JP2003017762A - サーモモジュール - Google Patents

サーモモジュール

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JP2003017762A
JP2003017762A JP2001199477A JP2001199477A JP2003017762A JP 2003017762 A JP2003017762 A JP 2003017762A JP 2001199477 A JP2001199477 A JP 2001199477A JP 2001199477 A JP2001199477 A JP 2001199477A JP 2003017762 A JP2003017762 A JP 2003017762A
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substrate
type semiconductor
semiconductor element
solder
electrodes
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JP2001199477A
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English (en)
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Mitsugi Suda
貢 須田
Toyokichi Yoshioka
豊吉 吉岡
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Tecnisco Ltd
Original Assignee
Tecnisco Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 P型半導体素子とN型半導体素子とが交互に
電気的に直列に接続されるように、各半導体素子が第一
の基板に設けた複数の電極と第二の基板に設けた複数の
電極(図示せず)とによってサンドイッチ状に挟まれた
構成のサーモモジュールにおいて、第一の基板及び第二
の基板の一方または双方の表面に半田コーティングがさ
れる場合でも、コーティング用の半田として有害物質を
用いず、電極同士の短絡も引き起こすことがないように
する。 【解決手段】 第一の基板10に形成された電極11と
第二の基板20に形成された電極21との間に複数のP
型半導体素子31またはN型半導体素子32をサンドイ
ッチ状に挟持することにより、P型半導体素子31とN
型半導体素子32とが電極11、21を介して交互に直
列に配列されるように構成したサーモモジュール40に
おいて、電極11、21とP型半導体素子31及びN型
半導体素子32とを、Au−Snを主成分とする半田ペ
ーストによって結合する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ペルチェ効果を利
用したサーモモジュールに関する。
【0002】
【従来の技術】ペルチェ効果を利用した図9に示すサー
モモジュール60は、ビスマス・テルル・アンチモン結
晶体等のP型半導体素子31とビスマス・テルル・セレ
ン結晶体等のN型半導体素子32とが交互に電気的に直
列に接続されるように、各半導体素子が第一の基板10
に設けた複数の電極11と第二の基板20に設けた複数
の電極(図示せず)とによってサンドイッチ状に挟まれ
た構成となっている。そして、両端に所定の電圧を印加
することにより、ペルチェ効果によって放熱、吸熱が起
こり、一方の基板は放熱用として、他方の基板は冷却用
として機能する。
【0003】このような構成のサーモモジュール60に
おいては、P型半導体素子31及びN型半導体素子32
の第一の基板10の電極11及び第二の基板20の電極
への連結は、通常は融点が232°C〜240°CのS
n−Sbの半田ペーストを電極に塗布し、リフロー炉内
で溶融することにより行われている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】サーモモジュール60
の上に他の半導体デバイスを積層する場合には、例えば
第二の基板20の表面を鉛フリー半田でコーティングし
ておく必要があり、この場合にコーティングするSn−
Ag、Sn−Cu等の鉛フリー半田の融点は220°C
前後である。
【0005】一方、P型半導体素子31及びN型半導体
素子32を第一の基板10の電極11及び第二の基板2
0の電極と結合させるための半田ペーストの融点は、前
記のように232°C〜240°Cである。即ち、電極
に塗布する半田ペーストの融点と鉛フリー半田の融点と
は近接している。
【0006】従って、第二の基板20の表面にコーティ
ングされた鉛フリー半田を溶融させるためにリフロー炉
内においてその融点付近まで温度を上昇させると、P型
半導体素子31及びN型半導体素子32と電極11等と
を連結させる半田までもが溶けて流れだし、その半田に
よって電極間を短絡させることがある。この場合はサー
モモジュールとしての機能を果たすことができなくな
る。
【0007】一方、コーティング用として融点が183
°Cと低いSn−Pb半田を用いた場合には上記の不都
合は生じないが、鉛は有害物質であるためこれを使用す
ることは好ましくない。
【0008】そこで、表面に半田コーティングがされる
基板を用いたサーモモジュールにおいては、コーティン
グ用の半田として有害物質を用いないこと、及び、電極
同士の短絡も引き起こすことがないようにすることに課
題を有している。
【0009】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の具体的手段として本発明は、第一の基板に形成された
電極と第二の基板に形成された電極との間に複数のP型
半導体素子またはN型半導体素子をサンドイッチ状に挟
持することにより、P型半導体素子とN型半導体素子と
が電極を介して交互に直列に配列されるように構成した
サーモモジュールであって、電極とP型半導体素子及び
N型半導体素子とは、Au−Snを主成分とする半田ペ
ーストによって結合されているサーモモジュールを提供
する。
【0010】そしてこのサーモモジュールは、第一の基
板及び第二の基板のいずれか一方または双方の表面に半
田コーティングが施されること、Au−Snを主成分と
する半田ペーストの融点が280°Cであり、基板の表
面にコーティングされる半田の融点が240°C以下で
あることを付加的要件とする。
【0011】このように構成されるサーモモジュールで
は、融点が280°C前後であるAu−Snを主成分と
する半田ペーストによってP型半導体素子及びN型半導
体素子と基板の電極とを連結させることとしたため、基
板の表面に融点が240°C前後の鉛フリー半田を使用
しても、半導体素子と電極とを連結する半田ペーストが
溶けることがないため、電極同士が短絡することがな
い。
【0012】また、Sn−Ag、Sn−Cu等の鉛フリ
ー半田の大半は、その融点が220°C前後であり、A
u−Snを主成分とする半田ペーストの融点より低いた
め、鉛フリーの半田を適宜選択して基板のコーティング
に用いることができる。
【0013】更に、サーモモジュールの上に他の半導体
デバイスを積層する際に、基板の表面にコーティングし
た鉛フリーの半田が溶融しても、半導体素子と電極とを
連結する半田ペーストが溶けることがないため、多層構
造の多様なデバイスを構成することができる。
【0014】
【発明の実施の形態】本発明に係るサーモモジュールに
ついて、図1〜図8を参照して説明する。なお、従来例
と同様に構成される部位については同一の符号を付して
説明する。
【0015】本発明に係るサーモモジュールは、図1に
示す電極11が複数形成された第一の基板10と図2に
示す電極21が複数形成された第二の基板20と、図3
に示す複数のP型半導体素子31及びN型半導体素子3
2とから構成される。第一の基板10及び第二の基板2
0の材質としては、アルミナ等のセラミックスを用い
る。
【0016】また、第一の基板10に形成された電極1
1と、第二の基板20に形成された電極21には、がり
版印刷のようにしてAu−Snを主成分とするペースト
半田12を、図4に示すように、例えば50μm程塗布
する。このAu−Snを主成分とするペースト半田12
の融点は280°C前後である。
【0017】図3に示した複数のP型半導体素子31及
びN型半導体素子32のそれぞれの上下両端には、図5
(A)、(B)に示すようにNiメッキ及びAuメッキ
を施されている。
【0018】図6に示すように、第一の基板10の電極
11の上にすべてのP型半導体素子31及びN型半導体
素子32を交互に載置してリフロー炉に置き、リフロー
炉の温度を電極11に塗布したAu−Sn半田ペースト
12の融点である280°C前後の温度に加熱すると、
Au−Sn半田ペースト12が溶融して電極11とP型
半導体素子31及びN型半導体素子32とが連結され
る。
【0019】次に、第一の基板10の電極11と連結さ
れたP型半導体素子31及びN型半導体素子32を裏返
して図2に示した第二の基板20に載置し、P型半導体
素子31及びN型半導体素子32と第二の基板20の電
極21とを接触させ、第二の基板20をリフロー炉に載
せて、リフロー炉の温度を電極21に塗布したAu−S
n半田ペースト12の融点である280°C前後の温度
に加熱すると、Au−Sn半田ペースト12が溶融して
第二の基板20の電極21とP型半導体素子31及びN
型半導体素子32とが連結される。そして、図7に示す
ように、P型半導体素子31とN型半導体素子32とが
第一の基板10と第二の基板20とによってサンドイッ
チ状に挟持されたサーモモジュール40が形成される。
【0020】こうして形成されたサーモモジュール40
の上に他の半導体デバイスを積層する必要性が生じる場
合は、第一の基板10及び第二の基板20のいずれか一
方または双方に、図8の例では第二の基板20の表面に
鉛フリー半田50をコーティングする。
【0021】大半の鉛フリーの半田の融点は220°C
前後であり、電極11、21に塗布されたAu−Snを
主成分とする半田ペースト12の融点より低いため、鉛
フリー半田50を溶融させる際に、電極11、21に塗
布されたAu−Snを主成分とする半田ペースト12が
溶融することはない。従って、従来のようにAu−Sn
半田によって電極11同士、電極21同士が短絡すると
いうことがない。
【0022】そして、例えば第二の基板20の上に他の
半導体デバイスを積層することで、多層構造のデバイス
を構成することができる。
【0023】また、Sn−Ag、Sn−Cu等の鉛フリ
ー半田の大半は、その融点が220°C前後であり、A
u−Snを主成分とする半田ペースト12の融点より低
いため、鉛フリーの半田を適宜選択して基板のコーティ
ングに用いることができる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るサー
モモジュールは、融点が280°C前後であるAu−S
nを主成分とする半田ペーストによってP型半導体素子
及びN型半導体素子と基板の電極とを連結させることと
したため、基板の表面に融点が240°C前後の鉛フリ
ー半田を使用しても、半導体素子と電極とを連結する半
田ペーストが溶けることがない。従って、電極同士が短
絡することがなく、サーモモジュールとしての機能を維
持することができる。
【0025】また、Sn−Ag、Sn−Cu等の鉛フリ
ー半田の大半は、その融点が220°C前後であり、A
u−Snを主成分とする半田ペーストの融点より低いた
め、鉛フリーの半田を適宜選択して基板のコーティング
に用いることができる。
【0026】更に、サーモモジュールの上に他の半導体
デバイスを積層する際に、基板の表面にコーティングし
た鉛フリーの半田が溶融しても、半導体素子と電極とを
連結する半田ペーストが溶けることがないため、多層構
造のデバイスを構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るサーモモジュールを構成する第一
の基板の例を示す斜視図である。
【図2】同サーモモジュールを構成する第二の基板の例
を示す斜視図である。
【図3】同サーモモジュールを構成するP型半導体素子
及びN型半導体素子の例を示す斜視図である。
【図4】Au−Snを主成分とする半田ペーストを塗布
した電極を示す正面図である。
【図5】(A)はP型半導体素子の両端にニッケルめっ
き、金メッキを施した状態を示す正面図であり、(B)
はN型半導体素子の両端にニッケルめっき、金メッキを
施した状態を示す正面図である。
【図6】第一の基板の電極にP型半導体素子及びN型半
導体素子を連結させた状態を示す斜視図である。
【図7】本発明に係るサーモモジュールを示す斜視図で
ある。
【図8】第二の基板の表面に鉛フリーの半田をコーティ
ングしたサーモモジュールを示す正面図である。
【図9】従来のサーモモジュールを示す斜視図である。
【符号の説明】
10…基板 11…電極 12…Au−Snを主成分とするペースト半田 20…基板 21…電極 31…P型半導体素子 32…N型半導体素子 40…サーモモジュール 50…鉛フリー半田 60…サーモモジュール

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第一の基板に形成された電極と第二の基
    板に形成された電極との間に複数のP型半導体素子また
    はN型半導体素子をサンドイッチ状に挟持することによ
    り、P型半導体素子とN型半導体素子とが該電極を介し
    て交互に直列に配列されるように構成したサーモモジュ
    ールであって、 該電極と該P型半導体素子及びN型半導体素子とは、A
    u−Snを主成分とする半田ペーストによって結合され
    ているサーモモジュール。
  2. 【請求項2】 第一の基板及び第二の基板のいずれか一
    方または双方の表面に半田コーティングが施される請求
    項1に記載のサーモモジュール。
  3. 【請求項3】 Au−Snを主成分とする半田ペースト
    の融点は280°Cであり、基板の表面にコーティング
    される半田の融点は240°C以下である請求項2に記
    載のサーモモジュール。
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