JP2002357568A - Ｘ線撮像装置 - Google Patents

Ｘ線撮像装置

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JP2002357568A
JP2002357568A JP2001167994A JP2001167994A JP2002357568A JP 2002357568 A JP2002357568 A JP 2002357568A JP 2001167994 A JP2001167994 A JP 2001167994A JP 2001167994 A JP2001167994 A JP 2001167994A JP 2002357568 A JP2002357568 A JP 2002357568A
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ray
imaging apparatus
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sensor
shielding
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JP2001167994A
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Yasuichi Oomori
康以知 大森
Shunichi Yoneda
俊一 米田
Nobuyuki Haji
信幸 土師
Matsuki Baba
末喜 馬場
Hiroyuki Kuriaki
博幸 栗秋
Takashi Shimizu
隆 清水
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は比較的簡単な構成で鉛遮蔽と同等の
遮蔽能力を有し漏洩Ｘ線を低減したＸ線撮影装置を提供
することを目的としたものであり、さらに遮蔽部料が占
める割合を少なくすることにより従来に比べ比較的軽量
のＸ線撮影装置を提供することを目的とする。 【解決手段】 本発明のＸ線撮影装置の構成はＸ線を照
射するＸ線発生源と、Ｘ線を照射して検査する被検査物
と、被検査物の前記Ｘ線発生源とは反対側に配置したＸ
線センサを備え、少なくとも前記Ｘ線センサを配置した
部分にタングステンまたは、バリウム塩からなる遮蔽部
を設けるものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、被検査物にＸ線を
照射し、その透視画像を撮影するＸ線撮像装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線撮影装置において、Ｘ線発生
源が収められる装置の筐体に遮蔽部である鉛板を貼り付
けＸ線の装置外部への漏洩を防止していた。
【０００３】図７に従来のＸ線撮影装置の断面図を示
す。
【０００４】図７において、１はＸ線発生源、３はＸ線
ビーム、５は被検査物、１２は筐体、７０は鉛板、３１
はＸ線カメラである。
【０００５】Ｘ線撮影装置は、Ｘ線発生源１とＸ線カメ
ラ３１の間に被検査物５を配置し、Ｘ線発生源１からＸ
線ビーム３を照射しエックス線カメラ３１で被検査物５
を透過したＸ線画像を撮影する構成としていた。
【０００６】その際、装置外へのＸ線の漏洩を防止する
ために装置の筐体１２の内面には鉛板７０が設けられて
いた。
【０００７】この鉛は密度が１１．３４、原子番号が６
２で、Ｘ線の吸収率が高い材料で高い遮蔽能力を有して
いる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら鉛は環境
負荷材料として、その使用について注意が必要である。
【０００９】したがって、鉛レスの遮蔽構造が近年求め
られていた。
【００１０】また従来の構成は、装置の内面の大部分に
鉛が貼り付けられるので装置全体の質量が重くなるとい
う問題も有していた。
【００１１】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、鉛を使用しないＸ線撮影装置を提供することを目的
としたものであり、さらに遮蔽部料が占める割合を少な
くすることにより従来に比べ比較的軽量のＸ線撮影装置
を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１記載の本発明は、角度を有する放射状にＸ線
を出射するＸ線発生源と、Ｘ線を出射して検査する被検
査物の前記Ｘ線発生源とは反対側に配置したＸ線画像を
撮像するためのＸ線センサと、前記Ｘ線発生源と前記Ｘ
線センサを収納した筐体を備え、前記Ｘ線発生源のＸ線
の出射口に対向し、前記Ｘ線発生源から見てＸ線センサ
の少なくとも背面側に遮蔽部を設けたことを特徴とする
Ｘ線撮像装置である。
【００１３】請求項２記載の本発明はＸ線センサの有効
撮像領域を、前記Ｘ線発生源のＸ線の出射口に対向する
面の大きさに対して十分に小さくし、かつ前記Ｘ線セン
サの背面側に少なくとも前記Ｘ線センサよりも大きい遮
蔽部を設けた請求項１記載のＸ線撮像装置である。
【００１４】請求項３記載の本発明はＸ線発生源のＸ線
の出射口から放射状にＸ線ビームが発せられ、Ｘ線ビー
ムの大きさがＸ線センサのＸ線入射側の面において、前
記Ｘ線センサの有効撮像領域及びその近傍部のみに照射
されるように絞られ、前記Ｘ線センサのＸ線発生源に対
して背面側に設けた遮蔽部の大きさが遮蔽部の配置位置
におけるＸ線ビームサイズ以上であることを特徴とする
請求項１または２記載のＸ線撮像装置である。
【００１５】請求項４記載の本発明はＸ線遮蔽部をＸ線
遮蔽材料からなる複数のブロックで形成し、その大きさ
としてＸ線ビームの大きさに合わせて前記ビームの大き
さ以上の大きさとなるように前記ブロックを組合わせた
ことを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載のＸ
線撮像装置である。
【００１６】請求項５記載の本発明はＸ線遮蔽材料から
なるブロックの側面が垂直でなく角度を有し、前記ブロ
ックを組合わせた場合、前記つなぎ目がＸ線ビームの進
行方向に対して水平面を形成しないことを特徴とする請
求項４記載のＸ線検査装置である。
【００１７】請求項６記載の本発明はＸ線遮蔽材料から
なるブロックの側面が垂直でなく２段以上の複数段から
なり、前記ブロックの組合わせにおいて各段が重なり合
うように接続されたことを特徴とする請求項４記載のＸ
線撮像装置である。
【００１８】請求項７記載の本発明はＸ線遮蔽部がＸ線
遮蔽材料を含有する柔軟性を有するシート状のブロック
からなることを特徴とする請求項１から３のいずれかに
記載のＸ線撮像装置である。
【００１９】請求項８記載の本発明はＸ線遮蔽材料を含
有するシート状のブロックを複数配置する際に各端部が
重なり合い、かつＸ線ビームの大きさ以上の大きさとな
るように組合わせたことを特徴とする請求項７記載のＸ
線撮像装置である。
【００２０】請求項９記載の本発明はＸ線遮蔽部が空間
部分を有する構造材の空間部分に遮蔽材量を充填し固定
したことを特徴とする請求項４記載のＸ線撮像装置であ
る。
【００２１】請求項１０記載の本発明はＸ線発生源のＸ
線出射口にＸ線センサのサイズに合わせて貫通孔を形成
したコーリメータを装着する機構を配置し、前記機構は
Ｘ線センサのサイズに合わせて装着するコーリメータを
変更できることを特徴とする請求項１から９のいずれか
に記載のＸ線撮像装置である。
【００２２】請求項１１記載の本発明はＸ線発生源のＸ
線出射口に複数個のサイズの異なる貫通孔が形成された
Ｘ線遮蔽板が設けられ、撮影時にＸ線センサのサイズに
合わせたサイズの貫通孔がその中心がＸ線照射中心と同
じ位置に位置することを特徴とする請求項１から９のい
ずれかに記載のＸ線撮像装置である。
【００２３】請求項１２記載の本発明はＸ線ビームの大
きさがＸ線センサのＸ線入射側の面において前記Ｘ線セ
ンサの有効撮像領域の大きさ以上になるように貫通孔の
大きさを規定した請求項９または１０記載のＸ線撮像装
置である。
【００２４】請求項１３記載の本発明はＸ線遮蔽材料が
原子番号５０以上、密度３以上の元素から構成され、か
つ鉛でないことを特徴とする請求項１から１２のいずれ
かに記載のＸ線撮像装置である。
【００２５】請求項１４記載の本発明はＸ線遮蔽材料が
タングステンであることを特徴とする請求項１から１２
のいずれかに記載のＸ線撮像装置である。
【００２６】請求項１５記載の本発明はＸ線遮蔽材料が
バリウム塩であることを特徴とする請求項１から１２の
いずれかに記載のＸ線撮像装置である。
【００２７】請求項１６記載の本発明はＸ線遮蔽材料が
スズであることを特徴とする請求項１から１２のいずれ
かに記載のＸ線撮像装置である。
【００２８】請求項１７記載の本発明はＸ線遮蔽部を構
成するブロックが焼結体であることを特徴とする請求項
１から１４のいずれかに記載のＸ線撮像装置である。
【００２９】請求項１８記載の本発明は構造材として、
ハニカム状の金属を用いた請求項９記載のＸ線撮像装置
である。
【００３０】
【発明の実施の形態】上記構成により、本発明のＸ線撮
影装置では、鉛を用いずにＸ線が遮蔽されるので環境負
荷を低減できる。
【００３１】さらにＸ線ビームを撮影に必要な大きさに
絞ることにより、遮蔽部料が低減されるので比較的軽量
のＸ線撮影装置が提供できる。(実施の形態１)以下、本
発明の第１の実施の形態について説明する。
【００３２】図１は本発明の第１の実施の形態における
Ｘ線撮影装置の構成を示す概略図である。
【００３３】図１において１はＸ線発生源、２はコーリ
メータ、３はＸ線ビーム、４はタングステンを主成分と
する遮蔽部、５は被検査物、６はテーブル、７はＸ線セ
ンサー、８はＸ線画像キャプチャーユニット、９はパー
ソナルコンピュータ、１０は表示器、１１はＸ線制御ユ
ニット、１２は筐体である。
【００３４】そして、筐体１２の内部上面方向にＸ線発
生源１と、このＸ線発生源１を制御するＸ線制御ユニッ
ト１１を配置しており、Ｘ線発生源１からのＸ線ビーム
３の照射位置に被検査物５を載置するテーブル６を設け
ている。
【００３５】このテーブル６の下面方向、すなわち、テ
ーブル６のＸ線発生源１とは反対側にＸ線センサー７を
配置していて、このＸ線センサー７で被検査物５の各部
位を透過したＸ線をそれぞれ検出し、この検出した信号
をＸ線画像キャプチャーユニット８を経由して筐体１２
の外部に設けたパーソナルコンピュータ９に入力し、画
像処理して表示器１０に表示するようにしている。
【００３６】なお、Ｘ線発生源１から照射されるＸ線ビ
ーム３の広がりを規制するコリメータ２をＸ線発生源１
と被検査物５の間で、かつＸ線発生源１の近傍に設けて
いる。
【００３７】このことによって、Ｘ線ビーム３の広がり
を規制できる、すなわち、Ｘ線ビーム３を絞れるので、
筐体１２の下面のみに遮蔽部４を配置すれば、Ｘ線の筐
体１２外部への漏れを防止できるようになっている。
【００３８】具体的には、タングステンを主成分とする
遮蔽部４はＸ線センサ７を透過したＸ線ビーム３および
Ｘ線センサ７に入射しなかったＸ線ビーム３が入射する
ことになる。
【００３９】タングステンは原子番号７４、密度１９．
３の材料であり、Ｘ線の遮蔽能力は一般に式１にて表さ
れる。
【００４０】 Ｘ線遮蔽能力＝（λ）3×（ρ）×（Ｚ）×Ｃ………式１ λ…波長、ρ…密度、Ｚ…原子番号、Ｃ…定数 よってタングステンの遮蔽能力は約１４２８Ｃλ3にな
る。
【００４１】一方、従来の鉛の場合は約９３０Ｃλ3に
であり、従来のものに比べて遮蔽能力の高いタングステ
ンを主成分とする遮蔽部４でＸ線が吸収され、外部への
漏洩が防がれる。また遮蔽部４の大きさはＸ線ビームサ
イズより大きい。
【００４２】またＸ線ビーム３はアパーチャ２によって
Ｘ線センサ７での撮影に必要な大きさに絞られているの
で装置内での散乱因子が少なくなり、装置筐体１２の側
壁への遮蔽部の取り付けが不要となる。
【００４３】図１において、タングステンを主成分とす
る遮蔽部の大きさをＸ線発生源１に対向する装置底面全
体で示したが必ずしも全面である必要がなく少なくとも
Ｘ線ビーム３が直接入射する部分およびその周辺をカバ
ーすれば良い。
【００４４】またＸ線発生源１のＸ線出射口に設けられ
るコーリメータの穴サイズは少なくともＸ線センサ７の
位置における照射野前のサイズにおいてＸ線センサ７の
有効撮像領域の対角距離以上で、前記有効撮像領域内が
ほぼ均一な照射Ｘ線強度となるサイズが好ましい。
【００４５】Ｘ線センサ７の対角距離以下の場合は画像
にＸ線非照射部分ができ、対角距離よりかなり大きい場
合は遮蔽部４のサイズが大きくなるとともに、散乱が増
加し装置側面の遮蔽が必要になり、遮蔽部の増加、装置
質量が増す。
【００４６】また遮蔽部４はタングステンを主成分とす
るが、例えば、タングステンと異種金属の混合物、タン
グステン焼結物、タングステンと樹脂材料の混錬物、タ
ングステンの板金等への溶着物等を用いることができ
る。
【００４７】また本実施の形態ではＸ線発生源１を装置
上面、遮蔽部４の位置を装置下面として説明したが、こ
れにとらわれずＸ線発生源１と遮蔽部４が対向する位置
にあれば良い。
【００４８】(実施の形態２)以下、本発明の第２の実施
の形態について図１を用いて説明する。
【００４９】本実施の形態において、上述した実施の形
態と異なる構成は、遮蔽部４として本実施の形態ではバ
リウム塩を主成分とする点である。
【００５０】バリウムは原子番号５６、密度３．５の材
料であり、Ｘ線の遮蔽能力は式１にて表される。
【００５１】したがってバリウムの遮蔽能力は約１９６
Ｃλ3になる。
【００５２】一方、従来の鉛の場合は約９３０Ｃλ
3で、鉛に比べた場合、バリウムのＸ線遮蔽能力は低い
が、鉄の場合は約２００になるのでバリウム塩は鉄並み
の遮蔽能力を有することになり、厚さを鉛よりも厚くす
ることを勘案すれば、遮蔽部４に入射したＸ線は吸収さ
れ外部への漏洩が防がれることになる。
【００５３】この遮蔽部４はバリウム塩を主成分とし、
例えば硫酸バリウムと異種金属の混合物、硫酸バリウム
焼結物、硫酸バリウムと樹脂材料の混錬物、硫酸バリウ
ムの板金等への溶着物等を使用する。
【００５４】(実施の形態３)以下、本発明の第３の実施
の形態について図１を用いて説明する。
【００５５】本実施の形態において、上述した実施の形
態と異なる構成は、遮蔽部４として本実施の形態ではス
ズを主成分とする点である。
【００５６】スズは原子番号５０、密度７．３の材料で
あり、Ｘ線の遮蔽能力は式１にて表される。よってスズ
の遮蔽能力は約３６５Ｃλ3になる。
【００５７】一方、従来の鉛の場合は約９３０Ｃλ
3で、鉛に比べた場合、スズのＸ線遮蔽能力は低いが、
鉄の場合は約２００になるのでスズは鉄以上の遮蔽能力
を有することになり、厚さを鉛よりも厚くすることを勘
案すれば、遮蔽部４に入射したＸ線は吸収され外部への
漏洩が防がれることになる。
【００５８】（実施の形態４）以下、本発明の第４の実
施の形態について説明する。
【００５９】図２は本発明の第４の実施の形態における
Ｘ線撮影装置の構成を示す概略図である。
【００６０】図２において２０は硫酸バリウムを焼結し
たブロックである。他の符号については図１に示した実
施の形態と同様の構成なので説明を省略する。
【００６１】バリウムは原子番号５６、密度３．５の材
料であり、上述したとおりＸ線の遮蔽能力は実施の形態
例２で説明したとおりである。本実施の形態では硫酸バ
リウムを焼結したブロック２０の側面は垂直でなく角度
を有する。したがってＸ線発生源１から発せられるＸ線
ビーム３の進行方向に対してブロック２０つなぎ目が水
平面を形成することはなく、前記ブロックのつなぎ目で
のＸ線の漏洩は防止される。
【００６２】本実施の形態では一定サイズのブロックの
つなぎ合わせにて遮蔽部のサイズを調整することができ
るのでＸ線ビームサイズの変更にも柔軟に対応できる。
【００６３】本実施の形態ではブロックの材料を焼結し
た硫酸バリウムとして説明したが、バリウム塩を主成分
とし、例えば硫酸バリウムと異種金属の混合物、硫酸バ
リウム焼結物、硫酸バリウムと樹脂材料の混錬物、硫酸
バリウムの板金等への溶着物、またタングステンと異種
金属の混合物、タングステン焼結物、タングステンと樹
脂材料の混錬物、タングステンの板金等への溶着物、ス
ズ等の原子番号５０以上、密度３以上の元素から構成さ
れれば良い。
【００６４】（実施の形態５）以下、本発明の第５の実
施の形態について説明する。
【００６５】図３は本発明の第５の実施の形態における
Ｘ線撮影装置の構成を示す概略図である。図３において
３０は硫酸バリウムを焼結したブロックである。他の符
号については図１に示した実施の形態と同様の構成なの
で説明を省略する。
【００６６】バリウムは原子番号５６、密度３．５の材
料であり、上述したとおりＸ線の遮蔽能力は実施の形態
例２で説明したとおりである。
【００６７】本実施の形態では硫酸バリウムを焼結した
ブロック３０の側面は２段のステップからなり、このブ
ロックのつなぎ合わせにおいて各段が重なり合うように
接続される。したがってＸ線発生源１から発せられるＸ
線ビーム３がブロックのつなぎ目を素通りすることはな
く、前記ブロックのつなぎ目でのＸ線の漏洩は防止され
る。
【００６８】本実施の形態ではブロックの段数を２段と
して説明したが、２段以上であっても良い。
【００６９】また、側面のブロックの材料を焼結した硫
酸バリウムとして説明したが、バリウム塩を主成分と
し、例えば硫酸バリウムと異種金属の混合物、硫酸バリ
ウム焼結物、硫酸バリウムと樹脂材料の混錬物、硫酸バ
リウムの板金等への溶着物、またタングステンと異種金
属の混合物、タングステン焼結物、タングステンと樹脂
材料の混錬物、タングステンの板金等への溶着物、スズ
等の原子番号５０以上、密度３以上の元素から構成され
れば良い。
【００７０】（実施の形態６）以下、本発明の第５の実
施の形態について説明する。
【００７１】図４は本発明の第５の実施の形態における
Ｘ線撮影装置の構成を示す概略図である。
【００７２】図４において４０はタングステンを含有し
たゴムシートからなる遮蔽部である。他の符号について
は図１に示した実施の形態と同様の構成なので説明を省
略する。タングステンは実施の形態１で説明したとおり
高い遮蔽能力を有する。
【００７３】本実施の形態でタングステンを含有したゴ
ムシート４０はつなぎ目で重なりあう。したがってＸ線
発生源１から発せられるＸ線ビーム３はつなぎ目を素通
りすることはなく、前記ゴムシートのつなぎ目でのＸ線
の漏洩は防止される。本実施の形態例では一定サイズの
ゴムシートのつなぎ合わせにて遮蔽部のサイズを調整す
ることができるのでＸ線ビームサイズの変更にも柔軟に
対応できる。
【００７４】本実施の形態では、ゴムシートタングステ
ンを含有させたが、実施の形態４と同様に原子番号５０
以上、密度３以上の元素から構成されれば良い。
【００７５】（実施の形態７）図５において５０は硫酸
バリウムを充填したハニカム状の金属構造材からなる遮
蔽部である。他の符号については図１に示した実施の形
態と同様の構成なので説明を省略する。
【００７６】バリウムは原子番号５６、密度３．５の材
料であり、上述したとおりＸ線の遮蔽能力は実施の形態
例２で説明したとおりである。そのため、遮蔽部２０に
入射したＸ線は吸収され外部への漏洩が防がれる。
【００７７】またＸ線ビーム３はコーリメータ２によっ
てＸ線センサ７での撮影に必要な大きさに絞られている
ので装置内での散乱因子が少なくなり、装置筐体１２の
側壁への遮蔽部の取り付けが不要となる。
【００７８】この遮蔽部５０はハニカム状の金属構造体
に硫酸バリウムを充填し固着したものであり、例えば、
金属構造体は鉄、ＳＵＳ、タングステン等の重い金属か
ら構成する。
【００７９】本実施の形態では、金属構造体に硫酸バリ
ウムを充填したが、実施の形態４と同様に原子番号５０
以上、密度３以上の元素から構成されれば良い。
【００８０】（実施の形態８）以下、本発明の第７の実
施の形態について説明する。
【００８１】図６は本発明の第６の実施の形態における
Ｘ線撮影装置の構成を示す概略図である。
【００８２】本発明ではＸ線発生源１のＸ線照射口に複
数個の異なる穴径の貫通孔６１ａ及び６１ｂを形成した
コーリメータ６０が設けられ、モータ６２で回転しＸ線
発生源１のＸ線出射口の中心位置に貫通孔６１ｂもしく
は６１ａの中心が位置するように移動される。
【００８３】本実施の形態の構成によりコーリメータの
貫通孔の径を変えることができＸ線ビーム３を絞りサイ
ズをＸ線センサ７のサイズに合わせることができる。
【００８４】従って異なるサイズのＸ線センサを装着し
ても簡単に対応できる。
【００８５】また貫通孔のない位置にコーリメータ６０
を位置させることによりＸ線のシャッタとして使うこと
もできる。
【００８６】なお本実施の形態ではコーリメータ６０に
設けられた貫通孔を２種類としたがこれ以上多くても良
い。また貫通孔を選択する手段としてモータ６２での回
転を説明したが縦長のスライド方式やリニアモータでの
スライド方式も考えられる。
【００８７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のＸ線撮影装置では鉛を使用せずに装置外部へのＸ線の
漏洩を防止でき、環境負荷のないＸ線撮影装置を提供で
きる。
【００８８】さらにＸ線発生源の出射口にＸ線の照射野
をＸ線センサおよびその周辺部に絞るコーリメータを設
けることにより必要部以外の場所へのＸ線の照射が防が
れ装置内での散乱線の発生が最小限に抑制される。
【００８９】従って装置の側面の遮蔽部の添付が不要と
なり軽量のＸ線撮影装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１〜３におけるＸ線撮影装
置の構成を示す概略図
【図２】本発明の実施の形態４におけるＸ線撮影装置の
構成を示す概略図
【図３】本発明の実施の形態５におけるＸ線撮影装置の
構成を示す概略図
【図４】本発明の実施の形態６におけるＸ線撮影装置の
構成を示す概略図
【図５】本発明の実施の形態７におけるＸ線撮影装置の
構成を示す概略図
【図６】本発明の実施の形態８におけるＸ線撮影装置の
構成を示す概略図
【図７】従来のＸ線撮影装置の構成を示す概略図
【符号の説明】
１ Ｘ線発生源 ２ コーリメータ ４ 遮蔽部 ７ Ｘ線センサ ２０、３０ 硫酸バリウムブロック ４０ タングステンシート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ２１Ｆ 1/06 Ｇ２１Ｆ 1/06 1/08 1/08 3/00 3/00 Ｇ Ｓ Ｇ２１Ｋ 1/02 Ｇ２１Ｋ 1/02 Ｒ 1/04 1/04 Ｒ 5/02 5/02 Ｘ Ｈ０５Ｇ 1/54 Ｈ０５Ｇ 1/54 Ａ (72)発明者 土師 信幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 馬場 末喜 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 栗秋 博幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 清水 隆 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Ｆターム(参考） 2G001 AA01 BA11 CA01 DA09 KA03 SA04 SA14 2G088 EE01 EE30 FF02 JJ05 JJ29 JJ35 JJ36 JJ37 4C092 AB18 AB27 EE12 EE19 4C093 AA01 CA32 CA33 CA34 EA14 EB30 EC60 EE11

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】角度を有する放射状にＸ線を出射するＸ線
    発生源と、Ｘ線を出射して検査する被検査物の前記Ｘ線
    発生源とは反対側に配置したＸ線画像を撮像するための
    Ｘ線センサと、前記Ｘ線発生源と前記Ｘ線センサを収納
    した筐体を備え、前記Ｘ線発生源のＸ線の出射口に対向
    し、前記Ｘ線発生源から見てＸ線センサの少なくとも背
    面側に遮蔽部を設けたことを特徴とするＸ線撮像装置。
  2. 【請求項２】Ｘ線センサの有効撮像領域を、前記Ｘ線発
    生源のＸ線の出射口に対向する面の大きさに対して十分
    に小さくし、かつ前記Ｘ線センサの背面側に少なくとも
    前記Ｘ線センサよりも大きい遮蔽部を設けた請求項１記
    載のＸ線撮像装置。
  3. 【請求項３】Ｘ線発生源のＸ線の出射口から放射状にＸ
    線ビームが発せられ、Ｘ線ビームの大きさがＸ線センサ
    のＸ線入射側の面において、前記Ｘ線センサの有効撮像
    領域及びその近傍部のみに照射されるように絞られ、前
    記Ｘ線センサのＸ線発生源に対して背面側に設けた遮蔽
    部の大きさが遮蔽部の配置位置におけるＸ線ビームサイ
    ズ以上であることを特徴とする請求項１または２記載の
    Ｘ線撮像装置。
  4. 【請求項４】Ｘ線遮蔽部をＸ線遮蔽材料からなる複数の
    ブロックで形成し、その大きさとしてＸ線ビームの大き
    さに合わせて前記ビームの大きさ以上の大きさとなるよ
    うに前記ブロックを組合わせたことを特徴とする請求項
    １から３のいずれかに記載のＸ線撮像装置。
  5. 【請求項５】Ｘ線遮蔽材料からなるブロックの側面が垂
    直でなく角度を有し、前記ブロックを組合わせた場合、
    前記つなぎ目がＸ線ビームの進行方向に対して水平面を
    形成しないことを特徴とする請求項４記載のＸ線検査装
    置。
  6. 【請求項６】Ｘ線遮蔽材料からなるブロックの側面が垂
    直でなく２段以上の複数段からなり、前記ブロックの組
    合わせにおいて各段が重なり合うように接続されたこと
    を特徴とする請求項４記載のＸ線撮像装置。
  7. 【請求項７】Ｘ線遮蔽部がＸ線遮蔽材料を含有する柔軟
    性を有するシート状のブロックからなることを特徴とす
    る請求項１から３のいずれかに記載のＸ線撮像装置。
  8. 【請求項８】Ｘ線遮蔽材料を含有するシート状のブロッ
    クを複数配置する際に各端部が重なり合い、かつＸ線ビ
    ームの大きさ以上の大きさとなるように組合わせたこと
    を特徴とする請求項７記載のＸ線撮像装置。
  9. 【請求項９】Ｘ線遮蔽部が空間部分を有する構造材の空
    間部分に遮蔽材量を充填し固定したことを特徴とする請
    求項４記載のＸ線撮像装置。
  10. 【請求項１０】Ｘ線発生源のＸ線出射口にＸ線センサの
    サイズに合わせて貫通孔を形成したコーリメータを装着
    する機構を配置し、前記機構はＸ線センサのサイズに合
    わせて装着するコーリメータを変更できることを特徴と
    する請求項１から９のいずれかに記載のＸ線撮像装置。
  11. 【請求項１１】Ｘ線発生源のＸ線出射口に複数個のサイ
    ズの異なる貫通孔が形成されたＸ線遮蔽板が設けられ、
    撮影時にＸ線センサのサイズに合わせたサイズの貫通孔
    がその中心がＸ線照射中心と同じ位置に位置することを
    特徴とする請求項１から９のいずれかに記載のＸ線撮像
    装置。
  12. 【請求項１２】Ｘ線ビームの大きさがＸ線センサのＸ線
    入射側の面において前記Ｘ線センサの有効撮像領域の大
    きさ以上になるように貫通孔の大きさを規定した請求項
    ９または１０記載のＸ線撮像装置。
  13. 【請求項１３】Ｘ線遮蔽材料が原子番号５０以上、密度
    ３以上の元素から構成され、かつ鉛でないことを特徴と
    する請求項１から１２のいずれかに記載のＸ線撮像装
    置。
  14. 【請求項１４】Ｘ線遮蔽材料がタングステンであること
    を特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載のＸ線
    撮像装置。
  15. 【請求項１５】Ｘ線遮蔽材料がバリウム塩であることを
    特徴とする請求項１から１２のいずれかに記載のＸ線撮
    像装置。
  16. 【請求項１６】Ｘ線遮蔽材料がスズであることを特徴と
    する請求項１から１２のいずれかに記載のＸ線撮像装
    置。
  17. 【請求項１７】Ｘ線遮蔽部を構成するブロックが焼結体
    であることを特徴とする請求項１から１４のいずれかに
    記載のＸ線撮像装置。
  18. 【請求項１８】構造材として、ハニカム状の金属を用い
    た請求項９記載のＸ線撮像装置。
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