JP2002334965A - 高周波デバイス用パッケージ - Google Patents

高周波デバイス用パッケージ

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JP2002334965A JP2001137829A JP2001137829A JP2002334965A JP 2002334965 A JP2002334965 A JP 2002334965A JP 2001137829 A JP2001137829 A JP 2001137829A JP 2001137829 A JP2001137829 A JP 2001137829A JP 2002334965 A JP2002334965 A JP 2002334965A
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Kunifumi Komiya
邦文 小宮
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 パッケージ内部に収容されるデバイスの実装
部を接地電極に接続できる高周波デバイス用パッケージ
を提供すること。 【解決手段】 素子7を実装可能とされた島状の実装部
5と、基板への実装において接続端子となるリード端子
4とを前記実装部5の外周に有するリードフレーム10
の前記実装部5に、少なくとも高周波素子7が実装され
る高周波素子基盤6をダイボンディングし、該ダイボン
ディングされた高周波素子基盤6並びに前記実装部5を
内在するとともに前記リード端子4の先端部分が露出す
るように封止樹脂2にて前記リードフレーム10を封止
した後に、該リード端子4の露出部を所定形状に成形し
て成る高周波デバイス用パッケージ1において、前記実
装部5から導出され、実装時において基板の接地電極と
前記実装部5とを導通可能とするダイリード端子3を具
備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術の分野】本発明は、携帯電話等の無
線通信機器用アンテナスイッチやアッテネータ等の比較
的高い周波数にて使用される高周波ハイブリッドICや
MMICに好適な高周波デバイス用パッケージの改良に
関する。
【0002】
【従来の技術】近年の無線通信機器、特には携帯電話等
の目覚ましい普及に伴い、周波数資源の更なる需要に対
応するために、VHFやUHF等のMHz帯域よりも高
い3GHz以上のマイクロ波帯域が、携帯電話や無線L
AN端末等の無線通信機器に使用されるようになってき
ている。
【0003】これら3GHz以上のマイクロ波帯域より
高い周波数を無線通信に利用する場合においては、無線
通信に使用する搬送波の送信や受信のためにアンテナと
の接続を適宜に切り替える電子スイッチや、送信する高
周波信号の制御を行う電子アッテネータ等の高周波デバ
イスの役割が非常に重要になってきている。
【0004】しかしながら、これら3GHz以上の帯域
においては、従来のVHFやUHF等のMHz帯にて主
にアンテナスイッチやアッテネータ等に使用されていた
安価な樹脂モールドパッケージでは、使用される高周波
信号が封止樹脂を通じてデバイスを乗り越えてしまい、
高いアイソレーション(遮断性)を得ることができず、
良好なアンテナスイッチやアッテネータ等が得られない
ことから、これらマイクロ波帯域より高い周波数用のア
ンテナスイッチやアッテネータとしては、高絶縁性のセ
ラミックパッケージが通常において用いられている。
【0005】しかしながら、これらセラミックパッケー
ジは、パッケージ自体が高価であるとともに、それらの
中に高周波素子を実装するコストも高く、得られるデバ
イス自体が非常に高価なものとなってしまうという問題
があった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】このため、これら問題
を解決するために、従来の安価な樹脂モールドパッケー
ジにて高いアイソレーション(遮断性)を得ることがで
きる手法として、本発明者らは、従来の樹脂モールドパ
ッケージを高周波信号が乗り越える主な要因が、これら
封止樹脂によりパッケージ内部のリード端子と高周波回
路が実装される実装部との間に形成される静電容量
(C)によるものであることを逆利用し、これら静電容
量(C)を含むパッケージの寄生静電容量とともにその
動作周波数に共振するLC共振回路となるインダクタを
高周波回路に設けてパッケージ自体を共振器化するとと
もに、前記LC共振回路の接地(グランド)を強化して
前記高周波信号をグランドに吸い込むように励起させる
ことにより、樹脂パッケージ自体を高周波信号が乗り越
えて出力されてしまうことを効果的に抑えることが可能
であることを見いだした。
【0007】しかしながら、これらLC共振器を形成し
て高周波信号をグランドに安定して吸い込むようにする
には、前記リード端子は電子装置回路基板上の回路に接
続されることを目的として形成されていることから接地
電極として活用することが困難であるばかりか、前記L
C共振回路による高周波信号の吸い込みを安定して得る
ためには、前記実装部を接地(グランド)させてその容
量の大きなものとする必要があるが、通常において使用
されているリードフレームにおいてこれら実装部には、
パッケージ外部に導出された端子を有しておらず、これ
ら実装部をパッケージ外部の接地電極に接続することが
できないという問題があった。
【0008】よって、本発明は上記した問題点に着目し
てなされたもので、前記実装部を接地電極に接続できる
高周波デバイス用パッケージを提供することを目的とし
ている。
【0009】
【課題を解決するための手段】前記した問題を解決する
ために、本発明の高周波デバイス用パッケージは、素子
を実装可能とされた島状の実装部と、基板への実装にお
いて接続端子となるリード端子とを前記実装部の外周に
有するリードフレームの前記実装部に、少なくとも高周
波素子が実装される高周波素子基盤をダイボンディング
し、該ダイボンディングされた高周波素子基盤並びに前
記実装部を内在するとともに前記リード端子の先端部分
が露出するように封止樹脂にて前記リードフレームを封
止した後に、該リード端子の露出部を所定形状に成形し
て成る高周波デバイス用パッケージにおいて、前記実装
部から導出され、実装時において基板の接地電極と前記
実装部とを導通可能とするダイリード端子を具備するこ
とを特徴としている。この特徴によれば、前記実装部か
ら導出されて前記封止樹脂外部に露出するダイリード端
子を設けることで、いままでの樹脂封止工程を変えるこ
となく、該ダイリード端子を本発明のパッケージが実装
される実装基板のグランド(接地)電極と実装時に接続
でき、比較的大きなグランド容量を確保できるようにな
る。
【0010】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記ダイリード端子を、前記樹脂封止されて得られるパ
ッケージのほぼ中央位置に位置するように備えることが
好ましい。このようにすれば、前記ダイリード端子の総
長を極力短いものとでき、該ダイリード端子の導通抵抗
による共振器への影響を極力小さなものとすることがで
きる。
【0011】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記ダイリード端子を、前記リード端子の非導出外周辺
に備えることが好ましい。このようにすれば、該ダイリ
ード端子の幅や該ダイリード端子が接続される基板側の
電極幅等を、他のリード端子や基板側電極に制約される
ことなく幅広とすることができ、該ダイリード端子の導
通抵抗をより少ないものとすることができる。
【0012】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記ダイリード端子の先端が前記封止樹脂の外面に沿っ
て折り曲げ加工されていることが好ましい。このように
すれば、実装において基板上に必要となる実装面積をよ
り少ないものとすることができる。
【0013】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記封止樹脂により前記実装部と前記リード端子との間
の静電容量を少なくとも含む寄生の静電容量(C)を用
いることで、その動作周波数帯域において該動作周波数
に共振する共振回路を前記島状実装部の高周波回路上に
含むことが好ましい。このようにすれば、高周波デバイ
スのパッケージとして従来の樹脂パッケージを用いても
高いアイソレーションを得ることができ、高周波デバイ
スのパッケージコストを大幅に低減できる。
【0014】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記高周波素子の少なくとも1つがPINダイオードで
あることが好ましい。このようにすれば、シリコンウエ
ハ上に多量に作れる安価なPINダイオードを用いてマ
イクロ波帯においても高いアイソレーションを得られる
高周波デバイスを、安価に得ることができる。
【0015】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記高周波素子の少なくとも1つが電界効果トランジス
タ(FET)またはトランジスタであることが好まし
い。このようにすれば、電界効果トランジスタ(FE
T)またはトランジスタを用いて高周波においても高い
アイソレーションを得られる高周波デバイスを、安価に
得ることができる。
【0016】本発明の高周波デバイス用パッケージは、
前記高周波素子基盤が、LCR内蔵薄膜基板であること
が好ましい。このようにすれば、抵抗やコンデンサやイ
ンダクタが薄膜にて形成された薄膜LCR内蔵基盤を用
いることで、これら抵抗やコンデンサやインダクタの容
量のばらつきが少ないばかりか、基盤上の配線等の寸法
精度も厚膜基盤等に比較して高くできることから、これ
ら配線等により生じる寄生抵抗や寄生静電容量等の大き
さを安定したものとすることができ、結果として安定し
た前記共振器を形成することができる。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施形態を説明する。 (実施例)まず、図1は、本実施例における高周波デバ
イス用パッケージを示す一部破断斜視図であり、図2
は、本実施例において用いたリードフレームの形状を示
す平面図であり、図3は、本実施例における高周波デバ
イス用パッケージの加工工程を示す図であり、図4は、
本実施例における高周波デバイス用パッケージの内部構
成を示す断面図であり、図5は、本実施例において用い
た薄膜LCR基盤上の高周波回路を示す回路図である。
【0018】本実施例の高周波デバイスであるアンテナ
スイッチ用パッケージ1は、図1に示すように、通常の
樹脂モールドICパッケージとほぼ同様の構成とされて
おり、封止樹脂2からは図2に示すリードフレーム10
の複数のリード端子4が露出し、該露出部が、リード端
子4の下面と封止樹脂2の下面位置がほぼ同一平面とな
るようにパッケージ1の下方へ折曲げ加工されている。
【0019】また、前記複数のリード端子4が露出して
いない側面には、封止樹脂2内部に収容されている図2
に示すリードフレーム10の実装部5より導出された比
較的幅広の2本のダイリード端子3が露出して設けられ
ており、該ダイリード端子3が露出部は、封止樹脂2の
側面並びに底面に沿って折り曲げ加工されている。
【0020】本実施例の高周波デバイス用パッケージ1
の内部には、前記実装部5上に薄膜LCR基盤6が、図
4に示すように、導電性接着剤9にて導通可能に接着、
実装されているとともに、該LCR基盤6上に高周波素
子としてのPINダイオード7が導電性接着剤9にて導
通可能に接着、実装されていて、これらPINダイオー
ドとLCR基盤6上の電極或いは前記リード端子4の内
方端とは、ボンデングワイヤ8にて接続されている。
【0021】本実施例に用いたリードフレーム10は、
その材質としては通常の樹脂パッケージICのリードフ
レームに多く使用されている42アロイとされていて、
その形状は、図2に示すような形状とされており、8本
のリード端子が中央部に島状に形成されている実装部5
を挟んで対向する側に設けられている実装単位が繰返し
形成された短冊状とされた8ピンのSSOP用リードフ
レームとされており、その特徴としては、前記島状に形
成されている実装部5より前記リード端子に比較して幅
広のダイリード端子3が導出されており、該ダイリード
端子3が前記島状に形成されている実装部5の保持部を
兼ねるようになっている。
【0022】これら図2に示すように、本実施例では前
記ダイリード端子3を8本のリード端子が形成されてい
ない側に設けており、このようにすることは、これらダ
イリード端子3を設けることで、通常のリード端子に制
約されることなく、これらダイリード端子3の幅を比較
的大きなものとすることができるようになるとともに、
これらダイリード端子3と接続される実装基板の端子の
幅や引き回し等の自由度も高くなることから好ましい
が、本発明はこれに限定されるものではなく、前記リー
ド端子のいずれか1本或いは複数本を、前記実装部5よ
り導出したダイリード端子としても良い。
【0023】次いで、図3に基づき、本実施例のアンテ
ナスイッチ用パッケージ1の加工工程について説明す
る。
【0024】まず、図3(a)に示すように、前記リー
ドフレーム10の実装部5に薄膜により抵抗やコンデン
サやインダクタ並びに導通パターンが形成された薄膜L
CR基盤6を導電性接着剤9にて実装する。
【0025】この薄膜LCR基盤6の実装後において、
該薄膜LCR基盤6上に高周波素子としてのPINダイ
オード7を、導電性接着剤9にて図3(b)に示すよう
に実装する。
【0026】これら導電性接着剤9としては、通常のダ
イボンディング用の導電性接着剤を好適に使用すること
ができ、本実施例においては銀系の導電性接着剤を使用
している。尚、本実施例では前述のように、薄膜LCR
基盤6を導電性接着剤9にて前記実装部5上に接着、実
装しているが、本発明はこれに限定されるものではな
く、これら薄膜LCR基盤6をハンダや共晶等にて接
着、実装するようにしても良い。
【0027】また、本実施例では前述のように薄膜LC
R基盤6を使用しており、このように薄膜LCR基盤6
を使用することは、基盤上に形成される抵抗やコンデン
サやインダクタの容量精度を高くできるとともに、基盤
上の配線パターン等の寸法精度も厚膜基盤等に比較して
高く、これら配線パターンにより生じる寄生抵抗や該配
線パターンと封止樹脂とにより形成される疑似コンデン
サの寄生静電容量値を安定したものにでき、これら薄膜
LCR基盤6上に形成されるLC共振器の動作周波数を
安定したもとすることができるようになることから好ま
しいが、本発明はこれに限定されるものではない。
【0028】前記PINダイオード7の実装後におい
て、図3(c)に示すように、PINダイオード7と薄
膜LCR基盤6と前記リードフレーム10のリード端子
4とをボンデングワイヤ8にて接続する。これらボンデ
ングワイヤ8としては通常のIC用のボンデングワイヤ
を好適に使用することができ、本実施例では所定線径の
金ワイヤを使用している。
【0029】これらワイヤボンディングの後、図3
(d)に示すように、前記薄膜LCR基盤6が実装され
た実装部5を含む所定範囲を封止樹脂2にて封止する。
これら封止樹脂2としては、通常においてICパッケー
ジ用に使用されている封止樹脂を好適に使用することが
でき、その形成方法としては該使用する封止樹脂に適し
た形成方法を用いれば良いが、本実施例においては金型
内に前記薄膜LCR基盤6が実装されたリードフレーム
10を装填した後、加熱して溶融させた封止樹脂2を金
型内部に流し込んで成形するトランスファーモールドに
より成形している。
【0030】この樹脂封止の終了後において、該樹脂封
止されたリードフレーム10が切断金型内に導入されて
図2に示す破線部が切断され、補強部4’が取り除かれ
て、パッケージ部分がリードフレーム10より取り外さ
れるとともに、前記リード端子はパッケージの外方に広
がるようにL字状に折曲げ加工され、前記ダイリード端
子3は、図3(e)に示すように、封止樹脂の外周側面
並びに底面に沿って折曲げ加工される。
【0031】次いで、前記薄膜LCR基盤6上に形成さ
れる本実施例のアンテナスイッチ用の高周波回路として
は種々の回路構成が考えられるが、前記PINダイオー
ド7を用いた回路例を図5に示す。
【0032】この図5の回路には、送信側であるTX側
とアンテナ(ANT)端子との間に、前記ダイリード端
子3により大容量とされた実装部5によるグランドへの
シャント回路が設けられていて、該シャント回路にはコ
ントロール端子を挟んで、一方側には前記薄膜LCR基
盤6上に実装されたPINダイオードS1と、前記ダイ
リード端子3によるL成分を含むとともに該L成分に適
宜に付加されたインダクタンスL1と、他方側には該L
1と所定の動作周波数F0にて直列共振するような容量
とされたコンデンサC1とが設けられている。
【0033】また、アンテナ端子を挟んだ送信側(TX
側)と受信側(RX側)の双方にも前記薄膜LCR基盤
6上に形成されたPINダイオード7によるS2,S3
とが設けられている。
【0034】この送信側(TX側)にはPINダイオー
ドS2と並列にコンデンサC2が設けられているととも
に該PINダイオードS2と直列にインダクタンスL2
が、他方のL3が前記並列配置されたコンデンサC2と
の並列内に、他方が該並列外に設けられている。
【0035】また、受信側(RX側)にはPINダイオ
ードS3と並列にとインダクタンスL4を配置し、イン
ダクタンスへの直流成分をカットするためにこれと直列
にC3を配置してある。
【0036】以下、この本実施例のアンテナスイッチ回
路のスイッチ動作について説明すると、前記回路中の各
PINダイオードS1,S2,S3は、等価的な回路と
しては図6に示すように、内部抵抗Rsと内部静電容量
Cpとが並列配置された回路と見なすことが可能である
ことから、前記図5に示す本実施例の回路は、前記シャ
ント回路のコントロール端子にコントロール電圧を印加
して各PINダイオードS1,S2,S3に十分な電流
iを流すと、前記各PINダイオードS1,S2,S3
の内部抵抗Rsの大きさは理想的にはほぼ0に近づくこ
とから、図7(a)に示すように、見かけ上PINダイ
オードS1,S2,S3が存在しない回路となる。
【0037】また、逆に前記コントロール端子にコント
ロール電圧を印加しない場合には、各PINダイオード
S1,S2,S3の内部抵抗Rsの大きさが理想的には
無限大に近づくことから、図7(b)並びに図10
(a)に示すように、回路上には前記PINダイオード
S1,S2,S3がコンデンサCpとなる回路と見なす
ことができる。
【0038】このコントロール端子にコントロール電圧
を印加しない場合には、図10(c)に示すように、前
記送信側(TX側)よりの高周波信号F0がコンデンサ
Cを通過してアンテナ端子へ伝達されるが、この際、前
記PINダイオードS3はコンデンサCpと等価とな
り、これら送信側(TX側)よりの高周波信号が受信側
(RX側)に漏れてしまうことから、前記高周波信号F
0に共振可能な大きさのインダクタンスL4を、図10
(c)に示すように前記コンデンサCpに対して並列に
設けておくことで、図8(a)に示すように、該共振に
より理想的には無限大まで高周波信号F0が減衰されて
該高周波信号F0が受信側(RX側)に通過できなくな
り、図10(d)に示すように、前記送信側(TX側)
よりの送信信号がアンテナ端子に通過できる一方、該送
信信号が受信側(RX側)に漏れることを防止できるよ
うになっている。但し、前記共振における減衰において
は、実際には図8(b)に示すように、非通電時の内部
抵抗Rsが無限大ではないことから、内部抵抗Rsによ
り止まるところまでしか高周波信号F0を減衰できな
い。
【0039】一方、前記したコントロール電圧を印加し
た場合には、図9(a),(b)に示すように、アンテ
ナにて受信されてアンテナ端子から入力した高周波信号
が直接受信側(RX側)に容易に通過できるが、前記送
信側(TX側)からの高周波信号F0は、前述の図8
(a)に示す共振回路と同様に、前記PINダイオード
S2に並列に設けられているコンデンサCとLとで構成
される共振回路による減衰により、前記アンテナ端子並
びに受信側(RX側)への通過が阻止されるとともに、
前記シャント回路に前記高周波信号F0と共振可能とな
るように設けられたインダクタンスL1とコンデンサC
1とによる共振にて、前記コンデンサCとLとで構成さ
れる共振回路に到達する高周波信号F0を積極的に前記
グランドへ落とし込むことで、該高周波信号F0の強度
を大幅に低下させて、これら送信側(TX側)からの高
周波信号F0が通過しないようになっており、図9
(b)に示すように、送信信号はアンテナ端子に通過さ
れることなく、受信信号のみが受信側(RX側)へ到達
するようになり、高いアイソレーションを有したアンテ
ナ端子のスイッチングが可能とされている。
【0040】尚、前記したシャント回路に前記高周波信
号F0と共振可能となるように設けられたインダクタン
スL1とコンデンサC1とは、これらコンデンサC1が
理想的なコンデンサであってその周囲の配線等によるイ
ンダクタンスLが皆無の場合には、図11に示すよう
に、共振により出力信号をグランドに落とすことが可能
となるが、実際には寄生インダクタンスL0が必ず生じ
てしまうことから、これら寄生インダクタンスL0と前
記高周波信号F0の周波数帯域にて共振する容量のコン
デンサC0を設ければ良いが、実際の前記L1は、前記
寄生インダクタンスL0の適宜な大きさのLを加えたも
のとしている。
【0041】この理由としては、前記寄生インダクタン
スL0のみである場合は、前記コントロール端子に電圧
を印加した状態においては、前記Cpが見えないことか
ら、周波数特性として図12(a)に示すように、高い
周波数に向かってだらだらと共振による減衰利得が大き
くなるように見えることから、より高周波域にて共振を
生じる適宜な大きさのLを加えた前記L1とすること
で、図12(b)に示すように、周波数特性をフラット
なものとしている。
【0042】これら前記実施例の回路のように、高周波
信号を制御するアンテナスイッチ回路、特には前記送信
側(TX側)からの強い強度の高周波信号F0を共振に
て積極的にグランドに落とすようにするようにした回路
においては、これらグランドの容量(強さ)が小さい
(弱い)と、十分な高周波信号F0の減衰が得られない
ばかりか、前記シャント回路における寄生インダクタン
スL0等の容量のばらつきが大きくなって、所望のアイ
ソレーション性能が得られなくなる場合があることか
ら、本実施例のパッケージのように、ダイリード端子3
を設けて実装部5全体を大容量のグランドとすること
で、これらの問題を低減できて非常に有用性が高い。
【0043】このようにして得られた本実施例のアンテ
ナスイッチの高周波特性を図13に示す。比較例とし
て、高周波素子としてPINダイオードを用いたが前記
シャント回路におけるグランドへの共振回路を用いない
ものと、現在主に使用されているセラミックパッケージ
によるGaAsFETによるアンテナスイッチの高周波
特性表を示す。
【0044】本実施例のものは、樹脂パッケージを用
い、且つ安価なPINダイオードを用いても、図13
(a)に示すように、現行において多用されているGa
AsFETによるアンテナスイッチよりも減衰量(値)
が非常に高いアイソレーションに優れたアンテナスイッ
チが得られることが判るとともに、前記シャント回路に
おけるグランドへの共振回路を用いることにより、Ga
AsFETよりも挿入損失が低く且つ減衰量(値)も高
い非常に良好な特性を有するアンテナスイッチであるこ
とが判る。
【0045】また、これら高周波特性は、、図13
(b)に示すように、3.0GHzから5.8GHzまで
の非常に高い周波数においても、現行において多用され
ているGaAsFETよりも優れた特性が得られたこと
が判り、本実施例のようなパッケージ構成並びに回路と
することで、これらの良好な周波数特性を有するるアン
テナスイッチを、安価なPINダイオードと安価な樹脂
パッケージにて得ることができ、よってこれらアンテナ
スイッチを非常に安価にて提供することができる。
【0046】以上、本発明の実施例を図面により説明し
てきたが、本発明はこれら実施例に限られるものではな
く、本発明の要旨を逸脱しない範囲における変更や追加
があっても本発明に含まれる。
【0047】例えば、前記実施例においては、高周波デ
バイスとしてアンテナスイッチを例示しているが、本発
明はこれに限定されるものではなく、これら高周波デバ
イスをアッテネータとしたりその他のデバイスとしても
良い。
【0048】また、前記実施例では、高周波素子として
安価なPINダイオードを用いた例を示したが、本発明
はこれに限定されるものではなく、図15に示すよう
に、これら高周波素子として現行において多用されてい
るGaAsFETやGaAs以外のシリコントランジス
タを用いたものとしても良い。
【0049】また、前記実施例では、ダイリード端子3
をパッケージの両側面から導出しているが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、これらダイリード端子3
を一方の側面から1本のみ導出するようにしても良い。
【0050】また、前記実施例では、ダイリード端子3
がパッケージの側面より露出するようにしているが、本
発明はこれに限定されるものではなく、これらダイリー
ド端子3の容量(強さ)を増大(強化)させるととも
に、デバイスの放熱等を考慮して、図14に示すよう
に、前記実装部5の厚みを厚くして、パッケージの底面
に該実装部の底面が露出するように導出しても良い。
【0051】
【発明の効果】本発明は次の効果を奏する。 (a)請求項1の発明によれば、前記実装部から導出さ
れて前記封止樹脂外部に露出するダイリード端子を設け
ることで、いままでの樹脂封止工程を変えることなく、
該ダイリード端子を本発明のパッケージが実装される実
装基板のグランド(接地)電極と実装時に接続でき、比
較的大きなグランド容量を確保できるようになる。
【0052】(b)請求項2の発明によれば、前記ダイ
リード端子の総長を極力短いものとでき、該ダイリード
端子の導通抵抗による共振器への影響を極力小さなもの
とすることができる。
【0053】(c)請求項3の発明によれば、該ダイリ
ード端子の幅や該ダイリード端子が接続される基板側の
電極幅等を、他のリード端子や基板側電極に制約される
ことなく幅広とすることができ、該ダイリード端子の導
通抵抗をより少ないものとすることができる。
【0054】(d)請求項4の発明によれば、実装にお
いて基板上に必要となる実装面積をより少ないものとす
ることができる。
【0055】(e)請求項5の発明によれば、高周波デ
バイスのパッケージとして従来の樹脂パッケージを用い
ても高いアイソレーションを得ることができ、高周波デ
バイスのパッケージコストを大幅に低減できる。
【0056】(f)請求項6の発明によれば、シリコン
ウエハ上に多量に作れる安価なPINダイオードを用い
てマイクロ波帯においても高いアイソレーションを得ら
れる高周波デバイスを、安価に得ることができる。
【0057】(g)請求項7の発明によれば、電界効果
トランジスタ(FET)またはトランジスタを用いて高
周波においても高いアイソレーションを得られる高周波
デバイスを、安価に得ることができる。
【0058】(h)請求項8の発明によれば、抵抗やコ
ンデンサやインダクタが薄膜にて形成された薄膜LCR
内蔵基盤を用いることで、これら抵抗やコンデンサやイ
ンダクタの容量のばらつきが少ないばかりか、基盤上の
配線等の寸法精度も厚膜基盤等に比較して高くできるこ
とから、これら配線等により生じる寄生抵抗や寄生静電
容量等の大きさを安定したものとすることができ、結果
として安定した前記共振器を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例における高周波デバイス用パッ
ケージを示す一部破断斜視図である。
【図2】本発明の実施例において用いたリードフレーム
の形状を示す平面図である。
【図3】本発明の実施例における高周波デバイス用パッ
ケージの加工工程を示す図である。
【図4】本発明の実施例における高周波デバイス用パッ
ケージの内部構成を示す断面図である。
【図5】本発明の実施例において用いたPINダイオー
ドによるアンテナスイッチ回路を示す回路図である。
【図6】PINダイオードの等価回路を示す図である。
【図7】(a),(b)は、本発明の実施例において用
いたアンテナスイッチ回路の各動作時における等価回路
を示す図である。
【図8】共振回路による減衰利得を示す説明図である。
【図9】(a),(b)は、コントロール電圧印加時の
回路動作を示す説明図である。
【図10】(a)〜(d)は、コントロール電圧非印加
時の回路動作を示す説明図である。
【図11】本実施例のシャント回路における共振回路に
関する説明図である。
【図12】(a),(b)は、本実施例のシャント回路
における共振回路の周波数特性を示す図である。
【図13】(a),(b)は、本実施例のアンテナスイ
ッチと他のアンテナスイッチとの高周波特性の比較を示
す図である。
【図14】その他の実施形態を示す図である。
【図15】高周波素子としてトランジスタを用いた回路
例を示す図である。
【符号の説明】
1 アンテナスイッチ用パッケージ 2 封止樹脂 3 ダイリード端子 3’ ダイリード端子 4 リード端子 4’ 補強部 5 実装部 6 薄膜LCR基盤 7 PINダイオード 8 ボンデングワイヤ 9 導電性接着剤 10 リードフレーム

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 素子を実装可能とされた島状の実装部
    と、基板への実装において接続端子となるリード端子と
    を前記実装部の外周に有するリードフレームの前記実装
    部に、少なくとも高周波素子が実装される高周波素子基
    盤をダイボンディングし、該ダイボンディングされた高
    周波素子基盤並びに前記実装部を内在するとともに前記
    リード端子の先端部分が露出するように封止樹脂にて前
    記リードフレームを封止した後に、該リード端子の露出
    部を所定形状に成形して成る高周波デバイス用パッケー
    ジにおいて、前記実装部から導出され、実装時において
    基板の接地電極と前記実装部とを導通可能とするダイリ
    ード端子を具備することを特徴とする高周波デバイス用
    パッケージ。
  2. 【請求項2】 前記ダイリード端子を、前記樹脂封止さ
    れて得られるパッケージのほぼ中央位置に位置するよう
    に備える請求項1に記載の高周波デバイス用パッケー
    ジ。
  3. 【請求項3】 前記ダイリード端子を、前記リード端子
    の非導出外周辺に備える請求項1または2に記載の高周
    波デバイス用パッケージ。
  4. 【請求項4】 前記ダイリード端子の先端が前記封止樹
    脂の外面に沿って折り曲げ加工されている請求項3に記
    載の高周波デバイス用パッケージ。
  5. 【請求項5】 前記封止樹脂により前記実装部と前記リ
    ード端子との間の静電容量を少なくとも含む寄生の静電
    容量(C)を用いることで、その動作周波数帯域におい
    て該動作周波数に共振する共振回路を前記島状実装部の
    高周波回路上に含む請求項1〜4のいずれかに記載の高
    周波デバイス用パッケージ。
  6. 【請求項6】 前記高周波素子の少なくとも1つがPI
    Nダイオードである請求項5に記載の高周波デバイス用
    パッケージ。
  7. 【請求項7】 前記高周波素子の少なくとも1つが電界
    効果トランジスタ(FET)またはトランジスタである
    請求項5に記載の高周波デバイス用パッケージ。
  8. 【請求項8】 前記高周波素子基盤が、LCR内蔵薄膜
    基板である請求項1〜6のいずれかに記載の高周波デバ
    イス用パッケージ。
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