JP2002350656A - 平面導波路型光フィルタ - Google Patents

平面導波路型光フィルタ

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JP2002350656A
JP2002350656A JP2001155205A JP2001155205A JP2002350656A JP 2002350656 A JP2002350656 A JP 2002350656A JP 2001155205 A JP2001155205 A JP 2001155205A JP 2001155205 A JP2001155205 A JP 2001155205A JP 2002350656 A JP2002350656 A JP 2002350656A
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Hitoshi Hatayama
均 畑山
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  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 外部温度または外部から負荷される応力等の
外部環境が変化した場合でも安定な光学特性を有する平
面導波路型光フィルタを提供する。 【解決手段】 基板100上には光導波路である主光路
110、副光路120、光入力端101から光出力端1
02へ順に、第一の光カプラ141、第二の光カプラ1
42および第三の光カプラ143が設けられ、主光路1
10と副光路120、第一の光カプラ141、第二の光
カプラ142および第三の光カプラ14は第一のマッハ
ツェンダ干渉計151および第二のマッハツェンダ干渉
計152を構成している。第一のマッハツェンダ干渉計
151と第二のマッハツェンダ干渉計152とで主光路
および副光路との間の光路長差を等しくする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、波長多重(WD
M)光通信において使用される平面導波路型光フィルタ
に関し、特に光増幅器における信号光の光増幅の利得を
等化する利得等化器等として好適な光フィルタに関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】WDM光通信は、送信局から送出された
波長1.55μm帯の多波長の信号光を光ファイバ伝送路に
一括して伝送させ、受信局で受信することにより大容量
・高速の光通信を行うものである。受信局で正常に受信
するためには、受信局に到達する多波長の信号光それぞ
れのパワーは互いにほぼ等しくなければならない。そこ
で、多波長の信号光それぞれにおける光ファイバ伝送路
での伝送損失の差や伝送路の途中に配備される光増幅器
の利得の差を補償するような損失スペクトルを有する光
フィルタが必要とされる。
【0003】例えば、特開平8−234050号公報
「モノリシック光導波路フィルタ」には、平面導波路か
ら形成される多段のマッハツェンダ干渉計からなる光フ
ィルタで、光増幅器の利得スペクトルとは反対の損失ス
ペクトルを設定することによって、多波長の信号光それ
ぞれのパワーを等しくする技術が記載されている。ま
た、文献「K. Inoue, et al., "Tunable Gain Equaliza
tion Using a Mach-Zehnder Optical Filter in Multis
tage Fiber Amplifiers", IEEE Photonics Technology
Letters, Vol.3, No.8, pp.718-720 (1991)」には、マ
ッハツェンダ干渉計におけるそれぞれの光路長差を各光
カプラの間の光路の温度を調整することによって、光フ
ィルタの損失スペクトルの傾斜を制御して、入力信号光
パワーの変動に伴う利得傾斜の変動を補償しようとする
技術が記載されている。
【0004】特開平8−234050号公報において
は、光フィルタにおける損失スペクトルの自由度を高め
るために、多段のマッハツェンダ干渉計におけるそれぞ
れの光路長差は互いに10%以上異なるように設定した
方が好ましい旨が記載されている。従来、多段のマッハ
ツェンダ干渉計から構成される光フィルタにおいては、
様々な損失スペクトルの形状に対応するために、マッハ
ツェンダ干渉計におけるそれぞれの光路長差は互いに異
なるように設定されていた。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、段数と
して2段のマッハツェンダ干渉計、すなわち第一および
第二のマッハツェンダ干渉計から構成される光フィルタ
においては、以下のような問題点を有している。2段の
マッハツェンダ干渉計から構成される光フィルタの場
合、光入力端から光出力端までの光透過率には、第一の
マッハツェンダ干渉計における光路長差と第二のマッハ
ツェンダ干渉計における光路長差との差分および光導波
路の実効屈折率に比例する引数を持つ正弦波の項が生じ
る。この正弦波の項は、第一と第二のマッハツェンダ干
渉計における光路長差が等しくない時、その光路長差の
差分に反比例する比較的長い波長周期成分となる。外部
温度または光回路に負荷される外部応力等の外部環境が
変動する場合、光導波路の実効屈折率も同時に変化する
が、この長い波長周期成分を持つ正弦波の項は、光導波
路の実効屈折率がわずかに変動してもその値が比較的大
きく変動してしまう。その結果、光フィルタ全体の光透
過率しいては光学特性が外部環境の変化に対して敏感と
なってしまう。
【0006】本発明は、上記問題点を解消するためにな
されたものであり、外部環境変化に対して安定な光学特
性を有する平面導波路型光フィルタを提供することを目
的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】この発明に係る平面導波
路型光フィルタは、光入力端から光出力端へ光を導波さ
せる主光路と、第一の光カプラ、第二の光カプラ及び第
三の光カプラそれぞれを介して主光路と光結合され、主
光路ならびに第一および第二の光カプラと共に第一のマ
ッハツェンダ干渉計を構成すると共に、主光路ならびに
第二および第三の光カプラと共に第二のマッハツェンダ
干渉計を構成する副光路とを備え、第一および第二のマ
ッハツェンダ干渉計における主光路および副光路との間
の光路長差が等しいことを特徴とする。
【0008】また、この発明に係る平面導波路型光フィ
ルタは、第一のマッハツェンダ干渉計には主光路および
副光路の双方または何れか一方の温度を調整する第一の
温度調整手段と、第二のマッハツェンダ干渉計には主光
路および副光路の双方または何れか一方の温度を調整す
る第二の温度調整手段とが付け加えられていても良い。
【0009】また、この発明に係る平面導波路型光フィ
ルタは、第一および第二の温度調整手段それぞれによる
温度調整を制御することで、光入力端から光出力端への
使用波長帯域における光の損失スペクトルの傾斜を調整
するのが好適である。
【0010】この発明に係る平面導波路型光フィルタに
おいては、様々な損失スペクトルの形状に対応できるよ
うに、第一および第二のマッハツェンダ干渉計における
主光路および副光路との間の光路長差を互いに異ならせ
る代わりに第一、第二及び第三の光カプラにおける光の
パワー結合率をそれぞれ調整して設定する。
【0011】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明にお
いて同じ部分には同じ番号を付して重複する説明を省略
する。
【0012】図1は、本発明に係る第一の実施形態であ
る平面導波路型光フィルタ1の構成図である。平面導波
路型光フィルタ1は、基板100上に形成された光導波
路である主光路110、副光路120を備えている。主
光路110は、基板100の一方の端面にある光入力端
101と他方の端面にある光出力端102との間に設け
られた光路である。主光路110の途中には、光入力端
101から光出力端102へ順に、第一の光カプラ14
1、第二の光カプラ142および第三の光カプラ143
が設けられている。主光路110と副光路120とは、
第一の光カプラ141、第二の光カプラ142および第
三の光カプラ143それぞれを介して互いに光結合され
ている。そして、主光路110と副光路120、第一の
光カプラ141および第二の光カプラ142は第一のマ
ッハツェンダ干渉計151を構成している。また、主光
路110と副光路120、第二の光カプラ142および
第三の光カプラ143は第二のマッハツェンダ干渉計1
52を構成している。
【0013】この平面導波路型光フィルタ1における光
入力端101から光出力端102への光透過率T
(λ)は、光の波長λ、第一の光カプラ141と第二
の光カプラ142との間における主光路110および副
光路120それぞれの光路長差ΔL 、第二の光カプラ
142と第三の光カプラ143との間における主光路1
10および副光路120それぞれの光路長差ΔL、光
カプラ141〜143それぞれでの光のパワー結合率C
〜C、ならびに、主光路110および副光路120
それぞれの実効屈折率nに依存する。
【0014】この平面導波路型光フィルタ1の光透過率
(λ)は、 (数1) T1(λ) = 1−C−C3+2CC3−2{CC3 (C-1)( C3-1)}0.5 co
s(2nπΔL2/λ) C = 1−C1−C2+2 C1C2−2{C1C2 (C1-1)( C2-1)}0.5 co
s(2nπΔL1/λ) なる式で表わされる。ここで、Cは、マッハツェンダ干
渉計151を一つの光カプラと想定したときに、この想
定した光カプラでの光のパワー結合率である。さらに、
(数1)を展開すれば、 (数2) T1(λ) = A cos(2nπΔL1/λ)+B cos(2nπΔL2/λ)+C
cos{2nπ(ΔL1+ΔL2)/λ}+D cos{2nπ(ΔL1-ΔL2)
/λ}+ E のように正弦関数の和で表わすことができる。ここで、
A、B、C、D及びEは光のパワー結合率C〜C
用いて算出される定数である。また、(数2)における
A、B、C及びDの各項は4つの異なる波長周期を持つ
正弦波を表わしている。
【0015】上記の(数2)におけるD項は、(ΔL
―ΔL)に反比例する波長周期を有する正弦波を表わ
しており、ΔLとΔLとが異なっていて、(ΔL
―ΔL)がΔLおよびΔLよりも小さい時、最も
長い波長周期を持つ成分となる。このような長い波長周
期を持つD項において、外界温度または外部から負荷さ
れる応力等の外部環境によって実効屈折率nが変化する
と、正弦関数の引数がn(ΔL―ΔL)/λに比例
するために、他の項と比較して敏感に変動してしまう。
このためにD項は、平面導波路型光フィルタ1の光透過
率T(λ)の外部環境依存性を大きくしてしまう。
【0016】そこで、本実施形態では、ΔLとΔL
とを同一にする、すなわち(ΔL―ΔL)=0にし
てD項を消去させ、外界温度または外部から負荷される
応力等の外部環境によって敏感に変動する長い波長周期
を持つ成分を無くしてしまう。これによって、外部環境
依存性の小さな光透過率T(λ)を持つ平面導波路型
光フィルタを実現させる。
【0017】図2は、本発明に係る第二の実施形態であ
る平面導波路型光フィルタ2の構成図である。平面導波
路型光フィルタ2は、基板100上に形成された光導波
路である主光路110、副光路120、ヒーター131
〜134、制御部200を備えている。主光路110、
副光路120の構成は第一の実施形態と同様である。
【0018】ヒーター131は、第一のカプラ141と
第二の光カプラ142との間における主光路110上に
設けられており、主光路110の温度を調整することに
より、主光路110の位相変化量を調整する。ヒーター
132は、第一のカプラ141と第二の光カプラ142
との間における副光路120上に設けられており、副光
路120の温度を調整することにより、副光路120の
位相変化量を調整する。ヒーター133は、第二のカプ
ラ142と第三の光カプラ143との間における主光路
110上に設けられており、主光路110の温度を調整
することにより、主光路110の位相変化量を調整す
る。ヒーター134は、第二のカプラ142と第三の光
カプラ143との間における副光路120上に設けられ
ており、副光路120の温度を調整することにより、副
光路120の位相変化量を調整する。ヒーター131〜
134それぞれの温度調整を制御する制御部200によ
り、光入力端101から光出力端102への光透過率が
調整され、さらには、使用波長帯域における光の損失ス
ペクトルの傾斜も調整される。
【0019】この平面導波路型光フィルタ2における光
入力端101から光出力端102への光透過率T
(λ)は、光の波長λ、第一の光カプラ141と第二
の光カプラ142との間における主光路110および副
光路120それぞれの光路長差ΔL 、第二の光カプラ
142と第三の光カプラ143との間における主光路1
10および副光路120それぞれの光路長差ΔL、光
カプラ141〜143それぞれでの光のパワー結合率C
〜C、ヒーター131および132により主光路1
10および副光路120それぞれが温度調整されたこと
に因る第一のマッハツェンダ干渉計151における光の
位相変化量Δφ、ヒーター133および134により
主光路110および副光路120それぞれが温度調整さ
れたことに因る第二のマッハツェンダ干渉計152にお
ける光の位相変化量Δφ、ならびに、主光路110お
よび副光路120それぞれの実効屈折率nに依存する。
【0020】この平面導波路型光フィルタ2の光透過率
(λ)は、 (数3) T2(λ) = 1−C−C3+2CC3−2{CC3 (C-1)( C3-1)}0.5 co
s{(2nπΔL2/λ)-Δφ2} C = 1−C1−C2+2C1C2−2{C1C2 (C1-1)( C2-1)}0.5 cos
{(2nπΔL1/λ)-Δφ1} なる式で表わされる。ここで、Cは、マッハツェンダ干
渉計151を一つの光カプラと想定したときに、この想
定した光カプラでの光のパワー結合率である。さらに、
(数3)を展開すれば、 (数4) T2(λ) = A cos{(2nπΔL1/λ)-Δφ1}+B cos{(2nπΔ
L2/λ)-Δφ2}+C cos{2nπ(ΔL1+ΔL2) /λ-(Δφ1+
Δφ2) }+D cos{2nπ(ΔL1-ΔL2) /λ-(Δφ1
φ2) }+E のように正弦関数の和で表わすことができる。ここで、
A、B、C、D及びEは光のパワー結合率C〜C
用いて算出される定数である。
【0021】上記の(数4)におけるD項は、温度調整
による位相変化量ΔφとΔφとがほぼ等しい状態で
は、第一の実施形態と同様に(ΔL―ΔL)に反比
例する波長周期を有する正弦波を表わしており、ΔL
とΔLとが異なっていて、(ΔL―ΔL)がΔL
およびΔLよりも小さい時、最も長い波長周期を持
つ成分となる。このような長い波長周期を持つD項は、
第一の実施形態と同じ理由により、外界温度、外部から
負荷される応力等の外部環境によって敏感に変動してし
まう。このためにD項は、平面導波路型光フィルタの光
透過率T(λ)の外部環境依存性を大きくしてしま
う。
【0022】そこで、第二の実施形態においても、(Δ
―ΔL)=0にしてD項を消去させ、外界温度、
外部から負荷される応力等の外部環境によって敏感に変
動する長い波長周期を持つ成分を無くしてしまう。これ
によって、外部環境依存性の小さな光透過率T(λ)
を持つ平面導波路型光フィルタを実現させる。
【0023】本発明の平面導波路型光フィルタの作製
は、例えば以下のように実施される。石英ガラス基板の
上に、厚み7μm程度で比屈折率差0.45%程度のG
eOが添加されたコア層を成膜した後、フォトリソグ
ラフィー・反応性イオンエッチングによって、図1で示
すようなコア形状パターンを加工する。次に、厚み30
μm程度のクラッド層を成膜する。その後に、基板をチ
ップ形状に切断して平面導波路型光フィルタ1が得られ
る。また、使用する導波路基板は石英ガラス以外にも上
層にガラス薄膜が成膜されたシリコン、アルミナ、また
は多成分ガラス等が適用可能である。また、コアおよび
クラッドから構成される光導波路の材質として石英系ガ
ラスの他に、半導体系またはポリマー系材質の光導波路
でも構わない。また、図2におけるヒーターの材質とし
て、例えばクロムなどが使用される。
【0024】
【実施例】図2で示すような平面導波路型光フィルタ2
で、C=0.04、C=0.17、C=0.2
2、n=1.45、ΔL=ΔL=10.4μmの場
合で波長が1500〜1700nm付近の光透過率を検
討した。
【0025】この場合、(数3)におけるD項は消去さ
れている。また、A、B、C及びEの各項の波長依存性
を図4に示す。点線で示された1570〜1610nm
付近の波長領域は信号光として使用する光の波長帯を表
わす。
【0026】ヒーター133および134により主光路
110および副光路120それぞれが温度調整されたこ
とに因る第二のマッハツェンダ干渉計152における光
の位相変化量Δφに5°の位相変化を加えた場合に対
して、損失スペクトル傾斜の変化量および波長帯域内平
均損失の変化量をそれぞれ計算した。ここで、位相変化
量5°は、第二のマッハツェンダ干渉計152における
主光路と副光路との間に温度差およそ2.2℃が生じる
場合に相当する。その結果、位相変化前の損失傾斜4.
26dB/40nm、位相変化後の損失傾斜4.06d
B/40nmで、損失傾斜の変化量0.20dB/40
nmが導出された。また、位相変化前の平均損失2.2
8dBで、位相変化後の平均損失2.07dBで、平均
損失の変化量0.21dBが導出された。損失スペクト
ル傾斜の変化量および波長帯域内平均損失の変化量共に
小さい数値であり、外部温度変化に対して安定した光学
特性が実現された。
【0027】
【比較例】比較例について、図3を用いて具体的に説明
する。ここでは、C=0.25、C=0.75、C
=0.50、n=1.45、ΔL=9.3μm、Δ
=13.7μmとし、実施例と同様に、波長が15
00〜1700nm付近の光透過率を検討した。
【0028】この場合の(数3)におけるA、B、C、
D及びEの各項の波長依存性を図5に示す。D項が最も
長い波長周期を持つ成分となっている。図4と同じく、
点線で示された波長領域は信号光として使用する光の波
長帯を表わす
【0029】実施例と同様に、第二のマッハツェンダ干
渉計152における光の位相変化量Δφに5°の位相
変化を加えた場合に対して、損失傾斜の変化量および波
長帯域内平均損失の変化量をそれぞれ計算した。その結
果、位相変化前の損失傾斜4.30dB/40nm、位
相変化後の損失傾斜3.98dB/40nmで、損失傾
斜の変化量0.32dB/40nmが導出された。ま
た、位相変化前の平均損失3.00dB、位相変化後の
平均損失2.65dBで、平均損失の変化量0.35d
Bが導出された。損失傾斜の変化量および波長帯域内平
均損失の変化量は、実施例に比べて約1.5倍と比較的
大きな数値であり、外部温度変化に対する光学特性変動
量が比較的大きかった。
【0030】実施例および比較例においては、外部温度
変化を与えた場合の光学特性変動量を算出したが、外部
応力を与えた場合でもマッハツェンダ干渉計における光
の位相変化量が発生して、光学特性が変動してしまう。
外部応力による光学特性変動量においても、実施例に記
載された平面導波路型光フィルタの方が比較例に比べて
小さくなる。
【0031】また、実施例のように、第一、第二及び第
三の光カプラにおける光のパワー結合率をそれぞれ適切
に設定することによって、所定の損失スペクトルの形状
を比較例と比べて遜色なく実現することができる。
【0032】本発明は、上記の実施形態に限定されるも
のではなく、種々の変形が可能である。実施形態では光
入力端から光出力端への使用波長帯域内における光の損
失スペクトルの傾斜を調整するものであったが、単に損
失を調整する光アッテネータであっても良い。また、第
二の実施形態でヒーターに替えてペルチェ素子であって
も良い。
【0033】
【発明の効果】本発明によれば、外部環境変化に対して
安定な光学特性を有する平面導波路型光フィルタが得ら
れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施形態に係る平面導波路型光
フィルタの構成図である。
【図2】本発明の第二の実施形態に係る平面導波路型光
フィルタの構成図である。
【図3】従来の平面導波路型光フィルタを例示する構成
図である。
【図4】本発明の第二の実施形態に係る平面導波路型光
フィルタにおける光透過率の波長依存性を示すグラフで
ある。
【図5】従来の平面導波路型光フィルタにおける光透過
率の波長依存性を表わす典型的データを示すグラフであ
る。
【符号の説明】
1:平面導波路型光フィルタ 100:基板 101:光入力端 102:光出力端 110:主光路 120:副光路 131〜134:ヒーター 141〜143:光カプラ 151、152:マッハツェンダ干渉計 200:制御部 300:温度調整手段

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光入力端から光出力端へ光を導波させる
    主光路と、第一の光カプラ、第二の光カプラ及び第三の
    光カプラそれぞれを介して前記主光路と光結合され、前
    記主光路ならびに前記第一および前記第二の光カプラと
    共に第一のマッハツェンダ干渉計を構成すると共に、前
    記主光路ならびに前記第二および前記第三の光カプラと
    共に第二のマッハツェンダ干渉計を構成する副光路とを
    備え、前記第一および前記第二のマッハツェンダ干渉計
    における前記主光路および前記副光路との間の光路長差
    が等しいことを特徴とする平面導波路型光フィルタ。
  2. 【請求項2】 前記第一のマッハツェンダ干渉計には前
    記主光路および前記副光路の双方または何れか一方の温
    度を調整する第一の温度調整手段と、前記第二のマッハ
    ツェンダ干渉計には前記主光路および前記副光路の双方
    または何れか一方の温度を調整する第二の温度調整手段
    とが備えられていることを特徴とする請求項1記載の平
    面導波路型光フィルタ。
  3. 【請求項3】 前記第一および前記第二の温度調整手段
    それぞれによる温度調整を制御することによって、前記
    光入力端から前記光出力端への使用波長帯域における光
    の損失スペクトルの傾斜を調整することを特徴とする請
    求項2記載の平面導波路型光フィルタ。
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JPH06324225A (ja) * 1993-02-24 1994-11-25 American Teleph & Telegr Co <Att> 複数の干渉段を持つ光学フィルタ
JP2000347148A (ja) * 1999-06-09 2000-12-15 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> ハーフバンド光信号処理器
JP2000352699A (ja) * 1999-06-10 2000-12-19 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 可変光減衰方法及び可変光減衰器

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