JP2002353472A - 光検出装置および方法 - Google Patents

光検出装置および方法

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JP2002353472A JP2001158314A JP2001158314A JP2002353472A JP 2002353472 A JP2002353472 A JP 2002353472A JP 2001158314 A JP2001158314 A JP 2001158314A JP 2001158314 A JP2001158314 A JP 2001158314A JP 2002353472 A JP2002353472 A JP 2002353472A
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Takashi Shiyouji
たか志 荘司
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光検出装置において、薄型でありながら、高
感度かつ高S/Nに光検出することを可能にする。 【解決手段】 記録光L1に対して透過性を有するガラ
ス基板11、記録光L1に対して透過性を有する第1導
電層12、記録光L1の照射を受けることにより導電性
を呈する光導電層13、絶縁性を有する誘電体層14、
読取光L2に対して透過性を有する第2導電層15を、
この順に積層して静電記録体1を構成する。この静電記
録体1に電源60により直流電圧を印加して両導電層1
2および15を帯電させた後、記録光照射手段90によ
り被写体9を照射し、光導電層13と誘電体層14との
界面に静電潜像を記録する。静電潜像が記録された後、
導電層12および15を短絡し同電位に帯電させて電荷
の再配分を行った後に読取用露光手段92により読取光
L2を走査しながら露光して、静電記録体1から流れ出
す電流を電流検出手段70で検出することにより静電潜
像を読み取る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、アモルファスセレ
ン光導電体を用いて高感度に光検出を行う光検出装置並
びにそれを用いた光検出方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】現在、高感度かつ高S/Nである光検出
装置として、アモルファスセレン光導電体を撮像管用光
導電ターゲットとして利用するSuper-HARP(High-gain A
valanche Rushing amorphous Photoconductor)撮像管が
開発されている(“超高感度Super-HARP撮像管”;テレ
ビジョン学会誌 Vol.46,No.9, pp.1189-1198)。このSup
er-HARP撮像管は、アモルファスセレン光導電体をター
ゲットとして用い、このアモルファスセレン光導電体に
高電圧を印加してアバランシェ増幅を起こさせることに
より、取り出し得る電荷量を飛躍的に多くすることがで
き、従来の撮像管と比較して一層高画質の画像を得るこ
とができるものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、Super-
HARP撮像管は、真空管構造であり電子ビーム走査が必要
であるため装置が大型化してしまい、また、光検出部の
サイズも現状では1インチ程度の大きさが限度である。
【0004】そのため、薄型でありながら、高感度かつ
高S/Nの光検出装置が望まれている。
【0005】本発明は上記事情に鑑みてなされたもので
あって、薄型で高感度かつ高S/Nの光検出装置並びに
それを用いた光検出方法を提供することを目的とするも
のである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明による光検出装置
は、第1導電層、アモルファスセレンを主成分とする光
導電層、絶縁性を有する誘電体層、第2導電層をこの順
に積層してなる静電記録体と、第1導電層と第2導電層
との間を短絡する短絡手段とを備えたことを特徴とする
ものである。
【0007】本発明に使用される静電記録体は、上記の
第1導電層、光導電層、誘電体層、第2導電層以外に、
さらに他の層や微小導電部材(マイクロプレート)を積
層して成るものであってもかまわない。
【0008】また、本発明による光検出装置は、光導電
層にアバランシェ増倍を生ぜしめる電圧を、第1導電層
と第2導電層との間に印加する電圧印加手段をさらに備
えたものとすることができる。
【0009】本発明による光検出装置において、第1導
電層および第2導電層のいずれか一方を、複数の光透過
性線状電極からなるストライプ電極を備えたものとする
こともできる。
【0010】また、本発明による光検出装置において
は、静電記録体と読取光を照射する読取用露光手段とが
一体に形成されているものとしてもよく、その場合の読
取用露光手段は、EL光を照射するものとすることがで
きる。
【0011】本発明による第1の光検出方法は、記録光
が潜像電荷として記録された上記いずれかの光検出装置
から、静電記録体に読取光を照射することによって前記
潜像電荷を読み取る光検出方法において、読取光を照射
する前に、短絡手段により第1導電層と第2導電層との
間を短絡して同電位とすることを特徴とするものであ
る。
【0012】また、本発明による第2の光検出方法は、
記録光が潜像電荷として記録された、第1導電層および
第2導電層のいずれか一方を複数の光透過性線状電極か
らなるストライプ電極を備えたものとした光検出装置か
ら、静電記録体に読取光を照射することによって前記潜
像電荷を読み取る光検出方法において、読取光を照射す
る前に、短絡手段により第1導電層と第2導電層との間
を短絡して同電位とし、複数のストライプ電極のそれぞ
れに読取光を照射して各ストライプ電極毎に潜像電荷を
検出することにより潜像電荷の1次元情報を得ることを
特徴とするものである。
【0013】さらに、本発明による第3の光検出方法
は、記録光が潜像電荷として記録された、第1導電層お
よび第2導電層のいずれか一方を複数の光透過性線状電
極からなるストライプ電極を備えたものとした光検出装
置から、静電記録体に読取光を照射することによって前
記潜像電荷を読み取る光検出方法において、読取光を照
射する前に、短絡手段により第1導電層と第2導電層と
の間を短絡して同電位とし、複数のストライプ電極のそ
れぞれにストライプ長手方向に読取光を走査して各スト
ライプ電極毎に潜像電荷を検出することにより潜像電荷
の2次元情報を得ることを特徴とするものである。
【0014】
【発明の効果】本発明による光検出装置並びにそれを用
いた光検出方法は、第1導電層と第2導電層との間を短
絡する短絡手段をそなえ、潜像電荷を記録した後、読取
光を照射する前に、短絡手段により第1導電層と第2導
電層との間を短絡して同電位とするため、像の明部ほど
大きな電流が流れる系、すなわちポジ型の系となる。そ
のため、検出信号の平方根に比例するゆらぎ成分(ショ
ットノイズ)の影響を受けにくく、また、電源電圧変動
の影響がないため、薄型で、高感度かつ高S/Nな光検
出器とすることができる。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の光検出装置の具体
的な実施の形態について図面を用いて説明する。図1は
本発明の第1の実施の形態による光検出装置を用いた記
録読取システム(静電潜像記録装置と静電潜像読取装置
を一体にしたもの)の概略構成図を示すものである。
【0016】この記録読取システムは、静電記録体1、
記録光照射手段90、電源60、電流検出手段70、読
取用露光手段92並びに接続手段S1からなり、静電潜
像記録装置部分は静電記録体1、電源60、記録光照射
手段90並びに接続手段S1からなり、静電潜像読取装
置部分は静電記録体1並びに電流検出手段70からな
る。
【0017】静電記録体1は、記録光L1に対して透過
性を有するガラス基板11、記録光L1に対して透過性
を有する第1導電層12、記録光L1の照射を受けるこ
とにより導電性を呈する光導電層13、絶縁性を有する
誘電体層14、読取光L2に対して透過性を有する第2
導電層15を、この順に積層してなるものである。
【0018】ここで、導電層12および15としては、
例えば、ITO(Indium Tin Oxide)が適当であり、光
導電層13としては、アモルファスセレン(a−Se)
等を主成分とし、アバランシェ増幅作用を呈する光導
電性物質が適当である。また、アモルファスセレンは5
00nm以下の波長に対する感度は高いが500nm以
上の波長に対する感度は低いため、Teをドープするこ
とにより可視域全体に対して感度を持たせることが可能
である。
【0019】さらに、静電記録体1は上記の層構成に限
らず、例えば光導電層13の下層および、または誘電体
層14の上層に電荷注入阻止層を設けるものとしてもよ
い。
【0020】静電記録体1の第2導電層15は電源60
の負極に接続されている。電源60の正極は接続手段S
1を介して接地されるとともに、電流検出手段70に接
続されている。また、第1導電層12は電流検出手段7
0に接続されている。電流検出手段70はオペアンプか
らなる検出アンプ70aと帰還抵抗70bとからなり、
いわゆる電流電圧変換回路を構成している。
【0021】ガラス基板11の下面側には被写体9が配
設され、被写体9は記録光L1に対して透過性を有する
部分9aと透過性を有しない遮断部(遮光部)9bが存
在する。記録光照射手段90は記録光L1を被写体9に
一様に照射するものである。
【0022】なお、記録光L1により静電潜像が記録さ
れた静電記録体1の第2導電層15に一様の読取光を照
射して静電潜像を読み取る場合は、記録光L1を検出す
る0次元センサとして機能する。また、記録光L1によ
り静電潜像が記録された静電記録体1の第2導電層15
を読取光で線状走査して静電潜像を読み取る場合は、記
録光L1を検出する1次元センサとして機能する。
【0023】本実施の形態においては、読取用露光手段
92は赤外線レーザ光等の読取光L2を図1中の矢印方
向へ走査露光するものであり、読取光L2は細径に収束
されたビーム形状をしていることが望ましい。
【0024】次に、上記構成の記録読取システムにおけ
る静電潜像記録過程並びに静電潜像読取過程について説
明する。最初に静電潜像記録過程について電荷モデル
(図2)を参照しつつ説明する。図1において、接続手
段S1を電源60側に接続し、導電層12と導電層15
との間に電源60による直流電圧Edを印加し、電源6
0から負の電荷を導電層15に、正の電荷を導電層12
に帯電させる(図2(A)参照)。これにより、静電記
録体1には導電層12と15との間に平行な電場が形成
される。このとき直流電圧Edを、光導電層13に対し
て約100V/μmの電界強度が加わるような電圧にす
ることにより、光導電層13内でアバランシェ増幅作用
が働くようなり、これにより、発生電荷量を増幅させる
ことが可能となり、十分大きな信号を得ることができる
と同時に、明電流と暗電流の比を増大させ、S/Nよく
信号を得ることができる。
【0025】次に記録光照射手段90から記録光L1を
被写体9に向けて一様に照射する。記録光L1は被写体
9の透過部9aを透過し、さらにガラス基板11および
導電層12をも透過する。光導電層13はこの透過した
記録光L1を受け導電性を呈するようになる。これは記
録光L1の光量に応じて可変の抵抗値を示す可変抵抗器
として作用することで理解され、抵抗値は記録光L1に
よって電子(負電荷)とホール(正電荷)の電荷対が生
じることに依存し、被写体9を透過した記録光L1の光
量が少なければ大きな抵抗値を示すものである(図2
(B)参照)。なお、X線等の放射線を記録光L1とし
て使用したときは線量と表現すべきであるが、ここでは
線量も含めて光量として表現するものとする。また、記
録光L1によって生成される負電荷(−)および正電荷
(+)を、図面上では−または+を○で囲んで表すもの
とする。
【0026】光導電層13中に生じた負電荷は光導電層
13中を導電層12に向かって高速に移動し、導電層1
2と光導電層13との界面で導電層12に帯電している
正電荷と電荷再結合して消滅する(図2(C)、(D)
を参照)。一方、光導電層13中に生じた正電荷は光導
電層13中を誘電体層14に向かって移動する。誘電体
層14は絶縁体として作用するものであるから、光導電
層13中を移動してきた正電荷は光導電層13と誘電体
層14との界面で停止し、この界面に蓄積されることに
なる(図2(C)、(D)を参照)。蓄積される電荷量
は光導電層13中に生じる正電荷の量、即ち、記録光L
1の被写体9を透過した光量によって定まるものであ
る。
【0027】一方、記録光L1は被写体9の遮光部9b
を透過しないから、静電記録体1の遮光部9bの上部に
あたる部分は何ら変化を生じない(図2(B)〜(D)
を参照)。
【0028】このようにして、被写体9に記録光L1を
照射することにより、被写体像に応じた電荷を光導電層
13と誘電体層14との界面に蓄積することができるよ
うになる。尚、この蓄積せしめられた電荷による被写体
像を静電潜像という。上記説明で明らかなように、本発
明にかかる静電記録体1に静電潜像を記録する装置の構
成は極めて簡単なものであり、記録作業も極めて簡単な
ものとなる。
【0029】次に静電潜像読取過程について電荷モデル
(図3)を参照しつつ説明する。接続手段S1を開放し
電源供給を停止し、上記説明のようにして静電潜像が記
録された静電記録体1の導電層12および15を同電位
にして電荷の再配分を行う(図3(A)参照)。
【0030】読取用露光手段92により読取光L2を静
電記録体1の導電層15側から走査しながら露光する
と、読取光L2は導電層15および誘電体層14を透過
し、この透過した読取光L2が照射された光導電層13
は走査露光に応じて導電性を呈するようになる(図3
(B)を参照)。なお、記録過程と同様に、読取光L2
によって生成される負電荷(−)および正電荷(+)
を、図面上では−または+を○で囲んで表すものとす
る。
【0031】光導電層13中に生じた正電荷は光導電層
13中を導電層12に向かって高速に移動し、導電層1
2と光導電層13との界面で導電層12に帯電している
負電荷と電荷再結合して消滅する(図3(C)を参
照)。一方、光導電層13中に生じた負電荷は光導電層
13中を誘電体層14に向かって移動し、光導電層13
と誘電体層14との界面で蓄積電荷と電荷再結合をし消
滅する(図3(C)を参照)。このように、静電記録体
1に蓄積されていた電荷が消滅した結果、電界のバラン
スを保つために電流Iが導電層15から導電層12に向
かって流れ、これを電流検出手段70で電圧に変換して
検出する。
【0032】また、一般に、静電潜像を読み取る際に
は、蓄積電荷が消滅することにより生じる信号電流の他
に、静電記録体に蓄積している全電荷の量に比例する暗
電流も流れ、信号電流は暗電流に重畳して検出されるこ
ととなる。これは、読み取られた静電潜像に暗電流によ
るノイズが含まれることを意味する。さらに、このよう
にして静電潜像が読み出された後の静電記録体1には、
理想的には蓄積電荷は存在しないことになるから、静電
記録体1に改めて静電潜像を記録するに際して消去を行
うプロセスが不要であり、直ちに上記記録過程を行うこ
とが可能である。しかし、実際はわずかに静電潜像が残
留することがあるが、その場合は、もう一度読取光を照
射することにより消去可能である。
【0033】次に図4から図6を参照して本発明の第2
の実施の形態による光検出装置を用いた記録読取システ
ムについて詳細に説明する。なお、図4から図6におい
て、図1中の要素と同等の要素には同番号を付し、それ
らについての説明は特に必要のない限り省略する。
【0034】図4は第2の実施の形態にかかる静電記録
体2の斜視図であり、導電層12が複数の光透過性線状
電極からなるストライプ電極を備えたものである点にお
いて、上記第1の実施の形態にかかる静電記録体1と異
なる。
【0035】本実施の形態による静電記録体2として
は、以下のようにして製造されたものを使用する。
【0036】ガラス基板11上に、導電層12としてI
TOをスパッタ等で製膜した後、エッチング処理を行っ
て、ストライプ電極12aを形成する。次に光導電層1
3として、ストライプ電極12a上にアモルファスセレ
ンを4〜25μmの厚さで熱蒸着する。次に誘電体層1
4として、光導電層13上にPETまたはポリイミド塗
布または蒸着して製膜する。最後に導電層15として、
誘電体層14上にITOを製膜する。
【0037】ここで、導電層12と光導電層13との間
にCeO薄膜などによる電荷注入阻止層を製膜しても
よい。
【0038】なお、記録光L1により静電潜像が記録さ
れた静電記録体2の第2導電層15に一様の読取光を照
射して静電潜像を読み取る場合は、記録光L1を検出す
る1次元センサとして機能する。また、記録光L1によ
り静電潜像が記録された静電記録体2の第2導電層15
を読取光で線状走査して静電潜像を読み取る場合は、記
録光L1を検出する2次元センサとして機能する。
【0039】本実施の形態においては、静電記録体2を
2次元センサとして機能させる態様について説明する。
【0040】次に静電記録体2の静電潜像記録過程およ
び読取過程について、図5に示す記録読取システムを参
照して説明する。図5に示すように、このシステムは、
静電記録体2、電流検出手段71、図示しない記録光照
射手段および読取用露光手段93からなり、読取用露光
手段93は、ライン状に略一様な読取光L2を導電層1
2のストライプ電極12aの長手方向と概略直交させつ
つ、ストライプ電極12aの長手方向、即ち図中の矢印
で示す走査方向に走査露光するものである(このような
露光手段をライン状露光手段という)。このように静電
記録体2を用いれば、レーザビームによることなく、読
取用露光手段93をライン状露光手段による構成とする
ことが可能であり、走査光学系の構成が極めて簡易で低
コストなもので読取装置を構成することが可能となる。
また、インコヒーレントな光源が使用できることになる
ため、ガラス基板11内で生じる干渉縞ノイズの発生を
防止することも可能となる。尚、上述の図1のようなビ
ーム状の読取光を走査露光する装置により構成すること
も可能である。
【0041】図6は、静電記録体2の側断面とともに電
流検出手段71を詳細に示したブロック図である。
【0042】図6に示すように、電流検出手段71は導
電層12の各ストライプ電極12a毎に接続された多数
の電流検出アンプ71aを有しており、読取光L2の露
光により各ストライプ電極12aに流れる電流を各スト
ライプ電極12a毎に並列的に検出するものである。静
電記録体2の導電層15は電源71cの負極に接続され
ている。電源71cの正極は接続手段71bを介して接
地されるとともに、電流検出アンプ71aに接続されて
いる。
【0043】以下図6を参照して、静電記録体2に静電
潜像を記録し、該静電記録体2から静電潜像を読み取る
方法について説明する。
【0044】先ず接続手段71bを電源71cの正極側
に接続して第1の実施の形態と同様の方法により静電潜
像を静電記録体2に記録する。記録終了後、接続手段7
1bを静電記録体2の導電層15側に接続する。読取用
露光手段93により読取光L2を走査露光することによ
り、静電記録体2の導電層15から電流検出アンプ71
aを介して導電層12の各ストライプ電極12aに電流
Iが流れる。各電流検出アンプ71aにおいては、この
電流Iによって積分コンデンサ71eが充電され、流れ
る電流量に応じて積分コンデンサ71eに電荷が蓄積さ
れ、積分コンデンサ71eの両端の電圧が変化する。し
たがって、走査露光中の画素と画素の間に接続手段71
fをオンして積分コンデンサ71eに蓄積された電荷を
放電させることにより、積分コンデンサ71eの両端に
は次々と画素毎の蓄積電荷に対応して電圧の変化が観測
されることとなる。この電圧の変化は、静電記録体2に
蓄積されていた各画素毎の電荷と対応するものである。
さらに、各ストライプ電極12a毎に接続された各電流
検出アンプ71aの出力をマルチプレクサ20に入力し
て合成し、AD変換器21によりデジタル変換すること
により、静電記録体2に記録された静電潜像が表す2次
元画像を得ることができる。
【0045】次に図7を参照して本発明の第3の実施の
形態による光検出装置を用いた記録読取システムについ
て詳細に説明する。なお、図7において、図1中の要素
と同等の要素には同番号を付し、それらについての説明
は特に必要のない限り省略する。
【0046】図7は第3の実施の形態にかかる記録読取
システム(記録光照射手段は図示省略)の構成図であ
り、静電記録体2と面状光源30とが一体に形成された
点において、上記第2の実施の形態にかかる記録読取シ
ステムと異なる。
【0047】図8は本実施の形態の静電記録体2および
面状光源30の概略構成を示す図であって、図8(A)
は静電記録体2および面状光源30を断面図で示した
図、図8図(B)は図8(A)におけるP−P線断面図
である。
【0048】面状光源30は、多数のライン状微小EL
発光体37とガラス製の基板31とから構成されてい
る。各ライン状微小EL発光体37は、ストライプ電極
34aと、EL層35と、平板電極36とからなる。
【0049】本実施の形態による記録読取システムに用
いられる面状光源30としては、以下のようにして製造
されたものを使用する。
【0050】先ず、ガラス基板31のライン状微小EL
発光体37が配される側の面に、プレス成形により、底
面が湾曲形状の多数の微小凹溝38を100μmピッチ
で形成する。
【0051】次に、ガラス基板31に、絶縁層33を塗
布などによって製膜する。この絶縁層33としては、耐
エッチング性の強いものを使用する。また、絶縁層33
として、屈折率の適当な材質(本例においては、ガラス
基板31よりも屈折率の大きなもの)を選ぶことによ
り、ガラス基板31との界面32で光が屈折し、ガラス
基板31の各微小凹溝38部がそれぞれシリンドリカル
レンズとして作用する。
【0052】次に、絶縁層33上に、アモルファス状光
透過性酸化膜である、IDIXO(Idemitsu Indium X-
metal Oxide ;出光興産(株))を製膜した後、各微小
凹溝38の光学中心が電極の中心と合致するように、I
DIXOに対してエッチング処理を行って、IDIXO
からなるストライプ電極34aを形成する。
【0053】IDIXOはエッチングし易い膜であり、
ストライプ電極34aをなす電極部材としてこのIDI
XOを用いると、エッチング処理の際に、絶縁層33を
溶かす虞れが少なくなり、絶縁層33の選択範囲も広く
なる。
【0054】次に、ガラス基板31のストライプ電極3
4a側にEL層35を製膜する。このEL層35は、無
機材料で形成された無機EL層であってもよいし、有機
材料で形成された有機EL層であってもよい。
【0055】最後にEL層35上に平板電極36が形成
されるように導電層を製膜する。平板電極36は、EL
層35から発せられるEL光を略全反射させるMgAg
で形成するのが好ましい。
【0056】このようにして製造された面状光源30と
静電記録体2とを、導電層15およびガラス基板31同
士が対向し、静電記録体2のストライプ電極12aと面
状光源30のストライプ電極34aとが直交するように
貼り合わせて、両者を一体化させる。
【0057】また、面状光源30の各ストライプ電極3
4aおよび平板電極36は、光源制御手段40に接続さ
れる。光源制御手段40は、各ストライプ電極34aを
順次切り替えながら、夫々のストライプ電極34aと平
板電極36との間に所定の直流電圧を印加する。この直
流電圧の印加によりストライプ電極34aと平板電極3
6とに挟まれたEL層35からEL光が発せられる。ス
トライプ電極34aはライン状(線状)になっているか
ら、ストライプ電極34aを透過したEL光はライン状
の読取光として利用できる。つまり、面状光源30は、
ストライプ電極34a、EL層35および平板電極36
からなるライン状微小EL発光体37が多数配列された
ものとして構成され、ストライプ電極34aを順次切り
替えてEL層35からEL発光させることにより、ライ
ン状の読取光で静電記録体2を電気的に走査することが
できるようになる。
【0058】上記説明においては、静電記録体の第1導
電層に正電荷を、第2導電層に負電荷を帯電させて、光
導電層と誘電体層との界面に正電荷を蓄積せしめるもの
について説明したが、本発明は必ずしもこのようなもの
に限るものではなく、それぞれが逆極性の電荷であって
も良く、このように極性を逆転させる際には、記録時の
電源の極性を逆転させる等の若干の変更を行うことで、
上記説明と同様の記録および読取装置を実現することが
できる。
【0059】また、上記説明は、記録光を第1導電層側
に照射するものについて説明したものであるが、本発明
は必ずしもこれに限定されるものではない。具体的に
は、第2導電層,誘電体層を記録光に対して透過性を有
するものとすれば、第2導電層側から記録光を照射し
て、光導電層が導電性を呈するようにすることが可能で
ある。すなわち、本発明による静電記録体は、第1導電
層或いは第2導電層の何れの方向からでも記録光を照射
することが可能であるように構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態による光検出装置を
用いた記録読取システム(静電潜像記録装置と静電潜像
読取装置を一体にしたもの)の構成図
【図2】静電記録体に静電潜像を記録する方法を説明す
る図
【図3】静電記録体に記録された静電潜像を読み取る方
法を説明する図
【図4】本発明の第2の実施の形態による光検出装置を
用いた記録読取システムの静電記録体の斜視図
【図5】本発明の第2の実施の形態による光検出装置を
用いた記録読取システムの構成図
【図6】本発明の第2の実施の形態による光検出装置を
用いた記録読取システムの構成図
【図7】本発明の第3の実施の形態による光検出装置を
用いた記録読取システムの構成図
【図8】本発明の第3の実施の形態による光検出装置を
用いた記録読取システムの構成図
【符号の説明】
1、2 静電記録体 9 被写体 11 ガラス基板 12 第1の導電層 13 光導電層 14 誘電体層 15 第2の導電層 20 マルチプレクサ 21 AD変換器 30 面状光源 31 ガラス基板 33 絶縁層 34a ストライプ電極 35 EL層 36 平板電極 37 ライン状微小EL発光体37 40 光源制御手段 60 直流電源 70,71 電流検出手段 90 記録光照射手段 92、93 読取用露光手段 S1 接続手段 L1 記録光 L2 読取光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/08 H01L 31/08 R

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1導電層、アモルファスセレンを主成
    分とする光導電層、絶縁性を有する誘電体層、第2導電
    層をこの順に積層してなる静電記録体と、 前記第1導電層と前記第2導電層との間を短絡する短絡
    手段とを備えたことを特徴とする光検出装置。
  2. 【請求項2】 前記光導電層にアバランシェ増幅を生ぜ
    しめる電圧を、前記第1導電層と前記第2導電層との間
    に印加する電圧印加手段をさらに備えたことを特徴とす
    る請求項1記載の光検出装置。
  3. 【請求項3】 前記第1導電層および前記第2導電層の
    いずれか一方が、複数の光透過性線状電極からなるスト
    ライプ電極を備えたものであることを特徴とする請求項
    1または2記載の光検出装置。
  4. 【請求項4】 前記静電記録体と読取光を照射する読取
    用露光手段とが一体に形成されていることを特徴とする
    請求項1から3のいずれか1項記載の光検出装置。
  5. 【請求項5】 前記読取用露光手段が、EL光を照射す
    るものであることを特徴とする請求項4記載の光検出装
    置。
  6. 【請求項6】 記録光が潜像電荷として記録された請求
    項1から5のいずれか1項記載の光検出装置から、前記
    静電記録体に読取光を照射することによって前記潜像電
    荷を読み取る光検出方法において、 前記読取光を照射する前に、前記短絡手段により前記第
    1導電層と前記第2導電層との間を短絡して同電位とす
    ることを特徴とする光検出方法。
  7. 【請求項7】 記録光が潜像電荷として記録された請求
    項3記載の光検出装置から、前記静電記録体に読取光を
    照射することによって前記潜像電荷を読み取る光検出方
    法において、 前記読取光を照射する前に、前記短絡手段により前記第
    1導電層と前記第2導電層との間を短絡して同電位と
    し、 前記複数のストライプ電極のそれぞれに前記読取光を照
    射して各ストライプ電極毎に前記潜像電荷を検出するこ
    とにより前記潜像電荷の1次元情報を得ることを特徴と
    する光検出方法。
  8. 【請求項8】 記録光が潜像電荷として記録された請求
    項3記載の光検出装置から、前記静電記録体に読取光を
    照射することによって前記潜像電荷を読み取る光検出方
    法において、 前記読取光を照射する前に、前記短絡手段により前記第
    1導電層と前記第2導電層との間を短絡して同電位と
    し、 前記複数のストライプ電極のそれぞれにストライプ長手
    方向に前記読取光を走査して各ストライプ電極毎に前記
    潜像電荷を検出することにより前記潜像電荷の2次元情
    報を得ることを特徴とする光検出方法。
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