動作前、状態bがワイピング動作開始、状態
c,d,eがワイピング動作中、状態fがワイピング動
作後の状態を示している。
Next, after capping the face 6b of the orifice plate 6 with the cap member 13,
Alternatively, a wiping operation performed after continuous ejection will be described. In FIG. 8, the state a of the wiping blade is the state before the wiping operation, the state b is the start of the wiping operation, the states c, d, and e are the states during the wiping operation, and the state f is the state after the wiping operation.

【0099】図8に示すようにワイピング動作によりオ
リフィスプレート6のフェイス面6b上にワイピングブ
レード2を進入させ、そのワイピングブレード2によっ
てフェイス面6bを拭いてクリーニングすることは、良
好な記録を得るために必要な動作とされている。ここ
で、ワイピングブレード2が状態aから、吐出口6aの
配列方向と平行な矢印B方向に移動し、ワイピングブレ
ード2が状態bでフェイス面6a上に進入する際、ワイ
ピングブレード2は、オリフィスプレート6における吐
出口6aの配列方向の端部6hに接触するため、ワイピ
ングブレード2によってオリフィスプレート6を剥離さ
せてしまう恐れがある。これは、ワイピングブレード2
がオリフィスプレート6上に進入する際に、ワイピング
ブレード2がオリフィスプレート6の端部6hを引っ掛
けてしまうこと、オリフィスプレート6の接着強度が不
足していること等によるものである。いずれにしても、
従来の液体噴射記録ヘッドのようにオリフィスプレート
がそのフェイス面の部分のみでヘッド基体に接合されて
いる一面接合の形態では、オリフィスプレートの接着強
度が十分に得られなかった。
As shown in FIG. 8, the wiping operation causes the wiping blade 2 to enter the face surface 6b of the orifice plate 6, and the face surface 6b is wiped and cleaned by the wiping blade 2 in order to obtain good recording. It is required operation. Here, when the wiping blade 2 moves from the state a in the direction of arrow B parallel to the arrangement direction of the discharge ports 6a and enters the face surface 6a in the state b, the wiping blade 2 6, the orifice plate 6 may be peeled off by the wiping blade 2. This is wiping blade 2
This is due to the fact that the wiping blade 2 gets caught on the end 6h of the orifice plate 6 when entering the orifice plate 6, and the adhesive strength of the orifice plate 6 is insufficient. In any case,
In the case of a one-sided bonding mode in which the orifice plate is bonded to the head base only at the face surface thereof as in a conventional liquid jet recording head, the orifice plate cannot have sufficient adhesive strength.

【0100】これに対して、本実施形態の液体噴射記録
ヘッド15では、オリフィスプレート6が曲げられたこ
とによって、オリフィスプレート6の、ヘッド基体4と
の接着面や、はめ込み等による接合面が3面となってい
る。すなわち、オリフィスプレート6を接合する形態
が、オリフィスプレート6の固定部6iとチップタンク
11の接合面11dとの接合、オリフィスプレート6の
フェイス部分6kと前面プレート部11bとの接合、お
よびオリフィスプレート6の固定部6jとベースプレー
ト3の裏面との接合を含む3面保持形態となっている。
これにより、ワイピングブレード2に対するオリフィス
プレート6の反力について、オリフィスプレート6のフ
ェイス部分6kの背面だけでなく、オリフィスプレート
6の固定部6i,6jの背面、すなわち折り曲げ側の2
つの面を加えることができ、より大きな反力を得ること
ができる。したがって、このような3面保持形態では、
オリフィスプレート6の接合強度が格段に向上し、オリ
フィスプレート6は、ワイピングブレード2の摺動に対
して多大な反力を得ることができる。
On the other hand, in the liquid jet recording head 15 of this embodiment, since the orifice plate 6 is bent, the bonding surface of the orifice plate 6 with the head base 4 or the bonding surface by fitting or the like is reduced to three. Surface. That is, the mode of joining the orifice plate 6 includes joining the fixing portion 6i of the orifice plate 6 to the joining surface 11d of the chip tank 11, joining the face portion 6k of the orifice plate 6 to the front plate portion 11b, and joining the orifice plate 6 And a three-surface holding form including bonding of the fixing portion 6j of the base plate 3 to the back surface of the base plate 3.
Thereby, regarding the reaction force of the orifice plate 6 to the wiping blade 2, not only the back surface of the face portion 6k of the orifice plate 6, but also the back surface of the fixed portions 6i and 6j of the orifice plate 6, ie, the bending side 2b.
One side can be added, and a larger reaction force can be obtained. Therefore, in such a three-side holding mode,
The joining strength of the orifice plate 6 is remarkably improved, and the orifice plate 6 can obtain a great reaction force against the sliding of the wiping blade 2.

【0101】また、オリフィスプレート6の、ワイピン
グブレード2との接触面に外力が加わり、オリフィスプ
レート6を剥離させる場合には、オリフィスプレート6
が折り曲げられていることから、オリフィスプレート6
をその屈曲部等でせん断する力が必要になる。通常、オ
リフィスプレート6のせん断方向の破断力は、ワイピン
グブレード2によるオリフィスプレート6の表面への押
付圧よりもはるかに大きいため、実質上、ワイピングブ
レード2によりオリフィスプレート6が剥離されること
はなくなる。
When an external force is applied to the contact surface of the orifice plate 6 with the wiping blade 2 to separate the orifice plate 6, the orifice plate 6
Is bent, so that the orifice plate 6
Is required to be sheared at the bent portion or the like. Normally, the breaking force of the orifice plate 6 in the shear direction is much larger than the pressing pressure of the wiping blade 2 against the surface of the orifice plate 6, so that the orifice plate 6 is not substantially peeled off by the wiping blade 2. .

【0102】ワイピングブレード2の進入方向が、図8
に示した方向に対して垂直な方向、すなわち吐出口6a
の配列方向に対して垂直な方向に設定された場合には、
ワイピングブレード2がオリフィスプレート6の折り曲
げ稜線6fまたは6gから接触することになる。したが
って、この場合では、ワイピングブレード2がオリフィ
スプレート6の端部を引っ掛けるようなことがなく、オ
リフィスプレート6が剥離する可能性はほとんどない。
The approach direction of the wiping blade 2 is shown in FIG.
The direction perpendicular to the direction shown in FIG.
When set in the direction perpendicular to the array direction of
The wiping blade 2 comes into contact with the orifice plate 6 from the bent ridge line 6f or 6g. Therefore, in this case, the wiping blade 2 does not catch on the end of the orifice plate 6, and there is almost no possibility that the orifice plate 6 is peeled off.

【0103】次に、本実施形態の液体噴射記録ヘッド1
5の変形例について図9および図10を参照して説明す
る。図9および図10は、液体噴射記録ヘッド15の変
形例について説明するための断面図であり、図9および
図10には、液体噴射記録ヘッド15のフェイス部の断
面が示されている。また、図9および図10では、オリ
フィスプレート6が折り曲げられてヘッド基体4に接合
される前の状態が示されている。
Next, the liquid jet recording head 1 of this embodiment
Modification 5 will be described with reference to FIGS. 9 and 10 are cross-sectional views for explaining a modification of the liquid jet recording head 15, and FIGS. 9 and 10 show cross sections of the face portion of the liquid jet recording head 15. FIG. 9 and 10 show a state before the orifice plate 6 is bent and joined to the head base 4.

【0104】図9に示される液体噴射記録ヘッド15の
変形例では、ヘッド基体4の縁部31,32のそれぞれ
が面取りされ、図10に示される液体噴射記録ヘッド1
5の変形例では、ヘッド基体4の縁部31,32のぞれ
ぞれの表面が、所定の曲率半径Rで規定された曲面にな
っている。
In a modification of the liquid jet recording head 15 shown in FIG. 9, each of the edges 31 and 32 of the head base 4 is chamfered, and the liquid jet recording head 1 shown in FIG.
In the fifth modification, the surfaces of the edges 31 and 32 of the head base 4 are curved surfaces defined by a predetermined radius of curvature R.

【0105】これらの変形例ついても、上述したように
縁部31,32のそれぞれに沿ってオリフィスプレート
6を折り曲げた時に、縁部31,32の傾斜面21a,
21b、あるいは縁部31,32の曲面22a,22b
が折り曲げ稜線6f,6gのそれぞれを広い面積で受け
るため、オリフィスプレート6の曲げ応力を縁部31,
32に沿って滑らかに分布させることができ、前面プレ
ート部11bに対してオリフィスプレート6が大きく浮
くことや出っ張ることを無くすことができる。さらに、
前面プレート部11bとオリフィスプレート6との接着
の有無に関わりなく、そのような効果を得ることができ
る。これらの変形例のうち縁部31,32の表面を曲面
にする形状は、本実施形態で説明した縁部31,32の
3つの形状の中で、前面プレート部11bとオリフィス
プレート6とを接着しない場合に最も適した形状であ
る。
As described above, when the orifice plate 6 is bent along each of the edges 31, 32 as described above, the inclined surfaces 21a,
21b or curved surfaces 22a, 22b of edges 31, 32
Receives the bending ridge lines 6f and 6g in a wide area, the bending stress of the orifice plate 6 is applied to the edges 31,
Thus, the orifice plate 6 can be prevented from floating or protruding from the front plate portion 11b. further,
Such an effect can be obtained irrespective of the presence or absence of adhesion between the front plate portion 11b and the orifice plate 6. Among these modified examples, the shapes of the curved surfaces of the edges 31 and 32 are the same as the three shapes of the edges 31 and 32 described in the present embodiment, and the front plate 11b and the orifice plate 6 are bonded. It is the most suitable shape when not performing.

【0106】(第2の実施の形態)図11は、本発明の
第2の実施形態の液体噴射記録ヘッドの構成について説
明するための分解斜視図であり、図12は、液体噴射記
録ヘッドのフェイス部分の断面図である。本実施形態の
液体噴射記録ヘッドは、第1の実施形態のものと比較し
て、チップタンクおよびベースプレートの吐出口側の部
分の形状が異なっており、以下では、第1の実施形態と
異なる点について説明する。
(Second Embodiment) FIG. 11 is an exploded perspective view for explaining the configuration of a liquid jet recording head according to a second embodiment of the present invention, and FIG. It is sectional drawing of a face part. The liquid jet recording head of the present embodiment is different from the first embodiment in the shape of the portion on the ejection port side of the chip tank and the base plate. Will be described.

【0107】本実施形態の液体噴射記録ヘッドでは図1
1および図12に示すように、ヘッド基体44aが、ヒ
ータボード1、天板5、ベースプレート43a、および
チップタンク51aから構成されており、ヘッド基体4
4aの前面プレート部が、ベースプレート43aの前面
プレート部24と、チップタンク51aの前面プレート
部23とから構成されている。したがって、前面プレー
ト部23および24が組み合わされて構成されるプレー
ト部が、第1に実施形態における前面プレート部11b
に相当する。ベースプレート43aの、前面プレート部
24以外の形状は、第1の実施形態で用いたベースプレ
ート3の形状と同様であり、チップタンク51aの、前
面プレート部23以外の形状は、第1の実施形態で用い
たチップタンク11と同様である。
In the liquid jet recording head of this embodiment, FIG.
As shown in FIG. 1 and FIG. 12, the head base 44a includes a heater board 1, a top plate 5, a base plate 43a, and a chip tank 51a.
The front plate portion 4a includes the front plate portion 24 of the base plate 43a and the front plate portion 23 of the chip tank 51a. Therefore, the plate portion configured by combining the front plate portions 23 and 24 is the front plate portion 11b in the first embodiment.
Is equivalent to The shape of the base plate 43a other than the front plate portion 24 is the same as the shape of the base plate 3 used in the first embodiment, and the shape of the chip tank 51a other than the front plate portion 23 is the same as in the first embodiment. This is the same as the chip tank 11 used.

【0108】したがって、本実施形態では、オリフィス
プレート6のフェイス部分6kを受ける前面プレート部
がチップタンク51aとベースプレート43aの2部品
のそれぞれの端部から構成されている。このようにヘッ
ド基体44aの前面プレート部を前面プレート部23と
24とで構成することにより、チップタンク51aおよ
びベースプレート43aのそれぞれの部品形状の簡略化
が実現され、部品の組み込み、特にチップタンク51a
の組み込みにおいてベースプレート43aに対するチッ
プタンク51aの組み込む方向25で非常に良好な組立
性が実現されている。
Therefore, in this embodiment, the front plate portion for receiving the face portion 6k of the orifice plate 6 is constituted by the respective ends of the two parts of the chip tank 51a and the base plate 43a. By configuring the front plate portion of the head base body 44a with the front plate portions 23 and 24 in this manner, simplification of the respective component shapes of the chip tank 51a and the base plate 43a is realized, and the incorporation of components, particularly the chip tank 51a
A very good assemblability is realized in the mounting direction 25 of the chip tank 51a with respect to the base plate 43a.

【0109】(第3の実施の形態)図13は、本発明の
第2の実施形態の液体噴射記録ヘッドの構成について説
明するための分解斜視図であり、図14は、液体噴射記
録ヘッドのフェイス部分の断面図である。本実施形態の
液体噴射記録ヘッドは、第1の実施形態のものと比較し
て、チップタンクの吐出口側の部分の形状が異なり、ま
た、ヘッド基体の前面プレート部として、チップタンク
やベースプレートとは異なる部材を用いている点が異な
っている。以下では、第1の実施形態と異なる点につい
て説明する。
(Third Embodiment) FIG. 13 is an exploded perspective view for explaining the structure of a liquid jet recording head according to a second embodiment of the present invention, and FIG. It is sectional drawing of a face part. The liquid jet recording head of the present embodiment is different from that of the first embodiment in the shape of the portion on the ejection port side of the chip tank. Are different in that different members are used. Hereinafter, points different from the first embodiment will be described.

【0110】本実施形態の液体噴射記録ヘッドでは図1
3および図14に示すように、ヘッド基体44bが、ヒ
ータボード1、天板5、ベースプレート3、チップタン
ク51a、および前面プレート専用部材26から構成さ
れている。前面プレート専用部材26は、ベースプレー
ト3およびチップタンク51aの、吐出口6a側となる
前端面に接合されており、オリフィスプレート6のフェ
イス部分6kを受ける前面プレート部が前面プレート専
用部材26にて構成されている。このように前面プレー
ト専用部材26にて構成することにより、ヘッド基体4
4bにおけるオリフィスプレート受け部の平面性を確保
しやすいことが最大の特徴となっている。特にノズル数
が多くなり、ノズル列の長さが伸びた場合、オリフィス
プレート6のフェイス面6bの平面性を確保するのが困
難になってくる。この場合、特にオリフィスプレート6
のフェイス部分6kを支える前面プレート部の平面性が
大変重要になってくる。したがって、本実施形態のよう
にヘッド基体44bの前面プレート部が前面プレート専
用部材26であれば、オリフィスプレート6の受け部が
一体部材であり、また、その構造が比較的単純であるた
め、前面プレート部表面の平面度を確保しやすい。
In the liquid jet recording head of this embodiment, FIG.
As shown in FIG. 3 and FIG. 14, the head base body 44b includes the heater board 1, the top plate 5, the base plate 3, the chip tank 51a, and the front plate dedicated member 26. The front plate exclusive member 26 is joined to the front end face of the base plate 3 and the chip tank 51a on the discharge port 6a side, and the front plate portion for receiving the face portion 6k of the orifice plate 6 is constituted by the front plate exclusive member 26. Have been. The head base member 4 is constituted by the front plate dedicated member 26 in this manner.
The greatest feature is that it is easy to secure the flatness of the orifice plate receiving portion in 4b. In particular, when the number of nozzles increases and the length of the nozzle row increases, it becomes difficult to ensure the flatness of the face surface 6b of the orifice plate 6. In this case, in particular, the orifice plate 6
The flatness of the front plate portion supporting the face portion 6k becomes very important. Therefore, if the front plate portion of the head base 44b is the front plate dedicated member 26 as in the present embodiment, the receiving portion of the orifice plate 6 is an integral member, and the structure is relatively simple. It is easy to ensure the flatness of the plate surface.

【0111】上述した第2および第3の実施形態とも
に、ヘッド基体44a,44bにおける前面プレート部
の縁部の形状として、第1の実施形態において図1〜図
5に示した段付き形状、図9に示した面取り形状、図1
0に示した曲面にすることが可能である。オリフィスプ
レート6とヘッド基体の前面プレート部との接着の有無
についてはどちらであっても構わない。実際には、第1
の実施形態における前面プレート部の縁部の3つの形
状、第1〜第3の実施形態のそれぞれの前面プレート部
の構成、およびオリフィスプレートと前面プレート部と
の接着の有無等これらの組み合わせについて、性能、コ
スト、組立性、使用形態等の様々な点から液体噴射記録
ヘッドの最適な構成を選択することになる。
In both the second and third embodiments described above, the shape of the edge of the front plate portion in the head bases 44a and 44b is the same as the stepped shape shown in FIGS. Chamfer shape shown in FIG. 9, FIG.
It is possible to make the curved surface shown in FIG. Regardless of whether or not the orifice plate 6 is bonded to the front plate portion of the head base, either may be used. In fact, the first
Regarding the three shapes of the edge of the front plate portion in the embodiment, the configuration of each front plate portion of the first to third embodiments, and the combination of these, such as the presence or absence of adhesion between the orifice plate and the front plate portion, The optimum configuration of the liquid jet recording head is selected from various points such as performance, cost, assemblability, and use form.

【0112】(第4の実施の形態)図15は、本発明の
第4の実施形態の液体噴射記録ヘッドについて説明する
ための分解斜視図である。本実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドは、第1〜第3の実施形態のそれぞれのものと比較
して、オリフィスプレートをヘッド基体に良好に接合す
るために、ヘッド基体の縁部の形状を段付き形状等にす
る代わりにオリフィスプレートの背面に溝を形成した点
が主に異なっている。図15では、第1の実施形態と同
一の構成部品に同一の符号を付し、以下では、第1の実
施形態とは異なる点を中心に説明する。
(Fourth Embodiment) FIG. 15 is an exploded perspective view for explaining a liquid jet recording head according to a fourth embodiment of the present invention. The liquid jet recording head according to the present embodiment has a stepped edge shape of the head base in order to better bond the orifice plate to the head base as compared with those of the first to third embodiments. The main difference is that a groove is formed on the back surface of the orifice plate instead of the shape. In FIG. 15, the same components as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the following description will focus on differences from the first embodiment.

【0113】本実施形態の液体噴射記録ヘッドでは、図
15に示すようにヘッド基体64が、ヒータボード1
と、天板5と、ベースプレート3と、チップタンク71
等とから構成されている。このヘッド基体64にオリフ
ィスプレート46が接合される。
In the liquid jet recording head according to the present embodiment, as shown in FIG.
, Top plate 5, base plate 3, chip tank 71
And so on. The orifice plate 46 is joined to the head base 64.

【0114】図16は、図15に示されるオリフィスプ
レートが折り曲げられる前の状態を示す斜視図であり、
図17は、図15に示されるオリフィスプレートが折り
曲げられた状態を示す斜視図である。図18は、本実施
形態の液体噴射記録ヘッドにおける吐出口側の部分の断
面図である。図19は、オリフィスプレートの折曲部を
拡大した図である。
FIG. 16 is a perspective view showing a state before the orifice plate shown in FIG. 15 is bent.
FIG. 17 is a perspective view showing a state where the orifice plate shown in FIG. 15 is bent. FIG. 18 is a sectional view of a portion on the ejection port side in the liquid jet recording head of the present embodiment. FIG. 19 is an enlarged view of a bent portion of the orifice plate.

【0115】オリフィスプレート46の外形形状は、第
1〜第3の実施形態で用いたオリフィスプレート6とほ
ぼ同様であるが、図16〜図18に示すようにオリフィ
スプレート46の、フェイス面46g側と反対側の背面
46gには、オリフィスプレート46の折り曲げ稜線4
6fに沿って延びる溝17aが2つ形成されている。し
たがって、オリフィスプレート46のヘッド基体64側
の平面におけるヘッド基体64の縁部に対応する部分、
すなわちオリフィスプレート46における折り曲げの内
側面の屈曲部に、チップタンク71の前面プレート部7
1bにおける吐出口46aの配列方向と平行な前端部稜
線71cに沿って平行に延びる溝17aが形成されてい
る。このように、オリフィスプレート46の折曲部46
mに所望の幅の溝17aが形成されると、折曲部46m
の肉厚が他の部分に対して薄くなるため、折り曲げ時の
反発力が軽減されて、オリフィスプレート46が簡単に
折り曲げられるようになり、液体噴射記録ヘッドの生産
性が向上する。
The outer shape of the orifice plate 46 is substantially the same as that of the orifice plate 6 used in the first to third embodiments. However, as shown in FIGS. On the back surface 46g on the opposite side, the bent ridge 4 of the orifice plate 46
Two grooves 17a extending along 6f are formed. Therefore, a portion corresponding to the edge of the head base 64 in the plane of the orifice plate 46 on the head base 64 side,
That is, the front plate portion 7 of the chip tank 71
A groove 17a extending parallel to the front end ridge line 71c parallel to the direction of arrangement of the discharge ports 46a in 1b is formed. Thus, the bent portion 46 of the orifice plate 46
When a groove 17a having a desired width is formed in the bent portion 46m
The thickness of the orifice plate 46 is reduced with respect to other portions, so that the repulsive force at the time of bending is reduced, the orifice plate 46 can be easily bent, and the productivity of the liquid jet recording head is improved.

【0116】さらに、折り曲げられたオリフィスプレー
ト46における固定部46i,46jの2面に対しては
所定のテンションが付加された上でチップタンク71の
上面およびベースプレート3の裏面のそれぞれで固定さ
れて保持される。このため、オリフィスプレート46は
フェイス面(前面)46bの背面と、固定部46i,4
6jのそれぞれの背面の3面で固定されるようになり、
オリフィスプレート46がフェイス面46bの背面のみ
で固定される形態に比べて、保持強度が格段に向上する
ようになる。
Further, a predetermined tension is applied to two surfaces of the fixed portions 46i and 46j of the bent orifice plate 46, and the two surfaces are fixed and held on the upper surface of the chip tank 71 and the rear surface of the base plate 3, respectively. Is done. For this reason, the orifice plate 46 is connected to the back surface of the face surface (front surface) 46b and the fixing portions 46i, 4
6j will be fixed on the three back surfaces of each
The holding strength is remarkably improved as compared with a configuration in which the orifice plate 46 is fixed only on the back surface of the face surface 46b.

【0117】本実施形態では、オリフィスプレート46
が吐出口46aの配列方向に沿って曲げられる構成であ
るが、オリフィスプレート46が吐出口46aの配列方
向と直角な方向に曲げられるような構成であっても構わ
ない。
In the present embodiment, the orifice plate 46
Is bent along the direction in which the discharge ports 46a are arranged. However, the orifice plate 46 may be bent in a direction perpendicular to the direction in which the discharge ports 46a are arranged.

【0118】オリフィスプレート46の背面46gにお
ける吐出口46aの周囲には、その背面46gから突出
した凸部18aが吐出口46aごとに独立して複数形成
されている。凸部18aの形状は、円筒形状、多角柱形
状等いずれであってもよく、また、それぞれの凸部18
aは、その突起形状が一様な壁部で構成されていてもよ
く、あるいは数個に分断された壁部で構成されていても
よい。
Around the discharge port 46a on the rear surface 46g of the orifice plate 46, a plurality of projections 18a protruding from the rear surface 46g are formed independently for each discharge port 46a. The shape of the protrusions 18a may be any of a cylindrical shape, a polygonal column shape, and the like.
“a” may be constituted by a wall having a uniform projection shape, or may be constituted by a wall divided into several pieces.

【0119】それぞれの凸部18aは、吐出口46aと
同様にエキシマレーザー加工によって形成されるが、突
起を形成する加工のため、凸部18a以外の部分をエキ
シマレーザーで凸部18aの高さ分だけ除去する加工と
なる。また、上述した溝17aもエキシマレーザー加工
によって掘り込み加工される。すなわち、複数の凸部1
8aおよび2つの溝17aはエキシマレーザー加工によ
って形成されるため、それらの位置精度、および面の平
滑性が良好な上、残留応力が極めて少ない加工をするこ
とができる。したがって、凸部18aと溝17aが、エ
キシマレーザーの掘り込み加工による同一工程で形成さ
れるように、さらにはエキシマレーザーによる吐出口4
6aの穴加工と同一の工程で形成されるように、オリフ
ィスプレート46を製作すれば、オリフィスプレート4
6の加工コストを削減できるようになる。
Each of the projections 18a is formed by excimer laser processing in the same manner as the discharge port 46a. However, due to the processing for forming projections, portions other than the projections 18a are excimer laser-exposed to the height of the projections 18a. It is a process to remove only. In addition, the above-described groove 17a is also dug by excimer laser processing. That is, the plurality of convex portions 1
Since the groove 8a and the two grooves 17a are formed by excimer laser processing, their positional accuracy and surface smoothness are good, and processing with very little residual stress can be performed. Therefore, the projections 18a and the grooves 17a are formed in the same step by excavation with an excimer laser, and the discharge ports 4 by the excimer laser are formed.
If the orifice plate 46 is manufactured so as to be formed in the same process as the hole processing of 6a, the orifice plate 4
6 can reduce the processing cost.

【0120】一般に、オリフィスプレート46は、SU
S(ステンレス鋼)、Ni、Cr、Al等の金属プレー
ト、またはポリイミド、ポリサルフォン、ポリエーテル
サルフォン、ポリフェニレンオキサイド、ポリフェニレ
ンサルファイド、ポリプロピレン等の樹脂成形品や樹脂
フィルム材等、さらにはシリコン、セラミックス等によ
って形成されるが、吐出口46a、凸部18a、溝17
aはエキシマレーザー加工によって形成されるだけでな
く、採用される材質に応じて、射出成形、トランスファ
ー成形、電鋳、サンドブラスト、エッチング等、様々な
方式を適用して、それらを形成することができる。
Generally, the orifice plate 46 is made of SU
Metal plates of S (stainless steel), Ni, Cr, Al, etc., or resin molded products such as polyimide, polysulfone, polyethersulfone, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polypropylene, etc., resin film materials, etc., and silicon, ceramics, etc. Formed by the discharge port 46a, the projection 18a, the groove 17
a is not only formed by excimer laser processing, but also can be formed by applying various methods such as injection molding, transfer molding, electroforming, sand blasting, etching, etc., depending on the material used. .

【0121】チップタンク71の形状および役割は、そ
の前面プレート部71bの縁部の形状を除いて、第1の
実施形態で用いたチップタンク11と同様である。した
がって、前面プレート部71bの役割も、チップタンク
11の前面プレート部11bと同様であり、オリフィス
プレート46における吐出口46aの周囲の部分をその
部分との接合によって保持する役割と、記録装置の本体
に配設されたキャップ部材のキャッピング動作時にその
キャップ部材から加えられる脱着力や押圧保持力に対し
てオリフィスプレート46が十分に耐え得るようにオリ
フィスプレート46を支持する役割を担っている。
The shape and role of the chip tank 71 are the same as those of the chip tank 11 used in the first embodiment, except for the shape of the edge of the front plate portion 71b. Therefore, the role of the front plate portion 71b is the same as that of the front plate portion 11b of the chip tank 11, and the role of holding the peripheral portion of the orifice plate 46 around the discharge port 46a by joining the same with the front plate portion 11b. Has a role of supporting the orifice plate 46 so that the orifice plate 46 can sufficiently withstand a detachment force and a pressing and holding force applied from the cap member at the time of the capping operation of the cap member disposed in the orifice.

【0122】また、前述したオリフィスプレート46の
溝17aは、その溝幅の中心が前面プレート部71bの
前端部稜線71cとほぼ一致するような位置に配設され
ている。
The groove 17a of the orifice plate 46 is disposed at a position where the center of the groove width substantially coincides with the front end ridge line 71c of the front plate portion 71b.

【0123】液体噴射記録ヘッドの内部では、図18に
示すように、ベースプレート3上に配線基板35が粘着
剤などによって接着されている。配線基板35は、ヒー
タボード1に対する配線と、液体噴射記録装置の本体に
対する電気的なコンタクトとを行うためのものである。
配線基板35としては、ガラスエポキシ基板に銅やニッ
ケルにて配線パターンを形成したPWB基板や、フレキ
シブルフィルム等に配線パターンを形成したTABフィ
ルム等が用いられる。ヒータボード1と配線基板35と
は、例えばワイヤーボンディング35aにより電気的に
接続される。
Inside the liquid jet recording head, as shown in FIG. 18, a wiring board 35 is adhered on the base plate 3 with an adhesive or the like. The wiring board 35 is for performing wiring to the heater board 1 and electrical contact to the main body of the liquid jet recording apparatus.
As the wiring substrate 35, a PWB substrate having a wiring pattern formed of copper or nickel on a glass epoxy substrate, a TAB film having a wiring pattern formed on a flexible film or the like is used. The heater board 1 and the wiring board 35 are electrically connected by, for example, wire bonding 35a.

【0124】次に、液体噴射記録ヘッドの組立工程の概
略を説明する。
Next, an outline of a process of assembling the liquid jet recording head will be described.

【0125】まず、第1の実施形態と同様にしてヒータ
ボード1と天板5とを密着させた後に、チップタンク7
1を組み込み、天板5のインク供給口9とチップタンク
71内のインク通路と接続する。これにより、チップタ
ンク71の前面プレート部71bが、ヒータボード1の
前端面1b、および天板5の前端面5bの周囲を覆うこ
とになる。この時、前端面1b,5bが、前面プレート
部71bの前面よりも数十μmから数百μm程度前方へ
突出するように構成されている。
First, the heater board 1 and the top plate 5 are brought into close contact with each other in the same manner as in the first embodiment.
1 is connected to the ink supply port 9 of the top plate 5 and the ink passage in the chip tank 71. As a result, the front plate portion 71b of the chip tank 71 covers the front end surface 1b of the heater board 1 and the periphery of the front end surface 5b of the top plate 5. At this time, the front end surfaces 1b and 5b are configured to protrude forward from the front surface of the front plate portion 71b by about several tens μm to several hundred μm.

【0126】次に、ヒータボード1と天板5との密着に
よって、前面プレート部71bより突出して形成された
前端面1b,5bに対して、オリフィスプレート46を
接着剤等の接合手段によって接合する。この際、前面プ
レート部71bの前面が前端面1b,5bよりも後退し
ているため、オリフィスプレート46と前端面1b,5
bとの接合が妨げられないようになっている。
Next, the orifice plate 46 is joined to the front end surfaces 1b and 5b formed so as to protrude from the front plate portion 71b by the adhesion between the heater board 1 and the top plate 5 by joining means such as an adhesive. . At this time, since the front surface of the front plate portion 71b is retracted from the front end surfaces 1b and 5b, the orifice plate 46 and the front end surfaces 1b and 5b are moved.
The joining with b is not hindered.

【0127】前面プレート部71bへのオリフィスプレ
ート46の接合は、オリフィスプレート46の凸部18
aと、その凸部18aと相対するノズル7とを高精度に
アライメントした後に、凸部18aをノズル7の内部へ
進入させて凸部18aをノズル7に嵌合させることによ
って行われ、接着剤が双方の接合面を結合することによ
って完了する。
The orifice plate 46 is joined to the front plate portion 71b by the projection 18 of the orifice plate 46.
a and the nozzle 7 opposed to the convex portion 18a are aligned with high precision, and then the convex portion 18a is inserted into the inside of the nozzle 7 and the convex portion 18a is fitted to the nozzle 7, thereby performing the adhesive. Is completed by joining both joining surfaces.

【0128】このオリフィスプレート46の背面46g
と前面プレート部71bとの接合には、一般に耐インク
特性に優れるエポキシ系の接着剤が採用されている。エ
ポキシ系の接着剤による接合では、UV照射もしくは加
熱によって接着剤の硬化が促進されるが、接着剤の硬化
収縮、熱膨張等の影響を低減させ、吐出口46aの高精
度な配列を維持させるために、UV照射と低温キュアの
併用による硬化方式が好ましいとされる。
The rear surface 46 g of the orifice plate 46
In general, an epoxy-based adhesive having excellent ink resistance is used for joining the head and the front plate 71b. In the bonding with the epoxy-based adhesive, the curing of the adhesive is accelerated by UV irradiation or heating. However, the effects of the curing shrinkage and the thermal expansion of the adhesive are reduced, and the high-precision arrangement of the discharge ports 46a is maintained. Therefore, it is considered that a curing method using a combination of UV irradiation and low-temperature curing is preferable.

【0129】オリフィスプレート46の背面46gを前
面プレート部71bの端面に圧接する際、接着剤が両者
に挟まれて広がるが、それぞれの凸部18aが接着剤の
流れを阻止するため、接着剤が吐出口46aの内面やノ
ズル7の内面へ流れ込むことを抑制する効果がある。ま
た、オリフィスプレート46の凸部18aの外周面とノ
ズル7の内面とのクリアランスは数μmに設定されてい
るので、仮に接着剤が両者の隙間に流れ込んでも、表面
張力によってこの隙間より奥のノズル7の内面までは接
着剤が流動しにくくなる。このように、接着剤は凸部1
8aの外周面とノズル7の内面との隙間部分に流れ込む
ため、オリフィスプレート46の接合面積が増えて、接
合強度を向上させることができる。
When the rear surface 46g of the orifice plate 46 is pressed against the end face of the front plate portion 71b, the adhesive is sandwiched between them and spreads. However, since the respective convex portions 18a block the flow of the adhesive, the adhesive is This has the effect of suppressing the flow into the inner surface of the discharge port 46a and the inner surface of the nozzle 7. Further, since the clearance between the outer peripheral surface of the convex portion 18a of the orifice plate 46 and the inner surface of the nozzle 7 is set to several μm, even if the adhesive flows into the gap between the two, the nozzle located deeper than this gap by the surface tension. It is difficult for the adhesive to flow up to the inner surface of 7. As described above, the adhesive is applied to the convex portion 1.
Since the gas flows into the gap between the outer peripheral surface of the nozzle 8a and the inner surface of the nozzle 7, the bonding area of the orifice plate 46 increases, and the bonding strength can be improved.

【0130】さらに、オリフィスプレート46と、ノズ
ル7を形成するための部材とが異なる材質で構成された
としても、オリフィスプレート46の凸部18aがノズ
ル7内に挿入されるため、接着剤のキュア工程の際に、
吐出口46aとノズル7との相対位置が変動しないよう
に物理的に阻止することができるようになる。
Further, even if the orifice plate 46 and the member for forming the nozzle 7 are made of different materials, since the protruding portion 18a of the orifice plate 46 is inserted into the nozzle 7, the adhesive is cured. During the process,
This makes it possible to physically prevent the relative position between the discharge port 46a and the nozzle 7 from fluctuating.

【0131】また、溝17aの配設により、オリフィス
プレート46全体の張力(腰の強さ)が溝17aを境に
して分断されることになり、オリフィスプレート46の
接合時に、フェイス面46b周辺に反発力として作用す
るオリフィスプレート46の張力が軽減される。すなわ
ち、オリフィスプレート46の接合工程の際に、フェイ
ス面46bに生じる波打ちやうねり等の接合に逆らう反
発力が軽減されて、凸部18aの、ノズル7に対するは
め込みが容易にできるようになり、その結果、フェイス
面46bの平滑性および接合精度が向上するようにな
る。
Further, the provision of the groove 17a causes the tension (stiffness) of the entire orifice plate 46 to be divided at the boundary of the groove 17a. The tension of the orifice plate 46 acting as a repulsive force is reduced. That is, at the time of the joining process of the orifice plate 46, the repulsive force against joining such as waving and undulation generated on the face surface 46b is reduced, and the projection 18a can be easily fitted into the nozzle 7. As a result, the smoothness and joining accuracy of the face surface 46b are improved.

【0132】さらに、オリフィスプレート46に対して
作用する接着剤の熱硬化による収縮応力は、溝17aを
配設した効果によって、主に溝17aの内側に向けての
み作用するようになるため、オリフィスプレート46の
固定部46i,46jに作用する収縮応力は軽減される
ことになる。これにより、接着剤の硬化収縮応力に伴っ
てオリフィスプレート46全体に生じる波打ちやうねり
等の不具合は、大幅に抑制されることになる。
Further, the shrinkage stress due to the thermosetting of the adhesive acting on the orifice plate 46 mainly acts only toward the inside of the groove 17a due to the effect of the provision of the groove 17a. The contraction stress acting on the fixing portions 46i and 46j of the plate 46 is reduced. Accordingly, defects such as undulations and undulations that occur in the entire orifice plate 46 due to the curing shrinkage stress of the adhesive are significantly suppressed.

【0133】次の工程では、オリフィスプレート46の
背面46gにおける吐出口46aの外周領域と前面プレ
ート部71bとの間の隙間(前面プレート部71bと前
端面1b,5bとの数十μmから数百μmの段差)に接
着剤または封止材等が流し込まれて、オリフィスプレー
ト46における吐出口46aの外周領域の部分と前面プ
レート部71bとの接合が完了する。
In the next step, the gap between the outer peripheral area of the discharge port 46a on the back surface 46g of the orifice plate 46 and the front plate portion 71b (several tens μm to several hundreds μm between the front plate portion 71b and the front end surfaces 1b and 5b). An adhesive or a sealing material or the like is poured into the (μm step), and the joining of the orifice plate 46 in the outer peripheral region of the discharge port 46a and the front plate portion 71b is completed.

【0134】次に、オリフィスプレート46の固定部4
6i,46jのそれぞれが、チップタンク71の前面プ
レート部71bの前端部稜線71cに沿って折り曲げら
れる。図19に示すように、オリフィスプレート46の
折曲部には、折り曲げ稜線46fが通る曲面を形成する
ことが好ましい。これは、回復処理のワイピングブレー
ドの摺擦やキャップ部材の着脱の際に、折り曲げ稜線4
6fの折曲部に対して応力が集中して、オリフィスプレ
ート46に亀裂や切断等の不具合を発生させることのな
いようにするためである。
Next, the fixing portion 4 of the orifice plate 46
Each of 6i and 46j is bent along the front end ridgeline 71c of the front plate portion 71b of the chip tank 71. As shown in FIG. 19, it is preferable that a bent portion of the orifice plate 46 be formed with a curved surface through which the bent ridgeline 46 f passes. This is because when the wiping blade is rubbed in the recovery process or when the cap member is attached or detached, the bent ridge 4
This is to prevent stress from concentrating on the bent portion of 6f and causing defects such as cracks and cuts in the orifice plate 46.

【0135】ただし、チップタンク71の前端部稜線7
1cがオリフィスプレート46における折り曲げ稜線4
6fの曲面部に干渉しないようにするため、チップタン
ク71の前端部稜線71cにおいても面取りや曲面等を
形成する必要がある(図19参照)。
However, the front end ridge line 7 of the chip tank 71
1c is the bent ridge line 4 in the orifice plate 46
In order not to interfere with the curved surface portion 6f, it is necessary to form a chamfer, a curved surface and the like also at the front end ridgeline 71c of the chip tank 71 (see FIG. 19).

【0136】オリフィスプレート46の固定部46iは
チップタンク71の上面に沿うようにして折り曲げら
れ、チップタンク11の上面に接合手段や係合手段等に
よって固定されて保持される。同様に、オリフィスプレ
ート46の固定部46jはベースプレート3の裏面に沿
うようにして折り曲げられ、ベースプレート3の裏面に
接合手段や係合手段等によって固定されて保持される。
図20は、オリフィスプレート46の固定部46i,4
6jをヘッド基体64に固定するための係合手段の一例
を示す斜視図であり、図20に示すように、例えば、第
1の実施形態と同様に係合手段である押さえ板12によ
ってオリフィスプレート46の固定部46i,46jを
押え込むように固定部46i,46jのそれぞれを固定
して保持する。
The fixing portion 46i of the orifice plate 46 is bent along the upper surface of the chip tank 71, and is fixed and held on the upper surface of the chip tank 11 by a joining means or an engaging means. Similarly, the fixing portion 46j of the orifice plate 46 is bent along the back surface of the base plate 3, and is fixed and held on the back surface of the base plate 3 by a joining means or an engaging means.
FIG. 20 shows the fixing portions 46i, 4 of the orifice plate 46.
FIG. 21 is a perspective view showing an example of an engaging means for fixing the fixing member 6j to the head base 64. As shown in FIG. 20, for example, as in the first embodiment, an orifice plate The fixing portions 46i and 46j are fixed and held so as to press down the fixing portions 46i and 46j.

【0137】オリフィスプレート46を折り曲げる手順
としては、オリフィスプレート46の凸部18aをノズ
ル7内にはめ込んで接着した後にオリフィスプレート4
6を折り曲げてもよいし、予め、オリフィスプレート4
6が折り曲げ稜線46fに沿って曲げ加工され、その後
に、凸部18aをノズル7内にはめ込んで接着を行うよ
うな構成にしてもよい。
The procedure for bending the orifice plate 46 is as follows. The protruding portion 18a of the orifice plate 46 is fitted into the nozzle 7 and bonded, and then the orifice plate 4
6 may be bent, or the orifice plate 4
6 may be bent along the bent ridge line 46f, and then the protrusion 18a may be fitted into the nozzle 7 to perform bonding.

【0138】凸部18aをノズル7内にはめ込んでから
オリフィスプレート46を折り曲げる前者の方法の場合
は、オリフィスプレート46がチップタンク71の外形
部に沿って折り曲げられるため、チップタンク71の個
体差が大きい場合でも柔軟に対応できるようになる。一
方、オリフィスプレート46の折り曲げ加工後に凸部1
8aをノズル7内にはめ込む後者の方法の場合は、オリ
フィスプレート46の折り曲げをより確実にできること
から、オリフィスプレート46の折り曲げ稜線46fを
しっかり確保することができる。
In the former method in which the projection 18a is fitted into the nozzle 7 and then the orifice plate 46 is bent, the orifice plate 46 is bent along the outer shape of the chip tank 71. Even if it is large, it will be possible to respond flexibly. On the other hand, after the orifice plate 46 is bent,
In the case of the latter method in which the orifice 8a is fitted into the nozzle 7, the orifice plate 46 can be more reliably bent, so that the bent ridge line 46f of the orifice plate 46 can be securely secured.

【0139】また、前者の方法では、オリフィスプレー
ト46の材質として樹脂フィルムや薄膜金属プレート
等、曲げ強度が弱くて曲げやすいものが適しており、逆
に後者の方法では、オリフィスプレート46の材質とし
て曲げ強度の強いものが適している。いずれにしても、
オリフィスプレート46を曲げる方法は、その材料や形
状等により適切に選択する必要がある。
In the former method, the material of the orifice plate 46 such as a resin film or a thin film metal plate having a low bending strength and being easy to bend is suitable. On the contrary, in the latter method, the material of the orifice plate 46 is suitable. Those with high bending strength are suitable. In any case,
The method of bending the orifice plate 46 needs to be appropriately selected depending on its material, shape, and the like.

【0140】また、オリフィスプレート46の背面46
gにおける吐出口46aの外周領域と前面プレート部7
1bとの間の隙間に接着剤または封止材等を流し込む工
程については、オリフィスプレート46を折り曲げて固
定した後に行うこともできる。この工程は、他に接着剤
や封止材を使用する工程がある場合等にその工程と同時
に行えば、硬化のための滞留時間を削減することがで
き、生産仕掛を減らすことができる。
The back surface 46 of the orifice plate 46
g and the outer peripheral region of the discharge port 46a and the front plate portion 7
The step of pouring an adhesive or a sealing material or the like into the gap between the first orifice 1b and the second orifice 1b may be performed after the orifice plate 46 is bent and fixed. If this step is performed at the same time when there is another step using an adhesive or a sealing material, the residence time for curing can be reduced, and the production process can be reduced.

【0141】本実施形態の液体噴射記録ヘッドにおいて
も、回復動作を行う場合は、第1の実施形態において図
7に基づいて説明したキャッピング動作と同様に、キャ
ップ部材13がオリフィスプレート46のフェイス面4
6bへ進入し、そのキャップ部材13が吐出口46aの
周辺部分と接触することにより、吐出口46aが密封さ
れる。この時、オリフィスプレート46のフェイス面4
6bは平滑であり、段差が形成されていないため、フェ
イス面46bにおけるキャップ部材13との接触部は、
そのフェイス面46bのどの領域であっても密封性を良
好に確保できる。したがって、キャップ部材13の部品
精度および位置決め精度を高精度に設定する必要はな
く、回復装置が簡素化され、回復装置を安価に製作する
ことができる。
In the liquid jet recording head of this embodiment, when the recovery operation is performed, the cap member 13 is moved to the face of the orifice plate 46 in the same manner as the capping operation described with reference to FIG. 7 in the first embodiment. 4
6b, the cap member 13 comes into contact with the peripheral portion of the discharge port 46a, so that the discharge port 46a is sealed. At this time, the face 4 of the orifice plate 46
6b is smooth and has no step, so that the contact portion of the face surface 46b with the cap member 13 is:
Good sealing performance can be ensured in any area of the face surface 46b. Therefore, it is not necessary to set the component accuracy and the positioning accuracy of the cap member 13 with high accuracy, and the recovery device is simplified, and the recovery device can be manufactured at low cost.

【0142】また、キャップ部材13のキャッピング動
作の繰り返しによるオリフィスプレート46の端部の剥
離に関しては、オリフィスプレート46の上記3面固定
によって、オリフィスプレート46のフェイス面46b
が強固に保持されため、キャップ部材13の密着および
離間の繰り返しによって生じる剥離等の不具合を阻止す
ることができる。
Regarding the peeling of the end of the orifice plate 46 due to the repetition of the capping operation of the cap member 13, the three surfaces of the orifice plate 46 are fixed by the face surface 46b of the orifice plate 46.
Is firmly held, thereby preventing problems such as peeling caused by repeated contact and separation of the cap member 13.

【0143】また、キャッピング後および連続吐出後等
に行われるワイピング動作についても、第1の実施形態
において図8に基づいて説明したのと同様に、本実施形
態の液体噴射記録ヘッドにおいてもオリフィスプレート
46を曲げることによって、オリフィスプレート46の
固定部46i,46jをヘッド基体64の上面および下
面のそれぞれに固定するような3面保持形態となってい
るので、オリフィスプレート46の接合強度が格段に向
上し、オリフィスプレート46はワイピングブレード2
の摺動に対して多大な反力を得ることができるようにな
る。
The wiping operation performed after capping and after continuous ejection is also performed in the orifice plate of the liquid jet recording head of the present embodiment, as described with reference to FIG. 8 in the first embodiment. By bending the 46, a three-sided holding configuration is employed in which the fixing portions 46i and 46j of the orifice plate 46 are fixed to the upper surface and the lower surface of the head base 64, respectively. And the orifice plate 46 holds the wiping blade 2
A large reaction force can be obtained against the sliding of

【0144】また、ワイピングブレード2の進入方向
が、吐出口46aの配列方向に対して垂直な方向に設定
された場合でも、ワイピングブレード2が折り曲げ稜線
46fから接触することになり、ワイピングブレード2
がオリフィスプレート46の端部を引っ掛けるようなこ
とはなく、オリフィスプレート46が剥離する可能性は
ほとんどない。
Further, even when the entering direction of the wiping blade 2 is set to a direction perpendicular to the arrangement direction of the discharge ports 46a, the wiping blade 2 comes into contact from the bent ridge line 46f, and the wiping blade 2
Does not catch the end of the orifice plate 46, and there is almost no possibility that the orifice plate 46 will peel off.

【0145】また、オリフィスプレート46を折り曲げ
てヘッド基体64に固定する際には、第1の実施形態に
おいて図6に基づいて説明したのと同様に、オリフィス
プレート46のそれぞれの両端部がフェイス面46aか
ら離れる方向へと、吐出口46aの配列方向に対して垂
直な方向にオリフィスプレート46の両端部を引っ張り
ながらオリフィスプレート46にテンションを加えてオ
リフィスプレート46を固定する。これにより、オリフ
ィスプレート46のフェイス面46bの平面性がより向
上し、オリフィスプレート46の、チップタンク71か
らの浮きもなくなるため、オリフィスプレート46の剥
離等を防止する効果が増大することになる。
When the orifice plate 46 is bent and fixed to the head base 64, both ends of the orifice plate 46 are face-faced as described with reference to FIG. 6 in the first embodiment. Tension is applied to the orifice plate 46 while pulling both ends of the orifice plate 46 in a direction perpendicular to the arrangement direction of the discharge ports 46a in a direction away from the orifice plate 46a to fix the orifice plate 46. As a result, the flatness of the face surface 46b of the orifice plate 46 is further improved, and the orifice plate 46 does not float from the chip tank 71, so that the effect of preventing the orifice plate 46 from peeling off is increased.

【0146】この場合においても、上記のテンションが
必要以上に大きくなって吐出口46aが変形破壊を起こ
さないように、オリフィスプレート46の材質の強度や
形状を考慮して、そのテンションを適切な値に設定する
必要がある。本実施形態の液体噴射記録ヘッドのように
オリフィスプレート46の凸部18aがノズル7内に挿
入される構成は、凸部18aが配設されない構成に比べ
て、テンションに対する抵抗力が大きくなるため、オリ
フィスプレート46に加えるテンションを大きく設定で
きるようになる。
In this case, too, the tension is set to an appropriate value in consideration of the strength and shape of the material of the orifice plate 46 so that the above-mentioned tension does not become unnecessarily large and the discharge port 46a does not deform or break. Must be set to The configuration in which the convex portion 18a of the orifice plate 46 is inserted into the nozzle 7 like the liquid jet recording head of the present embodiment has a greater resistance to tension than the configuration in which the convex portion 18a is not provided. The tension applied to the orifice plate 46 can be set large.

【0147】以上のように、オリフィスプレート46
は、前面プレート部71bの前端部稜線71cに沿っ
て、前面プレート部71bの表面と同一寸法に折り曲げ
られて固定されるため、オリフィスプレート46の強固
な固定が得られる。これにより、フェイス面46bに平
滑な面積を創出することができ、キャッピングに必要な
平滑面を広く取れ、かつフェイス面46bを所望の面積
に設定し易くなる。
As described above, the orifice plate 46
Is fixed along the front end ridgeline 71c of the front plate portion 71b by being bent to the same size as the surface of the front plate portion 71b, so that the orifice plate 46 can be firmly fixed. As a result, a smooth area can be created on the face surface 46b, a wide smooth surface required for capping can be obtained, and the face surface 46b can be easily set to a desired area.

【0148】さらに、オリフィスプレート46のフェイ
ス面46bは、全面が平滑となっているため、ワイピン
グブレードによる拭き取り時の液体残留や拭きムラ等を
大幅に削減することができる。その上、平滑な拭き取り
面はワイピングブレードに対するダメージも減らすこと
ができるため、ワイピングブレードの耐久性とワイピン
グ動作の信頼性も向上させることができる。
Furthermore, since the entire surface of the face surface 46b of the orifice plate 46 is smooth, it is possible to greatly reduce liquid residue, uneven wiping, and the like when wiping with a wiping blade. In addition, the smooth wiping surface can reduce the damage to the wiping blade, so that the durability of the wiping blade and the reliability of the wiping operation can be improved.

【0149】したがって、液体噴射記録ヘッドおよび液
体噴射記録装置の設計的な自由度が増して、液体噴射記
録ヘッドや液体噴射記録装置の小型化や低コスト化等を
図ることができ、液体噴射記録ヘッドの高寿命化を実現
することができるようになる。
Accordingly, the degree of freedom in designing the liquid jet recording head and the liquid jet recording apparatus is increased, and the size and cost of the liquid jet recording head and the liquid jet recording apparatus can be reduced. A longer life of the head can be realized.

【0150】また、本実施形態のようにオリフィスプレ
ート46の背面46gに折り曲げ稜線46fに沿って溝
17aを形成する構成は、吐出口の周囲に突起が設けら
れたオリフィスプレートに限定して適用されるものでは
なく、当然のことながら、そのような突起が配設されな
いようなオリフィスプレートのおいても適用されるもの
である。
The configuration in which the groove 17a is formed along the ridge line 46f on the back surface 46g of the orifice plate 46 as in the present embodiment is applied only to the orifice plate having a projection provided around the discharge port. However, it is needless to say that the present invention can be applied to an orifice plate in which such a projection is not provided.

【0151】また、オリフィスプレート46は同一材質
による一体構成に限られるものではなく、同一材質によ
る積層構成や、異なる材質による積層構成であっても、
本発明を適用できる。つまり、吐出口の周囲の突起部を
個別の層で形成したり、オリフィスプレート46の段差
部を個別の層で形成するようにしてもよい。さらに、オ
リフィスプレート46の固定部46i,46jの背面全
域が溝17aの底面と同一の面になるように、オリフィ
スプレート46のフェイス部分に対して、屈曲部から外
側の領域が薄肉厚となるようなオリフィスプレートの構
成にしても、同様な効果が得られる。
The orifice plate 46 is not limited to an integrated structure made of the same material, but may be a laminated structure made of the same material or a laminated structure made of a different material.
The present invention can be applied. That is, the protrusion around the discharge port may be formed by an individual layer, or the step of the orifice plate 46 may be formed by an individual layer. Further, the area outside the bent portion with respect to the face portion of the orifice plate 46 is thin so that the entire back surface of the fixed portions 46i and 46j of the orifice plate 46 is flush with the bottom surface of the groove 17a. A similar effect can be obtained with a simple orifice plate configuration.

【0152】(第5の実施の形態)図21は、本発明の
第2の実施形態の液体噴射記録ヘッドを構成するオリフ
ィスプレートを背面から見た斜視図である。
(Fifth Embodiment) FIG. 21 is a perspective view of an orifice plate constituting a liquid jet recording head according to a second embodiment of the present invention, as viewed from the back.

【0153】上述した第4の実施形態のように、オリフ
ィスプレート46の背面に溝17aを配設することで、
オリフィスプレート46の折り曲げが容易にできるよう
になるが、反面、オリフィスプレート46の固定部46
i,46jが自重により、溝17aが形成された部分を
支点にして下方へ向けて曲がるようになり、オリフィス
プレート46のハンドリング(取り扱い)を悪化させる
可能性がある。
As described in the fourth embodiment, the groove 17a is provided on the back surface of the orifice plate 46,
Although the bending of the orifice plate 46 can be easily performed, the fixing portion 46 of the orifice plate 46
Due to its own weight, i and 46j bend downward with the portion where the groove 17a is formed as a fulcrum, which may deteriorate the handling of the orifice plate 46.

【0154】本実施形態は、部品のハンドリングを悪化
させることなく、オリフィスプレート46の折り曲げ面
が折り曲げ稜線で容易に折り曲げられるような構成を提
案するものである。以下では、本実施形態で用いられる
オリフィスプレートについて、第4の実施形態と同一の
部分には同一の符号を付し、図21を参照して説明す
る。
This embodiment proposes a configuration in which the bent surface of the orifice plate 46 can be easily bent at the bent ridge line without deteriorating the handling of the parts. Hereinafter, in the orifice plate used in the present embodiment, the same portions as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and will be described with reference to FIG.

【0155】本実施形態で用いられるオリフィスプレー
ト46では、図21に示すように、オリフィスプレート
46の背面46gに形成される溝17aが、オリフィス
プレート46の長手方向、すなわち吐出口46aの配列
方向の両端部46h近傍で遮断されるように形成されて
いる。すなわち、溝17aは、オリフィスプレート46
の両端部46hを除く位置に形成されており、これによ
り、オリフィスプレート46の曲げ剛性が増すようにな
る。したがって、溝17aが長手方向に貫通した構成と
異なり、オリフィスプレート46の固定部46i,46
jが、溝17aが形成された部分を支点にして下方に曲
がってしまうようなことはなく、オリフィスプレート4
6のハンドリング性が良好となる。
In the orifice plate 46 used in this embodiment, as shown in FIG. 21, the groove 17a formed on the back surface 46g of the orifice plate 46 is oriented in the longitudinal direction of the orifice plate 46, that is, in the arrangement direction of the discharge ports 46a. It is formed so as to be cut off near both ends 46h. That is, the groove 17a is provided in the orifice plate 46.
Are formed at positions excluding both end portions 46h of the orifice plate 46, thereby increasing the bending rigidity of the orifice plate 46. Therefore, unlike the configuration in which the groove 17a penetrates in the longitudinal direction, the fixing portions 46i and 46 of the orifice plate 46 are different.
j does not bend downward with the portion where the groove 17a is formed as a fulcrum, and the orifice plate 4
6 has good handling properties.

【0156】なお、溝17aが遮断される部分は端部4
6hにおける狭い領域であることから、固定部46i,
46jを曲げる際の抵抗力は小さく、固定部46i,4
6jをフェイス部分に対して容易に曲げることができ
る。
The portion where the groove 17a is cut off is the end 4
6h, the fixed area 46i,
The resistance force when bending 46j is small, and the fixing portions 46i, 4
6j can be easily bent with respect to the face portion.

【0157】(第6の実施の形態)図22は、本発明の
第6の実施形態の液体噴射記録ヘッドにおけるオリフィ
スプレートの折曲部を拡大した図である。
(Sixth Embodiment) FIG. 22 is an enlarged view of a bent portion of an orifice plate in a liquid jet recording head according to a sixth embodiment of the present invention.

【0158】第4および第5の実施形態におけるオリフ
ィスプレート46では、そのフェイス面46bとして、
回復処理のために平滑面を確保しなければならず、オリ
フィスプレート46の接合面の浮きを極力なくす必要が
ある。オリフィスプレート46における折曲部の周辺部
は浮きが発生し易い領域であり、この領域の浮きを抑え
るためには、オリフィスプレート46における折り曲げ
稜線46fの部分を緩やかな曲面もしくは曲率の大きな
曲面で形成して、折り曲げに対する反発力を軽減させる
ことが有効である。
In the orifice plate 46 in the fourth and fifth embodiments, the face surface 46b is
A smooth surface must be ensured for the recovery process, and it is necessary to minimize the floating of the joint surface of the orifice plate 46. The periphery of the bent portion in the orifice plate 46 is a region where the floating is likely to occur. In order to suppress the floating in this region, the bent ridge line 46f in the orifice plate 46 is formed with a gentle curved surface or a curved surface with a large curvature. Thus, it is effective to reduce the repulsive force against bending.

【0159】チップタンク71の上面やベースプレート
3の裏面に沿わせてオリフィスプレート46を折り曲げ
る工程の際、オリフィスプレート46は曲がりやすい部
分から曲げ変形を起こす。その際、第4の実施形態で説
明した図19に示されるように溝17aの底面と溝17
aの側壁面とが交差部17bで直交している場合では、
オリフィスプレート46における交差部17bの近傍の
部分が、曲げ剛性が極端に変化する領域であり、仮に、
図19のように、溝17aが垂直壁のままその幅を広げ
てしまうと、オリフィスプレート46における交差部1
7b近傍の領域部分が曲がりやすくなるだけでなく、こ
の領域部分に曲げが集中する恐れがある。このように、
折り曲げが一ヶ所に集中して進行してしまうと、折り曲
げ稜線46fの部分の曲面が小さくなるだけでなく、交
差部17b近傍の領域部分に応力が集中して、オリフィ
スプレート46はダメージを受け易くなってしまう。
In the step of bending the orifice plate 46 along the upper surface of the chip tank 71 or the back surface of the base plate 3, the orifice plate 46 bends from a portion which is easily bent. At this time, as shown in FIG. 19 described in the fourth embodiment, the bottom of the groove 17a and the groove 17a
In the case where the side wall surface of a is orthogonal at the intersection 17b,
The portion near the intersection 17b in the orifice plate 46 is a region where the bending rigidity changes extremely.
As shown in FIG. 19, if the width of the groove 17a is increased while the vertical wall remains, the intersection 1
Not only does the region near 7b bend easily, but the bending may concentrate on this region. in this way,
If the bending is concentrated in one place, not only the curved surface at the bent ridge line 46f becomes small, but also stress concentrates on the area near the intersection 17b, and the orifice plate 46 is easily damaged. turn into.

【0160】そこで、本実施形態では、オリフィスプレ
ート46における折り曲げ稜線46fの部分に、緩やか
な曲面あるいは曲率の大きな曲面を形成させることによ
り、オリフィスプレート46における溝17aの周辺、
すなわち折曲部周辺で浮き等の不具合が発生しないよう
にするものである。以下では、本実施形態で用いられる
オリフィスプレートについて、第4の実施形態と同一の
部分には同一の符号を付し、図22を参照して説明す
る。
Therefore, in the present embodiment, a gentle curved surface or a curved surface having a large curvature is formed at the bent ridge line 46f in the orifice plate 46, so that the periphery of the groove 17a in the orifice plate 46 is improved.
That is, a problem such as floating around the bent portion is prevented. In the following, regarding the orifice plate used in the present embodiment, the same portions as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and will be described with reference to FIG.

【0161】本実施形態の液体噴射記録ヘッドに用いる
オリフィスプレート46では、図22に示すように溝1
7a内の側壁17cを溝17aの底面に対して傾斜させ
るとともに、溝17aの全体の開口幅を広げてオリフィ
スプレート46の折曲部が緩やかに曲がるようにする。
一方、チップタンク71は前端部稜線71cに面取りや
曲面を設けて、オリフィスプレート46の折曲部と干渉
しないようにする。このように、溝17a内の側壁17
cを傾斜面に設定することにより、オリフィスプレート
46における溝17aの底面と側壁17cとの交差部の
近傍部分で曲げ剛性が緩やかに変化するようになり、オ
リフィスプレート46における折り曲げ稜線46fの部
分は大きな曲面を形成しつつ折り曲げられるようにな
る。
In the orifice plate 46 used in the liquid jet recording head of this embodiment, as shown in FIG.
The side wall 17c inside the groove 7a is inclined with respect to the bottom surface of the groove 17a, and the whole opening width of the groove 17a is widened so that the bent portion of the orifice plate 46 is bent gently.
On the other hand, the chip tank 71 is provided with a chamfer or a curved surface at the front end ridgeline 71c so as not to interfere with the bent portion of the orifice plate 46. Thus, the side wall 17 in the groove 17a
By setting c to the inclined surface, the bending rigidity gradually changes in the vicinity of the intersection between the bottom surface of the groove 17a and the side wall 17c in the orifice plate 46, and the bent ridge line 46f in the orifice plate 46 It can be bent while forming a large curved surface.

【0162】(第7の実施の形態)図23は、本発明の
第7の実施形態の液体噴射記録ヘッドを構成するオリフ
ィスプレートを背面から斜視図であり、図23では、オ
リフィスプレートが折り曲げられる前の状態が示されて
いる。図24は、図23に示されるオリフィスプレート
が折り曲げられた状態を示す斜視図である。
(Seventh Embodiment) FIG. 23 is a rear perspective view of an orifice plate constituting a liquid jet recording head according to a seventh embodiment of the present invention. In FIG. 23, the orifice plate is bent. The previous state is shown. FIG. 24 is a perspective view showing a state where the orifice plate shown in FIG. 23 is bent.

【0163】オリフィスプレートの吐出口や溝、凸部を
形成するための用いられるエキシマレーザーは加工コス
トが高く、掘り込み面積が広くなると、レーザー光の照
射時間が長くなり、加工単価が高くなる。そこで、本実
施形態では、レーザー光の照射範囲を狭くすることによ
って、オリフィスプレートの溝加工のコストを軽減させ
るものである。以下では、本実施形態で用いられるオリ
フィスプレートについて、第4の実施形態と同一の部分
には同一の符号を付し、図23および図24を参照して
説明する。
The excimer laser used to form the discharge ports, grooves, and projections of the orifice plate has a high processing cost, and if the excavation area is large, the irradiation time of the laser beam is long, and the processing unit price is high. Therefore, in the present embodiment, the cost of machining the groove of the orifice plate is reduced by narrowing the irradiation range of the laser beam. Hereinafter, in the orifice plate used in the present embodiment, the same portions as those in the fourth embodiment are denoted by the same reference numerals, and will be described with reference to FIGS.

【0164】本実施形態で用いるオリフィスプレート4
6では、図23に示すように、第4の実施形態で形成し
た溝17aの代わりに、楔形状の溝17dが折り曲げ稜
線46fに沿って3つ形成されている。よって、溝17
dにおける長手方向に対して垂直な方向の断面形状が楔
形となっており、1箇所の折り曲げ稜線46fに対して
3個の楔形状の溝17dが配設されている。図24に示
すように、オリフィスプレート46の折り曲げ時には、
楔形状の溝17dのそれぞれの開口角度が狭小化される
ため、折り曲げ稜線46fに所望の曲面を形成させるこ
とができる。溝17dの数は、折曲部の曲面の大きさ
や、オリフィスプレート46の材質に合わせて適宜設定
される。
The orifice plate 4 used in this embodiment
In 6, in place of the groove 17a formed in the fourth embodiment, three wedge-shaped grooves 17d are formed along the bent ridge line 46f, as shown in FIG. Therefore, the groove 17
The cross-sectional shape in the direction perpendicular to the longitudinal direction at d is wedge-shaped, and three wedge-shaped grooves 17d are provided for one bent ridge line 46f. As shown in FIG. 24, when the orifice plate 46 is bent,
Since the opening angle of each of the wedge-shaped grooves 17d is reduced, a desired curved surface can be formed on the bent ridge line 46f. The number of the grooves 17d is appropriately set according to the size of the curved surface of the bent portion and the material of the orifice plate 46.

【0165】また、溝17dの形状は楔形状に限定され
るものではなく、台形形状、直角形等でも構わない。い
ずれにしても、オリフィスプレート46の折曲部の背面
において折り曲げ稜線46fに対して垂直な方向で溝を
分割して形成する構成にすることで、溝加工の掘り込み
面積を狭くすることができ、エキシマレーザー光の照射
時間を短縮して、オリフィスプレート46の加工時間を
削減することができる。
The shape of the groove 17d is not limited to a wedge shape, but may be a trapezoidal shape, a right angle shape, or the like. In any case, by forming a groove on the back surface of the bent portion of the orifice plate 46 in a direction perpendicular to the bending ridge line 46f, the dug area of the groove processing can be reduced. The irradiation time of the excimer laser light can be reduced, and the processing time of the orifice plate 46 can be reduced.

【0166】(第8の実施の形態)図25および図26
は、本発明の第8の実施形態に係る液体噴射記録ヘッド
の製造方法について説明するための断面図である。本実
施形態の液体噴射記録ヘッドの製造方法は、上述した第
1〜第7の実施形態の液体噴射記録ヘッドや、それらの
変形例に適用される製造方法であり、以下では、第1の
実施形態の液体噴射記録ヘッドを例にとって説明する。
図25および図26では、チップタンク11の前面プレ
ート部11bの縁部における段付き形状が省略して示さ
れている。
(Eighth Embodiment) FIGS. 25 and 26
FIG. 14 is a sectional view for describing a method for manufacturing a liquid jet recording head according to the eighth embodiment of the present invention. The method for manufacturing a liquid jet recording head according to the present embodiment is a manufacturing method applied to the liquid jet recording heads according to the first to seventh embodiments described above and modifications thereof. A liquid jet recording head of the embodiment will be described as an example.
25 and 26, the stepped shape at the edge of the front plate portion 11b of the chip tank 11 is omitted.

【0167】図25では、オリフィスプレート6が、ヒ
ータボード1と天板5との密着によって突出して形成さ
れたノズル7の端面に対して位置合わせされ、接着剤等
の接合手段によってオリフィスプレート6がヘッド基体
4に接合された状態が示されている。図26では、オリ
フィスプレート6が、チップタンク11の前面プレート
部11bの前端部稜線11cで折り曲げられた状態が示
されている。
In FIG. 25, the orifice plate 6 is positioned with respect to the end face of the nozzle 7 which is formed by the close contact between the heater board 1 and the top plate 5, and the orifice plate 6 is fixed by a bonding means such as an adhesive. The state joined to the head base 4 is shown. FIG. 26 shows a state in which the orifice plate 6 is bent at the front end ridgeline 11c of the front plate portion 11b of the chip tank 11.

【0168】まず、図25に示すように、天板5とヒー
タボード1の密着によって前面プレート部11bから突
出して形成された複数のノズル7に対して、オリフィス
プレート6に形成された複数の吐出口6aを位置あわせ
し、接着剤等の固定手段によりオリフィスプレート6を
固定する。そしてオリフィスプレート6における背面領
域と前面プレート部11bとの間に形成された隙間16
に接着剤、または接着力を有する封止材等が流し込まれ
る。
First, as shown in FIG. 25, a plurality of nozzles 7 formed on the orifice plate 6 correspond to a plurality of nozzles 7 formed so as to protrude from the front plate portion 11b due to the close contact between the top plate 5 and the heater board 1. The outlet 6a is aligned, and the orifice plate 6 is fixed by fixing means such as an adhesive. A gap 16 formed between the back surface area of the orifice plate 6 and the front plate portion 11b.
An adhesive or a sealing material having an adhesive force is poured into the substrate.

【0169】次に、図26に示すようにチップタンク1
1の前面プレート部11bの前端部稜線11c,11d
に沿ってオリフィスプレート6を折り曲げ、オリフィス
プレート6の固定部6i,6jを押さえ板12等により
チップタンク11の上面やベースプレート3の裏面に固
定する。
Next, as shown in FIG.
Front end ridge lines 11c and 11d of the front plate portion 11b
And the fixing portions 6i and 6j of the orifice plate 6 are fixed to the upper surface of the chip tank 11 and the rear surface of the base plate 3 by the holding plate 12 or the like.

【0170】オリフィスプレート6の折り曲げで、オリ
フィスプレート6の材料自体が有する曲げ弾性により、
オリフィスプレート6にはもとの平面に戻ろうとする応
力が発生するが、接着剤、または接着力を有する封止材
によりオリフィスプレート6の背面領域と前面プレート
部11bとが接着領域30で接合されているため、この
応力は押さえ込まれる。
When the orifice plate 6 is bent, the bending elasticity of the material of the orifice plate 6 causes
A stress is generated in the orifice plate 6 so as to return to the original plane, but the back surface area of the orifice plate 6 and the front plate portion 11b are joined at the bonding area 30 by an adhesive or a sealing material having an adhesive force. Therefore, this stress is suppressed.

【0171】本実施形態では、この接着領域30を、オ
リフィスプレート6の背面領域と前面プレート部11b
とが対向する面全体で接合するような構成としている。
この接着領域30の面積および接合強度は、オリフィス
プレート6の材質および厚み等から決定される曲げ剛性
に応じて選択的に決定されるべきものである。当然のこ
とながら、オリフィスプレート6の曲げに対する応力に
対してその接合強度が十分なマージンをもった強さでな
ければならない。
In the present embodiment, the bonding area 30 is formed between the rear area of the orifice plate 6 and the front plate 11b.
Are joined on the entire surface facing each other.
The area and bonding strength of the bonding region 30 should be selectively determined according to the bending rigidity determined from the material and thickness of the orifice plate 6 and the like. As a matter of course, the bonding strength of the orifice plate 6 with respect to the bending stress must have a sufficient margin.

【0172】この接着領域30の接合強度は、接着剤あ
るいは封止材そのものの性能にも影響されるが、オリフ
ィスプレート6の背面領域や前面プレート部11bにお
ける表面性や、ゴミ、油脂等の付着等の要因にも影響さ
れるため、接合強度を向上させる必要がある時には、接
着前の処理として洗浄や表面処理等を行うとより効果的
である。
The bonding strength of the bonding area 30 is also affected by the performance of the adhesive or the sealing material itself, but the surface properties of the rear area of the orifice plate 6 and the front plate portion 11b, and the adhesion of dust, grease, etc. When it is necessary to improve the bonding strength, it is more effective to perform cleaning, surface treatment, or the like as a treatment before bonding when it is necessary to improve the bonding strength.

【0173】また、このオリフィスプレート6の曲げに
対する応力を打ち消すために、オリフィスプレート6の
もつ弾性限界を超える曲げを加えることも有効である。
ただし、オリフィスプレート6の材料によりその有効性
も変わるため、状況により選択することが必要である。
In order to cancel the stress caused by the bending of the orifice plate 6, it is also effective to apply a bending exceeding the elastic limit of the orifice plate 6.
However, since the effectiveness changes depending on the material of the orifice plate 6, it is necessary to select it according to the situation.

【0174】次に、オリフィスプレートを折り曲げる工
程について図27を参照して説明する。図27は、ヘッ
ド基体に接着されたオリフィスプレートを折り曲げる工
程を順に示した図である。
Next, the step of bending the orifice plate will be described with reference to FIG. FIG. 27 is a view sequentially illustrating a process of bending the orifice plate adhered to the head base.

【0175】まず、図27(a)において、天板5とヒ
ータボード1により形成されたノズル7に対して、オリ
フィスプレート6に形成された吐出口6aを位置決め
し、オリフィスプレート6が接着剤等により固定されて
いる。この時、オリフィスプレート6に対し、天板5と
ヒータボード1は接着されているが、上述したようにオ
リフィスプレート6と前面プレート部11bとの間には
数十〜数百ミクロンの隙間16が存在するような構成と
なっている。
First, in FIG. 27A, the discharge port 6a formed in the orifice plate 6 is positioned with respect to the nozzle 7 formed by the top plate 5 and the heater board 1, and the orifice plate 6 is made of an adhesive or the like. It is fixed by. At this time, the top plate 5 and the heater board 1 are bonded to the orifice plate 6, but as described above, a gap 16 of several tens to several hundreds of microns exists between the orifice plate 6 and the front plate portion 11b. It has a configuration that exists.

【0176】次に、この隙間16に、図27(b)に示
すように接着剤、あるいは接着力を有する封止材19を
流し込む。これにより接着領域30においてオリフィス
プレート6と前面プレート部11bとが接着されて一体
化する。
Next, as shown in FIG. 27B, an adhesive or a sealing material 19 having an adhesive force is poured into the gap 16. Thereby, the orifice plate 6 and the front plate portion 11b are bonded and integrated in the bonding region 30.

【0177】次に、図27(c)に示すように、オリフ
ィスプレート6を前面プレート部11bの縁部(エッ
ジ)31,32に沿って折り曲げる。この時、オリフィ
スプレート6の折り曲げ方向20と同方向にオリフィス
プレート6の折り曲げ応力20aが発生する。また、そ
れと同時に派生力20bも発生する。この派生力20b
は、オリフィスプレート6と前面プレート部11bの隙
間16を拡大させる方向に働いている。しかし、先の工
程において、オリフィスプレート6のフェイス部分が前
面プレート部11bに接着されて固定されているため、
この隙間16の大きさは変化しない。よって、図27
(d)に示すようにオリフィスプレート6の屈曲部やそ
の周辺部においてオリフィスプレート6の浮き等もなく
なり、フェイス面6bの平面性を保てる。
Next, as shown in FIG. 27C, the orifice plate 6 is bent along the edges 31, 32 of the front plate portion 11b. At this time, a bending stress 20a of the orifice plate 6 is generated in the same direction as the bending direction 20 of the orifice plate 6. At the same time, a derivative force 20b is also generated. This derivative power 20b
Works in a direction to enlarge the gap 16 between the orifice plate 6 and the front plate portion 11b. However, since the face portion of the orifice plate 6 is adhered and fixed to the front plate portion 11b in the previous step,
The size of the gap 16 does not change. Therefore, FIG.
As shown in (d), the orifice plate 6 does not float at the bent portion of the orifice plate 6 and its peripheral portion, and the flatness of the face surface 6b can be maintained.

【0178】このようにオリフィスプレート6のフェイ
ス面6bの平面性を確保するための接着工程を、オリフ
ィスプレート6の折り曲げ前に行うことで、その効果を
より大きくすることができる。
By performing the bonding step for ensuring the flatness of the face surface 6b of the orifice plate 6 before bending the orifice plate 6, the effect can be further enhanced.

【0179】したがって、本実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドの製造方法によれば、平滑であり、段差のないフェ
イス面6bを有する液体噴射記録ヘッドを作製すること
ができるので、上述したのと同様に、液体噴射による記
録動作において回復動作を行う場合に、キャップ部材が
オリフィスプレート6のフェイス面6b上へ進入して接
触し、キャップ部材によってフェイス面6bにおける吐
出口6aの列を含む領域が密封される際、フェイス面6
bは平滑であり、段差がないため、フェイス面6bにお
けるキャップ部材との接触部は、フェイス面6bの部分
であっても密封性を確保できる。よって、キャップ部材
の進入位置決め部の精度を高度に設定する必要がないた
め、記録装置を簡素化できる。
Therefore, according to the method of manufacturing a liquid jet recording head of the present embodiment, a liquid jet recording head having a face surface 6b that is smooth and has no steps can be manufactured. When the recovery operation is performed in the recording operation by the liquid ejection, the cap member enters the face surface 6b of the orifice plate 6 and comes into contact therewith, and the area including the row of the ejection ports 6a on the face surface 6b is sealed by the cap member. Face face 6
Since b is smooth and has no step, the contact portion of the face surface 6b with the cap member can secure the sealing performance even at the portion of the face surface 6b. Therefore, since it is not necessary to set the accuracy of the entry positioning portion of the cap member to a high degree, the recording apparatus can be simplified.

【0180】キャッピング動作後あるいは連続吐出後等
に行われるワイピング動作についても、オリフィスプレ
ート6が曲げられたことによって、オリフィスプレート
6の、ヘッド基体4との接着面や、はめ込み等による接
合面が3面となっているので、ワイピングブレードに対
するオリフィスプレート6の反力について、オリフィス
プレート6のフェイス部分6kの背面だけでなく、オリ
フィスプレート6の固定部6i,6jの背面、すなわち
折り曲げ側の2つの面を加えることができ、より大きな
反力を得ることができる。したがって、このような3面
保持形態では、オリフィスプレート6の接合強度が格段
に向上し、オリフィスプレート6は、ワイピングブレー
ドの摺動に対して多大な反力を得ることができる。
In the wiping operation performed after the capping operation or after the continuous discharge, the bending surface of the orifice plate 6 causes the bonding surface of the orifice plate 6 to the head base 4 or the bonding surface by fitting or the like to three. With respect to the reaction force of the orifice plate 6 against the wiping blade, not only the back surface of the face portion 6k of the orifice plate 6 but also the back surfaces of the fixing portions 6i and 6j of the orifice plate 6, that is, the two surfaces on the bending side. And a larger reaction force can be obtained. Therefore, in such a three-surface holding configuration, the joining strength of the orifice plate 6 is remarkably improved, and the orifice plate 6 can obtain a great reaction force against the sliding of the wiping blade.

【0181】[0181]

【発明の効果】以上説明したように本発明は、オリフィ
スプレートをヘッド基体の縁部に沿って折り曲げてオリ
フィスプレートをヘッド基体に固定する構成の液体噴射
記録ヘッドで、ヘッド基体の縁部に切欠きを形成してそ
の縁部を段付き形状にしたり、その縁部の表面を曲面に
したり、あるいはその縁部を面取りしたりしたことによ
り、液体噴射記録ヘッドの吐出口形成面の平面性を十分
に確保して、オリフィスプレートをヘッド基体に対して
確実に折り曲げ固定することができる。これにより、液
体噴射記録ヘッドの吐出口形成面、すなわちオリフィス
プレートのフェイス面上へのワイピングブレードの侵入
に対してオリフィスプレートの浮きを防止することがで
き、液体噴射記録ヘッドの耐久性を向上させることがで
きる。また、オリフィスプレートで凹凸のない平滑なフ
ェイス面を創出することにより、キャップ部材のキャッ
ピング面積を最大限にとることができるため、液体噴射
記録ヘッドに対する回復吸引動作を確実に行うことがで
きるとともに、複雑なキャッピング機構を不要とするた
めに液体噴射記録装置のコストを低く押さえることがで
きる。そして、液体噴射記録ヘッド自体を小型化できる
ことから、複数の液体噴射記録ヘッドを実装した時のヘ
ッドの高密度配置や、これに伴う記録装置自体の小型化
など、省スペース化かつ低コスト化を大いに進めること
ができる。さらに、オリフィスプレートの平滑なフェイ
ス面は、ワイピングブレードに対するダメージを低減さ
せ、記録装置の高寿命化を可能にする。そして、凹凸面
に固着しやすい記録液などに対しても、オリフィスプレ
ートのフェイス面の平滑面のためそのフェイス面に記録
液が固着することが少なく、かつワイピングによりフェ
イス面から記録液が確実に除去されるため、良好な記録
品位を長く維持することができるという効果がある。
As described above, the present invention relates to a liquid jet recording head having a structure in which an orifice plate is bent along an edge of a head base and the orifice plate is fixed to the head base. By forming a notch and making the edge a stepped shape, making the surface of the edge a curved surface, or chamfering the edge, the flatness of the ejection port forming surface of the liquid jet recording head is improved. With sufficient securing, the orifice plate can be reliably bent and fixed to the head base. Thus, it is possible to prevent the orifice plate from floating when the wiping blade enters the ejection port forming surface of the liquid jet recording head, that is, the face surface of the orifice plate, thereby improving the durability of the liquid jet recording head. be able to. In addition, by creating a smooth face surface with no irregularities in the orifice plate, the capping area of the cap member can be maximized, so that the recovery suction operation for the liquid jet recording head can be reliably performed, Since a complicated capping mechanism is not required, the cost of the liquid jet recording apparatus can be kept low. Further, since the liquid jet recording head itself can be downsized, space saving and cost reduction such as high density arrangement of heads when a plurality of liquid jet recording heads are mounted and downsizing of the recording apparatus itself accompanying this are achieved. I can go a long way. Furthermore, the smooth face of the orifice plate reduces the damage to the wiping blade, and makes it possible to extend the life of the recording apparatus. Also, even for recording liquid that easily adheres to the uneven surface, the recording liquid hardly adheres to the orifice plate due to the smooth surface of the face, and the recording liquid is surely wiped from the face by wiping. Since it is removed, there is an effect that good recording quality can be maintained for a long time.

【0182】また、本発明は、オリフィスプレートをヘ
ッド基体の縁部に沿って折り曲げてオリフィスプレート
をヘッド基体に固定する構成の液体噴射記録ヘッドで、
オリフィスプレートのヘッド基体側の面におけるヘッド
基体の縁部に対応する部分に、ヘッド基体の縁部と平行
な方向に延びる溝が形成されたことにより、オリフィス
プレートを容易に折り曲げることが可能になり、液体噴
射記録ヘッドの生産性が向上するという効果がある。ま
た、そのような溝をオリフィスプレートに形成したこと
により、オリフィスプレートを折り曲げた際にオリフィ
スプレート全体の張力が、溝が形成された部分を境にし
て分断されることになり、ヘッド基体へのオリフィスプ
レートの接合時に、オリフィスプレートの、ヘッド基体
の前端面に接合された部分のフェイス面に生じる波打ち
やうねり等の接合に逆らう反発力が軽減される。その結
果、フェイス面の平滑性、およびフェイス面の裏側の接
着面における接合強度が向上するという効果がある。
The present invention also relates to a liquid jet recording head having a structure in which an orifice plate is bent along an edge of a head base to fix the orifice plate to the head base.
A groove extending in a direction parallel to the edge of the head base is formed in a portion corresponding to the edge of the head base on the surface of the orifice plate on the head base side, so that the orifice plate can be easily bent. This has the effect of improving the productivity of the liquid jet recording head. Further, by forming such a groove in the orifice plate, when the orifice plate is bent, the tension of the entire orifice plate is cut off at the portion where the groove is formed, and the head base body is cut off. When the orifice plate is joined, a repulsive force against joining such as waving or undulation generated on the face surface of the portion of the orifice plate joined to the front end face of the head base is reduced. As a result, there is an effect that the smoothness of the face surface and the bonding strength of the bonding surface on the back side of the face surface are improved.

【0183】さらに、本発明の液体噴射記録ヘッドの製
造方法によれば、オリフィスプレートをヘッド基体の縁
部に沿って折り曲げてオリフィスプレートをヘッド基体
に固定する構成の液体噴射記録ヘッドを作製する際に、
オリフィスプレートをヘッド基体に対して確実に折り曲
げ固定することができ、オリフィスプレートを容易に折
り曲げることが可能になるため、液体噴射記録ヘッドの
生産性が向上するという効果がある。また、オリフィス
プレートを折り曲げる前にオリフィスプレートをヘッド
基体の前端面に接合することで、オリフィスプレートの
フェイス面の平面性を保って液体噴射記録ヘッドを作製
することができる。この作用により、フェイス面の平面
性を確保して、そのフェイス面におけるキャッピング面
積をオリフィスプレートのフェイス面の面積と同一化す
ることによる液体噴射記録ヘッドの小型化と、ワイピン
グ動作におけるオリフィスプレートの剥がれに対する信
頼性の向上とを図ることができる。さらに、オリフィス
プレートのフェイス面上に段差がないことにより、ワイ
ピングブレードの耐久性が向上するなどして、液体噴射
記録装置を高寿命化させることが可能な液体噴射記録ヘ
ッドを作製することができる。
Further, according to the method of manufacturing a liquid jet recording head of the present invention, a liquid jet recording head having a structure in which the orifice plate is bent along the edge of the head base to fix the orifice plate to the head base is manufactured. To
Since the orifice plate can be reliably bent and fixed to the head base and the orifice plate can be easily bent, there is an effect that the productivity of the liquid jet recording head is improved. Further, by bonding the orifice plate to the front end surface of the head base before bending the orifice plate, it is possible to manufacture a liquid jet recording head while maintaining the flatness of the face surface of the orifice plate. By this action, the flatness of the face surface is ensured, and the capping area on the face surface is made equal to the area of the face surface of the orifice plate to reduce the size of the liquid jet recording head, and the orifice plate peels off during the wiping operation. Reliability can be improved. Furthermore, since there is no step on the face surface of the orifice plate, the durability of the wiping blade is improved, and a liquid jet recording head capable of extending the life of the liquid jet recording apparatus can be manufactured. .

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態の液体噴射記録ヘッド
の構成について説明するための分解斜視図である。
FIG. 1 is an exploded perspective view for describing a configuration of a liquid jet recording head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態の液体噴射記録ヘッド
の構成について説明するための分解斜視図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view for describing a configuration of the liquid jet recording head according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施形態の液体噴射記録ヘッド
の構成について説明するための分解斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view for describing a configuration of the liquid jet recording head according to the first embodiment of the present invention.

【図4】ヘッド基体にオリフィスプレートを接合する工
程について説明するための断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view for explaining a step of joining an orifice plate to a head base.

【図5】液体噴射記録ヘッドのフェイス部分の断面図で
ある。
FIG. 5 is a sectional view of a face portion of the liquid jet recording head.

【図6】オリフィスプレートを折り曲げてヘッド基体に
固定する方法について説明するための図である。
FIG. 6 is a diagram for explaining a method of bending an orifice plate and fixing it to a head base.

【図7】液体噴射記録ヘッドにおけるキャッピング動作
について説明するための斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view for explaining a capping operation in the liquid jet recording head.

【図8】液体噴射記録ヘッドにおけるワイピング動作に
ついて説明するための模式図である。
FIG. 8 is a schematic diagram for explaining a wiping operation in the liquid jet recording head.

【図9】液体噴射記録ヘッドの変形例について説明する
ための断面図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view for describing a modification of the liquid jet recording head.

【図10】液体噴射記録ヘッドの変形例について説明す
るための断面図である。
FIG. 10 is a cross-sectional view for describing a modification of the liquid jet recording head.

【図11】本発明の第2の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドの構成について説明するための分解斜視図である。
FIG. 11 is an exploded perspective view for describing a configuration of a liquid jet recording head according to a second embodiment of the present invention.

【図12】液体噴射記録ヘッドのフェイス部分の断面図
である。
FIG. 12 is a sectional view of a face portion of the liquid jet recording head.

【図13】本発明の第2の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドの構成について説明するための分解斜視図である。
FIG. 13 is an exploded perspective view for describing a configuration of a liquid jet recording head according to a second embodiment of the present invention.

【図14】液体噴射記録ヘッドのフェイス部分の断面図
である。
FIG. 14 is a sectional view of a face portion of the liquid jet recording head.

【図15】本発明の第4の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドについて説明するための分解斜視図である。
FIG. 15 is an exploded perspective view illustrating a liquid jet recording head according to a fourth embodiment of the invention.

【図16】図15に示されるオリフィスプレートが折り
曲げられる前の状態を示す斜視図である。
FIG. 16 is a perspective view showing a state before the orifice plate shown in FIG. 15 is bent.

【図17】図15に示されるオリフィスプレートが折り
曲げられた状態を示す斜視図である。
FIG. 17 is a perspective view showing a state where the orifice plate shown in FIG. 15 is bent.

【図18】図15に示される液体噴射記録ヘッドにおけ
る吐出口側の部分の断面図である。
18 is a cross-sectional view of a portion on the ejection port side in the liquid jet recording head shown in FIG.

【図19】オリフィスプレートの折曲部を拡大した図で
ある。
FIG. 19 is an enlarged view of a bent portion of an orifice plate.

【図20】オリフィスプレートの固定部をヘッド基体に
固定するための係合手段の一例を示す斜視図である。
FIG. 20 is a perspective view showing an example of an engaging means for fixing the fixing portion of the orifice plate to the head base.

【図21】本発明の第2の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドを構成するオリフィスプレートを背面から見た斜視図
である。
FIG. 21 is a perspective view of an orifice plate included in a liquid jet recording head according to a second embodiment of the present invention as viewed from the back.

【図22】本発明の第6の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドにおけるオリフィスプレートの折曲部を拡大した図で
ある。
FIG. 22 is an enlarged view of a bent portion of an orifice plate in a liquid jet recording head according to a sixth embodiment of the present invention.

【図23】本発明の第7の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドを構成するオリフィスプレートを背面から斜視図であ
る。
FIG. 23 is a rear perspective view of an orifice plate included in a liquid jet recording head according to a seventh embodiment of the present invention.

【図24】図23に示されるオリフィスプレートが折り
曲げられた状態を示す斜視図である。
24 is a perspective view showing a state where the orifice plate shown in FIG. 23 is bent.

【図25】本発明の第8の実施形態に係る液体噴射記録
ヘッドの製造方法について説明するための断面図であ
る。
FIG. 25 is a cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the liquid jet recording head according to the eighth embodiment of the present invention.

【図26】本発明の第8の実施形態に係る液体噴射記録
ヘッドの製造方法について説明するための断面図であ
る。
FIG. 26 is a cross-sectional view for explaining the method for manufacturing the liquid jet recording head according to the eighth embodiment of the present invention.

【図27】ヘッド基体に接着されたオリフィスプレート
を折り曲げる工程を順に示した図である。
FIG. 27 is a view sequentially illustrating a process of bending an orifice plate adhered to a head base.

【図28】従来の液体噴射記録ヘッドを部分的に断面に
して示した斜視図である。
FIG. 28 is a perspective view showing a conventional liquid jet recording head in a partially sectional view.

【図29】図28に示したオリフィスプレートにレーザ
ー加工で吐出口を形成する様子について説明するための
断面図である。
FIG. 29 is a cross-sectional view for describing a state in which discharge ports are formed in the orifice plate shown in FIG. 28 by laser processing.

【図30】液体噴射記録ヘッドを搭載した従来の液体噴
射記録装置の一例を示す外観斜視図である。
FIG. 30 is an external perspective view showing an example of a conventional liquid jet recording apparatus equipped with a liquid jet recording head.

【図31】図30に示した液体噴射記録装置におけるワ
イピング動作について説明するための模式図である。
FIG. 31 is a schematic diagram for explaining a wiping operation in the liquid jet recording apparatus shown in FIG. 30;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ヒータボード 1a 吐出ヒータ 1b、5b 前端面 2 ワイピングブレード 3、43a ベースプレート 4、44a、44b、64 ヘッド基体 5 天板 6、46 オリフィスプレート 6a、46a 吐出口 6b、46b フェイス面 6f、6g、46f 折り曲げ稜線 6h、46h 端部 6i、6j、46i、46j 固定部 6k フェイス部分 7 ノズル 8 共通液室 9 インク供給口 11、51a、51b、71 チップタンク 11a インク通路 11b、23、24、71b 前面プレート部 11c、11d、71c 前端部稜線 11e 接合面 12 押さえ板 13 キャップ部材 13a キャッピング領域 14 曲面部 15 液体噴射記録ヘッド 16 隙間 16a 封止材溜り 17a、17d 溝 17b 交差部 17c 側壁 18a、18b 凸部 19 封止材 20 折り曲げ方向 20a 応力 20b 派生力 21a、21b 傾斜面 22a、22b 曲面 25 組み込み方向 26 前面プレート専用部材 30 接着領域 31、32 縁部 33、34 切欠き 33b 段差面 35 配線基板 35a ワイヤーボンディング 46m 屈曲部 a、b 距離 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Heater board 1a Discharge heater 1b, 5b Front end surface 2 Wiping blade 3, 43a Base plate 4, 44a, 44b, 64 Head base 5 Top plate 6, 46 Orifice plate 6a, 46a Discharge port 6b, 46b Face surface 6f, 6g, 46f Bending ridge line 6h, 46h End 6i, 6j, 46i, 46j Fixed part 6k Face part 7 Nozzle 8 Common liquid chamber 9 Ink supply port 11, 51a, 51b, 71 Chip tank 11a Ink passage 11b, 23, 24, 71b Front plate Part 11c, 11d, 71c Front end ridge line 11e Joining surface 12 Pressing plate 13 Cap member 13a Capping area 14 Curved surface part 15 Liquid jet recording head 16 Gap 16a Sealant pool 17a, 17d Groove 17b Intersection 17c Side wall 18a, 18b Convex part 1 Sealing material 20 Bending direction 20a Stress 20b Derived force 21a, 21b Inclined surface 22a, 22b Curved surface 25 Incorporation direction 26 Front plate dedicated member 30 Adhesive region 31, 32 Edge 33, 34 Notch 33b Step surface 35 Wiring board 35a Wire bonding 46m bending part a, b distance

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 畑佐 延幸 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 但馬 裕基 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 小泉 寛 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF65 AF99 AG46 AG85 AP13 AP23 AP25 AP34 AP46 AP47 AP72 BA03 BA13  ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Nobuyuki Hatasa 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Inside Canon Inc. (72) Inventor Yuki Tajima 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon (72) Inventor Hiroshi Koizumi 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo F-term within Canon Inc. (reference) 2C057 AF65 AF99 AG46 AG85 AP13 AP23 AP25 AP34 AP46 AP47 AP72 BA03 BA13

Claims (26)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 液体に気泡を発生させるための熱エネル
ギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネルギ
ー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備えた
ヘッド基体と、 前記液流路とそれぞれ連通して一直線上に配列された複
数の吐出口が形成され、前記ヘッド基体に接合されたオ
リフィスプレートとを有する液体噴射記録ヘッドにおい
て、 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
られるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路
の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィスプレー
トの端部が接合されており、前記ヘッド基体の前記縁部
に、前記縁部に沿って延びる切欠きが形成されているこ
とを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
An energy generating means for generating thermal energy for generating air bubbles in a liquid; a head base having a plurality of liquid flow paths each including the energy generating means; A plurality of ejection ports arranged in a straight line in communication with each other, and having an orifice plate joined to the head base, wherein the orifice plate is formed of a plurality of liquid flow paths in the head base. While being bent along the edge of the end on the open end side, the end of the orifice plate is joined to a surface different from the front end surface on the open end side of the plurality of liquid flow paths of the head base, A liquid jet recording head, wherein a notch extending along the edge is formed in the edge of the head base.
【請求項2】 前記記録ヘッドの前記縁部の形状が段付
き形状となるように前記切欠きが前記縁部に形成されて
いる、請求項1に記載の液体噴射記録ヘッド。
2. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein the notch is formed in the edge so that the edge of the recording head has a stepped shape.
【請求項3】 液体に気泡を発生させるための熱エネル
ギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネルギ
ー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備えた
ヘッド基体と、 前記液流路とそれぞれ連通して一直線上に配列された複
数の吐出口が形成され、前記ヘッド基体に接合されたオ
リフィスプレートとを有する液体噴射記録ヘッドにおい
て、 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
られるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路
の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィスプレー
トの端部が接合されており、前記ヘッド基体の前記縁部
の表面が曲面になっていることを特徴とする液体噴射記
録ヘッド。
3. A head base having a plurality of liquid flow paths each of which is provided with energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid, and each of the liquid flow paths A plurality of ejection ports arranged in a straight line in communication with each other, and having an orifice plate joined to the head base, wherein the orifice plate is formed of a plurality of liquid flow paths in the head base. While being bent along the edge of the end on the open end side, the end of the orifice plate is joined to a surface different from the front end surface on the open end side of the plurality of liquid flow paths of the head base, A liquid jet recording head, wherein a surface of the edge of the head base is a curved surface.
【請求項4】 液体に気泡を発生させるための熱エネル
ギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネルギ
ー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備えた
ヘッド基体と、 前記液流路とそれぞれ連通して一直線上に配列された複
数の吐出口が形成され、前記ヘッド基体に接合されたオ
リフィスプレートとを有する液体噴射記録ヘッドにおい
て、 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
られるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路
の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィスプレー
トの端部が接合されており、前記ヘッド基体の前記縁部
が面取りされていることを特徴とする液体噴射記録ヘッ
ド。
4. A head base comprising: energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid; a plurality of liquid flow paths each including the energy generating means; A plurality of ejection ports arranged in a straight line in communication with each other, and having an orifice plate joined to the head base, wherein the orifice plate is formed of a plurality of liquid flow paths in the head base. While being bent along the edge of the end on the open end side, the end of the orifice plate is joined to a surface different from the front end surface on the open end side of the plurality of liquid flow paths of the head base, A liquid jet recording head, wherein the edge of the head base is chamfered.
【請求項5】 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基
体の前記前端面にも接着されており、前記ヘッド基体の
前記縁部の表面に前記オリフィスプレートが面で接して
いる、請求項3または4に記載の液体噴射記録ヘッド。
5. The orifice plate according to claim 3, wherein the orifice plate is also adhered to the front end face of the head base, and the orifice plate is in surface contact with the surface of the edge of the head base. Liquid jet recording head.
【請求項6】 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基
体の、前記前端面と異なる面にのみ接着されており、前
記ヘッド基体の前記縁部の表面に前記オリフィスプレー
トが面で接している、請求項3または4に記載の液体噴
射記録ヘッド。
6. The head plate according to claim 3, wherein the orifice plate is bonded only to a surface of the head base different from the front end surface, and the orifice plate is in surface contact with a surface of the edge of the head base. Or the liquid jet recording head according to 4.
【請求項7】 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基
体の前記前端面にも接着されており、前記オリフィスプ
レートの折り曲げ線と前記ヘッド基体の前記前端面の縁
とが所定の距離だけ離れている、請求項1〜6のいずれ
か1項に記載の液体噴射記録ヘッド。
7. The orifice plate is also adhered to the front end face of the head base, and a fold line of the orifice plate and an edge of the front end face of the head base are separated by a predetermined distance. Item 7. The liquid jet recording head according to any one of Items 1 to 6.
【請求項8】 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基
体の、前記前端面と異なる面にのみ接着されており、前
記オリフィスプレートの折り曲げ線と前記ヘッド基体の
前記前端面の縁とが所定の距離だけ離れている、請求項
1〜6のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘッド。
8. The orifice plate is adhered only to a surface of the head base different from the front end face, and a bend line of the orifice plate is separated from an edge of the front end face of the head base by a predetermined distance. The liquid jet recording head according to claim 1, wherein:
【請求項9】 液体に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネル
ギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備え
たヘッド基体と、 前記液流路とそれぞれ連通して一直線上に配列された複
数の吐出口が形成され、前記ヘッド基体に接合されたオ
リフィスプレートとを有する液体噴射記録ヘッドにおい
て、 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
られるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路
の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィスプレー
トの端部が接合されており、前記オリフィスプレートの
前記ヘッド基体側の面における前記縁部に対応する部分
の少なくと一部に、前記縁部と平行な方向に延びる溝が
形成されていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
9. A head base comprising: energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid; a plurality of liquid flow paths each including the energy generating means; A plurality of ejection ports arranged in a straight line in communication with each other, and having an orifice plate joined to the head base, wherein the orifice plate is formed of a plurality of liquid flow paths in the head base. While being bent along the edge of the end on the open end side, the end of the orifice plate is joined to a surface different from the front end surface on the open end side of the plurality of liquid flow paths of the head base, A groove extending in a direction parallel to the edge at least at a portion corresponding to the edge on a surface of the orifice plate facing the head base; Liquid jet recording head is characterized in that it is formed.
【請求項10】 液体に気泡を発生させるための熱エ
ネルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネ
ルギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備
えたヘッド基体と、 前記液流路とそれぞれ連通して一直線上に配列された複
数の吐出口、および前記吐出口の周囲に前記吐出口ごと
にそれぞれ独立して形成された複数の凸部を備え、該凸
部の少なくとも一部が前記液流路内に進入して嵌合する
ように前記ヘッド基体に接合されたオリフィスプレート
とを有する液体噴射記録ヘッドにおいて、 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
られるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路
の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィスプレー
トの端部が接合されており、前記オリフィスプレートの
前記ヘッド基体側の面における前記縁部に対応する部分
の少なくと一部に、前記縁部と平行な方向に延びる溝が
形成されていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
10. A head base comprising: energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid; a plurality of liquid flow paths each including the energy generating means; A plurality of discharge ports which are communicated and arranged on a straight line, and a plurality of protrusions formed independently for each of the discharge ports around the discharge ports, at least a part of the protrusions being the liquid An orifice plate joined to the head base so as to enter and fit into the flow path, wherein the orifice plate has an end on the opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base. The orifice plate is bent along the edge of the portion, and the end of the orifice plate is in contact with a surface of the head base that is different from the front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths. A liquid extending in a direction parallel to the edge at least in a portion corresponding to the edge on a surface of the orifice plate facing the head base. Jet recording head.
【請求項11】 前記オリフィスプレートの前記溝が複
数個に分割されて形成されている、請求項9または10
に記載の液体噴射記録ヘッド。
11. The orifice plate according to claim 9, wherein said groove of said orifice plate is divided into a plurality of parts.
3. The liquid jet recording head according to 1.
【請求項12】 前記オリフィスプレートの前記溝内の
側壁面が前記溝の底面に対して傾斜している、請求項9
〜11のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘッド。
12. The groove surface of the orifice plate in the groove is inclined with respect to the bottom surface of the groove.
12. The liquid jet recording head according to any one of items 11 to 11.
【請求項13】 前記オリフィスプレートの前記溝にお
ける長手方向に対して垂直な方向の断面形状が楔形であ
る、請求項9〜11のいずれか1項に記載の液体噴射記
録ヘッド。
13. The liquid jet recording head according to claim 9, wherein a cross-sectional shape of the groove of the orifice plate in a direction perpendicular to a longitudinal direction is a wedge shape.
【請求項14】 前記オリフィスプレートの前記溝が、
前記オリフィスプレートの両端部を除く位置に形成され
ている、請求項9〜11のいずれか1項に記載の液体噴
射記録ヘッド。
14. The groove of the orifice plate,
The liquid jet recording head according to claim 9, wherein the liquid jet recording head is formed at a position other than both ends of the orifice plate.
【請求項15】 前記オリフィスプレートが前記ヘッド
基体の前記前端面にも接着されて接合されている、請求
項9〜14のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘッ
ド。
15. The liquid jet recording head according to claim 9, wherein said orifice plate is also adhered and joined to said front end face of said head base.
【請求項16】 被記録媒体に向けて液体を吐出して該
被記録媒体に該液体を付着させることにより前記被記録
媒体に記録を行う液体噴射記録装置であって、 請求項1〜15のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘ
ッドと、 前記液体噴射記録ヘッドにおける前記吐出口が位置した
吐出口形成面の、前記吐出口を含む領域を密封するため
のキャップ部材とを有する液体噴射記録装置。
16. A liquid jet recording apparatus which performs recording on a recording medium by discharging a liquid toward the recording medium and causing the liquid to adhere to the recording medium, wherein: A liquid jet recording head comprising: a liquid jet recording head according to any one of the preceding claims; and a cap member for sealing a region including the discharge port on a discharge port forming surface of the liquid jet recording head where the discharge port is located. apparatus.
【請求項17】 被記録媒体に向けて液体を吐出して該
被記録媒体に該液体を付着させることにより前記被記録
媒体に記録を行う液体噴射記録装置であって、 請求項1〜15のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘ
ッドと、 前記液体噴射記録ヘッドにおける前記吐出口が位置した
吐出口形成面を拭いて該吐出口形成面をクリーニングす
るためのワイピングブレードとを有する液体噴射記録装
置。
17. A liquid jet recording apparatus which performs recording on a recording medium by discharging a liquid toward the recording medium and causing the liquid to adhere to the recording medium, wherein: A liquid jet recording head according to any one of claims 1 to 3, and a wiping blade for wiping a discharge port forming surface of the liquid jet recording head where the discharge port is located to clean the discharge port forming surface. apparatus.
【請求項18】 液体に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネル
ギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備え
たヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連通して一直線
上に配列された複数の吐出口が形成され、前記ヘッド基
体に接合されたオリフィスプレートとを有する液体噴射
記録ヘッドの製造方法であって、 前記ヘッド基体における前記複数の液流路の開口端側の
端部の縁部に、該縁部に沿って延びる切欠きが形成され
た前記ヘッド基体、および前記オリフィスプレートを準
備する工程と、 前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対して前記オリフ
ィスプレートの前記複数の吐出口を位置合わせして前記
オリフィスプレートにおける前記吐出口の周囲の部分を
固定する工程と、 前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記縁部に
沿って折り曲げる工程と、 前記オリフィスプレートの端部を前記ヘッド基体の、前
記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に接合す
る工程とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法。
18. An energy generating means for generating thermal energy for generating air bubbles in a liquid, a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and each of the liquid flow paths A method of manufacturing a liquid jet recording head, comprising: a plurality of ejection ports arranged in a line in communication with each other; and an orifice plate joined to the head base, wherein the plurality of liquid flow paths in the head base are provided. A step of preparing the head base and the orifice plate in which a notch extending along the edge is formed at an edge of an end on the opening end side of the head base; Positioning the plurality of outlets of the orifice plate with respect to the orifice plate to fix a portion of the orifice plate around the outlets; Bending a orifice plate along the edge of the head base; and bonding an end of the orifice plate to a surface of the head base, which is different from a front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths. A method for manufacturing a liquid jet recording head having:
【請求項19】 液体に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネル
ギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備え
たヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連通して一直線
上に配列された複数の吐出口が形成され、前記ヘッド基
体に接合されたオリフィスプレートとを有する液体噴射
記録ヘッドの製造方法であって、 前記ヘッド基体の、前記複数の液流路の開口端側の端部
における縁部の表面が曲面となった前記ヘッド基体、お
よび前記オリフィスプレートを準備する工程と、 前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対して前記オリフ
ィスプレートの前記複数の吐出口を位置合わせして前記
オリフィスプレートにおける前記吐出口の周囲の部分を
固定する工程と、 前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記縁部に
沿って折り曲げる工程と、 前記オリフィスプレートの端部を前記ヘッド基体の、前
記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に接合す
る工程とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法。
19. A head base comprising: energy generating means for generating thermal energy for generating bubbles in a liquid; a plurality of liquid flow paths each including the energy generating means; A method of manufacturing a liquid jet recording head, comprising: a plurality of discharge ports arranged in a line in communication with each other; and an orifice plate joined to the head base, wherein the plurality of liquid flows of the head base are provided. A step of preparing the head base and the orifice plate having a curved surface at an end of the path on the open end side; and a step of preparing the orifice plate for the plurality of liquid flow paths of the head base. Positioning a plurality of outlets to fix a portion of the orifice plate around the outlets; A liquid having a step of bending along the edge of the head base, and a step of joining an end of the orifice plate to a surface of the head base different from a front end surface of the plurality of liquid flow paths on the opening end side. A method for manufacturing an ejection recording head.
【請求項20】 液体に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネル
ギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備え
たヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連通して一直線
上に配列された複数の吐出口が形成され、前記ヘッド基
体に接合されたオリフィスプレートとを有する液体噴射
記録ヘッドの製造方法であって、 前記ヘッド基体における前記複数の液流路の開口端側の
端部の縁部が面取りされた前記ヘッド基体、および前記
オリフィスプレートを準備する工程と、 前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対して前記オリフ
ィスプレートの前記複数の吐出口を位置合わせして前記
オリフィスプレートにおける前記吐出口の周囲の部分を
固定する工程と、 前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記縁部に
沿って折り曲げる工程と、 前記オリフィスプレートの端部を前記ヘッド基体の、前
記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に接合す
る工程とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法。
20. An energy generating means for generating thermal energy for generating air bubbles in a liquid, a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and each of the liquid flow paths A method for manufacturing a liquid jet recording head, comprising: a plurality of discharge ports arranged in a line in communication with each other; and an orifice plate joined to the head base, wherein the plurality of liquid flow paths in the head base are provided. Preparing the head base and the orifice plate, the edges of which are chamfered at the open end side; and the plurality of discharge ports of the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head base. Positioning the portion of the orifice plate around the discharge port, and fixing the orifice plate to the head. Liquid jet recording comprising: a step of bending along the edge of the base; and a step of joining an end of the orifice plate to a surface of the head base different from a front end surface of the plurality of liquid flow paths on the opening end side. Head manufacturing method.
【請求項21】 液体に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネル
ギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備え
たヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連通して一直線
上に配列された複数の吐出口が形成され、前記ヘッド基
体に接合されたオリフィスプレートとを有し、 前記オリフィスプレートが前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
られるとともに、前記ヘッド基体の、前記複数の液流路
の開口端側の前端面と異なる面に前記オリフィスプレー
トの端部が接合された液体噴射記録ヘッドの製造方法で
あって、 前記オリフィスプレートの前記ヘッド基体側の面におけ
る前記縁部に対応する部分の少なくと一部に、前記オリ
フィスプレートを前記ヘッド基体に接合した際に前記ヘ
ッド基体の前記縁部と平行な方向に延びるような溝を形
成する工程と、前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対
して前記オリフィスプレートの前記複数の吐出口を位置
合わせして前記オリフィスプレートにおける前記吐出口
の周囲の部分を固定する工程と、 前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の前記縁部に
沿って折り曲げる工程と、 前記オリフィスプレートの端部を前記ヘッド基体の、前
記複数の液流路の開口端側の前端面と異なる面に接合す
る工程とを有する液体噴射記録ヘッドの製造方法。
21. An energy generating means for generating thermal energy for generating air bubbles in a liquid, a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively disposed, and each of the liquid flow paths A plurality of discharge ports arranged in a straight line in communication with each other, and having an orifice plate joined to the head base, wherein the orifice plate is provided at an opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base. Manufacturing a liquid jet recording head in which the end of the orifice plate is joined to a surface of the head base that is different from the front end surface on the opening end side of the plurality of liquid flow paths while being bent along the edge of the end portion The method, wherein the orifice plate is provided on at least a part of a portion corresponding to the edge portion on a surface of the orifice plate facing the head substrate. Forming a groove extending in a direction parallel to the edge of the head base when joined to the head base; and forming the plurality of orifice plates on the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head base. Aligning a discharge port to fix a portion of the orifice plate around the discharge port, bending the orifice plate along the edge of the head base, and cutting an end of the orifice plate. Bonding the head substrate to a surface different from the front end surfaces of the plurality of liquid flow paths on the opening end side.
【請求項22】 前記ヘッド基体の前記複数の液流路
に対して前記オリフィスプレートの前記複数の吐出口を
位置合わせする工程で、前記オリフィスプレートにおけ
る前記吐出口の周囲に前記吐出口ごとにそれぞれ独立し
て形成された複数の凸部の少なくとも一部を前記液流路
内に進入させて前記液流路に嵌合させる、請求項21に
記載の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
22. A step of aligning the plurality of discharge ports of the orifice plate with the plurality of liquid flow paths of the head base, wherein each of the discharge ports is provided around the discharge port of the orifice plate. 22. The method of manufacturing a liquid jet recording head according to claim 21, wherein at least a part of the plurality of independently formed protrusions is inserted into the liquid flow path and fitted into the liquid flow path.
【請求項23】 前記オリフィスプレートに前記溝を形
成する工程が、前記複数の吐出口を形成するための穴加
工、および前記複数の凸部を形成するための掘り込み加
工と同時に、前記溝を形成するための掘り込み加工によ
り行われる、請求項21に記載の液体噴射記録ヘッドの
製造方法。
23. The step of forming the groove in the orifice plate includes forming the groove at the same time as forming a hole for forming the plurality of discharge ports and digging for forming the plurality of protrusions. 22. The method of manufacturing a liquid jet recording head according to claim 21, wherein the method is performed by digging for forming.
【請求項24】 前記複数の吐出口、前記複数の凸部、
および前記溝を、エキシマレーザーを用いた加工により
形成する、請求項23に記載の液体噴射記録ヘッドの製
造方法。
24. The plurality of discharge ports, the plurality of projections,
24. The method for manufacturing a liquid jet recording head according to claim 23, wherein the grooves are formed by processing using an excimer laser.
【請求項25】 前記オリフィスプレートを前記ヘッド
基体の前記縁部に沿って折り曲げる工程の前に、前記オ
リフィスプレートを前記ヘッド基体の、前記複数の液流
路の開口端側の前端面に接合する工程を有する、請求項
18〜24のいずれか1項に記載の液体噴射記録ヘッド
の製造方法。
25. Before the step of bending the orifice plate along the edge of the head base, the orifice plate is joined to the front end face of the head base on the opening end side of the plurality of liquid flow paths. The method for manufacturing a liquid jet recording head according to any one of claims 18 to 24, comprising a step.
【請求項26】 液体に気泡を発生させるための熱エネ
ルギーを発生するエネルギー発生手段、および該エネル
ギー発生手段がそれぞれ配置された複数の液流路を備え
たヘッド基体と、前記液流路とそれぞれ連通して一直線
上に配列された複数の吐出口が形成され、前記ヘッド基
体に接合されたオリフィスプレートとを有する液体噴射
記録ヘッドの製造方法であって、 前記ヘッド基体および前記オリフィスプレートを準備す
る工程と、 前記ヘッド基体の前記複数の液流路に対して前記オリフ
ィスプレートの前記複数の吐出口を位置合わせする工程
と、 前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体の、前記複数
の液流路の開口端側の前端面に接合する工程と、 前記オリフィスプレートを前記ヘッド基体における前記
複数の液流路の開口端側の端部の縁部に沿って折り曲げ
る工程と、 前記オリフィスプレートの端部を前記ヘッド基体の、前
記前端面と異なる面に接合する工程とを有する液体噴射
記録ヘッドの製造方法。
26. An energy generating means for generating thermal energy for generating air bubbles in a liquid, a head base having a plurality of liquid flow paths in which the energy generating means are respectively arranged, A method for manufacturing a liquid jet recording head, comprising: a plurality of ejection ports arranged in a straight line in communication with each other; and an orifice plate joined to the head base, wherein the head base and the orifice plate are prepared. Positioning the plurality of discharge ports of the orifice plate with respect to the plurality of liquid flow paths of the head base; and opening the orifice plate to the plurality of liquid flow paths of the head base. Joining the orifice plate to the opening end side of the plurality of liquid flow paths in the head base. Of a step of folding along the edge, the orifice plate of the end portion and the head substrate, method of manufacturing a liquid jet recording head and a step of bonding the front surface and the different surfaces.
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