JP2002372556A - 正弦信号の振幅の平方の測定方法および測定装置 - Google Patents
正弦信号の振幅の平方の測定方法および測定装置Info
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- G—PHYSICS
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- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R21/00—Arrangements for measuring electric power or power factor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルタリングを必要としない、正弦信号の
振幅の平方もしくは瞬間電力の測定方法および測定装置
を実現する。 【解決手段】 正弦信号の瞬間電力を決定する方法およ
び装置を提供する。概して、本発明による装置はフィル
タリングを必要としないで正弦信号の瞬間電力を決定す
る。これは、三角法の恒等式ｓｉｎ2ｘ＋ｃｏｓ2ｘ＝１
に基づいて実現される。まず入力信号を、分離後の２つ
の信号が互いに位相が９０度ずれるように２つの信号に
分離し、次に分離されたこれらの信号を平方し、そし
て、この分離され平方された信号を加算することによっ
て、オリジナル信号のＡＣ成分を効果的に除去し、オリ
ジナル信号の振幅の平方のＤＣ部分をいかなる残留ＡＣ
成分も含まずに残存させる。オリジナル信号の振幅の平
方はオリジナル信号の瞬間電力に正比例する。
振幅の平方もしくは瞬間電力の測定方法および測定装置
を実現する。 【解決手段】 正弦信号の瞬間電力を決定する方法およ
び装置を提供する。概して、本発明による装置はフィル
タリングを必要としないで正弦信号の瞬間電力を決定す
る。これは、三角法の恒等式ｓｉｎ2ｘ＋ｃｏｓ2ｘ＝１
に基づいて実現される。まず入力信号を、分離後の２つ
の信号が互いに位相が９０度ずれるように２つの信号に
分離し、次に分離されたこれらの信号を平方し、そし
て、この分離され平方された信号を加算することによっ
て、オリジナル信号のＡＣ成分を効果的に除去し、オリ
ジナル信号の振幅の平方のＤＣ部分をいかなる残留ＡＣ
成分も含まずに残存させる。オリジナル信号の振幅の平
方はオリジナル信号の瞬間電力に正比例する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、概して電力の検
出、特に、正弦信号の瞬間電力に比例する正弦信号の振
幅の平方の検出に関する。
出、特に、正弦信号の瞬間電力に比例する正弦信号の振
幅の平方の検出に関する。
【０００２】
【従来の技術】正弦信号を含む多くのアプリケーション
において、しばしば正弦信号の瞬間電力を測定すること
が要求される。しかしながら、これは、通信やプラズマ
生成の分野のように、パルス化や変調が行われるアプリ
ケーションにおいては特に困難である。
において、しばしば正弦信号の瞬間電力を測定すること
が要求される。しかしながら、これは、通信やプラズマ
生成の分野のように、パルス化や変調が行われるアプリ
ケーションにおいては特に困難である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】正弦信号の電力あるい
は振幅を測定する従来の試みは、信号を整流し、その結
果生じる信号の残存ＡＣ成分をフィルタリングして除去
することに重点を置いて来た。しかし、この方法にはい
くつかの問題があった。コンデンサの例のように、多く
の場合に、使用されるフィルタは無効分を利用して不要
な信号を除去する。しかし、コンデンサは充電に一定の
時間を要する。しばしば、コンデンサのこの「立上がり
時間」は測定する信号のパルス幅より長いことがある。
従って、このようなフィルタは多くの場合に不適当であ
る。すなわち、そのようなフィルタを使用したシステム
は、パルス幅のエンベロープが短い正弦信号の振幅もし
くは瞬間電力を正確に測定することができない。従っ
て、フィルタは、コンデンサの充電に必要な時間のため
に、正弦信号にパルス幅の最小値および変調周波数の最
大値という許容制限を有する。このような状況におい
て、これらおよびその他の問題を解消する装置技術が必
要とされている。
は振幅を測定する従来の試みは、信号を整流し、その結
果生じる信号の残存ＡＣ成分をフィルタリングして除去
することに重点を置いて来た。しかし、この方法にはい
くつかの問題があった。コンデンサの例のように、多く
の場合に、使用されるフィルタは無効分を利用して不要
な信号を除去する。しかし、コンデンサは充電に一定の
時間を要する。しばしば、コンデンサのこの「立上がり
時間」は測定する信号のパルス幅より長いことがある。
従って、このようなフィルタは多くの場合に不適当であ
る。すなわち、そのようなフィルタを使用したシステム
は、パルス幅のエンベロープが短い正弦信号の振幅もし
くは瞬間電力を正確に測定することができない。従っ
て、フィルタは、コンデンサの充電に必要な時間のため
に、正弦信号にパルス幅の最小値および変調周波数の最
大値という許容制限を有する。このような状況におい
て、これらおよびその他の問題を解消する装置技術が必
要とされている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は入力信号の振幅
の平方もしくは瞬間電力を決定するための方法および装
置を提供する。
の平方もしくは瞬間電力を決定するための方法および装
置を提供する。
【０００５】第１の実施形態においては、入力信号の振
幅の平方の測定装置は、入力信号を互いに位相が９０度
ずれるような第１部分と第２部分とに分離する分離手段
と、第１部分を平方する第１の平方手段、第２部分を平
方する第２の平方手段と、平方された第１部分と平方さ
れた第２部分を加算する加算手段と、を備え、平方され
たあとに加算される第１部分と平方されたあとに加算さ
れる第２部分とで、入力信号の振幅の平方に比例する出
力信号を生成する。
幅の平方の測定装置は、入力信号を互いに位相が９０度
ずれるような第１部分と第２部分とに分離する分離手段
と、第１部分を平方する第１の平方手段、第２部分を平
方する第２の平方手段と、平方された第１部分と平方さ
れた第２部分を加算する加算手段と、を備え、平方され
たあとに加算される第１部分と平方されたあとに加算さ
れる第２部分とで、入力信号の振幅の平方に比例する出
力信号を生成する。
【０００６】本発明のさらなる１つの実施形態において
は、正弦信号の振幅の平方の測定方法は、正弦信号を互
いに位相が９０度ずれるような第１部分と第２部分とに
分離するステップと、第１部分を平方するステップと、
第２部分を平方するステップと、平方された第１部分と
平方された第２部分とを加算するステップと、を備え、
平方されたあとに加算される第１部分と平方されたあと
に加算される第２部分とで、正弦信号の振幅の平方に比
例する出力信号を生成する。
は、正弦信号の振幅の平方の測定方法は、正弦信号を互
いに位相が９０度ずれるような第１部分と第２部分とに
分離するステップと、第１部分を平方するステップと、
第２部分を平方するステップと、平方された第１部分と
平方された第２部分とを加算するステップと、を備え、
平方されたあとに加算される第１部分と平方されたあと
に加算される第２部分とで、正弦信号の振幅の平方に比
例する出力信号を生成する。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明によって、正弦信号の瞬間
電力を決定するための方法および装置が提供される。概
して、また以下に詳述するように、本発明による装置は
フィルタリングを必要としないで正弦信号の瞬間電力を
決定する。これは三角法の恒等式ｓｉｎ2ｘ＋ｃｏｓ2ｘ
＝１に基づいて実行される。まず入力信号を、分離後の
２つの信号が互いに位相が９０度ずれるように２つの信
号に分離し、次に分離されたこれらの信号を平方し、さ
らに、これらの分離され平方された信号を加算すること
によって、オリジナル信号のＡＣ成分を効果的に除去
し、オリジナル信号の振幅の平方のＤＣ部分をいかなる
残留ＡＣ成分も含まずに残存させる。オリジナル信号の
振幅の平方はオリジナル信号の瞬間電力に正比例する。
電力を決定するための方法および装置が提供される。概
して、また以下に詳述するように、本発明による装置は
フィルタリングを必要としないで正弦信号の瞬間電力を
決定する。これは三角法の恒等式ｓｉｎ2ｘ＋ｃｏｓ2ｘ
＝１に基づいて実行される。まず入力信号を、分離後の
２つの信号が互いに位相が９０度ずれるように２つの信
号に分離し、次に分離されたこれらの信号を平方し、さ
らに、これらの分離され平方された信号を加算すること
によって、オリジナル信号のＡＣ成分を効果的に除去
し、オリジナル信号の振幅の平方のＤＣ部分をいかなる
残留ＡＣ成分も含まずに残存させる。オリジナル信号の
振幅の平方はオリジナル信号の瞬間電力に正比例する。
【０００８】ここで、図１より開始して図面の詳細を参
照する。図１では、本発明による好ましい実施形態のシ
ステム構成の概要が示されている。図１に図示されてい
る装置１００は、正弦信号を発生する信号発生手段１１
０、入力信号を互いに位相が９０度ずれている２つの部
分に分離するスプリッタ手段１２０、分離された各々の
信号を平方する平方手段１３０、１４０、および２つの
平方された信号を加算する加算手段１５０を通常は備え
る。
照する。図１では、本発明による好ましい実施形態のシ
ステム構成の概要が示されている。図１に図示されてい
る装置１００は、正弦信号を発生する信号発生手段１１
０、入力信号を互いに位相が９０度ずれている２つの部
分に分離するスプリッタ手段１２０、分離された各々の
信号を平方する平方手段１３０、１４０、および２つの
平方された信号を加算する加算手段１５０を通常は備え
る。
【０００９】次に、図２は本発明による装置の詳細を示
す。図示のように、入力は実際には正弦信号を発生する
いかなる装置からでもよい。例えば、入力信号は測定す
る信号を発生する適当な方向性結合器もしくはセンサで
発生させることができる。いかなる信号も複数の正弦信
号の合計として表され得る点に注目すべきである。従っ
て、本発明の利用は単一の周波数からなる正弦信号に限
定されるべきではない。
す。図示のように、入力は実際には正弦信号を発生する
いかなる装置からでもよい。例えば、入力信号は測定す
る信号を発生する適当な方向性結合器もしくはセンサで
発生させることができる。いかなる信号も複数の正弦信
号の合計として表され得る点に注目すべきである。従っ
て、本発明の利用は単一の周波数からなる正弦信号に限
定されるべきではない。
【００１０】さらに図示されているように、好ましい実
施形態においては、スプリッタ手段１２０は直交スプリ
ッタ２２０である。直交スプリッタ２２０は、信号を互
いに位相が９０度ずれた等しい振幅の２つの別個の信号
に分離するためのよく知られた回路要素である。本質に
おいて、直交スプリッタ２２０は、式ｓｉｎ（ｘ＋π／
２）＝ｃｏｓ（ｘ）が示すように入力信号を入力信号の
余弦成分と正弦成分とに分離する。
施形態においては、スプリッタ手段１２０は直交スプリ
ッタ２２０である。直交スプリッタ２２０は、信号を互
いに位相が９０度ずれた等しい振幅の２つの別個の信号
に分離するためのよく知られた回路要素である。本質に
おいて、直交スプリッタ２２０は、式ｓｉｎ（ｘ＋π／
２）＝ｃｏｓ（ｘ）が示すように入力信号を入力信号の
余弦成分と正弦成分とに分離する。
【００１１】入力２１０は直交スプリッタ２２０に接続
されている。入力は通常は高周波成分を有する正弦信号
の形態の無線周波数（ＲＦ）信号である。ＲＦ信号は通
常は２ｍｓｉｎθの形式で一般化され、ここで２ｍは正
弦信号の振幅である。従って、直交スプリッタ２２０の
出力はｍｓｉｎθとｍｃｏｓθとの２つの信号である。
第１の分離信号はｍｓｉｎθであり、第１の分離信号に
対して位相が９０度ずれた成分である第２の分離信号は
ｍｃｏｓθである。両信号は各々平方手段２３０および
２４０に別々に送信される。平方手段からの出力は、各
々ｍ2ｓｉｎ2θおよびｍ2ｃｏｓ2θである。両信号が加
算回路２５０で加算されると、その結果の出力信号は２
ｍ2（ｓｉｎ2θ＋ｃｏｓ2θ）となる。三角法の恒等式
ｓｉｎ2θ＋ｃｏｓ2θ＝１のために、出力信号は２ｍ2
の一定したＤＣ出力レベルとなる。従って、出力信号は
入力信号の電力に正比例する。
されている。入力は通常は高周波成分を有する正弦信号
の形態の無線周波数（ＲＦ）信号である。ＲＦ信号は通
常は２ｍｓｉｎθの形式で一般化され、ここで２ｍは正
弦信号の振幅である。従って、直交スプリッタ２２０の
出力はｍｓｉｎθとｍｃｏｓθとの２つの信号である。
第１の分離信号はｍｓｉｎθであり、第１の分離信号に
対して位相が９０度ずれた成分である第２の分離信号は
ｍｃｏｓθである。両信号は各々平方手段２３０および
２４０に別々に送信される。平方手段からの出力は、各
々ｍ2ｓｉｎ2θおよびｍ2ｃｏｓ2θである。両信号が加
算回路２５０で加算されると、その結果の出力信号は２
ｍ2（ｓｉｎ2θ＋ｃｏｓ2θ）となる。三角法の恒等式
ｓｉｎ2θ＋ｃｏｓ2θ＝１のために、出力信号は２ｍ2
の一定したＤＣ出力レベルとなる。従って、出力信号は
入力信号の電力に正比例する。
【００１２】平方回路２３０、２４０は各々、正弦信号
および余弦信号を受信し、各々の信号の振幅を平方す
る。平方回路２３０、２４０としては、例えば米国マサ
チューセッツ州ノルウッド(Ｎｏｒｗｏｏｄ)のアナログ
デバイセス社（ＡｎａｌｏｇＤｅｖｉｃｅｓ， Ｉｎ
ｃ．）製のモデルＡＤ８３５のような４象限電圧出力ア
ナログ乗算器などを使用できる。他の平方回路も同様に
使用できる点にも留意すべきである。
および余弦信号を受信し、各々の信号の振幅を平方す
る。平方回路２３０、２４０としては、例えば米国マサ
チューセッツ州ノルウッド(Ｎｏｒｗｏｏｄ)のアナログ
デバイセス社（ＡｎａｌｏｇＤｅｖｉｃｅｓ， Ｉｎ
ｃ．）製のモデルＡＤ８３５のような４象限電圧出力ア
ナログ乗算器などを使用できる。他の平方回路も同様に
使用できる点にも留意すべきである。
【００１３】加算回路２５０は２つの信号を加算し、オ
リジナル信号の振幅の平方（電力）のいかなる残留ＡＣ
成分も含まないＤＣ部分である出力信号を出力する。加
算回路は様々な方法で組み込まれる。例えば、単に信号
線を結線する方法もしくは他の複合高絶縁方式などによ
って加算回路２５０を形成することができる。
リジナル信号の振幅の平方（電力）のいかなる残留ＡＣ
成分も含まないＤＣ部分である出力信号を出力する。加
算回路は様々な方法で組み込まれる。例えば、単に信号
線を結線する方法もしくは他の複合高絶縁方式などによ
って加算回路２５０を形成することができる。
【００１４】次に図３は、本発明による回路を具体的な
実施形態で示している。図示のように、直交スプリッタ
２２０は並列に組まれた二対の抵抗とコンデンサとを有
している。第１の分離信号は抵抗３１０から取り出さ
れ、第２の分離信号はコンデンサ３１４から取り出され
る。分離信号は例えばアナログデバイセス社（Ａｎａｌ
ｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ）製のＡＤ８３５ユニットにより
構成されるような良好な平方回路の入力ポートに送信さ
れる。ＡＤ８３５ユニットのうちの１つのユニット２４
０の出力ポートからは、本発明によるＤＣ信号が出力さ
れる。ＡＤ８３５ユニットの動作については以下に詳細
を説明する。
実施形態で示している。図示のように、直交スプリッタ
２２０は並列に組まれた二対の抵抗とコンデンサとを有
している。第１の分離信号は抵抗３１０から取り出さ
れ、第２の分離信号はコンデンサ３１４から取り出され
る。分離信号は例えばアナログデバイセス社（Ａｎａｌ
ｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ）製のＡＤ８３５ユニットにより
構成されるような良好な平方回路の入力ポートに送信さ
れる。ＡＤ８３５ユニットのうちの１つのユニット２４
０の出力ポートからは、本発明によるＤＣ信号が出力さ
れる。ＡＤ８３５ユニットの動作については以下に詳細
を説明する。
【００１５】図３の装置の動作の詳細をここに記載す
る。入力信号は入力信号発生器２１０によって発生す
る。入力信号は通常は振幅が２ｍの正弦信号である。直
交スプリッタはブロック２２０に図示されている。直交
スプリッタは好ましくはコンデンサ３１２と直列に接続
された抵抗３１０を含む。一組の抵抗およびコンデンサ
３１０、３１２が整合する一組の抵抗およびコンデンサ
３１４，３１６と並列に接続されている。入力信号の周
波数が１３．５６ＭＨｚである典型的な実施形態におい
て、直交スプリッタの抵抗値は抵抗３１０、３１６にお
いて５１．１オームである。整合するコンデンサ３１２
および３１４は各々２３０ピコファラッドである。直交
スプリッタ２２０からの出力信号は２つの信号であり、
２つの別々の平方回路２３０、２４０に入力される。第
１の分離信号はｍｓｉｎθであり、第２の分離信号はｍ
ｃｏｓθであるが、これは、この手段による直交スプリ
ッタが、分離後の信号の振幅に現れる損失を導出するか
らである。
る。入力信号は入力信号発生器２１０によって発生す
る。入力信号は通常は振幅が２ｍの正弦信号である。直
交スプリッタはブロック２２０に図示されている。直交
スプリッタは好ましくはコンデンサ３１２と直列に接続
された抵抗３１０を含む。一組の抵抗およびコンデンサ
３１０、３１２が整合する一組の抵抗およびコンデンサ
３１４，３１６と並列に接続されている。入力信号の周
波数が１３．５６ＭＨｚである典型的な実施形態におい
て、直交スプリッタの抵抗値は抵抗３１０、３１６にお
いて５１．１オームである。整合するコンデンサ３１２
および３１４は各々２３０ピコファラッドである。直交
スプリッタ２２０からの出力信号は２つの信号であり、
２つの別々の平方回路２３０、２４０に入力される。第
１の分離信号はｍｓｉｎθであり、第２の分離信号はｍ
ｃｏｓθであるが、これは、この手段による直交スプリ
ッタが、分離後の信号の振幅に現れる損失を導出するか
らである。
【００１６】平方回路は好ましくはアナログデバイセス
社（Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ）製のＡＤ８３５ユ
ニットによる２３０、２４０である。ＡＤ８３５ユニッ
トは一体化した加算器を有する平方回路である。ＡＤ８
３５ユニットは乗算機能を実行するための２つの入力ポ
ートｘ1およびｙ1を有する。ｘ1およびｙ1ポートの積に
追加の入力を加算するために、追加の入力ポートｚが設
けられている。従って、出力ポートｗは論理関数ｚ＋
（ｘ1・ｙ1）を供給する。図に見られるように、第１の
ＡＤ８３５ユニット２３０の出力ポートは論理関数ｍｓ
ｉｎθ・ｍｓｉｎθを供給する。
社（Ａｎａｌｏｇ Ｄｅｖｉｃｅｓ）製のＡＤ８３５ユ
ニットによる２３０、２４０である。ＡＤ８３５ユニッ
トは一体化した加算器を有する平方回路である。ＡＤ８
３５ユニットは乗算機能を実行するための２つの入力ポ
ートｘ1およびｙ1を有する。ｘ1およびｙ1ポートの積に
追加の入力を加算するために、追加の入力ポートｚが設
けられている。従って、出力ポートｗは論理関数ｚ＋
（ｘ1・ｙ1）を供給する。図に見られるように、第１の
ＡＤ８３５ユニット２３０の出力ポートは論理関数ｍｓ
ｉｎθ・ｍｓｉｎθを供給する。
【００１７】図に見られるように、第１のＡＤ８３５ユ
ニット２３０の出力ポートは第２のＡＤ８３５ユニット
２４０の入力ポートｚに接続されている。従って、第２
のＡＤ８３５ユニット２４０の出力ポートｗは論理関数
ｍ2ｓｉｎ2θ＋（ｍｃｏｓθ・ｍｃｏｓθ）を供給す
る。従って、第２のＡＤ８３５ユニット２４０の出力ポ
ートｗは２ｍ2である。
ニット２３０の出力ポートは第２のＡＤ８３５ユニット
２４０の入力ポートｚに接続されている。従って、第２
のＡＤ８３５ユニット２４０の出力ポートｗは論理関数
ｍ2ｓｉｎ2θ＋（ｍｃｏｓθ・ｍｃｏｓθ）を供給す
る。従って、第２のＡＤ８３５ユニット２４０の出力ポ
ートｗは２ｍ2である。
【００１８】次に図４は、正弦信号の瞬間電力を測定す
るための本発明の手順を示している。信号は、第１にス
テップ４１０で等しい振幅の２つの信号に分離され、一
方の信号は他方の信号と位相が９０度ずれている。次
に、ステップ４２０において各々の信号が平方される。
最後に、ステップ４３０において平方された信号が加算
される。平方された信号のＡＣ成分は、２回の処理を通
じて周波数は平方される前から変化がなく、２回の処理
を通じて位相差（１８０度）が生じる。平方の処理によ
ってＤＣ成分は平方された信号に付与される。信号が加
算されるときに、平方された信号のＡＣ成分は、互いに
対して位相が１８０度ずれているので打ち消し合う。従
って、ＤＣ成分（平方の結果でありオリジナル信号には
存在しなかった）が出力される。
るための本発明の手順を示している。信号は、第１にス
テップ４１０で等しい振幅の２つの信号に分離され、一
方の信号は他方の信号と位相が９０度ずれている。次
に、ステップ４２０において各々の信号が平方される。
最後に、ステップ４３０において平方された信号が加算
される。平方された信号のＡＣ成分は、２回の処理を通
じて周波数は平方される前から変化がなく、２回の処理
を通じて位相差（１８０度）が生じる。平方の処理によ
ってＤＣ成分は平方された信号に付与される。信号が加
算されるときに、平方された信号のＡＣ成分は、互いに
対して位相が１８０度ずれているので打ち消し合う。従
って、ＤＣ成分（平方の結果でありオリジナル信号には
存在しなかった）が出力される。
【００１９】
【発明の効果】上記の発明の特徴は多くの利点を持つ。
第１に、出力は２ｍ2そのものであるので、入力信号の
電力を本発明による回路の出力信号から直接導出でき
る。第２に、低域フィルタを必要としないので、入力信
号上の任意に速い速度で変調された関数でも電力の測定
のために再生できる。
第１に、出力は２ｍ2そのものであるので、入力信号の
電力を本発明による回路の出力信号から直接導出でき
る。第２に、低域フィルタを必要としないので、入力信
号上の任意に速い速度で変調された関数でも電力の測定
のために再生できる。
【００２０】本発明は様々な具体的な実施形態で説明さ
れているが、本発明をここに開示されたとおりの実施形
態に制限することは意図されていない。従って、本説明
は説明だけを目的としていると解釈されるべきである。
この技術分野の当業者は、本発明の範囲および精神を逸
脱しない範囲で様々な改変および変更を行うことができ
る。従って、本発明の範囲は後続の請求項および相応事
項により決定され、かつ保護される。請求項の範囲内の
すべての変更の排他的適用の権利が留保される。
れているが、本発明をここに開示されたとおりの実施形
態に制限することは意図されていない。従って、本説明
は説明だけを目的としていると解釈されるべきである。
この技術分野の当業者は、本発明の範囲および精神を逸
脱しない範囲で様々な改変および変更を行うことができ
る。従って、本発明の範囲は後続の請求項および相応事
項により決定され、かつ保護される。請求項の範囲内の
すべての変更の排他的適用の権利が留保される。
【図１】本発明の実施形態のブロック線図である。
【図２】本発明の実施形態のブロック線図である。
【図３】本発明の実施形態の概要図である。
【図４】本発明による方法の流れ図である。
１００…測定装置 １１０…信号生成手段 １２０…スプリッタ手段 １３０、１４０、２３０、２４０…平方手段 １５０…加算手段 ２１０…入力 ２２０…直交スプリッタ ２３０、２４０…平方回路 ２５０…加算回路
Claims (19)
- 【請求項１】 入力信号の振幅の平方の測定装置であっ
て、 前記入力信号を、互いに位相が９０度ずれている第１部
分および第２部分に分離する分離手段と、 前記第１部分を平方する第１平方手段と、 前記第２部分を平方する第２平方手段と、 平方された前記第１部分と平方された前記第２部分とを
加算する加算手段と、を備え、 平方されたあとに加算される前記第１部分と、平方され
たあとに加算される前記第２部分とで、前記入力信号の
振幅の平方に比例する出力信号を生成することを特徴と
する入力信号の振幅の平方の測定装置。 - 【請求項２】 前記分離手段が直交スプリッタである請
求項１に記載の測定装置。 - 【請求項３】 前記入力信号がプラズマ発生装置内で生
成される請求項１に記載の測定装置。 - 【請求項４】 前記入力信号が方向性結合器によって生
成される請求項１に記載の測定装置。 - 【請求項５】 前記入力信号が単一の正弦信号である請
求項１に記載の測定装置。 - 【請求項６】 前記入力信号が複数の正弦信号の合計で
ある請求項１に記載の測定装置。 - 【請求項７】 前記出力信号がＤＣ信号である請求項１
に記載の測定装置。 - 【請求項８】 前記第１平方手段がＡＤ８３５ユニット
である請求項１に記載の測定装置。 - 【請求項９】 前記第２平方手段がＡＤ８３５ユニット
である請求項８に記載の測定装置。 - 【請求項１０】 前記加算手段が前記ＡＤ８３５ユニッ
トのうちの１つの内部に一体化された請求項９に記載の
測定装置。 - 【請求項１１】 前記加算手段が加算演算増幅器である
請求項１に記載の測定装置。 - 【請求項１２】 正弦信号の振幅の平方の測定方法であ
って、 前記正弦信号を、互いに位相が９０度ずれている第１部
分および第２部分に分離する分離ステップと、 前記第１部分を平方する第１の平方ステップと、 前記第２部分を平方する第２の平方ステップと、 平方された前記第１部分と平方された前記第２部分とを
加算する加算ステップと、を備え、 平方されたあとに加算される第１部分と、平方されたあ
とに加算される第２部分とで、前記正弦信号の振幅の平
方に比例する出力信号を生成することを特徴とする正弦
信号の振幅の平方の測定方法。 - 【請求項１３】 前記分離ステップが直交スプリッタに
よって実行される請求項１２に記載の測定方法。 - 【請求項１４】 前記正弦信号がプラズマ発生装置内で
生成される請求項１２に記載の測定方法。 - 【請求項１５】 前記正弦信号が方向性結合器によって
生成される請求項１２に記載の測定方法。 - 【請求項１６】 前記第１の平方ステップがＡＤ８３５
ユニットによって実行される請求項１２に記載の測定方
法。 - 【請求項１７】 前記第２の平方ステップがＡＤ８３５
ユニットによって実行される請求項１６に記載の測定方
法。 - 【請求項１８】 前記加算ステップがＡＤ８３５ユニッ
トによって実行される請求項１７に記載の測定方法。 - 【請求項１９】 前記加算ステップが加算演算増幅器に
よって実行される請求項１２に記載の測定方法。
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