JP2000340364A - Organic el element - Google Patents

Organic el element

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JP2000340364A
JP2000340364A JP11144435A JP14443599A JP2000340364A JP 2000340364 A JP2000340364 A JP 2000340364A JP 11144435 A JP11144435 A JP 11144435A JP 14443599 A JP14443599 A JP 14443599A JP 2000340364 A JP2000340364 A JP 2000340364A
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JP
Japan
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organic
layer
electron
compound
transporting
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JP11144435A
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Japanese (ja)
Inventor
Etsuo Mihashi
悦央 三橋
Michio Arai
三千男 荒井
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TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent damage by sputtering, and improve an electron implantation efficiency and luminous efficiency by forming an electron implantation electrode by sputtering and including organic electron transport compound and metal phthalocyanine compound in an organic electron transport layer in contact with an inorganic electron implantation layer. SOLUTION: Preferably, electron implantation transporting compound is set to tris (8-quinolinolato) aluminum, metal phthalocyanine compound is set to copper phthalocyanine compound, and the thickness of an organic electron transport layer including them is set to 5-40 nm. A hole implantation electrode 2 is formed on a substrate 1, an organic hole implantation layer 3, an organic hole transport layer 4, a light emitting layer 5, an organic electron transport layer 6, an organic electron transport layer 7 including the metal phthalocyanine compound, an inorganic electron implantation layer 8, and electron implantation electrode 9 are formed in this order, and the hole implantation electrode 2 and the electron implantation electrode 9 are connected to a drive power source E.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、有機EL(エレク
トロルミネッセンス)素子に関し、詳しくは、有機化合
物の薄膜に電界を印加して光を放出する素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic EL (electroluminescence) device, and more particularly to a device that emits light by applying an electric field to a thin film of an organic compound.

【0002】[0002]

【従来の技術】有機EL素子は、ガラス上に大面積で素
子を形成できるため、ディスプレー用等に研究開発が進
められている。一般に有機EL素子は、ガラス基板上に
ITO(錫ドープ酸化インジウム)等の透明電極を形成
し、その上に有機アミン系のホール輸送層、電子導電性
を示しかつ強い発光を示す、たとえばAlq3 [トリス
(8−キノリノラト)アルミニウム]材からなる有機発
光層を積層し、さらに、MgAgなどの仕事関数の小さ
い電極を形成し、基本素子としている。
2. Description of the Related Art Organic EL devices can be formed on glass in a large area, and are being researched and developed for displays and the like. In general, an organic EL element has a transparent electrode such as ITO (tin-doped indium oxide) formed on a glass substrate, and an organic amine-based hole transport layer, an electron conductive layer and strong light emission, such as Alq3 [ An organic light emitting layer made of [tris (8-quinolinolato) aluminum] material is laminated, and further, an electrode having a small work function such as MgAg is formed as a basic element.

【0003】これまでに報告されている素子構造として
は、ホール注入電極および電子注入電極の間に1層また
は複数層の有機化合物層が挟まれた構造となっており、
有機化合物層としては、2層構造あるいは3層構造があ
る。
[0003] The device structure reported so far has a structure in which one or more organic compound layers are interposed between a hole injection electrode and an electron injection electrode.
The organic compound layer has a two-layer structure or a three-layer structure.

【0004】2層構造の例としては、ホール注入電極と
電子注入電極の間にホール輸送層と発光層が形成された
構造またはホール注入電極と電子注入電極の間に発光層
と電子輸送層が形成された構造がある。3層構造の例と
しては、ホール注入電極と電子注入電極の間にホール輸
送層と発光層と電子輸送層とが形成された構造がある。
また、単一層に全ての役割を持たせた単層構造も高分子
や混合系で報告されている。
[0004] Examples of the two-layer structure include a structure in which a hole transport layer and a light emitting layer are formed between a hole injection electrode and an electron injection electrode, or a structure in which a light emitting layer and an electron transport layer are provided between a hole injection electrode and an electron injection electrode. There is a formed structure. As an example of the three-layer structure, there is a structure in which a hole transport layer, a light emitting layer, and an electron transport layer are formed between a hole injection electrode and an electron injection electrode.
Also, a single-layer structure in which a single layer has all the functions has been reported for polymers and mixed systems.

【0005】これら有機EL素子においては、共通し
て、信頼性が問題となっている。すなわち、有機EL素
子は、原理的にホール注入電極と、電子注入電極とを有
し、これら電極間から効率よくホール・電子を注入輸送
するための有機層を必要とする。しかしながら、これら
の材料は、製造時にダメージを受けやすく、電極との親
和性にも問題がある。また、有機薄膜の劣化もLED
(発光ダイオード)、LD(レーザーダイオード)に較
べると著しく大きいという問題を有している。
In these organic EL devices, reliability is a common problem. That is, the organic EL element has a hole injection electrode and an electron injection electrode in principle, and requires an organic layer for injecting and transporting holes and electrons efficiently between these electrodes. However, these materials are susceptible to damage at the time of manufacturing, and have a problem in affinity with electrodes. In addition, degradation of organic thin film
(Light emitting diode) and LD (laser diode).

【0006】特に有機層上に金属ないし無機化合物の層
をスパッタにより形成する場合、有機層にダメージを与
え、素子の性能を劣化させるという問題がある。特に電
子注入電極をスパッタにより形成する場合、この電極層
はかなりの厚さをもつため、スパッタ形成に要する時間
もかなり長くなり、スパッタによるダメージも大きくな
りやすい。したがって、こうした問題も含め、性能の向
上を図った素子構造の提案が望まれている。
In particular, when a metal or inorganic compound layer is formed on an organic layer by sputtering, there is a problem that the organic layer is damaged and the performance of the device is deteriorated. In particular, when the electron injection electrode is formed by sputtering, since this electrode layer has a considerable thickness, the time required for forming the sputtering is considerably long, and the damage due to the sputtering tends to increase. Therefore, there is a demand for a proposal of an element structure that improves performance in consideration of such problems.

【0007】なお、G.Parthasarathy,P.E.Burrows,V.kh
alfin,V.G.Kozlov,S.R.Forrest,Appl.Phys.Lett.,72(1
7),2138(1998)には、有機半導体素子用の金属を含有し
ないカソードが提案されており、透明性を向上させたカ
ソード材として、ITOを載置した従来の半透明のM
g:Ag薄膜にかえて、ITOを載置した銅フタロシア
ニン薄膜(亜鉛フタロシアニンであっても可)を用いる
ことが示されている。ここに示される有機EL素子は、
ITO膜で被覆したガラス基板上に、ホール注入効率を
良化するため、30〜60オングストローム厚の銅フタ
ロシアニン膜を真空蒸着により形成し、次に350〜4
00オングストローム厚のホール輸送層(ホール輸送材
としては、4,4’−ビス[N−(1−ナフチル)−N
−フェニル−アミノ]ビフェニル)、および400〜5
00オングストローム厚の発光性の電子輸送層(このよ
うな電子輸送材としてはAlq3を用い、最初の200
オングストローム厚部分にクマリン6をドープ)をこの
順に形成し、さらにこの上に30〜60オングストロー
ム厚の銅フタロシアニン膜を形成し、このものを別のN
2雰囲気の装置に移し、高周波スパッタにより400〜
600オングストローム厚のITO膜を銅フタロシアニ
ン膜上に形成したものである。この素子においては従来
のMg:Ag薄膜を用いた場合と同等の性能が得られる
とされている。また、銅フタロシアニン膜上にITO膜
を形成しているため、ITO膜スパッタ中の有機層に対
するダメージが小さくなり、ショートする欠陥製品の割
合が低下することが示されている。
[0007] G. Parthasarathy, P.E. Burrows, V.kh
alfin, V.G.Kozlov, S.R.Forrest, Appl.Phys.Lett.,72(1
7), 2138 (1998) contains metals for organic semiconductor devices.
No cathode has been proposed, and a cathode with improved transparency has been proposed.
Conventional translucent M with ITO as a sword material
g: Copper phthalocyanine with ITO in place of Ag thin film
Use Nin thin film (Zinc phthalocyanine is acceptable)
It has been shown. The organic EL element shown here is
Hole injection efficiency on glass substrate covered with ITO film
30-60 Angstrom thick copper lid for better performance
A Russiannin film is formed by vacuum evaporation,
Hole transport layer with a thickness of 00 Å (hole transport material
Represents 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N
-Phenyl-amino] biphenyl), and 400-5
A light-emitting electron transporting layer having a thickness of
Alq3 was used as the electron transport material, and the first 200
Dope coumarin 6 into the thick part of Angstrom)
Formed in order, and further 30-60 angstroms
To form a copper phthalocyanine film having a thickness of
TwoTransfer to atmosphere equipment, 400 ~
600 angstrom thick ITO film with copper phthalocyanine
It is formed on a film. In this element,
Performance equivalent to using a Mg: Ag thin film
It has been. In addition, an ITO film is formed on the copper phthalocyanine film.
Formed on the organic layer during sputtering of the ITO film.
Damage is reduced, and
Is shown to decrease.

【0008】確かに、上述のように、銅フタロシアニン
膜を設けることは、素子の性能向上の一助となることが
期待できるが、未だ十分とはいえない。
Although the provision of a copper phthalocyanine film can be expected to help improve the performance of the device as described above, it is not sufficient.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、スパ
ッタによるダメージを防止することができ、電子注入効
率等が良好で、発光効率が改善され、動作電圧が低く、
長寿命の有機EL素子を提供することである。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to prevent damage due to sputtering, improve electron injection efficiency and the like, improve luminous efficiency, reduce operating voltage,
An object of the present invention is to provide a long-life organic EL device.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】このような目的は、下記
の本発明により達成される。 (1) ホール注入電極と電子注入電極とを有し、これ
らの電極間に有機化合物を含有する有機層を有する有機
EL素子において、前記ホール注入電極上に、有機ホー
ル注入層および/または有機ホール輸送層と、発光層
と、有機電子注入輸送性化合物を含有する少なくとも2
層の有機電子輸送層と、無機化合物を含有する無機電子
注入層とをこの順に形成し、さらにこの無機電子注入層
上に前記電子注入電極を形成した有機EL素子であっ
て、前記電子注入電極がスパッタにより形成され、前記
無機電子注入層に接する有機電子輸送層が有機電子注入
輸送性化合物と金属フタロシアニン化合物とを含有する
有機EL素子。 (2) 前記電子注入輸送性化合物がトリス(8−キノ
リノラト)アルミニウムである上記(1)の有機EL素
子。 (3) 前記金属フタロシアニン化合物が銅フタロシア
ニン化合物である上記(1)または(2)の有機EL素
子。 (4) 前記電子注入輸送性化合物と金属フタロシアニ
ン化合物とを含有する有機電子輸送層の厚さが5〜40
nmである上記(1)〜(3)のいずれかの有機EL素
子。
This and other objects are achieved by the present invention described below. (1) In an organic EL device having a hole injection electrode and an electron injection electrode and having an organic layer containing an organic compound between these electrodes, an organic hole injection layer and / or an organic hole are provided on the hole injection electrode. A transport layer, a light-emitting layer, and at least two layers containing an organic electron injecting and transporting compound.
An organic EL device comprising: an organic electron transporting layer; and an inorganic electron injecting layer containing an inorganic compound. The electron injecting electrode is further formed on the inorganic electron injecting layer. Is formed by sputtering, and the organic electron transporting layer in contact with the inorganic electron injecting layer contains an organic electron injecting and transporting compound and a metal phthalocyanine compound. (2) The organic EL device according to (1), wherein the electron injecting / transporting compound is tris (8-quinolinolato) aluminum. (3) The organic EL device according to (1) or (2), wherein the metal phthalocyanine compound is a copper phthalocyanine compound. (4) The organic electron transporting layer containing the electron injecting and transporting compound and the metal phthalocyanine compound has a thickness of 5 to 40.
The organic EL device according to any one of the above (1) to (3), which has a nm.

【0011】なお、前述のAppl.Phys.Lett.,72(17),213
8(1998)には、カソード材として、ITOを載置した銅
フタロシアニン薄膜が示されているが、その素子構成は
本発明とは全く異なるものである。すなわち、本発明の
ように、金属フタロシアニン化合物を含有する有機電子
輸送層を必須とし、有機電子輸送層を2層以上設けるこ
とについては全く示されておらず、また無機電子注入層
を組み合わせることについても全く示されていない。
The above-mentioned Appl. Phys. Lett., 72 (17), 213
8 (1998) shows a copper phthalocyanine thin film on which ITO is mounted as a cathode material, but the device configuration is completely different from that of the present invention. That is, as in the present invention, an organic electron transporting layer containing a metal phthalocyanine compound is indispensable, there is no mention of providing two or more organic electron transporting layers, and there is no description about combining an inorganic electron injecting layer. Nor is it shown at all.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明の有機EL素子は、ホール注入電極と、電子注入
電極と、これらの電極間に設けられた1種以上の有機層
とを有し、有機層と電子注入電極との間には無機電子注
入層が設けられている。有機層は、ホール注入電極側か
ら有機ホール注入層および/または有機ホール輸送層、
発光層、ならびに2層以上の有機電子輸送層を有する。
2層以上の有機電子輸送層のうち、無機電子注入層と接
する少なくとも最上層の有機電子輸送層は有機注入電子
輸送性化合物と金属フタロシアニン化合物とを含有す
る。また、本発明の有機EL素子は、ホール注入電極か
ら上記の層配列で形成されたものであり、最後に電子注
入電極がスパッタにより形成される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in detail.
The organic EL device of the present invention has a hole injection electrode, an electron injection electrode, and one or more organic layers provided between these electrodes, and an inorganic electron is provided between the organic layer and the electron injection electrode. An injection layer is provided. The organic layer is an organic hole injection layer and / or an organic hole transport layer from the hole injection electrode side,
It has a light emitting layer and two or more organic electron transport layers.
Of the two or more organic electron transporting layers, at least the uppermost organic electron transporting layer in contact with the inorganic electron injecting layer contains an organic injecting electron transporting compound and a metal phthalocyanine compound. Further, the organic EL device of the present invention is formed in the above-mentioned layer arrangement from the hole injection electrode, and finally, the electron injection electrode is formed by sputtering.

【0013】このように、本発明では、有機電子輸送層
を2層以上設け、無機電子注入層に接して設けられる有
機電子輸送層に有機注入電子輸送性化合物のほかに金属
フタロシアニン化合物を含有させているので、電子注入
電極をスパッタにより形成する際の有機層に対するダメ
ージを防止することができるとともに、電子注入効率等
が向上し、初期特性の向上(駆動電圧の低下および輝度
の上昇(20%程度アップ))と長寿命化が図られる。
これに対し、金属フタロシアニン化合物を含有する有機
電子輸送層をはじめとして、金属フタロシアニン化合物
膜を全く設けないと、有機層へのダメージが大きくな
り、駆動電圧が上昇し、輝度が低い。一方、金属フタロ
シアニン化合物を含有しない有機電子輸送層を1層のみ
とし、金属フタロシアニン化合物膜と積層すると、初期
特性の向上が認められるものの寿命が短い。
As described above, in the present invention, two or more organic electron transporting layers are provided, and the organic electron transporting layer provided in contact with the inorganic electron injecting layer contains a metal phthalocyanine compound in addition to the organic injecting electron transporting compound. Therefore, damage to the organic layer when the electron injection electrode is formed by sputtering can be prevented, and the electron injection efficiency and the like can be improved, and the initial characteristics can be improved (the driving voltage decreases and the luminance increases (20%). And the life is extended.
On the other hand, if no metal phthalocyanine compound film is provided, including the organic electron transporting layer containing the metal phthalocyanine compound, damage to the organic layer is increased, driving voltage is increased, and luminance is low. On the other hand, when only one organic electron transport layer containing no metal phthalocyanine compound is laminated and laminated with a metal phthalocyanine compound film, the initial characteristics are improved, but the life is short.

【0014】本発明の有機EL素子は、例えば図1に示
されるような構成であってよく、図1に示されるよう
に、基板1上にホール注入電極2を形成し、さらにこの
上に有機ホール注入層3、有機ホール輸送層4、発光層
5、有機電子輸送層6、金属フタロシアニン化合物を含
有する有機電子輸送層7、無機電子注入層8、および電
子注入電極9をこの順に形成したものである。ホール注
入電極2と電子注入電極9とは駆動電源Eに接続されて
いる。
The organic EL device of the present invention may have, for example, a configuration as shown in FIG. 1. As shown in FIG. 1, a hole injection electrode 2 is formed on a substrate 1, and an organic EL device is further formed thereon. A hole injection layer 3, an organic hole transport layer 4, an emission layer 5, an organic electron transport layer 6, an organic electron transport layer 7 containing a metal phthalocyanine compound, an inorganic electron injection layer 8, and an electron injection electrode 9 formed in this order. It is. The hole injection electrode 2 and the electron injection electrode 9 are connected to a driving power source E.

【0015】本発明の有機EL素子は、図示例に限ら
ず、2層以上の有機電子輸送層と、無機電子注入層とを
有し、無機電子注入層に接する少なくとも1層の有機電
子輸送層が金属フタロシアニン化合物を含有しさえすれ
ばよいが、性能および製造面等を考慮すれば、図示例の
構成が好ましい。このほか、有機電子輸送層6、7や無
機電子注入層8を各々多層構成とすることもできるし、
また、有機ホール注入層3あるいは有機ホール輸送層4
のいずれか一方を設ける構成(このような場合有機ホー
ル注入輸送層と称してもよい)としてもよい。このほ
か、本発明の範囲内で種々の変更が可能である。
The organic EL device of the present invention is not limited to the illustrated example, and has at least one organic electron transporting layer having at least two organic electron transporting layers and an inorganic electron injecting layer in contact with the inorganic electron injecting layer. Only needs to contain a metal phthalocyanine compound, but the structure shown in the drawing is preferable in consideration of performance, production, and the like. In addition, each of the organic electron transport layers 6 and 7 and the inorganic electron injection layer 8 may have a multilayer structure.
The organic hole injection layer 3 or the organic hole transport layer 4
(In such a case, it may be referred to as an organic hole injecting and transporting layer). In addition, various changes can be made within the scope of the present invention.

【0016】なお、本発明において、有機層は有機化合
物を主成分(少なくとも50wt% の含有量)とする層で
あり、有機化合物には有機化合物を配位した金属錯体も
包含されるものとする。一方、無機層は無機化合物を主
成分(少なくとも50wt% の含有量)とする層である。
In the present invention, the organic layer is a layer containing an organic compound as a main component (at least 50 wt%), and the organic compound includes a metal complex coordinated with the organic compound. . On the other hand, the inorganic layer is a layer containing an inorganic compound as a main component (at least 50% by weight).

【0017】また、電極層も各層間の接触界面部分にお
いて、各構成成分が相互に拡散していてもよい。
In the electrode layer, at the contact interface between the layers, the constituent components may be mutually diffused.

【0018】本発明の有機EL素子は、有機電子輸送層
を2層以上有し、無機電子注入層に接する有機電子輸送
層は有機電子注入輸送性化合物と金属フタロシアニン化
合物とを含有する。
The organic EL device of the present invention has two or more organic electron transporting layers, and the organic electron transporting layer in contact with the inorganic electron injecting layer contains an organic electron injecting and transporting compound and a metal phthalocyanine compound.

【0019】金属フタロシアニン化合物としては特に制
限はなく、公知のいずれであってもよい。中心金属とし
てはCu、Fe、Zn、Co、Pt、Cr、Ni、Pd
などが挙げられ、Cu、Znが好ましく、特にCuが好
ましい。
The metal phthalocyanine compound is not particularly limited and may be any known one. As the central metal, Cu, Fe, Zn, Co, Pt, Cr, Ni, Pd
And the like, and Cu and Zn are preferable, and Cu is particularly preferable.

【0020】有機電子注入輸送性化合物としては、トリ
ス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3 )等の
8−キノリノールまたはその誘導体を配位子とする有機
金属錯体などのキノリン誘導体、オキサジアゾール誘導
体、ペリレン誘導体、ピリジン誘導体、ピリミジン誘導
体、キノキサリン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、ニ
トロ置換フルオレン誘導体等を用いることができる。
Examples of the organic electron injecting / transporting compound include quinoline derivatives such as an organometallic complex having 8-quinolinol such as tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) or a derivative thereof as a ligand, oxadiazole derivatives, perylene Derivatives, pyridine derivatives, pyrimidine derivatives, quinoxaline derivatives, diphenylquinone derivatives, nitro-substituted fluorene derivatives and the like can be used.

【0021】有機電子注入輸送性の化合物としては、キ
ノリン誘導体、さらには8−キノリノールないしその誘
導体を配位子とする金属錯体、とりわけアルミニウム錯
体、特にトリス(8−キノリノラト)アルミニウム(A
lq3 )を用いることが好ましい。また、特開平8−1
2600号公報開示のフェニルアントラセン誘導体、特
開平8−12969号公報開示のテトラアリールエテン
誘導体を用いるのも好ましい。
Examples of the organic electron injecting and transporting compound include quinoline derivatives, metal complexes having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, particularly aluminum complexes, particularly tris (8-quinolinolato) aluminum (A
It is preferred to use lq3). Also, JP-A-8-1
It is also preferable to use a phenylanthracene derivative disclosed in JP-A-2600 and a tetraarylethene derivative disclosed in JP-A-8-12969.

【0022】本発明で用いることが好ましいキノリノラ
トアルミニウム錯体としては、特開昭63−26469
2号、特開平3−255190号、特開平5−7073
3号、特開平5−258859号、特開平6−2158
74号等に開示されているものを挙げることができる。
The quinolinolato aluminum complex preferably used in the present invention is described in JP-A-63-26469.
No. 2, JP-A-3-255190, JP-A-5-7073
3, JP-A-5-258859, JP-A-6-2158
No. 74 and the like.

【0023】具体的には、まず、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム、ビス(8−キノリノラト)マグネ
シウム、ビス(ベンゾ{f}−8−キノリノラト)亜
鉛、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ムオキシド、トリス(8−キノリノラト)インジウム、
トリス(5−メチル−8−キノリノラト)アルミニウ
ム、8−キノリノラトリチウム、トリス(5−クロロ−
8−キノリノラト)ガリウム、ビス(5−クロロ−8−
キノリノラト)カルシウム、5,7−ジクロル−8−キ
ノリノラトアルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−
8−ヒドロキシキノリノラト)アルミニウム、ポリ[亜
鉛(II)−ビス(8−ヒドロキシ−5−キノリニル)メ
タン]等がある。
Specifically, first, tris (8-quinolinolato) aluminum, bis (8-quinolinolato) magnesium, bis (benzo {f} -8-quinolinolato) zinc, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum Oxide, tris (8-quinolinolato) indium,
Tris (5-methyl-8-quinolinolato) aluminum, 8-quinolinolatolithium, tris (5-chloro-
8-quinolinolato) gallium, bis (5-chloro-8-
Quinolinolato) calcium, 5,7-dichloro-8-quinolinolatoaluminum, tris (5,7-dibromo-
8-hydroxyquinolinolato) aluminum and poly [zinc (II) -bis (8-hydroxy-5-quinolinyl) methane].

【0024】また、8−キノリノールまたはその誘導体
のほかに他の配位子を有するアルミニウム錯体であって
もよく、このようなものとしては、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(フェノラト)アルミニウム(III)
、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(オルト−
クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−
8−キノリノラト)(メタークレゾラト)アルミニウム
(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ
−クレゾラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル
−8−キノリノラト)(オルト−フェニルフェノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノ
ラト)(メタ−フェニルフェノラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)(2,3−ジメチルフェノ
ラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キ
ノリノラト)(2,6−ジメチルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(3,4−ジメチルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(3,5−ジメ
チルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2,6−ジフェニルフェノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラ
ト)(2,4,6−トリフェニルフェノラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)
(2,3,6−トリメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(2,
3,5,6−テトラメチルフェノラト)アルミニウム(I
II) 、ビス(2−メチル−8−キノリノラト)(1−ナ
フトラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−8
−キノリノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(II
I) 、ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)
(オルト−フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)(パラ−
フェニルフェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,
4−ジメチル−8−キノリノラト)(メタ−フェニルフ
ェノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチ
ル−8−キノリノラト)(3,5−ジメチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2,4−ジメチル−8
−キノリノラト)(3,5−ジ−tert−ブチルフェノラ
ト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4−エチ
ル−8−キノリノラト)(パラ−クレゾラト)アルミニ
ウム(III) 、ビス(2−メチル−4−メトキシ−8−キ
ノリノラト)(パラ−フェニルフェノラト)アルミニウ
ム(III) 、ビス(2−メチル−5−シアノ−8−キノリ
ノラト)(オルト−クレゾラト)アルミニウム(III) 、
ビス(2−メチル−6−トリフルオロメチル−8−キノ
リノラト)(2−ナフトラト)アルミニウム(III) 等が
ある。
In addition to 8-quinolinol or a derivative thereof, an aluminum complex having another ligand may be used, such as bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (phenolato) aluminum (III)
, Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-
Cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-
8-quinolinolato) (meth-cresolate) aluminum
(III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (ortho-phenylphenolate)
Aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (meth-phenylphenolato) aluminum (II
I), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) (2,3-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,6-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(3,4-dimethylphenolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III) ), Bis (2-methyl-8)
-Quinolinolato) (2,6-diphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,4,6-triphenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl- 8-quinolinolato)
(2,3,6-trimethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (2,
3,5,6-tetramethylphenolato) aluminum (I
II), bis (2-methyl-8-quinolinolato) (1-naphthrat) aluminum (III), bis (2-methyl-8
-Quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (II
I), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato)
(Ortho-phenylphenolato) aluminum (III),
Bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (para-
Phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,
4-dimethyl-8-quinolinolato) (meta-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) (3,5-dimethylphenolato) aluminum (III), bis (2 4-dimethyl-8
-Quinolinolato) (3,5-di-tert-butylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4-ethyl-8-quinolinolato) (para-cresolato) aluminum (III), bis (2-methyl) -4-methoxy-8-quinolinolato) (para-phenylphenolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-cyano-8-quinolinolato) (ortho-cresolato) aluminum (III),
Bis (2-methyl-6-trifluoromethyl-8-quinolinolato) (2-naphthrat) aluminum (III);

【0025】このほか、ビス(2−メチル−8−キノリ
ノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−ビス(2−
メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス
(2,4−ジメチル−8−キノリノラト)アルミニウム
(III) −μ−オキソ−ビス(2,4−ジメチル−8−キ
ノリノラト)アルミニウム(III) 、ビス(4−エチル−
2−メチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −
μ−オキソ−ビス(4−エチル−2−メチル−8−キノ
リノラト)アルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−4
−メトキシキノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オ
キソ−ビス(2−メチル−4−メトキシキノリノラト)
アルミニウム(III) 、ビス(5−シアノ−2−メチル−
8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ−オキソ−
ビス(5−シアノ−2−メチル−8−キノリノラト)ア
ルミニウム(III) 、ビス(2−メチル−5−トリフルオ
ロメチル−8−キノリノラト)アルミニウム(III) −μ
−オキソ−ビス(2−メチル−5−トリフルオロメチル
−8−キノリノラト)アルミニウム(III) 等であっても
よい。
In addition, bis (2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-
Methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum
(III) -μ-oxo-bis (2,4-dimethyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (4-ethyl-
2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III)-
μ-oxo-bis (4-ethyl-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-4
-Methoxyquinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-bis (2-methyl-4-methoxyquinolinolato)
Aluminum (III), bis (5-cyano-2-methyl-
8-quinolinolato) aluminum (III) -μ-oxo-
Bis (5-cyano-2-methyl-8-quinolinolato) aluminum (III), bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) -μ
-Oxo-bis (2-methyl-5-trifluoromethyl-8-quinolinolato) aluminum (III) and the like.

【0026】特に、本発明では、トリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム(Alq3)が好ましい。
In the present invention, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) is particularly preferred.

【0027】電子注入輸送性化合物と金属フタロシアニ
ン化合物とを含有する電子輸送層における電子注入輸送
性化合物と金属フタロシアニン化合物との比は、電子注
入輸送性化合物/金属フタロシアニン化合物(重量比)
が4/1〜1/4であることが好ましく、より好ましく
は3/2〜2/3である。
The ratio of the electron injecting / transporting compound to the metal phthalocyanine compound in the electron transporting layer containing the electron injecting / transporting compound and the metal phthalocyanine compound is expressed by the formula: electron injecting / transporting compound / metal phthalocyanine compound (weight ratio).
Is preferably from 4/1 to 1/4, and more preferably from 3/2 to 2/3.

【0028】これらの化合物は各々1種のみ用いても2
種以上併用してもよい。また層中において、これらの化
合物は均一に混合していてもよく、膜厚方向に濃度勾配
をもった傾斜膜であってもよい。傾斜膜のときは、無機
電子注入層側にて金属フタロシアニン化合物の含有量が
多くなるようにすることが好ましく、有機電子輸送層側
にて漸減するようにしてもよい。ただし、製造上の容易
さ等からほぼ均一に混合する方が好ましい。
Each of these compounds may be used alone or in combination.
More than one species may be used in combination. These compounds may be uniformly mixed in the layer, or may be a gradient film having a concentration gradient in the film thickness direction. In the case of a gradient film, the content of the metal phthalocyanine compound is preferably increased on the inorganic electron injection layer side, and may be gradually reduced on the organic electron transport layer side. However, it is preferable to mix them almost uniformly from the viewpoint of ease of production.

【0029】両化合物の比を上記範囲とすることで、素
子としての機能を損うことなく、スパッタダメージの防
止を有効に行うことができる。これに対し、金属フタロ
シアニン化合物の量が少なくなるとスパッタダメージ防
止効果が不十分になり、反対に多くなると素子としての
性能が劣化しやすくなる。
By setting the ratio of both compounds within the above range, it is possible to effectively prevent spatter damage without impairing the function as an element. On the other hand, when the amount of the metal phthalocyanine compound is small, the effect of preventing sputter damage is insufficient, and when the amount is large, the performance as an element is likely to be deteriorated.

【0030】金属フタロシアニン化合物を含有する有機
電子輸送層は通常1層とする方が好ましいが、多層構成
とすることができる。その厚さは、多層構成とするとき
は、合計厚で5〜40nm(50〜400オングストロー
ム)であることが好ましい。この層があまり薄くなる
と、スパッタダメージ防止効果が十分に得られなくな
り、あまり厚くなると、初期特性の低下がみられ、素子
寿命が短くなる。
The organic electron transporting layer containing the metal phthalocyanine compound is usually preferably formed as a single layer, but may be formed in a multilayer structure. The thickness is preferably 5 to 40 nm (50 to 400 angstroms) in total when forming a multilayer structure. If this layer is too thin, the effect of preventing sputter damage cannot be sufficiently obtained, and if it is too thick, the initial characteristics are reduced and the element life is shortened.

【0031】一方、金属フタロシアニン化合物を含有す
る有機電子輸送層の下層となる有機電子輸送層に用いら
れる有機電子注入輸送性化合物は、金属フタロシアニン
化合物含有有機電子輸送層に用いられるものと同じであ
り、好ましいものも同様で、特にトリス(8−キノリノ
ラト)アルミニウム(Alq3)が好ましく用いられ
る。この層は通常1層のみとすることが好ましいが、多
層構成とすることもできる。この層の厚さは多層構成の
ときは合計厚で5〜30nmであることが好ましい。ま
た、金属フタロシアニン化合物含有有機電子輸送層に対
するこの有機電子輸送層の厚さの比は4/1〜1/4で
あることが好ましい。
On the other hand, the organic electron injecting and transporting compound used in the organic electron transporting layer below the organic electron transporting layer containing the metal phthalocyanine compound is the same as that used in the organic electron transporting layer containing the metal phthalocyanine compound. The same applies to preferable ones, and particularly, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) is preferably used. Usually, this layer is preferably composed of only one layer, but it may have a multilayer structure. This layer preferably has a total thickness of 5 to 30 nm in a multilayer structure. Further, the ratio of the thickness of the organic electron transporting layer to that of the metal phthalocyanine compound-containing organic electron transporting layer is preferably 4/1 to 1/4.

【0032】上記の有機電子輸送層の形成には、真空蒸
着法等を用いることができる。
The organic electron transporting layer can be formed by a vacuum evaporation method or the like.

【0033】本発明の有機EL素子は、上記金属フタロ
シアニン化合物を含有する有機電子輸送層と、電子注入
電極である陰電極との間に、無機電子注入層を有する。
The organic EL device of the present invention has an inorganic electron injecting layer between the organic electron transporting layer containing the above metal phthalocyanine compound and the negative electrode serving as an electron injecting electrode.

【0034】無機電子注入層は、好ましくは第1成分と
して仕事関数4eV以下、より好ましくは1〜4eVであっ
て、好ましくはLi,Na,K,Rb,CsおよびFr
から選択される1種以上のアルカリ金属元素、または、
好ましくはMg,CaおよびSrから選択される1種以
上のアルカリ土類金属元素、または、好ましくはLaお
よびCeから選択される1種以上のランタノイド系元素
のいずれかの酸化物を含有する。これらのなかでも、特
に酸化リチウム、酸化マグネシウム、酸化カルシウム、
酸化セリウムが好ましい。これらを混合して用いる場合
の混合比は任意である。また、これらの混合物中には酸
化リチウムがLi2O換算で、50 mol%以上含有され
ていることが好ましい。
The inorganic electron injecting layer preferably has a work function of 4 eV or less as a first component, more preferably 1 to 4 eV, preferably Li, Na, K, Rb, Cs and Fr.
One or more alkali metal elements selected from, or
It preferably contains an oxide of one or more alkaline earth metal elements selected from Mg, Ca and Sr, or one or more lanthanoid elements preferably selected from La and Ce. Among these, especially lithium oxide, magnesium oxide, calcium oxide,
Cerium oxide is preferred. When these are mixed and used, the mixing ratio is arbitrary. Further, it is preferable that lithium oxide is contained in the mixture in an amount of 50 mol% or more in terms of Li 2 O.

【0035】無機電子注入層は、さらに第2成分として
Zn,Sn,V,Ru,SmおよびInから選択される
1種以上の元素を含有する。この場合の第2成分の含有
量は、好ましくは0.2〜40 mol%、より好ましくは
1〜20 mol%である。この含有量が少ないと電子注入
機能が低下し、含有量が多くなるとホールブロック機能
が低下してくる。2種以上を併用する場合、合計の含有
量は上記の範囲にすることが好ましい。第2成分は金属
元素の状態でも、酸化物の状態であってもよい。
The inorganic electron injection layer further contains, as a second component, at least one element selected from Zn, Sn, V, Ru, Sm and In. In this case, the content of the second component is preferably 0.2 to 40 mol%, more preferably 1 to 20 mol%. When the content is small, the electron injection function is reduced, and when the content is large, the hole blocking function is reduced. When two or more kinds are used in combination, the total content is preferably in the above range. The second component may be in a metal element state or an oxide state.

【0036】高抵抗である第1成分中に導電性(低抵
抗)の第2成分を含有させることにより、絶縁性物質中
に導電物質が島状に存在するようになり、電子注入のた
めのホッピングパスが形成されるものと考えられる。
By including the conductive (low-resistance) second component in the high-resistance first component, the conductive material is present in the insulating material in the form of islands. It is believed that a hopping path is formed.

【0037】上記第1成分の酸化物は通常化学量論組成
(stoichiometric composition)であるが、これから多
少偏倚して非化学量論的組成(non-stoichiometry)と
なっていてもよい。また、第2成分も、通常、酸化物と
して存在するが、この酸化物も同様である。
The oxide of the first component usually has a stoichiometric composition, but may deviate slightly from this to have a non-stoichiometric composition. The second component also usually exists as an oxide, and the same applies to this oxide.

【0038】高抵抗の無機電子注入層には、他に、不純
物として、Hやスパッタガスに用いるNe、Ar、K
r、Xe等を合計5at%以下含有していてもよい。
In the high-resistance inorganic electron injecting layer, H, Ne, Ar, K
r, Xe, etc. may be contained in a total of 5 at% or less.

【0039】なお、高抵抗の無機電子注入層全体の平均
値としてこのような組成であれば、均一でなくてもよ
く、膜厚方向に濃度勾配を有する構造としてもよい。
The average value of the entire high-resistance inorganic electron injection layer is not necessarily uniform as long as it has such a composition, and a structure having a concentration gradient in the film thickness direction may be employed.

【0040】高抵抗の無機電子注入層は、通常、非晶質
状態である。
The high resistance inorganic electron injection layer is usually in an amorphous state.

【0041】高抵抗の無機電子注入層は、その抵抗率が
好ましくは1〜1×1011Ω・cm、特に1×103 〜1
×108 Ω・cmである。高抵抗の無機電子注入層の抵抗
率を上記範囲とすることにより、高いホールブロック性
を維持したまま電子注入効率を飛躍的に向上させること
ができる。高抵抗の無機電子注入層の抵抗率は、シート
抵抗と膜厚からも求めることができる。
The resistivity of the high-resistance inorganic electron-injecting layer is preferably 1 to 1 × 10 11 Ω · cm, particularly 1 × 10 3 to 1 × 10 11 Ω · cm.
× 10 8 Ω · cm. By setting the resistivity of the high-resistance inorganic electron injection layer within the above range, the electron injection efficiency can be dramatically improved while maintaining high hole blocking properties. The resistivity of the high-resistance inorganic electron injection layer can also be determined from the sheet resistance and the film thickness.

【0042】このように、電子の導通パスを有し、ホー
ルをブロックできる無機電子注入層を有機層と電子注入
電極(陰電極)の間に配置することで、発光層へ電子を
効率よく注入することができ、発光効率が向上するとと
もに駆動電圧が低下する。
Thus, by arranging the inorganic electron injection layer having an electron conduction path and capable of blocking holes between the organic layer and the electron injection electrode (negative electrode), electrons can be efficiently injected into the light emitting layer. As a result, the luminous efficiency is improved and the driving voltage is reduced.

【0043】また、好ましくは高抵抗の無機電子注入輸
送層の第2成分を、全成分に対して0.2〜40 mol%
含有させて導電パスを形成することにより、電子注入電
極から発光層側の有機層へ効率よく電子を注入すること
ができる。しかも、有機層から電子注入電極へのホール
の移動を抑制することができ、発光層でのホールと電子
との再結合を効率よく行わせることができる。また、無
機材料の有するメリットと、有機材料の有するメリット
とを併せもった有機EL素子とすることができる。本発
明の有機EL素子は、従来の有機電子注入層のみを有す
る素子と同等かそれ以上の輝度が得られ、しかも、耐熱
性、耐候性が高いので従来のものよりも寿命が長く、リ
ークやダークスポットの発生も少ない。また、比較的高
価な有機物質ばかりではなく、安価で入手しやすく製造
が容易な無機材料も用いることで、製造コストを低減す
ることもできる。
Preferably, the second component of the high-resistance inorganic electron injecting and transporting layer is contained in an amount of 0.2 to 40 mol% based on all components.
By forming a conductive path by containing the compound, electrons can be efficiently injected from the electron injection electrode to the organic layer on the light emitting layer side. In addition, the movement of holes from the organic layer to the electron injection electrode can be suppressed, and the recombination of holes and electrons in the light emitting layer can be performed efficiently. Further, an organic EL device having both the advantages of the inorganic material and the advantages of the organic material can be obtained. The organic EL device of the present invention has a luminance equal to or higher than that of a conventional device having only an organic electron injection layer, and has a higher heat resistance and a higher weather resistance. Less occurrence of dark spots. Further, not only relatively expensive organic substances but also inorganic materials which are inexpensive, easily available and easily manufactured can be used to reduce manufacturing costs.

【0044】高抵抗の無機電子注入層の膜厚としては、
好ましくは0.2〜30nm、特に0.2〜20nm程度が
好ましい。電子注入層がこれより薄くても厚くても、電
子注入層としての機能を十分に発揮できなくなってく
る。
The thickness of the high resistance inorganic electron injection layer is as follows.
Preferably, it is about 0.2 to 30 nm, particularly about 0.2 to 20 nm. If the electron injection layer is thinner or thicker, the function as the electron injection layer cannot be sufficiently exhibited.

【0045】上記の高抵抗の無機電子注入層の製造方法
としては、好ましくはスパッタ法であり、なかでも、上
記第1成分と第2成分のターゲットを別個にスパッタす
る多元スパッタが好ましい。多元スパッタにすること
で、それぞれのターゲットに好適なスパッタ法を用いる
ことができる。また、1元スパッタとする場合には、第
1成分と第2成分の混合ターゲットを用いてもよい。ま
た、蒸着法であってもよい。
The method for producing the high-resistance inorganic electron-injecting layer is preferably a sputtering method. Among them, multi-source sputtering for separately sputtering the first component and the second component targets is preferable. By using multi-source sputtering, a sputtering method suitable for each target can be used. Further, in the case of one-source sputtering, a mixed target of the first component and the second component may be used. Further, an evaporation method may be used.

【0046】高抵抗の無機電子注入層をスパッタ法で形
成する場合、スパッタ時のスパッタガスの圧力は、0.
1〜1Paの範囲が好ましい。スパッタガスは、通常のス
パッタ装置に使用される不活性ガス、例えばAr,N
e,Xe,Kr等が使用できる。また、必要によりN2
を用いてもよい。スパッタ時の雰囲気としては、上記ス
パッタガスに加えO2 を1〜99vol%程度混合して反
応性スパッタを行ってもよい。
When a high-resistance inorganic electron injecting layer is formed by a sputtering method, the pressure of a sputtering gas at the time of sputtering is set to 0.1.
The range of 1 to 1 Pa is preferred. The sputtering gas is an inert gas used in a normal sputtering apparatus, for example, Ar, N
e, Xe, Kr, etc. can be used. Also, if necessary, N 2
May be used. As an atmosphere at the time of sputtering, reactive sputtering may be performed by mixing about 1 to 99 vol% of O 2 in addition to the above-mentioned sputtering gas.

【0047】スパッタ法としてはRF電源を用いた高周
波スパッタ法や、DCスパッタ法等が使用できる。スパ
ッタ装置の電力としては、好ましくはRFスパッタで
0.1〜10W/cm2 の範囲が好ましく、成膜レートは
0.5〜10nm/min 、特に1〜5nm/min の範囲が好
ましい。
As a sputtering method, a high frequency sputtering method using an RF power source, a DC sputtering method, or the like can be used. The power of the sputtering apparatus is preferably in the range of 0.1 to 10 W / cm 2 by RF sputtering, and the film formation rate is preferably in the range of 0.5 to 10 nm / min, particularly 1 to 5 nm / min.

【0048】成膜時の基板温度としては、室温(25
℃)〜150℃程度である。
The substrate temperature during film formation is room temperature (25
C) to about 150C.

【0049】また、無機電子注入層は、陰電極からの電
子の注入を容易にする機能、電子を安定に輸送する機能
およびホールを妨げる機能を有し、発光層に注入される
ホールや電子を増大・閉じこめさせ、再結合領域を最適
化させ、発光効率を改善する機能をもつものであっても
よい。
The inorganic electron injecting layer has a function of facilitating the injection of electrons from the cathode, a function of stably transporting electrons, and a function of hindering holes. It may have a function of increasing / confining, optimizing a recombination region, and improving luminous efficiency.

【0050】このような無機絶縁性電子注入層は、主成
分として酸化リチウム(Li2O)、酸化ルビジウム
(Rb2O)、酸化カリウム(K2O)、酸化ナトリウム
(Na 2O)、酸化セシウム(Cs2O)、酸化ストロン
チウム(SrO)、酸化マグネシウム(MgO)、およ
び酸化カルシウム(CaO)の1種または2種以上を含
有する。これらは単独で用いてもよいし、2種以上を混
合して用いてもよく、2種以上を用いる場合の混合比は
任意である。また、これらのなかでは酸化ストロンチウ
ムが最も好ましく、次いで酸化マグネシウム、酸化カル
シウム、さらに酸化リチウム(Li2O)の順で好まし
く、次いで酸化ルビジウム(Rb2O)、次いで酸化カ
リウム(K2O)、および酸化ナトリウム(Na2O)が
好ましい。これらを混合して用いる場合には、これらの
なかで酸化ストロンチウムが40 mol%以上、または酸
化リチウムと酸化ルビジウムの総計が40 mol%以上、
特に50 mol%以上含有されていることが好ましい。
Such an inorganic insulating electron injection layer mainly comprises
Lithium oxide (LiTwoO), rubidium oxide
(RbTwoO), potassium oxide (KTwoO), sodium oxide
(Na TwoO), cesium oxide (CsTwoO), stron oxide
Titanium (SrO), magnesium oxide (MgO), and
One or more of calcium oxide (CaO)
Have. These may be used alone or as a mixture of two or more.
May be used in combination.
Optional. Among them, strontium oxide
Is most preferred, followed by magnesium oxide and calcium oxide.
Cium and lithium oxide (LiTwoO) preferred
And then rubidium oxide (RbTwoO), followed by oxide
Lium (KTwoO) and sodium oxide (NaTwoO)
preferable. When these are used in combination,
Of which strontium oxide is more than 40 mol% or acid
The total of lithium oxide and rubidium oxide is more than 40 mol%,
In particular, it is preferably contained at 50 mol% or more.

【0051】無機絶縁性電子注入層は、好ましくは安定
剤として酸化シリコン(SiO2)、および/または酸
化ゲルマニウム(GeO2)を含有する。これらはいず
れか一方を用いてもよいし、両者を混合して用いてもよ
く、その際の混合比は任意である。
The inorganic insulating electron injection layer preferably contains silicon oxide (SiO 2 ) and / or germanium oxide (GeO 2 ) as a stabilizer. Either of these may be used, or both may be mixed and used, and the mixing ratio at that time is arbitrary.

【0052】上記の各酸化物は、通常、化学量論的組成
(stoichiometric composition)であるが、これから多
少偏倚し、非化学量論的組成(non-stoichiometry)と
なっていてもよい。
Each of the above oxides usually has a stoichiometric composition, but may deviate slightly from this and have a non-stoichiometric composition.

【0053】また、本発明の無機絶縁性電子注入層は、
好ましくは上記各構成成分が全成分に対して、SrO、
MgO、CaO、Li2O、Rb2O、K2O、Na2O、
Cs 2O、SiO2、GeO2に換算して、 主成分:80〜99 mol%、より好ましくは90〜95
mol%、 安定剤: 1〜20 mol%、より好ましくは 5〜10
mol%、 含有する。
The inorganic insulating electron injection layer of the present invention comprises:
Preferably, each of the above components is SrO,
MgO, CaO, LiTwoO, RbTwoO, KTwoO, NaTwoO,
Cs TwoO, SiOTwo, GeOTwoMain component: 80-99 mol%, more preferably 90-95
 mol%, stabilizer: 1-20 mol%, more preferably 5-10
 mol%, contained.

【0054】無機絶縁性電子注入層の膜厚としては、好
ましくは0.1〜2nm、より好ましくは0.3〜0.8
nmである。
The thickness of the inorganic insulating electron injection layer is preferably 0.1 to 2 nm, more preferably 0.3 to 0.8.
nm.

【0055】なお、このような電子注入層の形成法もス
パッタによればよく、前記と同様である。
The method for forming such an electron injection layer may be sputtering, and is the same as described above.

【0056】発光層は、ホール(正孔)および電子の注
入機能、それらの輸送機能、ホールと電子の再結合によ
り励起子を生成させる機能を有する。発光層には、比較
的電子的にニュートラルな化合物を用いることで、電子
とホールを容易かつバランスよく注入・輸送することが
できる。
The light emitting layer has a function of injecting holes (holes) and electrons, a function of transporting them, and a function of generating excitons by recombination of holes and electrons. By using a relatively electronically neutral compound for the light emitting layer, electrons and holes can be easily injected and transported in a well-balanced manner.

【0057】有機EL素子の発光層には、発光機能を有
する化合物である蛍光性物質を含有させる。このような
蛍光性物質としては、例えば、特開昭63−26469
2号公報に開示されているような化合物、例えばキナク
リドン、ルブレン、スチリル系色素等の化合物から選択
される少なくとも1種が挙げられる。また、トリス(8
−キノリノラト)アルミニウム等の8−キノリノールま
たはその誘導体を配位子とする金属錯体色素などのキノ
リン誘導体、テトラフェニルブタジエン、アントラセ
ン、ペリレン、コロネン、12−フタロペリノン誘導体
等が挙げられる。さらには、特開平8−12600号公
報(特願平6−110569号)に記載のフェニルアン
トラセン誘導体、特開平8−12969号公報(特願平
6−114456号)に記載のテトラアリールエテン誘
導体等を用いることができる。
The light emitting layer of the organic EL device contains a fluorescent substance which is a compound having a light emitting function. Examples of such a fluorescent substance include, for example, JP-A-63-26469.
No. 2 discloses at least one compound selected from compounds such as quinacridone, rubrene, and styryl dyes. Also, Tris (8
Quinolinol derivatives such as metal complex dyes having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, such as (quinolinolato) aluminum; tetraphenylbutadiene, anthracene, perylene, coronene, and 12-phthaloperinone derivatives. Further, phenylanthracene derivatives described in JP-A-8-12600 (Japanese Patent Application No. 6-110569), tetraarylethene derivatives described in JP-A-8-12969 (Japanese Patent Application No. 6-114456), and the like are described. Can be used.

【0058】また、それ自体で発光が可能なホスト物質
とドーパントとを組み合わせて使用することも好まし
い。このような場合の発光層におけるドーパントの含有
量は0.01〜10wt% 、さらには0.1〜5wt% であ
ることが好ましい。ホスト物質とドーパントとを組み合
わせて使用することによって、ホスト物質の発光波長特
性を変化させることができ、長波長に移行した発光が可
能になるとともに、素子の発光効率や安定性が向上す
る。
It is also preferable to use a host material capable of emitting light by itself and a dopant in combination. In such a case, the content of the dopant in the light emitting layer is preferably 0.01 to 10 wt%, more preferably 0.1 to 5 wt%. By using a host material and a dopant in combination, the emission wavelength characteristics of the host material can be changed, light emission shifted to a longer wavelength becomes possible, and the luminous efficiency and stability of the device are improved.

【0059】ホスト物質としては、キノリノラト錯体が
好ましく、さらには8−キノリノールまたはその誘導体
を配位子とするアルミニウム錯体が好ましい。このよう
なアルミニウム錯体の具体例は有機電子注入輸送性化合
物のところのものと同様であり、特に好ましくはトリス
(8−キノリノラト)アルミニウムである。
As the host substance, a quinolinolato complex is preferable, and an aluminum complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand is preferable. Specific examples of such an aluminum complex are the same as those of the organic electron injecting and transporting compound, and particularly preferable is tris (8-quinolinolato) aluminum.

【0060】このほかのホスト物質としては、特開平8
−12600号公報(特願平6−110569号)に記
載のフェニルアントラセン誘導体や特開平8−1296
9号公報(特願平6−114456号)に記載のテトラ
アリールエテン誘導体なども好ましい。
Other host materials are disclosed in
Phenylanthracene derivative described in JP-A-12600 (Japanese Patent Application No. 6-110569) and JP-A-8-1296
No. 9 (Japanese Patent Application No. 6-114456) is also preferable.

【0061】また、発光層は、必要に応じて、少なくと
も1種のホール注入輸送性化合物と少なくとも1種の電
子注入輸送性化合物との混合層とすることも好ましく、
さらにはこの混合層中にドーパントを含有させることが
好ましい。このような混合層における化合物の含有量
は、0.01〜20wt% 、さらには0.1〜15wt% と
することが好ましい。
The light emitting layer is preferably a mixed layer of at least one kind of hole injecting and transporting compound and at least one kind of electron injecting and transporting compound, if necessary.
Further, it is preferable that a dopant is contained in the mixed layer. The content of the compound in such a mixed layer is preferably 0.01 to 20% by weight, more preferably 0.1 to 15% by weight.

【0062】混合層では、キャリアのホッピング伝導パ
スができるため、各キャリアは極性的に有利な物質中を
移動し、逆の極性のキャリア注入は起こりにくくなるた
め、有機化合物がダメージを受けにくくなり、素子寿命
がのびるという利点がある。また、前述のドーパントを
このような混合層に含有させることにより、混合層自体
のもつ発光波長特性を変化させることができ、発光波長
を長波長に移行させることができるとともに、発光強度
を高め、素子の安定性を向上させることもできる。
In the mixed layer, a hopping conduction path of carriers is formed, so that each carrier moves in a material having a favorable polarity, and injection of carriers having the opposite polarity is less likely to occur, so that the organic compound is less likely to be damaged. This has the advantage that the element life is extended. Further, by including the above-described dopant in such a mixed layer, the emission wavelength characteristics of the mixed layer itself can be changed, the emission wavelength can be shifted to a longer wavelength, and the emission intensity is increased, The stability of the device can be improved.

【0063】混合層に用いられるホール注入輸送性の化
合物および電子注入輸送性の化合物は、各々、後述のホ
ール注入輸送性の化合物および電子注入輸送性の化合物
の中から選択すればよい。なかでも、ホール注入輸送性
の化合物としては、強い蛍光を持ったアミン誘導体、例
えばホール輸送材料であるトリフェニルジアミン誘導
体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を持
つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
The compound capable of injecting and transporting holes and the compound capable of injecting and transporting electrons to be used in the mixed layer may be selected from a compound capable of injecting and transporting holes and a compound capable of injecting and transporting electrons, respectively, which will be described later. Among them, as the compound capable of injecting and transporting holes, it is preferable to use an amine derivative having strong fluorescence, for example, a triphenyldiamine derivative which is a hole transporting material, further a styrylamine derivative, or an amine derivative having an aromatic condensed ring. .

【0064】電子注入輸送性の化合物としては、キノリ
ン誘導体、さらには8−キノリノールないしその誘導体
を配位子とする金属錯体、特にトリス(8−キノリノラ
ト)アルミニウム(Alq3 )を用いることが好まし
い。また、上記のフェニルアントラセン誘導体、テトラ
アリールエテン誘導体を用いるのも好ましい。
As the compound capable of injecting and transporting electrons, it is preferable to use a quinoline derivative, furthermore a metal complex having 8-quinolinol or a derivative thereof as a ligand, particularly tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3). It is also preferable to use the above-mentioned phenylanthracene derivatives and tetraarylethene derivatives.

【0065】ホール注入輸送性の化合物としては、強い
蛍光を持ったアミン誘導体、例えば上記のホール注入輸
送性材料であるトリフェニルジアミン誘導体、さらには
スチリルアミン誘導体、芳香族縮合環を持つアミン誘導
体を用いるのが好ましい。
Examples of the hole injecting and transporting compound include amine derivatives having strong fluorescence, such as the above-described hole injecting and transporting material, triphenyldiamine derivative, styrylamine derivative, and amine derivative having an aromatic condensed ring. It is preferably used.

【0066】この場合の混合比は、それぞれのキャリア
移動度とキャリア濃度によるが、一般的には、ホール注
入輸送性の化合物/電子注入輸送性の化合物の重量比
が、1/99〜99/1、さらに好ましくは10/90
〜90/10、特に好ましくは20/80〜80/20
程度となるようにすることが好ましい。
The mixing ratio in this case depends on the respective carrier mobility and carrier concentration. In general, the weight ratio of the compound capable of injecting and transporting holes / the compound capable of injecting and transporting electrons is 1/99 to 99/99. 1, more preferably 10/90
To 90/10, particularly preferably 20/80 to 80/20
It is preferable that the degree is about the same.

【0067】また、混合層の厚さは、分子層一層に相当
する厚み以上で、有機化合物層の膜厚未満とすることが
好ましい。具体的には1〜85nmとすることが好まし
く、さらには5〜60nm、特には5〜50nmとすること
が好ましい。
The thickness of the mixed layer is preferably not less than the thickness corresponding to one molecular layer and less than the thickness of the organic compound layer. Specifically, the thickness is preferably 1 to 85 nm, more preferably 5 to 60 nm, particularly preferably 5 to 50 nm.

【0068】また、混合層の形成方法としては、異なる
蒸着源より蒸発させる共蒸着が好ましいが、蒸気圧(蒸
発温度)が同程度あるいは非常に近い場合には、予め同
じ蒸着ボード内で混合させておき、蒸着することもでき
る。混合層は化合物同士が均一に混合している方が好ま
しいが、場合によっては、化合物が島状に存在するもの
であってもよい。発光層は、一般的には、有機蛍光物質
を蒸着するか、あるいは、樹脂バインダー中に分散させ
てコーティングすることにより、発光層を所定の厚さに
形成する。
As a method of forming the mixed layer, co-evaporation in which evaporation is performed from different evaporation sources is preferable. However, when the vapor pressures (evaporation temperatures) are approximately the same or very close, they are mixed in advance in the same evaporation board. Alternatively, it can be deposited. In the mixed layer, it is preferable that the compounds are uniformly mixed, but in some cases, the compounds may exist in an island shape. The light-emitting layer is generally formed to a predetermined thickness by vapor-depositing an organic fluorescent substance or by dispersing and coating the resin in a resin binder.

【0069】本発明の有機EL素子の有機ホール注入
層、有機ホール輸送層に用いられるホール注入輸送性の
化合物としては、強い蛍光を持ったアミン誘導体、例え
ば上記のホール輸送性化合物であるトリフェニルジアミ
ン誘導体、さらにはスチリルアミン誘導体、芳香族縮合
環を持つアミン誘導体を用いるのが好ましい。
The hole injecting and transporting compound used in the organic hole injecting layer and the organic hole transporting layer of the organic EL device of the present invention includes amine derivatives having strong fluorescence, such as the above-mentioned hole transporting compound such as triphenyl. It is preferable to use a diamine derivative, further a styrylamine derivative, and an amine derivative having an aromatic condensed ring.

【0070】ホール注入輸送性化合物は、例えば、特開
昭63−295695号公報、特開平2−191694
号公報、特開平3−792号公報、特開平5−2346
81号公報、特開平5−239455号公報、特開平5
−299174号公報、特開平7−126225号公
報、特開平7−126226号公報、特開平8−100
172号公報、EP0650955A1等に記載されて
いる各種有機化合物を用いることができる。例えば、テ
トラアリールベンジシン化合物(トリアリールジアミン
ないしトリフェニルジアミン:TPD)、芳香族三級ア
ミン、ヒドラゾン誘導体、カルバゾール誘導体、トリア
ゾール誘導体、イミダゾール誘導体、アミノ基を有する
オキサジアゾール誘導体、ポリチオフェン等である。こ
れらの化合物は、1種のみを用いても、2種以上を併用
してもよい。2種以上を併用するときは、別層にして積
層したり、混合したりすればよい。
The compound capable of injecting and transporting holes is described, for example, in JP-A-63-295695 and JP-A-2-191694.
JP, JP-A-3-792, JP-A-5-2346
No. 81, JP-A-5-239455, JP-A-5
JP-A-299174, JP-A-7-126225, JP-A-7-126226, JP-A-8-100
Various organic compounds described in JP-A-172, EP0650955A1, and the like can be used. For example, a tetraarylbendicine compound (triaryldiamine or triphenyldiamine: TPD), an aromatic tertiary amine, a hydrazone derivative, a carbazole derivative, a triazole derivative, an imidazole derivative, an oxadiazole derivative having an amino group, polythiophene, etc. . These compounds may be used alone or in combination of two or more. When two or more kinds are used in combination, they may be stacked as separate layers or mixed.

【0071】有機のホール輸送層の厚さは、特に制限さ
れるものではなく、形成方法によっても異なるが、通常
5〜500nm程度、特に10〜300nmとすることが好
ましい。ホールの注入層と輸送層とを設ける場合は、注
入層は1nm以上、輸送層は1nm以上とするのが好まし
い。このときの注入層、輸送層の厚さの上限は、通常、
注入層で500nm程度、輸送層で500nm程度である。
The thickness of the organic hole transport layer is not particularly limited and varies depending on the forming method, but it is usually preferably about 5 to 500 nm, particularly preferably 10 to 300 nm. When a hole injection layer and a transport layer are provided, it is preferable that the thickness of the injection layer is 1 nm or more and the thickness of the transport layer is 1 nm or more. The upper limit of the thickness of the injection layer and the transport layer at this time is usually
The thickness is about 500 nm for the injection layer and about 500 nm for the transport layer.

【0072】陰電極(電子注入電極)は、前記の高抵抗
ないし絶縁性の無機電子注入層との組み合わせでは、低
仕事関数で電子注入性を有している必要がないため、特
に限定される必要はなく、通常の金属を用いることがで
きる。なかでも、導電率や扱い易さの点で、Al,A
g,In,Ti,Cu,Au,Mo,W,Pt,Pdお
よびNi、特にAl,Agから選択される1種または2
種等の金属元素が好ましい。
The negative electrode (electron injecting electrode) is particularly limited in combination with the above-mentioned high resistance or insulating inorganic electron injecting layer, since it is not necessary to have a low work function and an electron injecting property. It is not necessary, and ordinary metals can be used. Among them, in terms of conductivity and ease of handling, Al, A
g, In, Ti, Cu, Au, Mo, W, Pt, Pd and Ni, in particular one or two selected from Al and Ag
Metal elements such as seeds are preferred.

【0073】これら陰電極薄膜の厚さは、電子を高抵抗
の無機電子注入輸送層に与えることのできる一定以上の
厚さとすれば良く、50nm以上、好ましくは100nm以
上とすればよい。また、その上限値には特に制限はない
が、通常膜厚は50〜500nm程度とすればよい。
The thickness of the negative electrode thin film may be a certain thickness or more that can provide electrons to the high-resistance inorganic electron injecting and transporting layer, and may be 50 nm or more, preferably 100 nm or more. Although the upper limit is not particularly limited, the film thickness may be generally about 50 to 500 nm.

【0074】また、電子注入電極として必要に応じて下
記のものを用いてもよい。例えば、K、Li、Na、M
g、La、Ce、Ca、Sr、Ba、Sn、Zn、Zr
等の金属元素単体、または安定性を向上させるためにそ
れらを含む2成分、3成分の合金系、例えばAg・Mg
(Ag:0.1〜50at%)、Al・Li(Li:0.
01〜14at%)、In・Mg(Mg:50〜80at
%)、Al・Ca(Ca:0.01〜20at%)等が挙
げられる。
The following may be used as the electron injection electrode, if necessary. For example, K, Li, Na, M
g, La, Ce, Ca, Sr, Ba, Sn, Zn, Zr
Or a two-component or three-component alloy system containing them for improving stability, for example, Ag.Mg.
(Ag: 0.1 to 50 at%), Al.Li (Li: 0.
01 to 14 at%), In.Mg (Mg: 50 to 80 at%)
%), Al.Ca (Ca: 0.01 to 20 at%), and the like.

【0075】電子注入電極薄膜の厚さは、電子注入を十
分行える一定以上の厚さとすれば良く、0.1nm以上、
好ましくは0.5nm以上、特に1nm以上とすればよい。
また、その上限値には特に制限はないが、通常膜厚は1
〜500nm程度とすればよい。電子注入電極の上には、
さらに補助電極(保護電極)を設けてもよい。
The thickness of the electron injecting electrode thin film may be a certain thickness or more capable of sufficiently injecting electrons.
The thickness is preferably 0.5 nm or more, particularly 1 nm or more.
The upper limit is not particularly limited.
It may be about 500 nm. On the electron injection electrode,
Further, an auxiliary electrode (protection electrode) may be provided.

【0076】補助電極の厚さは、電子注入効率を確保
し、水分や酸素あるいは有機溶媒の進入を防止するた
め、一定以上の厚さとすればよく、好ましくは50nm以
上、さらには100nm以上、特に100〜500nmの範
囲が好ましい。補助電極層が薄すぎると、その効果が得
られず、また、補助電極層の段差被覆性が低くなってし
まい、端子電極との接続が十分ではなくなる。一方、補
助電極層が厚すぎると、補助電極層の応力が大きくなる
ため、ダークスポットの成長速度が速くなってしまう等
といった弊害が生じてくる。
The thickness of the auxiliary electrode may be a certain thickness or more, preferably 50 nm or more, more preferably 100 nm or more, in order to secure electron injection efficiency and to prevent entry of moisture, oxygen or an organic solvent. A range from 100 to 500 nm is preferred. If the auxiliary electrode layer is too thin, the effect cannot be obtained, and the step coverage of the auxiliary electrode layer is reduced, and the connection with the terminal electrode is not sufficient. On the other hand, if the auxiliary electrode layer is too thick, the stress of the auxiliary electrode layer increases, which causes adverse effects such as an increase in the growth rate of dark spots.

【0077】補助電極は、組み合わせる電子注入電極の
材質により最適な材質を選択して用いればよい。例え
ば、電子注入効率を確保することを重視するのであれば
Al等の低抵抗の金属を用いればよく、封止性を重視す
る場合には、TiN等の金属化合物を用いてもよい。
As the auxiliary electrode, an optimum material may be selected and used depending on the material of the electron injection electrode to be combined. For example, if importance is placed on ensuring electron injection efficiency, a low-resistance metal such as Al may be used, and if importance is placed on sealing properties, a metal compound such as TiN may be used.

【0078】電子注入電極と補助電極とを併せた全体の
厚さとしては、特に制限はないが、通常50〜500nm
程度とすればよい。
The total thickness of the electron injecting electrode and the auxiliary electrode is not particularly limited, but is usually 50 to 500 nm.
It should be about the degree.

【0079】ホール注入電極材料は、有機ホール注入な
いし輸送層へホールを効率よく注入することのできるも
のが好ましく、仕事関数4.5eV〜5.5eVの物質が好
ましい。具体的には、錫ドープ酸化インジウム(IT
O)、亜鉛ドープ酸化インジウム(IZO)、酸化イン
ジウム(In23 )、酸化スズ(SnO2 )および酸
化亜鉛(ZnO)のいずれかを主組成としたものが好ま
しい。これらの酸化物はその化学量論組成から多少偏倚
していてもよい。In2 3 に対するSnO2 の混合比
は、1〜20wt%、さらには5〜12wt%が好ましい。
また、IZOでのIn2 3 に対するZnOの混合比
は、通常、12〜32wt%程度である。
The hole injecting electrode material is preferably one capable of efficiently injecting holes into the organic hole injecting or transporting layer, and is preferably a substance having a work function of 4.5 eV to 5.5 eV. Specifically, tin-doped indium oxide (IT
O), zinc-doped indium oxide (IZO), indium oxide (In 2 O 3 ), tin oxide (SnO 2 ), and zinc oxide (ZnO) are preferable. These oxides may deviate somewhat from their stoichiometric composition. The mixing ratio of SnO 2 with respect to In 2 O 3 is, 1 to 20 wt%, more preferably 5~12wt%.
The mixing ratio of ZnO to In 2 O 3 in IZO is usually about 12 to 32 wt%.

【0080】ホール注入電極は、仕事関数を調整するた
め、酸化シリコン(SiO2 )を含有していてもよい。
酸化シリコン(SiO2 )の含有量は、ITOに対する
SiO2 の mol比で0.5〜10%程度が好ましい。S
iO2 を含有することにより、ITOの仕事関数が増大
する。
The hole injection electrode may contain silicon oxide (SiO 2 ) in order to adjust the work function.
The content of silicon oxide (SiO 2 ) is preferably about 0.5 to 10% by mol ratio of SiO 2 to ITO. S
The inclusion of iO 2 increases the work function of ITO.

【0081】光を取り出す側の電極は、発光波長帯域、
通常400〜700nm、特に各発光光に対する光透過率
が50%以上、さらには80%以上、特に90%以上で
あることが好ましい。透過率が低くなりすぎると、発光
層からの発光自体が減衰され、発光素子として必要な輝
度を得難くなってくる。
The electrode on the side from which light is extracted has an emission wavelength band,
The light transmittance is usually 400 to 700 nm, particularly preferably 50% or more, more preferably 80% or more, and particularly preferably 90% or more for each emitted light. If the transmittance is too low, the light emission itself from the light emitting layer is attenuated, and it becomes difficult to obtain the luminance required for the light emitting element.

【0082】電極の厚さは、50〜500nm、特に50
〜300nmの範囲が好ましい。また、その上限は特に制
限はないが、あまり厚いと透過率の低下や剥離などの心
配が生じる。厚さが薄すぎると、十分な効果が得られ
ず、製造時の膜強度等の点でも問題がある。
The thickness of the electrode is 50 to 500 nm, especially 50 to 500 nm.
The range of -300 nm is preferred. The upper limit is not particularly limited. However, if the thickness is too large, there is a fear that the transmittance is reduced or the layer is peeled off. If the thickness is too small, a sufficient effect cannot be obtained, and there is a problem in film strength at the time of production and the like.

【0083】電極はスパッタにより形成され、具体的に
は無機電子注入層と同様に行えばよい。
The electrodes are formed by sputtering, and specifically, may be formed in the same manner as the inorganic electron injection layer.

【0084】本発明において、有機層形成の真空蒸着の
条件は特に限定されないが、10-4Pa以下の真空度と
し、蒸着速度は0.01〜1nm/sec 程度とすることが
好ましい。また、真空中で連続して各層を形成すること
が好ましい。真空中で連続して形成すれば、各層の界面
に不純物が吸着することを防げるため、高特性が得られ
る。また、素子の駆動電圧を低くしたり、ダークスポッ
トの発生・成長を抑制したりすることができる。
In the present invention, the conditions of the vacuum deposition for forming the organic layer are not particularly limited, but it is preferable that the degree of vacuum is 10 −4 Pa or less and the deposition rate is about 0.01 to 1 nm / sec. Further, it is preferable to form each layer continuously in a vacuum. If they are formed continuously in a vacuum, impurities can be prevented from adsorbing at the interface between the layers, so that high characteristics can be obtained. Further, the driving voltage of the element can be reduced, and the occurrence and growth of dark spots can be suppressed.

【0085】これら各層の形成に真空蒸着法を用いる場
合において、1層に複数の化合物を含有させる場合、化
合物を入れた各ボートを個別に温度制御して共蒸着する
ことが好ましい。
When a plurality of compounds are contained in one layer when a vacuum evaporation method is used to form each of these layers, it is preferable to co-deposit each boat containing the compounds by individually controlling the temperature.

【0086】さらに、素子の有機層や電極の劣化を防ぐ
ために、素子上を封止板等により封止することが好まし
い。封止板は、湿気の浸入を防ぐために、接着性樹脂層
を用いて、封止板を接着し密封する。封止ガスは、A
r、He、N2 等の不活性ガス等が好ましい。また、こ
の封止ガスの水分含有量は、100ppm 以下、より好ま
しくは10ppm 以下、特には1ppm 以下であることが好
ましい。この水分含有量に下限値は特にないが、通常
0.1ppm 程度である。
Further, in order to prevent deterioration of the organic layer and the electrodes of the element, it is preferable to seal the element with a sealing plate or the like. The sealing plate adheres and seals the sealing plate using an adhesive resin layer in order to prevent moisture from entering. The sealing gas is A
An inert gas such as r, He, N 2 or the like is preferable. Further, the moisture content of the sealing gas is preferably 100 ppm or less, more preferably 10 ppm or less, and particularly preferably 1 ppm or less. Although there is no particular lower limit for the water content, it is usually about 0.1 ppm.

【0087】封止板の材料としては、好ましくは平板状
であって、ガラスや石英、樹脂等の透明ないし半透明材
料が挙げられるが、特にガラスが好ましい。このような
ガラス材として、コストの面からアルカリガラスが好ま
しいが、この他、ソーダ石灰ガラス、鉛アルカリガラ
ス、ホウケイ酸ガラス、アルミノケイ酸ガラス、シリカ
ガラス等のガラス組成のものも好ましい。特に、ソーダ
ガラスで、表面処理の無いガラス材が安価に使用でき、
好ましい。封止板としては、ガラス板以外にも、金属
板、プラスチック板等を用いることもできる。
The material of the sealing plate is preferably a flat plate, and may be a transparent or translucent material such as glass, quartz, resin, etc., and glass is particularly preferred. As such a glass material, an alkali glass is preferable from the viewpoint of cost, and in addition, a glass composition such as soda lime glass, lead alkali glass, borosilicate glass, aluminosilicate glass, and silica glass is also preferable. In particular, soda glass, a glass material without surface treatment can be used at low cost,
preferable. As the sealing plate, other than a glass plate, a metal plate, a plastic plate, or the like can be used.

【0088】封止板は、スペーサーを用いて高さを調整
し、所望の高さに保持してもよい。スペーサーの材料と
しては、樹脂ビーズ、シリカビーズ、ガラスビーズ、ガ
ラスファイバー等が挙げられ、特にガラスビーズ等が好
ましい。スペーサーは、通常、粒径の揃った粒状物であ
るが、その形状は特に限定されるものではなく、スペー
サーとしての機能に支障のないものであれば種々の形状
であってもよい。その大きさとしては、円換算の直径が
1〜20μm 、より好ましくは1〜10μm 、特に2〜
8μm が好ましい。このような直径のものは、粒長10
0μm 以下程度であることが好ましく、その下限は特に
規制されるものではないが、通常直径と同程度以上であ
る。
The sealing plate may be maintained at a desired height by adjusting the height using a spacer. Examples of the material of the spacer include resin beads, silica beads, glass beads, and glass fibers, and glass beads are particularly preferable. The spacer is usually a granular material having a uniform particle size, but the shape is not particularly limited, and may be various shapes as long as it does not hinder the function as the spacer. As the size, the diameter in terms of a circle is 1 to 20 μm, more preferably 1 to 10 μm, and especially 2 to 20 μm.
8 μm is preferred. Those having such a diameter have a grain length of 10
It is preferably about 0 μm or less, and the lower limit is not particularly limited, but is usually about the same as or larger than the diameter.

【0089】なお、封止板に凹部を形成した場合には、
スペーサーは使用しても、使用しなくてもよい。使用す
る場合の好ましい大きさとしては、前記範囲でよいが、
特に2〜8μm の範囲が好ましい。
When a recess is formed in the sealing plate,
Spacers may or may not be used. The preferred size when used is within the above range,
Particularly, the range of 2 to 8 μm is preferable.

【0090】スペーサーは、予め封止用接着剤中に混入
されていても、接着時に混入してもよい。封止用接着剤
中におけるスペーサーの含有量は、好ましくは0.01
〜30wt%、より好ましくは0.1〜5wt%である。
The spacer may be previously mixed in the sealing adhesive or may be mixed at the time of bonding. The content of the spacer in the sealing adhesive is preferably 0.01
-30 wt%, more preferably 0.1-5 wt%.

【0091】接着剤としては、安定した接着強度が保
て、気密性が良好なものであれば特に限定されるもので
はないが、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ
樹脂接着剤を用いることが好ましい。
The adhesive is not particularly limited as long as it can maintain stable adhesive strength and has good airtightness, but it is preferable to use a cationic curing type ultraviolet curing epoxy resin adhesive. .

【0092】本発明において、有機EL構造体を形成す
る基板としては、非晶質基板たとえばガラス、石英な
ど、結晶基板たとえば、Si、GaAs、ZnSe、Z
nS、GaP、InPなどがあげられ、またこれらの結
晶基板に結晶質、非晶質あるいは金属のバッファ層を形
成した基板も用いることができる。また金属基板として
は、Mo、Al、Pt、Ir、Au、Pdなどを用いる
ことができ、好ましくはガラス基板が用いられる。基板
は、光取り出し側となる場合、上記電極と同様な光透過
性を有することが好ましい。
In the present invention, the substrate on which the organic EL structure is formed is an amorphous substrate such as glass or quartz, or a crystalline substrate such as Si, GaAs, ZnSe, or Z.
Examples thereof include nS, GaP, and InP, and a substrate in which a crystalline, amorphous, or metal buffer layer is formed on these crystalline substrates can also be used. As the metal substrate, Mo, Al, Pt, Ir, Au, Pd, or the like can be used, and a glass substrate is preferably used. When the substrate is on the light extraction side, it is preferable that the substrate has the same light transmittance as the above-mentioned electrodes.

【0093】さらに、本発明素子を、平面上に多数並べ
てもよい。平面上に並べられたそれぞれの素子の発光色
を変えて、カラーのディスプレーにすることができる。
Further, a large number of the elements of the present invention may be arranged on a plane. By changing the emission color of each element arranged on a plane, a color display can be obtained.

【0094】基板に色フィルター膜や蛍光性物質を含む
色変換膜、あるいは誘電体反射膜を用いて発光色をコン
トロールしてもよい。
The luminescent color may be controlled by using a color filter film, a color conversion film containing a fluorescent substance, or a dielectric reflection film on the substrate.

【0095】色フィルター膜には、液晶ディスプレイ等
で用いられているカラーフィルターを用いれば良いが、
有機EL素子の発光する光に合わせてカラーフィルター
の特性を調整し、取り出し効率・色純度を最適化すれば
よい。
As the color filter film, a color filter used in a liquid crystal display or the like may be used.
The characteristics of the color filter may be adjusted in accordance with the light emitted from the organic EL element to optimize the extraction efficiency and the color purity.

【0096】また、EL素子材料や蛍光変換層が光吸収
するような短波長の外光をカットできるカラーフィルタ
ーを用いれば、素子の耐光性・表示のコントラストも向
上する。
If a color filter capable of cutting off short-wavelength external light that is absorbed by the EL element material or the fluorescence conversion layer is used, the light resistance of the element and the contrast of display are improved.

【0097】また、誘電体多層膜のような光学薄膜を用
いてカラーフィルターの代わりにしても良い。
An optical thin film such as a dielectric multilayer film may be used instead of the color filter.

【0098】蛍光変換フィルター膜は、EL発光の光を
吸収し、蛍光変換膜中の蛍光体から光を放出させること
で、発光色の色変換を行うものであるが、組成として
は、バインダー、蛍光材料、光吸収材料の三つから形成
される。
The fluorescence conversion filter film absorbs EL light and emits light from the phosphor in the fluorescence conversion film to convert the color of the emitted light. It is formed from a fluorescent material and a light absorbing material.

【0099】蛍光材料は、基本的には蛍光量子収率が高
いものを用いれば良く、EL発光波長域に吸収が強いこ
とが望ましい。実際には、レーザー色素などが適してお
り、ローダミン系化合物・ペリレン系化合物・シアニン
系化合物・フタロシアニン系化合物(サブフタロシアニ
ン等も含む)ナフタロイミド系化合物・縮合環炭化水素
系化合物・縮合複素環系化合物・スチリル系化合物・ク
マリン系化合物等を用いればよい。
As the fluorescent material, basically, a material having a high fluorescence quantum yield may be used, and it is desirable that the fluorescent material has strong absorption in the EL emission wavelength region. In practice, laser dyes and the like are suitable, and rhodamine compounds, perylene compounds, cyanine compounds, phthalocyanine compounds (including subphthalocyanines, etc.) naphthalimide compounds, condensed ring hydrocarbon compounds, condensed heterocyclic compounds A styryl compound, a coumarin compound or the like may be used.

【0100】バインダーは、基本的に蛍光を消光しない
ような材料を選べば良く、フォトリソグラフィー・印刷
等で微細なパターニングが出来るようなものが好まし
い。また、基板上にホール注入電極と接する状態で形成
される場合、ホール注入電極(ITO、IZO)の成膜
時にダメージを受けないような材料が好ましい。
As the binder, a material which basically does not quench the fluorescence may be selected, and a binder which can be finely patterned by photolithography, printing or the like is preferable. In the case where the hole injection electrode is formed on the substrate in contact with the hole injection electrode, a material which is not damaged when the hole injection electrode (ITO, IZO) is formed is preferable.

【0101】光吸収材料は、蛍光材料の光吸収が足りな
い場合に用いるが、必要のない場合は用いなくても良
い。また、光吸収材料は、蛍光性材料の蛍光を消光しな
いような材料を選べば良い。
The light absorbing material is used when the light absorption of the fluorescent material is insufficient, but may be omitted when unnecessary. As the light absorbing material, a material that does not quench the fluorescence of the fluorescent material may be selected.

【0102】本発明の有機EL素子は、通常、直流駆動
型、パルス駆動型のEL素子として用いられるが、交流
駆動とすることもできる。印加電圧は、通常、2〜30
V 程度とされる。
The organic EL device of the present invention is usually used as a DC drive type or pulse drive type EL device, but it can also be driven by AC. The applied voltage is usually 2 to 30
V.

【0103】また、上記発明の素子は、膜厚方向に多段
に重ねてもよい。このような素子構造により、発光色の
色調調整や多色化を行うこともできる。
The devices of the present invention may be stacked in multiple layers in the film thickness direction. With such an element structure, it is also possible to adjust the color tone of the emitted light and to make it multicolored.

【0104】本発明の有機EL素子は、ディスプレイと
しての応用の他、例えばメモり読み出し/書き込み等に
利用される光ピックアップ、光通信の伝送路中における
中継装置、フォトカプラ等、種々の光応用デバイスに用
いることができる。
The organic EL element of the present invention can be applied to various optical applications such as an optical pickup used for memory read / write, a relay device in a transmission line of optical communication, a photocoupler, etc. in addition to a display application. Can be used for devices.

【0105】[0105]

【実施例】以下、本発明の具体的実施例を示し、本発明
をさらに詳細に説明する。 <実施例1>ガラス基板としてコーニング社製商品名7
059基板を中性洗剤を用いてスクラブ洗浄した。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described in more detail by showing specific examples of the present invention. <Example 1> Corning product name 7 as a glass substrate
The 059 substrate was scrub-cleaned using a neutral detergent.

【0106】この基板上にITO酸化物ターゲットを用
いRFマグネトロンスパッタリング法により、基板温度
250℃で、膜厚200nmのITOホール注入電極層を
形成した。
An ITO hole injection electrode layer having a thickness of 200 nm was formed on this substrate at a substrate temperature of 250 ° C. by an RF magnetron sputtering method using an ITO oxide target.

【0107】ITO電極層等が形成された基板の表面を
UV/O3洗浄した後、真空蒸着装置の基板ホルダーに
固定して、槽内を1×10-4Pa以下まで減圧した。
After the surface of the substrate on which the ITO electrode layer and the like had been formed was washed with UV / O 3, it was fixed to a substrate holder of a vacuum evaporation apparatus, and the pressure in the tank was reduced to 1 × 10 −4 Pa or less.

【0108】次いで減圧状態を保ったまま、N,N’−
ジフェニル−N,N’−ビス[N−(4−メチルフェニ
ル)−N−フェニル−(4−アミノフェニル)]−1,
1’−ビフェニル−4,4’−ジアミンを蒸着速度0.
2nm/sec.で50nmの膜厚に蒸着し、ホール注入層とし
た。
Next, N, N'-
Diphenyl-N, N'-bis [N- (4-methylphenyl) -N-phenyl- (4-aminophenyl)]-1,
1′-biphenyl-4,4′-diamine was deposited at a deposition rate of 0.1%.
It was deposited at a thickness of 50 nm at 2 nm / sec. To form a hole injection layer.

【0109】次いで、N,N,N’,N’−テトラキス
(m−ビフェニル)−1,1’−ビフェニル−4,4’
−ジアミン(TPD)を蒸着速度0.2nm/sec.で20n
mの厚さに蒸着し、ホール輸送層とした。
Next, N, N, N ', N'-tetrakis (m-biphenyl) -1,1'-biphenyl-4,4'
-Diamine (TPD) is deposited at a deposition rate of 0.2 nm / sec.
m to form a hole transport layer.

【0110】さらに、減圧を保ったまま、N,N,
N’,N’−テトラキス(m−ビフェニル)−1,1’
−ビフェニル−4,4’−ジアミン(TPD)と、トリ
ス(8−キノリノラト)アルミニウム(Alq3)と、
ルブレンとを、全体の蒸着速度0.2nm/sec.として1
00nmの厚さに蒸着し、発光層とした。TPD:Alq
3=1:1(体積比)の混合物とし、この混合物に対し
てルブレンを10vol%ドープした。
Further, N, N, N
N ', N'-tetrakis (m-biphenyl) -1,1'
-Biphenyl-4,4'-diamine (TPD), tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3),
Rubrene and a total deposition rate of 0.2 nm / sec.
Evaporation was performed to a thickness of 00 nm to form a light emitting layer. TPD: Alq
A mixture of 3 = 1: 1 (volume ratio) was prepared, and rubrene was doped at 10 vol% to this mixture.

【0111】さらに、減圧を保ったままトリス(8−キ
ノリノラト)アルミニウム(Alq3)を蒸着速度0.
2nm/sec.で10nm厚さに蒸着して第一電子輸送層とし
た。
Further, while maintaining the reduced pressure, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) was evaporated at a vapor deposition rate of 0.1.
The first electron transport layer was formed by vapor deposition at 2 nm / sec to a thickness of 10 nm.

【0112】次いで、トリス(8−キノリノラト)アル
ミニウム(Alq3)と、銅フタロシアニン(CuP
c)とを全体の蒸着速度0.2nm/sec.として10nmの
厚さに蒸着して第二電子輸送層とした。Alq3:Cu
Pc=1:1(重量比)の混合層とした。
Next, tris (8-quinolinolato) aluminum (Alq3) and copper phthalocyanine (CuP
c) was deposited to a thickness of 10 nm at an overall deposition rate of 0.2 nm / sec to form a second electron transport layer. Alq3: Cu
A mixed layer of Pc = 1: 1 (weight ratio) was obtained.

【0113】次いで、基板をスパッタ装置に移し、Li
2OにRuO2を30mol%混合したターゲットを用い、
高抵抗の無機電子注入層を1nm(10オングストロー
ム)の膜厚に成膜した。このときのスパッタガスはA
r:30sccmで、室温(25℃)下、成膜レート1nm/
min 、動作圧力:0.2〜2Pa、投入電力:500Wと
した。成膜した無機電子注入層の組成は、ターゲットと
ほぼ同様であった。この層の抵抗率は1×103Ω・cm
であった。
Next, the substrate was transferred to a sputtering apparatus, and Li
Using a target obtained by mixing RuO 2 with 30 mol% in 2 O,
A high-resistance inorganic electron injection layer was formed to a thickness of 1 nm (10 angstroms). The sputtering gas at this time is A
r: 30 sccm, room temperature (25 ° C.), film formation rate 1 nm /
min, operating pressure: 0.2 to 2 Pa, and input power: 500 W. The composition of the formed inorganic electron injection layer was almost the same as that of the target. The resistivity of this layer is 1 × 10 3 Ω · cm
Met.

【0114】次いで、Alを200nmの厚さにスパッタ
して陰電極とし、最後にガラス封止して有機EL素子を
得た。これをサンプルNo.1とする。
Next, Al was sputtered to a thickness of 200 nm to form a negative electrode, and finally glass sealing was performed to obtain an organic EL device. This is designated as Sample No. 1.

【0115】サンプルNo.1において、第二電子輸送層
を設けないものとするほかは同様にしてサンプルNo.2
を得た。また、第二電子輸送層をCuPcのみの層とす
るほかは同様にしてサンプルNo.3を得た。さらに、無
機電子注入層を設けないものとするほかは同様にしてサ
ンプルNo.4を得た。
Sample No. 2 was prepared in the same manner as in Sample No. 1 except that the second electron transport layer was not provided.
I got In addition, Sample No. 3 was obtained in the same manner except that the second electron transport layer was a layer made of only CuPc. Further, Sample No. 4 was obtained in the same manner except that no inorganic electron injection layer was provided.

【0116】これらのサンプルをAr中で、10mA/cm2
の定電流密度で駆動し、初期輝度と駆動電圧を求めた。
また、同様にAr中で100mA/cm2定電流密度で輝度の
半減寿命を求めた。これらの結果を表1に示す。
These samples were placed in Ar at 10 mA / cm 2
, And the initial luminance and the driving voltage were obtained.
Similarly, the half life of luminance was determined at a constant current density of 100 mA / cm 2 in Ar. Table 1 shows the results.

【0117】[0117]

【表1】 [Table 1]

【0118】表1より、本発明の効果は明らかである。
なお、無機電子注入層として、上記のLi2OとRuO2
との組合せのかわりに、Li、Na、K、Rb、Cs、
Fr、Mg、Ca、Sr、LaおよびCeから選択され
る元素の酸化物とZn、Sn、V、Ru、SmおよびI
nから選択される元素との種々の組合せを用いたとこ
ろ、同様の効果が得られた。また、前記の無機絶縁性電
子注入層を用いても同様であった。
From Table 1, the effect of the present invention is clear.
The above-mentioned Li 2 O and RuO 2 were used as the inorganic electron injection layer.
Li, Na, K, Rb, Cs,
Oxides of elements selected from Fr, Mg, Ca, Sr, La and Ce, and Zn, Sn, V, Ru, Sm and I
When various combinations with elements selected from n were used, similar effects were obtained. The same was true even when the above-mentioned inorganic insulating electron injection layer was used.

【0119】[0119]

【発明の効果】本発明によれば、スパッタによるダメー
ジを防止でき、発光効率が改善され、動作電圧が低く、
長寿命の有機EL素子が得られる。
According to the present invention, damage due to sputtering can be prevented, luminous efficiency is improved, operating voltage is low,
A long-life organic EL element is obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の有機EL素子の基本構成を示す概略断
面図である。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a basic configuration of an organic EL device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 2 ホール注入電極 3 有機ホール注入層 4 有機ホール輸送層 5 発光層 6 有機電子輸送層 7 金属フタロシアニン化合物を含有する有機電子輸送
層 8 無機電子注入層 9 電子注入電極
REFERENCE SIGNS LIST 1 substrate 2 hole injection electrode 3 organic hole injection layer 4 organic hole transport layer 5 light emitting layer 6 organic electron transport layer 7 organic electron transport layer containing metal phthalocyanine compound 8 inorganic electron injection layer 9 electron injection electrode

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C07F 5/06 C07F 5/06 E Fターム(参考) 3K007 AB00 AB03 AB04 AB06 BB01 BB06 CA00 CA01 CA02 CA04 CB01 DA00 DB03 EB00 EB05 FA01 FA03 4H048 AA03 AB92 VA56 VA80 VB10──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) C07F 5/06 C07F 5/06 EF term (Reference) 3K007 AB00 AB03 AB04 AB06 BB01 BB06 CA00 CA01 CA02 CA04 CB01 DA00 DB03 EB00 EB05 FA01 FA03 4H048 AA03 AB92 VA56 VA80 VB10

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ホール注入電極と電子注入電極とを有
し、これらの電極間に有機化合物を含有する有機層を有
する有機EL素子において、 前記ホール注入電極上に、有機ホール注入層および/ま
たは有機ホール輸送層と、発光層と、有機電子注入輸送
性化合物を含有する少なくとも2層の有機電子輸送層
と、無機化合物を含有する無機電子注入層とをこの順に
形成し、さらにこの無機電子注入層上に前記電子注入電
極を形成した有機EL素子であって、 前記電子注入電極がスパッタにより形成され、 前記無機電子注入層に接する有機電子輸送層が有機電子
注入輸送性化合物と金属フタロシアニン化合物とを含有
する有機EL素子。
1. An organic EL device having a hole injection electrode and an electron injection electrode, and having an organic layer containing an organic compound between these electrodes, wherein an organic hole injection layer and / or An organic hole transporting layer, a light emitting layer, at least two organic electron transporting layers containing an organic electron injecting and transporting compound, and an inorganic electron injecting layer containing an inorganic compound are formed in this order. An organic EL device in which the electron injecting electrode is formed on a layer, wherein the electron injecting electrode is formed by sputtering, and an organic electron transporting layer in contact with the inorganic electron injecting layer comprises an organic electron injecting and transporting compound and a metal phthalocyanine compound. An organic EL device containing:
【請求項2】 前記電子注入輸送性化合物がトリス(8
−キノリノラト)アルミニウムである請求項1の有機E
L素子。
2. The method according to claim 1, wherein the electron injecting and transporting compound is tris (8
(E) -quinolinolato) aluminum.
L element.
【請求項3】 前記金属フタロシアニン化合物が銅フタ
ロシアニン化合物である請求項1または2の有機EL素
子。
3. The organic EL device according to claim 1, wherein the metal phthalocyanine compound is a copper phthalocyanine compound.
【請求項4】 前記電子注入輸送性化合物と金属フタロ
シアニン化合物とを含有する有機電子輸送層の厚さが5
〜40nmである請求項1〜3のいずれかの有機EL素
子。
4. An organic electron transporting layer containing the electron injecting and transporting compound and the metal phthalocyanine compound has a thickness of 5%.
The organic EL device according to claim 1, wherein the thickness is from 40 to 40 nm.
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