JP2002503374A - Eブロック・ヘッドスタック・マイクロアクチュエータ組立体 - Google Patents

Eブロック・ヘッドスタック・マイクロアクチュエータ組立体

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JP2002503374A JP52765898A JP52765898A JP2002503374A JP 2002503374 A JP2002503374 A JP 2002503374A JP 52765898 A JP52765898 A JP 52765898A JP 52765898 A JP52765898 A JP 52765898A JP 2002503374 A JP2002503374 A JP 2002503374A
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  • Moving Of The Head To Find And Align With The Track (AREA)
  • Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 ディスクドライブの変換ヘッドを、回転可能ディスク40の選択したトラック42上に位置決めするためのシステムが、空洞37を含むEブロック本体25、Eブロック本体25から伸びる少なくとも一つのアクチュエータアーム30、アクチュエータアーム30の端に結合された変換ヘッドを含むヘッド支持機構34,36,38、およびEブロック本体25の空洞37の中のピボットカートリッジ26を有するアクチュエータ組立体20,50を含む。Eブロック本体25をピボットカートリッジ26に取付けて、Eブロック本体25とピボットカートリッジ26の間のヒンジ点39を形成する。低分解能モータ22がアクチュエータ組立体20,50を軸24の周りに回転して、ヘッドを回転可能ディスク40の選択したトラック42に対して粗く位置決めする。Eブロック本体25の中の圧電素子27,52を選択的に膨張および収縮させ、Eブロック本体25をヒンジ点39の周りに歪めて、ヘッドを回転可能ディスク40の選択したトラック42に対して細かく位置決めする。

Description

【発明の詳細な説明】 Eブロック・ヘッドスタック・マイクロアクチュエータ組立体 発明の背景 本発明は、ディスクドライブ用2段階式作動システムに関し、更に詳しくは、 Eブロック全体の微細位置決めを行うためのマイクロアクチュエータに関する。 ディスクドライブの半径方向トラック密度は増え続け、非常に精確なヘッド位 置決めシステムに対する要求が増す結果となっている。ボイスコイルモータ(V CM)アクチュエータは、粗い位置決めを行うためにはよく適するが、変換ヘッ ドを選択したトラック上に微細に位置決めして中心に置くための分解能を欠く。 この欠陥が、高トラック密度ディスクドライブで微細位置決めを行うための第2 段階のマイクロアクチュエータに対する多種多様な提案に繋がっている。 これらのマイクロアクチュエータ提案は、変換ヘッドを支持するスライダに取 付けた静電マイクロアクチュエータから、アクチュエータアームの末端でヘッド 支持取付けブロックに設置した圧電マイクロアクチュエータまで、幾つかの形を 採っている。これらの提案は、全てマイクロアクチュエータを各個のアクチュエ ータアームの部品と関連させ、それがアクチュエータアームに人為的最小厚さの 制限を課する。換言すれば、アクチュエータアームは、マイクロアクチュエータ に適合するために十分厚くなければならない。この制限は、ディスクドライブシ ステムでアクチュエータアームの質量を最小にするという一般的設計目的と矛盾 する。その上、これらの提案の設計は、マイクロアクチュエータをEブロックピ ボットから可成りの距離に位置付けて、ヘッドスキュー(斜行)を誘起し、マイ クロアクチュエータの対応運動に対してヘッドの変位を最大にできなくしている 。 従って、この技術では、アクチュエータアームの最小厚さを制限せず、微細位 置決め作業でのヘッドスキューを最小にし、そして対応するマイクロアクチュエ ータ運動に対してヘッド変位を最大にする、2段階作動システムに対する要求が ある。 発明の概要 本発明は、ディスクドライブの変換ヘッドを、複数の同心トラックを有する回 転可能ディスクの選択したトラック上に位置決めするためのシステムである。ア クチュエータ組立体が、空洞を有するEブロック本体を含む。このEブロック本 体は、ある軸の周りに可動である。少なくとも一つのアクチュエータアームがE ブロック本体から伸びる。変換ヘッドを含むヘッド支持機構がアクチュエータア ームの端に結合されている。ピボットカートリッジがEブロック本体の空洞の中 に設けられている。Eブロック本体をこのピボットカートリッジに取付け、Eブ ロック本体とピボットカートリッジの間のヒンジ点を形成する。低分解能モータ がこのアクチュエータ組立体を軸の周りに回転して、ヘッドを回転可能ディスク の選択したトラックに対して粗く位置決めする。圧電素子をEブロック本体の中 に設け、この圧電素子を横切る電圧に基づいて選択的に膨張および収縮させ、E ブロック本体をヒンジ点の周りに歪めて、ヘッドを回転可能ディスクの選択した トラックに対して細かく位置決めする。一実施例では、このヒンジ点に隣接して Eブロック本体に逃げを作り、圧電素子の膨張および収縮に応じたEブロック本 体の歪みを容易にする。 本発明のもう一つの側面は、ディスクドライブの変換ヘッドを、複数の同心ト ラックを有する回転可能ディスクの選択したトラック上に位置決めする方法であ る。アクチュエータ組立体であって、空洞を含むEブロック本体、このEブロッ ク本体から伸びる少なくとも一つのアクチュエータアーム、アクチュエータアー ムの端に結合された変換ヘッドを含むヘッド支持機構、そしてEブロック本体の 空洞の中のピボットカートリッジを有する組立体を設ける。Eブロック本体をピ ボットカートリッジに取付け、このEブロック本体とこのピボットカートリッジ の間のヒンジ点を形成する。低分解能モータを作動させ、このアクチュエータ組 立体を軸の周りに回転して、ヘッドを回転可能ディスクの選択したトラックに対 して粗く位置決めする。このEブロック本体の中の圧電素子を選択的に膨張およ び収縮させるために電圧を掛け、それによってこのEブロック本体をヒンジ点の 周りに歪めて、ヘッドを回転可能ディスクの選択したトラックに対して細かく位 置決めする。この側面の一つの形態では、ヒンジ点に隣接してEブロック本体に 逃げを作り、圧電素子の膨張および収縮に応じたEブロック本体の歪みを容易に する。 図面の簡単な説明 図1は、積層圧電素子の斜視図である。 図2は、本発明によるEブロック圧電マイクロアクチュエータを利用するディ スクドライブ作動組立体の平面図である。 図3は、図2に示すEブロック圧電マイクロアクチュエータの拡大平面図であ る。 図4は、本発明の更なる実施例によるEブロック圧電マイクロアクチュエータ を利用するディスクドライブ作動組立体の平面図である。 図5は、図4に示すEブロック圧電マイクロアクチュエータの拡大平面図であ る。 好適実施例の詳細な説明 図1は、積層圧電素子10の簡略化した斜視図である。素子10は、d31、 d32およびd33で表示する3軸で示す。d33軸に沿って空間的に分離した 点間の電位差が、素子10を構成する圧電結晶層の分極状態に依って、d31、 d32および/またはd33方向に素子10の膨張または収縮を生ずる。それで 、圧電素子10を使って、印可する電圧に基づきd31、d32および/または d33方向に膨張または収縮力を供給することができる。 図2は、本発明によるディスクドライブ作動組立体20の平面図である。ディ スクドライブ作動組立体20は、ボイスコイルモータ(VCM)22、Eブロッ ク本体25、Eブロック本体25から伸びるアクチュエータアーム30、ヘッド 取付けブロック32でアクチュエータアーム30に結合されたロードビーム34 、そしてロードビーム34の末端で、変換ヘッドを支持する支持スライダ38に 結合されたジンバル36を含む。ピボットカートリッジ26がEブロック本体2 5の空洞37に設けられ、一端がEブロック本体25に、例えば1本以上のねじ 28によって、しっかりと締結されている。圧電素子27がEブロック本体25 に設けられていて、端子29および31を含んでいる。Eブロック本体25は、 ピボットカートリッジ26に3点で:即ち、Eブロック本体25の縦軸に沿って ファスナ28で、圧電素子27の基端43に隣接する点45で、そしてヒンジ点 3 9で支持されている。 VCM22は、この技術で知られる態様で作動して、軸24の周りにEブロッ ク本体25およびピボットカートリッジ26を回転し、それによって軸41の周 りに回転するディスク40の選択したトラック42上にスライダ38を粗く位置 決めする。更に正確な運動をするために、端子20および31に電圧を掛けるこ とによって圧電素子27をその軸d32に沿って選択的に膨張または収縮させ、 Eブロック本体25を歪めて、ディスク40のトラック42に関するスライダ3 8の位置を変える。Eブロック本体25にヒンジ点39に近接して逃げ33を設 け、圧電素子27の膨張または収縮に応じるEブロック本体25の歪みを容易に することが好ましい。その代りに、Eブロック本体25のヒンジ点39に近い部 分を柔軟な材料で作って、この結果を得てもよい。 図3は、図2に示すディスクドライブ作動組立体20のマイクロ作動システム の拡大平面図である。端子29および31に電圧を掛けることによって圧電素子 27を矢印44の方向(圧電素子27の軸d32に沿う)に膨張するように選択 的に制御してもよく、膨張した素子の誇張した外部輪郭を破線27’で示す。圧 電素子27の基端43に隣接するEブロック本体の材料は、点45でピボットカ ートリッジ26にしっかりと締結されているので、膨張は、矢印44の方向にし か起きない。この圧電素子27の膨張がEブロック本体25を破線25’で示す 位置へ歪ませる。圧電素子27の膨張のためにEブロック本体25が歪んで回転 すると、本質的に、Eブロック本体25とピボットカートリッジ26の間の隙間 46が開く。Eブロック本体25の弾性歪みは、その最弱点、即ち、ヒンジ点3 9と逃げ33の間のEブロック材料の狭い部分に集中し、その材料を弾性限界内 で緊張させてEブロック本体25を歪み回転させる。従って、アクチュエータア ーム30が破線30’で示す位置へ変位する。同様に、圧電素子27の収縮は、 Eブロック本体25とピボットカートリッジ26の間の隙間46を狭めるように 作動し、それによってアクチュエータアーム30を図3に示す形状へ下方に変位 する。 図4は、本発明の更なる実施例によるディスクドライブ作動組立体50の平面 図である。ディスクドライブ作動組立体50は、VCM22、Eブロック本体2 5、Eブロック本体25がら伸びるアクチュエータアーム30、ヘッド取付けブ ロック32でアクチュエータアーム30に結合されたロードビーム34、そして ロードビーム34の末端で、変換ヘッドを支持する支持スライダ38に結合され たジンバル36を含む。ピボットカートリッジ26がEブロック本体25の空洞 37に設けられ、一端がEブロック本体25に、例えば1本以上のねじ28によ って、しっかりと締結されている。圧電素子52が図2および図3に示す圧電素 子27の向きに対して90°に向いて、Eブロック本体25に設けられていて、 端子54および56を含んでいる。Eブロック本体25は、ピボットカートリッ ジ26に3点で:即ち、Eブロック本体25の縦軸に沿ってファスナ28で、圧 電素子52の基端43に隣接する点45で、そしてヒンジ点39で支持されてい る。 VCM22は、この技術で知られる方法で作動して、軸24の周りにEブロッ ク本体25およびピボットカートリッジ26を回転し、それによって軸41の周 りに回転するディスク40の選択したトラック42上にスライダ38を粗く位置 決めする。更に正確な運動をするために、端子54および56に電圧を掛けるこ とによって圧電素子52をその軸d33に沿って選択的に膨張または収縮させ、 Eブロック本体25を歪めて、ディスク40のトラック42に関するスライダ3 8の位置を変える。Eブロック本体25にヒンジ点39に近接して逃げ33を設 け、圧電素子52の膨張または収縮に応じるEブロック本体25の歪みを容易に することが好ましい。その代りに、Eブロック本体25のヒンジ点39に近い部 分を柔軟な材料で作って、この結果を得てもよい。 図5は、図4に示すディスクドライブ作動組立体50のマイクロ作動システム の拡大平面図である。端子54および56に電圧を掛けることによって圧電素子 52を矢印58の方向(圧電素子52の軸d33に沿う)に膨張するように選択 的に制御してもよく、膨張した素子の誇張した外部輪郭を破線52’で示す。こ の圧電素子52の膨張がEブロック本体25を破線25’で示す位置へ歪ませる 。圧電素子52の基端43に隣接するEブロック本体の材料は、点45でピボッ トカートリッジ26にしっかりと締結されているので、膨張は、矢印58の方向 にしか起きない。この圧電素子52の膨張のためにEブロック本体25が歪んで 回 転すると、本質的に、Eブロック本体25とピボットカートリッジ26の間の隙 間46が開く。Eブロック本体25の弾性歪みは、その最弱点、即ち、ヒンジ点 39と逃げ33の間のEブロック材料の狭い部分に集中し、その材料を弾性限界 内で緊張させてEブロック本体25を歪み回転させる。従って、アクチュエータ アーム30が破線30’で示す位置へ変位する。同様に、圧電素子52の収縮は 、Eブロック本体25とピボットカートリッジ26の間の隙間46を狭めるよう に作動し、それによってアクチュエータアーム30を図5に示す形状へ下方に変 位する。 圧電マイクロアクチュエータをピボットカートリッジ26に直ぐ隣接して設け ることは、マイクロアクチュエータとスライダ38の間のアクチュエータアーム 30の長さのために、圧電マイクロアクチュエータの膨張または収縮に応じてス ライダ38を大きく変位する。典型的実施例では、圧電膨張に対するスライダ運 動の比が約8:1である。また、VCM22によって従来の回転作動を起す軸2 4に直ぐ隣接してこのマイクロアクチュエータが位置するので、マイクロアクチ ュエータによって行う運動によるヘッドスキューが最小になる。 圧電マイクロアクチュエータは、Eブロック本体25の垂直高さに拡がるが、 Eブロック本体25から伸びる個々のアクチュエータアーム30の厚さには何も 影響しない。従って、アクチュエータアーム30を最小の厚さおよび質量で設計 でき、ディスクドライブシステム全体の性能を改善する。 圧電マイクロアクチュエータは、d31、d32またはd33方向に印可する 電圧に応じて膨張および収縮するように構成してもよい。好適構成(印可した電 圧に対して最大のマイクロアクチュエータ運動をもたらす)は、特定のディスク ドライブのために選択した圧電マイクロアクチュエータの寸法に依るが、どんな 構成も許容できる。 好適実施例を参照して本発明を説明したが、当業者には、この発明の精神およ び範囲から逸脱することなく形態および詳細を変更できることが分るだろう。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 サンペエトロ,ジョセフ,エム. アメリカ合衆国 カリフォルニア,ターザ ナ,ベックフォード アベニュー 5808 (72)発明者 バリナ,ジェフリー,ジー. アメリカ合衆国 カリフォルニア,ソミ ス,ラカムバー ロード 6433 (72)発明者 ハウワ,ムハマド,エイ. アメリカ合衆国 カリフォルニア,シミ バレイ,カントリー クラブ 383

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1. ディスクドライブの変換ヘッドを、複数の同心トラックを有する回転可能 ディスクの選択したトラック上に位置決めするためのシステムであって: アクチュエータ組立体で: 空洞を含み、ある軸の周りに可動なEブロック本体; Eブロック本体がら伸びる少なくとも一つのアクチュエータアーム; および アクチュエータアームの端に結合された上記変換ヘッドを含むヘッド 支持機構; を含むアクチュエータ組立体; Eブロック本体の空洞の中のピボットカートリッジで、Eブロック本体が このピボットカートリッジに取付けられて、Eブロック本体とこのピ ボットカートリッジの間のヒンジ点を形成するピボットカートリッジ ; ヘッドを回転可能ディスクの選択したトラックに対して粗く位置決めする ように、アクチュエータ組立体を軸の周りに回転するために、アクチ ュエータ組立体に作動状に結合された低分解能モータ;並びに Eブロック本体の中の圧電素子で、この圧電素子を横切る電圧に基づいて 選択的に膨張および収縮するように制御可能であり、それによってヘ ッドを回転可能ディスクの選択したトラックに対して細かく位置決め するように、Eブロック本体をヒンジ点の周りに歪める圧電素子; を含むシステム。 2. 請求項1のシステムであって、更に、前記圧電素子の膨張および収縮に応 じた前記Eブロック本体の歪みを容易にするために、前記ヒンジ点に隣接して前 記Eブロック本体に作られた逃げを含むシステム。 3. 請求項1のシステムに於いて、前記圧電素子が第1および第2導電端子並 びに複数の圧電結晶層を含むシステム。 4. 請求項3のシステムに於いて、前記圧電素子が前記第1および第2導電端 子に掛ける電圧に応じてd32方向に膨張および収縮するシステム。 5. 請求項3のシステムに於いて、前記圧電素子が前記第1および第2導電端 子に掛ける電圧に応じてd33方向に膨張および収縮するシステム。 6. 請求項3のシステムに於いて、前記圧電素子が前記第1および第2導電端 子に掛ける電圧に応じてd31方向に膨張および収縮するシステム。 7. ディスクドライブの変換ヘッドを、複数の同心トラックを有する回転可能 ディスクの選択したトラック上に位置決めする方法であって: 空洞を含んである軸の周りに可動なEブロック本体、Eブロック本体から 伸びる少なくとも一つのアクチュエータアーム、アクチュエータアー ムの端に結合された上記変換ヘッドを含むヘッド支持機構、およびE ブロック本体の空洞の中のピボットカートリッジで、Eブロック本体 がこのピボットカートリッジに取付けられて、Eブロック本体とこの ピボットカートリッジの間のヒンジ点を形成するピボットカートリッ ジを有するアクチュエータ組立体を用意する段階; ヘッドを回転可能ディスクの選択したトラックに対して粗く位置決めする ように、アクチュエータ組立体を軸の周りに回転するために、低分解 能モータを作動させる段階;並びに Eブロック本体の中の圧電素子を選択的に膨張および収縮させ、それによ ってヘッドを回転可能ディスクの選択したトラックに対して細かく位 置決めするように、Eブロック本体をヒンジ点の周りに歪めるために 電圧を掛ける段階; を含む方法。 8. 請求項7の方法であって、更に、前記圧電素子の膨張および収縮に応じた 前記Eブロック本体の歪みを容易にするために、前記ヒンジ点に隣接して前記E ブロック本体に逃げを作る段階を含む方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008120820A1 (ja) 2007-03-29 2008-10-09 International Flower Developments Proprietary Limited 表層キメラ形質転換植物の作出方法
JP2011029646A (ja) * 1999-04-20 2011-02-10 Seagate Technology Llc 差動型pztアクチベータの電極パターンの形成
US8978653B2 (en) 2000-06-22 2015-03-17 Resmed Limited Mask with gusset

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5898544A (en) * 1997-06-13 1999-04-27 Hutchinson Technology Incorporated Base plate-mounted microactuator for a suspension
JPH11273279A (ja) * 1998-03-20 1999-10-08 Fujitsu Ltd ディスク装置及びヘッドキャリッジ装置
US6157522A (en) * 1998-04-07 2000-12-05 Seagate Technology Llc Suspension-level microactuator
US6295185B1 (en) 1998-04-07 2001-09-25 Seagate Technology Llc Disc drive suspension having a moving coil or moving magnet microactuator
JP3698911B2 (ja) * 1999-03-15 2005-09-21 富士通株式会社 ヘッドキャリッジ装置
US6278587B1 (en) * 1999-04-21 2001-08-21 Magnecomp Corp. Positive coupling of piezoelectric devices in disk drive suspensions
US20020101688A1 (en) * 1999-12-10 2002-08-01 Liu Joseph Cheng-Tsu Hinge pivot for disc drive
US6704156B1 (en) * 2000-01-31 2004-03-09 Maxtor Corporation Self-writing of servo patterns in a disk drive using a printed reference pattern
US6744589B2 (en) 2000-05-10 2004-06-01 Seagate Technology Llc Single-sided unipolar device driver for a piezoelectric transducer in a disc drive
US7248444B1 (en) * 2000-07-21 2007-07-24 Lauer Mark A Electromagnetic heads, flexures, gimbals and actuators formed on and from a wafer substrate
SG92724A1 (en) 2000-07-24 2002-11-19 Inst Data Storage Head suspension assembly with piezoelectric beam micro actuator
US7068473B2 (en) * 2001-01-22 2006-06-27 Kinetic Ceramics, Inc. Piezoelectric microactuator for improved tracking control of disk drive read/write heads
US6624983B1 (en) * 2001-02-28 2003-09-23 Western Digital Technologies, Inc. Mechanical dual stage actuator linkage for a hard disk drive
WO2004008439A1 (en) * 2002-07-10 2004-01-22 Sae Magnetics (H. K.) Ltd. Head arm assembly design for high volume hard disk drive
US7038888B2 (en) * 2002-07-30 2006-05-02 Seagate Technology Llc Piezo-electric microactuator for dual stage actuator
US7023667B2 (en) 2002-10-07 2006-04-04 Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. Dual stage suspension with PZT actuators arranged to improve actuation in suspensions of short length
DE10304530B4 (de) * 2003-02-04 2005-09-15 Eads Deutschland Gmbh Verformbares aerodynamisches Profil
US11948612B2 (en) 2021-04-19 2024-04-02 Seagate Technology Llc Zero skew elevator system
US11468909B1 (en) * 2021-11-02 2022-10-11 Seagate Technology Llc Zero skew with ultrasonic piezoelectric swing suspension

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0673229B2 (ja) * 1985-09-27 1994-09-14 日本電気株式会社 磁気ヘツド駆動装置
JP3064336B2 (ja) * 1989-06-28 2000-07-12 株式会社日立製作所 情報取扱い装置およびデイスク装置
JP2607756B2 (ja) * 1990-07-18 1997-05-07 シーゲイト テクノロジー インターナショナル 磁気ディスクのトラック上でトランスデューサーを位置決めする装置
US5521778A (en) * 1994-08-30 1996-05-28 International Business Machines Corporation Disk drive with primary and secondary actuator drives

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011029646A (ja) * 1999-04-20 2011-02-10 Seagate Technology Llc 差動型pztアクチベータの電極パターンの形成
US8978653B2 (en) 2000-06-22 2015-03-17 Resmed Limited Mask with gusset
US9522246B2 (en) 2000-06-22 2016-12-20 Resmed Limited Mask with gusset
WO2008120820A1 (ja) 2007-03-29 2008-10-09 International Flower Developments Proprietary Limited 表層キメラ形質転換植物の作出方法

Also Published As

Publication number Publication date
KR100363066B1 (ko) 2002-11-30
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