JP2002506535A

JP2002506535A - 精密光ファイバ・アレイ・コネクタおよび方法

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Publication number: JP2002506535A
Application number: JP50556199A
Authority: JP
Inventors: シャーマン，ジョナサン; キャムリベル，アーファン; リッチ，アーネスト・ジェイ; リッチ，セオドアー・シー
Original assignee: ファイバーガイド・インダストリーズ・インコーポレーテッド
Priority date: 1997-06-26
Filing date: 1998-06-05
Publication date: 2002-02-26
Also published as: EP1018049A1; US5907650A; AU8062198A; WO1999000687A1; CA2291724A1; KR20010013509A; EP1018049A4

Abstract

(57)【要約】光ファイバ・アレイ・コネクタの複数のファイバ（１０）の全体的な位置決めがマスク開口の直径の公差によって影響を受けない。アレイは、背面および前面（２６、２４）を有し且つこれらの面を連通する複数の開口を有するマスク・エレメントを含む。複数の光ファイバは、実質的に円錐台の側面を有するファイバ端部を含み、円錐台の側面は、開口を貫通し且つマスク背面（２６）に最も近いマスク開口の部分と係合する。方法は、ファイバ（１０）を準備してそれらの遠端（１４）に円錐面を形成し、主マスクに、各々の直径がファイバ・クラッディング即ち第２層の直径未満の開口を形成し、円錐状ファイバ端部を、円錐面がマスタ開口壁（２２）に係合するまで挿入し、接着材をマスク前面（２４）および露出した先端部に塗布し、露出した先端部および接着材表面を研削および研磨して円錐を切頭してファイバのコアの直径を露出させる。

Description

【発明の詳細な説明】精密光ファイバ・アレイ・コネクタおよび方法背景本発明は光ファイバ・アレイに関し、より詳細には、高精密光ファイバ・アレイおよびその製造方法に関する。ファイバオプティクスは通信革命における推進力となって、膨大なデータ・スループットを達成するキャリアを可能とした。この技術の潜在的な可能性を最大限に発揮させるためには、ファイバオプテイクスを集積電子部品のファセット毎に組み込むことにより、光ファイバの膨大な帯域幅を、半導体集積回路の高速度と共に最大限利用することが可能となろう。この目的のためには、光ファイバのアレイを、正確にかつ信頼性高く、チップ上の半導体レーザおよび検出器アレイに結合する必要がある。既に、世界中において種々のグループが、光学クロスバー・スイッチのための高速光電予ＶＬＳＩスイッチングや二次元光ファイバ・アレイの実現可能性を例証している。例えば、１９９６年４月のＩＥＥＥジャーナル・オブ・セレクテッド・トピックス・イン・カンタム・フェジックス（IEEE Journal of Selected Topics in Quantum E lectronics）Ｖｏｌ．２、Ｎｏ．１の第７７ページのアンソニーＬ．レンティン（Anthony L．Lentine）その他による「ＭＱＷ変調器および検出器のシリコンＣＭＯＳへのフリップ・チップ接合に基づく、＞４０００の光Ｉ／Ｏを有する高速光電子ＶＬＳＩスイッチング・チップ（High-Speed Optoelectronic VLSI Switc hing Chip with>4000 Optical I/O based on Flip-Chip Bonding of MQW Modula tors and Detectors to Silicom CMOS)」、および１９９４年２月のオプティカル・エンジニアリング（Optical Engineering）Ｖｏｌ．３３、Ｎｏ．２の第６２７〜６３５ページのジェフＭ．プラウドリ（Geoff M．Proudley)およびヘンリ・ホワイト（Henry White）による「光学クロスバー・スイッチ用の二次元光ファイバ・アレイの製造（Fabrication of Two-Dimensional Fiber Optic Arrays for an Optical Crossbar Switch）」を参照せよ。これらの文献をここに参照として援用する。前述の文献は、約＋／−５マイクロメートルのファイバ・アレイ位置精度を達成したと主張する。しかしながら、半導体技術を用いた電荷結合素子（ＣＣＤ）、光検出器およびレーザのような光電子デバイスによって達成可能な精密度は、せいぜい１桁（０．５マイクロメートル）のオーダーであるという事実は、これらの技術が共に機能するためには、はるかに高いファイバ・アレイ精密度を達成する新たなスイッチング・アレイの設計および製造技法が強く求められていることを示すものである。ファイバガイド・インダストリ社（Fiberguide Industries）は、位置精度（中心から中心の間隔誤差（中心対中心間隔誤差））が＋／−５マイクロメートルよりも高い１０×１０アレイを既に生産している。その用いられるプロセスは、アレイのアセンブリに用いられる、エキシマ・レーザで加工した厚さ０．０１０インチ（約０．２５４ｍｍ）のポリイミド・ウエハによって得られる位置精度を利用している。前述のプロセスにも拘らず、中心対中心間隔誤差が±２マイクロメートルを越えない高精密ファイバ・アレイが求められている。例示的実施形態の概要本発明の原理による高精密度ファイバ・アレイは、現行のエキシマ・レーザ技術を用いた場合の仕様の±２マイクロメートルを越えないファイバ中心間隔を達成し、恐らく将来のレーザ技術を用いればより良い結果が得られる。この高精密度は、単一モードおよびマルチモードのファイバに対して得ることができる。この新たな精密度は、本発明の一実施形態によれば、各ファイバの最小直径よりも小さい直径の孔をマスクに形成することによって得ることができる。ファイバ端部を円錐状先端に加工し、円錐の面が開口の壁と良好に接触するまで、各孔に挿入する。マスクの反対側から突出する先端の長さは、ばらつく可能性がある。各円錐は、ファイバの円錐部がマスク開口を十分に貫通し、例えば以下で述べるように、ファイバ端部を研削および研磨した後にコアの断面全体が露出できるように、形成する。この独特な構成および方法によって、不正確なファイバ間隔の一因であった要素又は問題としての、±２マイクロメートルの孔径のばらつきを解消する。次に、露出した先端および孔はエポキシまたはその他の適した接着材を受け、先端およびマスクを堅固に固着する。次に、完成したアセンブリを研削および研磨し、通常通りに試験する。好適な実施形態の１つでは、組み立ての間に、前述の主マスクと共に働くガイド・マスクが、ファイバ端部を主マスク内の開口と位置合わせ（整合）するように導く。また、マスク／ファイバ・ホルダは、組み立てを容易にするために、最終的なコネクタの一部とすることができる。図面その他のおよび更なる利点および効能は、以下の例示的実施形態の詳細な説明を、添付図面を参照しながら検討することによって明らかとなろう。図１は、本発明の原理による方法の一例の特徴的なステップのリストである。図２は、図１の方法に従って準備されたファイバ端部の部分断面図である。図３は、本発明による主ファイバ・マスク即ちウエハの部分断面図である。図４は、図３の主マスクの開口に挿入された、図２のファイバ先端の部分断面図である。図５は、接着材を塗布した後の図４と同じ図である。図６は、前面を研削し研磨した後の図５と同じ図である。図７は、本発明による代替の実施形態を示す、図５と同じ図である。図８は、本発明の更に別の代替の実施形態を示す、図５と同じ図である。図９は、本発明によるファイバ・ホルダおよびファイバ・ウエハ・サブアセンブリの部分斜視図である。図１０は、図９に示した部分および半導体チップ・ホルダを含む、本発明によるコネクタの分解図である。好適な実施形態の詳細な説明図１ないし図４を参照すると、本発明の原理による方法は、多数のファイバを所望の長さに切断することによる、光ファイバ１０の準備を含む。各ファイバは、中央コア１１、第２またはクラッディング層１３、および保護バッファ、コーティング、あるいはジャケット（被服）１２を含む。各ファイバの一端を処理して、外側のジャケット１２（例えば、プラスチック、アクリル、ナイロン等）を引き剥がし、所定の長さＴを露出させる。殆どのジャケットは、標準的な熱硫酸剥離技法を用いて引き剥すことができる。その後、露出させたファイバ先端を整形して円錐形先端１４を形成する。一例では、あるファイバ径（ＦＤ）を有する裸の光ファイバを約１０分間フッ化水素酸に浸漬し、次いですすぎを行い、乾燥させる。本発明の原理による主マスク２０は、ポリイミド、セラミックまたは金属を含む適切な材料で作成することができる。ファイバ開口は、好ましくは、所定の間隔を有する任意の適切な所定パターンで、後部（ファイバ挿入）側から、レーザ・カットする。パターンの一例、即ち、１０×１０アレイを図９に示す。図４において良く理解できるが、主マスクの各開口はレーザ・カットされているので、開口を形成する壁２２は、中央開口軸から前面の方向に、外側に多少広がっている。従って、主マスクの開口の直径（ＰＭＤ）は、Ｘ、Ｙ面において± １ないし±１．３ミクロン内に正確に配置されることができ、背面２６では±２ミクロン内に精度高く作ることができる。以下で理解されるように、ＰＭＤの精密精度(precision accuracy)、広がる壁２２の性質(nature)、および主マスク２０の前面における各開口の直径は全て、本発明に関しては重要ではない。これは、ＰＭＤをファイバの直径ＦＤ未満に選択しなければならないという要件から来る結果である。また、ＰＭＤは、ファイバ先端１４が十分にマスク前面２４から突出して、以下で述べる研磨の後にコアの直径全体が露出されるように、十分に大きくなければならない。アレイを組み立てるには、準備した各ファイバ１０を、背面から、先端の円錐面１４が開口の壁２２と係合するまで、マスクの各開口に挿入する。図４を参照せよ。この係合によりファイバの挿入の進行が停止する。挿入された種々のファイバ１０は、少なくとも部分的にはマスク開口ＰＭＤの ±２ミクロンの公差内の種々の寸法により、その円錐状先端１４の種々の部分がマスク前面２４を越えて露出され得ることは理解されよう。しかしながら、このマスク前面２４を越えた露出の程度は、以下に述べるように研磨面を越えて延出するのであれば、重要ではない。前述のように全てのファイバを完全に挿入した後、エポキシ膜２８のような接着材を深さＢまで塗布して（図５参照）、マスク前面２６を覆い、且つ図示のようにマスク開口内の空間を充填する。エポキシの一例には、エポキシ・テクノロジーズ社（Epoxy Technologies，Inc.）が所有する商標の製品である、Ｅｐｏ− ｔｅｃ３０１がある。望ままれる場合には、Ｅｐｏ−ｔｅｃ３０２−３のような追加のエポキシ層（図示せず）を膜エポキシ層２６上に積層して、研削面を改良することも可能である。その後、ファイバ先端１４およびエポキシ層２８を研削および研磨して、エポキシを除去し且つ円錐先端１４を切頭することによって、コア断面３０全体が露出され、且つ他の露出させたファイバ・コア３０と実質的に平行となり且つ実質的に他の露出させたファイバ・コア３０の面内にあるようにする。通常、標準的な研削および研磨手順を用いてこれを行うことができる。以下に、本発明による方法およびアレイの一例を示す。ファイバ・モード − 単一ファイバ材料 − ガラスファイバ・ジャケット − アクリレートファイバ長 − １９インチ（約４８２.６ｍｍ）ＦＤ − １２５±０.６ミクロンコア直径 − ８〜９ミクロンＴ − ０.２５インチ（約６.３５ｍｍ）Ｊ − １.０〜２.２５インチ(約２５.４〜５７.１５ｍｍ) 主マスク材料 − ポリイミドマスク厚（ＭＴ） − ２５０ミクロンパターン − １０×１０ＰＭＤ − １２２±２ミクロンＢ − チップ露出未満エポキシ材料 − Ｅｐｏ−ｔｅｃ３０１本発明の別の例示的実施形態によれば、ガイド・マスク３２を備えて、ファイバ・チップ１４を主マスク２０の開口に導き入れることができる。ガイド・マスク３２は、主マスク２０と同一材料または異なる材料で作成することができ、ＦＤよりも多少大きなガイド・マスク開口直径（ＧＭＤ）を有する開口壁３４を備えている。壁２４はレーザ・カットすることができ、壁２４は主に、主開口壁２２と適正に位置合わせして先端１４を導き入れ、且つ、その背面３６および壁３４とファイバ先端２４との間の空間を図示していない接着材で充填する際に、ファイバ１０に対してより多くの歪み軽減および横方向安定性を与えるように機能する。初期状態では、ガイド・マスク３２は、エポキシを表面３６に塗布するまでは、主マスク２０上に浮いていることが許されるが、塗布後はアセンブリ全体が接着される。更に別の例示的実施形態を図８に示す。この実施形態では、ガイド・マスク３２が、スペーサ・エレメント３８によって、主マスク２０から長手方向に離間されている。エレメント３８は、金属、合金、硬質プラスチック、またはその他の適した材料で作ることができる。加えて、エレメント３８は、スペーサ機能のみを果たし、好ましくはガイド機能を果たさないので、それぞれの又は何れかのファイバ先端１０について個別の開口を規定する必要はない。望まれる場合には、スペーサ３８は、アレイ内の最も外側のファイバ（図９を参照せよ）の周辺の外側に配置することができる。図９および図１０を参照すると、コネクタの一例の部品が示されている。コネクタは、ファイバ・アレイ・ホルダ４０と締結具４４をもつ半導体デバイス・ホルダ４２とを含み、締結具４４が、ファイバ・アレイ・ホルダ４０の対応する雌部分４６に係合される。ホルダ４０はキー付き凹部４８を含み、キー付き凹部４８は、前述のようにファイバ１０のファイバ先端１４を固着するキー付きウエハ・サブアセンブリ５０と整合する。ファイバ１０は中空のハンドル５２を貫通する。ハンドル５２は、該ハンドル５２の後端付近に、標準的なファイバ歪み軽減デバイス５４（概略的に示す）を含む。エポキシまたはその他の適した材料を、凹部４８の内壁および／または底壁に塗布し、サブアセンブリ５０を正確なキーの方向に挿入する。一旦アセンブリ５０をホルダ４０に固着したなら、ファイバ１０の露出されている先端１４およびエポキシ２８の前面を研削および研磨する。この際、ホルダ４０をかかる作業のための固定具として用いる。一旦前面を所望通り仕上げたなら、ホルダ４２をホルダ４０に正確に嵌合し、締結具４４によって固着する。このように、ホルダ４２内の関連する基板上の微小半導体デバイスを、それぞれの対向するファイバのコア面３０（図６参照）と正確に位置合わせして並置することができる。あるいは、部品を機械的に締結する前に、他の周知の機械的手段を同様に組み込んで、ファイバ・アレイを、検出器のような一体化された光電子デバイスのアレイや結合目的のための他のファイバ・アレイに対して方向付けし且つ整合位置させることも可能である。添付図面は必ずしも同じ倍率で描かれている訳ではなく、前述の「円錐」または「円錐状」は必ずしも正確な「円錐」または「円錐状」である必要はなく、三角錐または三角錐状や、三角錐と円錐との混成形状も可能であることは理解されよう。円錐および円錐状という用語は、これらの形状も同様に含むことを意図するものである。また、本発明の精神および範囲から逸脱することなく、ここに開示した実施形態には他の変更や改良が可能である。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項【提出日】平成１１年５月６日（１９９９．５．６）【補正内容】請求の範囲１．光ファイバ・アレイ・コネクタであって、背面および前面を有し且つ前記背面と前記前面を連通するマスク開口を規定する複数のマスク壁を有する主マスク・エレメントと、それぞれの光ファイバが、コアと、前記コア上を延在する第２ファイバ層と、前記第２層の一部分上を延在するジャケットとを備える少なくとも２本の光ファイバとを備え、前記光ファイバの各々は、その一端において、前記第２層およびコアが前記ジャケットを越えて延出し、前記第２層の遠端部が実質的に円錐台の側面を有し、該実質的に円錐台の側面が、前記壁による開口のそれぞれのものを完全に貫通して延び、前記背面と実質的に隣接して位置するそれぞれの前記マスク壁の一部分と係合する、コネクタ。２．請求項１記載のコネクタにおいて、前記円錐台の側面の最も小さい寸法が、前記コアの直径以上である、コネクタ。３．請求項２記載のコネクタにおいて、前記コアの先端部および円錐台の側面が前記マスクの前面から延出し、前記先端部が前記マスクの前面に全般的に平行な面に研磨された、コネクタ。９．光ファイバ・アレイの製造方法であって、少なくとも２本の光ファイバを、所望の長さに切断し、各ファイバの１つの先端部のコアおよび第２層を円錐形状に形成して、前記少なくとも２本の光ファイバを準備し、マスク・ウエハを、該マスク・ウエハの背面と前面の間を連通する複数の離間したファイバ開口を形成し、少なくとも２つの前記開口のそれぞれが、前記背面に隣接し且つ前記ファイバの第２層の最大直径未満の横方向をもつ壁部分を有するように形成して、前記マスク・ウエハを用意し、各ファイバの先端部をそれぞれの開口に挿入し、前記先端部の円錐状の側壁を前記マスクの開口の壁と前記壁部分で係合させて前記ファイバの先端部の前進挿入を停止させ、前記先端部の前端を前記マスクの前面を越えて延出させ、前記２本のファイバを前記マスク・ウエハに固着する、光ファイバ・アレイの製造方法。１０．請求項９記載の光ファイバ・アレイの製造方法であって、更に、前記の固着するステップの後に、前記先端部の端部を、前記２本のファイバの各々のコアの少なくとも実質的に全直径が露出されるまで取り除くことを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１１．光ファイバ・アレイの製造方法であって、少なくとも２本の光ファイバを、所望の長さに切断し、各ファイバの１つの先端部のコアおよび第２層を円錐形状に形成して、前記少なくとも２本の光ファイバを準備し、マスク・ウエハを、該マスク・ウエハの背面と前面の間を連通する複数の離間したファイバ開口を形成し、少なくとも２つの前記開口の横方向を前記ファイバの第２層の最大直径未満とするように形成して、前記マスク・ウエハを用意し、各ファイバの先端部をそれぞれの開口に挿入し、前記先端部の円錐状の側壁を前記マスクの開口の壁と係合させ、前記先端部の前端を前記マスクの前面を越えて延出させ、前記２本のファイバを前記マスク・ウエハに固着し、前記先端部の端部を、前記２本のファイバの各々のコアの少なくとも実質的に全直径が露出されるまで取り除き、前記の取り除くステップが、前記円錐の先端部を、前記マスク・ウエハの前面に全体的に平行な方向に研磨することおよび研磨することの一方を含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１２．請求項９記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、固着することが、前記マスク・ウエハの前面と前記前面を越えて延出する前記２本の光ファイバの先端部に接着材を塗布することを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１３．請求項１２記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、固着することが、更に、前記マスクの開口の壁と、そこに配された前記ファイバの先端部との間に接着材を塗布することを含む、方法。１４．光ファイバ・アレイの製造方法であって、少なくとも２本の光ファイバを、所望の長さに切断し、各ファイバの１つの先端部のコアおよび第２層を円錐形状に形成して、前記少なくとも２本の光ファイバを準備し、マスク・ウエハを、該マスク・ウエハの背面と前面の間を連通する複数の離間したファイバ開口を形成し、少なくとも２つの前記開口の横方向を前記ファイバの第２層の最大直径未満とするように形成して、前記マスク・ウエハを用意し、各ファイバの先端部をそれぞれの開口に挿入し、前記先端部の円錐状の側壁を前記マスクの開口の壁と係合させ、前記先端部の前端を前記マスクの前面を越えて延出させ、前記２本のファイバを前記マスク・ウエハに固着し、固着することが、前記マスク・ウエハの前面と前記前面を越えて延出する前記２本の光ファイバの先端部に接着材を塗布することを含み、前記取り除くことが、前記接着材の前面部分の一部を研削することを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１５．請求項９記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記の挿入することが、ガイド・マスクを使用して、前記ファイバをそれぞれの前記開口に導き入れることを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１６．請求項１５記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記ガイド・マスクが複数のガイド開口を有し、それぞれが対応するマスクの開口と位置合わせされ、各ガイド開口が、前記円錐状の側壁の最大直径よりも大きな直径を有する、光ファイバ・アレイの製造方法。１７．請求項１６記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記ガイド・マスクが前記マスクに接触する、光ファイバ・アレイの製造方法。１８．請求項１６記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記ガイド・マスクを前記マスクから離間する、方法。１９．請求項９の方法によって製造した光ファイバ・アレイ。２０．光ファイバ・アレイ・コネクタであって、背面および前面を有し且つ前記背面と前記前面を連通する少なくとも２つのマスク開口を規定する少なくとも２つのマスク壁を有する主マスク・エレメントと、少なくとも２本の光ファイバ、および前記ファイバの各々の一部の上に延在するジャケットとを備え、前記光ファイバの各々が前記ジャケットを越えて延出する一端を有し、前記一端の遠端部分が実質的に円錐台の側面を有し、該実質的に円錐台の側面が、前記マスク開口の１つを完全に貫通し且つ前記背面に実質的に隣接して位置するそれぞれの前記マスク壁の一部に係合する、光ファイバ・アレイ・コネクタ。２１．請求項１１の方法によって製造された光ファイバ・アレイ。２２．請求項１４の方法によって製造された光ファイバ・アレイ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，ＩＴ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＭＬ，ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，ＫＥ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ，ＴＭ)，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＧＷ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＷ (72)発明者リッチ，アーネスト・ジェイアメリカ合衆国ニュージャージー州08540, プリンストン・ジャンクション，スプリングウッド・ドライブ 13 (72)発明者リッチ，セオドアー・シーアメリカ合衆国ニュージャージー州07922, バークリー・ハイツ，ウィンザー・ウェイ 58

Claims

【特許請求の範囲】１．光ファイバ・アレイ・コネクタであって、背面および前面を有し且つ前記背面と前記前面を連通するマスク開口を規定する複数のマスク壁を有する主マスク・エレメントと、それぞれの光ファイバが、コアと、前記コア上を延在する第２ファイバ層と、前記第２層の一部分上を延在するジャケットとを備える少なくとも２本の光ファイバとを備え、前記光ファイバの各々は、その一端において、前記第２層およびコアが前記ジャケットを越えて延出し、前記第２層の遠端部が実質的に円錐台の側面を有し、該実質的に円錐台の側面が、前記壁による開口の１つを貫通し、それぞれの前記マスク壁の一部分と係合する、コネクタ。２．請求項１記載のコネクタにおいて、前記円錐台の側面の最も小さい寸法が、前記コアの直径以上である、コネクタ。３．請求項２記載のコネクタにおいて、前記コアの先端部および円錐台の側面が前記マスクの前面から延出し、前記先端部が前記マスクの前面に全般的に平行な面に研磨された、コネクタ。４．請求項１記載のコネクタにおいて、前記円錐台の側面が少なくとも各前記マスク壁から離間した前方部分を有し、接着材が前記の空間内に配されて、前記円錐台の側面と各前記マスク壁を共に接着する、コネクタ。５．請求項４記載のコネクタにおいて、前記接着材が、前記マスクの前面上に配され、且つ研削された前面を有する、コネクタ。６．請求項１記載のコネクタであって、更に、ガイド背面およびガイド前面を有し、且つ複数のファイバ端部のそれぞれをそれぞれの前記マスク開口の後方部分まで導き入れるガイド開口を有するファイバ・ガイド・マスクを備えるコネクタ。７．請求項６記載のコネクタにおいて、前記ガイド前面が前記背面と接触する、コネクタ。８．請求項６記載のコネクタにおいて、前記ガイド前面が前記背面から離間されている、コネクタ。９．光ファイバ・アレイの製造方法であって、少なくとも２本の光ファイバを、所望の長さに切断し、各ファイバの１つの先端部のコアおよび第２層を円錐形状に形成して、前記少なくとも２本の光ファイバを準備し、マスク・ウエハを、該マスク・ウエハの背面と前面の間を連通する複数の離間したファイバ開口を形成し、少なくとも２つの前記開口の横方向を前記ファイバの第２層の最大直径未満とするように形成して、前記マスク・ウエハを用意し、各ファイバの先端部をそれぞれの開口に挿入し、前記先端部の円錐状の側壁を前記マスクの開口の壁と係合させ、前記先端部の前端を前記マスクの前面を越えて延出させ、前記２本のファイバを前記マスク・ウエハに固着する、光ファイバ・アレイの製造方法。１０．請求項９記載の光ファイバ・アレイの製造方法であって、更に、前記先端部の端部を、前記２本のファイバの各々のコアの少なくとも実質的に全直径が露出されるまで取り除くことを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１１．請求項１０記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記の取り除くステップが、前記円錐の先端部を、前記マスク・ウエハの前面に全体的に平行な方向に研磨することおよび研磨することの一方を含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１２．請求項９記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、固着することが、前記マスク・ウエハの前面と前記前面を越えて延出する前記２本の光ファイバの先端部に接着材を塗布することを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１３．請求項１２記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、固着することが、更に、前記マスクの開口の壁と、そこに配された前記ファイバの先端部との間に接着材を塗布することを含む、方法。１４．請求項１２記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記取り除くことが、前記接着材の前面部分の一部を研削することを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１５．請求項９記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記の挿入することが、ガイド・マスクを使用して、前記ファイバをそれぞれの前記開口に導き入れることを含む、光ファイバ・アレイの製造方法。１６．請求項１５記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記ガイド・マスクが複数のガイド開口を有し、それぞれが対応するマスクの開口と位置合わせされ、各ガイド開口が、前記円錐状の側壁の最大直径よりも大きな直径を有する、光ファイバ・アレイの製造方法。１７．請求項１６記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記ガイド・マスクが前記マスクに接触する、光ファイバ・アレイの製造方法。１８．請求項１６記載の光ファイバ・アレイの製造方法において、前記ガイド・マスクを前記マスクから離間する、方法。１９．請求項９の方法によって製造した光ファイバ・アレイ。２０．光ファイバ・アレイ・コネクタであって、背面および前面を有し且つ前記背面と前記前面を連通する少なくとも２つのマスク開口を規定する少なくとも２つのマスク壁を有する主マスク・エレメントと、少なくとも２本の光ファイバ、および前記ファイバの各々の一部の上に延在するジャケットとを備え、前記光ファイバの各々が前記ジャケットを越えて延出する一端を有し、前記一端の遠端部分が実質的に円錐台の側面を有し、該実質的に円錐台の側面が、前記マスク開口の１つを貫通し且つそれぞれの前記マスク壁の一部に係合する、光ファイバ・アレイ・コネクタ。