JP2003023027A - 立体ワイヤボンディング配線構造及び光モジュール - Google Patents

立体ワイヤボンディング配線構造及び光モジュール

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straight line
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Tetsuo Watanabe
哲夫 渡▲辺▼
Naoki Yamamoto
直樹 山本
Akitoshi Mesaki
明年 目崎
Sadayuki Miyata
定之 宮田
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Fujitsu Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ワイヤ同士の接触及びワイヤの断線を防止す
ることの出来る立体ワイヤボンディング配線構造を提供
することである。 【解決手段】 立体ワイヤボンディング配線構造であっ
て、第1平面上に配置された第1電極と、第1電極に対
して所定高さ上昇され、且つ所定角度傾いて配置された
第2電極と、第1ボンディングにより第2電極に接続さ
れた第1部分と、第2ボンディングにより第1電極に接
続された第2部分を有するワイヤを含んでいる。ワイヤ
の第1部分と第2部分の間には所定角度のループが形成
されている。第1電極と第2電極の水平方向の距離が、
第1の関係式を満たすように第1電極と第2電極を配置
し、ワイヤの第2部分の長さが第2の関係式を満たすよ
うにバックベンド後のワイヤの引出量を設定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、立体ワイヤボンデ
ィング配線構造及び光モジュールに関する。
【0002】近年の情報通信分野においては、情報量の
増大に伴い大量の情報を高速で伝送する必要が生じてお
り、現在光加入者系を初めとした高速・大容量な光通信
網の普及が進められている。光加入者系を普及させるた
めには、光モジュールの低価格化が不可避の課題とな
る。
【0003】光モジュールの価格は、部材費、組み立て
費、試験及び調整費からなり、特に組み立て費と調整費
が大きな部分を占めている。組み立て費低減の手段とし
て、近年レセプタクル型光モジュールが脚光を浴びてい
る。
【0004】
【従来の技術】従来から一般に使用されている光デバイ
スは、光ファイバが光デバイスの先端に取り付けられて
いるピグテール型が主流である。しかし、光モジュール
の小型化・低コスト化を図る場合、ピグテールファイバ
の存在が大きなネックとなる。
【0005】例えば、通信装置内に光モジュールを実装
する場合、必ず光ファイバのフォーミング作業が必要と
なる。また、光モジュールを搬送する際、運搬ケースに
光モジュールを収納するだけでも取り扱い作業とかなり
の工数を要する。さらに、光モジュールの組立の自動化
を図る場合、ピグテールファイバの存在が全自動化を阻
むネックとなっている。
【0006】また、光モジュールを表面実装型部品又は
スルーホール実装型部品と同様に半田付け工程でプリン
ト配線板上に実装するには、所謂ピグテール型と呼ばれ
る光ファイバコード付き光モジュールは不向きである。
【0007】通常、光ファイバコードはナイロン製被覆
を有しており、このナイロン製被覆は耐熱性が80℃程
度しかないため半田付け工程で溶けてしまう。また、光
ファイバコード自体が製造現場において収容や取扱の不
具合をもたらし、プリント配線板への実装効率を著しく
低下させることになる。
【0008】このため、光モジュールの半田付け工程を
可能として製造コストの低減を図るには、光ファイバコ
ードを含まない所謂レセプタクル型光モジュールの提供
が不可欠となっている。
【0009】レセプタクル型光モジュールは光モジュー
ルにコネクタ部を設け、熱に弱い被覆付き光ファイバコ
ードを着脱可能にしたものである。レセプタクル型光モ
ジュールでは、高温の半田リフロー工程の適用が可能と
なり、光モジュールを表面実装型の電子部品と同時にプ
リント配線板に搭載することが可能となる。
【0010】レセプタクル型光モジュールを高信頼で効
率良く小型化する方法として、光モジュールを樹脂モー
ルドパッケージで封止する方法が提案されている。従来
の樹脂モールドで封止された光モジュールには、ワイヤ
ボンディング工程、樹脂モールド工程に以下に示すよう
な問題点がある。
【0011】
【発明が解決しようとする課題】ワイヤボンディングに
よって半導体素子等の接続を行う際に、接続すべき電極
同士が立体配置となる場合、ワイヤーループ形状の不安
定及びワイヤ強度の低下等が発生し、以降の製造工程、
特に樹脂モールド工程においてワイヤ切れ、ワイヤ同士
の接触が発生する危険がある。
【0012】従来の樹脂モールドで封止した光モジュー
ルでは、光素子を樹脂にて封止したパッケージから、中
心に光ファイバを有するジルコニアキャピラリをパッケ
ージ外に露出させて光インターフェースを取る構造とな
っている。
【0013】樹脂パッケージを一括モールド成形する場
合、従来のモールド成形方法では、ジルコニアキャピラ
リの外周部とパッケージ成形金型との隙間から樹脂がは
み出し、発生したバリがキャピラリの外周部に付着す
る。
【0014】ジルコニアキャピラリを光コネクタの割り
スリーブに挿入し、外部光ファイバと接続する際に、キ
ャピラリ外周部のバリがキャピラリと割りスリーブの間
に入りこみ、接続損失が過大となるという問題がある。
【0015】よって本発明の目的は、樹脂モールド工程
におけるワイヤの切断及びワイヤ同士の接触を防止可能
な立体ワイヤボンディング配線構造を提供することであ
る。
【0016】本発明の他の目的は、樹脂モールド成形時
のバリに基づく不具合を防止可能な光モジュールを提供
することである。
【0017】
【課題を解決するための手段】本発明の一つの側面によ
ると、立体ワイヤボンディング配線構造であって、第1
平面上に配置された第1電極と、前記第1電極に対して
所定高さH1上昇され且つ所定角度θ1傾いて配置され
た第2電極と、第1ボンディングにより前記第2電極に
接続された第1部分と、第2ボンディングにより前記第
1電極に接続された第2部分とを有し、前記第1部分と
前記第2部分の間に角度θ2のループを形成する第1ワ
イヤとを具備し、前記第1部分の第1ワイヤの長さをL
1、前記第1ワイヤを前記第2電極に対して垂直に長さ
L1引き出した後前記ループ角度θ2を形成するのに必
要な所定距離平行移動した第1位置での前記第1部分と
前記第2電極の垂線のなす角度をθb1、前記第2部分
を前記第1電極に第2ボンディングしたときの前記第1
部分と前記第1位置での該第1部分とがなす角度をθb
2としたとき、前記第1電極と前記第2電極の水平方向
の距離L3は、L3>H1−L1[1/{sin(θb
2−θb1+90°)・tan(270°−θ2−θb
2+θb1)}+cos(θb2−θb1+90°)]
の関係を満たし、前記第2部分の長さL2は、L2=H
1/sin(270°−θ2−θb2+θb1)の関係
を満たすことを特徴とする立体ワイヤボンディング配線
構造が提供される。
【0018】上述した第1の式の関係を満たすことによ
り、ワイヤーループ作成のためのバックベンドに起因す
る第1ボンディングされた第1ワイヤのネック部へのス
トレスを規定量より少なくすることが可能となる。
【0019】第2の式の関係を満たすことにより、第2
ボンディング時にボンディングツールを第1電極に垂直
に下ろすことでボンディングが可能となる。これによ
り、ループの安定化、ワイヤ強度の確保を実現できる。
【0020】本発明の他の側面によると、立体ワイヤー
ボンディング配線構造は、第2平面上に配置された第3
電極と、前記第2電極と同一面内で該第2電極に隣接し
て配置された第4電極と、第3ボンディングにより前記
第4電極に接続された第3部分と、第4ボンディングに
より前記第3電極に接続された第4部分とを有し、前記
第3部分と前記第4部分の間に所定角度のループを形成
する第2ワイヤとを更に具備している。
【0021】そして、前記第1ワイヤの第1ボンディン
グ位置と第2ボンディング位置を結ぶ直線と第1ボンデ
ィング位置と第1ワイヤのループ頂点を結ぶ直線との成
す角をθA1、前記第1ワイヤの第1ボンディング位置
と第2ボンディング位置を結ぶ直線と前記第2電極と第
4電極を結ぶ直線との成す角をθA2、前記第2ワイヤ
の第3ボンディング位置と第4ボンディング位置を結ぶ
直線と第3ボンディング位置と該第2ワイヤのループ頂
点を結ぶ直線との成す角をθB1、前記第2ワイヤの第
3ボンディング位置と第4ボンディング位置を結ぶ直線
と前記第2電極と第4電極を結ぶ直線との成す角をθB
2、第1ボンディング位置と第3ボンディング位置との
間隔をW1とするとき、θB2<θB1+tan-1[L
1/cos(θA1+θA2)/{W1−L1・sin
(θA1+θA2)}]の関係を満たす位置に前記第
1、第2、第3、第4電極が配置されている。
【0022】上述した第3の式の関係を満たすように、
第1、第2、第3、第4電極を配置し、第1及び第2ワ
イヤのループを形成することにより、第1及び第2ワイ
ヤがそれぞれ後工程で最も接近する状態に変形(ワイヤ
倒れ)した場合においても、第1及び第2ワイヤの接近
する量が制約され、接触を防止することが可能となる。
【0023】本発明のさらに他の側面によると、複数の
リードを有するリードフレームと;前記リードフレーム
上に搭載された電子部品と;ボアを有する金属部材と、
貫通穴と第1端部と第2端部と中間部分を有し、該中間
部分が前記金属部材のボア内に挿入固定されたセラミッ
クキャピラリと、前記貫通穴中に挿入固定された光ファ
イバとを含み、前記金属部材が前記リードフレームに搭
載固定されたフェルールアセンブリと;前記セラミック
キャピラリの前記第1端部の端面上に搭載固定された光
素子と;前記光素子と前記電子部品を接続するワイヤ
と;前記リードの一部、前記セラミックキャピラリの第
2端部及び前記金属部材の一部を除き、前記リードフレ
ーム、前記電子部品、前記光素子、前記ワイヤ及び前記
フェルールアセンブリを包囲する樹脂モールドパッケー
ジと、を具備したことを特徴とする光モジュールが提供
される。
【0024】好ましくは、金属部材は円筒部を有してお
り、樹脂モールドパッケージはこの円筒部でフェルール
アセンブリをシールする。好ましくは、光素子は受光素
子であり、電子部品はプリアンプ集積回路から構成され
る。
【0025】
【発明の実施の形態】図1を参照すると、リードフレー
ム搭載時の本発明実施形態のフォトダイオード(PD)
モジュールの平面図が示されている。図2(A)は図1
の正面図であり、図2(B)は右側面図、図2(C)は
左側面図をそれぞれ示している。
【0026】図3(A)は樹脂モールドパッケージによ
り封止されたPDモジュールの完成体平面図であり、図
3(B)はその平面図、図4(A)は右側面図、図4
(B)は左側面図をそれぞれ示している。
【0027】主に、図1及び図2(A)を参照すると、
リードフレーム10上にはフェルールアセンブリ12が
搭載されている。フェルールアセンブリ12は円筒部分
14aと直方体部分14bを有する金属部材14と、金
属部材14のボア中に挿入されたジルコニアキャピラリ
16とを含んでいる。
【0028】ジルコニアキャピラリ16はその両端部が
金属部材14から突出するように金属部材14のボア中
に固定されている。キャピラリ16は他のセラミックか
ら形成することも可能である。
【0029】ジルコニアキャピラリ16の貫通穴中には
光ファイバ18が挿入固定されている。ジルコニアキャ
ピラリ16は垂直方向から約20度傾斜した傾斜端面1
6aを有しており、この傾斜端面16aにキャピラリ1
6内部の光ファイバ18に光結合するようにフォトダイ
オード(PD)が実装されている。
【0030】図7に最も良く示されているように、PD
20は信号電極(出力電極)22と、電源電極24を有
している。リードフレーム10上にはPD20の信号を
増幅するプリアンプIC26と、ガラスから形成された
中継ブロック28と、電源ノイズを除去するためのコン
デンサ34,44が搭載されている。
【0031】中継ブロック28には電極30が搭載され
ており、PD20の信号電極22と中継ブロック28上
の電極30はワイヤ32によりボンディング接続されて
いる。
【0032】コンデンサ34はその上面全体に渡り電極
36を有している。コンデンサ34はその裏面にも図示
しない電極を有している。PD20の電源電極24とコ
ンデンサ34の電極36はワイヤ38でボンディング接
続されている。
【0033】コンデンサ34の電極36とPD20にか
けるバイアス電圧供給用端子40は一対のワイヤ42に
よりボンディング接続されている。中継ブロック28の
電極30とプリアンプIC26とはワイヤ33によりボ
ンディング接続されている。
【0034】コンデンサ44の上面にも電極46が形成
されている。プリアンプIC26とコンデンサ44の電
極46とは一対のワイヤ48でボンディング接続されて
いる。さらに、コンデンサ44の電極46は一対のワイ
ヤ52を介して電源端子50にボンディング接続されて
いる。
【0035】一方、プリアンプIC26はワイヤ58,
60により出力端子54,56にそれぞれボンディング
接続されている。PDモジュールは樹脂モールドパッケ
ージ62により密封されている。上述した各ワイヤは例
えば金ワイヤから形成されている。
【0036】図1に示す状態で樹脂モールド成形したあ
と、各端子をリードフレームから切断し、さらに各端子
を所望形状に折り曲げることにより、図3(A)〜図4
(B)に示すPDモジュールが完成する。
【0037】図5を参照すると、図3(A)に円Dで囲
んだ部分の樹脂モールド時の断面図が示されている。図
6は図5の6−6線断面図である。
【0038】フェルールアセンブリ12の金属部材14
は例えばステンレス鋼から形成されており、金属部材1
4の円筒部14aはジルコニアキャピラリ16と中心軸
が同一となっている。
【0039】本実施形態の光モジュールでは、一括樹脂
モールドにてパッケージ化する際にモールド金型66,
68とフェルールアセンブリ12との接触は、金属部材
14の円筒部14aにて行い、ジルコニアキャピラリ1
6は金型66,68に接触しない構造とする。
【0040】これにより、モールド樹脂がジルコニアキ
ャピラリ16に付着することが防止され、ジルコニアキ
ャピラリ16が光コネクタの割りスリーブ内にスムーズ
に挿入され、大きな接続損失を起こすことなく外部光フ
ァイバと接続可能である。図6において、符号70はモ
ールド成形金型66,68のパーティングラインを示し
ており、62は樹脂モールドパッケージである。
【0041】次に、図9〜図11を参照して、本発明の
立体ワイヤボンディング配線構造の原理について説明す
る。角度を持つ異なる面に配置された2つの電極間をワ
イヤボンディングで接続する際、バックベンドで成形で
きるループの角度に対して、2つの電極の挟む角度が小
さい場合においては、バックベンドによるループ形状形
成から第2ボンディングまでの間に、ボンディングツー
ルの平面方向の動きを極力なくすことが、ループ形状を
安定化させるために有効である。
【0042】また、バックベンドによるループの成形に
おいては、第1ボンディングされたワイヤのネック部
(ボンディング点の近傍のワイヤ)にストレスを与え、
ワイヤ強度を低下させる原因となる。
【0043】ネック部の強度を確保するためには、ワイ
ヤの種類(材料、ワイヤ径、硬さ)毎に成形できるルー
プの最小角度、第1ボンディング位置からループ頂点ま
での許容されるワイヤの最小長さ、第2ボンディング時
に第1ボンディング部のワイヤーネック部に係るストレ
スを制約し、ボンディングすることが有効である。
【0044】第1平面72上に第1電極74が搭載され
ており、第1平面72からθ1傾斜した傾斜面76上の
第1電極74から所定高さH1上昇された位置に第2電
極78が設けられている。
【0045】水平面72及び傾斜面76を画成する部材
は図示しないステージ上に搭載されており、このステー
ジはX,Y及びZ軸方向に移動できるとともに、Y軸回
りに回転できる構造となっている。ボンディングツール
84の先端からは例えば金から形成されたワイヤ80が
供給される。ボンディングツール84はX,Y及びZ軸
方向に移動可能である。
【0046】まず、ボンディングツール84によりワイ
ヤ80を第2電極78に第1ボンディングする。次い
で、ボンディングツール84が第2電極78に対して垂
直方向にL1移動してワイヤ80を長さL1引き出した
あと、ループ角度θ2を形成するのに必要な距離平行移
動する。このときのボンディングツール84の位置を第
1位置とし、図9でAで示されている。
【0047】Aで示された第1位置からボンディングツ
ール84がBで示された位置まで第2電極78に対して
垂直に移動すると、ワイヤ80がL2引き出され、バッ
クベンドによりループ角θ2が形成される。即ち、バッ
クベンドはボンディングツールのボンディング面に対す
る平行移動とその後の垂直移動により形成される。
【0048】このバックベンド動作により、ワイヤ80
にその端部が第2電極78にボンディングされた第1部
分80aと、その端部が第1電極74にボンディングさ
れる第2部分80bと、第1部分80aと第2部分80
bとの間に角度θ2のループが形成される。
【0049】ボンディングツール84が第1位置Aでの
ワイヤ80の第1部分80aと第2電極78の垂線との
成す角をθb1とする。
【0050】次に図10を参照すると、ボンディングツ
ール84がBの位置から図示しないステージをY軸回り
に所定角度回転すると、ボンディングツール84が第1
電極74の上方のC位置に移動する。この状態からボン
ディングツール84をDに示す位置まで第1電極74に
対して垂直に下ろし、ワイヤ80を第1電極74に第2
ボンディングする。
【0051】符号82が第1ボンディング点を示し、8
6が第2ボンディング点を示している。ワイヤ80の第
2部分80bを第1電極74に第2ボンディングしたと
きの第1部分80aと、上述した第1位置での第1部分
80aが成す角度をθb2とする。
【0052】このような条件下で第1電極74と第2電
極78の水平方向の距離L3が、以下の式(1)を満た
すようにする。
【0053】 L3>H1−L1[1/{sin(θb2−θb1+90°)・tan(27 0°−θ2−θb2+θb1)}+cos(θb2−θb1+90°)]・・・ (1) また、バックベンド後のワイヤ80の引出量、即ち第2
部分80bの長さL2が以下の式(2)を満たすように
する。
【0054】 L2=H1/sin(270°−θ2−θb2+θb1)・・・(2) 式(1)の条件より、ワイヤーループ形成のためのバッ
クベンドによる第1ボンディング点近傍のワイヤのネッ
ク部へのストレスを規定量よりも少なくすることが可能
となる。また、式(2)の条件により、第2ボンディン
グ時にボンディングツールを第1電極に垂直に下ろすこ
とでボンディングすることが可能となる。
【0055】よって、式(1)及び式(2)を満たす条
件下でワイヤボンディングを行うことにより、ループの
安定化及びワイヤ強度の確保を実現可能な立体ワイヤボ
ンディング配線構造を提供できる。
【0056】次に、図11を参照して、2本のワイヤに
それぞれ形成したループの接触回避について説明する。
【0057】90は半導体素子、光素子等のチップであ
り、第2電極78と、第4電極92を有している。第1
電極74と第2電極78は上述したワイヤ80によりボ
ンディング接続されている。
【0058】第3電極94は第2平面上に配置されてお
り、第2及び第4電極78,92は図10の傾斜面76
上で第1電極74から高さH1上昇された位置に設けら
れている。
【0059】第3電極94と第4電極92はワイヤ96
でボンディング接続されている。ワイヤ96は第3ボン
ディングにより第4電極92に接続された第3部分96
aと、第4ボンディングにより第3電極94に接続され
た第4部分96bを有しており、第3部分96aと第4
部分96bの間に所定角度のループを形成している。
【0060】ワイヤ80の第1ボンディング位置82と
第2ボンディング位置86を結ぶ直線と第1ボンディン
グ位置82とワイヤ80のループ頂点80cを結ぶ直線
との成す角度をθA1とし、ワイヤ80の第1ボンディ
ング位置82と第2ボンディング位置86を結ぶ直線と
第2電極78と第4電極92を結ぶ直線との成す角をθ
A2とする。
【0061】また、ワイヤ96の第3ボンディング位置
98と第4ボンディング位置99を結ぶ直線と第3ボン
ディング位置98とワイヤ96のループ頂点96cを結
ぶ直線との成す角をθB1とし、ワイヤ96の第3ボン
ディング位置98と第4ボンディング位置99を結ぶ直
線と第2電極78と第4電極92を結ぶ直線との成す角
をθB2とする。
【0062】さらに、第1ボンディング位置82と第3
ボンディング位置98の間隔をW1とする。また、ワイ
ヤー80の第1ボンディング位置82と第2ボンディン
グ位置86を結ぶ直線とワイヤー96の第3ボンディン
グ位置98と第4ボンディング位置99とを結ぶ直線と
の成す角をθ0とする。
【0063】このような条件下で、以下の式(3)を満
たすように、第1電極74、第2電極78、第3電極9
4、第4電極92を配置し、ワイヤ80及び96の各ル
ープを形成する。
【0064】 θB2<θB1+tan-1[L1/cos(θA1+θA2)/{W1−L1 ・sin(θA1+θA2)}]・・・(3) 式(3)を満足する位置に各電極を配置し、各ワイヤ8
0,96のワイヤーループを形成することにより、ワイ
ヤ80,96がそれぞれ後工程にて最も接近する状態に
変形(ワイヤの倒れ)した場合においても、それぞれの
ワイヤの接近する量が制約され、ワイヤ80,96の接
触を防止することができる。
【0065】次に、上述した立体ワイヤボンディング配
線構造の原理を本発明実施形態の光モジュールに適用し
た例について図12〜図14を参照して説明する。図1
2は図7を所定角度回転した平面図であり、図13は図
12の13−13線断面図である。図14は図7の拡大
平面図である。
【0066】本実施形態の光モジュールでは、中継ブロ
ック28の電極30が第1電極74に対応し、PD20
の信号電極22が第2電極78に対応し、電源電極24
が第4電極92に対応し、コンデンサ34の電極36が
第3電極94に対応する。図13のL1,L2,L3,
θ1,θ2,θb2は図10の各寸法に対応する。
【0067】図14を参照すると、ワイヤ32は第1ボ
ンディング位置22aで信号電極22にボンディングさ
れ、第2ボンディング位置30aで中継ブロック28の
電極30にボンディングされている。
【0068】ワイヤ38は第3ボンディング位置24a
でチップ20の電源電極24にボンディングされ、第4
ボンディング位置36aでコンデンサ34の電極36に
ボンディングされている。図14のL1,W1,θ0,
θA1,θA2,θB1,θB2は図11の各寸法に対
応する。
【0069】よって、本実施形態のPDモジュールにお
いても、上述した式(1)、(2)及び(3)の関係を
満たすように、各電極22,24,30,36を配置
し、ワイヤ32,38の各ループを形成するようにワイ
ヤ32を電極22,30にボンディングし、ワイヤ38
を電極24,36にボンディングすれば、ワイヤールー
プの形状が安定化することにより、PDモジュールの樹
脂モールド工程においてワイヤ32,38が接触するこ
とが防止され、過度なストレスによりワイヤ32,38
が切断することが防止される。
【0070】
【発明の効果】本発明の立体ワイヤボンディング配線構
造によると、ワイヤーループ形状を安定化することが可
能であり、その結果後工程の樹脂モールド工程等におい
てワイヤ同士の接触及びワイヤの切断が発生することが
防止される。
【0071】さらに、本発明の光モジュールは樹脂モー
ルドパッケージをフェルールアセンブリの金属部材部分
に接触させるようにしたことにより、モールド成形時の
バリがセラミック製キャピラリに付着することはなく、
光コネクタによる接続損失を低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】リードフレーム搭載時のPDモジュール平面図
である。
【図2】図2(A)は図1の正面図、図2(B)は図1
の右側面図、図2(C)は図1の左側面図である。
【図3】図3(A)はPDモジュール平面図、図3
(B)はPDモジュール正面図である。
【図4】図4(A)は図3(A)の右側面図、図4
(B)は図3(A)の左側面図である。
【図5】図3(A)の円Dで囲まれた部分の樹脂モール
ド時の断面図である。
【図6】図5の6−6線断面図である。
【図7】図1の円Cで囲まれた部分の平面図である。
【図8】図7の正面図である。
【図9】立体ワイヤボンディング配線の原理説明図であ
る。
【図10】立体ワイヤボンディング配線の原理説明図で
ある。
【図11】立体ワイヤボンディング配線の原理説明図で
ある。
【図12】図7を所定角度回転した平面図である。
【図13】図12の13−13線断面図である。
【図14】図7の拡大平面図である。
【符号の説明】
10 リードフレーム 12 フェルールアセンブリ 14 金属部材 14a 円筒部 16 ジルコニアキャピラリ 20 フォトダイオード 26 プリアンプIC 28 中継ブロック 34,44 コンデンサ 40 バイアス電圧供給用端子 50 電源端子 54,56 出力端子 74 第1電極 78 第2電極 80,96 ワイヤ 84 ボンディングツール 92 第4電極 94 第3電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 目崎 明年 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 (72)発明者 宮田 定之 神奈川県川崎市中原区上小田中4丁目1番 1号 富士通株式会社内 Fターム(参考) 2H037 AA01 BA02 BA11 DA03 DA04 DA06 DA33 DA39 5F044 AA01 AA10 AA12 AA20 5F088 AA01 BA16 BA20 BB01 JA03 JA06 JA10 JA14

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 立体ワイヤボンディング配線構造であっ
    て、 第1平面上に配置された第1電極と、 前記第1電極に対して所定高さH1上昇され且つ所定角
    度θ1傾いて配置された第2電極と、 第1ボンディングにより前記第2電極に接続された第1
    部分と、第2ボンディングにより前記第1電極に接続さ
    れた第2部分とを有し、前記第1部分と前記第2部分の
    間に角度θ2のループを形成する第1ワイヤとを具備
    し、 前記第1部分の第1ワイヤの長さをL1、前記第1ワイ
    ヤを前記第2電極に対して垂直に長さL1引き出した後
    前記ループ角度θ2を形成するのに必要な所定距離平行
    移動した第1位置での前記第1部分と前記第2電極の垂
    線の成す角度をθb1、前記第2部分を前記第1電極に
    第2ボンディングしたときの前記第1部分と前記第1位
    置での該第1部分とが成す角度をθb2としたとき、 前記第1電極と前記第2電極の水平方向の距離L3は、 L3>H1−L1[1/{sin(θb2−θb1+9
    0°)・tan(270°−θ2−θb2+θb1)}
    +cos(θb2−θb1+90°)] の関係を満たし、前記第2部分の長さL2は、 L2=H1/sin(270°−θ2−θb2+θb
    1) の関係を満たすことを特徴とする立体ワイヤボンディン
    グ配線構造。
  2. 【請求項2】 第2平面上に配置された第3電極と、 前記第2電極と同一面内で該第2電極に隣接して配置さ
    れた第4電極と、 第3ボンディングにより前記第4電極に接続された第3
    部分と、第4ボンディングにより前記第3電極に接続さ
    れた第4部分とを有し、前記第3部分と前記第4部分の
    間に所定角度のループを形成する第2ワイヤとを更に具
    備し、 前記第1ワイヤの第1ボンディング位置と第2ボンディ
    ング位置を結ぶ直線と第1ボンディング位置と第1ワイ
    ヤのループ頂点を結ぶ直線との成す角をθA1、前記第
    1ワイヤの第1ボンディング位置と第2ボンディング位
    置を結ぶ直線と前記第2電極と第4電極を結ぶ直線との
    成す角をθA2、前記第2ワイヤの第3ボンディング位
    置と第4ボンディング位置を結ぶ直線と第3ボンディン
    グ位置と該第2ワイヤのループ頂点を結ぶ直線との成す
    角をθB1、前記第2ワイヤの第3ボンディング位置と
    第4ボンディング位置を結ぶ直線と前記第2電極と第4
    電極を結ぶ直線との成す角をθB2、第1ボンディング
    位置と第3ボンディング位置との間隔をW1とすると
    き、 θB2<θB1+tan-1[L1/cos(θA1+θ
    A2)/{W1−L1・sin(θA1+θA2)}] の関係を満たす位置に前記第1、第2、第3、第4電極
    を配置したことを特徴とする請求項1記載の立体ワイヤ
    ボンディング配線構造。
  3. 【請求項3】 光素子を更に具備し、 前記第2電極及び第4電極は該光素子の電極である請求
    項2記載の立体ワイヤボンディング配線構造。
  4. 【請求項4】 複数のリードを有するリードフレーム
    と;前記リードフレーム上に搭載された電子部品と;ボ
    アを有する金属部材と、貫通穴と第1端部と第2端部と
    中間部分を有し、該中間部分が前記金属部材のボア内に
    挿入固定されたセラミックキャピラリと、前記貫通穴中
    に挿入固定された光ファイバとを含み、前記金属部材が
    前記リードフレームに搭載固定されたフェルールアセン
    ブリと;前記セラミックキャピラリの前記第1端部の端
    面上に搭載固定された光素子と;前記光素子と前記電子
    部品を接続するワイヤと;前記リードの一部、前記セラ
    ミックキャピラリの第2端部及び前記金属部材の一部を
    除き、前記リードフレーム、前記電子部品、前記光素
    子、前記ワイヤ及び前記フェルールアセンブリを包囲す
    る樹脂モールドパッケージと、を具備したことを特徴と
    する光モジュール。
  5. 【請求項5】 前記金属部材は円筒部を有しており、前
    記樹脂モールドパッケージは該円筒部で前記フェルール
    アセンブリをシールしている請求項4記載の光モジュー
    ル。
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