JP2002339970A5 - - Google Patents
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Description
【００２６】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ロータ軸を磁気浮上支持する磁気軸受と、タッチダウンベアリングを具備する磁気軸受装置において、ロータ軸の該タッチダウンベアリングとの接触部が該ロータ軸を構成する主要部とは異なる別部品で構成されていることを特徴とする。
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載の発明は、ロータ軸を磁気浮上支持する磁気軸受と、タッチダウンベアリングを具備する磁気軸受装置において、ロータ軸の該タッチダウンベアリングとの接触部が該ロータ軸を構成する主要部とは異なる別部品で構成されていることを特徴とする。
【００２８】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の磁気軸受装置において、別部品の形状は、リング状でロータ軸に嵌合されていることを特徴とする。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の磁気軸受装置において、別部品の形状は、リング状でロータ軸に嵌合されていることを特徴とする。
【００２９】
上記のように、別部品の形状は、リング状でロータ軸に嵌合されているので、ロータシャフトの基部の外径を小さく設定しても、タッチダウンベアリングとの接触部の径を大きく設定することができ、該接触部の面圧を小さくできるから同部の耐久性を向上させることができる。また、別部品で肉薄とすることにより、焼入加工が容易になるとともに、同加工による表面硬度が高く、焼入れ深さを深くできるので、前述の効果が更に高くなる。
上記のように、別部品の形状は、リング状でロータ軸に嵌合されているので、ロータシャフトの基部の外径を小さく設定しても、タッチダウンベアリングとの接触部の径を大きく設定することができ、該接触部の面圧を小さくできるから同部の耐久性を向上させることができる。また、別部品で肉薄とすることにより、焼入加工が容易になるとともに、同加工による表面硬度が高く、焼入れ深さを深くできるので、前述の効果が更に高くなる。
【００５３】
請求項２に記載の発明によれば、別部品の形状は、リング状でロータ軸に嵌合されているので、ロータシャフトの基部の外径を小さく設定しても、タッチダウンベアリングとの接触部の径を大きく設定することができ、該接触部の面圧を小さくできるから同部の耐久性を向上させることができる。また、別部品で肉薄とすることにより、焼入加工が容易になるとともに、同加工による表面硬度が高く、焼入れ深さを深くできるので、前述の効果が更に高くなる。
請求項２に記載の発明によれば、別部品の形状は、リング状でロータ軸に嵌合されているので、ロータシャフトの基部の外径を小さく設定しても、タッチダウンベアリングとの接触部の径を大きく設定することができ、該接触部の面圧を小さくできるから同部の耐久性を向上させることができる。また、別部品で肉薄とすることにより、焼入加工が容易になるとともに、同加工による表面硬度が高く、焼入れ深さを深くできるので、前述の効果が更に高くなる。
Claims (6)
- ロータ軸を磁気浮上支持する磁気軸受と、タッチダウンベアリングを具備する磁気軸受装置において、
前記ロータ軸の該タッチダウンベアリングとの接触部が該ロータ軸を構成する主要部とは異なる別部品で構成されていることを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項１に記載の磁気軸受装置において、
前記別部品の形状は、リング状で前記ロータ軸に嵌合されていることを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項１又は２に記載の磁気軸受装置において、
前記別部品の材料はロータ軸の主要部の材料と異なることを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の磁気軸受装置において、
前記別部品は部品単体で表面硬化処理を施していることを特徴とする磁気軸受装置。 - 請求項２乃至４のいずれか１項に記載の磁気軸受装置において、
前記別部品は少なくとも前記ロータ軸との嵌合面に固体潤滑膜層を形成したことを特徴とする磁気軸受装置。 - ステータ及びロータを具備し、該ロータを支持する軸受装置に請求項１乃至５のいずれか１項に記載の磁気軸受装置を用いたことを特徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001144958A JP2002339970A (ja) | 2001-05-15 | 2001-05-15 | 磁気軸受装置及びターボ分子ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001144958A JP2002339970A (ja) | 2001-05-15 | 2001-05-15 | 磁気軸受装置及びターボ分子ポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002339970A JP2002339970A (ja) | 2002-11-27 |
| JP2002339970A5 true JP2002339970A5 (ja) | 2004-12-09 |
Family
ID=18990835
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001144958A Pending JP2002339970A (ja) | 2001-05-15 | 2001-05-15 | 磁気軸受装置及びターボ分子ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002339970A (ja) |
Families Citing this family (4)
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|---|---|---|---|---|
| JP5229499B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2013-07-03 | 株式会社安川電機 | 磁気軸受装置、およびそれを備える真空ポンプ |
| CN102425557B (zh) * | 2011-12-08 | 2014-09-03 | 北京中科科仪股份有限公司 | 一种获取磁悬浮分子泵转子悬浮中心的控制方法 |
| EP2808551B1 (en) * | 2013-05-30 | 2020-01-08 | Nuovo Pignone S.r.l. | Rotating machine with at least one active magnetic bearing and auxiliary rolling bearings |
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-
2001
- 2001-05-15 JP JP2001144958A patent/JP2002339970A/ja active Pending
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