JPH07310170A - 耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜 - Google Patents
耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜Info
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- JPH07310170A JPH07310170A JP10015194A JP10015194A JPH07310170A JP H07310170 A JPH07310170 A JP H07310170A JP 10015194 A JP10015194 A JP 10015194A JP 10015194 A JP10015194 A JP 10015194A JP H07310170 A JPH07310170 A JP H07310170A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 耐酸化性および耐摩耗性を改善すると共に、
母材との密着性をも改善した硬質皮膜を提供する。 【構成】 ＴｉＮ皮膜表面にＡｌをイオン注入し、前記
皮膜の表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成したも
のである。
母材との密着性をも改善した硬質皮膜を提供する。 【構成】 ＴｉＮ皮膜表面にＡｌをイオン注入し、前記
皮膜の表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成したも
のである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フライス加工，切削加
工，穿孔加工等の加工に使用される工作工具の表面コー
ティング材として有用な硬質皮膜に関し、特に耐酸化性
および耐摩耗性を改善すると共に、母材との密着性にも
優れた硬質皮膜に関するものである。
工，穿孔加工等の加工に使用される工作工具の表面コー
ティング材として有用な硬質皮膜に関し、特に耐酸化性
および耐摩耗性を改善すると共に、母材との密着性にも
優れた硬質皮膜に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】高速度工具鋼や超硬合金工具鋼等の耐摩
耗性部材を製作する場合は、耐摩耗性等の性能をより優
れたものとする目的で、耐摩耗性部材の表面にＴｉ等の
窒化物や炭化物よりなる耐摩耗性皮膜を形成することが
行なわれている。
耗性部材を製作する場合は、耐摩耗性等の性能をより優
れたものとする目的で、耐摩耗性部材の表面にＴｉ等の
窒化物や炭化物よりなる耐摩耗性皮膜を形成することが
行なわれている。
【０００３】上記耐摩耗性皮膜としては、化学的蒸着法
（ＣＶＤ法）や物理的蒸着法（ＰＶＤ法）によるＴｉＮ
やＴｉＣが汎用されており、特に高温耐酸化性（耐熱
性）の優れたＴｉＮ膜が広く実用化されている。即ちＴ
ｉＮはＴｉＣより耐熱性に優れている為、切削時の加工
熱や摩擦熱によって昇温する工具すくい面をクレータ摩
耗から保護する機能を発揮する。しかしＴｉＮはＴｉＣ
に比べて低硬度であるので被削材と接する逃げ面に発生
するフランク摩耗に対してはむしろ脆弱であり、フラン
ク摩耗に対してはＴｉＣの方が高い耐久性を示す。但
し、ＴｉＮは上記欠点にも拘らず、基材に対する密着性
に優れており、且つ基材の種類如何に関わらず被覆膜を
形成し易いという特徴があるので、これらの点が評価さ
れて各種工作工具としてはイオンプレーティング方法に
よってＴｉＮ膜を基材表面に被覆したものが多く使用さ
れている。
（ＣＶＤ法）や物理的蒸着法（ＰＶＤ法）によるＴｉＮ
やＴｉＣが汎用されており、特に高温耐酸化性（耐熱
性）の優れたＴｉＮ膜が広く実用化されている。即ちＴ
ｉＮはＴｉＣより耐熱性に優れている為、切削時の加工
熱や摩擦熱によって昇温する工具すくい面をクレータ摩
耗から保護する機能を発揮する。しかしＴｉＮはＴｉＣ
に比べて低硬度であるので被削材と接する逃げ面に発生
するフランク摩耗に対してはむしろ脆弱であり、フラン
ク摩耗に対してはＴｉＣの方が高い耐久性を示す。但
し、ＴｉＮは上記欠点にも拘らず、基材に対する密着性
に優れており、且つ基材の種類如何に関わらず被覆膜を
形成し易いという特徴があるので、これらの点が評価さ
れて各種工作工具としてはイオンプレーティング方法に
よってＴｉＮ膜を基材表面に被覆したものが多く使用さ
れている。
【０００４】近年、切削速度の一層の高速化が要望され
ており、切削条件がより過酷化する傾向にある為、上記
した様な従来のＴｉＮ皮膜程度ではこの要請に応えきれ
なくなっている。そこで耐熱性や硬度が更に優れた皮膜
として、ＴｉＮにＴｉやＮ以外の第３若しくは第４の元
素を添加することが試みられており、前記ＣＶＤ法やＰ
ＶＤ法によりＴｉとＡｌの複合窒化物固溶体や複合炭化
物固溶体の皮膜が提案されている（特公平４−５３６４
２号）。
ており、切削条件がより過酷化する傾向にある為、上記
した様な従来のＴｉＮ皮膜程度ではこの要請に応えきれ
なくなっている。そこで耐熱性や硬度が更に優れた皮膜
として、ＴｉＮにＴｉやＮ以外の第３若しくは第４の元
素を添加することが試みられており、前記ＣＶＤ法やＰ
ＶＤ法によりＴｉとＡｌの複合窒化物固溶体や複合炭化
物固溶体の皮膜が提案されている（特公平４−５３６４
２号）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記した
様な皮膜では、ＴｉＮ皮膜に比べて母材表面に対する密
着性が十分でないために、過酷な切削条件下では却って
皮膜剥離が発生しやすく、この様な被膜を母材に形成し
た切削工具を用いても、必ずしも十分満足する切削性能
を示さないのが現状である。本発明はこうした事情に着
目してなされたものであって、その目的は、耐酸化性お
よび耐摩耗性を改善すると共に、母材との密着性をも改
善した硬質皮膜を提供することにある。
様な皮膜では、ＴｉＮ皮膜に比べて母材表面に対する密
着性が十分でないために、過酷な切削条件下では却って
皮膜剥離が発生しやすく、この様な被膜を母材に形成し
た切削工具を用いても、必ずしも十分満足する切削性能
を示さないのが現状である。本発明はこうした事情に着
目してなされたものであって、その目的は、耐酸化性お
よび耐摩耗性を改善すると共に、母材との密着性をも改
善した硬質皮膜を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成し得た本
発明とは、ＴｉＮ皮膜表面にＡｌをイオン注入し、前記
皮膜の表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成したも
のである点に要旨を有する硬質皮膜である。上記硬質皮
膜において、Ａｌのイオン注入量は、５×１０15〜５×
１０17イオン／ｃｍ2 であることが好ましい。また膜厚
は、０．１μｍ以上であることが好ましい。
発明とは、ＴｉＮ皮膜表面にＡｌをイオン注入し、前記
皮膜の表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成したも
のである点に要旨を有する硬質皮膜である。上記硬質皮
膜において、Ａｌのイオン注入量は、５×１０15〜５×
１０17イオン／ｃｍ2 であることが好ましい。また膜厚
は、０．１μｍ以上であることが好ましい。
【０００７】
【作用】切削工具等の摩耗には、切り屑生成時の熱的脆
化によって工具すくい面に生じるクレータ摩耗と、被削
材との機械的な擦り摩耗によって工具逃げ面に生じるフ
ランク摩耗がある。そしてクレータ摩耗を低減する上で
必要な特性は、耐熱性および耐酸化性であり、フランク
摩耗を低減する上で必要な特性は高硬度であるというこ
とができる。従って、表面被覆切削工具を更に高性能化
するためには、上記の様な諸特性を全て満足する硬質皮
膜を工具母材表面に形成してやる必要がある。
化によって工具すくい面に生じるクレータ摩耗と、被削
材との機械的な擦り摩耗によって工具逃げ面に生じるフ
ランク摩耗がある。そしてクレータ摩耗を低減する上で
必要な特性は、耐熱性および耐酸化性であり、フランク
摩耗を低減する上で必要な特性は高硬度であるというこ
とができる。従って、表面被覆切削工具を更に高性能化
するためには、上記の様な諸特性を全て満足する硬質皮
膜を工具母材表面に形成してやる必要がある。
【０００８】ところで（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜は、大気中
において昇温すると、８００℃までは表面に薄いＡｌ酸
化皮膜を形成し、これが保護皮膜となって酸化が抑制さ
れ、高温での耐酸化性に優れたものとなる。また硬度に
関しては、ビッカース硬度（Ｈｖ）が約２５００ｋｇ／
ｍｍ2 と高い。しかしながら（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜は、
内部応力が大きいので、時として母材との剥離が発生す
ることがある。そのために、これらの皮膜には、硬度や
耐熱性は勿論のこと、母材との密着性においても優れて
いる必要がある。
において昇温すると、８００℃までは表面に薄いＡｌ酸
化皮膜を形成し、これが保護皮膜となって酸化が抑制さ
れ、高温での耐酸化性に優れたものとなる。また硬度に
関しては、ビッカース硬度（Ｈｖ）が約２５００ｋｇ／
ｍｍ2 と高い。しかしながら（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜は、
内部応力が大きいので、時として母材との剥離が発生す
ることがある。そのために、これらの皮膜には、硬度や
耐熱性は勿論のこと、母材との密着性においても優れて
いる必要がある。
【０００９】本発明者らは、上記のような観点から、Ｔ
ｉＮよりも硬度や耐熱性に優れた（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜
に着目し、特にこの様な形態の皮膜における母材との密
着性を向上させるべく様々な角度から検討を重ねた。そ
の結果、基本的に密着性が良好なＴｉＮ皮膜表面に、高
運動エネルギーによる非熱平衡で且つ低温のプロセスで
あるイオン注入法を適用して、Ａｌをイオン注入すれ
ば、ＴｉＮの良好な密着性を維持したままＴｉとＡｌの
複合窒化物層が形成でき、この層は上記（Ｔｉ，Ａｌ）
Ｎ皮膜の様な優れた硬度や耐熱性をも発揮するものであ
ることが判明し、本発明を完成した。
ｉＮよりも硬度や耐熱性に優れた（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜
に着目し、特にこの様な形態の皮膜における母材との密
着性を向上させるべく様々な角度から検討を重ねた。そ
の結果、基本的に密着性が良好なＴｉＮ皮膜表面に、高
運動エネルギーによる非熱平衡で且つ低温のプロセスで
あるイオン注入法を適用して、Ａｌをイオン注入すれ
ば、ＴｉＮの良好な密着性を維持したままＴｉとＡｌの
複合窒化物層が形成でき、この層は上記（Ｔｉ，Ａｌ）
Ｎ皮膜の様な優れた硬度や耐熱性をも発揮するものであ
ることが判明し、本発明を完成した。
【００１０】即ち、ＴｉＮ皮膜表面に、Ａｌを所定量イ
オン注入してやれば、ＴｉＮ皮膜は勿論のこと従来の
（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも酸化開始温度を高くするこ
とができ、且つ硬度も上昇させることができる。またこ
れらの皮膜は、密着性が良いというＴｉＮ皮膜本来の特
性も損なうことがないので、剥離の問題も生じない。尚
上記複合窒化物層は、濃度的に厚み方向に傾斜組織を形
成することになる。
オン注入してやれば、ＴｉＮ皮膜は勿論のこと従来の
（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも酸化開始温度を高くするこ
とができ、且つ硬度も上昇させることができる。またこ
れらの皮膜は、密着性が良いというＴｉＮ皮膜本来の特
性も損なうことがないので、剥離の問題も生じない。尚
上記複合窒化物層は、濃度的に厚み方向に傾斜組織を形
成することになる。
【００１１】本発明の硬質皮膜は、上述のごとく、（Ｔ
ｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも密着性の良好なＴｉＮ皮膜へＡ
ｌをイオン注入を行ない、ＴｉＮ皮膜表面を改質してＴ
ｉとＡｌの複合窒化物を形成した硬質皮膜である。そし
て本発明の硬質皮膜を工具母材の表面に形成すると、切
削時にＡｌ2 Ｏ3 保護皮膜が生成されると共に、密着性
はＴｉＮ皮膜と同等であるので、イオンプレーティング
法スパッタ法等による（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも、工
具寿命が大幅に向上することになる。
ｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも密着性の良好なＴｉＮ皮膜へＡ
ｌをイオン注入を行ない、ＴｉＮ皮膜表面を改質してＴ
ｉとＡｌの複合窒化物を形成した硬質皮膜である。そし
て本発明の硬質皮膜を工具母材の表面に形成すると、切
削時にＡｌ2 Ｏ3 保護皮膜が生成されると共に、密着性
はＴｉＮ皮膜と同等であるので、イオンプレーティング
法スパッタ法等による（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも、工
具寿命が大幅に向上することになる。
【００１２】本発明の硬質皮膜を、例えば工具母材の表
面に形成するに当たっては、下記の手順に従えば良い。
まず超硬合金や高速度鋼等の材質からなるドリル、エン
ドミル、チップ等の工具母材表面に、イオンプレーティ
ング法やスパッタリング法等で密着性の良いＴｉＮ皮膜
を被覆した後、その皮膜へＡｌのイオン注入を行ない、
表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成する。
面に形成するに当たっては、下記の手順に従えば良い。
まず超硬合金や高速度鋼等の材質からなるドリル、エン
ドミル、チップ等の工具母材表面に、イオンプレーティ
ング法やスパッタリング法等で密着性の良いＴｉＮ皮膜
を被覆した後、その皮膜へＡｌのイオン注入を行ない、
表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成する。
【００１３】本発明の硬質皮膜におけるＡｌイオン注入
量については、特に限定するものではないが、５×１０
15〜５×１０17イオン／ｃｍ2 程度が好ましい。即ちＡ
ｌイオン注入量が５×１０15イオン／ｃｍ2 未満では、
Ａｌの注入量が不十分であり、ＴｉＮ皮膜の改質効果が
発揮されず、膜特性がＴｉＮと殆ど変わらない。またＡ
ｌイオン注入量が５×１０17イオン／ｃｍ2 を超える
と、皮膜がアモルファス化し、耐摩耗性が低下する。尚
Ａｌイオン注入量の好ましい範囲は、１×１０16〜１×
１０17イオン／ｃｍ2 程度である。
量については、特に限定するものではないが、５×１０
15〜５×１０17イオン／ｃｍ2 程度が好ましい。即ちＡ
ｌイオン注入量が５×１０15イオン／ｃｍ2 未満では、
Ａｌの注入量が不十分であり、ＴｉＮ皮膜の改質効果が
発揮されず、膜特性がＴｉＮと殆ど変わらない。またＡ
ｌイオン注入量が５×１０17イオン／ｃｍ2 を超える
と、皮膜がアモルファス化し、耐摩耗性が低下する。尚
Ａｌイオン注入量の好ましい範囲は、１×１０16〜１×
１０17イオン／ｃｍ2 程度である。
【００１４】一方、本発明の硬質皮膜を工具部材表面に
形成するときの膜厚については、特に限定されるもので
はないが、少なくとも０．１μｍ以上であることが好ま
しい。即ち０．１μｍ未満では、Ａｌイオン注入時のス
パッタで膜が殆どなくなってしまう。尚膜厚の好ましい
下限は、１μｍ程度である。一方膜厚の上限についても
特に限定されるものではないが、あまり厚くしてもその
効果が飽和するばかりか、生産性も低下するので、１０
μｍ以下が好ましい。尚膜厚のより好ましい上限は、５
μｍ程度である。
形成するときの膜厚については、特に限定されるもので
はないが、少なくとも０．１μｍ以上であることが好ま
しい。即ち０．１μｍ未満では、Ａｌイオン注入時のス
パッタで膜が殆どなくなってしまう。尚膜厚の好ましい
下限は、１μｍ程度である。一方膜厚の上限についても
特に限定されるものではないが、あまり厚くしてもその
効果が飽和するばかりか、生産性も低下するので、１０
μｍ以下が好ましい。尚膜厚のより好ましい上限は、５
μｍ程度である。
【００１５】以下実施例について説明するが、本発明は
下記の実施例に限定されるものではなく、前・後記の趣
旨に徴して適宜設計変更することは本発明の技術的範囲
に含まれる。
下記の実施例に限定されるものではなく、前・後記の趣
旨に徴して適宜設計変更することは本発明の技術的範囲
に含まれる。
【００１６】
実施例１ 超硬チップをイオンプレーティング装置に装入して、４
００℃に予備加熱した後、蒸発源よりＴｉを蒸発させる
と共に、Ｎ2 ガスを導入して５×１０-5〜４×１０-6Ｔ
ｏｒｒの雰囲気とし、且つ前記チップに−１００Ｖの電
圧を印加し、種々の膜厚のＴｉＮ皮膜の成膜を行なっ
た。
００℃に予備加熱した後、蒸発源よりＴｉを蒸発させる
と共に、Ｎ2 ガスを導入して５×１０-5〜４×１０-6Ｔ
ｏｒｒの雰囲気とし、且つ前記チップに−１００Ｖの電
圧を印加し、種々の膜厚のＴｉＮ皮膜の成膜を行なっ
た。
【００１７】ＴｉＮ皮膜を形成した超硬チップに、５×
１０15〜５×１０17イオン／ｃｍ2,７０ＫｅＶの条件で
Ａｌのイオン注入を行ない、下記表１に示す本発明材
（Ｎo.１〜９）を製作した。また従来例として上記と同
じ条件で製作したＴｉＮ皮膜を被覆した超硬チップ（Ｎ
ｏ．１０）と、蒸発源からＴｉとＡｌを同時に蒸発し、
Ｎ2 導入圧５×１０-5〜４×１０-6Ｔｏｒｒの条件で
（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜を被覆した超硬チップ（Ｎｏ．１
１）も製作した。
１０15〜５×１０17イオン／ｃｍ2,７０ＫｅＶの条件で
Ａｌのイオン注入を行ない、下記表１に示す本発明材
（Ｎo.１〜９）を製作した。また従来例として上記と同
じ条件で製作したＴｉＮ皮膜を被覆した超硬チップ（Ｎ
ｏ．１０）と、蒸発源からＴｉとＡｌを同時に蒸発し、
Ｎ2 導入圧５×１０-5〜４×１０-6Ｔｏｒｒの条件で
（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜を被覆した超硬チップ（Ｎｏ．１
１）も製作した。
【００１８】
【表１】
【００１９】これらの試料を、下記の条件の切削試験に
供したところ、下記表２に示す結果が得られた。 〈切削条件〉 被切材 ：Ｓ５０Ｃ 切削速度：１７０ｍ／ｍｉｎ 送り速度：０．２ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み：１ｍｍ 切削時間：１５分、３０分
供したところ、下記表２に示す結果が得られた。 〈切削条件〉 被切材 ：Ｓ５０Ｃ 切削速度：１７０ｍ／ｍｉｎ 送り速度：０．２ｍｍ／ｒｅｖ 切り込み：１ｍｍ 切削時間：１５分、３０分
【００２０】
【表２】
【００２１】表２から次のように考察できる。まず従来
のＴｉＮ皮膜（Ｎｏ．１０）は、密着性は良好である
が、大きく摩耗していることが分かる。また超硬チップ
とも密着性の悪い（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜（Ｎｏ．１１）
は、切削時間が３０分で刃先部分に剥離が生じていた。
これに対し本発明の実施例のもの（Ｎo.１〜９）は、従
来のＴｉＮ皮膜や（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも優れた耐
摩耗性を示していることがわかる。
のＴｉＮ皮膜（Ｎｏ．１０）は、密着性は良好である
が、大きく摩耗していることが分かる。また超硬チップ
とも密着性の悪い（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜（Ｎｏ．１１）
は、切削時間が３０分で刃先部分に剥離が生じていた。
これに対し本発明の実施例のもの（Ｎo.１〜９）は、従
来のＴｉＮ皮膜や（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜よりも優れた耐
摩耗性を示していることがわかる。
【００２２】実施例２ 白金からなる基材をイオンプレーティング装置に装入し
て、１５０℃に予備加熱した後、蒸発源よりＴｉを蒸発
させると共にＮ2 を導入して７×１０-3Ｔｏｒｒの雰囲
気とし、且つ基材に−５０Ｖの電圧を印加して膜厚３μ
ｍのＴｉＮ皮膜を形成した。
て、１５０℃に予備加熱した後、蒸発源よりＴｉを蒸発
させると共にＮ2 を導入して７×１０-3Ｔｏｒｒの雰囲
気とし、且つ基材に−５０Ｖの電圧を印加して膜厚３μ
ｍのＴｉＮ皮膜を形成した。
【００２３】ＴｉＮ成膜した基材に、５×１０15〜５×
１０17イオン／ｃｍ2 、７０ＫｅＶの条件でＡｌイオン
注入を行ない、下記表３に示す本発明の皮膜（Ｎo.１２
〜１６）を製作した。また従来例として、上記と同じ条
件で製作したＴｉＮ膜を被覆した白金板（Ｎｏ．１７）
と、蒸発源よりＴｉとＡｌを蒸発し、Ｎ2 導入圧７×１
０-3Ｔｏｒｒの条件下で（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜を被覆し
た白金板（Ｎｏ．１８）も製作した。
１０17イオン／ｃｍ2 、７０ＫｅＶの条件でＡｌイオン
注入を行ない、下記表３に示す本発明の皮膜（Ｎo.１２
〜１６）を製作した。また従来例として、上記と同じ条
件で製作したＴｉＮ膜を被覆した白金板（Ｎｏ．１７）
と、蒸発源よりＴｉとＡｌを蒸発し、Ｎ2 導入圧７×１
０-3Ｔｏｒｒの条件下で（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜を被覆し
た白金板（Ｎｏ．１８）も製作した。
【００２４】これらの試料を、下記の酸化条件の酸化試
験に供したところ、表３に併記する結果が得られた。 ＜酸化条件＞ 昇温範囲：室温〜１３００℃ 昇温速度：３℃／ｍｉｎ 雰囲気 ：乾燥空気 流量 ：５０ｃｃ／ｍｉｎ
験に供したところ、表３に併記する結果が得られた。 ＜酸化条件＞ 昇温範囲：室温〜１３００℃ 昇温速度：３℃／ｍｉｎ 雰囲気 ：乾燥空気 流量 ：５０ｃｃ／ｍｉｎ
【００２５】
【表３】
【００２６】表３から明らかな様に、ＴｉＮ皮膜では約
６００℃、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜では８００℃で酸化が
始まるのに対して、Ａｌのイオン注入を行なった実施例
では、酸化開始温度を高め、耐酸化性を向上させること
ができた。
６００℃、（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜では８００℃で酸化が
始まるのに対して、Ａｌのイオン注入を行なった実施例
では、酸化開始温度を高め、耐酸化性を向上させること
ができた。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上の様に構成されており、従
来のＴｉＮ皮膜や（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜における耐酸化
性および耐摩耗性を更に向上させると共に、密着性にも
優れた硬質皮膜が得られた。
来のＴｉＮ皮膜や（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ皮膜における耐酸化
性および耐摩耗性を更に向上させると共に、密着性にも
優れた硬質皮膜が得られた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 安永 龍哉 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 蔡 政憲 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内 (72)発明者 河田 和久 兵庫県神戸市西区高塚台１丁目５番５号 株式会社神戸製鋼所神戸総合技術研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 ＴｉＮ皮膜表面にＡｌをイオン注入し、
前記皮膜の表層部にＴｉとＡｌの複合窒化物層を形成し
たものであることを特徴とする耐酸化性および耐摩耗性
に優れた硬質皮膜。 - 【請求項２】 Ａｌのイオン注入量が、５×１０15〜５
×１０17イオン／ｃｍ2 である請求項１に記載の硬質皮
膜。 - 【請求項３】 膜厚が０．１μｍ以上である請求項１ま
たは２に記載の硬質皮膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10015194A JPH07310170A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10015194A JPH07310170A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07310170A true JPH07310170A (ja) | 1995-11-28 |
Family
ID=14266326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10015194A Pending JPH07310170A (ja) | 1994-05-13 | 1994-05-13 | 耐酸化性および耐摩耗性に優れた硬質皮膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07310170A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19615534C1 (de) * | 1996-04-19 | 1998-01-15 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Beschichteter Verschleißkörper |
| JP2002542949A (ja) * | 1999-04-22 | 2002-12-17 | シルバーブルック リサーチ プロプライエタリー リミテッド | 作動装置の構成部材 |
-
1994
- 1994-05-13 JP JP10015194A patent/JPH07310170A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19615534C1 (de) * | 1996-04-19 | 1998-01-15 | Dresden Ev Inst Festkoerper | Beschichteter Verschleißkörper |
| JP2002542949A (ja) * | 1999-04-22 | 2002-12-17 | シルバーブルック リサーチ プロプライエタリー リミテッド | 作動装置の構成部材 |
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Legal Events
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20050426 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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