JP2002364821A - 排ガスの処理方法および処理装置 - Google Patents
排ガスの処理方法および処理装置Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G5/00—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor
- F23G5/08—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor having supplementary heating
- F23G5/14—Incineration of waste; Incinerator constructions; Details, accessories or control therefor having supplementary heating including secondary combustion
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F23—COMBUSTION APPARATUS; COMBUSTION PROCESSES
- F23G—CREMATION FURNACES; CONSUMING WASTE PRODUCTS BY COMBUSTION
- F23G7/00—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals
- F23G7/06—Incinerators or other apparatus for consuming industrial waste, e.g. chemicals of waste gases or noxious gases, e.g. exhaust gases
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/34—Chemical or biological purification of waste gases
- B01D53/46—Removing components of defined structure
- B01D53/68—Halogens or halogen compounds
- B01D53/70—Organic halogen compounds
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
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Abstract
(57)【要約】
【課題】分解に高温を要するＰＦＣを含む排ガスの処理
を、ＣＯを副生することなく、複雑な燃焼制御を行うこ
となく、排ガスの組成変動に影響されることなく行うこ
とができる排ガスの処理方法を提供する。 【解決手段】燃焼炉２における一次燃焼領域に導入され
る燃料ガスと少なくともパーフルオロカーボンを含む排
ガスとを、その一次燃焼領域に導入される支燃性ガスの
存在下に、燃焼炎が還元炎となるように不完全燃焼させ
る。その燃焼炉２における一次燃焼領域よりも燃焼ガス
の流れの下流に位置する二次燃焼領域において、その一
次燃焼領域において生成された燃焼ガスを、その二次燃
焼領域に導入される支燃性ガスの存在下に、その燃焼ガ
スに含まれる一酸化炭素が酸化するように燃焼させる。
その一次燃焼領域における燃焼の空気比を、その一次燃
焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比より
も低くする。
を、ＣＯを副生することなく、複雑な燃焼制御を行うこ
となく、排ガスの組成変動に影響されることなく行うこ
とができる排ガスの処理方法を提供する。 【解決手段】燃焼炉２における一次燃焼領域に導入され
る燃料ガスと少なくともパーフルオロカーボンを含む排
ガスとを、その一次燃焼領域に導入される支燃性ガスの
存在下に、燃焼炎が還元炎となるように不完全燃焼させ
る。その燃焼炉２における一次燃焼領域よりも燃焼ガス
の流れの下流に位置する二次燃焼領域において、その一
次燃焼領域において生成された燃焼ガスを、その二次燃
焼領域に導入される支燃性ガスの存在下に、その燃焼ガ
スに含まれる一酸化炭素が酸化するように燃焼させる。
その一次燃焼領域における燃焼の空気比を、その一次燃
焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比より
も低くする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体製造
のためのＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）工程時
に排出されるパーフルオロカーボン（ＰＦＣ）を含む排
ガスを、無害化のために燃焼処理するのに適した排ガス
の処理方法と処理装置に関する。
のためのＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition ）工程時
に排出されるパーフルオロカーボン（ＰＦＣ）を含む排
ガスを、無害化のために燃焼処理するのに適した排ガス
の処理方法と処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造時のＣＶＤ工程では、シラン
（ＳｉＨ4 ）、ジシラン（Ｓｉ2 Ｈ6 ）、ジクロルシラ
ン（ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ）、ジボラン（Ｂ2 Ｈ6 ）、ホスフ
ィン（ＰＨ3 ）等の金属水素化物や、アンモニア（ＮＨ
3 ）、亜酸化窒素（Ｎ2 Ｏ）、酸素（Ｏ2 ）等の含窒素
または含酸素化合物を含む排ガスが排出される。さら
に、ＣＶＤ工程では反応炉のクリーニングが所定期間毎
に行われる。このクリーニング時はＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6 、
Ｃ3 Ｆ8 、ＣＨＦ3 、ＮＦ3 等のパーフルオロカーボン
をはじめとする含フッ素化合物を含む排ガスが排出され
る。これらＣＶＤ排ガスは有害性があることから無害化
処理して排気されている。その排ガスの処理のために半
導体工場のクリーンルームで半導体生産装置近傍に燃焼
式の排ガス処理装置が設置され、ＣＶＤ工程における複
数の反応炉から一つの排ガス処理装置に送られる排ガス
を、バーナーにより火炎を形成して燃焼させていた。
（ＳｉＨ4 ）、ジシラン（Ｓｉ2 Ｈ6 ）、ジクロルシラ
ン（ＳｉＨ2 Ｃｌ2 ）、ジボラン（Ｂ2 Ｈ6 ）、ホスフ
ィン（ＰＨ3 ）等の金属水素化物や、アンモニア（ＮＨ
3 ）、亜酸化窒素（Ｎ2 Ｏ）、酸素（Ｏ2 ）等の含窒素
または含酸素化合物を含む排ガスが排出される。さら
に、ＣＶＤ工程では反応炉のクリーニングが所定期間毎
に行われる。このクリーニング時はＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6 、
Ｃ3 Ｆ8 、ＣＨＦ3 、ＮＦ3 等のパーフルオロカーボン
をはじめとする含フッ素化合物を含む排ガスが排出され
る。これらＣＶＤ排ガスは有害性があることから無害化
処理して排気されている。その排ガスの処理のために半
導体工場のクリーンルームで半導体生産装置近傍に燃焼
式の排ガス処理装置が設置され、ＣＶＤ工程における複
数の反応炉から一つの排ガス処理装置に送られる排ガス
を、バーナーにより火炎を形成して燃焼させていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】それらの排ガスの中
で、シラン等の金属水素化物は可燃性であり、亜酸化窒
素やＰＦＣ等の含フッ素化合物は支燃性がある。これら
性質の異なる排ガスが不定期で排ガス処理装置に導入さ
れるため、排ガス処理装置において排ガスを完全燃焼さ
せる上では、空気比を例えば１．２以上とするような酸
素過剰条件下で燃焼分解することが望まれる。ところ
が、これとは逆に、熱的、化学的に安定なＰＦＣ、特に
非常に安定なテトラフルオロカーボン（ＣＦ4 ）を分解
するには１３００℃以上、好ましくは１５００℃以上の
高温が必要であることから、効率的に温度を上げるため
に温度低下の原因となる過剰空気の導入を控えることが
望まれる。さらに、高温燃焼条件下で発生するサーマル
ＮＯｘや、含窒素化合物の燃焼により発生するフューエ
ルＮＯｘは酸素過剰条件で生成しやすいことからも過剰
空気の導入を控えることが望まれる。すなわち、高温度
下においてＰＦＣを含む排ガスを燃焼分解し、しかも、
一酸化炭素（ＣＯ）やＮＯｘ等の副生ガスの発生を抑制
できるように、空気比等の燃焼条件を定めて燃焼を制御
するのは困難であった。したがって、本願発明は分解に
高温を要するＰＦＣを含む排ガスの処理を、ＣＯを副生
することなく、複雑な燃焼制御を行うことなく、排ガス
の組成変動に影響されることなく行うことができる排ガ
スの処理方法を提供することを目的とする。
で、シラン等の金属水素化物は可燃性であり、亜酸化窒
素やＰＦＣ等の含フッ素化合物は支燃性がある。これら
性質の異なる排ガスが不定期で排ガス処理装置に導入さ
れるため、排ガス処理装置において排ガスを完全燃焼さ
せる上では、空気比を例えば１．２以上とするような酸
素過剰条件下で燃焼分解することが望まれる。ところ
が、これとは逆に、熱的、化学的に安定なＰＦＣ、特に
非常に安定なテトラフルオロカーボン（ＣＦ4 ）を分解
するには１３００℃以上、好ましくは１５００℃以上の
高温が必要であることから、効率的に温度を上げるため
に温度低下の原因となる過剰空気の導入を控えることが
望まれる。さらに、高温燃焼条件下で発生するサーマル
ＮＯｘや、含窒素化合物の燃焼により発生するフューエ
ルＮＯｘは酸素過剰条件で生成しやすいことからも過剰
空気の導入を控えることが望まれる。すなわち、高温度
下においてＰＦＣを含む排ガスを燃焼分解し、しかも、
一酸化炭素（ＣＯ）やＮＯｘ等の副生ガスの発生を抑制
できるように、空気比等の燃焼条件を定めて燃焼を制御
するのは困難であった。したがって、本願発明は分解に
高温を要するＰＦＣを含む排ガスの処理を、ＣＯを副生
することなく、複雑な燃焼制御を行うことなく、排ガス
の組成変動に影響されることなく行うことができる排ガ
スの処理方法を提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の排ガスの処理方
法は、燃料ガスと支燃性ガスと少なくともパーフルオロ
カーボンを含む排ガスとを燃焼炉における一次燃焼領域
に導入し、その一次燃焼領域において燃料ガスと排ガス
とを支燃性ガスの存在下に燃焼炎が還元炎となるように
不完全燃焼させ、その燃焼炉における一次燃焼領域より
も燃焼ガスの流れの下流に位置する二次燃焼領域に支燃
性ガスを導入し、その二次燃焼領域において、その不完
全燃焼により生成された燃焼ガスを、その支燃性ガスの
存在下に燃焼ガスに含まれる一酸化炭素が酸化するよう
に燃焼させ、その一次燃焼領域における燃焼の空気比
を、その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全
体の空気比よりも低くすることを特徴とする。そのパー
フルオロカーボンとしてテトラフルオロカーボンを含
み、その一次燃焼領域における燃焼温度を１３００℃以
上、より好ましくは１５００℃とするのが好ましい。な
お、その燃焼温度の上限は燃焼炉の耐火性能の上からは
１７００℃とするのが好ましい。その一次燃焼領域へ窒
素化合物を含む排ガスを導入するのが好ましい。その一
次燃焼領域における燃焼炎の全体を還元炎とするのが好
ましい。その二次燃焼領域における燃焼を完全燃焼とす
ることで、その一次燃焼領域における不完全燃焼により
生成される一酸化炭素を酸化するのが好ましい。その二
次燃焼領域において燃焼ガスを冷却するのが好ましい。
その一次燃焼領域における燃焼の空気比を０．８〜１．
０５とするのが好ましい。
法は、燃料ガスと支燃性ガスと少なくともパーフルオロ
カーボンを含む排ガスとを燃焼炉における一次燃焼領域
に導入し、その一次燃焼領域において燃料ガスと排ガス
とを支燃性ガスの存在下に燃焼炎が還元炎となるように
不完全燃焼させ、その燃焼炉における一次燃焼領域より
も燃焼ガスの流れの下流に位置する二次燃焼領域に支燃
性ガスを導入し、その二次燃焼領域において、その不完
全燃焼により生成された燃焼ガスを、その支燃性ガスの
存在下に燃焼ガスに含まれる一酸化炭素が酸化するよう
に燃焼させ、その一次燃焼領域における燃焼の空気比
を、その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全
体の空気比よりも低くすることを特徴とする。そのパー
フルオロカーボンとしてテトラフルオロカーボンを含
み、その一次燃焼領域における燃焼温度を１３００℃以
上、より好ましくは１５００℃とするのが好ましい。な
お、その燃焼温度の上限は燃焼炉の耐火性能の上からは
１７００℃とするのが好ましい。その一次燃焼領域へ窒
素化合物を含む排ガスを導入するのが好ましい。その一
次燃焼領域における燃焼炎の全体を還元炎とするのが好
ましい。その二次燃焼領域における燃焼を完全燃焼とす
ることで、その一次燃焼領域における不完全燃焼により
生成される一酸化炭素を酸化するのが好ましい。その二
次燃焼領域において燃焼ガスを冷却するのが好ましい。
その一次燃焼領域における燃焼の空気比を０．８〜１．
０５とするのが好ましい。
【０００５】本発明方法によれば、その一次燃焼領域で
排ガスに含まれるＰＦＣの分解を促進できる。これは、
一次燃焼領域で排ガスと燃料ガスとを支燃性ガスの存在
下において不完全燃焼させるので、その燃焼により形成
される火炎は、完全燃焼させる場合に比べて還元炎部分
が大きくなり、あるいは火炎全体が還元炎となることに
よる。すなわち、ＰＦＣの分解は燃焼温度の影響が大き
いが、同じ燃焼温度であれば酸素不足の還元炎の方が分
解しやすいことを見い出したことによる。例えばＰＦＣ
の中でも安定しているＣＦ4 の分解素反応における律速
反応は一段目のＣとＦの結合を切る反応であり、この律
速反応に高温下における水素ラジカルの様な還元性の活
性種が寄与するためであると考えられる。すなわち、Ｃ
Ｆ4 の分解における律速反応は以下の式により表され
る。なお、・はラジカルであることを示す。 ＣＦ4 ＋Ｈ・→ＣＦ3 ・＋ＨＦ 立体的に対称で安定なＣＦ4 は、水素ラジカルによりフ
ッ素原子が引抜かれることによりＣＦ3 ・の如く不安定
な分子となり、後は容易に分解反応が進む。これによ
り、例えば燃料ガスとしてプロパンガスを用いると、以
下のプロパン炎での総括分解反応式に示すように、ＣＦ
4 はＣＯ2 とＨＦとＨ2 Ｏとに分解される。ＣＦ4 ＋Ｃ
3 Ｈ8 ＋５Ｏ2 →４ＣＯ2 ＋４ＨＦ＋２Ｈ2 Ｏよって、
一次燃焼領域で形成される火炎の還元炎領域が大きくな
り、あるいは火炎全体が還元炎となることにより、排ガ
スの還元炎下での滞留時間が長くなり、ＣＦ4 の分解に
充分な還元炎との接触時間が得られる。その火炎全体を
還元炎とすることで、例えば約０．４秒の還元炎下での
滞留時間を確保してＣＦ4 の分解率を向上できる。ま
た、排ガスと燃料ガスとを空気等の酸素を含む支燃性ガ
スの存在下に燃焼させるに際して、一次燃焼領域におけ
る燃焼の空気比（実際燃焼酸素量／理論燃焼酸素量）
を、その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全
体の空気比よりも低くするので、一次燃焼領域における
燃焼温度を二次燃焼領域における燃焼温度よりも高くす
ることができる。これにより、一次燃焼領域において安
定なＰＦＣ等を含む排ガスを分解するのに必要な高温を
得ることができる。しかも、一次燃焼領域においては二
次燃焼領域におけるよりも酸素が少なくなるので、ＣＦ
4 を燃焼分解させる１３００℃以上の高温下であっても
サーマルＮＯｘの生成を抑制することができる。さら
に、ＮＨ3 やＮ2 Ｏ等の含窒素化合物が排ガスとして導
入される場合でも窒素ガスに還元分解されやすく、ＮＯ
ｘへの転化割合が低くなり、フューエルＮＯｘの生成を
抑制できる。一方、一次燃焼領域における燃焼の空気比
を低くして不完全燃焼とすることで、一次燃焼領域にお
いてＣＯが副生されやすくなる。本発明によれば、二次
燃焼領域において支燃性ガスを導入することで、その一
次燃焼領域で生成された燃焼ガスに含まれるＣＯの酸化
を行う。その二次燃焼領域における燃焼を完全燃焼とす
ることで、その一次燃焼領域における不完全燃焼により
生成されるＣＯを全て酸化することができる。そのＣＯ
の酸化は９００℃以上で容易に行えるため、二次燃焼領
域において支燃性ガスを導入することで温度が低下して
も問題はない。さらに、その二次燃焼領域において燃焼
ガスを冷却することで、燃焼炉から排出される燃焼ガス
の冷却部の材質や冷却方法の選択に余裕が出てくる。さ
らに、燃焼炉に導入される排ガスを一次燃焼領域におい
て完全燃焼させる必要がないので燃焼炉内の空気比のマ
ージンが大きくなり、二次燃焼領域で導入される支燃性
ガスで空気比を調整可能であるため、燃焼排ガス中のＣ
ＯやＮＯｘを低く抑えることができる。
排ガスに含まれるＰＦＣの分解を促進できる。これは、
一次燃焼領域で排ガスと燃料ガスとを支燃性ガスの存在
下において不完全燃焼させるので、その燃焼により形成
される火炎は、完全燃焼させる場合に比べて還元炎部分
が大きくなり、あるいは火炎全体が還元炎となることに
よる。すなわち、ＰＦＣの分解は燃焼温度の影響が大き
いが、同じ燃焼温度であれば酸素不足の還元炎の方が分
解しやすいことを見い出したことによる。例えばＰＦＣ
の中でも安定しているＣＦ4 の分解素反応における律速
反応は一段目のＣとＦの結合を切る反応であり、この律
速反応に高温下における水素ラジカルの様な還元性の活
性種が寄与するためであると考えられる。すなわち、Ｃ
Ｆ4 の分解における律速反応は以下の式により表され
る。なお、・はラジカルであることを示す。 ＣＦ4 ＋Ｈ・→ＣＦ3 ・＋ＨＦ 立体的に対称で安定なＣＦ4 は、水素ラジカルによりフ
ッ素原子が引抜かれることによりＣＦ3 ・の如く不安定
な分子となり、後は容易に分解反応が進む。これによ
り、例えば燃料ガスとしてプロパンガスを用いると、以
下のプロパン炎での総括分解反応式に示すように、ＣＦ
4 はＣＯ2 とＨＦとＨ2 Ｏとに分解される。ＣＦ4 ＋Ｃ
3 Ｈ8 ＋５Ｏ2 →４ＣＯ2 ＋４ＨＦ＋２Ｈ2 Ｏよって、
一次燃焼領域で形成される火炎の還元炎領域が大きくな
り、あるいは火炎全体が還元炎となることにより、排ガ
スの還元炎下での滞留時間が長くなり、ＣＦ4 の分解に
充分な還元炎との接触時間が得られる。その火炎全体を
還元炎とすることで、例えば約０．４秒の還元炎下での
滞留時間を確保してＣＦ4 の分解率を向上できる。ま
た、排ガスと燃料ガスとを空気等の酸素を含む支燃性ガ
スの存在下に燃焼させるに際して、一次燃焼領域におけ
る燃焼の空気比（実際燃焼酸素量／理論燃焼酸素量）
を、その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全
体の空気比よりも低くするので、一次燃焼領域における
燃焼温度を二次燃焼領域における燃焼温度よりも高くす
ることができる。これにより、一次燃焼領域において安
定なＰＦＣ等を含む排ガスを分解するのに必要な高温を
得ることができる。しかも、一次燃焼領域においては二
次燃焼領域におけるよりも酸素が少なくなるので、ＣＦ
4 を燃焼分解させる１３００℃以上の高温下であっても
サーマルＮＯｘの生成を抑制することができる。さら
に、ＮＨ3 やＮ2 Ｏ等の含窒素化合物が排ガスとして導
入される場合でも窒素ガスに還元分解されやすく、ＮＯ
ｘへの転化割合が低くなり、フューエルＮＯｘの生成を
抑制できる。一方、一次燃焼領域における燃焼の空気比
を低くして不完全燃焼とすることで、一次燃焼領域にお
いてＣＯが副生されやすくなる。本発明によれば、二次
燃焼領域において支燃性ガスを導入することで、その一
次燃焼領域で生成された燃焼ガスに含まれるＣＯの酸化
を行う。その二次燃焼領域における燃焼を完全燃焼とす
ることで、その一次燃焼領域における不完全燃焼により
生成されるＣＯを全て酸化することができる。そのＣＯ
の酸化は９００℃以上で容易に行えるため、二次燃焼領
域において支燃性ガスを導入することで温度が低下して
も問題はない。さらに、その二次燃焼領域において燃焼
ガスを冷却することで、燃焼炉から排出される燃焼ガス
の冷却部の材質や冷却方法の選択に余裕が出てくる。さ
らに、燃焼炉に導入される排ガスを一次燃焼領域におい
て完全燃焼させる必要がないので燃焼炉内の空気比のマ
ージンが大きくなり、二次燃焼領域で導入される支燃性
ガスで空気比を調整可能であるため、燃焼排ガス中のＣ
ＯやＮＯｘを低く抑えることができる。
【０００６】本発明の排ガスの処理装置は、燃焼炉と、
その燃焼炉における一次燃焼領域への排ガス導入用配管
と、その一次燃焼領域への燃料ガス導入用配管と、その
一次燃焼領域への支燃性ガス導入用配管と、その燃焼炉
における一次燃焼領域よりも燃焼ガスの流れの下流に位
置する二次燃焼領域への支燃性ガス導入用配管とを備
え、各燃焼領域へのガス導入量は調節可能とされ、その
一次燃焼領域に導入される排ガスと燃料ガスとが、その
一次燃焼領域に導入される支燃性ガスの存在下に一次燃
焼領域で燃焼されることで燃焼ガスが生成され、その燃
焼ガスが二次燃焼領域に導入される支燃性ガスの存在下
に二次燃焼領域で燃焼され、その一次燃焼領域における
燃焼の空気比は、その燃焼炎が還元炎となるように設定
されることを特徴とする。その二次燃焼領域における燃
焼ガスの冷却手段が設けられているのが好ましい。本発
明装置によれば本発明方法を実施することができる。
その燃焼炉における一次燃焼領域への排ガス導入用配管
と、その一次燃焼領域への燃料ガス導入用配管と、その
一次燃焼領域への支燃性ガス導入用配管と、その燃焼炉
における一次燃焼領域よりも燃焼ガスの流れの下流に位
置する二次燃焼領域への支燃性ガス導入用配管とを備
え、各燃焼領域へのガス導入量は調節可能とされ、その
一次燃焼領域に導入される排ガスと燃料ガスとが、その
一次燃焼領域に導入される支燃性ガスの存在下に一次燃
焼領域で燃焼されることで燃焼ガスが生成され、その燃
焼ガスが二次燃焼領域に導入される支燃性ガスの存在下
に二次燃焼領域で燃焼され、その一次燃焼領域における
燃焼の空気比は、その燃焼炎が還元炎となるように設定
されることを特徴とする。その二次燃焼領域における燃
焼ガスの冷却手段が設けられているのが好ましい。本発
明装置によれば本発明方法を実施することができる。
【０００７】
【発明の実施の形態】図１に示す排ガスの処理装置１は
燃焼炉２を備え、少なくともＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6、Ｃ3 Ｆ8
のようなパーフルオロカーボンを含む排ガスを処理す
るために用いられ、さらに、例えばＳｉＨ4 、Ｓｉ2 Ｈ
6 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、Ｂ2 Ｈ6 、ＰＨ3等の金属水素化
物、ＮＨ3 、Ｎ2 Ｏ、Ｏ2 等の含窒素または含酸素化合
物、ＣＨＦ3 、ＮＦ3 等の含フッ素化合物を含む排ガス
を処理するために用いることもできる。その燃焼炉２
は、箱形の本体２ａと、その本体２ａの上面一端側から
上方に突出する導入筒２ｂと、その本体２ａの上面他端
側から上方に突出する排出筒２ｃと、その導入筒２ｂの
上部に設けられたパイロットバーナ２ｄとを有する。そ
の本体２ａは、ステンレス鋼製の外壁２ａ′の内面に耐
熱材としてアルミナ系キャスタブル２′が施工された構
造とされている。その導入筒２ｂは、円筒形のステンレ
ス製外壁２ｂ′の内面に耐熱材としてアルミナ系キャス
タブル２′が施工された構造とされている。その排出筒
２ｃは、円筒形のステンレス製外壁２ｃ′により円筒形
のステンレス製内壁２ｃ″を囲むことで２重管状の冷却
ジャケット２ｅを構成し、その内壁２ｃ″の内面に耐熱
材としてアルミナ系キャスタブル２′が施工された構造
とされている。
燃焼炉２を備え、少なくともＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6、Ｃ3 Ｆ8
のようなパーフルオロカーボンを含む排ガスを処理す
るために用いられ、さらに、例えばＳｉＨ4 、Ｓｉ2 Ｈ
6 、ＳｉＨ2 Ｃｌ2 、Ｂ2 Ｈ6 、ＰＨ3等の金属水素化
物、ＮＨ3 、Ｎ2 Ｏ、Ｏ2 等の含窒素または含酸素化合
物、ＣＨＦ3 、ＮＦ3 等の含フッ素化合物を含む排ガス
を処理するために用いることもできる。その燃焼炉２
は、箱形の本体２ａと、その本体２ａの上面一端側から
上方に突出する導入筒２ｂと、その本体２ａの上面他端
側から上方に突出する排出筒２ｃと、その導入筒２ｂの
上部に設けられたパイロットバーナ２ｄとを有する。そ
の本体２ａは、ステンレス鋼製の外壁２ａ′の内面に耐
熱材としてアルミナ系キャスタブル２′が施工された構
造とされている。その導入筒２ｂは、円筒形のステンレ
ス製外壁２ｂ′の内面に耐熱材としてアルミナ系キャス
タブル２′が施工された構造とされている。その排出筒
２ｃは、円筒形のステンレス製外壁２ｃ′により円筒形
のステンレス製内壁２ｃ″を囲むことで２重管状の冷却
ジャケット２ｅを構成し、その内壁２ｃ″の内面に耐熱
材としてアルミナ系キャスタブル２′が施工された構造
とされている。
【０００８】その燃焼炉２の内部における導入筒２ｂと
本体２ａとの境界領域近傍が一次燃焼領域とされてい
る。その一次燃焼領域へ、燃料ガス源Ｆから燃料ガスを
導入する燃料ガス導入用配管３と、複数のＣＶＤ反応炉
Ｒ１、Ｒ２から排出される排ガスを導入する排ガス導入
用配管４と、支燃性ガス源Ａから支燃性ガスを導入する
支燃性ガス導入用配管５とが設けられている。各ＣＶＤ
反応炉Ｒ１、Ｒ２から排出される排ガスは互いに接触す
ることなく排ガス導入用配管４により一次燃焼領域内に
導入可能とされている。その支燃性ガスの一部と燃料ガ
スの一部とはパイロットバーナ２ｄを介して一次燃焼領
域に導入され、そのパイロットバーナ２ｄにより燃料ガ
スに着火されることで、一次燃焼領域において火炎が形
成される。その支燃性ガスの残部は導入筒２ｂの周壁か
ら一次燃焼領域に導入される。その燃料ガスの残部と排
ガスとは、一次燃焼領域に導入される前に予め混合され
る。
本体２ａとの境界領域近傍が一次燃焼領域とされてい
る。その一次燃焼領域へ、燃料ガス源Ｆから燃料ガスを
導入する燃料ガス導入用配管３と、複数のＣＶＤ反応炉
Ｒ１、Ｒ２から排出される排ガスを導入する排ガス導入
用配管４と、支燃性ガス源Ａから支燃性ガスを導入する
支燃性ガス導入用配管５とが設けられている。各ＣＶＤ
反応炉Ｒ１、Ｒ２から排出される排ガスは互いに接触す
ることなく排ガス導入用配管４により一次燃焼領域内に
導入可能とされている。その支燃性ガスの一部と燃料ガ
スの一部とはパイロットバーナ２ｄを介して一次燃焼領
域に導入され、そのパイロットバーナ２ｄにより燃料ガ
スに着火されることで、一次燃焼領域において火炎が形
成される。その支燃性ガスの残部は導入筒２ｂの周壁か
ら一次燃焼領域に導入される。その燃料ガスの残部と排
ガスとは、一次燃焼領域に導入される前に予め混合され
る。
【０００９】その排出筒２ｃの内部は、本体２ａを介し
て一次燃焼領域に通じることで、その一次燃焼領域より
も燃焼ガスの流れの下流に位置する二次燃焼領域とされ
ている。その二次燃焼領域へ、支燃性ガスを導入する支
燃性ガス導入用配管６が設けられている。その排出筒２
ｃ内の二次燃焼領域を囲む上記冷却ジャケット２ｅに、
冷却水供給配管７と冷却水排出配管８とが接続されてい
る。これにより、その二次燃焼領域において燃焼ガスを
冷却する。その燃料ガスとして、例えば液化石油ガス
（ＬＰＧ）、液化天然ガス（ＬＮＧ）、水素ガス或いは
これらの混合ガス等を用いることができる。また、その
支燃性ガスとして、例えば空気や、空気に必要に応じて
酸素を添加した酸素富化空気等を用いることができる。
その一次燃焼領域への排ガス、燃料ガス、支燃性ガスの
導入量、二次燃焼領域への支燃製ガスの導入量は図外バ
ルブの操作により調節可能とされている。その排出筒２
ｃの上部に燃焼ガスの排気ダクト９が接続され、その排
気ダクト９を介して燃焼ガスは図外後処理装置に送ら
れ、冷却、洗浄、固形物除去、希釈等の後処理が行われ
た後に排気される。
て一次燃焼領域に通じることで、その一次燃焼領域より
も燃焼ガスの流れの下流に位置する二次燃焼領域とされ
ている。その二次燃焼領域へ、支燃性ガスを導入する支
燃性ガス導入用配管６が設けられている。その排出筒２
ｃ内の二次燃焼領域を囲む上記冷却ジャケット２ｅに、
冷却水供給配管７と冷却水排出配管８とが接続されてい
る。これにより、その二次燃焼領域において燃焼ガスを
冷却する。その燃料ガスとして、例えば液化石油ガス
（ＬＰＧ）、液化天然ガス（ＬＮＧ）、水素ガス或いは
これらの混合ガス等を用いることができる。また、その
支燃性ガスとして、例えば空気や、空気に必要に応じて
酸素を添加した酸素富化空気等を用いることができる。
その一次燃焼領域への排ガス、燃料ガス、支燃性ガスの
導入量、二次燃焼領域への支燃製ガスの導入量は図外バ
ルブの操作により調節可能とされている。その排出筒２
ｃの上部に燃焼ガスの排気ダクト９が接続され、その排
気ダクト９を介して燃焼ガスは図外後処理装置に送ら
れ、冷却、洗浄、固形物除去、希釈等の後処理が行われ
た後に排気される。
【００１０】上記処理装置１により、燃焼炉２の一次燃
焼領域において排ガスと燃料ガスとが支燃性ガスの存在
下に、燃焼炎が還元炎となるように不完全燃焼させら
れ、ＣＯを含む燃焼ガスが生成される。その一次燃焼領
域における排ガスの燃焼は本体２ａ内で継続され、その
燃焼により生じた燃焼ガスは排出筒２ｃ内の二次燃焼領
域に至る。その二次燃焼領域において、その二次燃焼領
域に導入される支燃性ガスの存在下に、その燃焼ガスに
含まれるＣＯが酸化するように燃焼させられる。この
際、その一次燃焼領域および本体２ａにおける燃焼温度
は、排ガスとしてＣＦ 4 を燃焼させる時は１３００℃以
上、好ましくは１４００℃以上、さらに好ましくは１５
００℃以上とされ、その二次燃焼領域における燃焼温度
は９００℃以上とするのが好ましい。その一次燃焼領域
における燃焼の空気比は、その一次燃焼領域と二次燃焼
領域とにおける燃焼全体の空気比よりも低くされる。そ
の一次燃焼領域における燃焼の空気比は０．８〜１．０
５とするのが好ましい。本実施形態では、一次燃焼領域
においてパイロットバーナ２ｄによって燃料ガスを燃焼
させることにより形成される火炎の全体が還元炎となる
ように燃焼条件が定められる。その空気比が０．８未満
になると煤が発生し、また、温度を十分に上昇させるの
が困難になり、１．０５を超えるとＰＦＣの分解率が低
下し、またＮＯｘの生成を十分に抑制できなくなること
による。また、本実施形態においては、その二次燃焼領
域における燃焼を完全燃焼とすることで、その一次燃焼
領域における不完全燃焼により生成されるＣＯを酸化す
る。その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全
体の空気比は１．１以上とするのが好ましく、１．１〜
１．５とするのがより好ましい。その空気比が１．１未
満になるとＣＯを完全燃焼させるのが困難になり、ま
た、１．５を超えると必要以上に支燃性ガスを導入する
必要があることによる。
焼領域において排ガスと燃料ガスとが支燃性ガスの存在
下に、燃焼炎が還元炎となるように不完全燃焼させら
れ、ＣＯを含む燃焼ガスが生成される。その一次燃焼領
域における排ガスの燃焼は本体２ａ内で継続され、その
燃焼により生じた燃焼ガスは排出筒２ｃ内の二次燃焼領
域に至る。その二次燃焼領域において、その二次燃焼領
域に導入される支燃性ガスの存在下に、その燃焼ガスに
含まれるＣＯが酸化するように燃焼させられる。この
際、その一次燃焼領域および本体２ａにおける燃焼温度
は、排ガスとしてＣＦ 4 を燃焼させる時は１３００℃以
上、好ましくは１４００℃以上、さらに好ましくは１５
００℃以上とされ、その二次燃焼領域における燃焼温度
は９００℃以上とするのが好ましい。その一次燃焼領域
における燃焼の空気比は、その一次燃焼領域と二次燃焼
領域とにおける燃焼全体の空気比よりも低くされる。そ
の一次燃焼領域における燃焼の空気比は０．８〜１．０
５とするのが好ましい。本実施形態では、一次燃焼領域
においてパイロットバーナ２ｄによって燃料ガスを燃焼
させることにより形成される火炎の全体が還元炎となる
ように燃焼条件が定められる。その空気比が０．８未満
になると煤が発生し、また、温度を十分に上昇させるの
が困難になり、１．０５を超えるとＰＦＣの分解率が低
下し、またＮＯｘの生成を十分に抑制できなくなること
による。また、本実施形態においては、その二次燃焼領
域における燃焼を完全燃焼とすることで、その一次燃焼
領域における不完全燃焼により生成されるＣＯを酸化す
る。その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全
体の空気比は１．１以上とするのが好ましく、１．１〜
１．５とするのがより好ましい。その空気比が１．１未
満になるとＣＯを完全燃焼させるのが困難になり、ま
た、１．５を超えると必要以上に支燃性ガスを導入する
必要があることによる。
【００１１】上記実施形態によれば、排ガスと燃料ガス
とを空気等の酸素を含む支燃性ガスの存在下に燃焼させ
るに際して、一次燃焼領域における燃焼の空気比を、そ
の一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空
気比よりも低くするので、一次燃焼領域における燃焼温
度を二次燃焼領域における燃焼温度よりも高くすること
ができる。これにより、一次燃焼領域において安定なＰ
ＦＣ等を含む排ガスを分解するのに必要な高温を得るこ
とができる。しかも、一次燃焼領域においては二次燃焼
領域におけるよりも酸素が少なくなるので、ＣＦ4 を燃
焼分解させる１３００℃以上の高温下であってもサーマ
ルＮＯｘの生成を抑制することができる。さらに、ＮＨ
3 やＮ2 Ｏ等の含窒素化合物が排ガスとして導入される
場合でも窒素ガスに還元分解されやすく、ＮＯｘへの転
化割合が低くなり、フューエルＮＯｘの生成を抑制でき
る。さらに、一次燃焼領域で排ガスと燃料ガスとを支燃
性ガスの存在下において不完全燃焼させ、その燃焼によ
り形成される火炎全体を還元炎とすることで、水素ラジ
カルの様な還元性の活性種により一次燃焼領域でＰＦＣ
の分解を促進できる。一方、一次燃焼領域における燃焼
を空気比を低くして不完全燃焼とすることで、一次燃焼
領域においてＣＯが副生されやすくなるが、二次燃焼領
域において支燃性ガスを導入して完全燃焼することで、
そのＣＯを全て酸化することができる。そのＣＯの酸化
は９００℃以上で容易に行えるため、二次燃焼領域にお
いて支燃性ガスを導入することで温度が低下しても問題
はない。さらに、その二次燃焼領域において燃焼ガスを
冷却することで、燃焼炉２から排出される燃焼ガスの冷
却部の材質や冷却方法の選択に余裕が出てくる。さら
に、排ガスを一次燃焼領域において完全燃焼させる必要
がないので燃焼炉２内の空気比のマージンが大きくな
り、二次燃焼領域で導入される支燃性ガスで空気比を調
整可能であるため、燃焼排ガス中のＣＯやＮＯｘを低く
抑えることができる。
とを空気等の酸素を含む支燃性ガスの存在下に燃焼させ
るに際して、一次燃焼領域における燃焼の空気比を、そ
の一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空
気比よりも低くするので、一次燃焼領域における燃焼温
度を二次燃焼領域における燃焼温度よりも高くすること
ができる。これにより、一次燃焼領域において安定なＰ
ＦＣ等を含む排ガスを分解するのに必要な高温を得るこ
とができる。しかも、一次燃焼領域においては二次燃焼
領域におけるよりも酸素が少なくなるので、ＣＦ4 を燃
焼分解させる１３００℃以上の高温下であってもサーマ
ルＮＯｘの生成を抑制することができる。さらに、ＮＨ
3 やＮ2 Ｏ等の含窒素化合物が排ガスとして導入される
場合でも窒素ガスに還元分解されやすく、ＮＯｘへの転
化割合が低くなり、フューエルＮＯｘの生成を抑制でき
る。さらに、一次燃焼領域で排ガスと燃料ガスとを支燃
性ガスの存在下において不完全燃焼させ、その燃焼によ
り形成される火炎全体を還元炎とすることで、水素ラジ
カルの様な還元性の活性種により一次燃焼領域でＰＦＣ
の分解を促進できる。一方、一次燃焼領域における燃焼
を空気比を低くして不完全燃焼とすることで、一次燃焼
領域においてＣＯが副生されやすくなるが、二次燃焼領
域において支燃性ガスを導入して完全燃焼することで、
そのＣＯを全て酸化することができる。そのＣＯの酸化
は９００℃以上で容易に行えるため、二次燃焼領域にお
いて支燃性ガスを導入することで温度が低下しても問題
はない。さらに、その二次燃焼領域において燃焼ガスを
冷却することで、燃焼炉２から排出される燃焼ガスの冷
却部の材質や冷却方法の選択に余裕が出てくる。さら
に、排ガスを一次燃焼領域において完全燃焼させる必要
がないので燃焼炉２内の空気比のマージンが大きくな
り、二次燃焼領域で導入される支燃性ガスで空気比を調
整可能であるため、燃焼排ガス中のＣＯやＮＯｘを低く
抑えることができる。
【００１２】本発明は上記実施形態に限定されない。排
ガスの処理装置の形態は、上記のように本体２ａの上面
から突出する導入筒２ｂと排出筒２ｃとを有するものに
限定されず、例えば筒状体であって、その筒状体の一端
側内部空間が一次燃焼領域とされ、他端側内部空間が二
次燃焼領域とされてもよい。
ガスの処理装置の形態は、上記のように本体２ａの上面
から突出する導入筒２ｂと排出筒２ｃとを有するものに
限定されず、例えば筒状体であって、その筒状体の一端
側内部空間が一次燃焼領域とされ、他端側内部空間が二
次燃焼領域とされてもよい。
【００１３】
【実施例】上記実施形態の排ガスの処理装置１を用いて
排ガスの燃焼実験を行った。その処理装置１の本体２ａ
における外壁２ａ′は幅６００ｍｍ×高５００ｍｍ×奥
行３５０ｍｍとし、キャスタブル２′は厚さ１００ｍｍ
とし、導入筒２ｂにおける外壁２ｂ′は内径２００ｍ
ｍ、高さ２５０ｍｍとし、キャスタブル２′は厚さ５０
ｍｍとし、排出筒２ｃにおける外壁２ｃ′は内径３００
ｍｍ、高さ３００ｍｍとし、内壁２ｃ″は内径２５０ｍ
ｍ、高さ３００ｍｍとし、キャスタブル２′は厚さ５０
ｍｍとした。比較例１−１として、燃料ガスとしてプロ
パンガスを１０Ｌ／ｍｉｎ、排ガスとして窒素を１００
Ｌ／ｍｉｎ、ＣＦ4 を１Ｌ／ｍｉｎで導入した。冷却ジ
ャケット２ｅに冷却水を５Ｌ／ｍｉｎ導入した。また、
一次燃焼領域にのみ支燃性ガスとして空気を２４０Ｌ／
ｍｉｎ導入して空気比を１．０１とし、二次燃焼領域に
空気を導入しなかった。燃焼炉２の本体２ａにおける温
度は１５５０℃、排出筒２ｃにおける出口温度は７００
℃であった。この時、排出筒２ｃの出口におけるＣＦ
4 、ＣＯ及びＮＯｘを、フーリエ変換式赤外分光法（Ｆ
Ｔ‐ＩＲ）等で測定した結果、ＣＦ4 は４５ｐｐｍ、Ｃ
Ｏは１００ｐｐｍ、ＮＯｘは５０ｐｐｍであった。ここ
で、ＣＦ4 の分解率を燃焼ガスの風量増加を考慮し算出
すると９８．５％であった。実施例１−２として、比較
例１−１の状態に対して、二次燃焼領域に支燃性ガスと
して空気を２０Ｌ／ｍｉｎ導入し、一次燃焼領域と二次
燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、
同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は４５ｐｐｍ、
ＣＯは２５ｐｐｍ、ＮＯｘは５０ｐｐｍで、ＣＦ4 の分
解率は９８．５％であった。
排ガスの燃焼実験を行った。その処理装置１の本体２ａ
における外壁２ａ′は幅６００ｍｍ×高５００ｍｍ×奥
行３５０ｍｍとし、キャスタブル２′は厚さ１００ｍｍ
とし、導入筒２ｂにおける外壁２ｂ′は内径２００ｍ
ｍ、高さ２５０ｍｍとし、キャスタブル２′は厚さ５０
ｍｍとし、排出筒２ｃにおける外壁２ｃ′は内径３００
ｍｍ、高さ３００ｍｍとし、内壁２ｃ″は内径２５０ｍ
ｍ、高さ３００ｍｍとし、キャスタブル２′は厚さ５０
ｍｍとした。比較例１−１として、燃料ガスとしてプロ
パンガスを１０Ｌ／ｍｉｎ、排ガスとして窒素を１００
Ｌ／ｍｉｎ、ＣＦ4 を１Ｌ／ｍｉｎで導入した。冷却ジ
ャケット２ｅに冷却水を５Ｌ／ｍｉｎ導入した。また、
一次燃焼領域にのみ支燃性ガスとして空気を２４０Ｌ／
ｍｉｎ導入して空気比を１．０１とし、二次燃焼領域に
空気を導入しなかった。燃焼炉２の本体２ａにおける温
度は１５５０℃、排出筒２ｃにおける出口温度は７００
℃であった。この時、排出筒２ｃの出口におけるＣＦ
4 、ＣＯ及びＮＯｘを、フーリエ変換式赤外分光法（Ｆ
Ｔ‐ＩＲ）等で測定した結果、ＣＦ4 は４５ｐｐｍ、Ｃ
Ｏは１００ｐｐｍ、ＮＯｘは５０ｐｐｍであった。ここ
で、ＣＦ4 の分解率を燃焼ガスの風量増加を考慮し算出
すると９８．５％であった。実施例１−２として、比較
例１−１の状態に対して、二次燃焼領域に支燃性ガスと
して空気を２０Ｌ／ｍｉｎ導入し、一次燃焼領域と二次
燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、
同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は４５ｐｐｍ、
ＣＯは２５ｐｐｍ、ＮＯｘは５０ｐｐｍで、ＣＦ4 の分
解率は９８．５％であった。
【００１４】比較例２−１として、比較例１−１の状態
に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を
増大して一次燃焼領域における空気比を１．１０とし、
同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は１５０ｐｐ
ｍ、ＣＯは２３ｐｐｍ、ＮＯｘは７０ｐｐｍで、ＣＦ4
の分解率は９５．０％であった。比較例２−２として、
比較例１−１の状態に対して、一次燃焼領域における支
燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域における空
気比を０．９８とし、同様の測定を行った。この場合、
ＣＦ4 は３８ｐｐｍ、ＣＯは６５０ｐｐｍ、ＮＯｘは４
３ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９８．７％であった。実
施例２−３として、比較例１−１の状態に対して、一次
燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一次
燃焼領域における空気比を０．９８とし、二次燃焼領域
に支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次
燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、
同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4は３７ｐｐｍ、
ＣＯは２０ｐｐｍ、ＮＯｘは４５ｐｐｍで、ＣＦ4 の分
解率は９８．７％であった。比較例２−４として、比較
例１−１の状態に対して、一次燃焼領域における支燃性
ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域における空気比
を０．９５とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＦ
4 は２５ｐｐｍ、ＣＯは３２００ｐｐｍ、ＮＯｘは３３
ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９９．１％であった。実施
例２−５として、比較例１−１の状態に対して、一次燃
焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃
焼領域における空気比を０．９５とし、二次燃焼領域に
支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃
焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、同
様の測定を行った。この場合、ＣＦ4は２５ｐｐｍ、Ｃ
Ｏは２０ｐｐｍ、ＮＯｘは３２ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解
率は９９．１％であった。実施例２−６として、比較例
１−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を減少して一
次燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにおける温度を
１５００℃とし、一次燃焼領域における支燃性ガスの導
入量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９
５とし、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入
し、一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の
空気比を１．１０とし、同様の測定を行った。この場
合、ＣＦ4 は８５ｐｐｍ、ＣＯは２１ｐｐｍ、ＮＯｘは
２８ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９７．１％であった。
実施例２−７として、比較例１−１の状態に対して、燃
料ガスの導入量を減少して一次燃焼領域における燃焼炉
２の本体２ａにおける温度を１４５０℃とし、一次燃焼
領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼
領域における空気比を１．００とし、二次燃焼領域に支
燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃焼
領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、同様
の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は４４０ｐｐｍ、Ｃ
Ｏは１５ｐｐｍ、ＮＯｘは２８ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解
率は８５．０％であった。実施例２−８として、比較例
１−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を減少して一
次燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにおける温度を
１４５０℃とし、一次燃焼領域における支燃性ガスの導
入量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９
５とし、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入
し、一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の
空気比を１．１０とし、同様の測定を行った。この場
合、ＣＦ4 は２９０ｐｐｍ、ＣＯは１８ｐｐｍ、ＮＯｘ
は２５ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９０．１％であっ
た。実施例２−９として、比較例１−１の状態に対し
て、燃料ガスの導入量を減少して一次燃焼領域における
燃焼炉２の本体２ａにおける温度を１４５０℃とし、一
次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一
次燃焼領域における空気比を０．９０とし、二次燃焼領
域に支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二
次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０と
し、同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は２１０ｐ
ｐｍ、ＣＯは２４ｐｐｍ、ＮＯｘは２３ｐｐｍで、ＣＦ
4 の分解率は９２．９％であった。比較例２−１０とし
て、比較例１−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を
減少して一次燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにお
ける温度を１２００℃とし、一次燃焼領域における支燃
性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域における空気
比を０．９５とし、同様の測定を行った。この場合、Ｃ
Ｆ4 は４２００ｐｐｍ、ＣＯは３５００ｐｐｍ、ＮＯｘ
は１５ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は１０％未満であっ
た。実施例２−１１として、比較例１−１の状態に対し
て、燃料ガスの導入量を減少して一次燃焼領域における
燃焼炉２の本体２ａにおける温度を１２００℃とし、一
次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一
次燃焼領域における空気比を０．９５とし、二次燃焼領
域に支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二
次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０と
し、同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は４１３０
ｐｐｍ、ＣＯは２０ｐｐｍ、ＮＯｘは１５ｐｐｍで、Ｃ
Ｆ4 の分解率は１０％未満であった。以下の表１に上記
実施例および比較例の実験結果を示す。
に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を
増大して一次燃焼領域における空気比を１．１０とし、
同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は１５０ｐｐ
ｍ、ＣＯは２３ｐｐｍ、ＮＯｘは７０ｐｐｍで、ＣＦ4
の分解率は９５．０％であった。比較例２−２として、
比較例１−１の状態に対して、一次燃焼領域における支
燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域における空
気比を０．９８とし、同様の測定を行った。この場合、
ＣＦ4 は３８ｐｐｍ、ＣＯは６５０ｐｐｍ、ＮＯｘは４
３ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９８．７％であった。実
施例２−３として、比較例１−１の状態に対して、一次
燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一次
燃焼領域における空気比を０．９８とし、二次燃焼領域
に支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次
燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、
同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4は３７ｐｐｍ、
ＣＯは２０ｐｐｍ、ＮＯｘは４５ｐｐｍで、ＣＦ4 の分
解率は９８．７％であった。比較例２−４として、比較
例１−１の状態に対して、一次燃焼領域における支燃性
ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域における空気比
を０．９５とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＦ
4 は２５ｐｐｍ、ＣＯは３２００ｐｐｍ、ＮＯｘは３３
ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９９．１％であった。実施
例２−５として、比較例１−１の状態に対して、一次燃
焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃
焼領域における空気比を０．９５とし、二次燃焼領域に
支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃
焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、同
様の測定を行った。この場合、ＣＦ4は２５ｐｐｍ、Ｃ
Ｏは２０ｐｐｍ、ＮＯｘは３２ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解
率は９９．１％であった。実施例２−６として、比較例
１−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を減少して一
次燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにおける温度を
１５００℃とし、一次燃焼領域における支燃性ガスの導
入量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９
５とし、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入
し、一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の
空気比を１．１０とし、同様の測定を行った。この場
合、ＣＦ4 は８５ｐｐｍ、ＣＯは２１ｐｐｍ、ＮＯｘは
２８ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９７．１％であった。
実施例２−７として、比較例１−１の状態に対して、燃
料ガスの導入量を減少して一次燃焼領域における燃焼炉
２の本体２ａにおける温度を１４５０℃とし、一次燃焼
領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼
領域における空気比を１．００とし、二次燃焼領域に支
燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃焼
領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、同様
の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は４４０ｐｐｍ、Ｃ
Ｏは１５ｐｐｍ、ＮＯｘは２８ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解
率は８５．０％であった。実施例２−８として、比較例
１−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を減少して一
次燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにおける温度を
１４５０℃とし、一次燃焼領域における支燃性ガスの導
入量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９
５とし、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入
し、一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の
空気比を１．１０とし、同様の測定を行った。この場
合、ＣＦ4 は２９０ｐｐｍ、ＣＯは１８ｐｐｍ、ＮＯｘ
は２５ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は９０．１％であっ
た。実施例２−９として、比較例１−１の状態に対し
て、燃料ガスの導入量を減少して一次燃焼領域における
燃焼炉２の本体２ａにおける温度を１４５０℃とし、一
次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一
次燃焼領域における空気比を０．９０とし、二次燃焼領
域に支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二
次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０と
し、同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は２１０ｐ
ｐｍ、ＣＯは２４ｐｐｍ、ＮＯｘは２３ｐｐｍで、ＣＦ
4 の分解率は９２．９％であった。比較例２−１０とし
て、比較例１−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を
減少して一次燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにお
ける温度を１２００℃とし、一次燃焼領域における支燃
性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域における空気
比を０．９５とし、同様の測定を行った。この場合、Ｃ
Ｆ4 は４２００ｐｐｍ、ＣＯは３５００ｐｐｍ、ＮＯｘ
は１５ｐｐｍで、ＣＦ4 の分解率は１０％未満であっ
た。実施例２−１１として、比較例１−１の状態に対し
て、燃料ガスの導入量を減少して一次燃焼領域における
燃焼炉２の本体２ａにおける温度を１２００℃とし、一
次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて一
次燃焼領域における空気比を０．９５とし、二次燃焼領
域に支燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二
次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０と
し、同様の測定を行った。この場合、ＣＦ4 は４１３０
ｐｐｍ、ＣＯは２０ｐｐｍ、ＮＯｘは１５ｐｐｍで、Ｃ
Ｆ4 の分解率は１０％未満であった。以下の表１に上記
実施例および比較例の実験結果を示す。
【００１５】
【表１】
【００１６】比較例３−１、実施例３−２、比較例３−
３、実施例３−４、比較例３−５として、比較例１−１
の状態に対して、排ガスをアンモニアガス２Ｌ／ｍｉｎ
と窒素１００Ｌ／ｍｉｎに変更した。比較例３−１で
は、比較例１−１の状態に対して、一次燃焼領域におけ
る支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域におけ
る空気比を０．９５とし、同様の測定を行った。この場
合、ＣＯは９５００ｐｐｍ、ＮＯｘは４３０ｐｐｍであ
った。実施例３−２では、比較例３−１の状態に対し
て、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入し、一
次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比
を１．１０とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯ
は２５ｐｐｍ、ＮＯｘは４５０ｐｐｍであった。比較例
３−３では、比較例３−１の状態に対して、一次燃焼領
域における支燃性ガスの導入量を増大させて一次燃焼領
域における空気比を１．００とし、同様の測定を行っ
た。この場合、ＣＯは７３０ｐｐｍ、ＮＯｘは６００ｐ
ｐｍであった。実施例３−４では、比較例３−１の状態
に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を
増大させて一次燃焼領域における空気比を１．００と
し、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入し、一
次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比
を１．１０とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯ
は２５ｐｐｍ、ＮＯｘは５８０ｐｐｍであった。比較例
３−５では、比較例３−１の状態に対して、一次燃焼領
域における支燃性ガスの導入量を増大させて一次燃焼領
域における空気比を１．２０とし、同様の測定を行っ
た。この場合、ＣＯは１５ｐｐｍ、ＮＯｘは１４００ｐ
ｐｍであった。以下の表２に上記実施例および比較例の
実験結果を示す。なお、アンモニアはどの条件でも５ｐ
ｐｍ以下であった。
３、実施例３−４、比較例３−５として、比較例１−１
の状態に対して、排ガスをアンモニアガス２Ｌ／ｍｉｎ
と窒素１００Ｌ／ｍｉｎに変更した。比較例３−１で
は、比較例１−１の状態に対して、一次燃焼領域におけ
る支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域におけ
る空気比を０．９５とし、同様の測定を行った。この場
合、ＣＯは９５００ｐｐｍ、ＮＯｘは４３０ｐｐｍであ
った。実施例３−２では、比較例３−１の状態に対し
て、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入し、一
次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比
を１．１０とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯ
は２５ｐｐｍ、ＮＯｘは４５０ｐｐｍであった。比較例
３−３では、比較例３−１の状態に対して、一次燃焼領
域における支燃性ガスの導入量を増大させて一次燃焼領
域における空気比を１．００とし、同様の測定を行っ
た。この場合、ＣＯは７３０ｐｐｍ、ＮＯｘは６００ｐ
ｐｍであった。実施例３−４では、比較例３−１の状態
に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を
増大させて一次燃焼領域における空気比を１．００と
し、二次燃焼領域に支燃性ガスとして空気を導入し、一
次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃焼全体の空気比
を１．１０とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯ
は２５ｐｐｍ、ＮＯｘは５８０ｐｐｍであった。比較例
３−５では、比較例３−１の状態に対して、一次燃焼領
域における支燃性ガスの導入量を増大させて一次燃焼領
域における空気比を１．２０とし、同様の測定を行っ
た。この場合、ＣＯは１５ｐｐｍ、ＮＯｘは１４００ｐ
ｐｍであった。以下の表２に上記実施例および比較例の
実験結果を示す。なお、アンモニアはどの条件でも５ｐ
ｐｍ以下であった。
【００１７】
【表２】
【００１８】比較例４−１、比較例４−２、実施例４−
３として、比較例１−１の状態に対して、排ガスを亜酸
化窒素１Ｌ／ｍｉｎと窒素１００Ｌ／ｍｉｎに変更し、
比較例４−４、実施例４−５、比較例４−６として、比
較例１−１の状態に対して、排ガスを三フッ化窒素（Ｎ
Ｆ3 ）１Ｌ／ｍｉｎと窒素１００Ｌ／ｍｉｎに変更し
た。比較例４−１では、比較例１−１の状態に対して、
一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて
一次燃焼領域における空気比を１．００とし、同様の測
定を行った。この場合、ＣＯは５５ｐｐｍ、ＮＯｘは７
５０ｐｐｍであった。比較例４−２では、比較例４−１
の状態に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導
入量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９
５とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯは３２０
０ｐｐｍ、ＮＯｘは２５０ｐｐｍであった。実施例４−
３では、比較例４−１の状態に対して、一次燃焼領域に
おける支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域に
おける空気比を０．９５とし、二次燃焼領域に支燃性ガ
スとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃焼領域と
における燃焼全体の空気比を１．１０とし、同様の測定
を行った。この場合、ＣＯは３０ｐｐｍ、ＮＯｘは２７
０ｐｐｍであった。比較例４−４では、比較例１−１の
状態に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入
量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９８
とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯは４２００
ｐｐｍ、ＮＯｘは３５０ｐｐｍであった。実施例４−５
では、比較例４−４の状態に対して、二次燃焼領域に支
燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃焼
領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、同様
の測定を行った。この場合、ＣＯは２５ｐｐｍ、ＮＯｘ
は３７０ｐｐｍであった。比較例４−６では、比較例１
−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を減少して一次
燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにおける温度を９
００℃とし、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量
を増大させて一次燃焼領域における空気比を１．５０と
し、同様の測定を行った。この場合、ＣＯは１５ｐｐ
ｍ、ＮＯｘは９００ｐｐｍであった。以下の表３に上記
実施例および比較例の実験結果を示す。なお、ＮＦ3 、
Ｎ2 Ｏはどの条件でも共に１０ｐｐｍ以下であった。
３として、比較例１−１の状態に対して、排ガスを亜酸
化窒素１Ｌ／ｍｉｎと窒素１００Ｌ／ｍｉｎに変更し、
比較例４−４、実施例４−５、比較例４−６として、比
較例１−１の状態に対して、排ガスを三フッ化窒素（Ｎ
Ｆ3 ）１Ｌ／ｍｉｎと窒素１００Ｌ／ｍｉｎに変更し
た。比較例４−１では、比較例１−１の状態に対して、
一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量を減少させて
一次燃焼領域における空気比を１．００とし、同様の測
定を行った。この場合、ＣＯは５５ｐｐｍ、ＮＯｘは７
５０ｐｐｍであった。比較例４−２では、比較例４−１
の状態に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導
入量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９
５とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯは３２０
０ｐｐｍ、ＮＯｘは２５０ｐｐｍであった。実施例４−
３では、比較例４−１の状態に対して、一次燃焼領域に
おける支燃性ガスの導入量を減少させて一次燃焼領域に
おける空気比を０．９５とし、二次燃焼領域に支燃性ガ
スとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃焼領域と
における燃焼全体の空気比を１．１０とし、同様の測定
を行った。この場合、ＣＯは３０ｐｐｍ、ＮＯｘは２７
０ｐｐｍであった。比較例４−４では、比較例１−１の
状態に対して、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入
量を減少させて一次燃焼領域における空気比を０．９８
とし、同様の測定を行った。この場合、ＣＯは４２００
ｐｐｍ、ＮＯｘは３５０ｐｐｍであった。実施例４−５
では、比較例４−４の状態に対して、二次燃焼領域に支
燃性ガスとして空気を導入し、一次燃焼領域と二次燃焼
領域とにおける燃焼全体の空気比を１．１０とし、同様
の測定を行った。この場合、ＣＯは２５ｐｐｍ、ＮＯｘ
は３７０ｐｐｍであった。比較例４−６では、比較例１
−１の状態に対して、燃料ガスの導入量を減少して一次
燃焼領域における燃焼炉２の本体２ａにおける温度を９
００℃とし、一次燃焼領域における支燃性ガスの導入量
を増大させて一次燃焼領域における空気比を１．５０と
し、同様の測定を行った。この場合、ＣＯは１５ｐｐ
ｍ、ＮＯｘは９００ｐｐｍであった。以下の表３に上記
実施例および比較例の実験結果を示す。なお、ＮＦ3 、
Ｎ2 Ｏはどの条件でも共に１０ｐｐｍ以下であった。
【００１９】
【表３】
【００２０】上記実施例および比較例から、一次燃焼領
域における空気の減少によりＣＦ4 、ＮＯｘは減少し、
二次燃焼領域の空気の増加によりＣＯは減少し、ＣＦ4
を燃焼分解する上では燃焼温度を１５００℃以上にする
のが好ましいことが確認される。
域における空気の減少によりＣＦ4 、ＮＯｘは減少し、
二次燃焼領域の空気の増加によりＣＯは減少し、ＣＦ4
を燃焼分解する上では燃焼温度を１５００℃以上にする
のが好ましいことが確認される。
【００２１】
【発明の効果】本発明方法によれば、燃焼炉の一次燃焼
領域において空気過剰率を抑えた燃焼条件でＰＦＣの分
解効率の向上を図り、二次燃焼領域でＣＯの酸化と燃焼
ガスの冷却を行うことにより、分解に高温を要するＰＦ
Ｃを含む排ガスの処理をＣＯを副生することなく、複雑
な燃焼制御を行うことなく、排ガスの組成変動に影響さ
れることなく行うことができ、さらにサーマルＮＯｘや
フューエルＮＯｘの発生も低減でき、しかも燃焼ガスの
冷却にも寄与できる排ガスの処理方法と処理装置を提供
できる。
領域において空気過剰率を抑えた燃焼条件でＰＦＣの分
解効率の向上を図り、二次燃焼領域でＣＯの酸化と燃焼
ガスの冷却を行うことにより、分解に高温を要するＰＦ
Ｃを含む排ガスの処理をＣＯを副生することなく、複雑
な燃焼制御を行うことなく、排ガスの組成変動に影響さ
れることなく行うことができ、さらにサーマルＮＯｘや
フューエルＮＯｘの発生も低減でき、しかも燃焼ガスの
冷却にも寄与できる排ガスの処理方法と処理装置を提供
できる。
【図１】本発明の実施形態の排ガスの処理装置の構成説
明図
明図
１ 排ガスの処理装置 ２ 燃焼炉 ２ｅ 冷却ジャケット ３ 燃料ガス導入用配管 ４ 排ガス導入用配管 ５ 支燃性ガス導入用配管 ６ 支燃性ガス導入用配管
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ２７Ｄ 17/00 １０４ Ｆ２７Ｄ 17/00 １０４Ｄ １０４Ｚ Ｂ０１Ｄ 53/34 １３４Ｅ (72)発明者 新濱 正敏 兵庫県加古郡播磨町宮西346番地の１住友 精化株式会社ガス・エンジニアリング事業 部内 (72)発明者 中川 正明 奈良県北葛城郡広陵町弁財天348―３ (72)発明者 後藤 宏明 奈良県生駒郡安堵町笠目520 Ｆターム(参考） 3K065 TA06 TB09 TB12 TC04 TD05 TE01 TE02 TF03 TG02 TG04 TH01 TH02 TH17 TL01 TN01 TN16 3K078 AA05 AA07 AA08 BA20 BA24 BA25 BA26 BA28 BA29 CA03 CA09 CA12 4D002 AA12 AA13 AA22 AA26 AA27 AC10 BA05 BA06 DA70 4K056 AA09 CA18 DB03 DB10
Claims (9)
- 【請求項１】燃料ガスと支燃性ガスと少なくともパーフ
ルオロカーボンを含む排ガスとを燃焼炉における一次燃
焼領域に導入し、その一次燃焼領域において燃料ガスと
排ガスとを支燃性ガスの存在下に燃焼炎が還元炎となる
ように不完全燃焼させ、その燃焼炉における一次燃焼領
域よりも燃焼ガスの流れの下流に位置する二次燃焼領域
に支燃性ガスを導入し、その二次燃焼領域において、そ
の不完全燃焼により生成された燃焼ガスを、その支燃性
ガスの存在下に燃焼ガスに含まれる一酸化炭素が酸化す
るように燃焼させ、その一次燃焼領域における燃焼の空
気比を、その一次燃焼領域と二次燃焼領域とにおける燃
焼全体の空気比よりも低くすることを特徴とする排ガス
の処理方法。 - 【請求項２】そのパーフルオロカーボンとしてテトラフ
ルオロカーボンを含み、その一次燃焼領域における燃焼
温度を１３００℃以上とする請求項１に記載の排ガスの
処理方法。 - 【請求項３】その一次燃焼領域へ窒素化合物を含む排ガ
スを導入する請求項１または２に記載の排ガスの処理方
法。 - 【請求項４】その一次燃焼領域における燃焼炎の全体を
還元炎とする請求項１〜３の中の何れかに記載の排ガス
の処理方法。 - 【請求項５】その二次燃焼領域における燃焼を完全燃焼
とすることで、その一次燃焼領域における不完全燃焼に
より生成される一酸化炭素を酸化する請求項１〜４の中
の何れかに記載の排ガスの処理方法。 - 【請求項６】その二次燃焼領域において燃焼ガスを冷却
する請求項１〜５の中の何れかに記載の排ガスの処理方
法。 - 【請求項７】その一次燃焼領域における燃焼の空気比を
０．８〜１．０５とする請求項１〜６の中の何れかに記
載の排ガスの処理方法。 - 【請求項８】燃焼炉と、その燃焼炉における一次燃焼領
域への排ガス導入用配管と、その一次燃焼領域への燃料
ガス導入用配管と、その一次燃焼領域への支燃性ガス導
入用配管と、その燃焼炉における一次燃焼領域よりも燃
焼ガスの流れの下流に位置する二次燃焼領域への支燃性
ガス導入用配管とを備え、各燃焼領域へのガス導入量は
調節可能とされ、その一次燃焼領域に導入される排ガス
と燃料ガスとが、その一次燃焼領域に導入される支燃性
ガスの存在下に一次燃焼領域で燃焼されることで燃焼ガ
スが生成され、その燃焼ガスが二次燃焼領域に導入され
る支燃性ガスの存在下に二次燃焼領域で燃焼され、その
一次燃焼領域における燃焼の空気比は、その燃焼炎が還
元炎となるように設定されることを特徴とする排ガスの
処理装置。 - 【請求項９】その二次燃焼領域における燃焼ガスの冷却
手段が設けられている請求項８に記載の排ガスの処理装
置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001176905A JP2002364821A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 排ガスの処理方法および処理装置 |
| KR10-2003-7016148A KR20040007676A (ko) | 2001-06-12 | 2002-06-04 | 배출 가스 처리 방법 및 처리 장치 |
| CNB028116801A CN1262792C (zh) | 2001-06-12 | 2002-06-04 | 废气的处理方法及处理装置 |
| PCT/JP2002/005500 WO2002101293A1 (fr) | 2001-06-12 | 2002-06-04 | Procede de traitement des gaz d'echappement et dispositif de traitement |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001176905A JP2002364821A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 排ガスの処理方法および処理装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002364821A true JP2002364821A (ja) | 2002-12-18 |
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ID=19017831
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001176905A Pending JP2002364821A (ja) | 2001-06-12 | 2001-06-12 | 排ガスの処理方法および処理装置 |
Country Status (4)
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|---|---|
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| KR (1) | KR20040007676A (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| EP2957334A1 (en) * | 2014-06-20 | 2015-12-23 | Ebara Corporation | Exhaust gas treatment apparatus |
| JP2017142004A (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 大陽日酸株式会社 | 排ガス処理方法 |
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|---|---|---|---|---|
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| CN102425798A (zh) * | 2011-10-19 | 2012-04-25 | 北京和升达信息安全技术有限公司 | 一种具有二级高温燃烧功能的高温销毁炉 |
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|---|---|---|---|---|
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-
2001
- 2001-06-12 JP JP2001176905A patent/JP2002364821A/ja active Pending
-
2002
- 2002-06-04 WO PCT/JP2002/005500 patent/WO2002101293A1/ja active Application Filing
- 2002-06-04 KR KR10-2003-7016148A patent/KR20040007676A/ko not_active Application Discontinuation
- 2002-06-04 CN CNB028116801A patent/CN1262792C/zh not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100650937B1 (ko) | 2005-11-09 | 2006-11-29 | 주식회사 글로벌스탠다드테크놀로지 | 폐가스 정화처리장치의 버너조립체 |
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| JP2017142004A (ja) * | 2016-02-09 | 2017-08-17 | 大陽日酸株式会社 | 排ガス処理方法 |
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