JP2002367784A - Organic el element - Google Patents

Organic el element

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JP2002367784A
JP2002367784A JP2001176037A JP2001176037A JP2002367784A JP 2002367784 A JP2002367784 A JP 2002367784A JP 2001176037 A JP2001176037 A JP 2001176037A JP 2001176037 A JP2001176037 A JP 2001176037A JP 2002367784 A JP2002367784 A JP 2002367784A
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oxide
electron
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    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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    • H10K50/00Organic light-emitting devices
    • H10K50/10OLEDs or polymer light-emitting diodes [PLED]
    • H10K50/17Carrier injection layers
    • H10K50/171Electron injection layers

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a reliable organic EL element with low driving power voltage with element reliability such as suppressed leak obtained from the use of an insulation layer or a resistance layer as a hole injection layer and with shortcoming prevented of increase of driving power voltage. SOLUTION: The organic EL element is composed of a hole injection electrode 2, an electron injection electrode 8 and of one or more kinds of organic layers 4, 5, 6 between these two electrodes. At least one layer 5 of the organic layers has a luminescence function, and an inorganic oxide electron injection layer 7 is arranged between the organic layer 5 with the luminescence function and the electron injection electrode 8. The inorganic oxide electron injection layer 7 contains molybdenum oxide as a first component and contains, as a second component, one or more kinds of metal or metal oxide with a work function of not more than 3 eV.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、正孔と電子の再
結合により光を発する有機材料を用いた有機エレクトロ
ルミネセンス素子(有機EL素子)に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent device (organic EL device) using an organic material which emits light by recombination of holes and electrons.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、占有面積の減少への観点からフラ
ットパネルディスプレイへの要求が高まっており、軽量
でバックライトを必要としないエレクトロルミネッセン
ス素子(以下、EL素子と略す)を用いたデバイスが注
目されている。EL素子には有機EL素子と無機EL素
子がある。このうちの有機EL素子は無機EL素子と異
なり、20V程度の低電圧で駆動することができるとい
う利点を有している。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been an increasing demand for flat panel displays from the viewpoint of reducing the occupied area, and a device using an electroluminescent element (hereinafter abbreviated as EL element) which is lightweight and does not require a backlight has been developed. Attention has been paid. EL elements include organic EL elements and inorganic EL elements. Among these, the organic EL element has an advantage that it can be driven at a low voltage of about 20 V, unlike the inorganic EL element.

【0003】有機EL素子の構造としては正孔注入電極
と電子注入電極の間に、正孔注入輸送層と有機発光層兼
電子注入輸送層とを有する2層構造や、あるいは、有機
発光層兼正孔注入輸送層と電子注入輸送層とを有する2
層靖造のもの等がある。
[0003] The structure of the organic EL device is a two-layer structure having a hole injection / transport layer and an organic light emitting layer / electron injection / transport layer between a hole injection electrode and an electron injection electrode, or an organic light emitting layer / positive layer. 2 having a hole injection transport layer and an electron injection transport layer
There is one of layer Yasushizo.

【0004】また、2層以上の構造としては正孔注入輸
送層、有機発光層、電子注入輸送層を有するものがあ
る。あるいは発光層と正孔注入輸送層と電子注入輸送層
とを1つの層にまとめて有する単層構造も知られてい
る。
As a structure having two or more layers, there is a structure having a hole injection / transport layer, an organic light emitting layer, and an electron injection / transport layer. Alternatively, a single-layer structure having a light-emitting layer, a hole injection / transport layer, and an electron injection / transport layer in one layer is also known.

【0005】これら有機EL素子において、実用的な電
力において実用的な輝度を得るために、上記した構造の
ように、正孔、電子を効率よく有機発光層に注入輸送す
るための注入層が必要になる。
In these organic EL devices, an injection layer for efficiently injecting and transporting holes and electrons into the organic light emitting layer as in the above-described structure is required in order to obtain practical brightness at practical power. become.

【0006】これまでの素子で電子を効率良く注入する
為には、特開昭63−295695号公報で述べられて
いるように、アルカリ金属に代表される、仕事関数が低
い金属を用いることが必要であった。しかし、低仕事関
数金属は酸化されやすく、扱いにくい物質であるため
に、電子デバイスに適用することの難しさも同広報で同
時に指摘されている。
In order to inject electrons efficiently in the conventional devices, it is necessary to use a metal having a low work function typified by an alkali metal, as described in JP-A-63-295695. Was needed. However, the same work also pointed out the difficulty of applying low work function metals to electronic devices because they are easily oxidized and difficult to handle.

【0007】これを改善するために、特開平5−121
172号公報では、比較的安定で安価な金属であるアル
ミニウムに、低仕事関数金属であるリチウムを添加して
安定化した合金を電子注入層とする事で、効率が良い電
子注入層を作製している。
To improve this, Japanese Patent Laid-Open No. 5-121 is disclosed.
According to Japanese Patent No. 172, an efficient electron injection layer is manufactured by using an alloy stabilized by adding lithium, which is a low work function metal, to aluminum, which is a relatively stable and inexpensive metal, as an electron injection layer. ing.

【0008】しかし、特開平5−121172号公報で
述べられている方法では、アルミニウム中のアルカリ金
属濃度を0.1%以下に制御する必要があるが、アルミ
ニウムとアルカリ金属の共蒸着は制御が困難である。こ
のため、再現性が悪く、また装置の維持の困難さの問題
からその生産性は極めて低いのが現状であった。
However, in the method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-121172, it is necessary to control the concentration of alkali metal in aluminum to 0.1% or less, but the co-evaporation of aluminum and alkali metal is controlled. Have difficulty. For this reason, the reproducibility is poor and the productivity is extremely low due to the difficulty in maintaining the apparatus.

【0009】一方、電子注入効率に優れるアルカリ金属
を安定に使用する為に、特開平9−17574号公報で
は、アルカリ金属酸化物等の化合物を陰極と有機層との
界面に挿入する手法が開示されている。しかし、アルカ
リ金属化合物は吸湿性が高く、材料として扱いづらく、
また蒸着の際は脱ガスが起こりやすく成膜レートが不安
定である為、制御性に問題が生じる。さらに、アルカリ
金属化合物の反応性が高いために、蒸著ボートと反応し
てボートの腐食が起こってしまい、連続成膜が困難であ
る。このような観点から量産に適用することは極めて難
しいのが現状である。
On the other hand, in order to stably use an alkali metal having excellent electron injection efficiency, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-17574 discloses a method of inserting a compound such as an alkali metal oxide into the interface between the cathode and the organic layer. Have been. However, alkali metal compounds have high hygroscopicity and are difficult to handle as materials.
In addition, during vapor deposition, degassing is likely to occur, and the film formation rate is unstable, which causes a problem in controllability. Furthermore, since the reactivity of the alkali metal compound is high, it reacts with the steaming boat to cause corrosion of the boat, making continuous film formation difficult. At present, it is extremely difficult to apply to mass production from such a viewpoint.

【0010】また、特開2000−215983号公報
では、高抵抗の無機電子注入層にアルカリ金属等の低仕
事関数金属を含有させるものが公開されている。この公
報における発明の実施の形態において、無機電子注入層
の作製方法としてスパッタ法が好ましいと述べられてい
る。しかし、実際にこの公報で開示されている材料系
は、融点や取り扱いが困難である事などから、製造方法
としてスパッタ法を用いる必要があるが、スパッタ法は
有機膜にダメージを与える事が知られている。(sputte
r deposition of cathodes inorganic light emittimg
diodes,L.S.Hung,Jourmal of Applied Pbysics,Vol.
86 No.8,pp4607-4612,1999)このため、高効率である
有機EL素子を作製する方法としては不適格である。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-215893 discloses a material in which a high-resistance inorganic electron injecting layer contains a low work function metal such as an alkali metal. In the embodiment of the invention in this publication, it is stated that a sputtering method is preferable as a method for producing an inorganic electron injection layer. However, the material disclosed in this publication actually requires the use of a sputtering method as a manufacturing method due to its melting point and difficult handling. However, it is known that the sputtering method may damage an organic film. Have been. (Sputte
r deposition of cathodes inorganic light emittimg
diodes, LSHung, Jourmal of Applied Pbysics, Vol.
86 No.8, pp4607-4612, 1999) Therefore, it is not suitable as a method for producing a highly efficient organic EL device.

【0011】特開2000−235893号公報ではS
i、Ge、Sn、Pb、Ga、In、Zn、Cd、Mg
のカルコゲナイドまたはこれらの窒化物と、周期律表5
A−8族の化合物を含有した無機薄膜層を正孔注入層、
電子注入層に用いて効率が良い有機EL素子を作製する方
法を開示している。しかし、ここで述べられている方法
では、やはり特開2000−215983号公報と同様
に、スパッタ法に伴う素子へのダメージが避けられな
い。またさらに、この公報で述べられている無機薄膜層
は有機発光層の材料全てに対して良好であるわけではな
く、電子注入性が不足している。
Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-235893 discloses S
i, Ge, Sn, Pb, Ga, In, Zn, Cd, Mg
Chalcogenides or their nitrides and the periodic table 5
An inorganic thin film layer containing a compound of Group A-8 as a hole injection layer,
A method for manufacturing an efficient organic EL device by using the electron injection layer is disclosed. However, in the method described here, as in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-215983, damage to the element due to the sputtering method cannot be avoided. Furthermore, the inorganic thin film layer described in this publication is not good for all materials of the organic light emitting layer, and lacks electron injection properties.

【0012】[0012]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、電子
注入性に優れる高抵抗無機電子注入層によって、発光効
率が高く、動作電圧が低く、寿命が長い有機EL素子を容
易な製造方法で実現することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method for easily producing an organic EL device having a high luminous efficiency, a low operating voltage and a long life by using a high-resistance inorganic electron injecting layer having an excellent electron injecting property. It is to realize.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】すなわち上記目的は、以
下の本発明の構成により達成される。 (1) 正孔注入電極と、電子注入電極と、これらの電
極間に1種以上の有機層とを有し、少なくとも前記有機
層の1層は発光機能を有し、この発光機能を有する有機
層と電子注入電極の間には、無機酸化物電子注入層を有
し、この無機酸化物電子注入層は、第1成分として導電
性金属酸化物を含有し、第2成分として仕事関数3eV以
下の金属又は金属酸化物を1種類以上含有している有機
EL素子。 (2) 前記第1成分の導電性金属酸化物は、酸化モリ
ブデンである上記(1)の有機EL素子。 (3) 前記第2成分は、アルカリ金属である上記
(1)または(2)の有機EL素子。 (4) 前記無機酸化物電子注入層に含有される第2成
分の含有量は1〜70体積%である上記(1)〜(3)
のいずれかの有機EL素子。 (5) 前記第2成分の含有量は、第1成分と第2成分
の金属成分総計に対し0.1〜16質量%である上記
(1)〜(4)のいずれかの有機EL素子。
That is, the above object is achieved by the following constitution of the present invention. (1) A hole injecting electrode, an electron injecting electrode, and one or more organic layers between these electrodes, at least one of the organic layers has a light emitting function, and the organic layer having the light emitting function. An inorganic oxide electron injection layer is provided between the layer and the electron injection electrode. The inorganic oxide electron injection layer contains a conductive metal oxide as a first component, and has a work function of 3 eV or less as a second component. Organic EL device containing one or more kinds of metals or metal oxides. (2) The organic EL device according to (1), wherein the conductive metal oxide of the first component is molybdenum oxide. (3) The organic EL device according to (1) or (2), wherein the second component is an alkali metal. (4) The above (1) to (3), wherein the content of the second component contained in the inorganic oxide electron injection layer is 1 to 70% by volume.
Any one of the organic EL devices. (5) The organic EL device according to any one of (1) to (4), wherein the content of the second component is 0.1 to 16% by mass based on the total amount of the metal components of the first component and the second component.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】本発明の有機EL素子は、基板上
に正孔注入電極と電子注入電極とを有し、これらの電極
間に1層以上の有機層を有し、少なくとも前記有機層の
1層は発光機能を有しており、前記電子注入電極と前記
有機層との間に金属酸化物層を有し、この金属酸化物層
には第1成分として導電性金属酸化物、好ましくは酸化
モリブデンを含有し、第2成分として仕事関数3.0eV
以下の金属または金属酸化物を1種類以上含有している
ものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The organic EL device of the present invention has a hole injection electrode and an electron injection electrode on a substrate, and has at least one organic layer between these electrodes. One layer has a light emitting function, and has a metal oxide layer between the electron injection electrode and the organic layer, and the metal oxide layer preferably has a conductive metal oxide as a first component, Contains molybdenum oxide and has a work function of 3.0 eV as a second component.
It contains one or more of the following metals or metal oxides.

【0015】このように、第1成分が酸化モリブデン等
の導電性金属酸化物層に、第2成分として低仕事関数の
金属を含有させることで、電子注入効率が良くなり、発
光効率が向上し、駆動電圧が低下する。
As described above, when the first component contains a metal having a low work function as the second component in the conductive metal oxide layer such as molybdenum oxide, the electron injection efficiency is improved and the luminous efficiency is improved. As a result, the driving voltage decreases.

【0016】第1成分として金属酸化物、第2成分とし
て低仕事関数の金属を含有させる理由は、無機電子注入
層を高抵抗化し、ホールをブロックするとともに電子を
搬送するための導通パスを形成するためである。このよ
うに、電子の導通パスを有し、ホールをブロックできる
無機電子注入層を有機層と電子注入電極の間に配置する
ことで、発光層へ電子を効率良く注入する事ができ、発
光効率が向上するとともに駆動電圧が低下する。
The reason why the metal oxide is contained as the first component and the metal having a low work function is contained as the second component is to increase the resistance of the inorganic electron injection layer, block holes, and form a conduction path for transporting electrons. To do that. In this way, by arranging the inorganic electron injection layer having an electron conduction path and capable of blocking holes between the organic layer and the electron injection electrode, electrons can be efficiently injected into the light emitting layer, and the luminous efficiency can be improved. And the driving voltage decreases.

【0017】金属酸化物に低仕事関数金属を混合するこ
とは、反応性が高い低仕事関数金属を安定化させる目的
がある。さらに、電子注入電極となる金属(アルミニウ
ム等)と有機層は密着性が悪く、有機EL素子駆動に伴う
発熱等で容易に膜剥離を引き起こすため、信頼性が悪い
という問題があった。ここに、金属酸化物を無機電子注
入層として用いることで、上記剥離の問題も解決され
る。
The purpose of mixing a low work function metal with a metal oxide is to stabilize a highly reactive low work function metal. Further, there is a problem that the metal (such as aluminum) serving as an electron injection electrode and the organic layer have poor adhesion and easily peel off the film due to heat generation and the like accompanying the driving of the organic EL element, resulting in poor reliability. Here, by using a metal oxide as the inorganic electron injecting layer, the above-mentioned problem of separation can be solved.

【0018】無機酸化物電子注入層に用いる金属酸化物
は絶縁性、導電性を問わず上記問題を解決する。しか
し、絶縁性の場合、駆動電圧の上昇が起こりうるため、
好ましくは導電性金属酸化物を用いる方が電子注入効率
を高める効果が大きい。
The metal oxide used for the inorganic oxide electron injecting layer solves the above problem irrespective of insulating properties and conductivity. However, in the case of insulation, the drive voltage may increase,
Preferably, using a conductive metal oxide has a greater effect of increasing the electron injection efficiency.

【0019】本発明における導電性金属酸化物とは、好
ましくは比抵抗が108 Ω・cm以下であることを特徴
とし、また、上記、高抵抗無機電子注入層の観点から、
好ましくは10-2 Ω・cm以上の比抵抗を有するもの
である。
The conductive metal oxide in the present invention preferably has a specific resistance of 10 8 Ω · cm or less, and from the viewpoint of the high-resistance inorganic electron injection layer,
Preferably, it has a specific resistance of 10 −2 Ω · cm or more.

【0020】導電性金属酸化物としては酸化モリブデン
(MoO3 )、酸化バナジウム(V 25 )、酸化スズ
(SnO2 )、酸化第二銅(CuO)、および第一酸化
チタン(TiO)から選択されるいずれかの酸化物が好
ましい。さらにその中でも、抵抗加熱蒸著が容易であ
り、また取り扱いが簡易な材料として、酸化モリブデン
(MoO3 )が特に好ましい。
As the conductive metal oxide, molybdenum oxide
(MoOThree ), Vanadium oxide (V TwoOFive ), Tin oxide
(SnOTwo ), Cupric oxide (CuO), and primary oxidation
Any oxide selected from titanium (TiO) is preferred.
Good. Among them, resistance heating steaming is easy.
Molybdenum oxide as a material that is easy to handle
(MoOThree Is particularly preferred.

【0021】また、酸化モリブデン(MoO3 )は、正
八面体構造が連なった平面構造を有しており、アルカリ
金属等低仕事関数金属が挟み込まれ、安定化する働きが
有ると考えられる。
Further, molybdenum oxide (MoO 3 ) has a planar structure in which a regular octahedral structure is continuous, and it is considered that a low work function metal such as an alkali metal is sandwiched between the molybdenum oxide and the metal to stabilize it.

【0022】なお、上記の酸化物は必ずしも化学量論組
成である必要は無く、多少偏倚していても良い。また、
上記の酸化物を組み合わせても良い。組み合わせる場合
のそれぞれの量比は必要に応じて調整すれば良い。
The above oxides do not necessarily have to have a stoichiometric composition, and may be slightly deviated. Also,
The above oxides may be combined. When combined, the respective ratios may be adjusted as needed.

【0023】第2成分である仕事関数3eV以下の金属と
しては、K、Cs、Rb、Na、Sr、Li、Ba、E
u、Yb、Ce、Pr、Sm、I、およびCaが挙げら
れるが、効果の観点からはLi,Na,K,Rb,およ
びCsのアルカリ金属が好ましい。第2成分の仕事関数
は3eV以下、特に2.5eV以下である。その下限として
は小さいほど好ましく、特に限定されるものではない
が、通常2.0eV程度である。
As the second component, a metal having a work function of 3 eV or less, K, Cs, Rb, Na, Sr, Li, Ba, E
Examples thereof include u, Yb, Ce, Pr, Sm, I, and Ca, and from the viewpoint of effects, alkali metals such as Li, Na, K, Rb, and Cs are preferable. The work function of the second component is 3 eV or less, particularly 2.5 eV or less. The lower limit is preferably as small as possible, and is not particularly limited, but is usually about 2.0 eV.

【0024】この無機酸化物電子注入層における第2成
分は、全成分に対して1〜70体積%、特に30〜60
体積%含有されていることが好ましい。含有量が1体積
%以下では第2成分による駆動電圧低下の効果が少なく
なり、70体積%以上では金属酸化膜による密着健向上
の効果が少なくなり、信頼性が悪くなる。また、第2成
分として金属酸化物を用いた場合、駆動電圧が増大して
しまう。
The second component in the inorganic oxide electron injecting layer accounts for 1 to 70% by volume, especially 30 to 60% by volume, based on all components.
Preferably, it is contained by volume. If the content is 1% by volume or less, the effect of lowering the driving voltage by the second component is reduced, and if the content is 70% by volume or more, the effect of improving the adhesion by the metal oxide film is reduced, and the reliability is deteriorated. When a metal oxide is used as the second component, the driving voltage increases.

【0025】また、第2成分の含有量は、第1成分と第
2成分の金属成分の総計に対しは、好ましくは0.1〜
16質量%、特に4〜12質量%である。
[0025] The content of the second component is preferably 0.1 to 0.1 with respect to the total of the metal components of the first component and the second component.
It is 16% by weight, especially 4 to 12% by weight.

【0026】第2成分は膜中に均一に存在している必要
はなく、膜厚方向に対して傾斜組成となっていてもよ
い。この場合、有機層側に第2成分が多く存在するよう
にするとよい。なお、全体の組成は上記範囲内であるよ
うにする必要がある。
The second component does not need to exist uniformly in the film, but may have a gradient composition with respect to the film thickness direction. In this case, it is preferable that a large amount of the second component exists on the organic layer side. It is necessary that the entire composition be within the above range.

【0027】さらに、無機酸化物電子注入層には、第三
成分として、アルミニウム(Al)、チタン(Ti)、
タングステン(W)、モリブデン(Mo)等、比抵抗1
-2Ω・cm以下の金属を含有していてもよい。この場
合、無機酸化物電子注入層全体の抵抗率が108 Ω・c
m〜10-2 Ω・cmの範囲となるように含有量を調整
すればよい。
Further, in the inorganic oxide electron injection layer, aluminum (Al), titanium (Ti),
Specific resistance 1 such as tungsten (W) and molybdenum (Mo)
It may contain a metal of 0 -2 Ω · cm or less. In this case, the resistivity of the entire inorganic oxide electron injection layer is 10 8 Ω · c.
The content may be adjusted so as to be in the range of m to 10 −2 Ω · cm.

【0028】第三成分を含有させることにより抵抗率を
制御できることから、無機酸化物電子注入層の注入性の
制御が行え、有機EL素子の駆動電圧を低下することが
できる。
Since the resistivity can be controlled by including the third component, the injection property of the inorganic oxide electron injection layer can be controlled, and the driving voltage of the organic EL element can be reduced.

【0029】無機酸化物電子注入層の膜厚としては、好
ましくは、0.3〜30nm、より好ましくは1〜10nm
である。膜厚がこれより薄いと、無機酸化物電子注入層
の効果が十分ではなくなり、これより厚いと駆動電圧の
上昇が顕著になる。
The thickness of the inorganic oxide electron injection layer is preferably 0.3 to 30 nm, more preferably 1 to 10 nm.
It is. When the film thickness is smaller than this, the effect of the inorganic oxide electron injection layer is not sufficient, and when the film thickness is larger than this, the drive voltage is significantly increased.

【0030】上記無機酸化物電子注入層の作製方法はス
パッタ法、EB蒸着法、イオンプレーテイング法、抵抗加
熱蒸着法等が考えられるが、有機EL素子に与えるダメー
ジを考慮して、抵抗加熱蒸着法を用いた多元蒸着源によ
る共蒸着が好ましい。共蒸着の際は、金属酸化物の形成
のために、酸素をチャンバーに導入した反応性蒸着を行
なってもよい。
The inorganic oxide electron injecting layer can be formed by a sputtering method, an EB evaporation method, an ion plating method, a resistance heating evaporation method, or the like. Co-evaporation with a multi-source evaporation source using a method is preferred. In the case of co-evaporation, reactive evaporation in which oxygen is introduced into a chamber may be performed to form a metal oxide.

【0031】本発明の有機EL素子は、例えば、図1に
示すように基板1/正孔注入電極2/無機高抵抗正孔注
入層3/正孔注入輸送層4、第1の発光層5a/第2の
発光層5b、電子注入輸送層6/無機酸化物電子注入層
7/電子注入電極8/保護膜9とが順次積層された構成
である。また、基板1側に電子注入電極8が形成されて
いる逆積層としてもよい。積層構成は、要求される性能
や仕様などにより最適な積層構成とすればよい。有機層
は、正孔注入輸送層、発光層、電子注入輸送層等が積層
された複数層構成としてもよいし、発光層に電子注入輸
送機能、正孔輸送機能などを持たせた単層構成としても
よい。
The organic EL device of the present invention comprises, for example, as shown in FIG. 1, a substrate 1 / a hole injection electrode 2 / an inorganic high resistance hole injection layer 3 / a hole injection transport layer 4, a first light emitting layer 5a. / Second light emitting layer 5b, electron injection transport layer 6 / inorganic oxide electron injection layer 7, electron injection electrode 8 / protective film 9 in this order. In addition, a reverse stack in which the electron injection electrode 8 is formed on the substrate 1 side may be used. The stacked configuration may be an optimum stacked configuration according to required performance and specifications. The organic layer may have a multilayer structure in which a hole injection / transport layer, a light emitting layer, an electron injection / transport layer, and the like are stacked, or a single layer structure in which the light emitting layer has an electron injection / transport function, a hole transport function, and the like. It may be.

【0032】正孔注入電極材料は、正孔注入層等へ正孔
を効率よく注入することのできるものが好ましく、仕事
関数4.5eV〜5.5eVの物質が好ましい。具体的に
は、錫ドープ酸化インジウム(ITO)、亜鉛ドープ酸
化インジウム(IZO)、酸化インジウム(In
23 )、酸化スズ(SnO2 )および酸化亜鉛(Zn
O)のいずれかを主組成としたものが好ましい。これら
の酸化物はその化学量論組成から多少偏倚していてもよ
い。In2 3 に対するSnO2 の混合比は、1〜20
質量%、さらには5〜12質量%が好ましい。また、I
ZOでのIn2 3 に対するZnOの混合比は、通常、
12〜32質量%程度である。
The material for the hole injection electrode is preferably a material capable of efficiently injecting holes into the hole injection layer or the like, and is preferably a substance having a work function of 4.5 eV to 5.5 eV. Specifically, tin-doped indium oxide (ITO), zinc-doped indium oxide (IZO), indium oxide (In
2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ) and zinc oxide (Zn
O) having a main composition of either of them is preferable. These oxides may deviate somewhat from their stoichiometric composition. The mixing ratio of SnO 2 to In 2 O 3 is 1 to 20.
% By mass, more preferably 5 to 12% by mass. Also, I
The mixing ratio of ZnO to In 2 O 3 in ZO is usually
It is about 12 to 32% by mass.

【0033】光を取り出す側の電極は、発光波長帯域、
通常400〜700nmの波長の光に対する光透過率が5
0%以上、さらには80%以上、特に90%以上である
ことが好ましい。透過率が低くなりすぎると、発光層か
らの発光自体が減衰され、発光素子として必要な輝度を
得難くなってくる。
The electrode on the light extraction side has an emission wavelength band,
Usually, the light transmittance for light having a wavelength of 400 to 700 nm is 5
It is preferably at least 0%, more preferably at least 80%, particularly preferably at least 90%. If the transmittance is too low, the light emission itself from the light emitting layer is attenuated, and it becomes difficult to obtain the luminance required for the light emitting element.

【0034】電極の厚さは、50〜500nm、特に50
〜300nmの範囲が好ましい。また、その上限は特に制
限はないが、あまり厚いと透過率の低下や剥離などの心
配が生じる。厚さが薄すぎると、十分な効果が得られ
ず、製造時の膜強度等の点でも問題がある。
The thickness of the electrode is 50 to 500 nm, especially 50
The range of -300 nm is preferred. The upper limit is not particularly limited. However, if the thickness is too large, there is a fear that the transmittance is reduced or the layer is peeled off. If the thickness is too small, a sufficient effect cannot be obtained, and there is a problem in film strength at the time of production and the like.

【0035】電子注入電極は、無機電子注入輸送層との
組み合わせでは、低仕事関数で電子注入性を有している
必要がないため、特に限定される必要はなく、通常の金
属を用いることができる。なかでも、導電率や扱い易さ
の点で、Al,Ag,In,Ti,Cu,Au,Mo,
W,Pt,PdおよびNi、特にAl,Agから選択さ
れる1種または2種等の金属元素が好ましい。
When the electron injecting electrode is used in combination with the inorganic electron injecting and transporting layer, it is not necessary to have a low work function and electron injecting property. it can. Among them, in terms of conductivity and ease of handling, Al, Ag, In, Ti, Cu, Au, Mo,
One or two or more metal elements selected from W, Pt, Pd and Ni, particularly Al and Ag are preferred.

【0036】これら電子注入電極の厚さは、電子を無機
電子注入輸送層に与えることのできる一定以上の厚さと
すれば良く、50nm以上、好ましくは100nm以上とす
ればよい。また、その上限値には特に制限はないが、通
常膜厚は50〜500nm程度とすればよい。
The thickness of these electron injecting electrodes may be a certain thickness or more capable of giving electrons to the inorganic electron injecting and transporting layer, and may be 50 nm or more, preferably 100 nm or more. Although the upper limit is not particularly limited, the film thickness may be generally about 50 to 500 nm.

【0037】さらに、有機EL素子を大気中の水分など
から保護するため、保護層を設けると、素子中に発生す
る暗点(ダークスポットと呼ぶ)の発生に伴う劣化を抑
制することができる。保護膜は、SiN、SiON、S
iO2 、Al23 等水分阻止能が高い膜が好ましい。
Further, when a protective layer is provided in order to protect the organic EL element from moisture in the atmosphere, it is possible to suppress deterioration caused by the generation of dark spots (called dark spots) in the element. The protective film is made of SiN, SiON, S
A film having a high water-blocking ability such as iO 2 and Al 2 O 3 is preferable.

【0038】保護膜の形成方法としては、蒸着法、スパ
ッタ法、CVD法等が考えられるが、低温で形成可能
で、段差被覆性が良好であるプラズマCVD法が好まし
い。
As a method for forming the protective film, a vapor deposition method, a sputtering method, a CVD method and the like can be considered, but a plasma CVD method which can be formed at a low temperature and has good step coverage is preferable.

【0039】また、有機EL素子を作製した後、素子を
大気中に曝すことなく保護膜を形成することが好まし
い。保護膜の厚さとしては特に制限されるものではない
が、100〜5000nmとするとよい。保護膜の厚さが
これより薄いと水分阻止能が低下し、これより厚いと保
護膜の応力による膜剥離や有機EL素子の特性に影響を
与えるようになってくる。
After the organic EL device is manufactured, it is preferable to form a protective film without exposing the device to the atmosphere. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is preferably 100 to 5000 nm. If the thickness of the protective film is smaller than this, the water blocking ability is reduced. If the thickness is larger than this, film peeling due to the stress of the protective film and the characteristics of the organic EL element are affected.

【0040】電子注入電極と保護膜とを併せた全体の厚
さとしては、特に制限はないが、通常50〜500nm程
度とすればよい。
The total thickness of the electron injection electrode and the protective film is not particularly limited, but may be generally about 50 to 500 nm.

【0041】次に、有機EL素子の有機物層について詳
述する。
Next, the organic layer of the organic EL device will be described in detail.

【0042】本発明にかかる有機EL素子は、少なくと
も一方が透明な2つの電極の間に、少なくとも一層の有
機発光層を備え、有機発光層は、少なくとも発光機能に
関与する1種または2種の化合物を含んでいる。
The organic EL device according to the present invention includes at least one organic light emitting layer between two electrodes, at least one of which is transparent. Contains compounds.

【0043】本発明にかかる有機EL素子において、少な
くとも一層の有機発光層から発せられる光の波長はとく
に限定されるものではないが、好ましくは、少なくとも
一層の有機発光層が、少なくとも380ないし780nmの連続
した発光スペクトルを有する白色発光を発するように構
成されている。
In the organic EL device according to the present invention, the wavelength of light emitted from at least one organic light emitting layer is not particularly limited, but preferably, at least one organic light emitting layer has a wavelength of at least 380 to 780 nm. It is configured to emit white light having a continuous emission spectrum.

【0044】本発明において、少なくとも一層の有機発
光層が、430nmないし650nm以下の連続した発光スペクト
ルを有する白色発光を発するように構成されていると、
とくに好ましい。
In the present invention, when at least one organic light emitting layer is configured to emit white light having a continuous light emission spectrum of 430 nm to 650 nm or less,
Particularly preferred.

【0045】本発明において、有機発光層は、正孔輸送
性化合物もしくは電子輸送性化合物またはこれらの混合
物であるホスト物質を含み、正孔および電子の注入機
能、正孔および電子の輸送機能ならびに正孔および電子
の再結合により、励起子を生成させる機能を有してお
り、電子的に比較的ニュートラルな化合物を含んでいる
ことが好ましい。
In the present invention, the organic light-emitting layer contains a host material which is a hole-transporting compound or an electron-transporting compound or a mixture thereof, and has a hole and electron injecting function, a hole and electron transporting function, and a positive hole and electron transporting function. It preferably has a function of generating excitons by recombination of holes and electrons and contains a compound which is relatively neutral electronically.

【0046】有機発光層のホスト物質として用いられる
正孔輸送性化合物としては、トリアゾール誘導体、オキ
サジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリー
ルアルカン誘導体、ビラゾリン誘導体、ビラゾロン誘導
体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導
体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、
スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒ
ドラゾン誘導体、スチルベン誘導体が挙げられ、さら
に、トリフェニルジアミン誘導体が好ましく使用でき
る。
Examples of the hole-transporting compound used as the host material of the organic light-emitting layer include a triazole derivative, an oxadiazole derivative, an imidazole derivative, a polyarylalkane derivative, a birazolin derivative, a birazolone derivative, a phenylenediamine derivative, an arylamine derivative, Amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives,
Examples include a styryl anthracene derivative, a fluorenone derivative, a hydrazone derivative, and a stilbene derivative. Further, a triphenyldiamine derivative can be preferably used.

【0047】トリフェニルジアミン誘導体の例として
は、テトラアリールペンジシン化合物(トリアリールジ
アミンないしトリフェニルジアミン:TPD)がとくに好
ましい。
As an example of the triphenyldiamine derivative, a tetraarylpendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD) is particularly preferred.

【0048】テトラアリールべンジシン化合物(TDP)
の好ましい具体例は、以下のとおりである。
Tetraarylbendicine compound (TDP)
Preferred specific examples are as follows.

【0049】[0049]

【化1】 Embedded image

【0050】[0050]

【化2】 Embedded image

【0051】[0051]

【化3】 Embedded image

【0052】有機発光層のホスト物質として用いられる
電子輸送性化合物としては、キノリン誘導体が好ましく
使用することができ、さらには、8−キノリノールない
しその誘導体を配位子とする金属錯体、とくに、下式の
構造を有するトリス(8−キノリナト)アルミニウム(A
lq3)が好ましく使用される。また、フェニルアントラ
セン誘導体やテトラアリールエテン誘導体も、電子輸送
性化合物として使用することができる。
As the electron transporting compound used as the host material of the organic light emitting layer, a quinoline derivative can be preferably used, and further, a metal complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, Tris (8-quinolinato) aluminum (A
lq3) is preferably used. Further, a phenylanthracene derivative or a tetraarylethene derivative can also be used as the electron transporting compound.

【0053】[0053]

【化4】 Embedded image

【0054】本発明において、有機発光層は、正孔輸送
性化合物もしくは電子輸送性化合物またはこれらの混合
物であるホスト物質に、蛍光物質であるドーバントがド
ープされた構造を有していることが好ましい。
In the present invention, the organic light-emitting layer preferably has a structure in which a host material which is a hole-transporting compound or an electron-transporting compound or a mixture thereof is doped with a dovant as a fluorescent material. .

【0055】また、本発明にかかる有機EL素子は、好ま
しくは、互いに積層された2層の有機発光層を備えてい
る。2層の有機発光層を形成する場合には、それぞれ
に、異なった発光波長を有する蛍光物質をドーピングす
ることによって、広い発光波長帯域を確保し、また、発
光色の色彩の自由度を向上させることができる。
Further, the organic EL device according to the present invention preferably has two organic light emitting layers laminated on each other. In the case of forming two organic light emitting layers, each of them is doped with a fluorescent substance having a different light emission wavelength, thereby securing a wide light emission wavelength band and improving a degree of freedom of a color of a light emission color. be able to.

【0056】本発明において、ドーバントとして含有さ
せる蛍光物質としては、たとえば、特開昭63−264692号
公報に開示された化合物、具体的には、ルブレン系化合
物、クマリン系化合物、キナクリドン系化合物、ジシア
ノメチルビラン系化合物などの化合物よりなる群から選
ばれる1種以上の化合物が好ましく使用できる。
In the present invention, examples of the fluorescent substance contained as a dopant include compounds disclosed in JP-A-63-264692, specifically, rubrene-based compounds, coumarin-based compounds, quinacridone-based compounds, and dicyano. One or more compounds selected from the group consisting of compounds such as methylbiran compounds can be preferably used.

【0057】本発明に好ましく使用できる蛍光物質の例
を挙げると、以下のとおりである。
Examples of the fluorescent substance which can be preferably used in the present invention are as follows.

【0058】[0058]

【化5】 Embedded image

【0059】[0059]

【化6】 Embedded image

【0060】[0060]

【化7】 Embedded image

【0061】[0061]

【化8】 Embedded image

【0062】さらに、本発明においては、特開2000−26
334号公報および特開2000−26337号公報に記載されてい
るナフタセン系化合物も、ドーバントとして含有させる
蛍光物質として、好ましく使用することができ、ルブレ
ン系化合物、クマリン系化合物、キナクリドン系化合
物、ジシアノメチルピラン系化合物などと併用すること
によって、有機EL素子の寿命を飛澤的に向上させること
ができる。
Further, in the present invention, JP-A-2000-26
No. 334 and the naphthacene-based compound described in JP-A-2000-26337 can also be preferably used as a fluorescent substance to be contained as a dovant, and include a rubrene-based compound, a coumarin-based compound, a quinacridone-based compound, and dicyanomethyl. When used in combination with a pyran-based compound or the like, the life of the organic EL device can be significantly improved.

【0063】本発明において、ドーバントとして含有さ
せる蛍光物質として、好ましく使用することのできるナ
フタセン系化合物は、式(I)で示される基本骨格を有
している。
In the present invention, a naphthacene-based compound which can be preferably used as a fluorescent substance to be contained as a dopant has a basic skeleton represented by the formula (I).

【0064】[0064]

【化9】 Embedded image

【0065】式(I)において、R1 〜R4 はそれぞれ
非置換、または置換基を有するアルキル基、アリール
基、アミノ基、複素環基およびアルケニル基のいずれか
を表す。また、好ましくはアリール基、アミノ基、複素
環基およびアルケニル基のいずれかである。
In the formula (I), R 1 to R 4 each represent an unsubstituted or substituted alkyl, aryl, amino, heterocyclic or alkenyl group. Further, it is preferably any of an aryl group, an amino group, a heterocyclic group and an alkenyl group.

【0066】R1 〜R4 で表されるアリール基として
は、単環もしくは多環のものであってよく、縮合環や環
集合も含まれる。総炭素数は、6〜30のものが好まし
く、置換基を有していても良い。
The aryl group represented by R 1 to R 4 may be monocyclic or polycyclic, and includes condensed rings and ring assemblies. The total carbon number is preferably 6 to 30, and may have a substituent.

【0067】R1 〜R4 で表されるアリール基として
は、好ましくはフェニル基、(o−,m−,p−)トリ
ル基、ピレニル基、ペリレニル基、コロネニル基、(1
−、および2−)ナフチル基、アントリル基、(o−,
m−,p−)ビフェニリル基、ターフェニル基、フェナ
ントリル基等である。
The aryl group represented by R 1 to R 4 is preferably a phenyl group, (o-, m-, p-) tolyl group, pyrenyl group, perylenyl group, coronenyl group, (1)
-, And 2-) naphthyl group, anthryl group, (o-,
(m-, p-) biphenylyl group, terphenyl group, phenanthryl group and the like.

【0068】R1 〜R4 で表されるアミノ基としては、
アルキルアミノ基、アリールアミノ基、アラルキルアミ
ノ基等いずれでも良い。これらは、総炭素数1〜6の脂
肪族、および/または1〜4環の芳香族炭素環を有する
ことが好ましい。具体的には、ジメチルアミノ基、ジエ
チルアミノ基、ジブチルアミノ基、ジフェニルアミノ
基、ジトリルアミノ基、ビスジフェニリルアミノ基、ビ
スナフチルアミノ基等が挙げられる。
The amino group represented by R 1 to R 4 includes
Any of an alkylamino group, an arylamino group, an aralkylamino group and the like may be used. These preferably have an aliphatic having 1 to 6 carbon atoms in total and / or 1 to 4 aromatic carbon rings. Specific examples include a dimethylamino group, a diethylamino group, a dibutylamino group, a diphenylamino group, a ditolylamino group, a bisdiphenylylamino group, and a bisnaphthylamino group.

【0069】R1 〜R4 で表される複素環基としては、
ヘテロ原子としてO,N,Sを含有する5員または6員
環の芳香族複素環基、および炭素数2〜20の縮合多環
芳香複素環基等が挙げられる。
The heterocyclic groups represented by R 1 to R 4 include:
Examples thereof include a 5- or 6-membered aromatic heterocyclic group containing O, N, and S as a hetero atom, and a fused polycyclic aromatic heterocyclic group having 2 to 20 carbon atoms.

【0070】R1 〜R4 で表されるアルケニル基として
は、少なくとも置換基の1つにフェニル基を有する(1
−、および2−)フェニルアルケニル基、(1,2−、
および2,2−)ジフェニルアルケニル基、(1,2,
2−)トリフェニルアルケニル基等が好ましいが、非置
換のものであってもよい。
As the alkenyl group represented by R 1 to R 4 , at least one of the substituents has a phenyl group (1
-, And 2-) phenylalkenyl groups, (1,2-,
And 2,2-) diphenylalkenyl groups, (1,2,2)
2-) A triphenylalkenyl group or the like is preferable, but an unsubstituted one may be used.

【0071】芳香族複素環基および縮合多環芳香複素環
基としては、例えばチエニル基、フリル基、ピロリル
基、ピリジル基、キノリル基、キノキサリル基等が挙げ
られる。
Examples of the aromatic heterocyclic group and the condensed polycyclic aromatic heterocyclic group include a thienyl group, a furyl group, a pyrrolyl group, a pyridyl group, a quinolyl group and a quinoxalyl group.

【0072】R1 〜R4 が置換基を有する場合、これら
の置換基のうちの少なくとも2つがアリール基、アミノ
基、複素環基、アルケニル基およびアリーロキシ基のい
ずれかであることが好ましい。アリール基、アミノ基、
複素環基およびアルケニル基については上記R1 〜R4
と同様である。
When R 1 to R 4 have a substituent, at least two of these substituents are preferably any of an aryl group, an amino group, a heterocyclic group, an alkenyl group and an aryloxy group. Aryl group, amino group,
For the heterocyclic group and the alkenyl group, the above R 1 to R 4
Is the same as

【0073】R1 〜R4 の置換基となるアリーロキシ基
としては、総炭素数6〜18のアリール基を有するもの
が好ましく、具体的には(o−,m−,p−)フェノキ
シ基等である。
The aryloxy group as a substituent for R 1 to R 4 is preferably an aryloxy group having an aryl group having a total of 6 to 18 carbon atoms, and specifically, an (o-, m-, p-) phenoxy group and the like. It is.

【0074】これら置換基の2種以上が縮合環を形成し
ていてもよい。また、さらに置換されていても良く、そ
の場合の好ましい置換基としては上記と同様である。
Two or more of these substituents may form a condensed ring. Further, it may be further substituted, and in that case, preferred substituents are the same as described above.

【0075】R1 〜R4 が置換基を有する場合、少なく
ともその2種以上が上記置換基を有することが好まし
い。その置換位置としては特に限定されるものではな
く、メタ、パラ、オルト位のいずれでも良い。また、R
1 とR4 、R2 とR3 はそれぞれ同じものであることが
好ましいが異なっていてもよい。
When R 1 to R 4 have a substituent, it is preferred that at least two of them have the above substituent. The substitution position is not particularly limited, and may be any of meta, para, and ortho positions. Also, R
1 and R 4 , and R 2 and R 3 are preferably the same, but may be different.

【0076】また、R1 〜R8 のうちの少なくとも5種
以上、より好ましくは6種以上が非置換または置換基を
有するアルキル基、アリール基、アミノ基、アルケニル
基または複素環基である。
Further, at least five or more, more preferably six or more, of R 1 to R 8 are an unsubstituted or substituted alkyl group, aryl group, amino group, alkenyl group or heterocyclic group.

【0077】R5 ,R6 ,R7 およびR8 は、それぞれ
水素または置換基を有していても良いアルキル基、アリ
ール基、アミノ基およびアルケニル基のいずれかを表
す。
R 5 , R 6 , R 7 and R 8 each represent hydrogen or any of an alkyl group, aryl group, amino group and alkenyl group which may have a substituent.

【0078】R5 ,R6 ,R7 およびR8 で表されるア
ルキル基としては、炭素数が1〜6のものが好ましく、
直鎖状であっても分岐を有していても良い。アルキル基
の好ましい具体例としては、メチル基、エチル基、
(n,i)プロピル基、(n,i,sec,tert)
−ブチル基、(n,i,neo,tert)−ペンチル
基等が挙げられる。
The alkyl group represented by R 5 , R 6 , R 7 and R 8 preferably has 1 to 6 carbon atoms.
It may be linear or branched. Preferred specific examples of the alkyl group include a methyl group, an ethyl group,
(N, i) propyl group, (n, i, sec, tert)
-Butyl group, (n, i, neo, tert) -pentyl group and the like.

【0079】R5 ,R6 ,R7 およびR8 で表されるア
リール基、アミノ基、アルケニル基としては、上記R1
〜R4 の場合と同様である。また、R5 とR6 、R7
8は、それぞれ同じものであることが好ましいが、異
なっていても良い。
The aryl group, amino group and alkenyl group represented by R 5 , R 6 , R 7 and R 8 include the above-mentioned R 1
For to R 4 is the same as. Further, R 5 and R 6 and R 7 and R 8 are preferably the same, but may be different.

【0080】本発明において、ドーバントとして含有さ
せる蛍光物質として、好ましく使用することのできる化
合物には、たとえば、次のものが挙げられる。
In the present invention, the following compounds can be preferably used as the fluorescent substance to be contained as a dopant.

【0081】[0081]

【化10】 Embedded image

【0082】[0082]

【化11】 Embedded image

【0083】二層の有機発光層を設ける場合、各有機発
光層が、2種以上のこれらの蛍光物質を含み、2種以上
の蛍光物質が、異なった発光波長を有していることが好
ましい。
When two organic light-emitting layers are provided, it is preferable that each organic light-emitting layer contains two or more kinds of these fluorescent substances, and the two or more kinds of fluorescent substances have different emission wavelengths. .

【0084】本発明において、有機発光層におけるドー
バントの含有量は、0.01〜20重量%であることが
好ましく、さらに好ましくは、0.1〜15重量%であ
る。
In the present invention, the content of the dopant in the organic light emitting layer is preferably from 0.01 to 20% by weight, more preferably from 0.1 to 15% by weight.

【0085】本発明において、有機発光層の厚さはとく
に限定されるものではなく、その好ましい厚さは、形成
方法によっても異なるが、通常、5〜500nm、さらに
好ましくは、10〜300nmである。
In the present invention, the thickness of the organic light emitting layer is not particularly limited, and the preferable thickness is usually from 5 to 500 nm, more preferably from 10 to 300 nm, depending on the forming method. .

【0086】本発明において、二層以上の有機発光層を
形成する場合、各有機発光層の厚さは、分子層一層分に
相当する厚さから、有機発光層全体の厚さ未満の範囲に
あり、具体的には、1〜85nm、好ましくは5〜60n
m、さらに好ましくは5〜50nmである。
In the present invention, when two or more organic light emitting layers are formed, the thickness of each organic light emitting layer ranges from a thickness corresponding to one molecular layer to a thickness less than the thickness of the entire organic light emitting layer. Yes, specifically, 1 to 85 nm, preferably 5 to 60 n
m, more preferably 5 to 50 nm.

【0087】本発明において、好ましくは、有機発光層
は蒸着によって形成される。
In the present invention, preferably, the organic light emitting layer is formed by vapor deposition.

【0088】本発明において、有機発光層を、蒸着によ
って形成する条件は、とくに限定されるものではない
が、1×10-4パスカル以下で、蒸音速度を0.01〜
1nm/秒程度とすることが好ましい。
In the present invention, the conditions for forming the organic light-emitting layer by vapor deposition are not particularly limited, but are not more than 1 × 10 -4 Pascal and the steaming speed is 0.01 to 10 μm.
It is preferred to be about 1 nm / sec.

【0089】本発明において、好ましくは、有機発光層
は、正孔輸送性化合物と電子注入輸送性化合物の混合物
を含んでいる。
In the present invention, the organic light emitting layer preferably contains a mixture of a hole transporting compound and an electron injecting and transporting compound.

【0090】有機発光層が、正孔輸送性化合物と電子注
入輸送性化合物の混合物を含んでいる場合には,キャリ
アのホッピング伝導パスが形成されるため、各キャリア
は極性的に優勢な物質中を移動し、逆の極性のキャリア
注入が起こり難くなり、したがって、有機発光層に含ま
れた化合物がダメージを受けることが防止されるので、
素子の寿命を向上させることができるという利点があ
る。
When the organic light emitting layer contains a mixture of a hole transporting compound and an electron injecting and transporting compound, a hopping conduction path of carriers is formed, and each carrier is formed of a material having a polarity predominantly. And carrier injection of the opposite polarity is less likely to occur, and therefore, the compound contained in the organic light emitting layer is prevented from being damaged.
There is an advantage that the life of the element can be improved.

【0091】さらに、蛍光物質からなるドーバントを、
正孔輸送性化合物および電子注入輸送性化合物の混合物
を含んだ有機発光層に含有させることによって、有機発
光層自体が有する発光波長特性を変化させることがで
き、発光波長を長波長側に移行させるとともに、発光強
度を向上させ、さらには、有機EL素子の安定性を向上さ
せることが可能になる。
Further, a dobant made of a fluorescent substance is
By including the mixture of the hole transporting compound and the electron injecting and transporting compound in the organic light emitting layer, the emission wavelength characteristics of the organic light emitting layer itself can be changed, and the emission wavelength is shifted to the longer wavelength side. At the same time, the emission intensity can be improved, and further, the stability of the organic EL element can be improved.

【0092】有機発光層が、正孔輸送性化合物および電
子注入輸送性化合物の混合物を含んでいる場合、正孔輸
送性化合物と電子注入輸送性化合物の混合比は、それぞ
れのキャリア移動度とキャリア濃度にしたがって決定さ
れるが、一般的には、質量比で、1/99〜99/1、好まし
くは、10/90〜90/10、さらに好ましくは、20/80〜80
/20、最も好ましくは、40/60〜60/40が選ばれる。
When the organic light emitting layer contains a mixture of a hole transporting compound and an electron injecting and transporting compound, the mixing ratio between the hole transporting compound and the electron injecting and transporting compound is determined by the carrier mobility and carrier Although it is determined according to the concentration, it is generally 1/99 to 99/1, preferably 10/90 to 90/10, more preferably 20/80 to 80 by mass ratio.
/ 20, most preferably 40/60 to 60/40.

【0093】正孔輸送性化合物および電子注入輸送性化
合物の混合物を含む有機発光層を形成する場合には、正
孔輸送性化合物と電子注入輸送性化合物を、異なる蒸着
源に入れて、蒸発させ、共蒸著することが好ましいが、
正孔輸送性化合物と電子注入輸送性化合物の蒸気圧が同
程度あるいは非常に近い場合には、あらかじめ同じ蒸着
源内で混合させておき、蒸著することもできる。
When forming an organic light emitting layer containing a mixture of a hole transporting compound and an electron injecting and transporting compound, the hole transporting compound and the electron injecting and transporting compound are put in different evaporation sources and evaporated. It is preferable to perform co-evaporation,
When the hole transporting compound and the electron injecting and transporting compound have the same or very similar vapor pressure, they can be mixed in advance in the same vapor deposition source and then subjected to steaming.

【0094】正孔輸送性化合物および電子注入輸送性化
合物の混合物を含む有機発光層を形成する場合、有機発
光層内で、正孔輸送性化合物と電子注入輸送性化合物と
が均一に混合していることが好ましいが、均一に混合し
ていることは必ずしも必要でない。
When forming an organic light emitting layer containing a mixture of a hole transporting compound and an electron injecting and transporting compound, the hole transporting compound and the electron injecting and transporting compound are uniformly mixed in the organic light emitting layer. However, it is not always necessary to mix them uniformly.

【0095】本発明において、有機物層は、好ましく
は、少なくとも一層の有機発光層に加えて、正孔を安定
的に輸送する機能を有する正孔輸送層、ならびに、電子
を安定的に輸送する機能を有する電子輸送層を備えてい
る。これらの層を備えることによって、有機発光層に注
入される正孔や電子を増大させるとともに、有機発光層
内に閉じ込めさせ、再結合領域を最適化させ、発光効率
を向上させることが可能になる。
In the present invention, the organic material layer preferably has, in addition to at least one organic light emitting layer, a hole transporting layer having a function of stably transporting holes, and a function of stably transporting electrons. And an electron transport layer having the following formula: By providing these layers, it is possible to increase the number of holes and electrons injected into the organic light emitting layer, to confine the organic light emitting layer, to optimize the recombination region, and to improve the light emission efficiency. .

【0096】本発明において、正孔輸送層に、好ましく
使用することができる化合物としては、例えば、テトラ
アリールベンジシン化合物(トリアリールジアミンない
しトリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級アミン、
ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリアゾール
誘導体」イミダゾール誘導体、アミノ基を有するオキサ
ジアゾール誘導体、ポリチオフェンなどを挙げることが
できる。これらのうち、テトラアリールべンジシン化合
扮(トリアリールジアミンないしトリフェニルジアミ
ン:TPD)、WO/98/30071号に記載されているトリアリ
ールアミン多量体(ATP)が、とくに好ましく使用する
ことができる。
In the present invention, compounds that can be preferably used in the hole transport layer include, for example, tetraarylbendicine compounds (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD), aromatic tertiary amines,
Hydrazone derivatives, carbazole derivatives, triazole derivatives ", imidazole derivatives, oxadiazole derivatives having an amino group, polythiophenes, and the like. Among them, tetraarylbendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD) and triarylamine multimer (ATP) described in WO / 98/30071 can be particularly preferably used. .

【0097】トリアリールアミン多量体(ATP)の好ま
しい具体例は、以下のとおりである。
Preferred specific examples of the triarylamine multimer (ATP) are as follows.

【0098】[0098]

【化12】 Embedded image

【0099】[0099]

【化13】 Embedded image

【0100】[0100]

【化14】 Embedded image

【0101】本発明において、さらには、特開昭63−29
5695号公報、特開平2−191694号一公報、特開平3−792
号一公報、特開平5−234681号公報、特開平5−239455号
公報、特開平5−299174号公報、特開平7−126225号公
報、特開平7−126226号一公報、特開平8−100172号公
報、EPO650955Alなどに記載されている各種有機化合物
も、正孔注入輸送層、正孔注入層および正孔輸送層に使
用することができる。
In the present invention, further, JP-A-63-29
No. 5695, JP-A-2-191694, JP-A-3-792
JP-A-5-234681, JP-A-5-239455, JP-A-5-299174, JP-A-7-126225, JP-A-7-126226-1 and JP-A-8-100172 And various organic compounds described in JP-A No. 650955Al can also be used for the hole injection / transport layer, the hole injection layer, and the hole transport layer.

【0102】本発明において、2種以上のこれらの化合
物を併用してもよく、2種以上のこれらの化合物を併用
する場合には、一層中に混合しても、また、2以上の層
として、積層してもよい。
In the present invention, two or more of these compounds may be used in combination, and when two or more of these compounds are used in combination, they may be mixed in one layer or formed as two or more layers. , May be laminated.

【0103】本発明において、正孔輸送層は、前記化合
物を蒸着することによって形成することができる。蒸着
によって、素子化する場合には、均一で、ピンホールの
ない1〜10nm程度の薄膜を形成することができるた
め、正孔注入層にイオン化ポテンシャルが小さく、可視
波長の光を吸収する化合物を用いても、発光色の色調変
化や再吸収による発光効率の低下を防止することができ
る。
In the present invention, the hole transport layer can be formed by depositing the above compound. When a device is formed by vapor deposition, a uniform, thin film having a thickness of about 1 to 10 nm without pinholes can be formed. Therefore, a compound having a small ionization potential and absorbing light of a visible wavelength is formed in the hole injection layer. Even if it is used, it is possible to prevent a decrease in luminous efficiency due to a change in the color tone of the luminescent color or reabsorption.

【0104】本発明において、電子輸送層に、好ましく
使用することができる化合物としては、たとえば、トリ
ス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)などの8−
キノリノールないしその誘導体を配位子とする有機金属
錯体、オキサジアゾール誘導体、ペリレン誘導体、ピリ
ジン誘導俸、ピリミジン誘導体、キノキサリン誘導体な
どを挙げることができる。
In the present invention, compounds that can be preferably used in the electron transport layer include, for example, 8- (quinolineolato) aluminum (Alq3) such as tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3).
Examples thereof include an organometallic complex having quinolinol or a derivative thereof as a ligand, an oxadiazole derivative, a perylene derivative, a pyridine derivative, a pyrimidine derivative, and a quinoxaline derivative.

【0105】本発明において、電子輸送層は、前記化合
物を蒸着することによって形成することができる。
In the present invention, the electron transporting layer can be formed by depositing the above compound.

【0106】本発明において、有機発光層、正孔注入輸
送層あるいは正孔注入層および正孔輸送層、ならびに、
電子注入輸送層あるいは電子注入層および電子輸送層の
各層を、蒸着によって形成する条件はとくに限定される
ものではないが、1×10-4パスカル以下で、蒸着速度
を0.01〜1nm/秒程度とすることが好ましい。各層
は、1×10-4パスカル以下の減圧下で、連続して、形
成されることが好ましい。1×10-4パスカル以下の減
圧下で、連続して、各層を形成することによって、各層
の界面に不純物が吸着されることを防止することができ
るから、高特性の有機EL素子を得ることが可能になると
ともに、有機EL素子の駆動電圧を低下させ、ダークスポ
ットが発生し、成長することを抑制することができる。
In the present invention, an organic light emitting layer, a hole injection / transport layer or a hole injection layer and a hole transport layer;
The conditions for forming the electron injecting / transporting layer or each of the electron injecting layer and the electron transporting layer by vapor deposition are not particularly limited, but are not more than 1 × 10 −4 pascal and the vapor deposition rate is 0.01 to 1 nm / sec. It is preferable to set the degree. Each layer is preferably formed continuously under a reduced pressure of 1 × 10 −4 Pa or less. By forming each layer continuously under a reduced pressure of 1 × 10 −4 Pa or less, it is possible to prevent impurities from being adsorbed at the interface of each layer, and to obtain a high-performance organic EL device. And the driving voltage of the organic EL element is reduced, and the generation and growth of dark spots can be suppressed.

【0107】本発明において、有機発光層、正孔輸送
層、電子輸送層に、2種以上の化合物を含有させる場合
には、化合物を入れた各ボートを個別に温度制御して、
共蒸着によって、有機発光層、正孔輸送層、電子注入輸
送層、電子注入層あるいは電子輸送層を形成することが
好ましい。
In the present invention, when two or more compounds are contained in the organic light-emitting layer, the hole transport layer, and the electron transport layer, the temperature of each boat containing the compounds is controlled individually.
It is preferable to form an organic light emitting layer, a hole transport layer, an electron injection transport layer, an electron injection layer or an electron transport layer by co-evaporation.

【0108】さらに、本発明の有機EL素子は、上記発
光層と、他方の電極であるホール注入電極との間に、高
抵抗の無機ホール注入輸送層を有することが好ましい。
Further, the organic EL device of the present invention preferably has a high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer between the light emitting layer and the hole injecting electrode as the other electrode.

【0109】このように、ホールの導通パスを有し、電
子をブロックできる高抵抗の無機ホール注入輸送層を有
機層とホール注入電極の間に配置することで、発光層へ
ホールを効率よく注入することができ、さらに発光効率
が向上するとともに駆動電圧も低下する。このような高
抵抗の無機ホール注入輸送層を用いることで、有機EL
素子全体の膜厚を薄くすることができ、カラーフィルタ
ー層の薄膜化と相俟って、極めて膜厚の薄い薄膜素子を
得ることができる。
As described above, by arranging the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer having a hole conduction path and capable of blocking electrons between the organic layer and the hole injecting electrode, holes can be efficiently injected into the light emitting layer. In addition, the luminous efficiency is improved and the driving voltage is reduced. By using such a high-resistance inorganic hole injection / transport layer, an organic EL
The film thickness of the entire device can be reduced, and a thin film device having an extremely small thickness can be obtained in combination with the thinning of the color filter layer.

【0110】また、好ましくは高抵抗の無機ホール注入
輸送層の主成分としてシリコンや、ゲルマニウム等の金
属または半金属の酸化物を用い、これに仕事関数4.5
eV以上、好ましくは4.5〜6eVの金属や、半金属およ
び/またはこれらの酸化物、炭化物、窒化物、ケイ化
物、硼化物のいずれか1種以上を含有させて導電パスを
形成することにより、ホール注入電極から発光層側の有
機層へ効率よくホールを注入することができる。しか
も、有機層からホール注入電極への電子の移動を抑制す
ることができ、発光層でのホールと電子との再結合を効
率よく行わせることができる。また、無機材料の有する
メリットと、有機材料の有するメリットとを併せもった
有機EL素子とすることができる。本発明の有機EL素
子は、従来の有機ホール注入層を有する素子と同等かそ
れ以上の輝度が得られ、しかも、耐熱性、耐候性が高い
ので従来のものよりも寿命が長く、リークやダークスポ
ットの発生も少ない。また、比較的高価な有機物質ばか
りではなく、安価で入手しやすく製造が容易な無機材料
も用いることで、製造コストを低減することもできる。
Preferably, a metal or semimetal oxide such as silicon or germanium is used as the main component of the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer, and the work function is 4.5.
forming a conductive path by containing a metal or semimetal and / or any one or more of these oxides, carbides, nitrides, silicides, and borides of eV or more, preferably 4.5 to 6 eV; Accordingly, holes can be efficiently injected from the hole injection electrode into the organic layer on the light emitting layer side. In addition, the transfer of electrons from the organic layer to the hole injection electrode can be suppressed, and the recombination of holes and electrons in the light emitting layer can be performed efficiently. Further, an organic EL device having both the advantages of the inorganic material and the advantages of the organic material can be obtained. The organic EL device of the present invention can achieve a luminance equal to or higher than that of a device having a conventional organic hole injection layer, and has a higher heat resistance and weather resistance. There are few spots. Further, not only relatively expensive organic substances but also inorganic materials which are inexpensive, easily available and easily manufactured can be used to reduce manufacturing costs.

【0111】高抵抗の無機ホール注入輸送層は、その抵
抗率が好ましくは1〜1×1011Ω・cm、特に1×10
3〜1×108Ω・cmである。高抵抗の無機ホール注入輸
送層の抵抗率を上記範囲とすることにより、高い電子ブ
ロック性を維持したままホール注入効率を飛躍的に向上
させることができる。高抵抗の無機ホール注入輸送層の
抵抗率は、シート抵抗と膜厚からも求めることができ
る。この場合、シート抵抗は4端子法等により測定する
ことができる。
The high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer preferably has a resistivity of 1 to 1 × 10 11 Ω · cm, particularly 1 × 10 11 Ω · cm.
It is 3 to 1 × 10 8 Ω · cm. By setting the resistivity of the high-resistance inorganic hole injection / transport layer in the above range, the hole injection efficiency can be dramatically improved while maintaining high electron blocking properties. The resistivity of the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer can also be determined from the sheet resistance and the film thickness. In this case, the sheet resistance can be measured by a four-terminal method or the like.

【0112】主成分の材料は、シリコン、ゲルマニウム
の酸化物であり、好ましくは (Si1-xGex)Oyにおいて 0≦x≦1、 1.7≦y≦2.2、好ましくは1.7≦y≦1.99 である。高抵抗の無機ホール注入輸送層の主成分は、酸
化ケイ素でも酸化ゲルマニウムでもよく、それらの混合
薄膜でもよい。yがこれより大きくても小さくてもホー
ル注入機能は低下してくる傾向がある。組成は、例えば
ラザフォード後方散乱、化学分析等で調べればよい。
The material of the main component is an oxide of silicon or germanium. Preferably, in (Si 1-x Ge x ) O y , 0 ≦ x ≦ 1, 1.7 ≦ y ≦ 2.2, preferably 1 0.7 ≦ y ≦ 1.99. The main component of the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer may be silicon oxide or germanium oxide, or a mixed thin film thereof. If y is larger or smaller than this, the hole injection function tends to decrease. The composition may be determined by, for example, Rutherford backscattering or chemical analysis.

【0113】高抵抗の無機ホール注入輸送層は、さらに
主成分に加え、仕事関数4.5eV以上の金属(半金属を
含む)の酸化物、炭化物、窒化物、ケイ化物および硼化
物を含有することが好ましい。仕事関数4.5eV以上、
好ましくは4.5〜6eVの金属は、好ましくはAu,C
u、Fe、Ni、Ru、Sn,Cr,Ir,Nb,P
t,W,Mo,Ta,PdおよびCoのいずれか1種ま
た2種以上である。これらは一般に金属としてあるいは
酸化物の形で存在する。また、これらの炭化物、窒化
物、ケイ化物、硼化物であってもよい。これらを混合し
て用いる場合の混合比は任意である。これらの含有量は
好ましくは0.2〜40 mol%、より好ましくは1〜2
0 mol%である。含有量がこれより少ないとホール注入
機能が低下し、含有量がこれを超えると電子ブロック機
能が低下してくる。2種以上を併用する場合、合計の含
有量は上記の範囲にすることが好ましい。
The high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer further contains, in addition to the main components, oxides, carbides, nitrides, silicides and borides of metals (including semimetals) having a work function of 4.5 eV or more. Is preferred. Work function 4.5 eV or more,
Preferably the metal at 4.5-6 eV is preferably Au, C
u, Fe, Ni, Ru, Sn, Cr, Ir, Nb, P
At least one of t, W, Mo, Ta, Pd and Co. These are generally present as metals or in the form of oxides. Moreover, these carbides, nitrides, silicides, and borides may be used. When these are mixed and used, the mixing ratio is arbitrary. Their content is preferably from 0.2 to 40 mol%, more preferably from 1 to 2 mol%.
0 mol%. If the content is less than this, the hole injection function is reduced, and if the content exceeds this, the electron blocking function is reduced. When two or more kinds are used in combination, the total content is preferably in the above range.

【0114】上記金属または金属(半金属を含む)の酸
化物、炭化物、窒化物、ケイ化物および硼化物は、通
常、高抵抗の無機ホール注入輸送層中に分散している。
分散粒子の粒径としては、通常、1〜5nm程度である。
この導体である分散粒子同士との間で高抵抗の主成分を
介してホールを搬送するためのホッピングパスが形成さ
れるものと考えられる。
The oxides, carbides, nitrides, silicides and borides of the above metals or metals (including semimetals) are usually dispersed in a high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer.
The particle size of the dispersed particles is usually about 1 to 5 nm.
It is considered that a hopping path for transporting holes between the dispersed particles as conductors via the high-resistance main component is formed.

【0115】高抵抗の無機ホール注入輸送層には、他
に、不純物として、Hやスパッタガスに用いるNe、A
r、Kr、Xe等を合計5at%以下含有していてもよ
い。
In the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer, H, Ne or A used for a sputtering gas may be additionally used.
r, Kr, Xe and the like may be contained in a total of 5 at% or less.

【0116】なお、高抵抗の無機ホール注入輸送層全体
の平均値としてこのような組成であれば、均一でなくて
もよく、膜厚方向に濃度勾配を有する構造としてもよ
い。
If the average value of the whole high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer is such a composition, the composition may not be uniform and may have a structure having a concentration gradient in the film thickness direction.

【0117】高抵抗の無機ホール注入輸送層は、通常、
非晶質状態である。
The high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer is usually
It is in an amorphous state.

【0118】高抵抗の無機ホール注入輸送層の膜厚とし
ては、好ましくは0.3〜100nm、より好ましくは1
〜100nm、特に5〜30nm程度が好ましい。高抵抗の
無機ホール注入輸送層がこれより薄くても厚くても、ホ
ール注入層としての機能を十分に発揮できなくなくなっ
てくる。
The thickness of the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer is preferably 0.3 to 100 nm, more preferably 1 to 100 nm.
The thickness is preferably about 100 to 100 nm, particularly about 5 to 30 nm. Even if the high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer is thinner or thicker, the function as the hole injecting layer cannot be sufficiently exhibited.

【0119】上記の高抵抗の無機ホール注入輸送層の製
造方法としては、スパッタ法、蒸着法などの各種の物理
的または化学的な薄膜形成方法などが考えられるが、ス
パッタ法が好ましい。なかでも、上記主成分と金属また
は金属酸化物等のターゲットを別個にスパッタする多元
スパッタが好ましい。多元スパッタにすることで、それ
ぞれのターゲットに好適なスパッタ法を用いることがで
きる。また、1元スパッタとする場合には、主成分のタ
ーゲット上に上記金属または金属酸化物等の小片を配置
し、両者の面積比を適当に調整することにより、組成を
調整してもよい。
As a method of manufacturing the above-described inorganic hole injecting and transporting layer having a high resistance, various physical or chemical thin film forming methods such as a sputtering method and an evaporation method can be considered, but the sputtering method is preferable. Among them, multi-source sputtering in which the above main component and a target such as a metal or a metal oxide are separately sputtered is preferable. By using multi-source sputtering, a sputtering method suitable for each target can be used. Further, in the case of one-source sputtering, the composition may be adjusted by arranging small pieces of the above metal or metal oxide on the target of the main component and appropriately adjusting the area ratio of the two.

【0120】高抵抗の無機ホール注入輸送層をスパッタ
法で形成する場合、スパッタ時のスパッタガスの圧力
は、0.1〜1Paの範囲が好ましい。スパッタガスは、
通常のスパッタ装置に使用される不活性ガス、例えばA
r,Ne,Xe,Kr等が使用できる。また、必要によ
りN2を用いてもよい。スパッタ時の雰囲気としては、
上記スパッタガスに加えO2を1〜99%程度混合して
反応性スパッタを行ってもよい。
When a high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer is formed by sputtering, the pressure of the sputtering gas during sputtering is preferably in the range of 0.1 to 1 Pa. The sputtering gas is
Inert gas used in ordinary sputtering equipment, for example, A
r, Ne, Xe, Kr, etc. can be used. Further, N 2 may be used if necessary. As the atmosphere during sputtering,
Reactive sputtering may be performed by mixing about 1 to 99% of O 2 in addition to the above-mentioned sputtering gas.

【0121】スパッタ法としてはRF電源を用いた高周
波スパッタ法や、DCスパッタ法等が使用できる。スパ
ッタ装置の電力としては、好ましくはRFスパッタで
0.1〜10W/cm2の範囲が好ましく、成膜レートは
0.5〜10nm/min 、特に1〜5nm/min の範囲が好
ましい。
As the sputtering method, a high frequency sputtering method using an RF power source, a DC sputtering method, or the like can be used. The power of the sputtering apparatus is preferably in the range of 0.1 to 10 W / cm 2 by RF sputtering, and the film formation rate is preferably in the range of 0.5 to 10 nm / min, particularly 1 to 5 nm / min.

【0122】成膜時の基板温度としては、室温(25
℃)〜150℃程度である。
The substrate temperature during film formation is room temperature (25
C) to about 150C.

【0123】本発明の有機EL素子は、高抵抗の無機ホ
ール注入輸送層を有することにより、耐熱性、耐候性が
向上し、素子の長寿命化を図れる。また、比較的高価な
有機物質ではなく、安価で入手しやすい無機材料を用い
ているので、製造が容易となり、製造コストを低減する
ことができる。さらには、従来問題のあった無機材料で
ある電極との接続性も良好になる。このため、リーク電
流の発生やダークスポットの発生を抑えることができ
る。
Since the organic EL device of the present invention has a high-resistance inorganic hole injecting and transporting layer, heat resistance and weather resistance are improved, and the life of the device can be extended. In addition, since an inexpensive and easily available inorganic material is used instead of a relatively expensive organic substance, the production becomes easy and the production cost can be reduced. Further, the connectivity with the electrode, which is an inorganic material, which has been a problem in the past, is improved. For this reason, generation of a leak current and generation of a dark spot can be suppressed.

【0124】本発明において、有機EL構造体を形成す
る基板としては、非晶質基板たとえばガラス、石英な
ど、結晶基板たとえば、Si、GaAs、ZnSe、Z
nS、GaP、InPなどがあげられ、またこれらの結
晶基板に結晶質、非晶質あるいは金属のバッファ層を形
成した基板も用いることができる。また金属基板として
は、Mo、Al、Pt、Ir、Au、Pdなどを用いる
ことができる。さらに、プラスチック等の樹脂材料、可
撓性を有する材料を用いることもできる。基板材料は、
好ましくはガラス基板、樹脂材料である。基板は、光取
り出し側となる場合、上記電極と同様な光透過性を有す
ることが好ましい。
In the present invention, the substrate on which the organic EL structure is formed is an amorphous substrate such as glass or quartz, or a crystalline substrate such as Si, GaAs, ZnSe, or Z.
Examples thereof include nS, GaP, and InP, and a substrate in which a crystalline, amorphous, or metal buffer layer is formed on these crystalline substrates can also be used. As the metal substrate, Mo, Al, Pt, Ir, Au, Pd, or the like can be used. Further, a resin material such as plastic or a material having flexibility can be used. The substrate material is
Preferably, a glass substrate or a resin material is used. When the substrate is on the light extraction side, it is preferable that the substrate has the same light transmittance as the above-mentioned electrodes.

【0125】ガラス材として、コストの面からアルカリ
ガラスが好ましいが、この他、ソーダ石灰ガラス、鉛ア
ルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラ
ス、シリカガラス等のガラス組成のものも好ましい。特
に、ソーダガラスで、表面処理の無いガラス材が安価に
使用できる。
As the glass material, an alkali glass is preferable from the viewpoint of cost, and in addition, a glass composition such as soda lime glass, lead alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and silica glass is also preferable. In particular, soda glass, which has no surface treatment, can be used at low cost.

【0126】さらに、素子の有機層や電極の酸化を防ぐ
ために、素子上を封止板等により封止することが好まし
い。封止板は、湿気の侵入を防ぐために、接着性樹脂層
を用いて、封止板を接着し密封する。封止ガスは、A
r、He、N2 等の不活性ガス等が好ましい。また、こ
の封止ガスの水分含有量は、100ppm 以下、より好ま
しくは10ppm 以下、特には1ppm 以下であることが好
ましい。この水分含有量に下限値は特にないが、通常
0.1ppm 程度である。
Further, in order to prevent oxidation of the organic layer and the electrodes of the element, it is preferable to seal the element with a sealing plate or the like. The sealing plate adheres and seals the sealing plate using an adhesive resin layer in order to prevent moisture from entering. The sealing gas is A
An inert gas such as r, He, and N 2 is preferable. Further, the moisture content of the sealing gas is preferably 100 ppm or less, more preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 1 ppm or less. Although there is no particular lower limit for the water content, it is usually about 0.1 ppm.

【0127】封止板の材料としては、上記基板と異なる
材料を用いることも可能であるが、好ましくは基板材料
と同様のもの、あるいは同等の熱膨張係数、機械強度を
有するものである。
As the material of the sealing plate, a material different from that of the above-mentioned substrate can be used. However, it is preferable that the material is the same as the material of the substrate or has the same thermal expansion coefficient and mechanical strength.

【0128】封止板は、スペーサーを用いて高さを調整
し、所望の高さに保持してもよい。スペーサーの材料と
しては、樹脂ビーズ、シリカビーズ、ガラスビーズ、ガ
ラスファイバー等が挙げられ、特にガラスビーズ等が好
ましい。なお、封止板に凹部を形成した場合には、スペ
ーサーは使用しても、使用しなくてもよい。
The height of the sealing plate may be adjusted by using a spacer, and may be maintained at a desired height. Examples of the material of the spacer include resin beads, silica beads, glass beads, and glass fibers, and glass beads are particularly preferable. When a recess is formed in the sealing plate, the spacer may or may not be used.

【0129】スペーサーは、予め封止用接着剤中に混入
されていても、接着時に混入してもよい。封止用接着剤
中におけるスペーサーの含有量は、好ましくは0.01
〜30質量%、より好ましくは0.1〜5質量%であ
る。
The spacer may be mixed in the sealing adhesive in advance, or may be mixed at the time of bonding. The content of the spacer in the sealing adhesive is preferably 0.01
-30% by mass, more preferably 0.1-5% by mass.

【0130】接着剤としては、安定した接着強度が保
て、気密性が良好なものであれば特に限定されるもので
はないが、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ
樹脂接着剤を用いることが好ましい。
The adhesive is not particularly limited as long as it can maintain stable adhesive strength and has good airtightness, but it is preferable to use a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive. .

【0131】基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む
色変換膜、あるいは誘電体反射膜を用いて発光色をコン
トロールしてもよい。
The emission color may be controlled by using a color filter film, a color conversion film containing a fluorescent substance, or a dielectric reflection film on the substrate.

【0132】色フィルター膜には、液晶ディスプレイ等
で用いられているカラーフィルターを用いれば良いが、
有機EL素子の発光する光に合わせてカラーフィルター
の特性を調整し、取り出し効率・色純度を最適化すれば
よい。
As the color filter film, a color filter used in a liquid crystal display or the like may be used.
The characteristics of the color filter may be adjusted in accordance with the light emitted from the organic EL element to optimize the extraction efficiency and the color purity.

【0133】また、EL素子材料や蛍光変換層が光吸収
するような短波長の外光をカットできるカラーフィルタ
ーを用いれば、素子の耐光性・表示のコントラストも向
上する。
If a color filter capable of cutting off short-wavelength external light that is absorbed by the EL element material or the fluorescence conversion layer is used, the light resistance of the element and the display contrast are improved.

【0134】また、誘電体多層膜のような光学薄膜を用
いてカラーフィルターの代わりにしても良い。
In addition, an optical thin film such as a dielectric multilayer film may be used instead of the color filter.

【0135】蛍光変換フィルター膜は、EL発光の光を
吸収し、蛍光変換膜中の蛍光体から光を放出させること
で、発光色の色変換を行うものであるが、組成として
は、バインダー、蛍光材料、光吸収材料の三つから形成
される。
The fluorescence conversion filter film performs color conversion of the emission color by absorbing the light of the EL emission and emitting the light from the phosphor in the fluorescence conversion film. It is formed from a fluorescent material and a light absorbing material.

【0136】蛍光材料は、基本的には蛍光量子収率が高
いものを用いれば良く、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。実際には、レーザー色素などが適してお
り、ローダミン系化合物・ペリレン系化合物・シアニン
系化合物・フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)ナフタロイミド系化合物・縮合環炭化水素
系化合物・縮合複素環系化合物・スチリル系化合物・ク
マリン系化合物等を用いればよい。
As the fluorescent material, basically, a material having a high fluorescence quantum yield may be used, and it is desirable that the fluorescent material has strong absorption in an EL emission wavelength region. In practice, laser dyes and the like are suitable, and rhodamine compounds, perylene compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds (including subphthalocyanines, etc.) naphthaloimide compounds, condensed ring hydrocarbon compounds, condensed heterocyclic compounds A styryl compound, a coumarin compound or the like may be used.

【0137】バインダーは、基本的に蛍光を消光しない
ような材料を選べば良く、フォトリソグラフィー・印刷
等で微細なパターニングが出来るようなものが好まし
い。また、基板上に正孔注入電極と接する状態で形成さ
れる場合、正孔注入電極(ITO、IZO等)の成膜時
にダメージを受けないような材料が好ましい。
As the binder, basically, a material that does not quench the fluorescence may be selected, and a binder that can be finely patterned by photolithography, printing, or the like is preferable. In the case where the hole injection electrode is formed on the substrate in contact with the hole injection electrode, a material which does not damage the film during formation of the hole injection electrode (ITO, IZO, or the like) is preferable.

【0138】光吸収材料は、蛍光材料の光吸収が足りな
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくても良
い。また、光吸収材料は、蛍光性材料の蛍光を消光しな
いような材料を選べば良い。
The light absorbing material is used when the light absorption of the fluorescent material is insufficient, but may be omitted when unnecessary. As the light absorbing material, a material that does not quench the fluorescence of the fluorescent material may be selected.

【0139】有機EL素子は、直流駆動やパルス駆動さ
れ、また交流駆動も可能である。印加電圧は、通常、2
〜30V 程度である。
The organic EL element can be driven by direct current or pulse, and can be driven by alternating current. The applied voltage is usually 2
It is about 30V.

【0140】[0140]

【実施例】[実施例1] (TPD/Alq/MoO3 :Li/Al構造)図2に
示すように、ガラス基板1上に、正孔注入電極2である
ITO透明導電膜100nmを形成した。この基板1に超
音波洗浄を10分実施した後、純水でリンスした。その
後、オープンにて110℃で8時間以上ベークを行っ
た。このITO付基板にUV/O3 洗浄を行った後、真
空装置に導入し槽内を1×10-4 Pa以下まで減圧し
た。
Example 1 Example 1 (TPD / Alq / MoO 3 : Li / Al Structure) As shown in FIG. 2, an ITO transparent conductive film 100 nm as a hole injection electrode 2 was formed on a glass substrate 1. . After ultrasonic cleaning was performed on the substrate 1 for 10 minutes, it was rinsed with pure water. Thereafter, baking was performed at 110 ° C. for 8 hours or more in an open state. After the substrate with ITO was subjected to UV / O 3 cleaning, the substrate was introduced into a vacuum device and the pressure in the tank was reduced to 1 × 10 −4 Pa or less.

【0141】正孔注入有機層4としてN,N’−ジフェニ
ル−N,N’−ビス(3−メチルフェニル)−1,1’−ジ
フェニルー4,4’−ジアミン(TPD)を20nm、発光層
5としてトリス(8−キノリラト)アルミニウム100n
mを順次抵抗加熱蒸着法にて形成した。
As the hole injection organic layer 4, N, N′-diphenyl-N, N′-bis (3-methylphenyl) -1,1′-diphenyl-4,4′-diamine (TPD) was 20 nm, and the light emitting layer was 5 as tris (8-quinolilat) aluminum 100n
m were sequentially formed by a resistance heating evaporation method.

【0142】次に、無機酸化物電子注入層7として、M
oO3 とLiを抵抗加熱法による共蒸着にて5nm形成し
た。このとき、MoO3 とLiの成膜レートを共に0.
1nm/secとして、体積比1:1の比率で蒸著した。L
iの蒸着源には、Al−20atm%Li合金を用いて、
Liのみが蒸発するようにパワーのコントロールを行な
った。
Next, as the inorganic oxide electron injection layer 7, M
oO 3 and Li were formed to a thickness of 5 nm by co-evaporation using a resistance heating method. At this time, the film formation rates of MoO 3 and Li are both set to 0.1.
Steaming was performed at a volume ratio of 1: 1 at 1 nm / sec. L
Using an Al-20atm% Li alloy as the evaporation source of i,
The power was controlled so that only Li was evaporated.

【0143】その後、アルミニウムの電子注入電極8を
抵抗加熱法にて150nm形成し、最後にSiNの保護膜
9を200nm形成して有機EL素子を得た。
Thereafter, an electron injection electrode 8 of aluminum was formed to a thickness of 150 nm by a resistance heating method, and finally a protective film 9 of SiN was formed to a thickness of 200 nm to obtain an organic EL device.

【0144】また、成膜の安定性を見るために、電子注
入層形成において、素子作製時の成膜回数に換算して1
00回に相当する膜厚分の成膜を実施したが、蒸着の材
料ボートの変質は見られず、また成膜時の脱ガスも起こ
らず安定した成膜が行なえた。
Further, in order to check the stability of film formation, in forming the electron injection layer, the number of film formations at the time of device fabrication was 1 in conversion.
Deposition was performed for a film thickness equivalent to 00 times, but no alteration of the material boat for vapor deposition was observed, and degassing did not occur at the time of film formation, and stable film formation was performed.

【0145】製膜された電子注入層のX線回折結果を図
3に示す。図から明らかなように、膜内に結晶はみられ
ず、アモルファス状態になっていることがわかる。
FIG. 3 shows an X-ray diffraction result of the formed electron injection layer. As is apparent from the figure, no crystal is observed in the film, and the film is in an amorphous state.

【0146】このようにして作製した有機EL素子におい
て、電気特性を測定したところ、電流密度10mA/cm2
における電圧が5.7V、輝度が320cd/m2 であっ
た。
When the electrical characteristics of the organic EL device thus manufactured were measured, the current density was 10 mA / cm 2
At 5.7 V, and the luminance was 320 cd / m 2 .

【0147】〔実施例2〕無機電子注入層として酸化モ
リプデン:リチウムの最適な組成を求めた。酸化モリブ
デン:リチウム組成を体積比で10:0、10:1、
5:1、1:1、1:3、1:6、1:25と変化さ
せ、ほかは実施例1と同様に有機EL素子を作製した。
Example 2 The optimum composition of molybdenum oxide: lithium was determined for the inorganic electron injecting layer. The molybdenum oxide: lithium composition is 10: 0, 10: 1 by volume ratio,
5: 1, 1: 1, 1: 3, 1: 6, 1:25, and the other steps were the same as in Example 1 to produce an organic EL device.

【0148】このようにして得られたサンプルの駆動電
圧特性を測定した。結果を図4に示す。
The drive voltage characteristics of the sample thus obtained were measured. FIG. 4 shows the results.

【0149】図4から、リチウムが含まれないところで
は駆動電圧が大きく悪化していることがわかる。また、
リチウム濃度が多すぎ、70体積%を超えると、素子の
リークが観察され歩留まりが極めて悪くなった。
From FIG. 4, it can be seen that the drive voltage is greatly deteriorated where lithium is not contained. Also,
If the lithium concentration was too high and exceeded 70% by volume, device leakage was observed and the yield was extremely poor.

【0150】以上の結果より、酸化モリブデン中にリチ
ウムが極少量でも入ることで、駆動電圧を低下させる効
果が見られ、酸化モリプデン:リチウムの最適濃度範囲
は1体積%から体積70%であることがわかる。また、
第2成分の含有量は、第1成分と第2成分の金属成分の
総計に対しては、0.1〜16質量%が好ましいことが
わかる。
[0150] From the above results, the effect of lowering the driving voltage can be seen when a very small amount of lithium is contained in molybdenum oxide. The optimum concentration range of molybdenum oxide: lithium is 1% by volume to 70% by volume. I understand. Also,
It is understood that the content of the second component is preferably 0.1 to 16% by mass with respect to the total of the metal components of the first component and the second component.

【0151】〔実施例3〕無機電子注入層として酸化モ
リプデン:酸化リチウムの最適な組成を求めた。 酸化モリブデン:酸化リチウムは、蒸着時に酸素を流
し、真空度を1×10-2Paに調整し、リチウムを成膜中
に酸化することで、形成した。酸化モリブデン:酸化リ
チウム組成を体積比で10:0、10:1、5:1、
1:1、1:3、1:6、1:25と変化させたほか
は、実施例1と同様にして有機EL素子を作製した。
Example 3 An optimum composition of molybdenum oxide: lithium oxide was determined for the inorganic electron injection layer. Molybdenum oxide: Lithium oxide was formed by flowing oxygen during evaporation, adjusting the degree of vacuum to 1 × 10 −2 Pa, and oxidizing lithium during film formation. The composition ratio of molybdenum oxide: lithium oxide is 10: 0, 10: 1, 5: 1 by volume ratio.
An organic EL device was manufactured in the same manner as in Example 1, except that the ratio was changed to 1: 1, 1: 3, 1: 6, and 1:25.

【0152】このようにして得られたサンプルの駆動電
圧特性を測定した。結果を図5に示す。
The drive voltage characteristics of the sample thus obtained were measured. The results are shown in FIG.

【0153】図5から明らかなように、実施例3と同様
に、酸化リチウムが含まれないところでは駆動電圧が大
きく悪化している。また、酸化リチウム濃度が多すぎる
と、無機電子注入層が絶縁化する為に、駆動電圧が上昇
した。従って駆動電圧の上昇を抑制するためにはリチウ
ム濃度70体積%以下が好ましい。
As is clear from FIG. 5, similarly to the third embodiment, the drive voltage is greatly deteriorated where no lithium oxide is contained. On the other hand, when the lithium oxide concentration was too high, the drive voltage was increased because the inorganic electron injection layer was insulated. Therefore, in order to suppress an increase in driving voltage, the lithium concentration is preferably 70% by volume or less.

【0154】また、電子注入層の形成に際し、MoO3
とLiの共蒸着を行わず、Li2MoO4 の複合酸化物
を用い単独の蒸着ボートにて形成したほかは、上記と同
様にして有機EL素子を作製した。得られたサンプルに
ついて上記と同様に評価したところ、ほぼ同様の結果が
得られた。
In forming the electron injection layer, MoO 3
An organic EL device was produced in the same manner as described above, except that a co-evaporation of Li and Mo was not performed, and a composite oxide of Li 2 MoO 4 was used to form a single evaporation boat. When the obtained sample was evaluated in the same manner as above, almost the same result was obtained.

【0155】〔実施例4〕 (ITO/TPD/Alq/MoO3:Na/Al構
造)無機電子注入層として、MoO3 とNaを共蒸着で
5nm形成したほかは実施例1と同様にして有機EL素子を
作製した。
Example 4 (ITO / TPD / Alq / MoO 3 : Na / Al Structure) An organic electron injection layer was formed in the same manner as in Example 1 except that MoO 3 and Na were formed to a thickness of 5 nm by co-evaporation. An EL device was manufactured.

【0156】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が5.
9V、輝度300cd/m2 となった.
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 5.5.
9 V and a luminance of 300 cd / m 2 .

【0157】〔実施例5〕 (ITO/TPD/Alq/MoO3 :Cs/Al構
造〕無機電子注入層として、MoO3 とCsを共蒸着で
5nm形成したほかは実施例1と同様にして有機EL素子を
作製した。
Example 5 (ITO / TPD / Alq / MoO 3 : Cs / Al Structure) An organic electron-injecting layer was formed in the same manner as in Example 1 except that MoO 3 and Cs were formed to a thickness of 5 nm by co-evaporation. An EL device was manufactured.

【0158】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が6.
0V、輝度290cd/m2 となった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 6.
0 V and a luminance of 290 cd / m 2 .

【0159】また、実施例1、4、5の有機EL素子は、
連続駆動による輝度半減寿命がいずれも3000時間
(at100cd/m2 換算)以上であり、充分な寿命を有
していた。
Further, the organic EL devices of Examples 1, 4, and 5
The half life of luminance by continuous driving was 3000 hours or more (at 100 cd / m 2 conversion) or more, indicating a sufficient life.

【0160】〔実施例6〕 (ITO/GeO2:In23/ジスチリルアリーレン
誘導体+3%ジスチリルアリーレンアミン誘導体/Mo
3:Li/Al構造)正孔注入電極ITO上に、無機
正孔注入層としてGeO2 :In23 (スパッタター
ゲット組成85:15mol%)1nmを形成した。
Example 6 (ITO / GeO 2 : In 2 O 3 / distyrylarylene derivative + 3% distyrylaryleneamine derivative / Mo)
(O 3 : Li / Al structure) On the hole injection electrode ITO, GeO 2 : In 2 O 3 (sputter target composition 85:15 mol%) 1 nm was formed as an inorganic hole injection layer.

【0161】次に、有機発光層に、ホスト物質として下
記の化15で示されるジスチリルアリーレン誘導体に、
同じくドーパント物質として下記の化16で示されるジ
スチリルアリーレンアミン誘導体が3体積%添加され、
膜厚が100nmの有機発光層を抵抗加熱共蒸着にて形成
した。
Next, a distyryl arylene derivative represented by the following chemical formula 15 as a host material was added to the organic light emitting layer:
Similarly, 3% by volume of a distyrylaryleneamine derivative represented by the following chemical formula 16 is added as a dopant substance,
An organic light emitting layer having a thickness of 100 nm was formed by co-evaporation with resistance heating.

【0162】[0162]

【化15】 Embedded image

【0163】[0163]

【化16】 Embedded image

【0164】次に、無機電子注入層を、実施例1と同様
に、MoO3 とLiの共蒸着で5nm形成し、アルミ陰極
を150nm形成し、有機EL素子を作製した。
Next, as in Example 1, an inorganic electron injecting layer was formed to a thickness of 5 nm by co-evaporation of MoO 3 and Li, and an aluminum cathode was formed to a thickness of 150 nm to produce an organic EL device.

【0165】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が1
2.4V、輝度350cd/m2 であった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 1
2.4 V and a luminance of 350 cd / m 2 .

【0166】〔実施例7〕実施例1において、Liに代
えて、K,Rbをそれぞれ用いたところほぼ同様な結果
が得られた。
Example 7 In Example 1, when K and Rb were used in place of Li, substantially the same results were obtained.

【0167】〔実施例8〕実施例1において、ITO電
極形成後、抵抗加熱蒸着法により、下記構造のATPを
100nm成膜し、正孔注入層とした。
Example 8 In Example 1, after forming the ITO electrode, an ATP having the following structure was formed to a thickness of 100 nm by a resistance heating evaporation method to form a hole injection layer.

【0168】[0168]

【化17】 Embedded image

【0169】次いで、同様にして下記構造のTPDを1
0nm成膜し、正孔輸送層とした。
Next, a TPD having the following structure was
A film was formed to a thickness of 0 nm to form a hole transport layer.

【0170】[0170]

【化18】 Embedded image

【0171】次に、第1の発光層として、下記構造のア
ントラセン誘導体:TPD:ルブレンを、体積比7.
5:2.5:0.3となるように、膜厚20nmの厚さに
共蒸着した。
Next, as the first light emitting layer, an anthracene derivative having the following structure: TPD: rubrene was used at a volume ratio of 7.
Co-deposition was performed to a thickness of 20 nm so that the ratio became 5: 2.5: 0.3.

【0172】[0172]

【化19】 Embedded image

【0173】次に、第2の発光層として、ホスト物質に
上記アントラセン誘導体とTPDを、ドーパント物質と
して実施例6の化16で示されるジスチリルアリーレン
アミン誘導体を、それぞれ体積比で7.5:2.5:
0.2となるように、膜厚が40nmに成膜した。
Next, the anthracene derivative and TPD were used as the host material as the second light emitting layer, and the distyryl aryleneamine derivative represented by Chemical Formula 16 of Example 6 was used as the dopant material in a volume ratio of 7.5: 2.5:
The film was formed to have a thickness of 40 nm so as to be 0.2.

【0174】さらに、第3の発光層として、上記アント
ラセン誘導体を膜厚20nmに成膜した。
Further, the above-mentioned anthracene derivative was formed into a film having a thickness of 20 nm as a third light emitting layer.

【0175】次に、電子注入輸送層として、Alq3 を
膜厚10nm成膜し、無機電子注入層を、実施例1と同様
に、MoO3 とLiの共蒸着で5nm形成し、アルミ陰極
を150nm形成して、有機EL素子を作製した。
Next, as an electron injecting and transporting layer, Alq 3 was formed to a thickness of 10 nm, an inorganic electron injecting layer was formed to a thickness of 5 nm by co-evaporation of MoO 3 and Li, and an aluminum cathode was formed to a thickness of 150 nm. The organic EL device was formed.

【0176】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が6.
7V、輝度840cd/m2 であった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 6.
7 V and a luminance of 840 cd / m 2 .

【0177】この素子を、85℃にて100時間保存し
た後、同様にして発光輝度を測定したところ輝度低下率
は5%以下であり、目立った劣化は観測されなかった。
After the device was stored at 85 ° C. for 100 hours, the emission luminance was measured in the same manner. The luminance reduction rate was 5% or less, and no noticeable deterioration was observed.

【0178】〔実施例9〕実施例1において、ITO電
極形成後、スパッタ法により、GeO2 :In23
(スパッタターゲット組成85:15mol%)を1nm成
膜し、正孔注入輸送層とした。
[Embodiment 9] In Embodiment 1, after forming the ITO electrode, GeO 2 : In 2 O 3 was formed by sputtering.
(Sputter target composition: 85: 15 mol%) was deposited to a thickness of 1 nm to form a hole injection transport layer.

【0179】次に、第1の発光層として、アントラセン
誘導体:TPD:ルブレンを、体積比7.5:2.5:
0.3となるように、膜厚20nmの厚さに共蒸着した。
Next, as the first light emitting layer, an anthracene derivative: TPD: rubrene was used at a volume ratio of 7.5: 2.5:
Co-deposition was performed to a thickness of 20 nm so as to be 0.3.

【0180】次に、第2の発光層として、ホスト物質に
アントラセン誘導体とTPDを、ドーパント物質として
実施例6の化16で示されるジスチリルアリーレンアミ
ン誘導体を、それぞれ体積比で7.5:2.5:0.2
となるように、膜厚が40nmに成膜した。
Next, as the second light emitting layer, an anthracene derivative and TPD were used as a host material, and a distyryl aryleneamine derivative represented by Chemical Formula 16 of Example 6 was used as a dopant material. .5: 0.2
The film was formed to have a thickness of 40 nm.

【0181】さらに、第3の発光層として、上記アント
ラセン誘導体を膜厚20nmに成膜した。
Further, the above-mentioned anthracene derivative was formed into a film having a thickness of 20 nm as a third light emitting layer.

【0182】次に、電子注入輸送層として、Alq3 を
膜厚10nm成膜し、無機電子注入層を、実施例1と同様
に、MoO3 とLiの共蒸着で5nm形成し、アルミ陰極
を150nm形成して、有機EL素子を作製した。
[0182] Next, as the electron injection transport layer, the Alq3 with a thickness of 10nm deposited, the inorganic electron injecting layer, in the same manner as in Example 1, was 5nm formed by co-deposition of MoO 3 and Li, 150 nm aluminum cathode The organic EL device was formed.

【0183】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が4.
3V、輝度900cd/m2 であった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 4.
3 V, luminance was 900 cd / m 2 .

【0184】この素子を、85℃にて100時間保存し
た後、同様にして発光輝度を測定したところ輝度変化率
は10%以下であり、目立った劣化は観測されなかっ
た。
After the device was stored at 85 ° C. for 100 hours, the emission luminance was measured in the same manner. The luminance change rate was 10% or less, and no noticeable deterioration was observed.

【0185】〔比較例1〕 (ITO/TPD/Alq/Al構造)無機電子注入層
を形成しない以外は実施例1と同様にして有機EL素子
を作製した。
Comparative Example 1 (ITO / TPD / Alq / Al Structure) An organic EL device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that no inorganic electron injection layer was formed.

【0186】得られた素子を実施例12と同様にして評
価したところ、電流密度10mA/cm 2 における電圧が
8.7v 、輝度210cd/m2 であった。これは、無機
電子注入層を形成しないため、駆動電圧が上昇し、輝度
が低下したものと考えられる。
The obtained device was evaluated in the same manner as in Example 12.
When evaluated, the current density was 10 mA / cm Two The voltage at
8.7v, brightness 210cd / mTwo Met. This is inorganic
Since the electron injection layer is not formed, the driving voltage increases and the brightness
Is considered to have decreased.

【0187】〔比較例2〕 (ITO/TPD/Alq/Mg/Al構造)無機電子
注入層として、Mgを5nm形成した以外は実施例1と同
様にして有機EL素子を作製した。
Comparative Example 2 (ITO / TPD / Alq / Mg / Al Structure) An organic EL device was manufactured in the same manner as in Example 1 except that Mg was formed to a thickness of 5 nm as an inorganic electron injection layer.

【0188】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が7.
6V、輝度300cd/m2 となり、駆動電圧が高くなっ
た。また、連続駆動における輝度半減寿命も高々150
時間(at100cd/m2 )程度であった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 7.
The driving voltage was 6 V and the luminance was 300 cd / m 2 . Further, the luminance half life in continuous driving is at most 150.
It was about time (at 100 cd / m 2 ).

【0189】これは、金属と有機層との密着性が悪いた
め、無機電子注入層が駆動時の熱により剥離し、寿命が
悪化していると考えられる。従って、金属酸化物中に低
仕事関数金属を含有することは、膜の密着性を高める意
味で極めて効果が高いことがわかる。
It is considered that this is because the adhesion between the metal and the organic layer is poor, so that the inorganic electron injecting layer is peeled off by the heat during driving, and the life is shortened. Therefore, it can be seen that the inclusion of a low work function metal in the metal oxide is extremely effective in increasing the adhesion of the film.

【0190】〔比較例3〕 (ITO/GeO2 :In23 /IDE120+3%
IDE102/MoO3:Mg(1:1)/Al)電子
注入層として、MoO3とMg(仕事関数3.7eV)を
抵抗加熱法により共蒸着(体積比1:1)し、5nmの膜
厚に形成したほかは実施例6と同様にして有機EL素子
を作製した。
Comparative Example 3 (ITO / GeO 2 : In 2 O 3 / IDE120 + 3%
IDE102 / MoO 3 : Mg (1: 1) / Al) MoO 3 and Mg (work function 3.7 eV) were co-deposited (volume ratio 1: 1) as a electron injection layer by a resistance heating method to a film thickness of 5 nm. An organic EL device was produced in the same manner as in Example 6, except that the device was formed.

【0191】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が1
3.7V、輝度11cd/m2 となった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 1
3.7 V and a luminance of 11 cd / m 2 .

【0192】実施例5と比較して、輝度が低く、また駆
動電圧も高いことから、MoO3 に添加する低仕事関数
金属は、3eV以下が好ましいことがわかる。
Since the luminance is lower and the driving voltage is higher than in Example 5, it is understood that the low work function metal to be added to MoO 3 is preferably 3 eV or less.

【0193】〔比較例4〕 スパッタ無機電子注入層 (ITO/GeO2 :In23 /IDE120+3%
IDE102/Li2O:RuO2 /Al構造)
[Comparative Example 4] Sputtered inorganic electron injection layer (ITO / GeO 2 : In 2 O 3 / IDE120 + 3%
IDE102 / Li 2 O: RuO 2 / Al structure)

【0194】電子注入層として、Li2O:RuO2
(30:70mol%)ターゲットにより下記条件のスパ
ッタ法にて1nmを形成したほかは実施例6と同様にして
有機EL素子を作製した。 スパッタ条件: 圧力:0.15Pa 投入電力:0.76W/cm2 スパッタガス:Kr 8cc/min 基板間距離:90mm
As an electron injection layer, Li 2 O: RuO 2
(30: 70 mol%) An organic EL device was produced in the same manner as in Example 6, except that 1 nm was formed by a sputtering method under the following conditions using a target. Sputtering conditions: Pressure: 0.15 Pa Input power: 0.76 W / cm 2 Sputter gas: Kr 8 cc / min Distance between substrates: 90 mm

【0195】得られた素子を実施例1と同様に評価した
ところ、電流密度10mA/cm2 における電圧15.7
V、輝度10cd/m2 であった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 15.7.
V, and the luminance was 10 cd / m 2 .

【0196】実施例6と比較して、スパッタダメージに
より、輝度が低くなり、また駆動電圧も高くなった。
As compared with Example 6, the luminance was lowered and the driving voltage was increased due to the spatter damage.

【0197】〔比較例5〕 (実施例9電子注入層対照構造)無機電子注入層とし
て、Mo3 Liの代わりに、下記構造のパソフェナント
ロリン(BPhen)をLiと共蒸着により20nm形成した
以外は実施例9と同様にして有機EL素子を作製した。
Comparative Example 5 (Example 9 Electron Injection Layer Control Structure) As an inorganic electron injection layer, instead of Mo 3 Li, pasophenanthroline (BPhen) having the following structure was formed to 20 nm by co-evaporation with Li. An organic EL device was produced in the same manner as in Example 9.

【0198】[0198]

【化20】 Embedded image

【0199】得られた素子を実施例1と同様にして評価
したところ、電流密度10mA/cm2における電圧が4.
3V、輝度1000cd/m2 となった。
When the obtained device was evaluated in the same manner as in Example 1, the voltage at a current density of 10 mA / cm 2 was 4.
3 V and a luminance of 1000 cd / m 2 .

【0200】この素子を、85℃にて100時間保存し
た後、同様にして発光輝度を測定したところ輝度低下率
は50%以上であった。これは、有機物質であるBPh
enがアルカリ金属と配位結合し、結晶化したためであ
ると考えられる。従って、アルカリ金属との共蒸着は、
熱的安定性が高い無機物質が好ましいことがわかった。
After the device was stored at 85 ° C. for 100 hours, the emission luminance was measured in the same manner. The luminance decrease rate was 50% or more. This is the organic substance BPh
It is considered that en was coordinated with an alkali metal and crystallized. Therefore, co-evaporation with alkali metal,
It has been found that inorganic substances having high thermal stability are preferred.

【0201】[0201]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、電子注入
電極と有機層の密着性が向上し、その結果素子寿命が向
上する。また密着性の向上と同時に駆動電圧の低下と発
光効率を向上させることができる。しかも、簡易な方法
で取り扱いが容易な材料系にて製造することができ、工
程が簡単で、製造コストも低くすることができる。本発
明により高効率の有機ELが簡易に製造できるので、各
種表示デバイスヘの応用も容易になる。
As described above, according to the present invention, the adhesion between the electron injection electrode and the organic layer is improved, and as a result, the life of the device is improved. In addition, the driving voltage can be reduced and the luminous efficiency can be improved simultaneously with the improvement of the adhesion. Moreover, it can be manufactured by a simple method using a material system which is easy to handle, and the process is simple and the manufacturing cost can be reduced. According to the present invention, a high-efficiency organic EL can be easily manufactured, so that application to various display devices is facilitated.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の有機EL素子の基本構成を示す概略断
面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a basic configuration of an organic EL device of the present invention.

【図2】実施例1の有機EL素子の基本構成を示す概略
断面図である。
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view illustrating a basic configuration of the organic EL element of Example 1.

【図3】実施例1で成膜した電子注入電極のX線回折結
果をしました図である。
FIG. 3 is a diagram showing an X-ray diffraction result of an electron injection electrode formed in Example 1.

【図4】実施例2のLi濃度/駆動電圧特性の測定結果
を示したグラフである。
FIG. 4 is a graph showing measurement results of Li concentration / drive voltage characteristics of Example 2.

【図5】実施例3のLi濃度/駆動電圧特性の測定結果
を示したグラフである。
FIG. 5 is a graph showing measurement results of Li concentration / drive voltage characteristics of Example 3.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 正孔注入電極 3 高抵抗の無機正孔注入層 4 正孔注入層 5 発光層 5a 第1の発光層 5b 第2の発光層 6 電子注入層 7 無機酸化物電子注入層 8 電子注入電極 Reference Signs List 1 substrate 2 hole injection electrode 3 high-resistance inorganic hole injection layer 4 hole injection layer 5 light emitting layer 5a first light emitting layer 5b second light emitting layer 6 electron injection layer 7 inorganic oxide electron injection layer 8 electron injection electrode

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Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 正孔注入電極と、電子注入電極と、これ
らの電極間に1種以上の有機層とを有し、少なくとも前
記有機層の1層は発光機能を有し、 この発光機能を有する有機層と電子注入電極の間には、
無機酸化物電子注入層を有し、 この無機酸化物電子注入層は、第1成分として導電性金
属酸化物を含有し、第2成分として仕事関数3eV以下の
金属又は金属酸化物を1種類以上含有している有機EL
素子。
1. An electron-injecting electrode, an electron-injecting electrode, and at least one organic layer between these electrodes. At least one of the organic layers has a light-emitting function. Between the organic layer and the electron injection electrode
It has an inorganic oxide electron injection layer. The inorganic oxide electron injection layer contains a conductive metal oxide as a first component and at least one metal or metal oxide having a work function of 3 eV or less as a second component. Organic EL contained
element.
【請求項2】 前記第1成分の導電性金属酸化物は、酸
化モリブデンである請求項1の有機EL素子。
2. The organic EL device according to claim 1, wherein the conductive metal oxide of the first component is molybdenum oxide.
【請求項3】 前記第2成分は、アルカリ金属である請
求項1または2の有機EL素子。
3. The organic EL device according to claim 1, wherein the second component is an alkali metal.
【請求項4】 前記無機酸化物電子注入層に含有される
第2成分の含有量は1〜70体積%である請求項1〜3
のいずれかの有機EL素子。
4. The content of the second component contained in the inorganic oxide electron injection layer is 1 to 70% by volume.
Any one of the organic EL devices.
【請求項5】 前記第2成分の含有量は、第1成分と第
2成分の金属成分総計に対し0.1〜16質量%である
請求項1〜4のいずれかの有機EL素子。
5. The organic EL device according to claim 1, wherein the content of the second component is 0.1 to 16% by mass based on the total amount of the metal components of the first component and the second component.
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