JP2002333315A - レーザー干渉計での面精度計測保持具 - Google Patents
レーザー干渉計での面精度計測保持具Info
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- JP2002333315A JP2002333315A JP2001140123A JP2001140123A JP2002333315A JP 2002333315 A JP2002333315 A JP 2002333315A JP 2001140123 A JP2001140123 A JP 2001140123A JP 2001140123 A JP2001140123 A JP 2001140123A JP 2002333315 A JP2002333315 A JP 2002333315A
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- Japan
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- laser interferometer
- moving body
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種大きさの被計測物の面精度を高精度、高
能率で計測するレーザー干渉計での面精度計測保持具を
提供する。 【解決手段】 被計測物を載せる保持具と、被計測物に
対向して設置されたレーザー干渉計とから構成された計
測機器において、保持具を３つ以上に等配置された可動
体上にボールを固定して、１つの操作で可動体が同時に
同量ある１点方向へ動くこと、可動体を焼き入れ等して
硬度を高くしたこと、可動体上のボールはネジ付き一体
物にしたこと、可動体のスライド量から被計測物を載せ
るボール間の直径表示をさせる構成とした。
能率で計測するレーザー干渉計での面精度計測保持具を
提供する。 【解決手段】 被計測物を載せる保持具と、被計測物に
対向して設置されたレーザー干渉計とから構成された計
測機器において、保持具を３つ以上に等配置された可動
体上にボールを固定して、１つの操作で可動体が同時に
同量ある１点方向へ動くこと、可動体を焼き入れ等して
硬度を高くしたこと、可動体上のボールはネジ付き一体
物にしたこと、可動体のスライド量から被計測物を載せ
るボール間の直径表示をさせる構成とした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザー干渉計で
の計測機器に係り、特に、予め研磨された光学部品等の
面精度を高精度で計測するための計測機器に関するもの
である。
の計測機器に係り、特に、予め研磨された光学部品等の
面精度を高精度で計測するための計測機器に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、このような面精度計測保持具は、
被計測物の大きさに合わせて図６に示すようにリング状
の保持部１０１を作成して、このリング上に被計測物１
０２を載せる。
被計測物の大きさに合わせて図６に示すようにリング状
の保持部１０１を作成して、このリング上に被計測物１
０２を載せる。
【０００３】このようにして、リング状保持部１０１に
載せた被計測物１０２は、リングの変形、異物付着等に
より、正確な面精度計測ができない。特にマスターに対
するニュートン本数比較計測する場合は正確なニュート
ン本数計測ができない。
載せた被計測物１０２は、リングの変形、異物付着等に
より、正確な面精度計測ができない。特にマスターに対
するニュートン本数比較計測する場合は正確なニュート
ン本数計測ができない。
【０００４】これは、各被計測物に合わせたリングの受
け部が正確な円周になっていなくて被計測物を載せる毎
に保持点が変化し、また、保管上の異物付着や、リング
着脱時の取り扱いミスによる変形等により、被計測物の
保持高さが異なるためである。
け部が正確な円周になっていなくて被計測物を載せる毎
に保持点が変化し、また、保管上の異物付着や、リング
着脱時の取り扱いミスによる変形等により、被計測物の
保持高さが異なるためである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の面
精度計測保持具は、上述のような解決すべき欠点を有す
るものである。
精度計測保持具は、上述のような解決すべき欠点を有す
るものである。
【０００６】本発明の目的は、被計測物の面精度、ニュ
ートン本数等を精度良く、能率良く計測するために、１
つの保持具で保持位置をデジタル表示させながら容易に
変更することで各種計測物に対応できること、保持部を
ボールにして計測誤差を少なくできること、ボールの交
換が容易にできることを提供するために創案されたもの
である。
ートン本数等を精度良く、能率良く計測するために、１
つの保持具で保持位置をデジタル表示させながら容易に
変更することで各種計測物に対応できること、保持部を
ボールにして計測誤差を少なくできること、ボールの交
換が容易にできることを提供するために創案されたもの
である。
【０００７】
【課題を解決するための手段及び作用】このため、本発
明では、被計測物を載せる保持具と、被計測物に対向し
て設置されたレ一ザ一干渉計とから構成された計測機器
において、保待具を３つ以上に等配置された可動体上に
ボ一ルを固定して、１つの操作で可動体が同時に同量あ
る１点方向へ動くことで各種大きさの被計測物が計測出
来ること、可動体を焼き入れ等することにより硬度を高
くして摩耗及び変形防止をしたこと、可動体上に取り付
けるボールはネジ付きの一体物にしてボールが破損また
は摩耗した場合に容易に新規交換出来るようにしたこ
と、可動体のスライド量から被計測物を載せるボ一ル間
の直径を表示させることで各種大きさの披計測物に容易
に対応するために創案されたものである。
明では、被計測物を載せる保持具と、被計測物に対向し
て設置されたレ一ザ一干渉計とから構成された計測機器
において、保待具を３つ以上に等配置された可動体上に
ボ一ルを固定して、１つの操作で可動体が同時に同量あ
る１点方向へ動くことで各種大きさの被計測物が計測出
来ること、可動体を焼き入れ等することにより硬度を高
くして摩耗及び変形防止をしたこと、可動体上に取り付
けるボールはネジ付きの一体物にしてボールが破損また
は摩耗した場合に容易に新規交換出来るようにしたこ
と、可動体のスライド量から被計測物を載せるボ一ル間
の直径を表示させることで各種大きさの披計測物に容易
に対応するために創案されたものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態例につ
いて、図面を参照して具体的に説明する。
いて、図面を参照して具体的に説明する。
【０００９】図２は、この発明の実施の第1形態例を示
しており、光学部品の面精度をレーザー干渉計で計測す
る場合の保持具の例である。
しており、光学部品の面精度をレーザー干渉計で計測す
る場合の保持具の例である。
【００１０】光学部品１を等配置されたスライド上の３
ケ所ボール２に載せて面精度計測を行う。
ケ所ボール２に載せて面精度計測を行う。
【００１１】図３は、この発明の実施の第２形態例を示
しており、光学部品１の大きさに合わせて連動３つ爪チ
ヤック操作用ハンドル４を動かすことで、爪上部３ケ所
ボール２間は同時に同量だけ中心方向または放射方向へ
動くことで３ケ所ボール２間の直径を変化させている。
しており、光学部品１の大きさに合わせて連動３つ爪チ
ヤック操作用ハンドル４を動かすことで、爪上部３ケ所
ボール２間は同時に同量だけ中心方向または放射方向へ
動くことで３ケ所ボール２間の直径を変化させている。
【００１２】また、この発明の実施の第３形態例では、
図３に示す連動３つ爪チャック３に焼き入れをして、硬
度を高めることで、長期間の使用による摩耗及び取り扱
いミスによる変形防止が図られている。
図３に示す連動３つ爪チャック３に焼き入れをして、硬
度を高めることで、長期間の使用による摩耗及び取り扱
いミスによる変形防止が図られている。
【００１３】図４は、この発明の実施の第４形態例を示
しており、ボール２はネジ込み式であるため取り扱いミ
スによる破損及び長期間使用による摩耗が発生した場合
は新規交換できる。
しており、ボール２はネジ込み式であるため取り扱いミ
スによる破損及び長期間使用による摩耗が発生した場合
は新規交換できる。
【００１４】図５は、この発明の実施の第５形態例を示
しており、該形態例において光学部品１の大きさが変更
になった場合、連動３つ爪チヤック操作用ハンドル４を
動かすことで、チャックのネジピッチから操作用ハンド
ルの回転角度、回転角度との関係からスライド量に換算
させて光学部品１を載せる３ケ所ボール２間の直径表示
５をする。
しており、該形態例において光学部品１の大きさが変更
になった場合、連動３つ爪チヤック操作用ハンドル４を
動かすことで、チャックのネジピッチから操作用ハンド
ルの回転角度、回転角度との関係からスライド量に換算
させて光学部品１を載せる３ケ所ボール２間の直径表示
５をする。
【００１５】
【発明の効果】本発明は以上に説明したように、各種大
きさの被計測物の面精度を高精度、高能率に計測するこ
とができ、また、被計測物との接触が点のために被計測
物表面のキズの発生を防止することができる。
きさの被計測物の面精度を高精度、高能率に計測するこ
とができ、また、被計測物との接触が点のために被計測
物表面のキズの発生を防止することができる。
【図１】本発明を示す概念図である。
【図２】本発明の実施の第１形態例を示す部分断面図で
ある。
ある。
【図３】第２、第３、第５形態例を示す部分断面図であ
る。
る。
【図４】第４形態例を示す部分断面図であるｃ
【図５】従来例を示す概略図である。
１ 光学部品 ２ ボール（ネジ込み式） ３ 連動３つ爪チャック ４ 連動３つ爪チヤック操作用ハンドル ５ ３ケ所ボ一ル間の直径表示 ６ 可動体 ７ レーザー光 １０１ リング状保持部 １０２ 被計測物
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F062 AA53 AA55 BB08 BC80 CC02 CC08 CC16 EE09 GG75 MM02 MM08 2F065 AA46 AA47 BB05 CC21 CC22 GG04 HH04 PP11 TT02 UU04 2F069 AA53 AA54 BB40 CC07 DD13 GG04 GG07 GG62 HH09 HH30 MM02 MM23 QQ01
Claims (5)
- 【請求項１】 被測定物を載せる保持具と、被測定物に
対向して設置されたレーザー干渉計とから構成された計
測機器において、保持具を３つ以上に等配置された可動
体上にボ一ルを固定して、被計測物を載せることを特徴
とするレーザー干渉計での面精度計測保持具。 - 【請求項２】 ３つ以上に等配置された可動体は１つの
操作で同時に同量ある１点方向へ動くことを特徴とする
請求項１に記載のレーザー干渉計での面精度計測保持
具。 - 【請求項３】 可動体は焼き入れ等することにより、硬
度が高いことを特徴とする請求項１に記載のレーザー干
渉計での面精度計測保持具。 - 【請求項４】 可動体上に取り付けるボールはネジ込み
式にしたことを待徴とする請求項１に記載のレーザー干
渉計での面精度計測保持具。 - 【請求項５】 被計測物を載せるボール間の直径を表示
させたことを特徴とする請求項１に記載のレーザー干渉
計での面精度計測保持具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140123A JP2002333315A (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | レーザー干渉計での面精度計測保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001140123A JP2002333315A (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | レーザー干渉計での面精度計測保持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002333315A true JP2002333315A (ja) | 2002-11-22 |
Family
ID=18986781
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001140123A Withdrawn JP2002333315A (ja) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | レーザー干渉計での面精度計測保持具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002333315A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104964660A (zh) * | 2015-06-30 | 2015-10-07 | 中国化工橡胶桂林轮胎有限公司 | 轮胎横断切片固定装置 |
-
2001
- 2001-05-10 JP JP2001140123A patent/JP2002333315A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104964660A (zh) * | 2015-06-30 | 2015-10-07 | 中国化工橡胶桂林轮胎有限公司 | 轮胎横断切片固定装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080805 |