JP2002350258A - 圧力センサ - Google Patents
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L19/00—Details of, or accessories for, apparatus for measuring steady or quasi-steady pressure of a fluent medium insofar as such details or accessories are not special to particular types of pressure gauges
- G01L19/14—Housings
- G01L19/148—Details about the circuit board integration, e.g. integrated with the diaphragm surface or encapsulation
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- G—PHYSICS
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- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/02—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning
- G01L9/06—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means by making use of variations in ohmic resistance, e.g. of potentiometers, electric circuits therefor, e.g. bridges, amplifiers or signal conditioning of piezo-resistive devices
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電磁波等のノイズに対する耐久性があり、か
つセンサ信号を各種システムで共通に使用する環境下で
システムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読
み込むことができるようなシステム環境を容易に選択可
能な構成とし、また自動車用として好適な小型化、低価
格化を実現可能な圧力センサを提供する。 【解決手段】 圧力を検出する素子部１と信号処理機能
を有する回路部２が同一のパッケージ内に一体に収納さ
れ、回路部２に外部配線とのインターフェイスに最適化
されたインターフェイス手段２４、センサのアナログ演
算処理された検出信号をディジタル符号化するためのＡ
／Ｄ変換手段２５、該ディジタル符号を基に所望のシリ
アル信号に変換するディジタル演算処理手段２６を付加
し、回路部全体を多くとも２個のＩＣのみによって構成
し、かつアナログ演算処理された検出信号およびディジ
タル演算処理された検出信号の２つの出力形態を選択可
能とする。
つセンサ信号を各種システムで共通に使用する環境下で
システムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読
み込むことができるようなシステム環境を容易に選択可
能な構成とし、また自動車用として好適な小型化、低価
格化を実現可能な圧力センサを提供する。 【解決手段】 圧力を検出する素子部１と信号処理機能
を有する回路部２が同一のパッケージ内に一体に収納さ
れ、回路部２に外部配線とのインターフェイスに最適化
されたインターフェイス手段２４、センサのアナログ演
算処理された検出信号をディジタル符号化するためのＡ
／Ｄ変換手段２５、該ディジタル符号を基に所望のシリ
アル信号に変換するディジタル演算処理手段２６を付加
し、回路部全体を多くとも２個のＩＣのみによって構成
し、かつアナログ演算処理された検出信号およびディジ
タル演算処理された検出信号の２つの出力形態を選択可
能とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は圧力センサ、特に
自動車用等に好適な圧力センサに関する。
自動車用等に好適な圧力センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１１は従来の半導体圧力センサの構成
例を示すブロック図である。圧力を検出する素子部１は
例えば、図１２に示す測定する外力を受けて変形するダ
イアフラムＤ上に構成されるとともにその変形に伴う歪
みにより抵抗値が変化する半導体ゲージ抵抗ＲA〜Ｒ
D(図中ＲDはＲAの向こう側にある)からなる図１３に示
すようなブリッジ回路によって構成されたものである。
なお、Ｒ1は温度特性補償抵抗、Ｔは定電流回路であ
る。
例を示すブロック図である。圧力を検出する素子部１は
例えば、図１２に示す測定する外力を受けて変形するダ
イアフラムＤ上に構成されるとともにその変形に伴う歪
みにより抵抗値が変化する半導体ゲージ抵抗ＲA〜Ｒ
D(図中ＲDはＲAの向こう側にある)からなる図１３に示
すようなブリッジ回路によって構成されたものである。
なお、Ｒ1は温度特性補償抵抗、Ｔは定電流回路であ
る。
【０００３】図１１において１は前述の圧力を検出する
素子部、２は信号処理機能を有する回路部である。回路
部２は素子部１のブリッジ回路出力４１の初期ばらつき
および温度依存性を調整、補償するためのビットデータ
２２を格納する第１のＩＣ３と、素子部１のブリッジ回
路出力４１を受けて圧力に応じたアナログ出力を行うた
めのアナログ演算処理手段２１、前記ビットデータ２２
を基に素子部１のブリッジ回路出力４１の初期ばらつき
および温度依存性を調整、補償する特性調整および補償
を行う手段２３、および外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段２４を有する第２
のＩＣ４と、から構成される。
素子部、２は信号処理機能を有する回路部である。回路
部２は素子部１のブリッジ回路出力４１の初期ばらつき
および温度依存性を調整、補償するためのビットデータ
２２を格納する第１のＩＣ３と、素子部１のブリッジ回
路出力４１を受けて圧力に応じたアナログ出力を行うた
めのアナログ演算処理手段２１、前記ビットデータ２２
を基に素子部１のブリッジ回路出力４１の初期ばらつき
および温度依存性を調整、補償する特性調整および補償
を行う手段２３、および外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段２４を有する第２
のＩＣ４と、から構成される。
【０００４】ここで、図１１に示した従来技術の動作を
詳しく説明する。素子部１に構成されたダイアフラムＤ
(図１２参照)が測定する外力を受けて変形すると、該ダ
イアフラムＤ上に構成されるとともにその歪みにより抵
抗値が変化する半導体ゲージ抵抗ＲA〜ＲDの抵抗値が変
化し、該半導体ゲージ抵抗ＲA〜ＲDからなる図１３に示
したブリッジ回路の出力４１が変化する。この変化を第
２のＩＣ４に構成されるアナログ演算処理手段２１によ
って増幅し、所望の出力ＳＰＡＮを得る。
詳しく説明する。素子部１に構成されたダイアフラムＤ
(図１２参照)が測定する外力を受けて変形すると、該ダ
イアフラムＤ上に構成されるとともにその歪みにより抵
抗値が変化する半導体ゲージ抵抗ＲA〜ＲDの抵抗値が変
化し、該半導体ゲージ抵抗ＲA〜ＲDからなる図１３に示
したブリッジ回路の出力４１が変化する。この変化を第
２のＩＣ４に構成されるアナログ演算処理手段２１によ
って増幅し、所望の出力ＳＰＡＮを得る。
【０００５】通常、圧力に応じて変化する素子部１から
のブリッジ回路出力４１は、素子個々に応じて異なる。
これは個々の素子の素子検出感度の違いによるものであ
る。このとき、個々の素子に応じて異なる素子検出感度
に対して所望の出力ＳＰＡＮを容易に得るために、例え
ば特開平９−２１８１１８に示されるブリッジ回路に給
電する電流量を制御する手法などが用いられる。
のブリッジ回路出力４１は、素子個々に応じて異なる。
これは個々の素子の素子検出感度の違いによるものであ
る。このとき、個々の素子に応じて異なる素子検出感度
に対して所望の出力ＳＰＡＮを容易に得るために、例え
ば特開平９−２１８１１８に示されるブリッジ回路に給
電する電流量を制御する手法などが用いられる。
【０００６】電流量の制御方法は、定電流回路の電流量
を決定する抵抗に給電する電圧量を第１のＩＣ３に格納
されたビットデータ２２によって与えることで変化させ
るもので、該ビットデータは通信経路４２を経て、第２
のＩＣ４に構成される素子部１のブリッジ回路出力４１
の初期ばらつきおよび温度依存性を調整、補償する特性
調整および補償手段２３に与えられる。
を決定する抵抗に給電する電圧量を第１のＩＣ３に格納
されたビットデータ２２によって与えることで変化させ
るもので、該ビットデータは通信経路４２を経て、第２
のＩＣ４に構成される素子部１のブリッジ回路出力４１
の初期ばらつきおよび温度依存性を調整、補償する特性
調整および補償手段２３に与えられる。
【０００７】以上の構成によって、例えば温度によって
変化する素子検出感度の補償も、用いるビットデータを
温度によって変化させることにより行うことが可能であ
る。上記の動作によって得られた信号を、さらに外部配
線とのインターフェイスに最適化されたインターフェイ
ス手段２４を経て、アナログ信号３２が出力される。
変化する素子検出感度の補償も、用いるビットデータを
温度によって変化させることにより行うことが可能であ
る。上記の動作によって得られた信号を、さらに外部配
線とのインターフェイスに最適化されたインターフェイ
ス手段２４を経て、アナログ信号３２が出力される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】近年の自動車を取り巻
く環境は大きく変貌し、非常に高周波にいたる電磁波に
対する耐性の確保といった周辺環境であるとか、センサ
信号を各種システムに対し共通に使用する環境、特にシ
ステムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読み
込みにいくことができるようなシステム環境が自動車に
おいても要求されるようになってきた。
く環境は大きく変貌し、非常に高周波にいたる電磁波に
対する耐性の確保といった周辺環境であるとか、センサ
信号を各種システムに対し共通に使用する環境、特にシ
ステムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読み
込みにいくことができるようなシステム環境が自動車に
おいても要求されるようになってきた。
【０００９】これを具体化する方法が車載ＬＡＮであ
り、その方式として例えばＣＡＮなどがある。このＣＡ
Ｎ方式は、通常アナログ信号で取り扱ってきた電圧情報
をディジタル化しビットでのシリアル信号に変換して取
り扱うものであり、電磁波等のノイズに対する耐性を大
幅に向上できるメリットがあるとともに、前述のシステ
ムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読み込み
にいくことができるようなシステム環境を容易に実現す
ることが可能である。
り、その方式として例えばＣＡＮなどがある。このＣＡ
Ｎ方式は、通常アナログ信号で取り扱ってきた電圧情報
をディジタル化しビットでのシリアル信号に変換して取
り扱うものであり、電磁波等のノイズに対する耐性を大
幅に向上できるメリットがあるとともに、前述のシステ
ムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読み込み
にいくことができるようなシステム環境を容易に実現す
ることが可能である。
【００１０】また一方では、従来以上に必要最小限の機
能で低価格なセンサを要求されるようになってきてお
り、この対極的な要求に対し、図１１に示す従来の圧力
センサ構成では、特にＣＡＮ方式への対応が容易ではな
いという課題があった。ＣＡＮ方式に対応するために
は、バスラインとのインターフェイスを構成するための
ＣＡＮドライバーと、ＣＡＮ規定に準じたシリアル信号
出力を演算し制御するためのディジタル演算処理手段
と、センサのアナログ信号をディジタル符号化するため
の手段の付加が最低限必要であり、これを実現するため
に追加される部品点数を鑑みた場合、自動車用センサと
して小型化、低価格化を実現する上で、好適ではないと
いう問題があった。
能で低価格なセンサを要求されるようになってきてお
り、この対極的な要求に対し、図１１に示す従来の圧力
センサ構成では、特にＣＡＮ方式への対応が容易ではな
いという課題があった。ＣＡＮ方式に対応するために
は、バスラインとのインターフェイスを構成するための
ＣＡＮドライバーと、ＣＡＮ規定に準じたシリアル信号
出力を演算し制御するためのディジタル演算処理手段
と、センサのアナログ信号をディジタル符号化するため
の手段の付加が最低限必要であり、これを実現するため
に追加される部品点数を鑑みた場合、自動車用センサと
して小型化、低価格化を実現する上で、好適ではないと
いう問題があった。
【００１１】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、電磁波等のノイズに対する耐性
を大幅に向上せしめるとともに、前述のシステムが要求
するタイミングで自由にセンサ信号を読み込みにいくこ
とができるようなシステム環境を容易に選択可能な構成
とし、さらに自動車用として好適な小型化、低価格化を
実現可能な圧力センサを提供するものである。
ためになされたもので、電磁波等のノイズに対する耐性
を大幅に向上せしめるとともに、前述のシステムが要求
するタイミングで自由にセンサ信号を読み込みにいくこ
とができるようなシステム環境を容易に選択可能な構成
とし、さらに自動車用として好適な小型化、低価格化を
実現可能な圧力センサを提供するものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】上記の目的に鑑み、この
発明は、圧力を検出する素子部と信号処理機能を有する
回路部とで構成され、それらが同一のパッケージ内に一
体に収納されるとともに、前記回路部が、素子部からの
検出信号をアナログ演算処理する手段と、特性調整、補
償用のビットデータを格納するとともに該ビットデータ
を基に特性調整および補償を行う手段と、外部配線との
インターフェイスに最適化されたインターフェイス手段
と、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符号
化するＡ／Ｄ変換手段と、該ディジタル符号を基に所望
のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段と、
を備えたことを特徴とする圧力センサにある。
発明は、圧力を検出する素子部と信号処理機能を有する
回路部とで構成され、それらが同一のパッケージ内に一
体に収納されるとともに、前記回路部が、素子部からの
検出信号をアナログ演算処理する手段と、特性調整、補
償用のビットデータを格納するとともに該ビットデータ
を基に特性調整および補償を行う手段と、外部配線との
インターフェイスに最適化されたインターフェイス手段
と、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符号
化するＡ／Ｄ変換手段と、該ディジタル符号を基に所望
のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段と、
を備えたことを特徴とする圧力センサにある。
【００１３】また、アナログ演算処理された検出信号お
よびディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形
態を選択可能としたアナログ信号出力とシリアル信号出
力と、を備えたことを特徴とする。
よびディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形
態を選択可能としたアナログ信号出力とシリアル信号出
力と、を備えたことを特徴とする。
【００１４】また、前記Ａ／Ｄ変換手段およびディジタ
ル演算処理手段と、インターフェイス手段とを、異なる
ＩＣ内に構成したことを特徴とする。
ル演算処理手段と、インターフェイス手段とを、異なる
ＩＣ内に構成したことを特徴とする。
【００１５】また、第１のＩＣに、ビットデータを格納
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、および該ディジタル符号
を基に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処
理手段を配し、第２のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを基に特性調
整および補償を行う手段、および外部配線とのシリアル
出力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したこ
とを特徴とする。
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、および該ディジタル符号
を基に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処
理手段を配し、第２のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを基に特性調
整および補償を行う手段、および外部配線とのシリアル
出力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したこ
とを特徴とする。
【００１６】また、第１のＩＣに、ビットデータを格納
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段、素子部からの検出信号をアナログ演算処理する手
段、およびビットデータを基に特性調整および補償を行
う手段を配し、第２のＩＣに、外部配線とのシリアル出
力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したこと
を特徴とする。
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段、素子部からの検出信号をアナログ演算処理する手
段、およびビットデータを基に特性調整および補償を行
う手段を配し、第２のＩＣに、外部配線とのシリアル出
力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したこと
を特徴とする。
【００１７】また、第１のＩＣに、素子部からの検出信
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１および第２のＩＣにアナログ演算処理され
た検出信号およびディジタル演算処理された検出信号の
ための２つの出力ポートをそれぞれ設けたことを特徴と
する。
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１および第２のＩＣにアナログ演算処理され
た検出信号およびディジタル演算処理された検出信号の
ための２つの出力ポートをそれぞれ設けたことを特徴と
する。
【００１８】また、第１のＩＣに、素子部からの検出信
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１のＩＣにはアナログ演算処理された検出信
号およびディジタル演算処理された検出信号のための２
つの出力ポートを設け、かつアナログ信号の出力ポート
を用いると共に、第２のＩＣにアナログ出力に好適なア
ナログ信号のための前記インターフェイス手段を設けた
ことを特徴とする。
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１のＩＣにはアナログ演算処理された検出信
号およびディジタル演算処理された検出信号のための２
つの出力ポートを設け、かつアナログ信号の出力ポート
を用いると共に、第２のＩＣにアナログ出力に好適なア
ナログ信号のための前記インターフェイス手段を設けた
ことを特徴とする。
【００１９】また、第１のＩＣに、素子部からの検出信
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配し、前記第１
のＩＣにはアナログ演算処理された検出信号およびディ
ジタル演算処理された検出信号のためのそれぞれアナロ
グ信号出力ポートとシリアル信号出力ポートを設け、か
つシリアル信号出力ポートを用いると共に、第２のＩＣ
にシリアル出力に好適なシリアル信号のための前記イン
ターフェイス手段を設けたことを特徴とする。
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配し、前記第１
のＩＣにはアナログ演算処理された検出信号およびディ
ジタル演算処理された検出信号のためのそれぞれアナロ
グ信号出力ポートとシリアル信号出力ポートを設け、か
つシリアル信号出力ポートを用いると共に、第２のＩＣ
にシリアル出力に好適なシリアル信号のための前記イン
ターフェイス手段を設けたことを特徴とする。
【００２０】また、前記両ＩＣ間には、アナログ演算処
理された検出信号又はディジタル演算処理された検出信
号の通信を行うための１本の配線を設けたことを特徴と
する。
理された検出信号又はディジタル演算処理された検出信
号の通信を行うための１本の配線を設けたことを特徴と
する。
【００２１】また、外部電源を入力する電源入力ポート
と、この電源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリ
ック性を有しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生す
る電源回路と、を備え、この電源回路およびインターフ
ェース手段以外の前記各手段は前記降圧された電源回路
出力にて動作するように構成したことを特徴とする。
と、この電源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリ
ック性を有しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生す
る電源回路と、を備え、この電源回路およびインターフ
ェース手段以外の前記各手段は前記降圧された電源回路
出力にて動作するように構成したことを特徴とする。
【００２２】また、前記インターフェイス手段を設けた
ＩＣが、外部電源を入力する電源入力ポートと、この電
源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリック性を有
しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
と、前記降圧された電源回路出力を他のＩＣに供給する
ための電源出力ポートと、を配し、前記電源回路および
インターフェース手段以外の前記各手段は前記降圧され
た電源回路出力にて動作するように構成したことを特徴
とする。
ＩＣが、外部電源を入力する電源入力ポートと、この電
源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリック性を有
しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
と、前記降圧された電源回路出力を他のＩＣに供給する
ための電源出力ポートと、を配し、前記電源回路および
インターフェース手段以外の前記各手段は前記降圧され
た電源回路出力にて動作するように構成したことを特徴
とする。
【００２３】この発明に係る圧力センサは、圧力を検出
する素子部と、信号処理機能を有する回路部が同一のパ
ッケージ内に一体に収納されるとともに、回路部に外部
配線とのインターフェイスに最適化されたインターフェ
イス手段と、センサのアナログ演算処理された検出信号
をディジタル符号化するためのＡ／Ｄ変換手段と、該デ
ィジタル符号を基に所望のシリアル信号に変換するディ
ジタル演算処理手段と、を付加するとともに、回路部全
体を多くとも２個のＩＣのみによって構成し、かつアナ
ログ演算処理された検出信号又はディジタル演算処理さ
れた検出信号の２つの出力形態を選択可能としたもので
ある。
する素子部と、信号処理機能を有する回路部が同一のパ
ッケージ内に一体に収納されるとともに、回路部に外部
配線とのインターフェイスに最適化されたインターフェ
イス手段と、センサのアナログ演算処理された検出信号
をディジタル符号化するためのＡ／Ｄ変換手段と、該デ
ィジタル符号を基に所望のシリアル信号に変換するディ
ジタル演算処理手段と、を付加するとともに、回路部全
体を多くとも２個のＩＣのみによって構成し、かつアナ
ログ演算処理された検出信号又はディジタル演算処理さ
れた検出信号の２つの出力形態を選択可能としたもので
ある。
【００２４】これにより、電磁波等のノイズに対する耐
性を大幅に向上せしめるとともに、前述のシステムが要
求するタイミングで自由にセンサ信号を読み込みにいく
ことができるようなシステム環境を容易に選択可能な構
成とし、さらに自動車用として好適な小型化、低価格化
を容易に実現することが可能となる。
性を大幅に向上せしめるとともに、前述のシステムが要
求するタイミングで自由にセンサ信号を読み込みにいく
ことができるようなシステム環境を容易に選択可能な構
成とし、さらに自動車用として好適な小型化、低価格化
を容易に実現することが可能となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下、この発明を各実施の形態に
従って説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による圧
力センサの構成を示すブロック図である。図１１に示す
従来のものと同一もしくは相当部分は同一符号で示し、
その詳細説明は省略する。本実施の形態では、圧力を検
出する素子部１と信号処理機能を有する回路部２とで構
成され、それらが図２に示すように同一のパッケージＰ
内に一体に収納されている。
従って説明する。 実施の形態１．図１はこの発明の実施の形態１による圧
力センサの構成を示すブロック図である。図１１に示す
従来のものと同一もしくは相当部分は同一符号で示し、
その詳細説明は省略する。本実施の形態では、圧力を検
出する素子部１と信号処理機能を有する回路部２とで構
成され、それらが図２に示すように同一のパッケージＰ
内に一体に収納されている。
【００２６】回路部２(複数のＩＣから構成される場合
もある)は、素子部１からの検出信号をアナログ演算処
理する手段２１と、ビットデータを格納する手段２２、
このビットデータを基に特性調整および補償を行う手段
２３と(本発明では手段２２，２３を合わせて特性調整
および補償を行う手段２３とする場合もある)、外部配
線とのインターフェイスに最適化されたインターフェイ
ス手段２４と、アナログ演算処理された検出信号をディ
ジタル符号化するＡ／Ｄ変換手段２５と、該ディジタル
符号を基に所望のシリアル信号に変換するディジタル演
算処理手段２６とを有する。また回路部２は、アナログ
演算処理された検出信号およびディジタル演算処理され
た検出信号の２つの出力形態を選択可能とするように、
シリアル信号出力ポート１１およびアナログ信号出力ポ
ート１２の２つの出力ポートを配している。なお、３１
はシリアル信号出力、３２はアナログ信号出力である。
もある)は、素子部１からの検出信号をアナログ演算処
理する手段２１と、ビットデータを格納する手段２２、
このビットデータを基に特性調整および補償を行う手段
２３と(本発明では手段２２，２３を合わせて特性調整
および補償を行う手段２３とする場合もある)、外部配
線とのインターフェイスに最適化されたインターフェイ
ス手段２４と、アナログ演算処理された検出信号をディ
ジタル符号化するＡ／Ｄ変換手段２５と、該ディジタル
符号を基に所望のシリアル信号に変換するディジタル演
算処理手段２６とを有する。また回路部２は、アナログ
演算処理された検出信号およびディジタル演算処理され
た検出信号の２つの出力形態を選択可能とするように、
シリアル信号出力ポート１１およびアナログ信号出力ポ
ート１２の２つの出力ポートを配している。なお、３１
はシリアル信号出力、３２はアナログ信号出力である。
【００２７】本実施の形態においては、外部配線とのイ
ンターフェイスに最適化されたインターフェイス手段２
４と、センサのアナログ演算処理された検出信号をディ
ジタル符号化するためのＡ／Ｄ変換手段２５と、該ディ
ジタル符号を基に所望のシリアル信号に変換するディジ
タル演算処理手段２６とを付加するとともに、アナログ
演算処理された検出信号およびディジタル演算処理され
た検出信号の２つの出力形態を選択可能としたことによ
り、電磁波等のノイズに対する耐性を大幅に向上せしめ
るとともに、前述のシステムが要求するタイミングで自
由にセンサ信号を読み込みにいくことができるようなシ
ステム環境を容易に選択可能な構成とし、さらに自動車
用として好適な小型化、低価格化を容易に実現すること
が可能となる。
ンターフェイスに最適化されたインターフェイス手段２
４と、センサのアナログ演算処理された検出信号をディ
ジタル符号化するためのＡ／Ｄ変換手段２５と、該ディ
ジタル符号を基に所望のシリアル信号に変換するディジ
タル演算処理手段２６とを付加するとともに、アナログ
演算処理された検出信号およびディジタル演算処理され
た検出信号の２つの出力形態を選択可能としたことによ
り、電磁波等のノイズに対する耐性を大幅に向上せしめ
るとともに、前述のシステムが要求するタイミングで自
由にセンサ信号を読み込みにいくことができるようなシ
ステム環境を容易に選択可能な構成とし、さらに自動車
用として好適な小型化、低価格化を容易に実現すること
が可能となる。
【００２８】実施の形態２．図３はこの発明の実施の形
態２による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、第１
のＩＣ３に、ビットデータを格納する手段２２と、アナ
ログ演算処理された検出信号をディジタル符号化するＡ
／Ｄ変換手段２５と、該ディジタル符号を基に所望のシ
リアル信号に変換するディジタル演算処理手段２６を配
し、第２のＩＣ４に、素子からの検出信号をアナログ演
算処理する手段２１と、ビットデータを基に特性調整お
よび補償を行う手段２３と、外部配線とのインターフェ
イスに最適化されたインターフェイス手段２４とを配す
る。
態２による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、第１
のＩＣ３に、ビットデータを格納する手段２２と、アナ
ログ演算処理された検出信号をディジタル符号化するＡ
／Ｄ変換手段２５と、該ディジタル符号を基に所望のシ
リアル信号に変換するディジタル演算処理手段２６を配
し、第２のＩＣ４に、素子からの検出信号をアナログ演
算処理する手段２１と、ビットデータを基に特性調整お
よび補償を行う手段２３と、外部配線とのインターフェ
イスに最適化されたインターフェイス手段２４とを配す
る。
【００２９】さらにアナログ演算処理された検出信号お
よびディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形
態を選択可能とするように、該第２のＩＣ４にシリアル
信号出力ポート１１およびアナログ信号出力ポート１２
の２つの出力ポートを配した。またさらに、前記両ＩＣ
３，４間にはビットデータの通信用配線４２、アナログ
演算処理された検出信号の通信を行うためのアナログ演
算処理検出信号通信用配線４３およびディジタル演算処
理された検出信号の通信を行うためのディジタル演算処
理検出信号通信用配線４４の３本を備える。
よびディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形
態を選択可能とするように、該第２のＩＣ４にシリアル
信号出力ポート１１およびアナログ信号出力ポート１２
の２つの出力ポートを配した。またさらに、前記両ＩＣ
３，４間にはビットデータの通信用配線４２、アナログ
演算処理された検出信号の通信を行うためのアナログ演
算処理検出信号通信用配線４３およびディジタル演算処
理された検出信号の通信を行うためのディジタル演算処
理検出信号通信用配線４４の３本を備える。
【００３０】本実施の形態においては、各手段の機能を
容易に実現可能な製造プロセス毎に手段を分配し、２個
のＩＣによって構成するようにしたことにより、さらに
自動車用として好適な低価格化を容易に実現することが
可能となる。
容易に実現可能な製造プロセス毎に手段を分配し、２個
のＩＣによって構成するようにしたことにより、さらに
自動車用として好適な低価格化を容易に実現することが
可能となる。
【００３１】実施の形態３．図４はこの発明の実施の形
態３による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態３では図３
の実施の形態２に対し、第２のＩＣ４にシリアル信号出
力ポート１１のみを配し、アナログ信号出力ポート１２
を省略したものである。これによりさらに自動車用とし
て好適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
態３による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態３では図３
の実施の形態２に対し、第２のＩＣ４にシリアル信号出
力ポート１１のみを配し、アナログ信号出力ポート１２
を省略したものである。これによりさらに自動車用とし
て好適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
【００３２】実施の形態４．図５はこの発明の実施の形
態４による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、第１
のＩＣ３には、素子からの検出信号をアナログ演算処理
する手段２１と、ビットデータを格納する手段２２と、
該ビットデータを基に特性調整および補償を行う手段２
３と、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段２５と、該ディジタル符号を基
に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段２６とを配している。
態４による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、第１
のＩＣ３には、素子からの検出信号をアナログ演算処理
する手段２１と、ビットデータを格納する手段２２と、
該ビットデータを基に特性調整および補償を行う手段２
３と、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段２５と、該ディジタル符号を基
に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段２６とを配している。
【００３３】第２のＩＣ４には、外部配線とのインター
フェイスに最適化されたインターフェイス手段２４、さ
らにアナログ演算処理された検出信号およびディジタル
演算処理された検出信号の２つの出力形態を選択可能と
するようにシリアル信号出力ポート１１およびアナログ
信号出力ポート１２の２つの出力ポートを配している。
また該第１のＩＣ３にも併せてシリアル信号出力ポート
１３およびアナログ信号出力ポート１４の２つの出力ポ
ートを配している。さらに、前記両ＩＣ３，４間にはア
ナログ演算処理された検出信号およびディジタル演算処
理された検出信号の通信を行うための配線４３および４
４を１本ずつ備える。
フェイスに最適化されたインターフェイス手段２４、さ
らにアナログ演算処理された検出信号およびディジタル
演算処理された検出信号の２つの出力形態を選択可能と
するようにシリアル信号出力ポート１１およびアナログ
信号出力ポート１２の２つの出力ポートを配している。
また該第１のＩＣ３にも併せてシリアル信号出力ポート
１３およびアナログ信号出力ポート１４の２つの出力ポ
ートを配している。さらに、前記両ＩＣ３，４間にはア
ナログ演算処理された検出信号およびディジタル演算処
理された検出信号の通信を行うための配線４３および４
４を１本ずつ備える。
【００３４】本実施の形態においては、各手段の機能を
容易に実現可能な製造プロセス毎に手段を分配し、２個
のＩＣによって構成するようにしたとともに、両ＩＣ間
の通信に必要な配線を最小化するように機能分配したこ
とにより、さらに自動車用として好適な低価格化を容易
に実現することが可能となる。
容易に実現可能な製造プロセス毎に手段を分配し、２個
のＩＣによって構成するようにしたとともに、両ＩＣ間
の通信に必要な配線を最小化するように機能分配したこ
とにより、さらに自動車用として好適な低価格化を容易
に実現することが可能となる。
【００３５】実施の形態５．図６はこの発明の実施の形
態５による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図５
に示す実施の形態４に対し、第２のＩＣ４にアナログ信
号出力ポート１２のみを配し、シリアル信号出力ポート
１１を省略したものである。これによりさらに自動車用
として好適な低価格化を容易に実現することが可能とな
る。
態５による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図５
に示す実施の形態４に対し、第２のＩＣ４にアナログ信
号出力ポート１２のみを配し、シリアル信号出力ポート
１１を省略したものである。これによりさらに自動車用
として好適な低価格化を容易に実現することが可能とな
る。
【００３６】実施の形態６．図７はこの発明の実施の形
態６による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図５
に示す実施の形態４に対し、第２のＩＣ４にシリアル信
号出力ポート１１のみを配し、アナログ信号出力ポート
１２を省略したものである。これによりさらに自動車用
として好適な低価格化を容易に実現することが可能とな
る。
態６による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図５
に示す実施の形態４に対し、第２のＩＣ４にシリアル信
号出力ポート１１のみを配し、アナログ信号出力ポート
１２を省略したものである。これによりさらに自動車用
として好適な低価格化を容易に実現することが可能とな
る。
【００３７】実施の形態７．図８はこの発明の実施の形
態７による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図１
に示す実施の形態１に対し、回路部２に外部電源３３を
入力する電源入力ポート１５を備えると共に、該電源入
力ポート１５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有
しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
２７とを備え、該電源回路２７以外の各手段２１〜２６
を前述の降圧された電源回路２７の出力により動作する
ように構成したものである。
態７による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図１
に示す実施の形態１に対し、回路部２に外部電源３３を
入力する電源入力ポート１５を備えると共に、該電源入
力ポート１５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有
しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
２７とを備え、該電源回路２７以外の各手段２１〜２６
を前述の降圧された電源回路２７の出力により動作する
ように構成したものである。
【００３８】本実施の形態においては、電源入力ポート
１５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電
源入力よりも降圧した電圧を該電源回路２７より出力す
るように構成し、回路部２全体で必要とされる消費電流
を最小化したことにより、さらに自動車用として好適な
低価格化を容易に実現することが可能となる。
１５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電
源入力よりも降圧した電圧を該電源回路２７より出力す
るように構成し、回路部２全体で必要とされる消費電流
を最小化したことにより、さらに自動車用として好適な
低価格化を容易に実現することが可能となる。
【００３９】実施の形態８．図９はこの発明の実施の形
態８による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図３
に示す実施の形態２に対し、第２のＩＣ４に外部電源を
入力する電源入力ポート１５と、該電源入力ポート１５
の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電源入
力よりも降圧した電圧を発生する電源回路２７と、該電
源回路２７およびインターフェース手段２４以外の各手
段２１〜２３、２５、２６を前述の降圧された電源回路
２７の出力により動作させるための特に手段２２，２
５，２６のための電源出力ポート１６と、を備えたもの
である。
態８による圧力センサの構成を示すブロック図である。
上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号で示
し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、図３
に示す実施の形態２に対し、第２のＩＣ４に外部電源を
入力する電源入力ポート１５と、該電源入力ポート１５
の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電源入
力よりも降圧した電圧を発生する電源回路２７と、該電
源回路２７およびインターフェース手段２４以外の各手
段２１〜２３、２５、２６を前述の降圧された電源回路
２７の出力により動作させるための特に手段２２，２
５，２６のための電源出力ポート１６と、を備えたもの
である。
【００４０】本実施の形態においては、回路部２が２つ
のＩＣから構成される場合において、電源入力ポート１
５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電源
入力よりも降圧した電圧を該電源出力ポート１６より別
のＩＣにも出力するように構成し、回路部全体で必要と
される消費電流を最小化したことにより、さらに自動車
用として好適な低価格化を容易に実現することが可能と
なる。
のＩＣから構成される場合において、電源入力ポート１
５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電源
入力よりも降圧した電圧を該電源出力ポート１６より別
のＩＣにも出力するように構成し、回路部全体で必要と
される消費電流を最小化したことにより、さらに自動車
用として好適な低価格化を容易に実現することが可能と
なる。
【００４１】実施の形態９．図１０はこの発明の実施の
形態９による圧力センサの構成を示すブロック図であ
る。上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号
で示し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、
図５に示す実施の形態４に対し、第２のＩＣ４に外部電
源を入力する電源入力ポート１５と、該電源入力ポート
１５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電
源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路２７と、
該電源回路２７およびインターフェース手段２４以外の
各手段２１〜２３、２５、２６を前述の降圧された電源
回路２７の出力により動作させるための特に手段２１〜
２３，２５，２６のための電源出力ポート１６と、を備
えたものである。
形態９による圧力センサの構成を示すブロック図であ
る。上記実施の形態と同一もしくは相当部分は同一符号
で示し、その詳細説明は省略する。本実施の形態では、
図５に示す実施の形態４に対し、第２のＩＣ４に外部電
源を入力する電源入力ポート１５と、該電源入力ポート
１５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電
源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路２７と、
該電源回路２７およびインターフェース手段２４以外の
各手段２１〜２３、２５、２６を前述の降圧された電源
回路２７の出力により動作させるための特に手段２１〜
２３，２５，２６のための電源出力ポート１６と、を備
えたものである。
【００４２】本実施の形態においては、回路部２が２つ
のＩＣから構成される場合において、電源入力ポート１
５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電源
入力よりも降圧した電圧を該電源出力ポート１６より別
のＩＣにも出力するように構成し、回路部全体で必要と
される消費電流を最小化したことにより、さらに自動車
用として好適な低価格化を容易に実現することが可能と
なる。
のＩＣから構成される場合において、電源入力ポート１
５の入力電圧に対しレシオメトリック性を有しかつ電源
入力よりも降圧した電圧を該電源出力ポート１６より別
のＩＣにも出力するように構成し、回路部全体で必要と
される消費電流を最小化したことにより、さらに自動車
用として好適な低価格化を容易に実現することが可能と
なる。
【００４３】
【実施例】図１４は、この発明の圧力センサを実施する
ハードウェア構成の具体例の一つを示す。アナログ演算
処理手段２１は、素子部１のブリッジ構成された半導体
ゲージ抵抗の抵抗値変化により発生する各ノードの電圧
差を、所定のゲインで増幅する差動増幅器にて構成され
る。
ハードウェア構成の具体例の一つを示す。アナログ演算
処理手段２１は、素子部１のブリッジ構成された半導体
ゲージ抵抗の抵抗値変化により発生する各ノードの電圧
差を、所定のゲインで増幅する差動増幅器にて構成され
る。
【００４４】ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段２３においては、２種のビット抵抗を回路内に
構成し、前記アナログ演算処理手段２１の出力のゲイン
ならびにオフセット調整を、該ビット抵抗の変化にて行
えるように構成したものである。
行う手段２３においては、２種のビット抵抗を回路内に
構成し、前記アナログ演算処理手段２１の出力のゲイン
ならびにオフセット調整を、該ビット抵抗の変化にて行
えるように構成したものである。
【００４５】第１のビット抵抗Ｒ１は、ビットデータに
より抵抗比を変化させる構成としている。具体的には、
その入力である電源−ＧＮＤ間電位の抵抗分圧に応じた
電圧を出力する構成となっており、該出力端子が抵抗を
介して出力オペアンプの反転入力に接続される。該抵抗
には、前記出力端子電圧と出力オペアンプの非反転入力
電圧との差に対応した電位差が生じ、電流を発生する。
この電流が出力オペアンプの帰還抵抗に流れ、結果とし
てオペアンプの出力にオフセットを生じさせる。すなわ
ち、ビットデータに基づき第１のビット抵抗の抵抗分圧
を変化させることにより、出力オフセットを変化させる
ことが可能となる(図ではOFFSET調整)。例えば、用いる
ビットデータを温度により変化させれば、出力オフセッ
トの温度補償も容易に行うことが可能である。
より抵抗比を変化させる構成としている。具体的には、
その入力である電源−ＧＮＤ間電位の抵抗分圧に応じた
電圧を出力する構成となっており、該出力端子が抵抗を
介して出力オペアンプの反転入力に接続される。該抵抗
には、前記出力端子電圧と出力オペアンプの非反転入力
電圧との差に対応した電位差が生じ、電流を発生する。
この電流が出力オペアンプの帰還抵抗に流れ、結果とし
てオペアンプの出力にオフセットを生じさせる。すなわ
ち、ビットデータに基づき第１のビット抵抗の抵抗分圧
を変化させることにより、出力オフセットを変化させる
ことが可能となる(図ではOFFSET調整)。例えば、用いる
ビットデータを温度により変化させれば、出力オフセッ
トの温度補償も容易に行うことが可能である。
【００４６】第２のビット抵抗Ｒ２は、ビット抵抗によ
り抵抗値を変化させる構成としており、１つの端子はア
ナログ演算処理手段２１の出力に、もう１つの端子は出
力オペアンプの反転入力端子に接続され、出力オペアン
プの帰還抵抗との抵抗比率によって決定されるゲイン
を、ビットデータの変化により変化させるものである。
すなわち、ビットデータに基づき第２のビット抵抗の抵
抗値を変化させることにより、出力ゲインを変化させる
ことが可能となる(図ではSPAN調整)。例えば、用いるビ
ットデータを温度により変化させれば、出力ゲインの温
度補償も容易に行うことが可能である。
り抵抗値を変化させる構成としており、１つの端子はア
ナログ演算処理手段２１の出力に、もう１つの端子は出
力オペアンプの反転入力端子に接続され、出力オペアン
プの帰還抵抗との抵抗比率によって決定されるゲイン
を、ビットデータの変化により変化させるものである。
すなわち、ビットデータに基づき第２のビット抵抗の抵
抗値を変化させることにより、出力ゲインを変化させる
ことが可能となる(図ではSPAN調整)。例えば、用いるビ
ットデータを温度により変化させれば、出力ゲインの温
度補償も容易に行うことが可能である。
【００４７】各インターフェイス手段２４は、例えば各
ポートに接続される負荷に対し所望の性能が確保される
ように、あるいは接続ハーネス重畳するノイズに対する
適合性、サージに対する保護を考慮して構成される。シ
リアル信号出力ポート１１に接続されるDRIVER(ドライ
バ)は、ＣＰＵからの時間的にシリーズに出力されてく
る０−１信号を増幅し、電圧ないしは電流のＯＮ−ＯＦ
Ｆにて出力するものである。
ポートに接続される負荷に対し所望の性能が確保される
ように、あるいは接続ハーネス重畳するノイズに対する
適合性、サージに対する保護を考慮して構成される。シ
リアル信号出力ポート１１に接続されるDRIVER(ドライ
バ)は、ＣＰＵからの時間的にシリーズに出力されてく
る０−１信号を増幅し、電圧ないしは電流のＯＮ−ＯＦ
Ｆにて出力するものである。
【００４８】ビットデータ格納手段２２は、前述のビッ
トデータを基に特性調整および補償を行う手段２３にお
いて用いられるもので、所望の性能を得るためのビット
データを調整時にメモリに記憶させておく構成とし、例
えばメモリと通信制御回路で構成される。
トデータを基に特性調整および補償を行う手段２３にお
いて用いられるもので、所望の性能を得るためのビット
データを調整時にメモリに記憶させておく構成とし、例
えばメモリと通信制御回路で構成される。
【００４９】Ａ／Ｄ変換手段２５は、センサのアナログ
出力信号を、所定のビット数に分割したビットデータに
変換するＡ／Ｄ変換器により構成される。
出力信号を、所定のビット数に分割したビットデータに
変換するＡ／Ｄ変換器により構成される。
【００５０】ディジタル演算処理手段２６は、該Ａ／Ｄ
変換出力をもとに、所定の通信仕様(通信速度、通信周
期、データフォーマット等)に合致するシリアル信号に
変換するものであり、例えばＣＰＵで構成される。
変換出力をもとに、所定の通信仕様(通信速度、通信周
期、データフォーマット等)に合致するシリアル信号に
変換するものであり、例えばＣＰＵで構成される。
【００５１】電源回路２７は、例えば電源の抵抗分圧に
より決定される基準電圧を、ボルテージフォロアで出力
するような降圧回路で構成される。
より決定される基準電圧を、ボルテージフォロアで出力
するような降圧回路で構成される。
【００５２】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、圧力を
検出する素子部と信号処理機能を有する回路部とで構成
され、それらが同一のパッケージ内に一体に収納される
とともに、前記回路部が、素子部からの検出信号をアナ
ログ演算処理する手段と、特性調整、補償用のビットデ
ータを格納するとともに該ビットデータを基に特性調整
および補償を行う手段と、外部配線とのインターフェイ
スに最適化されたインターフェイス手段と、アナログ演
算処理された検出信号をディジタル符号化するＡ／Ｄ変
換手段と、該ディジタル符号を基に所望のシリアル信号
に変換するディジタル演算処理手段と、を備えたことを
特徴とする圧力センサとしたので、電磁波等のノイズに
対する耐性を大幅に向上せしめるとともに、センサ信号
を各種システムに対して共通に使用する環境において、
システムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読
み込みにいくことができるようなシステム環境を容易に
選択可能な構成とすることができ、さらに自動車用とし
て好適な小型化、低価格化を容易に実現することが可能
となる。
検出する素子部と信号処理機能を有する回路部とで構成
され、それらが同一のパッケージ内に一体に収納される
とともに、前記回路部が、素子部からの検出信号をアナ
ログ演算処理する手段と、特性調整、補償用のビットデ
ータを格納するとともに該ビットデータを基に特性調整
および補償を行う手段と、外部配線とのインターフェイ
スに最適化されたインターフェイス手段と、アナログ演
算処理された検出信号をディジタル符号化するＡ／Ｄ変
換手段と、該ディジタル符号を基に所望のシリアル信号
に変換するディジタル演算処理手段と、を備えたことを
特徴とする圧力センサとしたので、電磁波等のノイズに
対する耐性を大幅に向上せしめるとともに、センサ信号
を各種システムに対して共通に使用する環境において、
システムが要求するタイミングで自由にセンサ信号を読
み込みにいくことができるようなシステム環境を容易に
選択可能な構成とすることができ、さらに自動車用とし
て好適な小型化、低価格化を容易に実現することが可能
となる。
【００５３】また、アナログ演算処理された検出信号お
よびディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形
態を選択可能としたアナログ信号出力とシリアル信号出
力と、を備えたので、２つの出力形態を選択可能とする
ことができ、ひいては、電磁波等のノイズに対する耐性
を大幅に向上せしめるとともに、センサ信号を各種シス
テムに対して共通に使用する環境において、システムが
要求するタイミングで自由にセンサ信号を読み込みにい
くことができるようなシステム環境を容易に選択可能な
構成とすることができる。
よびディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形
態を選択可能としたアナログ信号出力とシリアル信号出
力と、を備えたので、２つの出力形態を選択可能とする
ことができ、ひいては、電磁波等のノイズに対する耐性
を大幅に向上せしめるとともに、センサ信号を各種シス
テムに対して共通に使用する環境において、システムが
要求するタイミングで自由にセンサ信号を読み込みにい
くことができるようなシステム環境を容易に選択可能な
構成とすることができる。
【００５４】また、前記Ａ／Ｄ変換手段およびディジタ
ル演算処理手段と、インターフェイス手段とを、異なる
ＩＣ内に構成したので、各手段の機能を容易に実現可能
な製造プロセス毎に手段を分配し、２個のＩＣによって
構成するようにしたことにより、さらに自動車用として
好適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
ル演算処理手段と、インターフェイス手段とを、異なる
ＩＣ内に構成したので、各手段の機能を容易に実現可能
な製造プロセス毎に手段を分配し、２個のＩＣによって
構成するようにしたことにより、さらに自動車用として
好適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
【００５５】また、第１のＩＣに、ビットデータを格納
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、および該ディジタル符号
を基に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処
理手段を配し、第２のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを基に特性調
整および補償を行う手段、および外部配線とのシリアル
出力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したの
で、各手段の機能を容易に実現可能な製造プロセス毎に
手段を分配し、２個のＩＣによって構成するようにした
ことにより、さらに自動車用として好適な低価格化を容
易に実現することが可能となる。
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、および該ディジタル符号
を基に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処
理手段を配し、第２のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを基に特性調
整および補償を行う手段、および外部配線とのシリアル
出力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したの
で、各手段の機能を容易に実現可能な製造プロセス毎に
手段を分配し、２個のＩＣによって構成するようにした
ことにより、さらに自動車用として好適な低価格化を容
易に実現することが可能となる。
【００５６】また、第１のＩＣに、ビットデータを格納
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段、素子部からの検出信号をアナログ演算処理する手
段、およびビットデータを基に特性調整および補償を行
う手段を配し、第２のＩＣに、外部配線とのシリアル出
力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したこと
により、各手段の機能を容易に実現可能な製造プロセス
毎に手段を分配し、２個のＩＣによって構成するように
したとともに、両ＩＣ間の通信に必要な配線を最小化す
るように機能分配したことにより、さらに自動車用とし
て好適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
する手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段、素子部からの検出信号をアナログ演算処理する手
段、およびビットデータを基に特性調整および補償を行
う手段を配し、第２のＩＣに、外部配線とのシリアル出
力に好適なシリアルインターフェイス手段を配したこと
により、各手段の機能を容易に実現可能な製造プロセス
毎に手段を分配し、２個のＩＣによって構成するように
したとともに、両ＩＣ間の通信に必要な配線を最小化す
るように機能分配したことにより、さらに自動車用とし
て好適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
【００５７】また、第１のＩＣに、素子部からの検出信
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１および第２のＩＣにアナログ演算処理され
た検出信号およびディジタル演算処理された検出信号の
ための２つの出力ポートをそれぞれ設けるようにしたの
で、各手段の機能を容易に実現可能な製造プロセス毎に
手段を分配し、２個のＩＣによって構成するようにした
とともに、両ＩＣ間の通信に必要な配線を最小化するよ
うに機能分配したことにより、さらに自動車用として好
適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１および第２のＩＣにアナログ演算処理され
た検出信号およびディジタル演算処理された検出信号の
ための２つの出力ポートをそれぞれ設けるようにしたの
で、各手段の機能を容易に実現可能な製造プロセス毎に
手段を分配し、２個のＩＣによって構成するようにした
とともに、両ＩＣ間の通信に必要な配線を最小化するよ
うに機能分配したことにより、さらに自動車用として好
適な低価格化を容易に実現することが可能となる。
【００５８】また、第１のＩＣに、素子部からの検出信
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１のＩＣにはアナログ演算処理された検出信
号およびディジタル演算処理された検出信号のための２
つの出力ポートを設け、かつアナログ信号の出力ポート
を用いると共に、第２のＩＣにアナログ出力に好適なア
ナログ信号のための前記インターフェイス手段を備える
ようにしたので、各手段の機能を容易に実現可能な製造
プロセス毎に手段を分配し、２個のＩＣによって構成す
るようにしたとともに、両ＩＣ間の通信に必要な配線を
最小化するように機能分配したことにより、さらに自動
車用として好適な低価格化を容易に実現することが可能
となる。
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配するととも
に、前記第１のＩＣにはアナログ演算処理された検出信
号およびディジタル演算処理された検出信号のための２
つの出力ポートを設け、かつアナログ信号の出力ポート
を用いると共に、第２のＩＣにアナログ出力に好適なア
ナログ信号のための前記インターフェイス手段を備える
ようにしたので、各手段の機能を容易に実現可能な製造
プロセス毎に手段を分配し、２個のＩＣによって構成す
るようにしたとともに、両ＩＣ間の通信に必要な配線を
最小化するように機能分配したことにより、さらに自動
車用として好適な低価格化を容易に実現することが可能
となる。
【００５９】また、第１のＩＣに、素子部からの検出信
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配し、前記第１
のＩＣにはアナログ演算処理された検出信号およびディ
ジタル演算処理された検出信号のためのそれぞれアナロ
グ信号出力ポートとシリアル信号出力ポートを設け、か
つシリアル信号出力ポートを用いると共に、第２のＩＣ
にシリアル出力に好適なシリアル信号のための前記イン
ターフェイス手段を設けるようにしたので、各手段の機
能を容易に実現可能な製造プロセス毎に手段を分配し、
２個のＩＣによって構成するようにしたとともに、両Ｉ
Ｃ間の通信に必要な配線を最小化するように機能分配し
たことにより、さらに自動車用として好適な低価格化を
容易に実現することが可能となる。
号をアナログ演算処理する手段、ビットデータを格納す
るとともに該ビットデータを基に特性調整および補償を
行う手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタ
ル符号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に
所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段
を配し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイス
に最適化されたインターフェイス手段を配し、前記第１
のＩＣにはアナログ演算処理された検出信号およびディ
ジタル演算処理された検出信号のためのそれぞれアナロ
グ信号出力ポートとシリアル信号出力ポートを設け、か
つシリアル信号出力ポートを用いると共に、第２のＩＣ
にシリアル出力に好適なシリアル信号のための前記イン
ターフェイス手段を設けるようにしたので、各手段の機
能を容易に実現可能な製造プロセス毎に手段を分配し、
２個のＩＣによって構成するようにしたとともに、両Ｉ
Ｃ間の通信に必要な配線を最小化するように機能分配し
たことにより、さらに自動車用として好適な低価格化を
容易に実現することが可能となる。
【００６０】また、前記両ＩＣ間には、アナログ演算処
理された検出信号又はディジタル演算処理された検出信
号の通信を行うための１本の配線を設けるようにしたの
で、両ＩＣ間の通信に必要な配線を最小化するようにし
たことにより、さらに自動車用として好適な低価格化を
容易に実現することが可能となる。
理された検出信号又はディジタル演算処理された検出信
号の通信を行うための１本の配線を設けるようにしたの
で、両ＩＣ間の通信に必要な配線を最小化するようにし
たことにより、さらに自動車用として好適な低価格化を
容易に実現することが可能となる。
【００６１】また、外部電源を入力する電源入力ポート
と、この電源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリ
ック性を有しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生す
る電源回路と、を備え、この電源回路およびインターフ
ェース手段以外の前記各手段は前記降圧された電源回路
出力にて動作するように構成したので、回路部全体で必
要とされる消費電流を最小化したことにより、さらに自
動車用として好適な低価格化を容易に実現することが可
能となる。
と、この電源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリ
ック性を有しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生す
る電源回路と、を備え、この電源回路およびインターフ
ェース手段以外の前記各手段は前記降圧された電源回路
出力にて動作するように構成したので、回路部全体で必
要とされる消費電流を最小化したことにより、さらに自
動車用として好適な低価格化を容易に実現することが可
能となる。
【００６２】また、前記インターフェイス手段を設けた
ＩＣが、外部電源を入力する電源入力ポートと、この電
源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリック性を有
しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
と、前記降圧された電源回路出力を他のＩＣに供給する
ための電源出力ポートと、を配し、前記電源回路および
インターフェース手段以外の前記各手段は前記降圧され
た電源回路出力にて動作するように構成したので、回路
部全体で必要とされる消費電流を最小化したことによ
り、さらに自動車用として好適な低価格化を容易に実現
することが可能となる。
ＩＣが、外部電源を入力する電源入力ポートと、この電
源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリック性を有
しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
と、前記降圧された電源回路出力を他のＩＣに供給する
ための電源出力ポートと、を配し、前記電源回路および
インターフェース手段以外の前記各手段は前記降圧され
た電源回路出力にて動作するように構成したので、回路
部全体で必要とされる消費電流を最小化したことによ
り、さらに自動車用として好適な低価格化を容易に実現
することが可能となる。
【図１】 この発明の実施の形態１による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図２】 この発明による圧力センサの全体の構成を示
す図である。
す図である。
【図３】 この発明の実施の形態２による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図４】 この発明の実施の形態３による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図５】 この発明の実施の形態４による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図６】 この発明の実施の形態５による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図７】 この発明の実施の形態６による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図８】 この発明の実施の形態７による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図９】 この発明の実施の形態８による圧力センサの
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図１０】 この発明の実施の形態９による圧力センサ
の構成を示すブロック図である。
の構成を示すブロック図である。
【図１１】 従来の圧力センサの構成を示すブロック図
である。
である。
【図１２】 素子部のダイアフラムの構成を示す断面図
である。
である。
【図１３】 ブリッジ回路の一例を示す図である。
【図１４】 この発明の圧力センサを実施するハードウ
ェア構成の具体例の一つを示す図である。
ェア構成の具体例の一つを示す図である。
１ 素子部、２ 回路部、３ 第１のＩＣ、４ 第２の
ＩＣ、１１，１３ シリアル信号出力ポート、１２，１
４ 第１のアナログ信号出力ポート、１５ 電源入力ポ
ート、１６ 電源出力ポート、２１ アナログ演算処理
手段、２２ ビットデータ格納手段、２３ 特性調整お
よび補償手段、２４ インターフェイス手段、２５ Ａ
／Ｄ変換手段、２６ ディジタル演算処理手段、２７
電源回路、３１ シリアル信号出力、３２ アナログ信
号出力、３３ (外部)電源、４１ブリッジ回路出力、４
２ ビットデータ通信用配線、４３ アナログ演算処理
検出信号通信用配線、４４ ディジタル演算処理検出信
号通信用配線。
ＩＣ、１１，１３ シリアル信号出力ポート、１２，１
４ 第１のアナログ信号出力ポート、１５ 電源入力ポ
ート、１６ 電源出力ポート、２１ アナログ演算処理
手段、２２ ビットデータ格納手段、２３ 特性調整お
よび補償手段、２４ インターフェイス手段、２５ Ａ
／Ｄ変換手段、２６ ディジタル演算処理手段、２７
電源回路、３１ シリアル信号出力、３２ アナログ信
号出力、３３ (外部)電源、４１ブリッジ回路出力、４
２ ビットデータ通信用配線、４３ アナログ演算処理
検出信号通信用配線、４４ ディジタル演算処理検出信
号通信用配線。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中村 洋志 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号 三 菱電機株式会社内 Ｆターム(参考） 2F055 AA39 BB20 CC02 DD04 EE13 FF02 FF11 FF38 FF43 GG32 GG36 GG44 4M112 AA01 BA01 CA03 CA08 CA10 EA03 FA08
Claims (11)
- 【請求項１】 圧力を検出する素子部と信号処理機能を
有する回路部とで構成され、それらが同一のパッケージ
内に一体に収納されるとともに、 前記回路部が、 素子部からの検出信号をアナログ演算処理する手段と、 特性調整、補償用のビットデータを格納するとともに該
ビットデータを基に特性調整および補償を行う手段と、 外部配線とのインターフェイスに最適化されたインター
フェイス手段と、 アナログ演算処理された検出信号をディジタル符号化す
るＡ／Ｄ変換手段と、 該ディジタル符号を基に所望のシリアル信号に変換する
ディジタル演算処理手段と、 を備えたことを特徴とする圧力センサ。 - 【請求項２】 アナログ演算処理された検出信号および
ディジタル演算処理された検出信号の２つの出力形態を
選択可能としたアナログ信号出力とシリアル信号出力
と、を備えたことを特徴とする請求項１に記載の圧力セ
ンサ。 - 【請求項３】 前記Ａ／Ｄ変換手段およびディジタル演
算処理手段と、インターフェイス手段とを、異なるＩＣ
内に構成したことを特徴とする請求項１に記載の圧力セ
ンサ。 - 【請求項４】 第１のＩＣに、ビットデータを格納する
手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段、および該ディジタル符号を基
に所望のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手
段を配し、第２のＩＣに、素子部からの検出信号をアナ
ログ演算処理する手段、ビットデータを基に特性調整お
よび補償を行う手段、および外部配線とのシリアル出力
に好適なシリアルインターフェイス手段を配したことを
特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。 - 【請求項５】 第１のＩＣに、ビットデータを格納する
手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に所望
のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段、素
子部からの検出信号をアナログ演算処理する手段、およ
びビットデータを基に特性調整および補償を行う手段を
配し、第２のＩＣに、外部配線とのシリアル出力に好適
なシリアルインターフェイス手段を配したことを特徴と
する請求項３に記載の圧力センサ。 - 【請求項６】 第１のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを格納すると
ともに該ビットデータを基に特性調整および補償を行う
手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に所望
のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段を配
し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイスに最
適化されたインターフェイス手段を配するとともに、前
記第１および第２のＩＣにアナログ演算処理された検出
信号およびディジタル演算処理された検出信号のための
２つの出力ポートをそれぞれ設けたことを特徴とする請
求項３に記載の圧力センサ。 - 【請求項７】 第１のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを格納すると
ともに該ビットデータを基に特性調整および補償を行う
手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に所望
のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段を配
し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイスに最
適化されたインターフェイス手段を配するとともに、前
記第１のＩＣにはアナログ演算処理された検出信号およ
びディジタル演算処理された検出信号のための２つの出
力ポートを設け、かつアナログ信号の出力ポートを用い
ると共に、第２のＩＣにアナログ出力に好適なアナログ
信号のための前記インターフェイス手段を設けたことを
特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。 - 【請求項８】 第１のＩＣに、素子部からの検出信号を
アナログ演算処理する手段、ビットデータを格納すると
ともに該ビットデータを基に特性調整および補償を行う
手段、アナログ演算処理された検出信号をディジタル符
号化するＡ／Ｄ変換手段、該ディジタル符号を基に所望
のシリアル信号に変換するディジタル演算処理手段を配
し、第２のＩＣに、外部配線とのインターフェイスに最
適化されたインターフェイス手段を配し、前記第１のＩ
Ｃにはアナログ演算処理された検出信号およびディジタ
ル演算処理された検出信号のためのそれぞれアナログ信
号出力ポートとシリアル信号出力ポートを設け、かつシ
リアル信号出力ポートを用いると共に、第２のＩＣにシ
リアル出力に好適なシリアル信号のための前記インター
フェイス手段を設けたことを特徴とする請求項３に記載
の圧力センサ。 - 【請求項９】 前記両ＩＣ間には、アナログ演算処理さ
れた検出信号又はディジタル演算処理された検出信号の
通信を行うための１本の配線を設けたことを特徴とする
請求項７又は８に記載の圧力センサ。 - 【請求項１０】 外部電源を入力する電源入力ポート
と、この電源入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリ
ック性を有しかつ電源入力よりも降圧した電圧を発生す
る電源回路と、を備え、この電源回路およびインターフ
ェース手段以外の前記各手段は前記降圧された電源回路
出力にて動作するように構成したことを特徴とする請求
項１に記載の圧力センサ。 - 【請求項１１】 前記インターフェイス手段を設けたＩ
Ｃが、外部電源を入力する電源入力ポートと、この電源
入力ポートの入力電圧に対しレシオメトリック性を有し
かつ電源入力よりも降圧した電圧を発生する電源回路
と、前記降圧された電源回路出力を他のＩＣに供給する
ための電源出力ポートと、を配し、前記電源回路および
インターフェース手段以外の前記各手段は前記降圧され
た電源回路出力にて動作するように構成したことを特徴
とする請求項３に記載の圧力センサ。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001155508A JP2002350258A (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 圧力センサ |
| US09/985,833 US6668238B2 (en) | 2001-05-24 | 2001-11-06 | Pressure sensor |
| DE10160183.2A DE10160183B4 (de) | 2001-05-24 | 2001-12-07 | Drucksensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001155508A JP2002350258A (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002350258A true JP2002350258A (ja) | 2002-12-04 |
Family
ID=18999682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001155508A Pending JP2002350258A (ja) | 2001-05-24 | 2001-05-24 | 圧力センサ |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6668238B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002350258A (ja) |
| DE (1) | DE10160183B4 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8266465B2 (en) | 2000-07-26 | 2012-09-11 | Bridgestone Americas Tire Operation, LLC | System for conserving battery life in a battery operated device |
| US7161476B2 (en) | 2000-07-26 | 2007-01-09 | Bridgestone Firestone North American Tire, Llc | Electronic tire management system |
| WO2002020313A1 (de) * | 2000-09-06 | 2002-03-14 | Siemens Aktiengesellschaft | Vorrichtung zur bereitstellung eines von einer änderung des umgebungsdruckes abhängigen signals |
| US6910381B2 (en) * | 2002-05-31 | 2005-06-28 | Mykrolis Corporation | System and method of operation of an embedded system for a digital capacitance diaphragm gauge |
| DE102004054644A1 (de) * | 2004-11-11 | 2006-05-18 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Vorrichtung und Verfahren zum Kompensieren von Messwertaufnehmern |
| US9231463B2 (en) * | 2012-08-06 | 2016-01-05 | Peter Oaklander | Noise resistant regulator including an encoded control signal |
| RU2740573C1 (ru) * | 2017-07-14 | 2021-01-15 | Гсе Холдинг Аб | Электронный измеритель для контроля баллона со сжатым газом, и соответствующие способы |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5606513A (en) * | 1993-09-20 | 1997-02-25 | Rosemount Inc. | Transmitter having input for receiving a process variable from a remote sensor |
| US5460049A (en) * | 1994-01-26 | 1995-10-24 | Instrumention Northwest, Inc. | Digitally-temperature-compensated strain-gauge pressure measuring apparatus |
| JP2999425B2 (ja) * | 1996-11-06 | 2000-01-17 | 明産株式会社 | ロータリーカッターのための接圧制御装置 |
| DE19701221C1 (de) * | 1997-01-16 | 1998-04-23 | Abb Research Ltd | Verfahren zur Temperaturkompensation von Meßsignalen eines faseroptischen Sensors |
| JPH11218118A (ja) | 1998-01-30 | 1999-08-10 | Isuzu Motors Ltd | クランクシャフト支持構造 |
| DE19825761C2 (de) * | 1998-06-09 | 2001-02-08 | Fraunhofer Ges Forschung | Vorrichtung zum Erfassen einer Dehnung und/oder einer Stauchung eines Körpers |
| US6295875B1 (en) * | 1999-05-14 | 2001-10-02 | Rosemount Inc. | Process pressure measurement devices with improved error compensation |
-
2001
- 2001-05-24 JP JP2001155508A patent/JP2002350258A/ja active Pending
- 2001-11-06 US US09/985,833 patent/US6668238B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-12-07 DE DE10160183.2A patent/DE10160183B4/de not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6668238B2 (en) | 2003-12-23 |
| US20020177971A1 (en) | 2002-11-28 |
| DE10160183B4 (de) | 2014-12-11 |
| DE10160183A1 (de) | 2002-12-05 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040618 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040713 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20041116 |