JP2002364990A - 板型ヒートパイプ - Google Patents
板型ヒートパイプInfo
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Abstract
増大する電子機器の半導体チップ等を効率的に冷却する
ことができる板型ヒートパイプを提供する。 【解決手段】熱伝導性部材の薄板からなる上板材、およ
び、その一部に発熱素子が熱的に接続される熱伝導性部
材の薄板からなる下板材によって形成され、密閉減圧さ
れた空洞部を有するコンテナと、発熱素子の位置に対応
するコンテナ内の位置に配置される、拡大された蒸発面
を有する熱伝導性ブロックと、コンテナ内に収容される
作動流体を備えた板型ヒートパイプ。
Description
用いる板型ヒートパイプに関するものである。
らの発熱を効率よく放熱する手段のひとつにヒートパイ
プがある。特に、ヒートパイプの中でも、チップ表面に
対する受熱面の確保と熱の拡散の点から板型ヒートパイ
プが着目されている。
(コンテナ)からなっており、コンテナ内は減圧され真
空状態であり、そこには適量の液体が作動流体として封
入されている。容器外部のある箇所から受熱があったと
きには、受熱があった部分に存在する液体が蒸発して、
そこで蒸発潜熱を吸収する。蒸気は圧力差によって容器
内に充満し、受熱部以外の箇所の容器の内面において凝
縮し、そこで蒸発潜熱を放出する。凝縮した液体は、内
部管壁にあらかじめ具備されたメッシュ、ワイヤーなど
からなるウィックと呼ばれる液体還流機構によって蒸発
部に戻り、再び受熱部で蒸発する。上述した循環を繰り
返し、結果的に、容器全体に熱が拡散する効果がある。
ヒートパイプと熱的に接続される発熱素子としてのチッ
プの面積が小さいと、ヒートパイプ内における、チップ
の面積に対応する蒸発部の面積は小さくなり、熱流束が
大きくなるため、作動流体が存在しないいわゆるドライ
アウトが起こる可能性が高くなる。更に、チップそれ自
体も、その面の全体にわたって均一に発熱するわけでは
なく、局所的にドライアウトが起こる可能性は高くな
る。このような問題点を解決するために、板型ヒートパ
イプのチップと接する位置に対応する内面の位置に金属
製ブロックを配置することが提案されている。
トパイプの断面を示す図である。図5に示すように、板
型ヒートパイプ20は、上板材21および下板材22に
よって形成された密閉されたコンテナを備え、コンテナ
内の発熱素子の位置に対応する位置に金属製ブロック2
3を備えている。金属製ブロックは、4角柱状からなっ
ており、その上面および下面においてコンテナの上板材
および下板材にそれぞれ接合されている。金属製ブロッ
クは、同一の大きさの断面を有している。
トパイプ20においては、先ず、チップが接続されたコ
ンテナの下板材22の材質中を伝わった熱が、コンテナ
の内面に接合された金属製ブロック23によって受熱さ
れて、そこである程度の均熱化された後、図5に斜線で
示す、金属製ブロックの周囲のブロック側面24と、コ
ンテナの内壁の金属ブロックと接している近傍面25、
26とによって形成される部分が、総体として蒸発部の
機能を果たし、結果的にドライアウトが生じない状態に
するように考えられている。
高まり、それに伴って発熱量がさらに増大し、且つ、板
型ヒートパイプの厚みを、周囲の機器の関係から、十分
にとれない場合には、一層、ヒートパイプとして厳しい
作動条件下におかれることになる。例えば、板型ヒート
パイプの内部の厚みが2mm以下などの場合において
は、上述したような金属ブロックをヒートパイプ内に設
けても、ブロックの高さが制限されそれと共にブロック
の側面の大きさが制限されて、従来のように十分な面積
を有する蒸発部を確保することができなくなる。
プの集積度が飛躍的に高まり、それに伴ってチップから
の発熱量が増大すると、従来の板型ヒートパイプでは、
チップが接続される位置に対応するコンテナ内の部分に
おいて、作動流体が存在しないいわゆるドライアウトが
生じて、チップを十分に冷却することができない。その
問題点を解決するために、上板材および下板材によって
形成された密閉されたコンテナを備え、コンテナ内の発
熱素子の位置に対応する位置に金属製ブロックを備えて
いる板型ヒートパイプが提案されているが、チップの集
積度が飛躍的に高まり、それに伴ってチップからの発熱
量が増大し、更に、板型ヒートパイプの厚さが制限され
ると、金属ブロックをヒートパイプ内に設けても、ブロ
ックの高さおよびそれに伴って側面の大きさが制限され
て、十分な面積を有する蒸発部を確保することができな
いおそれがある。
限されても、発熱密度が飛躍的に増大する電子機器の半
導体チップ等を効率的に冷却することができる板型ヒー
トパイプを提供することにある。
解決するために、発明者等は鋭意研究を重ねた。その結
果、板型ヒートパイプの内部に設置される金属製ブロッ
クの底部および上面部における断面積を変化させて、蒸
発部を拡大させることにより、例え、ヒートパイプの厚
さが制限されても、ドライアウトを生じることなく、半
導体チップ等を効率的に冷却することができることを知
見した。
れたものであって、この発明の板型ヒートパイプの第1
の態様は、下記部材を備えた板型ヒートパイプである (1)中央部に窪み部分が形成された金属製の薄板から
なる上板材、および、その一部に発熱素子が熱的に接続
される平板な金属製の薄板からなる下板材によって形成
され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、
(2)前記発熱素子の位置に対応する前記コンテナ内の
位置に配置される、拡大された蒸発面を有する金属製ブ
ロックと、(3)前記コンテナ内に収容される作動流
体。
は、下記部材を備えた板型ヒートパイプである (1)中央部に窪み部分が形成された金属製の薄板から
なる上板材、および、発熱素子が熱的に接続される面と
反対側の面に一体的に形成された、拡大された蒸発面を
有するブロック部を備えた金属製の薄板からなる下板材
によって形成され、密閉減圧された空洞部を有するコン
テナと、(2)前記コンテナ内に収容される作動流体。
は、前記拡大された蒸発面が、前記金属製ブロックまた
は前記ブロック部の受熱部側の断面の面積と、前記受熱
部側と反対側における断面の面積が異なることによって
形成されていることを特徴とする、板型ヒートパイプで
ある。
は、前記拡大された蒸発面が、前記金属製ブロックまた
は前記ブロック部が角錐台状または円錐台状であること
によって形成されていることを特徴とする、板型ヒート
パイプである。
は、前記拡大された蒸発面が、前記金属製ブロックまた
は前記ブロック部が部分球状であることによって形成さ
れていることを特徴とする、板型ヒートパイプである。
は、前記拡大された蒸発面が、前記金属製ブロックまた
は前記ブロック部が焼結金属からなっていることによっ
て形成されていることを特徴とする、板型ヒートパイプ
である。
は、前記コンテナ内に収容されるウイックを更に備えて
いることを特徴とする、板型ヒートパイプである。
様は、前記コンテナ、および、前記金属製ブロックまた
は前記ブロックが銅製であり、前記作動流体が水である
ことを特徴とする、板型ヒートパイプである。
様は、前記金属製ブロックが前記上板材および前記下板
材とろう付けにより接合されていることを特徴とする、
板型ヒートパイプである。この発明の板型ヒートパイプ
のその他の態様は、前記金属製ブロックが前記上板材お
よび前記下板材と機械接合されていることを特徴とす
る、板型ヒートパイプである。
明する。この発明の板型ヒートパイプの1つの態様は、
(1)熱伝導性部材(例えば、中央部に窪み部分が形成
された金属製)の薄板からなる上板材、および、その一
部に発熱素子が熱的に接続される熱伝導性部材(例え
ば、平板な金属製)の薄板からなる下板材によって形成
され、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、
(2)前記発熱素子の位置に対応する前記コンテナ内の
位置に配置される、拡大された蒸発面を有する熱伝導性
(例えば、金属製)ブロックと、(3)前記コンテナ内
に収容される作動流体とを備えた板型ヒートパイプであ
る。
ックの受熱部側の断面の面積と、受熱部側と反対側にお
ける断面の面積が異なることによって形成されている。
更に、上述した拡大された蒸発面が、金属製ブロックが
角錐台状または円錐台状であることによって形成されて
いてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、金属
製ブロックが部分球状であることによって形成されてい
てもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、金属製
ブロックが焼結金属からなっていることによって形成さ
れていてもよい。なお、上述したコンテナ内にウイック
が収容されてもよい。上述したコンテナ、および、金属
製ブロックまたは、後述するブロックが銅製であり、作
動流体が水であることが好ましい。
詳細に説明する。図1は、この発明の板型ヒートパイプ
の1つの態様の断面を示す図である。図1に示すよう
に、板型ヒートパイプ10は、中央部に窪み部分が形成
された金属製の薄板からなる上板材1および平板な金属
製の薄板からなる下板材2によって形成され、密閉減圧
された空洞部9を有するコンテナを備えており、上板材
1と下板材2の間には、角錐台状の金属製ブロックが、
上板材の内壁、下板材の内壁とそれぞれ接合されてい
る。上板材は、例えば、矩形の銅板をプレス加工して、
矩形の外周部に対し中央部が窪んだ形状のものを成形す
る。
壁と接する下端部の断面の面積が、上板材の内壁と接す
る上端部の断面の面積よりも大きい。即ち、金属製ブロ
ックの各側面5は所定の角度で傾斜しているので、側面
5の面積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積
よりも大きくなっている。従って、金属製ブロックの側
面5と、上板材の内壁の金属ブロックと接している近傍
部7と、下板材の内壁の金属ブロックと接している近傍
部6とによって形成される蒸発部が拡大されている。そ
の結果、板型ヒートパイプの厚さが制限されて薄くなっ
ても、金属製ブロックの側面が所定の角度で傾斜してい
るので、拡大された蒸発部によって、発熱素子から伝わ
った熱が金属製ブロックによって均熱され、蒸発部に所
在する作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却
する。
いても、金属製ブロックは、下板材の内壁と接する下端
部の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断面
の面積よりも大きい。即ち、金属製ブロックの側面5
は、下板材から上板材に向かって所定の曲率で緩やかに
弧を画いて延伸しているので、側面5の面積は、従来の
角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなって
いる。従って、金属製ブロックの側面5と、上板材の内
壁の金属ブロックと接している近傍部7と、下板材の内
壁の金属ブロックと接している近傍部6とによって形成
される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒート
パイプの厚さが制限されて薄くなっても、金属製ブロッ
クの側面が所定の曲率で傾斜しているので、拡大された
蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロ
ックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸
発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
の1つの態様の断面を示す図である。図2に示す態様に
おいては、金属ブロックが部分球状からなっている。図
2示すように、金属ブロックが、部分球状である場合に
おいても、金属製ブロックは、下板材の内壁と接する下
端部の断面の面積が、上板材の内壁と接する上端部の断
面の面積よりも大きい。なお、部分球状の上端部は必ず
しも上板材の内壁と接する必要はない。金属製ブロック
の側面8は、下板材から上板材に向かって所定の曲率で
円弧を画いて延伸しているので、側面8の表面積は、従
来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくな
っている。
材の内壁の金属ブロックの近傍部11と、下板材の内壁
の金属ブロックと接している近傍部12とによって形成
される蒸発部が拡大されている。その結果、板型ヒート
パイプの厚さが制限されて薄くなっても、金属製ブロッ
クの側面が所定の曲率で傾斜しているので、拡大された
蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロ
ックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸
発させて、効果的に発熱素子を冷却する。
の1つの態様の断面を示す図である。図3に示す態様に
おいては、金属ブロックが焼結金属からなっている。図
3示すように、金属ブロックが焼結金属からなっている
ことによって、金属ブロックの表面積が相対的に拡大す
る。更に、角錐台状、円錐台状、または、部分球状の焼
結金属からなる金属ブロックを使用すると、材質による
表面積の増加と共に更に、角錐台状、円錐台状、また
は、部分球状において述べたように、金属製ブロック
は、下板材の内壁と接する下端部の断面の面積が、上板
材の内壁と接する上端部の断面の面積よりも大きい。金
属製ブロックの側面8は、下板材から上板材に向かって
所定の角度で傾斜して、または、所定の曲率で円弧を画
いて延伸しているので、側面8の表面積は、従来の角柱
状の金属ブロックの側面の面積よりも大きくなってい
る。
えて、金属製ブロックの側面8と、上板材の内壁の金属
ブロックの近傍部11と、下板材の内壁の金属ブロック
と接している近傍部12とによって形成される蒸発部が
拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの厚さが
制限されて薄くなっても、金属製ブロックの側面が所定
の角度、または、曲率で傾斜しているので、拡大された
蒸発部によって、発熱素子から伝わった熱が金属製ブロ
ックによって均熱され、蒸発部に所在する作動流体を蒸
発させて、効果的に発熱素子を冷却する。焼結金属から
なる金属製ブロックを使用することによって、作動モー
ドによっては他のウイックを用いることなく常に蒸発部
を濡れた状態に維持することができる。
態様は、(1)中央部に窪み部分が形成された金属製の
薄板からなる上板材、および、発熱素子が熱的に接続さ
れる面と反対側の面に一体的に形成された、拡大された
蒸発面を有するブロック部を備えた金属製の薄板からな
る下板材によって形成され、密閉減圧された空洞部を有
するコンテナと、(2)前記コンテナ内に収容される作
動流体を備えた板型ヒートパイプである。
の受熱部側の断面の面積と、受熱部側と反対側における
断面の面積が異なることによって形成されていてもよ
い。更に、上述した拡大された蒸発面が、ブロック部が
角錐台状または円錐台状であることによって形成されて
いてもよい。更に、上述した拡大された蒸発面は、ブロ
ック部が部分球状であることによって形成されていても
よい。更に、上述した拡大された蒸発面は、ブロック部
が焼結金属からなっていることによって形成されていて
もよい。
詳細に説明する。図4は、この発明の板型ヒートパイプ
の他の1つの態様の断面を示す図である。図4に示すよ
うに、板型ヒートパイプ10は、中央部に窪み部分が形
成された金属製の薄板からなる上板材1、および、発熱
素子が熱的に接続される面と反対側の面に一体的に形成
された、拡大された蒸発面を有するブロック部3を備え
た金属製の薄板からなる下板材2によって形成され、密
閉減圧された空洞部を有するコンテナを備えており、上
板材と下板材との間には、下板材と一体的に形成された
部分球状のブロック部が、上板材の内壁と接合されてい
る。
工して、矩形の外周部に対し中央部が窪んだ形状のもの
を成形する。即ち、この態様においては、下板材2に
は、発熱素子が熱的に接続される面と反対側の面に、一
体的に形成されたブロック部が備えられている。ブロッ
ク部は、例えば、下板材を鍛造によって肉を盛り上げて
形成する。下板材とブロック部とが一体的に形成されて
いるので、熱抵抗が小さく、熱伝導性に優れている。上
述したブロック部は、上板材とろう付けにより接合され
ていてもよく、または、機械接合されていてもよい。
的に形成されたブロック部が部分球状からなっている。
図4示すように、ブロック部が、部分球状であるので、
上述した他の態様と同様に、ブロック部は、下板材の内
壁に該当する部分の断面の面積が、上板材の内壁と接す
る上端部の断面の面積よりも大きい。なお、部分球状の
上端部は必ずしも上板材の内壁と接する必要はない。ブ
ロック部の側面8は、下板材から上板材に向かって所定
の曲率で円弧を画いて延伸しているので、側面8の表面
積は、従来の角柱状の金属ブロックの側面の面積よりも
大きくなっている。
内壁の金属ブロックの近傍部11と、下板材の内壁のブ
ロック部に隣接する近傍部12とによって形成される蒸
発部が拡大されている。その結果、板型ヒートパイプの
厚さが制限されて薄くなっても、ブロック部の側面が所
定の曲率で傾斜しているので、拡大された蒸発部によっ
て、発熱素子から伝わった熱が下板材と一体的に形成さ
れているブロック部によって均熱され、蒸発部に所在す
る作動流体を蒸発させて、効果的に発熱素子を冷却す
る。
されたブロック部が、ブロック部が角錐台状または円錐
台状からなっている場合、および、ブロック部が焼結金
属からなっている場合においても、上述した他の態様に
おいて述べたと同様に、拡大された蒸発部を備えてお
り、何れも、発熱素子から伝わった熱が下板材と一体的
に形成されているブロック部によって均熱され、拡大さ
れた蒸発部に所在する作動流体を蒸発させて、効果的に
発熱素子を冷却する。この態様においても、コンテナ内
にウイックが収容されてもよい。上述したコンテナ、お
よび、ブロックが銅製であり、作動流体が水であること
が好ましい。
した不均一な熱は、金属製ブロックまたはブロック部に
よって、ある程度均熱化されて、ヒートパイプに伝わ
る。その際、金属製ブロックまたはブロック部が角錐
台、円錐台、半球状等の形状であると、ヒートパイプの
蒸発部として機能する面が増大して、安定した作動が確
保される。板型ヒートパイプの厚さが制限される場合
に、特に、効果がある。金属製ブロックは、受熱側に関
しては、ろう付け等によってヒートパイプのコンテナと
接合されて、一体化されていることが重要である。な
お、金属製ブロックまたはブロック部の上端部も、ろう
付け等によってコンテナと接合されていることが望まし
い。上述したように、この発明によると、より高い熱負
荷に対しても安定して熱拡散ができる板型ヒートパイプ
を得ることができる。上述した金属製の薄板、金属製ブ
ロックは、金属製に限らず、熱伝導性部材からなってお
ればよい。更に、実施例によってこの発明を詳細に説明
する。
×横60mm×縦60mmの銅板において、外周3mm
幅を残した中央部に、プレス化工によって約2mmの段
差の窪みを形成して上板材1を調製した。更に、厚さ1
mm×横60mm×縦60mmの矩形の銅板によって下
板材2を調製した。このように調製した上板材1および
下板材2を、2mmの間隙の空間が形成されるように組
合わせて、その2つの銅板の間に、底面が10mm×1
0mm、上面が2mm×2mmの矩形であり、高さ2m
mの角錐台状の銅製ブロック3を、中央部に位置するよ
うに挟み込み、2つの銅板および銅製ブロックを銀ろう
により接合して一体化した。銅製ブロックの他に、コン
テナの補強のために複数本の銅柱4を、2枚の銅板の間
に挟み込んで、これらも銀ろうによって接合して一体化
した。図示しない封止部を用いて、真空注液し、ヒート
パイプを調製した。作動流体としては水を用いた。更
に、ヒートパイプ空間内には、積層メッシュを充填して
おいた。このようにして、外形4mm×60mm×60
mmの板型ヒートパイプを作製した。
ると、同一外形形状の4角柱の同一断面積の銅製ブロッ
クをコンテナ内に接合した従来の板型ヒートパイプと比
較して、熱輸送限界が100%増加した。
mm×横40mm×縦40mmの銅板において、外周3
mm幅を残した中央部に、プレス化工によって約1.5
mmの段差の窪みを形成して上板材1を調製した。更
に、厚さ1mm×横40mm×縦40mmの矩形の銅板
に、鍛造加工によって中央部に底面15φ、高さ1.5
mmの部分球状のブロック部(盛り上がり)3を形成し
て、下板材2を調製した。このとき、銅柱4も同時に形
成した。このように調製した上板材1および下板材2
を、1.5mmの間隙の空間が形成されるように組合わ
せて、それらを銀ろうにより接合して一体化した。図示
しない封止部を用いて、真空注液し、ヒートパイプを調
製した。作動流体としては水を用いた。更に、ヒートパ
イプ空間内には、積層メッシュを充填しておいた。この
ようにして、外形3.5mm×40mm×40mmの板
型ヒートパイプを作製した。
ると、同一外形形状の4角柱の同一断面積の銅製ブロッ
クをコンテナ内に接合した従来の板型ヒートパイプと比
較して、熱輸送限界が100%増加した。
×横40mm×縦40mmの銅板において、外周3mm
幅を残した中央部に、プレス化工によって約1.5mm
の段差の窪みを形成して上板材1を調製した。更に、厚
さ1mm×横40mm×縦40mmの矩形の銅板によっ
て下板材2を調製した。更に、下板材2の中央部に底面
15φ、高さ1.5mmの部分球状の焼結金属のブロッ
ク3を接合した。このように調製した上板材1および下
板材2を、1.5mmの間隙の空間が形成されるように
組合わせて、それらを銀ろうにより接合して一体化し
た。図示しない封止部を用いて、真空注液し、ヒートパ
イプを調製した。作動流体としては水を用いた。作動液
の量は、30〜40%であった。ヒートパイプ空間内に
は、ウイックを用いなかった。このようにして、外形
3.5mm×40mm×40mmの板型ヒートパイプを
作製した。
ると、同一外形形状の4角柱の同一断面積の銅製ブロッ
クをコンテナ内に接合した従来の板型ヒートパイプと比
較して、熱輸送限界が70%増加した。
コンテナの厚さが制限されても、発熱密度が飛躍的に増
大する電子機器の半導体チップ等を効率的に冷却するこ
とができる板型ヒートパイプを提供することができる。
態様の断面を示す図である。
つの態様の断面を示す図である。
つの態様の断面を示す図である。
つの態様の断面を示す図である。
ートパイプの断面を示す図である。
Claims (7)
- 【請求項1】下記部材を備えた板型ヒートパイプ (1)熱伝導性部材の薄板からなる上板材、および、そ
の一部に発熱素子が熱的に接続される熱伝導性部材の薄
板からなる下板材によって形成され、密閉減圧された空
洞部を有するコンテナと、(2)前記発熱素子の位置に
対応する前記コンテナ内の位置に配置される、拡大され
た蒸発面を有する熱伝導性ブロックと、(3)前記コン
テナ内に収容される作動流体。 - 【請求項2】下記部材を備えた板型ヒートパイプ (1)熱伝導性部材の薄板からなる上板材、および、発
熱素子が熱的に接続される面と反対側の面に一体的に形
成された、拡大された蒸発面を有するブロック部を備え
た熱伝導性部材の薄板からなる下板材によって形成さ
れ、密閉減圧された空洞部を有するコンテナと、(2)
前記コンテナ内に収容される作動流体。 - 【請求項3】前記拡大された蒸発面が、前記熱伝導性ブ
ロックまたは前記ブロック部の受熱部側の断面の面積
と、前記受熱部側と反対側における断面の面積が異なる
ことによって形成されていることを特徴とする、請求項
1または2に記載の板型ヒートパイプ。 - 【請求項4】前記拡大された蒸発面が、前記熱伝導性ブ
ロックまたは前記ブロック部が角錐台状または円錐台状
であることによって形成されていることを特徴とする、
請求項1または2に記載の板型ヒートパイプ。 - 【請求項5】前記拡大された蒸発面が、前記熱伝導性ブ
ロックまたは前記ブロック部が部分球状であることによ
って形成されていることを特徴とする、請求項1または
2に記載の板型ヒートパイプ。 - 【請求項6】前記拡大された蒸発面が、前記熱伝導性ブ
ロックまたは前記ブロック部が焼結金属からなっている
ことによって形成されていることを特徴とする、請求項
1または2に記載の板型ヒートパイプ。 - 【請求項7】前記コンテナ内に収容されるウイックを更
に備えていることを特徴とする、請求項1から6の何れ
か1項に記載の板型ヒートパイプ。
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---|---|---|---|
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---|---|
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Cited By (6)
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