JP2002327017A - フッ素含有マレイミド系共重合体 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 耐熱性や熱安定性に優れると共に、低誘電率
を達成することができ、しかも、溶剤への溶解性に優れ
て加工しやすく、薄膜形成能等に優れることから、電子
材料、基板材料等を含めた各種の用途に用いることがで
きるフッ素含有マレイミド系共重合体を提供する。 【解決手段】 Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体
構造と芳香族ビニル単量体構造とを必須とするフッ素含
有マレイミド系共重合体であって、該Ｎ−フルオロアリ
ールマレイミド単量体構造の存在割合は、フッ素含有マ
レイミド系共重合体の全単量体構造を１００モル％とす
ると、５〜４５モル％であるフッ素含有マレイミド系共
重合体。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有マレイ
ミド系共重合体に関する。詳しくは、耐熱性、熱安定性
に優れ、更に低誘電率、加工性、薄膜形成能等の特性を
発揮するフッ素含有マレイミド系共重合体に関する。

【０００２】

【従来の技術】マレイミド単量体構造を有する共重合体
は、ガラス転移温度が高く、熱的な特性を向上すること
ができることから、耐熱性等に優れたプラスチック材料
として注目されている。このようなマレイミド単量体構
造を有する共重合体の適用分野の１つとしては、例え
ば、電子材料、基板材料等のエレクトロニクス樹脂の分
野がある。このような分野では、配線層間の絶縁膜や半
導体封止用材料等に使用可能な耐熱性と低誘電率とを兼
ね備えた材料が切望されていることから、このような性
能を発揮することができるマレイミド単量体構造を有す
る共重合体が検討されている。

【０００３】このような技術として、例えば、特開平６
−８５０９０号公報には、少なくとも１個のフッ素原子
を有する多官能マレイミド化合物、及び少なくとも１個
のフッ素原子を有する多官能アミンや多価フェノールを
含有するマレイミド樹脂組成物に関し、半導体装置にお
ける層間絶縁膜用の材料として用いることが開示されて
いる。このマレイミド樹脂組成物では、各成分にフッ素
を含めることにより、低誘電率であり、かつ耐熱性にも
優れた特性を発揮させることを目的としている。しかし
ながら、樹脂成分として用いるマレイミド化合物の他
に、硬化剤成分としてアミン又はフェノールを必須とす
る必要があり、また、樹脂成分と硬化剤成分とのそれぞ
れにフッ素原子を導入しなければならないことから、低
誘電率と耐熱性とのバランスがとりにくく、また、各種
の用途にも適用しうるように工夫する余地があった。

【０００４】ところで、マレイミド単量体構造を有する
と共に、スチレン等の芳香族ビニル単量体構造をも有す
る共重合体について、これらの構造が発揮する特性を生
かすことを目的とした検討がなされている。このような
技術としては、例えば、特開平７−７０２４９号公報に
は、Ｎ−アルキルマレイミド又はＮ−アリールマレイミ
ドであるＮ−置換マレイミド化合物２０〜８０重量％
と、他のビニル系単量体８０〜２０重量％とを、ラジカ
ル共重合させてなる樹脂材料を含む電気絶縁材料に関
し、スチレン等の芳香族ビニル系単量体を共重合しても
よいことが開示されている。また、特開平６−２８１８
９２号公報には、Ｎ−アルキルマレイミドの構造を有す
る含フッ素マレイミド化合物を必須成分とする眼用レン
ズ材料に関し、特開平６−２７９４０３号公報には、Ｎ
−アルキルマレイミドの構造を有する含フッ素フェニル
マレイミドに関し、スチレン等を共重合してもよいこと
が開示されている。

【０００５】しかしながら、これらの技術では、例え
ば、アルキルマレイミド類単量体を用いた共重合体の場
合、耐熱性や熱安定性に劣り、また、アリールマレイミ
ド類単量体を用いた場合に比べて重合性がやや劣ること
から、共重合反応に関与しない残存アルキルマレイミド
類単量体が重合系中に残りやすいという問題点があっ
た。このような残存単量体は、共重合体の耐熱性の低下
や電気特性低下の要因となる可能性があった。また、ア
リールマレイミド類単量体を用いた共重合体の場合、耐
熱性に優れた材料は得られるものの低誘電化を達成する
為には、アリールマレイミドの構造を工夫する余地があ
った。更に、これらの問題点を解消して溶剤への溶解性
に優れた共重合体とすることができれば、各種の用途で
用いる際に加工しやすい材料となることから、このよう
な共重合体を研究する余地があった。すなわちマレイミ
ド単量体構造を工夫することにより、電子材料、基板材
料等を含めた各種の用途に適応しうるように、耐熱性と
誘電率とが改善されて加工性が向上した共重合体を研究
する余地があった。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記現状に
鑑みてなされたものであり、耐熱性や熱安定性に優れる
と共に、低誘電率を達成することができ、しかも、溶剤
への溶解性に優れて加工しやすく、薄膜形成能等に優れ
ることから、電子材料、基板材料等を含めた各種の用途
に用いることができるフッ素含有マレイミド系共重合体
を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者等は、ガラス転
移温度を高くして熱的な特性を向上することができるマ
レイミド単量体構造を有する共重合体について種々検討
するうちに、マレイミド単量体構造を、アリールマレイ
ミド単量体構造のアリール基の水素原子をフッ素原子で
置換したＮ−フルオロアリールマレイミド単量体構造と
すると共に、芳香族ビニル単量体構造を必須とし、更
に、これらの存在割合を一定範囲に特定すると、これら
の単量体構造の効果が相乗的に発揮され、アルキルマレ
イミド単量体構造やアリールマレイミド単量体構造を有
する場合の問題点が解消されることにより、耐熱性や熱
安定性に優れると共に、低誘電率を達成することがで
き、しかも、溶剤への溶解性に優れて加工しやすく、薄
膜形成能等に優れたものとなることにまず着目し、この
ような共重合体が電子材料、基板材料等を含めた各種の
用途に用いることができることに想到した。このような
フッ素含有マレイミド系共重合体がその作用効果を発揮
する理由としては、共重合体を得る際にＮ−フルオロア
リールマレイミド類単量体やＮ−フルオロアルキルアリ
ールマレイミド類単量体単位が芳香族ビニル系単量体と
交互共重合性に富み、高い耐熱性を示すとともに、アリ
ール基に結合したフッ素原子の効果で誘電率を低くする
ことが考えられる。また、Ｎ−フルオロアリールマレイ
ミド単量体構造を形成する単量体が、Ｎ−ペンタフルオ
ロフェニルマレイミド及び／又はＮ−テトラフルオロフ
ェニルマレイミドであると、本発明の作用効果をより確
実に発揮することができることも見いだし、本発明に到
達したものである。

【０００８】すなわち本発明は、Ｎ−フルオロアリール
マレイミド単量体構造と芳香族ビニル単量体構造とを必
須とするフッ素含有マレイミド系共重合体であって、上
記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造の存在割
合は、フッ素含有マレイミド系共重合体の全単量体構造
を１００モル％とすると、５〜４５モル％であるフッ素
含有マレイミド系共重合体である。以下に、本発明を詳
述する。

【０００９】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体
は、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造と芳香
族ビニル単量体構造とを必須の単量体構造とする共重合
体であって、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構
造のフルオロアリール基に由来するフッ素原子を有する
マレイミド系共重合体である。このようなフッ素含有マ
レイミド系共重合体中における単量体構造の配列形態と
しては特に限定されず、例えば、ランダム共重合体、ブ
ロック共重合体等のいずれでもよい。

【００１０】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体
において、上記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体
構造の存在割合は、フッ素含有マレイミド系共重合体の
全単量体構造を１００モル％とすると、５〜４５モル％
である。本発明では、Ｎ−フルオロアリールマレイミド
単量体構造の共重合体中における存在割合により誘電率
等が変化することになり、５モル％未満であったり、４
５モル％を超えたりすると、電子材料、基板材料等を含
めた各種の用途に用いる際に、共重合体の熱的な特性や
電気特性、薄膜形成能をバランスよく充分に発揮するこ
とができなくなる。特にフルオロアリールマレイミド単
量体構造が４５モル％を越えると共重合体の構造が交互
体に近くなり、加工性や薄膜形成能に劣るものとなり好
ましくない。この場合、芳香族ビニル単量体構造や、そ
の他の単量体構造（必須の単量体構造以外の単量体構
造）の存在割合としては、共重合体に所望される耐熱性
や、誘電率等の電気特性等に応じて適宜設定すればよ
く、例えば、芳香族ビニル単量体構造が５５〜９５モル
％であり、その他の単量体構造が０〜３０モル％である
ことが好ましい。より好ましくは、Ｎ−フルオロアリー
ルマレイミド単量体構造が１０〜４５モル％、芳香族ビ
ニル単量体構造が５５〜９０モル％であり、更に好まし
くは、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造が１
５〜４５モル％、芳香族ビニル単量体構造が５５〜８５
モル％である。

【００１１】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体
では、例えば、Ｎ−フルオロアリールマレイミド類単量
体と芳香族ビニル類単量体とを必須とする単量体成分を
共重合することにより製造することができる。これによ
り、各単量体から対応する単量体構造が形成されること
になる。なお、「単量体構造」とは、該単量体が重合す
ることにより形成される構造を意味し、「単量体単位」
と同義である。

【００１２】本発明では、共重合体を形成する各構造単
位の存在量が上述したような範囲となるように、Ｎ−フ
ルオロアリールマレイミド類単量体、芳香族ビニル類単
量体、及び、必要に応じてこれらの必須の単量体と共重
合可能なその他の単量体の使用量を適宜設定することに
なる。

【００１３】上記Ｎ−フルオロアリールマレイミド類単
量体としては、マレイミド類単量体が有する窒素原子
に、アリール基の水素原子がフッ素原子に置換されたフ
ルオロアリール基が結合した単量体であればよく、フッ
素原子の数やアリール基上のフッ素原子の置換位置等は
特に限定されるものではない。また、フルオロアリール
基の水素原子の一部は、フッ素原子以外の原子や基によ
り置換されていてもよい。このような単量体としては、
例えば、Ｎ−フルオロフェニルマレイミド、Ｎ−ジフル
オロフェニルマレイミド、Ｎ−トリフルオロフェニルマ
レイミド、Ｎ−テトラフルオロフェニルマレイミド、Ｎ
−ペンタフルオロフェニルマレイミド等が挙げられ、１
種又は２種以上を用いることができる。これらの中で
も、本発明の作用効果を充分に発揮することができるこ
とから、Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造を
形成する単量体としては、ペンタフルオロフェニルマレ
イミド及び／又はテトラフルオロフェニルマレイミドを
用いることが好ましい。従って、本発明のフッ素含有マ
レイミド系共重合体の最も好ましい形態の１つは、上記
Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体構造を形成する
単量体が、Ｎ−ペンタフルオロフェニルマレイミド及び
／又はＮ−テトラフルオロフェニルマレイミドであるこ
とである。

【００１４】上記芳香族ビニル類単量体としては特に限
定されず、例えば、スチレン、α−メチルスチレン、パ
ラメチルスチレン、イソプロペニルスチレン、ビニルト
ルエン、モノクロルスチレン、ジクロルスチレン、トリ
クロルスチレン、テトラクロルスチレン、ペンタクロル
スチレン、モノフルオロスチレン、ジフルオロスチレ
ン、トリフルオロスチレン、テトラフルオロスチレン、
ペンタフルオロスチレン、α，β，β−トリフルオロス
チレン等が挙げられ、１種又は２種以上を用いることが
できる。

【００１５】上記必須の単量体と共重合可能なその他の
単量体としては特に限定されず、例えば、アリールマレ
イミド類；アルキルマレイミド類；（メタ）アクリル酸
エステル類；不飽和ニトリル類；オレフィン類；ジエン
類；ビニルエーテル類；ビニルエステル類；フッ化ビニ
ル類；プロピオン酸アリル等の飽和脂肪酸モノカルボン
酸のアリルエステル類又は（メタ）アクリルエステル
類；多価（メタ）アクリレート類；多価アリレート類；
グリシジル化合物；不飽和カルボン酸類等の単量体が挙
げられる。これらは単独で用いてもよく、２種以上を併
用してもよい。これらの具体例としては、下記（１）〜
（１３）が挙げられる。

【００１６】（１）アリールマレイミド類単量体として
は、例えば、Ｎ−フェニルマレイミド、Ｎ−クロルフェ
ニルマレイミド、Ｎ−メチルフェニルマレイミド、Ｎ−
ナフチルマレイミド、Ｎ−ヒドロキシフェニルマレイミ
ド、Ｎ−メトキシフェニルマレイミド、Ｎ−カルボキシ
フェニルマレイミド、Ｎ−ニトロフェニルマレイミド、
Ｎ−トリブロモフェニルマレイミド等が挙げられる。 （２）アルキルマレイミド類単量体としては、例えば、
Ｎ−メチルマレイミド、Ｎ−エチルマレイミド、Ｎ−プ
ロピルマレイミド、Ｎ−イソプロピルマレイミド、Ｎ−
ブチルマレイミド、Ｎ−イソブチルマレイミド、Ｎ−タ
ーシャリブチルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレイ
ミド、Ｎ−ラウリルマレイミド、Ｎ−（２−ヒドロキシ
エチル）マレイミド等が挙げられる。

【００１７】（３）（メタ）アクリル酸エステル類単量
体としては、例えば、シクロヘキシル基、ベンジル基等
を含む炭素数１〜１８のアルキル基を有する（メタ）ア
クリル酸エステル類、具体的には、（メタ）アクリル酸
メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル
酸プロピル、（メタ）アクリル酸イソプロピル、（メ
タ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸イソブチ
ル、（メタ）アクリル酸ターシャリブチル、（メタ）ア
クリル酸アミル、（メタ）アクリル酸イソアミル、（メ
タ）アクリル酸オクチル、（メタ）アクリル酸２−エチ
ルヘキシル、（メタ）アクリル酸デシル、（メタ）アク
リル酸ラウリル、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、
（メタ）アクリル酸ベンジル、（メタ）アクリル酸２−
フェノキシエチル、（メタ）アクリル酸３−フェニルプ
ロピル、フルオロアルキル（メタ）アクリレート類単量
体等が挙げられる。これらの中では、メタクリル酸メチ
ルを用いることが好ましい。

【００１８】（４）不飽和ニトリル類単量体としては、
例えば、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、エタ
クリロニトリル、フェニルアクリロニトリル等が挙げら
れる。 （５）オレフィン類単量体としては、例えば、エチレ
ン、プロピレン、イソブチレン、ジイソブチレン等が挙
げられる。 （６）ジエン類単量体としては、ブタジエン、イソプレ
ン等が挙げられる。 （７）ビニルエーテル類単量体としては、例えば、メチ
ルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル等が挙げられ
る。 （８）ビニルエステル類単量体としては、例えば、酢酸
ビニル、プロピオン酸ビニル等を挙げられる。 （９）フッ化ビニル類単量体としては、例えば、フッ化
ビニリデン等が挙げられる。

【００１９】（１０）多価（メタ）アクリレート類単量
体としては、例えば、エチレングリコール（メタ）アク
リレート、ジエチレングリコール（メタ）アクリレー
ト、ジビニルベンゼン、ジアリルフタレート、トリメチ
ロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ヘキサンジ
オールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトー
ルテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサ（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡのエ
チレンオキサイド又はプロピレンオキサイド付加物のジ
（メタ）アクリレート、ハロゲン化ビスフェノールＡの
エチレンオキサイド又はプロピレンオキサイド付加物の
ジ（メタ）アクリレート、イソシアヌレートのエチレン
オキサイド又はプロピレンオキサイド付加物のジ又はト
リ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

【００２０】（１１）多価アリレート類単量体として
は、例えば、トリアリルイソシアヌレート等が挙げられ
る。 （１２）グリシジル化合物としては、例えば、グリシジ
ル（メタ）アクリレート、アリルグリシジルエーテル等
が挙げられる。 （１３）不飽和カルボン酸類単量体としては、例えば、
アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、
フマル酸、又は、これらの半エステル化物や無水物等が
挙げられる。本発明においては、（１０）、（１１）の
様な多官能単量体を用い、ポリマーに架橋構造を持たせ
ることも可能である。

【００２１】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体
を製造する方法としては、例えば、ラジカル重合触媒及
び必要に応じて分子量調節剤を用いて単量体成分を重合
する方法等が好適である。このような重合方法の形態と
しては特に限定されず、例えば、塊状重合、懸濁重合、
乳化重合、溶液重合、又は、これらを適宜組み合わせる
形態により重合を行うことができる。これらの中でも、
塊状重合又は溶液重合により重合を行うことが好まし
く、連続して重合系へ単量体成分を供給して重合した
後、揮発物を除去することにより行うことが好ましい。
なお、使用するラジカル重合触媒、溶剤、重合条件等と
しては、共重合する単量体の種類、使用比率等に応じて
適宜設定すればよい。また、共重合組成をコントロール
する為には、Ｎ−フルオロアリールマレイミドと芳香族
ビニル系単量体を別々に適宜設定した速度で供給しなが
ら重合を行うことが好ましい。

【００２２】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体
は、重量平均分子量が１００００〜３０００００である
ことが好ましい。１００００未満であると、共重合体の
機械強度が低下するおそれがあり、３０００００を超え
ると、成形加工性が低下するおそれがある。より好まし
くは、２００００〜２５００００である。また、ガラス
転移温度が１１０〜２５０℃であることが好ましい。１
１０℃未満であると、共重合体が充分な耐熱性を発揮し
ないおそれがあり、２５０℃を超えると、機械強度や成
形加工性が低下するおそれがある。より好ましくは、１
２０〜２００℃である。

【００２３】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合体
は、耐熱性や熱安定性に優れると共に、低誘電率を達成
することができ、しかも、溶剤への溶解性に優れて加工
しやすく、薄膜形成能等に優れることから、電子材料、
基板材料等を含めた各種の用途に用いることができるも
のである。すなわちＮ−フルオロアリールマレイミド単
量体構造と芳香族ビニル単量体構造を調整することによ
り、配線層間の絶縁膜や半導体封止用材料等のエレクト
ロニクス樹脂として好適に用いることが可能であり、そ
れ以外にも各種の用途への適用が期待されるものであ
る。

【００２４】

【実施例】以下に実施例を揚げて本発明を更に詳細に説
明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるも
のではない。なお、特に断りのない限り、「部」は、
「重量部」を意味するものとする。

【００２５】得られた共重合体は、以下の方法で各種特
性を測定することにより評価した。 （重量平均分子量）共重合体の重量平均分子量は、ＧＰ
Ｃ（東ソー社製、ＧＰＣシステム）を用い、ポリスチレ
ン換算により求めた。

【００２６】（ガラス転移温度）共重合体のガラス転移
温度は、ＪＩＳ Ｋ ７１２１に従い、示差走査熱量測
定器（理学電気社製、装置名：ＤＳＣ−８２３０）を用
い、窒素ガス雰囲気下、α−アルミナをリファレンスと
して、常温から２００℃まで昇温速度１０℃／ｍｉｎで
昇温して測定したＤＳＣ曲線から中点法にて算出した。

【００２７】（共重合体中のマレイミド単量体由来の単
量体構造の含有量（マレイミド含有量）（重量％））共
重合体中のマレイミド単量体由来の単量体構造の含有量
（重量％）は、有機微量元素分析装置（ヤナコ近畿社
製、装置名：ヤナコＣＨＮコーダー）を用いて共重合体
中のＮ量を測定し、この共重合体中のＮ量から算出し
た。

【００２８】（赤外吸収スペクトルの測定方法）ＦＴＳ
−４５赤外分光光度計（商品名、ＢＩＯ−ＲＡＤ社製）
を使用して測定した。

【００２９】（ ¹Ｈ−ＮＭＲスペクトル）溶媒にテトラ
メチルシラン含有のＣＤＣｌ_３を用い、ＦＴ−ＮＭＲ
ＵＮＩＴＹｐｌｕｓ４００（商品名、Ｖａｒｉａｎ社
製）を使用して測定した。

【００３０】（誘電率測定方法） 試料調製方法 トルエンに２０重量％の濃度で溶解した溶液を溶液流延
法にてフィルム加工し、１２時間乾燥することで厚さ１
００μｍのフィルムを得た。 測定方法 上記試料をインピーダンスアナライザー（商品名「ＨＰ
４２９４Ａ」、ヒューレッド・パッカード社製）及び薄
膜測定用ジグ（商品名「ＨＰ１６４５１Ｂ」、ヒューレ
ッド・パッカード社製）を用いて間隙法にて誘電率を測
定した。

【００３１】実施例１ 攪拌装置を備えた５００ｍｌの重合槽に、スチレン８．
２部、トルエン２９．２部を仕込み、２５０ｒｐｍで攪
拌しながら窒素ガスを１０分間バブリングした後、窒素
雰囲気下で昇温を開始した。重合槽内の温度が１１０℃
に達した時点で、重合槽内にｔ−ブチルパーオキシイソ
プロピルカーボネート０．０１部を投入して重合を開始
し、同時にｔ−ブチルパーオキシイソプロピルカーボネ
ート０．０２部とスチレン１３部の混合物、ペンタフル
オロフェニルマレイミド２４．８部とトルエン２４．８
部を６０℃で溶解した溶液を、それぞれ３．５時間かけ
て連続的に投入した。その後更に１．５時間反応を継続
した。得られた重合液を、テトラヒドロフランで希釈
後、大量のメタノール中に注いで析出し、１２０℃で真
空乾燥し、白色粉末のフッ素含有マレイミド共重合体を
得た。得られた共重合体の重量から計算した重合収率は
７７％であった。元素分析によるＮ分から算出したマレ
イミド含有量は６２．３重量％（４０ｍｏｌ％）、ＧＰ
Ｃで測定した重量平均分子量は１４．８万、ガラス転移
点は１８５℃、誘電率及び誘電損失は表２の通りであっ
た。メルトインデクサで、２６５℃１０ｋｇ加重で測定
したメルトインデックス（ＭＩ）は６．７であった。ま
た、この共重合体の赤外吸収スペクトル、^１Ｈ−ＮＭＲ
スペクトルを測定して構造を確認した。図１に赤外吸収
スペクトルを、図２に^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルをそれぞ
れ示した。更に、^２０Ｆ−ＮＭＲスペクトルによって
も、共重合体の構造を確認した。

【００３２】比較例１ 重合槽に仕込んだスチレンを７．２部、トルエンを３
６．５部、連続供給したスチレンを１７．５部、ペンタ
フルオロフェニルマレイミドのトルエン溶液の代わり
に、フェニルマレイミド２３．３部、トルエン２３．５
部の溶液を使用した以外は実施例１と同様の操作を行
い、白色粉末のフッ素非含有マレイミド共重合体を得
た。重合収率は８３％であった。マレイミド含有量は５
３重量％（４０ｍｏｌ％）、重量平均分子量は２０．７
万、ガラス転移点は２０６℃であった。誘電率及び誘電
損失は表２の通りであった。メルトインデックス（Ｍ
Ｉ）は１．５であった。また、この共重合体の赤外吸収
スペクトル、^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルを測定して構造を
確認した。

【００３３】比較例２ 実施例１で使用した単量体成分を、すべて重合釜に仕込
んで重合を行った。重合系は著しく発熱し、激しく発泡
と還流が起こった。得られた共重合体は、マレイミド含
有量は７１重量％（４９ｍｏｌ％）であった。テトラヒ
ドロフランに溶解しなかったため分子量は測定できなか
った。メルトインデックス（ＭＩ）は０．３であり、極
めて流動性が劣っていた。

【００３４】

【表１】

【００３５】表１について、以下に説明する。組成にお
いて、Ｆ５とは、ペンタフルオロフェニルマレイミドで
あり、ＳＴとは、スチレンであり、ＰＭＩとは、フェニ
ルマレイミドである。ＭＩｃｏｎｔ （ｍｏｌ％）と
は、マレイミド含有量（共重合体中のマレイミド単量体
由来の単量体構造の含有量（ｍｏｌ％））である。ＭＩ
ｃｏｎｔ （重量％）とは、マレイミド含有量（共重
合体中のマレイミド単量体由来の単量体構造の含有量
（重量％））であり、Ｃｏｎｖ．（％）とは、重合収率
である。

【００３６】

【表２】

【００３７】実施例１における赤外吸収スペクトルチャ
ート及び ¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルチャートについて説明
する。赤外吸収スペクトルチャートにおいて、図１にお
ける、９９４．６ｃｍ^-1及び１５２２．９ｃｍ^-1の吸収
は、ベンゼン環に直接結合しているフッ素原子、すなわ
ちマレイミド単量体構造のフルオロアリール基による吸
収である。 ¹Ｈ−ＮＭＲスペクトルチャートにおいて、
図２におけるδ７．２付近のピークは、溶媒ＣＤＣｌ_３
中の不純物であるＣＨＣｌ_３、及びスチレン構造に由来
するベンゼン環に結合した水素原子が示すピークであ
り、共重合組成から計算したＨの存在量とほぼ同等の積
算値を示した。

【００３８】このような赤外吸収スペクトルチャート及
びＮＭＲスペクトルチャートにより、共重合体には、ペ
ンタフルオロフェニルマレイミドから形成される構造単
位が存在することが確認された。

【００３９】

【発明の効果】本発明のフッ素含有マレイミド系共重合
体は、上述の構成よりなるので、耐熱性や熱安定性に優
れると共に、低誘電率を達成することができ、しかも、
溶剤への溶解性に優れて加工しやすく、薄膜形成能等に
優れることから、電子材料、基板材料等を含めた各種の
用途に用いることができるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１で製造した共重合体の赤外吸収スペク
トルである。

【図２】実施例１で製造した共重合体の^１Ｈ−ＮＭＲス
ペクトルである。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 南 茂幸 大阪府大阪市中央区高麗橋４丁目１番１号 株式会社日本触媒内 (72)発明者 浅子 佳延 大阪府大阪市中央区高麗橋４丁目１番１号 株式会社日本触媒内 Ｆターム(参考） 4J100 AB02P AB03P AB04P AB08P AM47Q BB01 BC43 CA04 JA43

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 Ｎ−フルオロアリールマレイミド単量体
   構造と芳香族ビニル単量体構造とを必須とするフッ素含
   有マレイミド系共重合体であって、該Ｎ−フルオロアリ
   ールマレイミド単量体構造の存在割合は、フッ素含有マ
   レイミド系共重合体の全単量体構造を１００モル％とす
   ると、５〜４５モル％であることを特徴とするフッ素含
   有マレイミド系共重合体。
2. 【請求項２】 前記Ｎ−フルオロアリールマレイミド単
   量体構造を形成する単量体は、Ｎ−ペンタフルオロフェ
   ニルマレイミド及び／又はＮ−テトラフルオロフェニル
   マレイミドであることを特徴とする請求項１記載のフッ
   素含有マレイミド系共重合体。