JP2002542428A - 振動ピストン駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、特に振動ピストン真空ポンプのための振動ピストン駆動装置であって、ケーシング（２）と、ケーシング（２）内に構成されているシリンダ（３）と、シリンダ内で往復に運動可能なピストン（４）と、ピストン（４）のための電磁駆動装置とを有し、この電磁駆動装置はステータ側に電磁石を、かつピストン側に少なくとも１つの永久磁石（１８，１９）を有している形式のものに関する；耐用寿命を延長させるために、ステータ側にも永久磁石（１５，１６）が設けられており、ピストン（４）の永久磁石（２０）若しくはステータの永久磁石（１８，１９）が次のように、すなわちピストン（４）が休止状態において大体において軸方向の中央の位置を占めるように、構成されかつ配置されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、特に振動ピストン真空ポンプ用の、振動ピストン駆動装置であって
、ケーシングと、ケーシング内に構成されているシリンダと、シリンダ内で往復
に運動可能なピストンと、ピストンのための電磁的駆動装置とを備え、この電磁
的駆動装置はステータ側に電磁石を、かつピストン側に永久磁石を有している形
式のものに関する。

【０００２】 これらの特徴を有する振動ピストン駆動装置はDE-A-41 02 710 から公知であ
る。この技術水準による振動ピストン駆動装置においては、シリンダ内に２つの
ばねがあり、これらのばねのうち、その都度一方は、ピストンの両方の端面のう
ちの一方とシリンダの所属の端面との間で延びている。らせんばねが持続的に負
荷されている場合に、ばね材料の老化が不可避的である。技術状態による振動ば
ね駆動装置の耐久時間はしたがってばね材料の寿命に制限されている。

【０００３】 DE-A-41 02 710 による振動ピストン駆動装置は振動ピストンポンプの構成部
分であって、この場合、ピストンとシリンダとによって規制される両方の室の少
なくとも一方が、圧縮室の機能を有している。この室若しくはこれらの室内には
らせんばねがある。このらせんばねは、不所望な死室を生ぜしめ、これによって
ポンプ作用が不都合な影響を受ける。

【０００４】 本発明の根底を成す課題は、最初に述べた形式の振動ピストン駆動装置を改良
して、老化するばね材料の欠点をもはや有していないようにすることである。さ
らに、駆動装置は振動ピストン真空ポンプに使用するのに特に適しているように
する。

【０００５】 本発明によればこの課題は次のようにして解決される。すなわちステータ側に
永久磁石が設けられており、かつピストンの単数または複数の永久磁石及びステ
ータの複数の永久磁石が次のように、すなわちピストンが休止状態でほぼ中央の
、軸方向の位置を占めるように、構成されかつ配置されているようにするのであ
る。休止状態、換言すれば電磁石に電流が流れていない場合、ピストン及びステ
ータ内に取り付けられている永久磁石により生ぜしめられる磁界の重なりは、ピ
ストンに力が作用し、これらの力は、ピストンを軸方向に心出しする。これによ
って、休止状態においては、規定された、たとえば中央のピストン位置が生じ、
このピストン位置は単に磁力の作用だけによって生じ、ばねのような機械的な付
加装置を必要としない。

【０００６】 合目的的には、ピストンは２つの永久磁石を備えており、これらの永久磁石の
うちその都度一方は、ピストンの両方の端面の範囲に配置されている。これらの
ピストン側の永久磁石のそれぞれには、その都度１つのステータ側の永久磁石が
配属されており、それも、シリンダの端面の範囲において、ほぼ同じ半径方向の
位置で、配属されている。

【０００７】 特に簡単な解決策では、ピストンは単に１つの軸方向でほぼ中央に配置された
永久磁石リングを備えている。このリングの側方に並んで、ステータ側に配置さ
れた永久磁石があり、この永久磁石のピストンの磁石リングからの間隔は、ピス
トン運動の振幅を定め、ピストンが死点の１つに近づくときに、ピストンの所望
の減速を生ぜしめる。

【０００８】 ステータの永久磁石がピストンの相応する永久磁石に対して軸方向で互いに逆
向きに磁化されている場合には、それらの磁界は相反する力を生ぜしめる。これ
らの力は、シリンダ端面に近づくとピストンが制動せしめられ、かつ、最後にピ
ストンの逆転運動が生ぜしめられるようにする。配置全体が対称的に行われ、そ
れも寸法に関しても、また磁界の強さに関しても、対称的に行われている場合に
は、ピストンは、電磁石のコイルに電流が流れていない場合に、軸方向で中央の
位置を占める。

【０００９】 本発明による駆動装置を振動ピストン真空ポンプに使用する場合、軸方向で非
対称的な構成が好ましいことがある。それは、対称性の状態が力の特性曲線にと
って重要であるからである。ポンプの両方の端面におかれた圧縮室がポンププロ
セス中に非対称的である場合には、軸方向で非対称的な駆動装置の構成は適合せ
しめられた力の特性曲線を称ぜしめる。

【００１０】 本発明の別の利点及び細部は、図１〜８に概略的に示した実施例により、説明
する。

【００１１】 図面には、その都度外側のケーシングが符号２で、ケーシング２内に構成され
ているシリンダ室が符号３で、シリンダ３内にあるピストンが符号４で、かつそ
の走行ブッシュが符号５で示されている。

【００１２】 図１〜５の電磁駆動装置の、ケーシング内に収容されたステータ構成部分は少
なくとも１つのコイル８と、コイル８を３つの側から取り囲んでいる横断面がＵ
形の内方に向かって開いている極構成部分１１（ヨーク）とである。さらに、管
区分形の極構成部分１２（案内ヨーク）が設けられており、これはコイル８と案
内ブッシュ５との間にある。最後にステータシステムに２つの永久磁石１５，１
６があり、これはシリンダ３の端面の範囲にある。ヨーク１１のＵ脚部はこれら
の永久磁石のところで終わっている。

【００１３】 電磁駆動装置のピストン側の構成部分は２つの永久磁石１８，１９であり、こ
れらの永久磁石はピストン４の端面の範囲にある。半径方向に、永久磁石１８，
１９に極構成部分２１〜２４が所属している（図１，２）。合目的的に永久磁石
はこれらの極構成部分によって覆われており、その際端面側にある覆い部２１，
２４はピストン覆いディスク２５，２６の構成部分であることができ、このピス
トン覆いディスクはその中央の範囲において非強磁性の材料から成っている。ピ
ストン４も非強磁性の材料から成っている。

【００１４】 図１〜５に示した駆動装置の構成は、合目的的に回転対称的である。有利には
この場合、リング形の永久磁石の構成であり、それも、ステータ（１５，１６）
並びにピストン（１８，１９）がリング形に構成されている。非回転対称的な解
決策はその制作費が高価である。

【００１５】 図１〜５に示したすべての実施例において、その都度２つの、大体において端
面側に配置された永久磁石１８，１９がピストンに設けられている。これらの永
久磁石は一体の永久磁石によって代替することもでき、この永久磁石はたとえば
管の形でピストン４を取り囲んでいる。

【００１６】 合目的的に振動ピストン駆動装置は、すべての図面においてセンサ構成部分を
有している。図１及び２においてだけ、このようなセンサ構成部分３１，３１が
示されている。これらのセンサ構成部分はやはりリング形に構成されている。そ
の都度１つのセンサ構成部分が電磁駆動装置の両方の端面の範囲内に配置されて
いる。これらのセンサ３１，３２は、主として、その死点の範囲におけるピスト
ン位置の認識に役立つ。合目的的にセンサ３１，３２はリングコイルとして構成
されている。これらのリングコイル内に誘導された電圧は、ピストン位置に関連
しており、したがって生ぜしめられた信号は、コイル８の制御に使用することが
できる。リングコイルの代わりに、ホールエレメント、光学的センサあるいは渦
電流センサを使用することができる。

【００１７】 図１及び２による振動ピストン駆動装置は案内ヨーク１２の構成に関して異な
っているに過ぎない。図１に示した実施例では、案内ヨークは軸方向で対称的に
構成されている。ピストン４に作用する駆動力はしたがってやはり対称的である
。図２の示した実施例では、案内ヨーク１２は軸方向で非対称的に構成されてい
る。案内ヨークのセンサコイル３１に対する間隔はセンサコイル３２に対する間
隔よりもわずかである。センサコイル３２の範囲においてピストン４の永久磁石
１９に及ぼされる駆動力はしたがって永久磁石１８の範囲の相応する駆動力より
も大きい。この作用は別の極構成部分、たとえば覆いディスク２１ないし２４、
ヨーク１１の脚部などの軸方向で非対称的な構成によっても、達成することがで
きる。その他の点では図１及び２の振動ピストン駆動装置は極めて概略的に示さ
れている。ピストン４に結合されている駆動エレメントは、省略した。

【００１８】 図３は本発明による振動駆動装置を有する振動ピストン真空ポンプを示す。こ
の実施例ではシリンダ３、ピストン４の両方の端面及び走行ブッシュ５は、圧縮
室の機能を有している部分室３４，３５を形成している。これらのポンプ段のそ
れぞれは、側方で圧縮室３４若しくは３５内に開口している入口３６，３７をそ
れぞれ有している。これによってピストン及び開口は、公知の形式で入口制御弁
の機能を有している。

【００１９】 出口弁４１，４２はそれぞれ端面側に配置されている。合目的的に出口開口は
大体においてシリンダの全横断面にわたって延びている（DE-A-196 34 517 から
自体公知である）。調節エレメントはシリンダ３の全横断面にわたって延びてい
る可とう性の皿４３，４４として構成されており、これらの皿はケーシング２の
中央に固定されていて、周辺部を生ぜしめられた圧力又はピストンの端面によっ
て操作される。図３の実施例ではピストン端面は凹面に構成されている。シリン
ダ壁の端面又は−図３に示すように−ステータ側の永久磁石１５，１６の外方の
端面は、弁座を形成している。弁４１，４２から出るガスはまず出口室４５，４
６内に入り、この出口室に出口４７，４８が接続している。

【００２０】 図３に示した構成では、ステータ永久磁石１５，１６はシリンダ３内にある。
ピストンの端面は外方に、この磁石の大きさに相応する切り欠き２０，３０を有
している。この手段はポンプの運転中に死室を回避するために役立つ。

【００２１】 図４及び５は、ケーシング２内で共通の中央のケーシングディスク５０により
その都度２つの同じようなピストン４，４′が収容されている振動ピストンポン
プの実施例を示す。この駆動装置は、両方のピストン４，４′が互いに逆向きに
振動するように、構成されかつ制御される。これによって生ぜしめられる質量補
償によってポンプは振動がない。

【００２２】 図４に実施例では、両方のピストン４及び４′の両方のポンプ段は互いに平行
に接続されている。それぞれ概略的に線によって示したガス経路から分かるよう
に、搬送されるガスはガス入口５１から圧縮室３５及び３４′に供給される。ガ
スはこれらの圧縮室を出口弁４２，４１′を通って出る。そこからガスはその都
度圧縮室３４若しくは３５′を通って供給される。両方のガス出口は５２及び５
３で示されている。

【００２３】 図示の出口弁４１，４２及び４１′，４２′は図３の実施例のおけるように、
構成されている。相違点としては、ピストン４，４′の端面は凹面に構成されて
おらずに、プランジャを備えており、これにより所属の弁皿を操作することであ
る。この形式の出口弁の別の構造はDE-A-196 34 517 から公知である。

【００２４】 更に図３の解決策と異なって、ピストン４及び４′の両方の駆動装置はそれぞ
れ軸方向で非対称的に構成されている。ヨーク構成部分１２，１２′はその都度
ガス出口側（出口５２，５３）に向かって延長されている。ピストン４及び４′
の出口側の永久磁石１８及び１９′は両側を極構成部分２１，２２若しくは２１
′，２２′によって覆われており、内側の永久磁石１９，１８には、それぞれ単
に１つの極構成部分２３若しくは２３′が配属されている。この手段によって、
駆動装置の力の特性曲線は、外側のポンプ段が雰囲気圧力に抗してポンピングす
るという事実に適合せしめられている。

【００２５】 図５の実施例では、４つのポンプ段が互いに前後に接続されている。入口５１
から出口５４に送られるガスは順次に圧縮室３４′，３４，３５，３５′に達す
る。図５の解決策は特別な点として、弁４１，４２，４１′，４２′の閉鎖運動
が磁気的に操作される。皿上の閉鎖エレメントは少なくとも部分的に（例えば外
壁）強磁性の材料から成っており、したがってステータ永久磁石１５，１６，１
５′，１６′は充分な力を作用させる。皿の開放は、圧力に制御されてあるいは
プランジャに制御されて（図示のプランジャを介して）行われるのに対し、閉鎖
運動は磁力によって行われる。

【００２６】 図６及び７は、センサ構成部分を備えた振動ピストン駆動装置用の接続例を示
す。駆動装置の構成部分はそれぞれブロック６１に、電子構成部分はブロック６
２に収容されている。

【００２７】 図６は単に１つのコイル８を有する場合の解決策を示し、このコイルはセンサ
３１，３２の信号に関連して、制御される。制御は４つのスイッチを有するブリ
ッジ回路６３を介して行われ、このブリッジ回路荷は一面では供給電圧Ｕが、か
つ他面では論理回路６４内で加工されたセンサ３１，３２の信号が供給される。
４つの出力電子的なスイッチは論理回路６４を介して制御されて、両方のコイル
８の接続部がその都度所望のコイル内の電流方向で直流電圧源６５の正又は負の
極と接続される。

【００２８】 図７の配置では、２つの逆向きに巻かれたコイル８及び８′が駆動装置のコイ
ル枠内にある。これらのコイルは互いに並んで、あるいは互いに同心的に配置す
ることができる。この場合、両方のコイルにおいては、単に一方の電流方向しか
可能でない。コイルの一方の端部はしたがって直流電圧源Ｕの正の極に接続され
ているのに対し、コイルの他方の端部は２つの出力電子的なスイッチ６６及び６
７を介して直流電圧源の負の極に交互に接続される。両方のスイッチの制御は、
直接にセンサ３１，３２を介して上死点及び下死点において行われる。この配置
は出力電子的な費用を最低限にすることを可能にする。しかしながら、この配置
はコイル枠の劣悪な利用を意味する。

【００２９】 センサ構成部分の運転を省略することが可能である。この場合ステータ内のコ
イル内に誘導された電圧をピストン位置の認識のための情報として利用すること
ができ、コイル内の電流の流れをこの情報から導出することができる。

【００３０】 コイルの制御に関しては、複数の変化形が可能である。第１の変化形では、振
動周波数を不動に定めておき、コイル内の電流を定めておいて、この周波数が実
際に達成されるようにする。運動の逆転はその都度終端位置において行われる。
このやり方は、外部制御と呼ばれる。この原理の欠点は、極めて大きなプロセス
負荷の場合にポンプの過負荷を生じることがあることである。

【００３１】 第２の制御法則によれば自動制御の原理が使用される。この場合、コイル内の
最大の電圧が定められ、過度に負荷が大きい場合に振動周波数が減少せしめられ
る。運動の逆転は、この場合においても、ピストンがその都度の終端位置に達し
た場合に行われる。

【００３２】 第３の制御法則においては、第２の制御法則が変更せしめられて、運動の逆転
が、既に終端位置に達する前に行われる。これにより振動ピストンモータは、ポ
ンピングの最初に、あるいは持続的な負荷が過度に大きい場合に過負荷から保護
される。付加的にシステムは小さな力に対して設計しておくことができ、ひいて
は安価に製作することができる。このことは、第２の制御法則においても当ては
まる。

【００３３】 図８に示した本発明による振動ピストン真空ポンプの実施例は、図３に示した
実施例と異なって、ピストン４が単に１つの永久磁石リング２０を有しており、
この永久磁石リングは、軸方向で中央に配置されている。永久磁石リングはピス
トン４の外周面を取り囲んでおり、したがって、両方のステータ側の永久磁石１
５，１６はピストンの運動の振幅に相応する間隔をおいてピストンの側方に配置
することができる。ステータ側の直線駆動装置部分は、永久磁石１５，１６，２
０のこの配置に適合せしめられている。２つのコイル８′，８″が設けられてお
り、これらのコイルは中央のヨーク部分１１′を有するヨーク１１によってつか
まれている。半径方向で内方に向いている中央のヨーク部分１１′の端面は永久
磁石２０を取り囲んでいる。内方の、軸方向に延びるヨーク部分の端面はステー
タ側の永久磁石１５，１６に外方から接している。

【００３４】 更に図８から分かるように、ピストン４の合目的的な構成が認められる。ピスト
ンは例えば２つのコップ構成部分７０，７１から成っており、これらのコップ構
成部分はそれらの開いている側を、例えば接着剤によって互いに結合されている
。このためにその都度１つの軸方向に向いた突起７２若しくは７３が役立ち、こ
れらの突起は互いに接合された状態において、互いに同心的に接触する。更に、
コップ構成部分７０，７１はそれらの開いている側の範囲において、半径方向で
延びている縁部７４若しくは７５を備えている。これらの縁部７４，７５のその
都度の、コップ構成部分７０，７１の開いている端面からの間隔は、それらが接
合された状態において、永久磁石リング２０の幅に等しい幅の環状溝７６が形成
されるように定められている。この解決策では、リング２０のピストン４上にお
ける確実な固定並びに可及的にわずかなピストン質量が達成される。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による振動ピストン駆動装置の１実施例の断面図を示す。

【図２】 本発明による振動ピストン駆動装置の別の実施例の断面図を示す。

【図３】 本発明による駆動装置を備えた振動ピストン真空ポンプを示す。

【図４】 その都度２つのピストンを有する振動ピストン真空ポンプの実施例を示す。

【図５】 その都度２つのピストンを有する振動ピストン真空ポンプの別の実施例を示す
。

【図６】 接続例を示す。

【図７】 別の接続例を示す。

【図８】 本発明による振動ピストン真空ポンプのための別の実施例を示す。

【符号の説明】

２ 外側のケーシング、 ３ シリンダ室、 ４ ピストン、 ４′ ピストン
、 ５ 走行ブッシュ、 ８ コイル、 ８′ コイル、 ８″ コイル、 １
０ 切り欠き、 １１ 極構成部分、 １１′ ヨーク構成部分、 １２ 極構
成部分、 １２′ ヨーク構成部分、 １５ 永久磁石、 １５′ 永久磁石、
１６ 永久磁石、 １６′ 永久磁石、 １８ 永久磁石、 １８′ 永久磁
石、 １９ 永久磁石、 １９′ 永久磁石、 ２０ 切り欠き、永久磁石リン
グ、 ２１ 極構成部分、 ２２ 極構成部分、 ２２′ 極構成部分、 ２３
極構成部分、 ２３′ 極構成部分、 ２４ 極構成部分、 ２５ ピストン
覆いディスク、 ２６ ピストン覆いディスク、 ３１ センサ構成部分、 ３
２ センサ構成部分、 ３４ 部分室、 ３４′ 圧縮室、 ３５ 部分室、
３５′ 圧縮室、 ３６ 入口、 ３７ 入口、 ４１ 出口弁、 ４１′ 出
口弁、 ４２ 出口弁、 ４２′ 出口弁、 ４３ 可とう性の皿、 ４４ 可
とう性の皿、 ４５ 出口室、 ４６ 出口室、 ４７ 出口、 ４８ 出口、
５０ ケーシングディスク、 ５１ ガス入口、 ５２ ガス出口、 ５３
ガス出口、 ５４ ガス出口、 ６１ ブロック、 ６２ ブロック、 ６３
ブリッジ回路、 ６４ 論理回路、 ６５ 直流電圧源、 ６６ スイッチ、
６７ スイッチ、 ７０ コップ構成部分、 ７１ コップ構成部分、 ７２
突起、 ７３ 突起、 ７４ 縁部、 ７５ 縁部、 ７６ 環状溝、 Ｕ 供
給電圧

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＵ，ＣＡ，Ｃ Ｚ，ＨＵ，ＪＰ，ＫＲ，ＮＯ，ＰＬ，ＴＲ，ＵＳ (72)発明者 ヨーゼフ ホダップ ドイツ連邦共和国 ケルン−ジュルツ ジ ンメラー シュトラーセ ７ベー (72)発明者 グンター クノル ドイツ連邦共和国 アーヘン イム ヴァ インガルテン 24 Ｆターム(参考） 3H076 AA21 BB26 CC03 CC84

Claims (28)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 特に振動ピストン真空ポンプのための振動ピストン駆動装置
   であって、ケーシング（２）と、ケーシング（２）内に構成されているシリンダ
   （３）と、シリンダ内で往復に運動可能なピストン（４）と、ピストン（４）の
   ための電磁駆動装置とを有し、この電磁駆動装置はステータ側に電磁石（１１）
   を、かつピストン側に少なくとも１つの永久磁石（１８，１９）を有している形
   式のものにおいて、ステータ側にも永久磁石（１５，１６）が設けられており、
   ピストン（４）の永久磁石（２０若しくは１８，１９）及びステータの永久磁石
   （１５，１６）が次のように、すなわちピストン（４）が休止状態において大体
   において軸方向の中央の位置を占めるように、構成されかつ配置されていること
   を特徴とする、振動ピストン駆動装置。
2. 【請求項２】 ピストン（４）がそれぞれ端面側に永久磁石（１８若しくは
   １９）を備えており、かつその都度ステータ側の永久磁石（１５若しくは１６）
   が、シリンダ（３）の端面側の領域にあることを特徴とする、請求項１記載の駆
   動装置 。
3. 【請求項３】 ステータ側の永久磁石（１５，１６）がシリンダ（３）内に
   あり、かつピストン（４）の端面がそれぞれ切り欠きを備えており、これらの切
   り欠きは、ステータ側の永久磁石（１５，１６）の寸法に相応していることを特
   徴とする、請求項１又は２記載の駆動装置。
4. 【請求項４】 ステータ側に極構成部分（ヨーク）（１１）が設けられてお
   り、この極構成部分は横断面をＵ形に構成されていて、かつそのＵ脚部がステー
   タ側の永久磁石（１５，１６）のところで終わっていることを特徴とする、請求
   項１から３までのいずれか１項記載の駆動装置。
5. 【請求項５】 Ｕ形に構成された極構成部分（１１）が単数又は複数のコイ
   ル（８，８′，８″）を３つの側からつかんでいることを特徴とする、請求項４
   記載の駆動装置。
6. 【請求項６】 単数又は複数のコイルとシリンダ（３）との間に、別の、ほ
   ぼ管区分形の極構成部分（１２）があることを特徴とする、請求項５記載の駆動
   装置。
7. 【請求項７】 永久磁石（１８，１９）に、ピストン（４）に軸方向に配置
   された極構成部分（２１，２２，２３，２４）が配属されていることを特徴とす
   る、請求項１から６までのいずれか１項記載の駆動装置。
8. 【請求項８】 ピストンが、軸方向でほぼ中心に配置された単に１つの永久
   磁石（２０）を備えていることを特徴とする、請求項１又は２記載の駆動装置。
9. 【請求項９】 それぞれステータ側に配置されている永久磁石（１５，１６
   ）がピストン側に配置された永久磁石（２０）の側方に並んで設けられており、
   ステータ側の永久磁石（１５，１６）の間隔がピストン運動の振幅に相応してい
   ることを特徴とする、駆動装置。
10. 【請求項１０】 軸方向で並んで位置する２つのコイル（８′，８）が設け
    られており、ヨーク（１１）がコイルを有しており、中央のヨーク構成部分（１
    １′）の端面がピストン側の永久磁石（２０）を取り囲んでおり、かつ、内側の
    軸方向に延びるヨーク構成部分の端面が、ステータ側の永久磁石（１５，１６）
    に外方から接触していることを特徴とする、請求項８又は９記載の駆動装置。
11. 【請求項１１】 回転対称的に構成されており、永久磁石（１５，１６，１
    ８，１９，２０）がそれぞれリング形に構成されていることを特徴とする、請求
    項１から１０までのいずれか１項記載の駆動装置。
12. 【請求項１２】 極構成部分及び又は磁力が、軸方向で対称的に構成されて
    いるか、若しくは選ばれていることを特徴とする、請求項１から１１までのいず
    れか１項記載の駆動装置。
13. 【請求項１３】 極構成部分及び又は磁力が、軸方向で非対称的に構成され
    ているか、若しくは選ばれていることを特徴とする、請求項１から１１までのい
    ずれか１項記載の駆動装置。
14. 【請求項１４】 ピストン位置を認識するためのセンサ（３１，３２）を備
    えていることを特徴とする、請求項１から１３までのいずれか１項記載の駆動装
    置。
15. 【請求項１５】 ピストン（４）及びシリンダ（３）によって形成されてい
    る両方の室（３４，３５）の少なくとも一方が、入口弁及び出口弁を備えている
    ことを特徴とする、請求項１から１４までのいずれか１項記載の振動ピストンポ
    ンプ。
16. 【請求項１６】 側方から室内に開口している入口導管（３６）が設けられ
    ており、その開口がピストン（４）と一緒に、入口弁を形成していることを特徴
    とする、請求項１５記載のポンプ。
17. 【請求項１７】 圧力又はピストンで制御される出口弁（４１，４２）が設
    けられていることを特徴とする、請求項１５又は１６記載のポンプ。
18. 【請求項１８】 出口弁（４１，４２）の閉鎖片（４３，４４）が皿として
    構成されており、大体においてシリンダ（３）の全横断面にわたって延びている
    ことを特徴とする、請求項１７記載のポンプ。
19. 【請求項１９】 皿（４３，４４）の閉鎖運動がばね力によって行われるこ
    とを特徴とする、請求項１８記載のポンプ。
20. 【請求項２０】 皿（４３，４４）の閉鎖運動が磁力によって行われること
    を特徴とする、請求項１８記載のポンプ。
21. 【請求項２１】 皿（４３，４４）が少なくとも部分的に強磁性材料から成
    っていて、かつステータ永久磁石（１５，１６，１５′，１６′）の外方の端面
    が弁座を形成していることを特徴とする、請求項２０記載のポンプ。
22. 【請求項２２】 単数又は複数のシリンダピストン対（３，４，３′，４′
    ）がケーシング（２）内に収容されていることを特徴とする、請求項１５から２
    １までのいずれか１項記載のポンプ。
23. 【請求項２３】 センサ（３１，３２）あるいは他のピストン位置に依存し
    た信号で制御されるスイッチ手段（６３，６６，６７）が、コイル（８，８′，
    ８″）の制御のために設けられていることを特徴とする、請求項１から２２まで
    のいずれか１項記載の駆動装置あるいはポンプ。
24. 【請求項２４】 ピストン運動の周波数及び又はコイル内の最大の電流があ
    らかじめ定められていることを特徴とする、請求項１３記載のポンプ又は駆動装
    置を運転する方法。
25. 【請求項２５】 終端位置に達する前に既に運動の逆転を行うことを特徴と
    する、請求項２４記載の方法。
26. 【請求項２６】 所属の駆動装置を、次にように、すなわち、ピストン（４
    ，４′）が１対ずつ逆向きに振動するように、制御することを特徴とする、請求
    項２２記載の、ポンプを運転する請求項２４又は２５記載の方法。
27. 【請求項２７】 ２つのコップ構成部分（７０，７１）から成っていて、こ
    れらのコップ構成部分はその開いている端面の範囲に結合手段（７２，７３）を
    備えていることを特徴とする、請求項１５から２２までの振動ピストンポンプ用
    のピストン。
28. 【請求項２８】 コップ構成部分（７０，７１）がその開いている端面の範
    囲に縁部（７４，７５）を備えており、これらの縁部は組み合わされた状態にお
    いて、磁石リング（２０）を収容する、環状溝（７６）を形成することを特徴と
    する、請求項８から１０までのいずれか１項記載のポンプのための、請求項２７
    記載のピストン 。