KR20020001830A - 회전 피스톤 구동 장치 - Google Patents

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KR20020001830A
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요제프 호다프
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토마스 플링엔
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Abstract

본 발명은 하우징(2), 상기 하우징 내에 형성된 실린더(3), 상기 실린더(3) 내에서 전후로 움직이는 피스톤(4), 및 고정자측에 전자석(11)을 가지고 피스톤측에 적어도 하나의 영구 자석(18, 19)을 갖는, 상기 피스톤(4)용 전자기 구동 장치를 포함하는 회전 피스톤 구동 장치, 특히 회전 피스톤 진공 펌프에 관한 것이다. 상기 구동 장치의 수명을 연장시키기 위해 고정자측에도 영구 자석(15, 16)이 제공되고, 상기 피스톤(4)의 영구 자석(들)(18, 19) 및 고정자의 영구 자석들(15, 16)은 상기 피스톤(4)이 정지 상태에서 중심 축방향 위치에 있게 되는 방식으로 형성 및 배치된다.

Description

회전 피스톤 구동 장치{ROTARY PISTON DRIVE MECHANISM}
상기 특징들을 가진 회전 피스톤 구동 장치가 DE-A-41 02 710에 공지되어있다. 종래 기술에 따른 상기 회전 피스톤 구동 장치에서는 실린더 내에 2 개의 스프링이 배치되며, 상기 스프링 중 각각 하나가 피스톤의 양쪽 단부 중 하나와 실린더의 관련 단부 사이에서 연장된다. 그로 인해 피스톤이 정지 상태에서 중앙 축방향 위치에 있을 수 있다. 나선형 스프링에 의해 지속적인 하중이 가해지는 경우 스프링 재료의 피로를 막을 수 없다. 따라서 종래 기술에 따른 회전 피스톤 구동 장치의 사용 수명은 스프링 재료의 수명으로 제한된다.
DE-A-41 02 710에 따른 회전 피스톤 구동 장치는 피스톤 및 실린더로 형성된 챔버 중 적어도 하나가 압축 챔버의 기능을 갖는 회전 피스톤 펌프의 구성 요소이다. 상기 챔버(들) 내에는 나선형 스프링이 배치되어있다. 상기 스프링에 의해 바람직하지 않은 데드 스페이스(dead space)가 형성됨으로써 펌프 작용에 악영향을미친다.
본 발명은 하우징, 상기 하우징 내에 형성된 실린더, 상기 실린더 내에서 전후로 움직이는 피스톤, 및 고정자측에 전자석을 가지고 피스톤측에 적어도 하나의 영구 자석을 갖는, 상기 피스톤용 전자기 구동 장치를 포함하는 회전 피스톤 구동 장치, 특히 회전 피스톤 진공 펌프에 관한 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 회전 피스톤 구동 장치의 2 개의 실시예의 단면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 구동 장치를 갖춘 회전 피스톤 진공 펌프이며,
도 4 및 도 5는 각각 2 개의 피스톤을 가진 회전 피스톤 진공 펌프의 실시예이고,
도 6 및 도 7은 회로도의 예이며,
도 8은 본 발명에 따른 회전 피스톤 진공 펌프의 제 2 실시예이다.
본 발명의 목적은 도입부의 언급한 방식의 회전 피스톤 구동 장치의 스프링 재료가 피로해지는 단점을 갖지 않도록 상기 장치를 개선시키는 것이다. 또한 상기 구동 장치는 회전 피스톤 진공 펌프에 사용하기에 매우 적합해야 한다.
상기 목적은 본 발명에 따라, 고정자측에 영구자석들이 제공되고, 상기 피스톤의 영구 자석(들) 및 고정자의 영구 자석들은 상기 피스톤이 정지 상태에서 중앙 축방향 위치에 있게 되는 방식으로 형성 및 배치됨으로써 달성된다. 정지 상태, 즉 전자석에 전류가 흐르지 않는 상태에서는 피스톤 및 고정자에 제공된 영구 자석에 의해 발생하는 자계가 중첩됨에 따라, 피스톤에 상기 피스톤을 축방향으로 센터링하는 힘이 작용하게 된다. 그로 인해 정지 상태에서는, 자력의 작용에 의해서만 야기되며 스프링과 같은 기계적인 추가 장치를 필요로 하지 않는 정해진, 예컨대 중간 피스톤 위치가 주어진다.
바람직하게는 상기 피스톤에 2 개의 영구 자석이 설치되며, 상기 영구 자석들은 각각 피스톤의 양쪽 단부면의 영역 내에 배치된다. 상기 피스톤측 영구 자석에는 각각 하나의 고정자측 영구 자석이 할당되며, 거의 동일한 반경방향 위치를 가진 실린더의 단부면 영역 내에 할당된다.
매우 간단한 해결책은 피스톤에 축방향으로 거의 중심에 배치된 단 하나의 영구 자석만 설치하는 것이다. 상기 링의 측면에는 각각 고정자측에 배치된 영구 자석이 존재하고, 그들과 상기 피스톤의 자석 링 사이의 간격은 피스톤 운동의 진폭을 결정하며, 피스톤이 사점에 근접하면 상기 피스톤의 바람직하게 감속된다.
고정자의 영구 자석들이 피스톤의 대응 영구 자석들에 대해 축방향으로 서로 반대로 자화되면, 상기 자석들의 자계가 반동력을 발생시킨다. 상기 반동력은 실린더 단부면에 근접한 피스톤이 감속되어 최종적으로는 피스톤의 역방향 운동이 유도되게 하는 작용을 한다. 장치 전체가 그의 크기뿐만 아니라 자계의 강도에 있어서도 대칭으로 설계되면, 피스톤은 전자석의 코일에 전류가 흐르지 않는 상태에서 축방향으로 중심 위치에 있게 된다.
본 발명에 따른 구동 장치를 회전 피스톤 진공 펌프에 사용하는 경우에는 축방향으로 비대칭적인 구조가 효과적일 수 있다. 왜냐하면 힘의 특성 곡선을 위해 대칭비가 중요하기 때문이다. 펌핑 프로세스동안 단부면에 놓인 펌프의 양쪽 압축 챔버의 부하가 대칭을 이루지 않으면, 구동 장치의 축의 비대칭 구조에 의해 적절한 힘의 특성 곡선이 사용될 수 있다.
도 1 내지 8에 개략적으로 도시된 실시예에 따라 본 발명의 추가적인 장점 및 세부 사항들이 설명된다.
도면에서는 각각의 외부 하우징이 도면부호 (2)로, 상기 하우징(2) 내에 형성된 실린더 챔버는 도면부호 (3)으로, 상기 실린더 (3) 내에 배치된 피스톤은 도면부호(4)로, 그리고 상기 피스톤의 실린더 라이너는 도면부호 (5)로 표시되어있다.
하우징 내에 배치된, 도 1 내지 도 5에 따른 전자기 구동 장치의 고정자 부품으로는 적어도 하나의 코일(8) 및 상기 코일(들)(8)을 3 개의 면으로 둘러싸는, U-형 횡단면을 가진, 안쪽으로 개방된 극편(11, 요크)이 있다. 또한 코일(8)과 실린더 라이너(5) 사이에 배치되는 파이프 단면형 극편(12, 도전 요크)이 제공된다. 결국 고정자 시스템에는 실린더(3)의 단부면 영역 내에 존재하는 2 개의 영구 자석(15, 16)이 포함된다. 요크(11)의 U자형 아암은 상기 영구 자석(15. 16)의 높이에서 끝난다.
전자기 구동 장치의 피스톤측 부품으로는 피스톤(4)의 단부면 영역 내에 배치되는 2 개의 영구 자석(18, 19)이 있다. 상기 영구 자석(18, 19)에는 반경 방향으로 극편(21 내지 24)이 할당된다. 바람직하게는 영구 자석들이 상기 극편으로 덮이고, 이 때 단부면에 배치된 커버(21, 24)는 중간 영역이 비강자성 재료로 이루어지는 피스톤 커버링 플레이트(25, 26)의 일부분일 수 있다.
도 1 내지 도 5에 도시된 구동 장치의 구조는 바람직하게는 회전 대칭 구조이다. 이 경우 링형 영구 자석이 형성되는 것이 바람직하며, 또한 상기 영구 자석은 고정자(15, 16)뿐만 아니라 피스톤(18, 19)에도 배치되는 것이 유리하다. 비회전 대칭 구조의 장치는 그의 제조와 관련하여 비용이 더 높을 수 있다.
도 1 내지 도 5에 도시된 모든 실시예에서는 피스톤에 각각 단부측에 배치된 2 개의 영구 자석(18, 19)이 제공된다. 상기 영구 자석들은 예컨대 파이프 형태로 피스톤(4)을 둘러싸는 일체형(단일형) 영구 자석으로 대체될 수도 있다.
바람직하게는 모든 도면에 따른 회전 피스톤 구동 장치가 센서 부품을 포함한다. 도 1 및 도 2에만 상기 센서 부품(31, 32)이 도시되어있다. 이들도 마찬가지로 링 형태로 형성된다. 각각의 센서 부품은 전자기 구동 장치의 양쪽 단부면 영역 내에 배치된다. 상기 센서들(31, 32)은 주로 상기 장치의 사점 영역 내에서의 피스톤 위치를 검출하는데 사용된다. 바람직하게는 상기 센서들(31, 32)이 링 코일로서 형성된다. 상기 링 코일 내로 유도된 전압이 상기 피스톤 위치에 따라 좌우됨으로써, 발생한 신호가 코일(들)(8)의 트리거링을 위해 사용될 수 있다. 상기 링 코일 대신에 홀 소자, 광 센서 또는 와전류 센서가 사용될 수도 있다.
도 1 및 도 2에 따른 회전 피스톤 구동 장치는 도전 요크(12)의 형태와 관련해서만 차이가 있다. 도 1에 따른 실시예에서는 도전 요크가 축방향으로 대칭을 이루도록 형성된다. 따라서 피스톤(4)에 작용하는 구동력도 마찬가지로 대칭을 이룬다. 도 2에 따른 실시예에서는 도전 요크(12)가 축방향으로 비대칭적으로 형성된다. 센서 코일 (32)와의 거리가 센서 코일 (31)과의 거리보다 더 짧다. 따라서 피스톤(4)의 영구 자석 (19)상에 배치된 센서 코일(32)의 영역 내에서 가해지는 구동력이 영구 자석 (18)의 영역 내에서의 상응하는 구동력보다 더 크다. 이러한 효과는 예컨대 커버링 플레이트(21 내지 24), 요크(11)의 아암 또는 그와 유사한 형태의 다른 극편들이 축방향으로 비대칭을 이루도록 형성되는 것을 통해서도 얻을 수 있다. 도 1 및 도 2에 따른 회전 피스톤 구동 장치의 나머지 부분은 매우 개략적으로 도시되어있다. 피스톤(4)에 연결되는 구동 부재들은 생략되어있다.
도 3은 본 발명에 따른 회전 피스톤 구동 장치를 갖춘 회전 피스톤 진공 펌프를 나타낸다. 본 실시예에서는 실린더(3), 피스톤(3)의 단부면 및 실린더 라이너(5)가 압축 챔버의 기능을 가진 부분 챔버(34, 35)를 형성한다. 상기 펌프단들은 각각 하나의 유입구(36, 37)를 가지며, 상기 유입구는 압축 챔버(34 또는 35)의 측면으로 통한다. 그로 인해 피스톤 및 개구가 공지된 방식으로 유입-제어 밸브의 기능을 가진다.
배기 밸브(41, 42)는 각각 단부면에 배치된다. 바람직하게는 배기구가 실린더(3)의 전체 횡단면에 걸쳐 연장된다(DE-A-196 34 517에 공지됨). 폐쇄 부재들은 실린더(3)의 전체 횡단면에 걸쳐 연장되는 유연한 디스크(43, 44)로서 형성되며, 하우징(2)의 중심에 고정되고, 발생한 압력 또는 피스톤의 단부면에 의해 부차적으로 작동된다. 도 3에 따른 실시예에서는 피스톤 단부면이 오목하게 형성된다. 실린더 벽의 단부면 또는 - 도 3에 도시된 바와 같이 - 고정자측 영구 자석(15, 16)의 외부 단부면이 밸브 시트를 형성한다. 밸브(41, 42)로부터 배출된 기체는 먼저 배기구(47, 48)에 연결된 배기 챔버(45, 46)로 유입된다.
도 3에 따른 실시예에서는 실린더(3) 내에 고정자-영구 자석(15, 16)이 배치된다. 피스톤의 단부면에 상기 자석의 크기에 상응하는 외부 리세스(10, 20)가 설치된다. 이러한 방법은 펌프가 작동하는 동안 데드 스페이스가 형성되는 것을 막는데 사용된다.
도 4 및 도 5는 하나의 공통 중앙 하우징 플레이트(50)를 가진 하우징(2) 내에 각각 2 개의 동형 피스톤(4, 4')이 설치된 회전 피스톤 펌프의 실시예를 나타낸다. 구동 장치는 상기 2 개의 피스톤(4, 4')이 반대 방향으로 회전하도록 형성 및 제어된다. 그로 인해 야기된 질량 보정으로 인해 펌프가 진동하지 않게 된다.
도 4에 따른 실시예에서는 상기 2 개의 피스톤(4, 4')의 2 개의 펌프단이 병렬 접속된다. 각각 선에 의해 개략적으로 도시된 기체 경로를 통해, 운반될 기체가 기체 유입구(51)로부터 압축 챔버(35 및 34')로 전달된다는 것을 알 수 있다. 기체는 배기 밸브(42, 41')를 통해 압축 챔버를 빠져나간다. 거기로부터 각각 압축 챔버 (34) 또는 (35')로 전달된다. 양쪽의 기체 배출이 도면부호 (52) 및 (53)으로 표시되어있다.
도시된 배기 밸브 (41, 42) 및 (41', 42')는 도 3에 따른 실시예에서와 유사하게 형성된다. 차이점은, 피스톤(4, 4')의 단부면이 오목하게 형성되지 않고, 상기 단부면에 관련 밸브 디스크를 작동시키는 태핏이 설치된다는 점이다. 상기 방식의 배기 밸브의 다른 실시예들은 DE-A-196 34 517에 공지되어있다.
도 3에 따른 해결책과의 또 다른 차이점은, 피스톤(4 및 4')의 양 구동 장치가 각각 축방향으로 비대칭을 이루어 형성된다는 점이다. 요크 부품(12, 12')이 각각의 기체 배출측을 향해 연장된다. 피스톤(4, 4')의 배출측 영구 자석(18 및19')은 모두 극편 (21, 22) 또는 (21', 22')로 덮이는 반면, 내부 영구 자석(19, 18')에는 각각 하나의 극편 (23) 또는 (23')만 할당된다. 상기 조치를 통해 대기압에 대해 외부 펌프단이 펌핑 동작을 한다는 사실에 구동 장치의 힘의 특성곡선이 매칭된다.
도 5에 따른 실시예에서는 4 개의 펌프단이 연이어 접속된다. 유입구(51)로부터 배출구(54)로 운반된 기체는 압축 챔버(34', 34, 35, 35')를 통해 차례로 도달한다. 도 5에 따른 해결책은 밸브(41, 42, 41', 42')의 폐쇄 동작이 자기적으로 조작된다는 특수성을 가진다. 디스크형 폐쇄 부재는 적어도 일부(예: 외벽)가 강유전성 재료로 이루어짐에 따라, 고정자 영구 자석(15, 16, 15', 16')이 인력을 가한다. 디스크의 개방은 압력 제어에 의해 또는 피스톤 제어에 의해 이루어지는 반면, 폐쇄 동작은 자력에 의해 일어난다.
도 6 및 도 7은 센서 부품이 장착된 회전 피스톤 구동 장치의 회로도의 예를 나타낸다. 구동 장치의 부품들은 각각 블록 (61)에, 전자 장치의 부품들은 블록 (62)에 배치된다.
도 6은 센서(31, 32)의 신호에 따라 제어되는 단 하나의 코일(8)을 사용하는 방법을 나타낸다. 제어에는 4 개의 스위치를 포함하는 브리지 회로(63)가 사용되고, 상기 브리지 회로(63)의 한 쪽으로는 공급 전압(U)이, 다른 한 쪽으로는 로직(64) 내에서 처리된 센서(31, 32)의 신호가 공급된다. 4 개의 파워 일렉트로닉 스위치는 상기 로직(64)에 의해, 상기 코일(8)의 두 단자가 코일 내 바람직한 전류 방향에 따라 직류 전압 공급원(65)의 음극 또는 양극에 연결되도록 제어된다.
도 7에 따른 장치에서는 구동 장치의 코일 룸 내에 반대 방향으로 감긴 2 개의 코일(8' 및 8")이 배치된다. 이들은 서로 나란히 배치되거나, 동심으로 배치될 수 있다. 이 경우 상기 2 개의 코일에 단 하나의 전류전도 방향만이 가능해야만 한다. 따라서 코일의 한 쪽 단부는 직류 전압(U)의 양극에 고정 연결되는 반면, 다른 쪽 단부들은 2 개의 파워 일렉트로닉 스위치(66, 67)에 의해 직류 전압(U)의 음극에 교대로 연결된다. 상기 2 개의 스위치의 제어는 상위 사점 및 하위 사점에서 센서(31, 32)에 의해 직접 이루어진다. 상기 장치는 파워 일렉트로닉 복잡도를 최소화한다. 그러나 상기 장치는 코일 룸의 사용 효율을 저하시킨다.
구동 장치 내에 센서 부품이 생략될 가능성이 있다. 이 경우 고정자 내에 유도된 전압이 피스톤 위치의 검출을 위한 정보로서 코일(들) 내로 공급되고, 상기 정보에 의해 코일(들)의 전류 공급이 유도될 수 있다.
코일(들)의 제어와 관련하여 많은 변형예가 구현될 수 있다. 제 1 변형예의 경우 공진 주기가 사전 설정되고, 상기 주기에 도달되도록 코일(들) 내의 전류가 사전설정된다. 각각의 최종 위치에서는 운동 방향이 전환된다. 이러한 처리 방식을 외부 제어(external control)라고 한다. 상기 원리는 프로세스 부하가 매우 큰 경우 펌프의 과부하가 초래될 수 있다는 단점을 갖는다.
제 2 제어 법칙에서는 자기 제어의 원리가 사용된다. 이 경우에는 코일(들) 내의 최대 전류가 사전설정되고, 부하가 너무 클 때는 공진 주기가 감소된다. 여기서도 피스톤이 각각의 최종 위치에 이르게 되면 운동 방향이 전환된다.
제 3 제어 법칙의 경우, 최종 위치에 도달되기 전에 이미 운동 방향이 전환된다는 점에서 제 2 변형예가 변형된 것이다. 따라서 회전 피스톤 모터는 "펌핑(독: Anpumpen)"시 또는 너무 높은 부하가 지속될 때 과부하에 대해 보호될 수 있다. 추가로 시스템이 더 작은 힘에 대해 설계될 수 있고, 따라서 더 저렴한 비용으로 구현될 수 있다. 이는 제 2 제어 법칙의 경우에도 적용된다.
도 8에 도시된, 본 발명에 따른 회전 피스톤 진공 펌프의 실시예는 피스톤(4)에 축방향으로 중심에 배치되는 단 하나의 영구 자석 링(20)만 설치된다는 점에서 도 3에 따른 실시예와 차이가 있다. 상기 영구 자석 링(20)이 피스톤(4)의 재킷을 둘러쌈으로써, 2 개의 고정자측 영구 자석(15, 16)이 피스톤 운동의 진폭에 상응하는 간격으로 측면에 배치될 수 있다. 직선형 구동 장치의 고정자측 부분은 상기와 같은 영구 자석(15, 16, 20)의 구조에 적합하다. 중앙 요크 부품(11')을 가진 요크(11)에 의해 둘러싸인 2 개의 코일(8', 8")이 제공된다. 반경 방향으로 안쪽을 향하는 중심부의 요크 부품(11')의 단부면이 영구 자석 링(20)을 둘러싼다. 축방향으로 뻗는 내부 요크 부품의 단부면은 외부의 고정자측 영구 자석(15, 16)에 인접한다.
또한 도 8을 통해 피스톤(4)의 바람직한 구조를 알 수 있다. 상기 피스톤(4)은 예컨대 2 개의 포트 부품(70, 71)으로 구성되며, 상기 포트 부품들은 그들의 개방된 측면 영역내에서 예컨대 피스톤을 통해 서로 연결된다. 이를 위해 서로 동심으로 결합된 상태에 있는, 각각 축을 향하는 돌출부(72 내지는 73)가 사용될 수 있다. 또한 상기 포트 부품(70, 71)의 개방된 측면 영역 내에 각각 반경 방향으로 뻗는 에지(74, 75)가 설치된다. 상기 에지(74, 75)와 상기 포트부품(70, 71)의 개방된 각 단부면 사이의 간격은 이들이 조립된 상태에서 영구 자석 링(20)의 폭에 상응하는 폭을 가진 순환 너트(76)를 형성하도록 선택된다. 상기 해결책에 의해 피스톤(4)에 링(20)이 확실하게 고정될 수 있고, 가능한 한 적은 피스톤 질량이 달성될 수 있다.

Claims (28)

  1. 하우징(2), 상기 하우징 내에 형성된 실린더(3), 상기 실린더(3) 내에서 전후로 움직이는 피스톤(4), 및 고정자측에 전자석(11)을 가지고 피스톤측에 적어도 하나의 영구 자석(18, 19)을 갖는, 상기 피스톤(4)용 전자기 구동 장치를 포함하는 회전 피스톤 구동 장치, 특히 회전 피스톤 진공 펌프에 있어서,
    고정자측에도 영구 자석(15, 16)이 제공되고, 피스톤(4)의 영구 자석(들)(18, 19) 및 고정자의 영구 자석(15, 16)은 상기 피스톤(4)이 정지 상태에서 중심 축방향 위치에 있도록 형성 및 배치되는 것을 특징으로 하는 회전 피스톤 구동 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 피스톤(4)의 단부면에 각각 하나의 영구 자석(18 또는 19)이 설치되고, 각각 하나의 고정자측 영구 자석(15 또는 16)은 상기 실린더(3)의 단부면 영역에 배치되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  3. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    상기 고정자측 영구 자석(15, 16)이 실린더(3) 내에 배치되고, 상기 피스톤(4)의 단부면에는 각각 상기 고정자측 영구 자석(15, 16)의 크기에 상응하는 홈이 설치되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  4. 제 1항 내지 3항 중 어느 한 항에 있어서,
    고정자측에 하나의 극편(요크, 11)이 제공되고, 상기 극편의 횡단면이 U자형으로 형성되며, 상기 극편의 U자형 아암이 고정자측 영구 자석(15, 16)의 높이에서 끝나는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 U자형으로 형성된 극편(11)이 3면으로 된 하나 이상의 코일(8. 8', 8")을 둘러싸는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 코일(들)과 실린더(3) 사이에 예컨대 파이프 단면 형태의 추가 극편(12)이 배치되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  7. 제 1항 내지 6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 피스톤(4)의 영구 자석(18, 19)에 축방향으로 배치된 극편(21 내지 24)이 할당되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  8. 제 1항 또는 2항에 있어서,
    상기 피스톤에는 축방향으로 거의 중심부에 배치된 단 하나의 영구 자석(20)이 설치되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    고정자측에 배치된 각각의 영구 자석(15, 16)은 피스톤측에 배치된 영구 자석(20) 옆의 측면에 제공되고, 상기 고정자측 영구자석(15, 16)간의 간격은 피스톤 운동의 진폭에 상응하는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  10. 제 8항 또는 9항에 있어서,
    축방향으로 연달아 놓인 2 개의 코일(8', 8")이 제공되고, 요크(11)가 코일들을 둘러싸며, 중심부의 요크 부품(11')의 단부면은 피스톤측 영구 자석(20)을 둘러싸며, 축방향으로 뻗는 내부 요크 부품의 단부면은 외부의 고정자측 영구 자석(15, 16)에 인접하는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  11. 제 1항 내지 10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동 장치가 회전 대칭 방식으로 형성되고, 상기 영구 자석들(15, 16, 18, 19, 20)은 각각 링형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  12. 제 1항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 극편 및/또는 자력이 축방향으로 대칭이 되도록 형성 또는 선택되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  13. 제 1항 내지 11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 극편 및/또는 자력이 축방향으로 비대칭이 되도록 형성 또는 선택되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  14. 제 1항 내지 13항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동 장치에 피스톤 위치를 검출하기 위한 센서(31, 32)가 설치되는 것을 특징으로 하는 구동 장치.
  15. 제 1항 내지 14항 중 어느 한 항에 따른 구동 장치를 갖춘 회전 피스톤 진공 펌프에 있어서,
    상기 피스톤(4) 및 실린더(3)로 구성된 2 개의 챔버(34, 35) 중 적어도 하나에 흡기 밸브 및 배기 밸브가 설치되는 것을 특징으로 하는 회전 피스톤 진공 펌프.
  16. 제 15항에 있어서,
    측면에서 상기 챔버 내로 이르는 유입 라인(36)이 제공되고, 상기 유입 라인의 개구가 피스톤(4)과 함께 흡기 밸브를 형성하는 것을 특징으로 하는 펌프.
  17. 제 15항 또는 16항에 있어서,
    압력에 의해 또는 피스톤에 의해 제어되는 배기 밸브(41, 42)가 제공되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  18. 제 17항에 있어서,
    상기 배기 밸브(41, 42)의 폐쇄 부재(43, 44)가 디스크의 형태로서 형성되고, 실린더(3)의 전체 횡단면에 걸쳐 연장되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  19. 제 18항에 있어서,
    상기 디스크(43, 44)의 폐쇄 동작이 스프링력에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  20. 제 18항에 있어서,
    상기 디스크(43, 44)의 폐쇄 동작이 자력에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  21. 제 20항에 있어서,
    상기 디스크(43, 44)가 적어도 부분적으로 강유전성 재료로 이루어지며, 상기 고정자 영구 자석들(15, 16, 15', 16')의 외부 단부면들이 밸브 시트를 형성하는 것을 특징으로 하는 펌프.
  22. 제 15항 내지 21항 중 어느 한 항에 있어서,
    하나 이상의 실린더 쌍/피스톤 쌍(3, 4, 3', 4')이 하우징(2) 내에 설치되는 것을 특징으로 하는 펌프.
  23. 제 1항 내지 22항 중 어느 한 항에 따른 구동 장치 또는 펌프에 있어서,
    센서(31, 32)에 의해 또는 다른 피스톤 위치에 따른 신호에 의해 제어되는 스위칭 수단(63, 66, 67)이 코일(들)(8, 8', 8")의 제어를 위해 제공되는 것을 특징으로 하는 구동 장치 또는 펌프.
  24. 제 13항에 따른 구동 장치 또는 펌프를 작동시키기 위한 방법에 있어서,
    상기 피스톤 운동의 주기 및/또는 코일(들) 내 최대 전류가 사전설정되는 것을 특징으로 하는 방법.
  25. 제 24항에 있어서,
    최종 위치에 도달하기 전에 이미 운동 방향이 전환되는 것을 특징으로 하는 방법.
  26. 제 22항에 따른 펌프를 작동시키기 위한, 제 24항 또는 25항에 따른 방법에 있어서,
    해당 구동 장치는 피스톤(4, 4')이 쌍을 이루어 반대 방향으로 진동하도록제어되는 것을 특징으로 하는 방법.
  27. 제 15항 내지 22항에 따른 회전 피스톤 펌프용 피스톤에 있어서,
    상기 피스톤의 2 개의 포트 부품(70, 71)으로 구성되고, 상기 포트 부품의 개방된 단부면 영역에 연결 부재(72, 73)가 설치되는 것을 특징으로 하는 피스톤.
  28. 제 8항 내지 10항 중 어느 한 항에 따른 펌프를 위한, 제 29항에 따른 피스톤에 있어서,
    상기 포트 부품(70, 71)의 개방된 단부면 영역에 에지(74, 75)가 설치되고, 상기 에지들은 조립된 상태에서 자석 링(20)의 수용을 위한 링 너트(76)를 형성하는 것을 특징으로 하는 피스톤.
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