JP2002502309A - 化学薬品スピンコーテイングのための方法および装置 - Google Patents
化学薬品スピンコーテイングのための方法および装置Info
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Abstract
Description
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1. 化学薬品を基体回路基板の面上にスピンコーテイングするための化学アプ リケーターであって、 回路基板を支持するためのボウルであって、このボウルは回路基板のレベルよ り下に形成された多数の排出孔を備えており; 平坦面を有する蓋であって、この平坦面は回路基板上方の予め定められた距離 の位置を占めかつボウルと噛み合い;かつ 溶剤を回路基板の下側に供給するためにボウル内に形成された多数の噴射孔と を包含している化学アプリケーター。 2. 多数の噴射孔が1個のリング内に形成され、このリングは溶剤噴射リング に連結されており、この溶剤噴射リングは流体卯溶剤を受け入れて回路基板下側 の外周縁近傍に供給するように形成されている、請求項1に記載の化学薬品を回 路基板の面上にスピンコーテイングするための化学アプリケーター。 3. リングが回路基板の下側から離れている内面を備えている、請求項2に記 載の化学薬品を回路基板の面上にスピンコーテイングするための化学アプリケー ター。 4. 更にボウル上に蓋を機械的に適用するためのロック軸を包含し、かつこの ロック軸はスピンコーテイング工程中に蓋をボウルに固定するように形成されて いる、請求項1に記載の化学薬品を回路基板の面上にスピンコーテイングするた めの化学アプリケーター。 5. ボウルが多数のピンを備え、これらのピンは蓋をボウルに噛み合わせかつ 固定するように形成されている、請求項4に記載の化学薬品を回路基板の面上に スピンコーテイングするための化学アプリケーター。 6. 蓋が1個の中空内側領域を備え、その領域はロック軸を受け入れ得るよう に形成されている、請求項4に記載の化学薬品を回路基板の面上にスピンコーテ イングするための化学アプリケーター。 7. 予め定められた距離が約2mmと約10mmの間である、請求項1に記載 の化学薬品を回路基板の面上にスピンコーテイングするための化学アプリケータ ー。 8. 予め定められた距離が約2mmと約4mmの間である、請求項1に記載の 化学薬品を回路基板の面上にスピンコーテイングするための化学アプリケーター 。 9. ボウルが1個の捕獲カップ内に固定されており、捕獲カップが排出システ ムと排気システムを備えている、請求項1に記載の化学薬品を回路基板の面上に スピンコーテイングするための化学アプリケーター。 10. 捕獲カップが第1スプラッシュリングを包含し、このスプラッシュリン グが捕獲カップの頂部を覆うように形成されている、請求項9に記載の化学薬品 を回路基板の面上にスピンコーテイングするための化学アプリケーター。 11. 捕獲カップが1個の第2スプラッシュリングを包含し、この第2スプラ ッシュリングは第1スプラッシュリングと噛み合い、第2スプラッシュリングは 更に多数の排出孔から出た粒子を捕獲カップ内に実質的に保持するように形成さ れている、請求項10に記載の化学薬品を回路基板の面上にスピンコーテイング するための化学アプリケーター。 12. 回路基板が半導体ウエハーである、請求項1に記載の化学薬品を回路基 板の面上にスピンコーテイングするための化学アプリケーター。 13. ワークピースをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリケ ーターであって、 ワークピースを保持するためのボウルと; ボウルの頂面に装着される蓋と; ボウルの外周縁に配置された多数の底部排出孔と;および 多数の噴射孔であって、各噴射孔はボウルの下側外面上に位置する第1端部を 備え、かつ各噴射孔はボウルの内面上に位置する対応する第2端部を備え第1端 部と第2端部が接続されて通路を形成するように構成されている噴射孔とを包含 している、スピニング化学アプリケーター 14. 多数の噴射孔の第1端部が第1半径方向距離に位置し、この第1半径方 向距離は多数の噴射孔の第2端部の第2半径方向距離よりも小さい、請求項13 に記載のワークピースをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリケ ーター。 15. 蓋がボウルとワークピースを包み込む、請求項13に記載のワークピー スをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリケーター。 16. 多数の排出孔が多数の噴射孔からの排出通路を提供している、請求項1 4に記載のワークピースをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリ ケーター。 17. 多数の排出孔がボウルの実質的に底部近傍に形成されている、請求項1 4に記載のワークピースをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリ ケーター。 18. 多数の噴射孔がワークピースから垂直方向下方にかつ離れて位置してい る、請求項14に記載のワークピースをスピンコーテイングするためのスピニン グ化学アプリケーター。 19. ボウルがワークピースをボウルに固着させるための真空通路を備えてい る、請求項14に記載のワークピースをスピンコーテイングするためのスピニン グ化学アプリケーター。 20. 真空通路がバキュームポンプに接続されている、請求項19に記載のワ ークピースをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリケーター。 21. 蓋が多数のピンホールを備え、これらのピンホールはボウルの頂舌部に 形成された多数のピンと噛み合うように構成されている、請求項13に記載のワ ークピースをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリケーター。 22. ワークピースが半導体ウエハーである、請求項13に記載のワークピー スをスピンコーテイングするためのスピニング化学アプリケーター。 23. 化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための方法であって、 回路基板上に化学薬品を供給し; 回路基板を保持するように形成された閉じたボウル内に回路基板を包含し; 閉じたボウルを回して化学薬品を回路基板頂面上に展開させ;かつ 閉じたボウル内に溶剤を噴射させて閉じたボウルの回転中に噴射された溶剤を 回路基板の下面に供給し、噴射された溶剤で回路基板上に供給された化学薬品の エッジビードを減す、方法。 24. 回路基板の下面に噴射された溶剤が化学薬品ビードに接触した時に回路 基板の頂面に形成されている化学薬品ビードを溶かす工程を更に包含している、 請求項23に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための方法 。 25. 化学薬品ビードの溶解により回路基板の頂面に実質的に均一な化学薬品 コーテイングを製造する、請求項24に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコ ーテイングするための方法。 26. 閉じたボウルの回転が閉じたボウルの底部に形成された多数の噴射孔を 通る溶剤の噴射を助長する、請求項25に記載の化学薬品を回路基板上にスピン コーテイングするための方法。 27. 化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置であって、 回路基板を保持するための起立した保持部を有するボウルであって、このボウ ルはキャビテイを形成する湾曲壁を備え、このキャビテイはボウルの外周縁近傍 で流体を保持し得る; 湾曲壁に噛み合うように形成された蓋であって、この壁は実質的に平坦な底部 を持ち、この底部は回路基板の頂面に近接配置されている; 回路基板の下側の排出リングに沿い形成されている流体噴射孔であって、この 流体噴射孔は回路基板の下側の外周縁近傍に指向している;かつ ボウルの床領域上に形成された多数の排出孔であって、この多数の排出孔はボ ウルの外側領域から離れていてボウルが高速回転中にはキャビテイで流体を保持 可能とし、ボウルが減速すると流体の排出を可能としている、装置。 28. 回路基板に供給される流体はボウルの旋回時に遠心力により回路基板上 に撒き散らされ、この遠心力は更に回路基板から飛散した流体をボウルの旋回中 にキャビテイー内に保持するように作用する、請求項27に記載の化学薬品を回 路基板上にスピンコーテイングするための装置。 29. ボウルが湾曲壁の外縁から外側に形成された延長部を包含している、請 求項27に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置。 30. 流体噴射孔が約30°と約50°の間の角度で形成されている、請求項 28に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置。 31. 更に湾曲壁の外縁から外側に形成さらた延長部を有するボウルを受ける 形状の捕獲カップを包含し、この捕獲カップが更に延長部と共に粒子減少用ラビ リンスを形成する少なくとも1個のスプラッシュリングを包含している、請求項 27に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置。 32. 蓋の実質的に平坦な下側は回路基板の頂面から約2mmと約3mmの間 である、請求項30に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするた めの装置。 33. 更に流体噴射孔を通る溶剤を導くためにボウル下面に形成された噴射リ ングを包含している、請求項32に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテ イングするための装置。 34. 回路基板に適用される流体はフォトレジスト化学薬品およびスピン・オ ン・ガラス化学薬品からなる群から選択された1個の化学薬品である、請求項3 3に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置。 35. 溶剤が回路基板の外縁に近い回路基板の下側に供給され、その溶剤は回 路基板の縁で化学薬品のビードを除去するように構成されている、請求項33に 記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置。 36. 供給された溶剤と供給された化学薬品はボウルの旋回時に遠心力により キャビテイー内に捕獲される、請求項35に記載の化学薬品を回路基板上にスピ ンコーテイングするための装置。 37. 更に蓋をボウル上に機械的に適用するためのロック軸を包含し、このロ ック軸はボウルの旋回時に蓋を保持するように形成されている、請求項36に記 載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装置。 38. ボウルが蓋をボウルに固定するための多数の磁石パッドを包含している 、請求項36に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテイングするための装 置。 39. キャビテイーが約10cm3および約20cm3の間の容積を保持するよ うに形成されている、請求項36に記載の化学薬品を回路基板上にスピンコーテ イングするための装置。 40. 回路基板をスピンコーテイングするための方法であって、 ボウル内に支持されている回路基板上にスピンコートされる化学薬品を供給し 、このボウルはボウルの外縁に流体保持キャビテイーを備えており; このボウル内に回路基板を入れ; 収容されたボウルを旋回して供給された化学薬品をウエハーの表面上にスピン コートし; ウエハーの下面外縁近傍に溶剤を噴射してウエハーの縁から余分の化学薬品ビ ードを除去し;かつ 収容されたボウルの旋回中に回路基板から流出した溶剤および余分の化学薬品 を流体保持キャビテイー内に集める、方法。 41. 更に収容されたボウルが非旋回状態に近付いた時に流体保持キャビテイ ー内に集められている余分の化学薬品ビードおよび溶剤を排出する工程を包含す る、請求項40に記載の回路基板をスピンコーテイングするための方法。 42. 流体保持キャビテイー内に集められた余分の化学薬品はボウルの底部領 域内に設けられた多数の排出孔を通して排出される、請求項41に記載の回路基 板をスピンコーテイングするための方法。 43. 多数の排出孔がボウルの外縁から離れて配置されて流体保持キャビテイ ーを形成している、請求項42に記載の回路基板をスピンコーテイングするため の方法。 44. 流体保持キャビテイーが約10cm3および約20cm3の間の容積を保 持するように形成されている、請求項41に記載の回路基板をスピンコーテイン グするための方法。 45. 更に旋回中にボウルが塞がれた時供給された化学薬品の蒸発を抑制し、 この化学薬品の蒸発抑制が回路基板頂面上のより均一なスピンコーテイングをも たらすことを包含している、請求項41に記載の回路基板をスピンコーテイング するための方法。 46. 更にボウルの外縁に沿うボウル延長部を備えることを包含している、請 求項41に記載の回路基板をスピンコーテイングするための方法。 47. 更に旋回中の収容されているボウルを保持するための捕獲カップを備え 、この捕獲カップが少なくとも1個のスプラッシュリングを有し; 少なくとも1個のスプラッシュリングとボウル延長部との間にラビリンスを形 成し、このラビリンスが捕獲カップから逃げる粒子の量を減すことを包含してい る、請求項46に記載の回路基板をスピンコーテイングするための方法。 48. 更にボウル内に噴射される溶剤による各スピンコーテイング作業の後に ボウルの余分の化学薬品を清掃する工程を包含している、請求項46に記載の回 路基板をスピンコーテイングするための方法。 49. スピンコーテイング装置であって、 スピンコートされるべき化学薬品をボウル内に保持されている回路基板上に供 給するための手段であって、このボウルがボウルの外縁に流体保持キャビテイー を備えており; ボウル内に回路基板を収容する手段; 収容されたボウルを旋回させて供給した化学薬品をウエハーの面上にスピンコ ートする手段; ウエハーの下側縁に溶剤を噴射する手段であって、この溶剤の供給はウエハー の端縁から余分の化学薬品を除去するように形成され;かつ 収容ボウルが旋回中に回路基板から流体保持キャビテイー内に流出する溶剤と 余分の化学薬品ビードを集めるための手段とを包含している、スピンコーテイン グ装置。 50. 更にボウルが実質的に停止した時にボウルから流体保持キャビテイー内 に集められた余分の化学薬品と溶剤を除去するための排出手段を包含している、 請求項49に記載のスピンコーテイング装置。 51. 更に各回路基板がスピンコートされた後にボウルの内部を清掃するため の手段を包含する、請求項50に記載のスピンコーテイング装置。 52. 更にボウルと捕獲カップの間に形成されたラビリンスを包含し、このラ ビリンスはスピンコーテイング作業中に捕獲カップからの粒子の流出を実質的に 阻止するように形成されている、請求項50に記載のスピンコーテイング装置。 53. 化学薬品がフォトレジスト化学薬品およびスピン・オン・ガラス化学薬 品からなる群から選択されている、請求項52に記載のスピンコーテイング装置 。
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