JP2002542088A - マイクロ電子機械の液体射出装置における作動装置の制御 - Google Patents

マイクロ電子機械の液体射出装置における作動装置の制御

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JP2002542088A JP2000613652A JP2000613652A JP2002542088A JP 2002542088 A JP2002542088 A JP 2002542088A JP 2000613652 A JP2000613652 A JP 2000613652A JP 2000613652 A JP2000613652 A JP 2000613652A JP 2002542088 A JP2002542088 A JP 2002542088A
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Abstract

(57)【要約】 液体射出装置（１）（インクジェット印刷装置等）に対する液流、及び同装置からの液流を制御する方法。該装置はノズルチャンバ（２）と、該ノズルチャンバの液体射出口（４）と、該射出口を通して液体を射出するために該チャンバー内に位置する可動部材（６０）とを有する。該方法は、可動部材（６０）が、それが静止した第１の位置から液体を射出する第２の位置へ第１平均速度で移動するように、可動部材（６０）を変位させた後、、第１の平均速度より遅い第２の平均速度で、第２の位置から第１の位置へ可動部材を復帰する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 発明の分野 本発明はマイクロ電子機械装置において作動装置を制御する方法に関する。こ
こではインクジェットプリンタについて発明を説明するが、本発明はマイクロ電
子機械ポンプ等の他のマイクロ電子機械装置にも適用できる。
【０００２】 発明の背景 マイクロ電子機械装置は、最近ますます良く知られるようになっており、通常
、半導体の組立技術を使用して構成される。
【０００３】 マイクロ電子機械装置の再検討として、１９９８年１２月発行の「電気電子技
術者協会スペクトル」（IEEE Spectrum）２４〜３３ページに発表された、エス
．トム ピクロウ（S.Tom Picraux）とポール ジェイ．マクワーター（Paul J.Mc
Whorter）の「集積マイクロシステムの幅広い展望」（The Broad Sweep of Inte
grated Micro Systems）という記事を考察することができる。
【０００４】 マイクロ電子機械装置の一型式として、インクジェット印刷装置があり、イン
ク射出ノズルチャンバによってこの印刷装置からインクが射出される。多くの形
態のインクジェット印刷装置が公知である。この分野の調査として、「出力ハー
ドコピー装置」（Output Hard Copy Devices）、アール．デューベック（R. Dub
eck）及びエス．セル（S. Sherr）編集、２０７〜２２０ページ（１９８８年）
における、ジェイ．モーア（J. Moore）の「ノン−インパクトプリンティング：
導入と歴史的展望」（Non-Impact Printing: Introduction and Historical Per
spective）と題された記事を参照する。
【０００５】 最近本出願人はインクジェット印刷の新規の形態を開発したが、これはマイク
ロ電子機械インクジェット（ＭＥＭＪＥＴ）技術と称する。ＭＥＭＪＥＴ技術の
１つの実施形態では、インク射出ノズルチャンバから微量のインクを射出するた
めに、電子機械作動装置によりチャンバの射出ノズルに向けて移動されるパドル
またはプランジャによって、インク射出ノズルチャンバからインクが射出される
。
【０００６】 本発明は、ＭＥＭＪＥＴ技術においてまた他のマイクロ電子機械装置において
使用される熱作動装置に関する。
【０００７】 発明の要約 本発明は、ノズルチャンバと、ノズルチャンバの液体射出口と、射出口を介し
て液体を射出するためにチャンバ内に位置する可動部材とを有する液体射出装置
に対する液流、及び同装置からの液流を制御する方法を提供するものとして広範
囲に定義することができる。該方法は、可動部材が、該可動部材が静止する第１
の位置から液体を射出する第２の位置へ第１の平均速度で移動し、且つ、前記第
１の平均速度より遅い第２の平均速度で、第２の位置から第１の位置へ可動部材
が復帰すように、可動部材を作動させることを特徴する。
【０００８】 可動部材は好ましくは一次的励磁パルスの印加によって第１の位置から第２の
位置へと変位され、第１の励磁パルスのものより短い持続期間を有する少なくと
も１つの二次的励磁パルスの印加によって第２の位置から第１の位置への変位が
遅滞される。
【０００９】 更に本発明は、ノズルチャンバと、ノズルチャンバの液体射出口と、射出口を
通して液体を移動するために、チャンバ内に位置する可動部材と、チャンバ内で
静止した第１の位置から液体を射出する第２の位置へ可動部材が変位される作動
装置とを備えた液体射出装置を提供するものとして広範囲に定義することができ
る。さらに、第１の平均速度で第１の位置から第２の位置へ可動部材を動かした
後、第１の平均速度より遅い第２の平均速度で第２の位置から第１の位置へ可動
部材の復帰させるように、作動装置の作動を制御する手段も提供する。
【００１０】 液体射出装置内の可動部材は、好ましくはパドルを備え、第１の位置から第２
の位置へ移動した時、射出口から次の射出をするために液体が通過する穴を開け
る。また好ましくは、第２の位置から第１の位置へパドルが動いている間、穴を
通る液体の逆流を抑制するために、液体射出装置は穴に隣接した一連のバッフル
を含む。
【００１１】 好適実施例の説明 本発明は、他の形態もその範囲に属するが、ここでは添付図面を参照して、本
発明の好適形態を例にとって説明する。
【００１２】 図１はインク射出装置１を示す。装置１は、ノズルチャンバ２と、射出口４を
通してチャンバ２からインクを射出するためにノズルチャンバ２内に位置するパ
ドル６０とを備えている。パドル６０は、熱作動装置１０に接続され、それはイ
ンク射出のために射出口４に向けてパドル６０を動かした後、それが静止する第
１位置へパドル６０を復帰させるために使用される。
【００１３】 図１Ａは、図１に示した装置の詳細を示す。ノズルチャンバ２は、その壁構造
物１１に形成されたノズルチャンバリム３と第２のリム４とを備えている。パド
ル６０は第１の位置に示されている。
【００１４】 作動装置１０の作動と同時に、パドル６０は図２に示すように上方に動かされ
る。これは、矢印６で示すように、パドル６０の背後においてインク供給チャネ
ル５２からのインクの急速な上向きの流れを生じさせる。インクの小滴がインク
射出ノズルから射出されるにつれて、矢印７で示すように、相応量のインクがノ
ズルチャンバへ流れ込む。流れ込んだインクが再びノズルチャンバ２を満たす。
【００１５】 その後、作動装置が非作動化され、パドル６０が図３の矢印５０で示すように
、その静止位置へ復帰し始める。
【００１６】 ノズルチャンバの壁構造物１１が一連のリム３と４を備えているので、インク
供給チャネル５２へのインクの逆流が妨げられる。これは、矢印９で示すように
、ノズルチャンバへのインクの前方への流れを容易にし、射出後のインクを補充
する。また、矢印９の方向にインクの前方への流れを更に助けるために、後述す
る制御方法でパドル６０が復帰される。
【００１７】 図４は、作動装置１０を通して電流を駆動するために使用される電圧パルスの
波形を示している。本出願人が２０００年２月１１日に出願した国際特許出願番
号ＰＣＴ／ＡＵ００／０００９５に記載されているように、電流が作動装置１０
の加熱と、その結果として作動装置１０の曲げ変形を誘発して、パドル６０を第
１の位置から第２の位置へ移動させる。電圧と、その結果として、作動装置１０
を駆動するための図４に示すような電流パルス１００とは、通常１．５μsecの
期間印加される。作動装置の変位と、パドル移動とが、図５において参照符号１
２で示される最大レベルまで急激に上昇した後、電圧パルス期間終了に続いて、
図５において参照符号１３で示されるように、略同速度で降下する。第２の位置
から第１の位置へ移動の際、パドル６０の変位の平均速度は、第１の位置から第
の２位置へのパドルの変位の平均速度に略等しい。
【００１８】 本発明の好適実施例では、作動装置１０の変位の復帰速度、従ってパドルの移
動も遅くなるが、これは作動装置１０に一層短い持続期間の駆動電圧（及び電流
）パルス１６を印加することにより達成される。これは、パドル６０に対する変
位時間を延ばす、換言すれば、図７において参照符号１７で示すように、第２位
置から第１位置へのパドル６０の復帰の平均速度を減少させる効果がある。
【００１９】 図７に示す変位プロットは、比較的長いパルス１１０の発生に続いて、短い持
続期間のパルス１６を発生させることにより、特別な要求に応じるために更に延
長することができる。
【００２０】 パドルが静止する第１位置へのパドル６０の緩やかな復帰は（第２位置に向か
うパドル６０の急速な動きに比較して）、ノズルチャンバへの増大したインクの
流れを許容するが、これは入口チャネル５２からチャンバ内へ流れるインクに対
して、減少した背圧が加えられることから生じる。
【００２１】 以上熱作動化される作動装置１０を利用するインク射出システムについて本発
明の実施例を説明したが、他のタイプの作動装置にも適用できる。例えば、熱作
動装置の代替として、圧電式作動装置または形状記憶合金作動装置を使用しても
よい。
【００２２】 したがって、閉運動の間に変位時間を増大させ、その結果各々の方向への運動
速度を変化させる目的で、上述したものとは異なる方法で作動装置を制御しても
よい。
【００２３】 特許請求の範囲において限定される発明の範囲から逸脱しなければ上述の例に
変形及び変更を加えてもよい。
【図面の簡単な説明】
図１は、インクジェットプリンタのインク射出ノズルチャンバの一部を示す断
面図である。 図１Ａは、図１のノズルチャンバの一部を示す図であって、ノズルチャンバの
パドルが静止した第１位置にある状態を示す。 図２は、図１のノズルチャンバの一部を示す図であって、ノズルチャンバのパ
ドルが静止した第１位置に復帰した状態を示す。 図４は、ノズルチャンバのパドル作動装置に印加される駆動電圧の特性図であ
る。 図５は、図４に示した駆動電圧の印加時間とパドル作動装置の変位の関係を示
すグラフである。 図６は、本発明の好適形態によるパドル作動装置に印加される駆動電圧の特性
図である。 図７は、図６に示した駆動電圧の印加時間とパドル作動装置の変位の関係を示
すグラフである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ， ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，Ｋ Ｐ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ， ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，Ｓ Ｇ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ノズルチャンバと、前記ノズルチャンバの液体射出口と、該射出
    口を介して液体を射出するために前記チャンバ内に位置する可動部材とを有する
    液体射出装置に対する液流、及び前記液体射出装置からの液流を制御する方法で
    あって、前記可動部材が、該可動部材が静止する第１の位置から液体を射出する
    第２の位置へ第１の平均速度で移動し、且つ、前記第１の平均速度より遅い第２
    の平均速度で前記第２の位置から前記第１の位置へ復帰するように、前記可動部
    材を作動させることを特徴とする液流制御方法。
  2. 【請求項２】 前記可動部材が、一次的励磁パルスの印加によって前記第１の位
    置から前記第２の位置へ変位されるとともに、前記第１の励磁パルスより短い期
    間、少なくとも１つの二次的励磁パルスを印加することによって前記第２の位置
    から前記第１の位置への前記可動部材の変位を遅滞させることを特徴とする請求
    項１記載の液流制御方法。
  3. 【請求項３】 ノズルチャンバと、前記ノズルチャンバの液体射出口と、前記射
    出口を通して液体を射出するために、前記チャンバ内に位置する可動部材と、前
    記チャンバ内において、静止した第１の位置から液体を射出する第２の位置へ前
    記可動部材を変位させるための作動装置と、前記可動部材が、前記第１の位置か
    ら前記第２の位置へ第１平均速度で移動した後、前記第１の平均速度より遅い第
    ２の平均速度で前記第２の位置から前記第１の位置へ復帰するように、前記作動
    装置の作動を制御する手段とを備えることを特徴とする液体射出装置。
  4. 【請求項４】 前記可動部材がパドルを備え、該パドルが、前記第１の位置から
    前記第２の位置へ移動した時、前記射出口より次の射出をするために液体が通過
    する穴を開くことを特徴とする請求項３記載の液体射出装置。
  5. 【請求項５】 前記作動装置は、前記パドルに接続された、前記パドルの変位す
    るための電流の通過により作動される熱作動装置を備えることを特徴とする請求
    項４記載の液体射出装置。
  6. 【請求項６】 前記作動装置が、第１の持続期間の電流の印加によ前記り第１の
    位置から前記第２の位置へ前記パドルを曲げ変位させるとともに、前記第１の持
    続期間終了に続いて元の状態に復帰することが許容され、電流パルスの前記第１
    の持続期間より短い持続期間、第２の電流パルスを印加することによって作動装
    置が元の状態に復帰することを遅滞させることを特徴とする請求項５記載の液体
    射出装置。
  7. 【請求項７】 前記第２の位置から前記第１の位置へ前記パドルが移動している
    間、前記穴を通る液体の逆流を抑制するために、前記穴に隣接して一連のバッフ
    ルが設けられていることを特徴とする請求項４記載の液体射出装置。
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2004202250B2 (en) * 1999-04-22 2006-08-10 Silverbrook Research Pty Ltd Long life actuator element
US7095309B1 (en) 2000-10-20 2006-08-22 Silverbrook Research Pty Ltd Thermoelastic actuator design
AU2004202942B2 (en) * 2000-10-20 2004-09-16 Zamtec Limited Method for operating nozzles in an ink jet printhead
US6457812B1 (en) * 2000-10-20 2002-10-01 Silverbrook Research Pty Ltd Bend actuator in an ink jet printhead
AU2004233538B2 (en) * 2000-10-20 2006-03-09 Memjet Technology Limited An inkjet nozzle structure having a structure for correcting the direction of ink ejection
US6561627B2 (en) * 2000-11-30 2003-05-13 Eastman Kodak Company Thermal actuator
US6435666B1 (en) * 2001-10-12 2002-08-20 Eastman Kodak Company Thermal actuator drop-on-demand apparatus and method with reduced energy
US6460972B1 (en) * 2001-11-06 2002-10-08 Eastman Kodak Company Thermal actuator drop-on-demand apparatus and method for high frequency
US7052117B2 (en) 2002-07-03 2006-05-30 Dimatix, Inc. Printhead having a thin pre-fired piezoelectric layer
US6896346B2 (en) * 2002-12-26 2005-05-24 Eastman Kodak Company Thermo-mechanical actuator drop-on-demand apparatus and method with multiple drop volumes
US6848771B2 (en) * 2003-06-30 2005-02-01 Eastman Kodak Company Method of operating a thermal actuator and liquid drop emitter with multiple pulses
US8491076B2 (en) 2004-03-15 2013-07-23 Fujifilm Dimatix, Inc. Fluid droplet ejection devices and methods
US7281778B2 (en) 2004-03-15 2007-10-16 Fujifilm Dimatix, Inc. High frequency droplet ejection device and method
KR20070087223A (ko) 2004-12-30 2007-08-27 후지필름 디마틱스, 인크. 잉크 분사 프린팅
WO2008067581A1 (en) * 2006-12-04 2008-06-12 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet nozzle assembly having thermal bend actuator with an active beam defining substantial part of nozzle chamber roof
US7988247B2 (en) 2007-01-11 2011-08-02 Fujifilm Dimatix, Inc. Ejection of drops having variable drop size from an ink jet printer
US8025367B2 (en) 2008-10-17 2011-09-27 Silverbrook Research Pty Ltd Inkjet printhead with titanium aluminium alloy heater
JP5456786B2 (ja) * 2008-10-17 2014-04-02 ザムテック・リミテッド チタンアルミニウム合金ヒータを備えるインクジェットプリントヘッド
CN107188113B (zh) * 2017-06-05 2019-03-12 东南大学 一种纳米位移执行器
JP6999317B2 (ja) * 2017-07-21 2022-01-18 東芝テック株式会社 インクジェットヘッド及びインクジェットプリンタ

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3683212A (en) * 1970-09-09 1972-08-08 Clevite Corp Pulsed droplet ejecting system
US3857049A (en) * 1972-06-05 1974-12-24 Gould Inc Pulsed droplet ejecting system
US5231306A (en) * 1992-01-31 1993-07-27 Micron Technology, Inc. Titanium/aluminum/nitrogen material for semiconductor devices
JPH063369A (ja) * 1992-04-20 1994-01-11 Fujitsu Ltd 加速度計
JPH07310170A (ja) * 1994-05-13 1995-11-28 Kobe Steel Ltd 耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜
US5652671A (en) * 1994-06-30 1997-07-29 Texas Instruments Incorporated Hinge for micro-mechanical device
JPH08169110A (ja) * 1994-12-20 1996-07-02 Sharp Corp インクジェットヘッド
US6000785A (en) * 1995-04-20 1999-12-14 Seiko Epson Corporation Ink jet head, a printing apparatus using the ink jet head, and a control method therefor
SG79917A1 (en) * 1995-04-26 2001-04-17 Canon Kk Liquid ejecting method with movable member
CA2184529A1 (en) * 1995-09-01 1997-03-02 John H. Tregilgas Elastic member for micromechanical device
US5942054A (en) * 1995-12-22 1999-08-24 Texas Instruments Incorporated Micromechanical device with reduced load relaxation
JP3045117B2 (ja) * 1996-10-14 2000-05-29 ソニー株式会社 プリンタ装置
JP4160250B2 (ja) * 1997-07-15 2008-10-01 シルバーブルック リサーチ プロプライエタリイ、リミテッド 熱動作インクジェット
EP1508445B1 (en) * 1997-07-15 2007-01-31 Silverbrook Research Pty. Limited Inkjet nozzle with Lorentz force actuator
JP3857805B2 (ja) * 1997-12-10 2006-12-13 ブラザー工業株式会社 インク滴噴射方法及びその装置

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