JP2002520640A - 低電子親和度のカソードを有するスクリーン用の駆動システム - Google Patents

低電子親和度のカソードを有するスクリーン用の駆動システム

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JP2002520640A JP2000558505A JP2000558505A JP2002520640A JP 2002520640 A JP2002520640 A JP 2002520640A JP 2000558505 A JP2000558505 A JP 2000558505A JP 2000558505 A JP2000558505 A JP 2000558505A JP 2002520640 A JP2002520640 A JP 2002520640A
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Abstract

(57)【要約】 この駆動システムは、各々が低い電子親和度を有する材料からなるカソードを含む画素のマトリクスを駆動することができる。各交差点回路は、画素のカソードに接続されたスイッチング素子(CTi.j)を具備し、メモリ回路(M1,M2)を使用して、マトリクスの全ての行の駆動に必要な時間にわたってカソードを電流源に接続し、かつ、対応する画素に伝達する電流を調節することができる。この発明は、電子銃および表示スクリーンの駆動に適用することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】 負の電子親和度、または、低い電子親和度を有する材料は公知であり、それは
、一般には、ダイヤモンド構造を有する炭素から構成されている。これらの材料
は、(約10V/m程度の)弱い抽出電界の下で電子を放出するという大きな利
点を有している。平坦な薄膜上に、そのような電界を得ることは容易なので、カ
ソードを製造するためにチップを形成する必要はなく、これにより、製造プロセ
スを容易にすることができる。例えば、チップを有するカソードにおいては、抽
出グリッドにおける孔の直径を0.1μm内に調節することが重要である。
【0002】 W. Zhu他は、CVD(化学蒸着)によって得られた多結晶ダイヤモンドからな
る堆積された薄膜を研究し、薄膜の有する欠陥の密度とともに、放射密度が猛烈
に増加したことを示している。一定の堆積条件によって、約30V/μmの電界
に対して、10mA/cmの電流密度を有する層を得ることが可能となり、こ
の値は、300cd/mの輝度を有するスクリーンを製造するのには十分に高
い値である。しかしながら、薄膜の放射特性は、面粗さ(粒径約5μm)および
欠陥密度に大きく依存するので、あまり均一ではない。したがって、多結晶材料
からなるカソードを有する電界放射スクリーンにおいては、表示が均一でないこ
とがわかる。
【0003】 この発明は、滑らかな表面状態を示す非晶質または結晶構造の低電子親和度を
有する材料から、情報表示スクリーンのカソードを製造することを提案すること
によって、この問題を解決することを可能にする。しかしながら、そのようなカ
ソードは、強い電子束を放射することはできない(1mA/cm以下、約10 −5 A/cm)。例えば、1000×1000行からなるマトリクススクリー
ンにおいては、画素は、原則として行ごとに駆動される。各画素(各カソード)
から放射されるパワーが低いという問題を解決するために、各カソードと、該カ
ソードのフレーム時間中の駆動を維持するスイッチング素子とを接続することが
提案されている。ここで、フレーム時間は、スクリーンの全ての行を逐次駆動す
るために必要な時間である。これらの条件下において、フレーム時間にわたって
集積されたカソードにより放射される強さは、仮想的に、行ごとに必要なパワー
に行の数を乗じた値に等しいと仮定することができる。言い換えると、この発明
によれば、低放射密度(<1mA/cm)を特徴とする低電子親和度のカソー
ドは、それらがフレーム時間中の電流供給を維持する駆動回路とそれぞれ組み合
わせられる限り、表示スクリーンにおいて使用することができ、行ごとの駆動に
おいて必要とされるよりも、n倍小さい電流供給を有することができる。ここで
、nはスクリーンの行数である。
【0004】 したがって、この発明は、低電子親和度を有する少なくとも1つの電子放出画
素を具備する駆動システムに関し、 − 行方向および列方向に配列され、行ごとに駆動される一組のカソードと、 − 各画素のカソードに接続され、全ての行の駆動に必要な時間にわたって、
前記カソードを電流源に接続し、かつ、対応する画素への電流を調節するこがで
きるスイッチング素子と を具備することを特徴としている。
【0005】 この発明の種々の主題および特徴は、添付図面を参照した以下の説明によって
、いっそう明らかになる。 図1aおよび図1bは、カソードが低電子親和度を有する材料からなるカソー
ド放射素子の簡略化した実施形態を示している。 図2は、図1aおよび図1bと同様な素子のマトリクスを示している。 図3は、図2のマトリクスからなる素子の交差点駆動回路を示している。 図4は、図3の回路の動作を示すタイミング図である。
【0006】 図1aは、この発明に係る素子の基本構造を示している。この素子は、基板2
上に、高電子親和度を有する材料からなる層21を有している。この層21上に
は、低電子親和度を有する材料からなる少なくとも1つの部材1、すなわち、カ
ソードが設けられている。表示素子の場合には、導電材料からなる層、すなわち
、アノード3が、カソードから距離dcaを開けて該カソードに対向配置されて
いる。
【0007】 層21は、導体であり、カソードを電気的に駆動できることが好ましい。基板
が層21の性質を示す場合には、該層21を省略してもよい。
【0008】 この発明によれば、カソードは、良好な表面状態を提供するように、非晶質形
態で堆積された材料からなっている。その結晶構造は、堆積後の処理(熱または
レーザ処理)によって、任意に調整されてもよい。この材料は、例えば、a−C
:H;a−C:H:N構造を有する炭素からなっていてもよい。
【0009】 図1bは、電子マイクロガンを示している。その構造は、電子放出部分(カソ
ード)に関しては、図1aのものと同様である。しかしながら、アノードはター
ゲット(図示略)によって置き換えられる。さらに、電極5′が電子ビームを収
束させるために設けられている。この電極は、グリッド5の上方に配置され、素
子の電子放出部を取り囲んでいる。
【0010】 そのような素子は、マトリクス駆動を可能とするために、行方向および列方向
に配列されている。図2は、行配線CL1〜CLnおよび列配線CC1〜CCm
に接続されたカソード放射素子DC1.1〜DCn.mのマトリクスを具備する
構造を示している。駆動回路CDL,CDCは、駆動電圧を行配線および列配線
に供給することができる。
【0011】 各カソード放射素子は、行配線および列配線に、同時回路または交差点回路D
C1.1〜DCn.mを介して接続されている。例えば、図3は、行配線CLi
(i=1〜n)および列配線CCj(j=1〜n)に接続された交差点回路を示
している。
【0012】 したがって、マトリクスの各交差点は、図3に示されるような回路を含んでい
る。この回路は、そのゲートGSijが列配線CLiに接続され、そのソース(
または、エミッタ)が列配線CCjに接続された、第1のトランジスタT1ij
を含んでいる。第1のキャパシタCtijは、前記トランジスタT1ijのドレ
イン(または、コレクタ)に接続されている。第2のトランジスタT2ijは、
キャパシタCtij、さらに詳細には、キャパシタCtijとトランジスタT1
ijとの共通点Aijを第2のキャパシタCsijに接続することを可能にして
いる。この第2のキャパシタCsijの電圧レベルは、対応する交差点のカソー
ドの電流供給を制御する第3のトランジスタT3ijの導通を調節することがで
きる。さらに正確には、第2のトランジスタT2ijは点Aijをキャパシタお
よび第3のトランジスタT3ijのゲートの共通点Bijに接続することができ
る。最後に、第4のトランジスタT4ijは、第2のキャパシタCsijを放電
するために、これを短絡することができる。トランジスタT2ijおよびT4i
jは、図4のタイミング図において定義されている特定の時刻にそれらのゲート
に供給される駆動パルスによって駆動される。
【0013】 図3の回路の動作モードについて、図4を参照して以下に説明する。 (線VGS1〜VGSnによって示されている)信号VGS1〜VGSnは、
行CL1〜CLnn駆動信号に対応している。したがって、フレーム時間に相当
する時間Tの間に、全ての行が逐次駆動されていることを見ることができる。例
えば、行CLiの駆動信号VGSiに注目する。その周期はTに等しい。
【0014】 VGSiのような各行駆動パルスの間に、特定の値(0〜10V)の列駆動パ
ルスが各列配線に供給される。一行駆動パルスから次の行駆動パルスまで、列パ
ルスの値は、望まれる駆動動作に従って変更される。
【0015】 図4には、列CCj上を、特に、図3に示された行iおよび列jの交差点に送
られたパルスVDSjのみが示されている。フレーム時間T1の間に、パルスV
DSj1は、例えば、10Vの値を有する。フレーム時間T2の間に、パルスV
DSj2は、5Vの値を有し、フレーム時間T3の間に、パルスVDSj3は、
7Vの値を有する。
【0016】 パルスVGSi1の効果は、電圧VDSjを点Aijに伝達するトランジスタ
T1ijをオンにすることである。キャパシタCtijは、この電圧およびアー
スとの間において充電され、すなわち、第1のパルスVDSj1の場合には、1
0Vの電位まで充電される。
【0017】 周期T1の終わりにおいて、フレームT1の最後の行駆動パルスVGSnの後
にパルスφ1.1(行φ1)が生起されると、トランジスタT2ijがオンに切
り替えられる。この信号φ1は、マトリクスの種々の交差点の全てのトランジス
タT2ijに供給される。各交差点回路においては、Aijのような点が点Bi
jに接続されている。したがって、キャパシタCsijは、Aijの電位に充電
される。点Bijの電位は、トランジスタT3ijをオンに切り替え、該トラン
ジスタT3ijは、素子DCijに、したがって、駆動される交差点のカソード
に、電流を供給することができる。パルスφ1.1の次に、T2ijのようなト
ランジスタが、点Aijを点Bijから切断する。素子DCijの電流供給は、
キャパシタCsijの制御の下で、トランジスタT3ijによって維持される。
【0018】 パルスφ1.1の中断後に、次のフレーム時間T2が開始する。列パルスVG
Si2は、トランジスタT1ijを導通させる。電位VDSj2が点Aijに伝
達され、キャパシタCtiを充電する。
【0019】 次のパルスφ1.2の前に、パルスφ2.1が、種々の交差点回路のT4ij
のようなトランジスタを導通させる。これらのトランジスタの役割は、点Bij
を接地することである。種々の交差点のCsijのような全てのキャパシタは、
それによって放電される。T3ijのようなトランジスタはオフ状態となり、も
はや電流をDCijのような素子に伝達しない。各パルスφ2.1は、キャパシ
タCsijを放電するために十分な時間にわたって持続する。パルスφ2.1が
終了するときには、システムは、トランジスタT2ijを駆動するために、次の
パルスφ1.2を供給する。
【0020】 上述したように、各交差点回路のキャパシタCtijは、パルスVGSi2,
VDSj2の制御の下で充電された。トランジスタT2ijの導通は、キャパシ
タCtijの電荷をキャパシタCsijに移動させる。トランジスタT3ijは
、キャパシタCtijの電圧レベルに依存して、再度、オン状態に切り替えられ
る。その後、動作は上述した動作に継続する。
【0021】 したがって、図3に示されているように、交差点回路は、 − 行配線および列配線に接続され、かつ、トランジスタT1ijおよびキャパ
シタCtijを有する第1のメモリ回路M1と、 − キャパシタCsijを具備する第2のメモリ回路M2と、 − 前記メモリ回路M1を前記メモリ回路M2に接続し、トランジスタT2ij
を具備する伝達回路CTと、 − 前記メモリ回路M2によって駆動され、トランジスタT3ijを具備する電
流制御回路CCTと、 − 前記メモリ回路M2をリセットするための、トランジスタT4ijを有する
回路CLEARと を具備することがわかる。
【0022】 上述した動作形態によれば、種々の行が、フレーム時間中に継続して駆動され
る。 行iが駆動されるごとに、行iのメモリM1に列のデータ項目がロードされる
。フレーム時間の終了時に、マトリクスの全てのメモリM1にデータ項目がロー
ドされる。したがって、伝達回路CTは、メモリM1の内容をメモリM2に転送
し、その後、メモリM2をメモリM1から切り離す。メモリM2は、電流制御回
路CCTを駆動すると同時に、次のフレーム時間のデータがメモリM1内にロー
ドされる。この次のフレームの終了時に、リセット回路CLEARが、メモリM
2の内容を消去し、その後、伝達回路CTが、再度、メモリM1の内容をメモリ
M2に転送する。動作は上述したように継続する。
【0023】 システムの動作は、中央制御回路CCUの制御下に配されることを一言してお
く。該中央制御回路CCUは、マトリクスの行ごとの走査を駆動し、各行駆動動
作に対して、列配線に、適当な電圧を送る。また、回路CCUは、上記記載に一
致する適当な瞬間に、例えば、図4のタイミング図に従って、信号φ1,φ2を
供給する。
【0024】 図4の最後の線は、このシステムの電子銃への適用を示している。そのような
形式の適用例において、カソードマトリクスによって放射された電子ビームは、
処理される(半導体)部品の表面に向けられる。所定の時刻において、電子銃は
一部品領域を照射し、次の時刻において、部品の表面を移動して隣接領域を照射
する。図4の一番下の線はこの動作を示している。所定の時刻において、ビーム
は領域x1を照らす。次に、ビームは(例えば、50nmだけ)移動し、マトリ
クスの駆動が変更され、ビームが領域x2を照射する。再度、ビームが移動され
、駆動が変更され、その後、ビームが領域x3を照射し、以下同様に継続する。
【図面の簡単な説明】
【図1a〜b】 カソードが低電子親和度を有する材料からなるカソード放射素
子の簡略化した実施形態を示している。
【図2】 図1aおよび図1bと同様な素子のマトリクスを示している。
【図3】 図2のマトリクスからなる素子の交差点駆動回路を示している。
【図4】 図3の回路の動作を示すタイミング図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 5C032 AA01 5C036 EE01 EF01 EF06 EG02 EG12 EG48 EH26 5C080 AA08 AA18 BB05 DD26 JJ02 JJ03 JJ04 JJ06

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 少なくとも1つの電子放出画素を有するスクリーン用の駆動
    システムであって、 − 行方向および列方向に配列され、行ごとに駆動される一組のカソードと、 − 前記各画素の前記カソードに接続され、前記カソードを、全ての行の駆動に
    必要な時間にわたって電流源に接続し、かつ、対応する画素に供給する電流を調
    節するスイッチング素子(CTi.j)と を具備することを特徴とする駆動システム。
  2. 【請求項2】 同時回路が、 − 行配線および列配線に接続され、前記列配線を通して伝達されたデータを記
    録する第1のメモリ回路(M1)と、 − 該第1のメモリ回路(M1)に、伝達回路(CT)を介して接続可能な第2
    のメモリ回路(M2)と、 − 該第2のメモリ回路(M2)によって提供された情報に従って、カソード放
    射素子への所定の電圧を調節する電流制御回路(CCT)とを具備し、 さらに、 − 全ての同時回路に共通の中央駆動回路(CCU)を具備し、 該中央駆動回路(CCU)が、 ・ マトリクスの行を連続して走査し、行の駆動ごとに情報を送信し、その後、
    その情報を第1の記憶回路(M1)に記憶する制御動作、および、 ・ 第1のメモリ回路(M1)から第2のメモリ回路(M2)に転送し、かつ、
    その動作をマトリクスのフレーム走査の終了時に行うために、各同時回路の伝達
    回路を作動させる制御動作 を行うことを特徴とする請求項1記載のシステム。
  3. 【請求項3】 各同時回路が、前記第1のメモリ回路の内容を、フレームの
    終了時および伝達回路の作動前に消去するリセット回路(CLEAR)を具備す
    ることを特徴とする請求項2記載のシステム。
  4. 【請求項4】 前記同時回路の前記第1および第2のメモリ回路が、それぞ
    れ、列配線において受信した情報に相当する電圧レベルまで充電することができ
    るキャパシタを具備することを特徴とする請求項2記載のシステム。
  5. 【請求項5】 各カソードが、低電子親和度および非晶質構造を有する導電
    材料から構成されていることを特徴とする請求項1記載のシステム。
  6. 【請求項6】 各スイッチング素子(CTi.j)が、前記画素のカソード
    を電流源に接続するための接続回路(T3i.j)を作動させる行配線(CLi
    )および列配線(CCj)に接続された同時回路(T1i.j)を具備し、行配
    線および列配線への電圧の印加によって、前記同時回路を介して、前記列配線に
    印加された電圧の値に対応する強さで、前記接続回路により電流が流れることを
    特徴とする請求項1または請求項2記載のシステム。
  7. 【請求項7】 前記同時回路(T1i.j)および前記接続回路(T3i.
    j)の共通接続点(Aij)に接続された第1のキャパシタ(Cti.j)を具
    備することを特徴とする請求項6記載のシステム。
  8. 【請求項8】 前記共通接続点(Aij)を前記接続回路(T3i.j)に
    接続する伝達回路(T2i.j)を具備し、前記接続回路(T3i.j)に接続
    された第2のキャパシタ(Csij)を具備することを特徴とする請求項7記載
    のシステム。
  9. 【請求項9】 前記一組のカソードに対向配置された少なくとも1つのアノ
    ードを具備することを特徴とする請求項1記載のシステム。
  10. 【請求項10】 前記画素が、低い電子親和度を有する材料からなるカソー
    ドを具備することを特徴とする請求項1から請求項9のいずれかに記載のシステ
    ム。
JP2000558505A 1998-07-03 1999-07-02 低電子親和度のカソードを有するスクリーン用の駆動システム Withdrawn JP2002520640A (ja)

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