JP2003001565A - 研磨砥石の製造方法 - Google Patents
研磨砥石の製造方法Info
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- JP2003001565A JP2003001565A JP2001187466A JP2001187466A JP2003001565A JP 2003001565 A JP2003001565 A JP 2003001565A JP 2001187466 A JP2001187466 A JP 2001187466A JP 2001187466 A JP2001187466 A JP 2001187466A JP 2003001565 A JP2003001565 A JP 2003001565A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 砥粒層を有する研磨砥石を低コスト且つ短時
間で形成可能な製造方法を提供する。 【解決手段】 製造すべき研磨砥石と凹凸の関係をなす
形状に加工した転写型上に、砥粒１４と熱硬化性接着樹
脂材料を混合した砥粒混合接着樹脂１３と砥石基材１１
を順次載せる。次に、この転写型、砥粒混合接着樹脂及
び砥石基材を、転写型が回転軸の外側に砥石基材が内側
に位置するようにして回転運動させ、その遠心力によっ
て砥粒混合接着樹脂中の砥粒を前記転写型表面に移動さ
せると共に、少なくとも砥粒混合接着樹脂を加熱して熱
硬化性接着樹脂材料を硬化させ、前記砥粒混合接着樹脂
と砥石基材を結合する。その後、砥粒混合接着樹脂を結
合した砥石基材を転写型から離型して研磨砥石を得る研
磨砥石の製造方法。
間で形成可能な製造方法を提供する。 【解決手段】 製造すべき研磨砥石と凹凸の関係をなす
形状に加工した転写型上に、砥粒１４と熱硬化性接着樹
脂材料を混合した砥粒混合接着樹脂１３と砥石基材１１
を順次載せる。次に、この転写型、砥粒混合接着樹脂及
び砥石基材を、転写型が回転軸の外側に砥石基材が内側
に位置するようにして回転運動させ、その遠心力によっ
て砥粒混合接着樹脂中の砥粒を前記転写型表面に移動さ
せると共に、少なくとも砥粒混合接着樹脂を加熱して熱
硬化性接着樹脂材料を硬化させ、前記砥粒混合接着樹脂
と砥石基材を結合する。その後、砥粒混合接着樹脂を結
合した砥石基材を転写型から離型して研磨砥石を得る研
磨砥石の製造方法。
Description
【０００１】
【発明の技術分野】本発明は、砥粒層を有する研磨砥石
の製造方法に関する。
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来技術およびその問題点】従来から、研磨面に砥粒
層を形成した研磨砥石が知られている。このような研磨
砥石の砥粒層は、例えば、ダイヤモンド砥粒を軟性の接
着樹脂材料で固めることにより形成することができる。
この砥粒層を形成する際にダイヤモンド砥粒を研磨表面
に密集させれば、使用するダイヤモンド砥粒が少量で済
み、低コスト化に貢献できる。
層を形成した研磨砥石が知られている。このような研磨
砥石の砥粒層は、例えば、ダイヤモンド砥粒を軟性の接
着樹脂材料で固めることにより形成することができる。
この砥粒層を形成する際にダイヤモンド砥粒を研磨表面
に密集させれば、使用するダイヤモンド砥粒が少量で済
み、低コスト化に貢献できる。
【０００３】そこで従来では、一般的に、以下の２通り
の製造方法が採られている。第１の方法では、図８に示
すように、先ず、軟性の接着樹脂材料１３’とダイヤモ
ンド砥粒１４を略均一に混合した接着混合物Ａ’を転写
型１５に流し込み、砥石基材（台金）１１を接着混合物
Ａ’を介して転写型１５に接着する。そして接着完了後
に、転写型１５から砥石基材１１を離型し、研磨砥石を
得る。一方、第２の方法では、図９に示すように、先
ず、転写型１５にダイヤモンド砥粒１４を略均一に敷き
詰めてから接着樹脂材料１３’を転写型１５に流し込
み、砥石基材１１を接着樹脂材料１３’を介して転写型
１５に接着する。そして接着完了後に、転写型１５から
砥石基材１１を離型し、研磨砥石を得る。
の製造方法が採られている。第１の方法では、図８に示
すように、先ず、軟性の接着樹脂材料１３’とダイヤモ
ンド砥粒１４を略均一に混合した接着混合物Ａ’を転写
型１５に流し込み、砥石基材（台金）１１を接着混合物
Ａ’を介して転写型１５に接着する。そして接着完了後
に、転写型１５から砥石基材１１を離型し、研磨砥石を
得る。一方、第２の方法では、図９に示すように、先
ず、転写型１５にダイヤモンド砥粒１４を略均一に敷き
詰めてから接着樹脂材料１３’を転写型１５に流し込
み、砥石基材１１を接着樹脂材料１３’を介して転写型
１５に接着する。そして接着完了後に、転写型１５から
砥石基材１１を離型し、研磨砥石を得る。
【０００４】しかしながら、第１の方法ではダイヤモン
ド砥粒１４を研磨表面に集めることが難しく、仮にダイ
ヤモンド砥粒１４が沈降するまで待つとすると、時間が
かかり過ぎてしまう。また第２の方法では、接着樹脂材
料１３’がダイヤモンド砥粒１４の間を流れるときに空
気が混入して空気溜まり３０ができ、研磨部の強度が落
ちてしまう。このため、脱泡処理によって空気溜まり３
０を除去する必要があり、生産能率が悪くなって好まし
くなかった。
ド砥粒１４を研磨表面に集めることが難しく、仮にダイ
ヤモンド砥粒１４が沈降するまで待つとすると、時間が
かかり過ぎてしまう。また第２の方法では、接着樹脂材
料１３’がダイヤモンド砥粒１４の間を流れるときに空
気が混入して空気溜まり３０ができ、研磨部の強度が落
ちてしまう。このため、脱泡処理によって空気溜まり３
０を除去する必要があり、生産能率が悪くなって好まし
くなかった。
【０００５】
【発明の目的】本発明は、砥粒層を有する研磨砥石を低
コスト且つ短時間で形成可能な製造方法を提供すること
を目的とする。
コスト且つ短時間で形成可能な製造方法を提供すること
を目的とする。
【０００６】
【発明の概要】本発明は、遠心力を利用して砥粒を研磨
砥石の研磨面に移動させることにより、砥粒層を有する
研磨砥石の製造時間の短縮化及び低コスト化を図るもの
である。すなわち本発明は、砥粒と熱硬化性接着樹脂材
料を混合して砥粒混合接着樹脂を得る工程と、製造すべ
き研磨砥石の研磨面と凹凸の関係をなす形状に加工した
転写型上に前記砥粒混合接着樹脂と砥石基材を順次載
せ、転写型と砥石基材との間に砥粒混合接着樹脂を挟着
する工程と、この転写型、砥粒混合接着樹脂及び砥石基
材を、転写型が回転軸の外側に砥石基材が内側に位置す
るようにして回転運動させ、その遠心力によって砥粒混
合接着樹脂中の砥粒を前記転写型表面に移動させる工程
と、この回転運動中に、少なくとも砥粒混合接着樹脂を
加熱して熱硬化性接着樹脂材料を硬化させ、前記砥粒混
合接着樹脂と砥石基材を結合する工程と、前記砥粒混合
接着樹脂を結合した砥石基材を前記転写型から離型して
研磨砥石を得る工程と、を有することを特徴とする。
砥石の研磨面に移動させることにより、砥粒層を有する
研磨砥石の製造時間の短縮化及び低コスト化を図るもの
である。すなわち本発明は、砥粒と熱硬化性接着樹脂材
料を混合して砥粒混合接着樹脂を得る工程と、製造すべ
き研磨砥石の研磨面と凹凸の関係をなす形状に加工した
転写型上に前記砥粒混合接着樹脂と砥石基材を順次載
せ、転写型と砥石基材との間に砥粒混合接着樹脂を挟着
する工程と、この転写型、砥粒混合接着樹脂及び砥石基
材を、転写型が回転軸の外側に砥石基材が内側に位置す
るようにして回転運動させ、その遠心力によって砥粒混
合接着樹脂中の砥粒を前記転写型表面に移動させる工程
と、この回転運動中に、少なくとも砥粒混合接着樹脂を
加熱して熱硬化性接着樹脂材料を硬化させ、前記砥粒混
合接着樹脂と砥石基材を結合する工程と、前記砥粒混合
接着樹脂を結合した砥石基材を前記転写型から離型して
研磨砥石を得る工程と、を有することを特徴とする。
【０００７】上記研磨砥石の製造方法において、前記砥
粒をダイヤモンド砥粒とすることができる。
粒をダイヤモンド砥粒とすることができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１は、本発明方法によって製造
する研磨砥石１０の完成状態の一例を示す模式断面図で
ある。研磨砥石１０は、砥石基材（台金）１１と、砥石
基材１１の上面に接合された凸球面形状の研磨部１２か
らなる。研磨部１２は、熱硬化性接着樹脂材料であるレ
ジンボンド１３及びダイヤモンド砥粒１４によって形成
され、その研磨表面１２ａにはダイヤモンド砥粒１４が
密集している。
する研磨砥石１０の完成状態の一例を示す模式断面図で
ある。研磨砥石１０は、砥石基材（台金）１１と、砥石
基材１１の上面に接合された凸球面形状の研磨部１２か
らなる。研磨部１２は、熱硬化性接着樹脂材料であるレ
ジンボンド１３及びダイヤモンド砥粒１４によって形成
され、その研磨表面１２ａにはダイヤモンド砥粒１４が
密集している。
【０００９】図２は、研磨砥石１０の製造工程で使用す
る遠心装置２０を示した模式断面図である。遠心装置２
０は、格納容器２１、格納容器２１を回動可能に軸支す
る回転部材２２、回転部材２２を回転させる駆動モータ
２３を備えており、格納容器２１及び回転部材２２はヒ
ーター３１を内側面に有する断熱容器３０内に配設され
る。
る遠心装置２０を示した模式断面図である。遠心装置２
０は、格納容器２１、格納容器２１を回動可能に軸支す
る回転部材２２、回転部材２２を回転させる駆動モータ
２３を備えており、格納容器２１及び回転部材２２はヒ
ーター３１を内側面に有する断熱容器３０内に配設され
る。
【００１０】回転部材２２は、回転軸２２ａと、回転軸
２２ａを中心として回転する回転アーム２２ｂで構成さ
れる。回転部材２２が静止している状態では、格納容器
２１は、その長手方向が図２において上下方向となる状
態（図２の実線で示した状態）で保持される。一方、回
転部材２２が回転している状態では、回転軸２２ａに対
して垂直であって且つ回転軸２２ａから離反する方向に
遠心力Ｆが働き、格納容器２１はその長手方向が図２の
左右方向となる状態（図２の点線で示した状態）で保持
される。なお、回転部材２２が回転している状態でヒー
ター３１による加熱が行なわれると、格納容器２１は底
面部２１ａから温められる。
２２ａを中心として回転する回転アーム２２ｂで構成さ
れる。回転部材２２が静止している状態では、格納容器
２１は、その長手方向が図２において上下方向となる状
態（図２の実線で示した状態）で保持される。一方、回
転部材２２が回転している状態では、回転軸２２ａに対
して垂直であって且つ回転軸２２ａから離反する方向に
遠心力Ｆが働き、格納容器２１はその長手方向が図２の
左右方向となる状態（図２の点線で示した状態）で保持
される。なお、回転部材２２が回転している状態でヒー
ター３１による加熱が行なわれると、格納容器２１は底
面部２１ａから温められる。
【００１１】研磨砥石１０は、以下のように製造され
る。予め、製造すべき研磨部１２と凹凸の関係をなす凹
部１５ａを有する転写型１５（図３）を用意し、凹部１
５ａに離型剤を塗布しておく。これは、後の工程で転写
型１５から砥石基材１１を離し易くするためである。一
方、レジンボンド１３とダイヤモンド砥粒１４を略均一
に混合して接着混合物Ａをつくっておく。
る。予め、製造すべき研磨部１２と凹凸の関係をなす凹
部１５ａを有する転写型１５（図３）を用意し、凹部１
５ａに離型剤を塗布しておく。これは、後の工程で転写
型１５から砥石基材１１を離し易くするためである。一
方、レジンボンド１３とダイヤモンド砥粒１４を略均一
に混合して接着混合物Ａをつくっておく。
【００１２】次に、接着混合物Ａを凹部１５ａに略均一
に載せて（図４）、接着混合物Ａの上から砥石基材１１
を押し当て（図５）、転写型１５に接着させた砥石基材
１１を遠心装置２０の格納容器２１に格納する（図
６）。
に載せて（図４）、接着混合物Ａの上から砥石基材１１
を押し当て（図５）、転写型１５に接着させた砥石基材
１１を遠心装置２０の格納容器２１に格納する（図
６）。
【００１３】続いて、遠心装置２０の駆動モータ２３を
動作させて回転部材２２を回転させる。回転部材２２が
回転すると、転写型１５を回転軸２２ａの外側に砥石基
材１１を内側に位置させるようにして格納容器２１が回
転運動を行ない、この回転遠心力によって接着混合物Ａ
内のダイヤモンド砥粒１４が転写型１５の凹部１５ａ表
面に移動する。
動作させて回転部材２２を回転させる。回転部材２２が
回転すると、転写型１５を回転軸２２ａの外側に砥石基
材１１を内側に位置させるようにして格納容器２１が回
転運動を行ない、この回転遠心力によって接着混合物Ａ
内のダイヤモンド砥粒１４が転写型１５の凹部１５ａ表
面に移動する。
【００１４】そして回転部材２２を回転させ続け、ダイ
ヤモンド砥粒１４を凹部１５ａ表面にすべて移動させた
状態で、ヒーター３１による加熱を開始させて断熱容器
３０内を温め、レジンボンド１３を硬化させる。
ヤモンド砥粒１４を凹部１５ａ表面にすべて移動させた
状態で、ヒーター３１による加熱を開始させて断熱容器
３０内を温め、レジンボンド１３を硬化させる。
【００１５】レジンボンド１３が硬化したら、ヒーター
３１による加熱を止めると共に駆動モータ２３を停止さ
せる。そして格納容器２１から砥石基材１１及び転写型
１５を取り出し、砥石基材１１を転写型１５から離型す
る（図７）。離型した砥石基材１１の上面には、ダイヤ
モンド砥粒１４が研磨表面１２ａに密集した研磨部１２
が接合されており、図１に示す研磨砥石１０が得られ
る。
３１による加熱を止めると共に駆動モータ２３を停止さ
せる。そして格納容器２１から砥石基材１１及び転写型
１５を取り出し、砥石基材１１を転写型１５から離型す
る（図７）。離型した砥石基材１１の上面には、ダイヤ
モンド砥粒１４が研磨表面１２ａに密集した研磨部１２
が接合されており、図１に示す研磨砥石１０が得られ
る。
【００１６】このように本実施形態では、遠心力を利用
して接着混合物Ａ内のダイヤモンド砥粒１４を研磨表面
１２に移動させるから、簡単に且つ短時間でダイヤモン
ド砥粒が研磨表面に密集させることができる。これによ
り、研磨部を形成するために使用するダイヤモンド砥粒
を節約でき、低コスト化を図れる。さらに本実施形態で
は、遠心力により、接着混合物Ａに混入してしまった空
気溜まりも除去できるから、研磨部の強度を十分に確保
することができる。また脱泡処理を行なう必要もないの
で、生産能率の向上につながる。
して接着混合物Ａ内のダイヤモンド砥粒１４を研磨表面
１２に移動させるから、簡単に且つ短時間でダイヤモン
ド砥粒が研磨表面に密集させることができる。これによ
り、研磨部を形成するために使用するダイヤモンド砥粒
を節約でき、低コスト化を図れる。さらに本実施形態で
は、遠心力により、接着混合物Ａに混入してしまった空
気溜まりも除去できるから、研磨部の強度を十分に確保
することができる。また脱泡処理を行なう必要もないの
で、生産能率の向上につながる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の研磨砥石の製造方法によれば、
低コスト且つ短時間で、研磨表面に砥粒層を有する研磨
砥石を形成することができる。
低コスト且つ短時間で、研磨表面に砥粒層を有する研磨
砥石を形成することができる。
【図１】本発明による研磨砥石の製造方法によって形成
した研磨砥石を示す模式断面図である。
した研磨砥石を示す模式断面図である。
【図２】本発明の研磨砥石の製造方法に用いる遠心装置
を示す模式断面図である。
を示す模式断面図である。
【図３】本発明の研磨砥石の製造方法に用いる転写型の
一例を示す断面図である。
一例を示す断面図である。
【図４】図３の転写型にダイヤモンド砥粒とレジンボン
ドとの混合物を載せた状態を示す模式断面図である。
ドとの混合物を載せた状態を示す模式断面図である。
【図５】図４に示す転写型に砥石基材を接着した状態を
示す模式断面図である。
示す模式断面図である。
【図６】図５に示した砥石基材及び転写型を格納した格
納容器を示す模式断面図である。
納容器を示す模式断面図である。
【図７】転写型から離型した砥石基材を示す模式断面図
である。
である。
【図８】従来採られている研磨砥石の製造方法の一つを
説明する図である。
説明する図である。
【図９】従来採られている研磨砥石の製造方法の一つを
説明する図である。
説明する図である。
１０ 研磨砥石
１１ 砥石基材
１２ 研磨部
１２ａ 研磨表面
１３ レジンボンド
１４ ダイヤモンド砥粒
１５ 転写型
１５ａ 凹部
２０ 遠心装置
２１ 格納容器
２２ 回転部材
２３ 駆動モータ
３０ 断熱容器
３１ ヒーター
Claims (2)
- 【請求項１】 砥粒と熱硬化性接着樹脂材料を混合して
砥粒混合接着樹脂を得る工程と、 製造すべき研磨砥石の研磨面と凹凸の関係をなす形状に
加工した転写型上に前記砥粒混合接着樹脂と砥石基材を
順次載せ、転写型と砥石基材との間に砥粒混合接着樹脂
を挟着する工程と、 この転写型、砥粒混合接着樹脂及び砥石基材を、転写型
が回転軸の外側に砥石基材が内側に位置するようにして
回転運動させ、その遠心力によって砥粒混合接着樹脂中
の砥粒を前記転写型表面に移動させる工程と、 この回転運動中に、少なくとも砥粒混合接着樹脂を加熱
して熱硬化性接着樹脂材料を硬化させ、前記砥粒混合接
着樹脂と砥石基材を結合する工程と、 前記砥粒混合接着樹脂を結合した砥石基材を前記転写型
から離型して研磨砥石を得る工程と、を有することを特
徴とする研磨砥石の製造方法。 - 【請求項２】 請求項１記載の研磨砥石の製造方法にお
いて、前記砥粒はダイヤモンド砥粒である研磨砥石の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001187466A JP2003001565A (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | 研磨砥石の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001187466A JP2003001565A (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | 研磨砥石の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003001565A true JP2003001565A (ja) | 2003-01-08 |
Family
ID=19026749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001187466A Pending JP2003001565A (ja) | 2001-06-21 | 2001-06-21 | 研磨砥石の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003001565A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013151946A1 (en) * | 2012-04-02 | 2013-10-10 | Thomas West Inc. | Methods and systems for centrifugal casting of polymer polish pads and polishing pads made by the methods |
| KR20160124208A (ko) * | 2014-02-20 | 2016-10-26 | 토마스 웨스트 인코포레이티드 | 연마 패드 소재의 광 투과율을 제어하기 위한 방법 및 시스템 |
| US10022842B2 (en) | 2012-04-02 | 2018-07-17 | Thomas West, Inc. | Method and systems to control optical transmissivity of a polish pad material |
| US10722997B2 (en) | 2012-04-02 | 2020-07-28 | Thomas West, Inc. | Multilayer polishing pads made by the methods for centrifugal casting of polymer polish pads |
-
2001
- 2001-06-21 JP JP2001187466A patent/JP2003001565A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2013151946A1 (en) * | 2012-04-02 | 2013-10-10 | Thomas West Inc. | Methods and systems for centrifugal casting of polymer polish pads and polishing pads made by the methods |
| KR20150002734A (ko) * | 2012-04-02 | 2015-01-07 | 토마스 웨스트 인코포레이티드 | 폴리머 연마패드의 원심주조를 위한 방법 및 시스템 및 상기 방법으로 만들어진 연마패드 |
| US10022842B2 (en) | 2012-04-02 | 2018-07-17 | Thomas West, Inc. | Method and systems to control optical transmissivity of a polish pad material |
| KR102100654B1 (ko) | 2012-04-02 | 2020-04-14 | 토마스 웨스트 인코포레이티드 | 폴리머 연마패드의 원심주조를 위한 방법 및 시스템 및 상기 방법으로 만들어진 연마패드 |
| US10722997B2 (en) | 2012-04-02 | 2020-07-28 | Thomas West, Inc. | Multilayer polishing pads made by the methods for centrifugal casting of polymer polish pads |
| US11090778B2 (en) | 2012-04-02 | 2021-08-17 | Thomas West, Inc. | Methods and systems for centrifugal casting of polymer polish pads and polishing pads made by the methods |
| US11219982B2 (en) | 2012-04-02 | 2022-01-11 | Thomas West, Inc. | Method and systems to control optical transmissivity of a polish pad material |
| KR20160124208A (ko) * | 2014-02-20 | 2016-10-26 | 토마스 웨스트 인코포레이티드 | 연마 패드 소재의 광 투과율을 제어하기 위한 방법 및 시스템 |
| KR102362562B1 (ko) | 2014-02-20 | 2022-02-14 | 토마스 웨스트 인코포레이티드 | 연마 패드 소재의 광 투과율을 제어하기 위한 방법 및 시스템 |
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