JP2002318364A - 照明装置 - Google Patents
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70058—Mask illumination systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 面状に配列された同一種類の複数の光源から
射出される照明光を、面形状被照明物体に照明する照明
装置において、複数の光源がそれらの中心と周辺との間
に光強度分布がある場合に、その光源の光強度分布不均
一の影響を低減する。 【解決手段】 面形状に配列された同一種類の複数の光
源1a,1b,1cから出射される照明光を、面形状被
照明物体に照射する照明光学系を有する。照明光学系
は、照明光を複数の光源の配列方向に空間的に分割する
手段2a,2b,2cを有するとともに、空間的に分割
される照明光を面形状被照明体6において統合する手段
4a,4b,・・・,5を有し、空間的に分割される照
明光からなる複数の光束の、光軸に対する複数の光源位
置が、光束間で異なる。空間的に分割される照明光から
なる複数の光束に少なくとも2つ以上の光源からの照明
光が含まれていてもよい。
射出される照明光を、面形状被照明物体に照明する照明
装置において、複数の光源がそれらの中心と周辺との間
に光強度分布がある場合に、その光源の光強度分布不均
一の影響を低減する。 【解決手段】 面形状に配列された同一種類の複数の光
源1a,1b,1cから出射される照明光を、面形状被
照明物体に照射する照明光学系を有する。照明光学系
は、照明光を複数の光源の配列方向に空間的に分割する
手段2a,2b,2cを有するとともに、空間的に分割
される照明光を面形状被照明体6において統合する手段
4a,4b,・・・,5を有し、空間的に分割される照
明光からなる複数の光束の、光軸に対する複数の光源位
置が、光束間で異なる。空間的に分割される照明光から
なる複数の光束に少なくとも2つ以上の光源からの照明
光が含まれていてもよい。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、面形状に配列され
た同一種類の複数の光源から出射される照明光を、照明
光学系を用いて面形状被照明物体に照明する照明装置に
関するものである。この照明装置は、室内照明装置、建
築物照明装置、フォトリソグラフィー装置などに利用す
ることができ、また拡大観察装置、拡大投影装置などの
映像装置に利用することもできる。
た同一種類の複数の光源から出射される照明光を、照明
光学系を用いて面形状被照明物体に照明する照明装置に
関するものである。この照明装置は、室内照明装置、建
築物照明装置、フォトリソグラフィー装置などに利用す
ることができ、また拡大観察装置、拡大投影装置などの
映像装置に利用することもできる。
【0002】
【従来の技術】面状に配列された同一種類の複数の光源
から放出されてなる照明光を、照明光学系を用いて面形
状被照明物体に照明する従来の照明装置として、複数の
発光素子アレイからの出力光を単一の空間光変調手段に
照明するようにした特開平10−333599号公報記
載のものがある。この従来の照明装置の一部を図10に
示す。図10において、発光素子アレイを構成するLE
Dアレイ30R、30G、30Bは、サイズ3mmΦの
LED31を基板32上に配列ピッチ4mmで2次元に
配列してなり、マスク33は各LEDの出力光の周辺部
分をカットし、微小レンズアレイ34は複数の微小レン
ズ35を2次元に配列してなり、この微小レンズ35を
透過した照明光を凸レンズ36と凹レンズ37からなる
縮小光学系38によって縮小した後、この照明光を、縮
小光学系38の右側に配置してある空間光変調手段とな
る2次元マイクロ偏向ミラーアレイ(図示されず)へ照
射してこれを照明するようになっている。
から放出されてなる照明光を、照明光学系を用いて面形
状被照明物体に照明する従来の照明装置として、複数の
発光素子アレイからの出力光を単一の空間光変調手段に
照明するようにした特開平10−333599号公報記
載のものがある。この従来の照明装置の一部を図10に
示す。図10において、発光素子アレイを構成するLE
Dアレイ30R、30G、30Bは、サイズ3mmΦの
LED31を基板32上に配列ピッチ4mmで2次元に
配列してなり、マスク33は各LEDの出力光の周辺部
分をカットし、微小レンズアレイ34は複数の微小レン
ズ35を2次元に配列してなり、この微小レンズ35を
透過した照明光を凸レンズ36と凹レンズ37からなる
縮小光学系38によって縮小した後、この照明光を、縮
小光学系38の右側に配置してある空間光変調手段とな
る2次元マイクロ偏向ミラーアレイ(図示されず)へ照
射してこれを照明するようになっている。
【0003】また、特開平11−237601号公報に
は、複数の発光素子アレイからの出力光を、マルチレン
ズアレイを用いて光書込用の空間光変調手段に照射する
照明光学系を有する照明装置を利用した映像装置があ
る。この従来の照明装置の一部を図11に示す。図11
において、発光素子アレイとなるレーザ41−1,41
−2,41−3,・・・,41−nに対向させて、2枚
のマルチレンズアレイ43を設け、このマルチレンズア
レイ43の開口部となる小レンズの数に対応してレーザ
を設けている。このマルチレンズアレイ43の小レンズ
の開口部から出射された光束が光書込型の空間光変調手
段44において重なるように照明される。さらに、この
空間光変調手段44を透過した光は投影レンズ45によ
り光書込型空間光変調手段46に照明される。
は、複数の発光素子アレイからの出力光を、マルチレン
ズアレイを用いて光書込用の空間光変調手段に照射する
照明光学系を有する照明装置を利用した映像装置があ
る。この従来の照明装置の一部を図11に示す。図11
において、発光素子アレイとなるレーザ41−1,41
−2,41−3,・・・,41−nに対向させて、2枚
のマルチレンズアレイ43を設け、このマルチレンズア
レイ43の開口部となる小レンズの数に対応してレーザ
を設けている。このマルチレンズアレイ43の小レンズ
の開口部から出射された光束が光書込型の空間光変調手
段44において重なるように照明される。さらに、この
空間光変調手段44を透過した光は投影レンズ45によ
り光書込型空間光変調手段46に照明される。
【0004】図10に示す従来の照明装置では、マスク
33で各LED31の出力光の周辺部分をカットして、
マスク33を通過したあとに出力光の光強度分布の比較
的平滑な部分を利用している。しかしながら、光利用効
率の低下を考慮すると、マスク33の孔の面積は広い方
がよく、マスク33の孔を小さくして出力光の出射角度
を2〜3度以内と小さくすることは難しい。実際には5
〜60度程度の出射角度の光を利用しているため、角度
方向にかなり大きな光強度分布があり、これに対応し
て、微小レンズ35の面上で面方向のかなり大きな光強
度分布が生じる。このため、LED31の配列数に対応
した出力光の光強度分布が照明光に大きく残存し、この
ため、空間光変調手段に照明される照明光の光強度分布
も、LED31の配列数に対応したピッチで不均一にな
る。
33で各LED31の出力光の周辺部分をカットして、
マスク33を通過したあとに出力光の光強度分布の比較
的平滑な部分を利用している。しかしながら、光利用効
率の低下を考慮すると、マスク33の孔の面積は広い方
がよく、マスク33の孔を小さくして出力光の出射角度
を2〜3度以内と小さくすることは難しい。実際には5
〜60度程度の出射角度の光を利用しているため、角度
方向にかなり大きな光強度分布があり、これに対応し
て、微小レンズ35の面上で面方向のかなり大きな光強
度分布が生じる。このため、LED31の配列数に対応
した出力光の光強度分布が照明光に大きく残存し、この
ため、空間光変調手段に照明される照明光の光強度分布
も、LED31の配列数に対応したピッチで不均一にな
る。
【0005】また、図11に示す従来の照明装置では、
レーザ41−1,41−2,41−3,・・・,41−
nからの照明光が微小レンズアレイ43によって空間変
調手段44に重なるように照明されているが、個々のレ
ーザで出射光の面方向の光強度分布が似ている場合に
は、照明光を重ねても大きな改善は得られず、もとの面
方向の光強度分布が大きく残存し、このため空間光変調
手段44に照射される照明光の光強度分布も、レーザの
角度方向の光強度分布に対応して、周辺と中心部とで不
均一になる。
レーザ41−1,41−2,41−3,・・・,41−
nからの照明光が微小レンズアレイ43によって空間変
調手段44に重なるように照明されているが、個々のレ
ーザで出射光の面方向の光強度分布が似ている場合に
は、照明光を重ねても大きな改善は得られず、もとの面
方向の光強度分布が大きく残存し、このため空間光変調
手段44に照射される照明光の光強度分布も、レーザの
角度方向の光強度分布に対応して、周辺と中心部とで不
均一になる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の第1
の課題は、面状に配列された同一種類の複数の光源から
射出される照明光を、照明光学系を用いて面形状被照明
物体に照明する照明装置において、複数の光源がそれら
の中心と周辺との間に光強度分布がある場合に、その光
源の光強度分布不均一の影響を低減することができる照
明装置を提供することにある。
術の問題点に鑑みてなされたものであり、本発明の第1
の課題は、面状に配列された同一種類の複数の光源から
射出される照明光を、照明光学系を用いて面形状被照明
物体に照明する照明装置において、複数の光源がそれら
の中心と周辺との間に光強度分布がある場合に、その光
源の光強度分布不均一の影響を低減することができる照
明装置を提供することにある。
【0007】本発明の第2の課題は、面状に配列された
同一種類の複数の光源間隔が小さい場合に、これら複数
の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光の
光強度分布不均一の影響を低減することができる照明装
置を提供することにある。
同一種類の複数の光源間隔が小さい場合に、これら複数
の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光の
光強度分布不均一の影響を低減することができる照明装
置を提供することにある。
【0008】本発明の第3の課題は、面状に配列された
同一種類の複数の光源数が少ない場合、または空間的に
分割する照明光の光束数が少ない場合において、複数の
光源の配列やその光源の光強度分布不均一に基づく照明
光の光強度分布の影響を低減することができる照明装置
を提供することにある。
同一種類の複数の光源数が少ない場合、または空間的に
分割する照明光の光束数が少ない場合において、複数の
光源の配列やその光源の光強度分布不均一に基づく照明
光の光強度分布の影響を低減することができる照明装置
を提供することにある。
【0009】本発明の第4の課題は、面状に配列された
同一種類の複数の光源から射出される照明光を、照明光
学系を用いて面形状被照明物体に照明する照明装置にお
いて、簡単で低コストな照明光学系を使用しているにも
かかわらず、複数の光源の配列やその光源の光強度分布
に基づく照明光の光強度分布不均一の影響をより一層低
減することができる照明装置を提供することにある。
同一種類の複数の光源から射出される照明光を、照明光
学系を用いて面形状被照明物体に照明する照明装置にお
いて、簡単で低コストな照明光学系を使用しているにも
かかわらず、複数の光源の配列やその光源の光強度分布
に基づく照明光の光強度分布不均一の影響をより一層低
減することができる照明装置を提供することにある。
【0010】本発明の第5の課題は、面状に配列された
同一種類の複数の光源から射出される照明光を、照明光
学系を用いて面形状被照明物体に照明する照明装置にお
いて、簡単で低コストな実装ができる光源を使用してい
るにもかかわらず、複数の光源の配列やその光源の光強
度分布に基づく照明光の光強度分布不均一の影響をより
一層低減することができる照明装置を提供することにあ
る。
同一種類の複数の光源から射出される照明光を、照明光
学系を用いて面形状被照明物体に照明する照明装置にお
いて、簡単で低コストな実装ができる光源を使用してい
るにもかかわらず、複数の光源の配列やその光源の光強
度分布に基づく照明光の光強度分布不均一の影響をより
一層低減することができる照明装置を提供することにあ
る。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
の結果、面状に配列された複数の光源からの照明光を空
間的に複数の光束に分割し、その空間的に複数の光束に
分割する分割状態を、複数の光源の配列状態に対して関
連づけた照明光学系を用いることにより上記課題を達成
しうることを見出した。以下により詳細に述べる。
の結果、面状に配列された複数の光源からの照明光を空
間的に複数の光束に分割し、その空間的に複数の光束に
分割する分割状態を、複数の光源の配列状態に対して関
連づけた照明光学系を用いることにより上記課題を達成
しうることを見出した。以下により詳細に述べる。
【0012】本発明の上記第1の課題は、請求項1記載
の、「面形状に配列された同一種類の複数の光源から出
射される照明光を、面形状被照明物体に照射する照明光
学系を有する照明装置において、照明光学系は、照明光
を複数の光源の配列方向に空間的に分割する手段を有す
るとともに、空間的に分割される照明光を面形状被照明
物体において統合する手段を有し、空間的に分割される
照明光からなる複数の光束の、光軸に対する複数の光源
位置が、光束間で異なることを特徴とする照明装置」に
より達成される。また、上記第1の課題は、請求項6、
7、8記載の照明装置によっても達成される。
の、「面形状に配列された同一種類の複数の光源から出
射される照明光を、面形状被照明物体に照射する照明光
学系を有する照明装置において、照明光学系は、照明光
を複数の光源の配列方向に空間的に分割する手段を有す
るとともに、空間的に分割される照明光を面形状被照明
物体において統合する手段を有し、空間的に分割される
照明光からなる複数の光束の、光軸に対する複数の光源
位置が、光束間で異なることを特徴とする照明装置」に
より達成される。また、上記第1の課題は、請求項6、
7、8記載の照明装置によっても達成される。
【0013】本発明の第2の課題は、請求項2記載の、
「空間的に分割される照明光からなる複数の光束に少な
くとも2つ以上の光源からの照明光が含まれることを特
徴とする請求項1に記載の照明装置」により達成され
る。
「空間的に分割される照明光からなる複数の光束に少な
くとも2つ以上の光源からの照明光が含まれることを特
徴とする請求項1に記載の照明装置」により達成され
る。
【0014】本発明の第3の課題は、請求項3記載の、
「複数の光源の、特定の1次元方向の実質的な数と、空
間的に分割される照明光の光束の、特定の1次元方向の
実質的な数とが、公約数を有しない数であることを特徴
とする請求項1または2記載の照明装置」により達成さ
れる。
「複数の光源の、特定の1次元方向の実質的な数と、空
間的に分割される照明光の光束の、特定の1次元方向の
実質的な数とが、公約数を有しない数であることを特徴
とする請求項1または2記載の照明装置」により達成さ
れる。
【0015】本発明の第4の課題は、請求項4記載の、
「複数の光源は、その間隔が一定値ではない面状に配列
されていることを特徴とする請求項1、2または3記載
の照明装置」により達成される。
「複数の光源は、その間隔が一定値ではない面状に配列
されていることを特徴とする請求項1、2または3記載
の照明装置」により達成される。
【0016】本発明の第5の課題は、請求項5記載の、
「空間的に分割される照明光の光束の間隔が一定値では
ないことを特徴とする請求項1、2、3または4記載の
照明装置」により達成される。
「空間的に分割される照明光の光束の間隔が一定値では
ないことを特徴とする請求項1、2、3または4記載の
照明装置」により達成される。
【0017】
【本発明の実施の形態】以下、本発明にかかる照明装置
の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1
は、本発明にかかる照明装置の第1の実施形態を示す光
学配置図である。図1において、符号1a、1b、1c
は、同一平面上に実装された赤色LEDチップを示す。
符号2a、2b,2cは集光用微小レンズを示してお
り、この集光用微小レンズ2a、2b,2cはLEDチ
ップ1a、1b、1cと一体となっている。符号3a、
3b、3c,3d,3eは照明光を複数の光束に分割す
る第1微小レンズ、4a、4b、4c、4d、4eは第
2微小レンズ、5はコンデンサレンズ、6は平面の被照
明物体をそれぞれ示す。第2微小レンズ4a、4b、4
c、4d、4eはコンデンサレンズ5と協働して、第1
微小レンズ3a、3b、3c,3d,3eの像を平面の
被照明物体6に結像する。集光用微小レンズ2a、2
b,2cは、通常は封止樹脂の形状効果により形成され
る。
の実施形態について図面を参照しながら説明する。図1
は、本発明にかかる照明装置の第1の実施形態を示す光
学配置図である。図1において、符号1a、1b、1c
は、同一平面上に実装された赤色LEDチップを示す。
符号2a、2b,2cは集光用微小レンズを示してお
り、この集光用微小レンズ2a、2b,2cはLEDチ
ップ1a、1b、1cと一体となっている。符号3a、
3b、3c,3d,3eは照明光を複数の光束に分割す
る第1微小レンズ、4a、4b、4c、4d、4eは第
2微小レンズ、5はコンデンサレンズ、6は平面の被照
明物体をそれぞれ示す。第2微小レンズ4a、4b、4
c、4d、4eはコンデンサレンズ5と協働して、第1
微小レンズ3a、3b、3c,3d,3eの像を平面の
被照明物体6に結像する。集光用微小レンズ2a、2
b,2cは、通常は封止樹脂の形状効果により形成され
る。
【0018】図1において、LEDチップ1a、1b、
1cから放出された、符号7a、7b、7cで示される
3つの光束からなる照明光は、隣接した集光微小レンズ
2a、2b、2cの作用により、点線8a、8b、8c
で示される平面的な光強度分布を有した3つの光束が並
列的に統合されて、1つの光束からなる照明光となる。
1つの光束からなる照明光は、そのもととなる3つの光
束のつなぎ部分に、空間に照明光のない隙間があっても
構わない。この照明光は、第1微小レンズ3a、3b、
3c、3d、3eの作用により、符号9a、9b、9
c,9d,9eで示される5つの光束からなる照明光に
分割され、この分割された照明光は、第2微小レンズ4
a、4b、4c、4d、4eおよびコンデンサレンズ5
の作用により、2重矢印10a,10b,10c,10
d,10eで示される光束となって、被照明物体6上で
統合され、この統合された照明光で被照明物体6が照明
される。
1cから放出された、符号7a、7b、7cで示される
3つの光束からなる照明光は、隣接した集光微小レンズ
2a、2b、2cの作用により、点線8a、8b、8c
で示される平面的な光強度分布を有した3つの光束が並
列的に統合されて、1つの光束からなる照明光となる。
1つの光束からなる照明光は、そのもととなる3つの光
束のつなぎ部分に、空間に照明光のない隙間があっても
構わない。この照明光は、第1微小レンズ3a、3b、
3c、3d、3eの作用により、符号9a、9b、9
c,9d,9eで示される5つの光束からなる照明光に
分割され、この分割された照明光は、第2微小レンズ4
a、4b、4c、4d、4eおよびコンデンサレンズ5
の作用により、2重矢印10a,10b,10c,10
d,10eで示される光束となって、被照明物体6上で
統合され、この統合された照明光で被照明物体6が照明
される。
【0019】上記第2微小レンズ4a、4b、4c、4
d、4eの光軸に対して、これら光軸近傍に位置するL
EDチップ1a、1b、1cの位置と、上記第2微小レ
ンズ4a、4b、4c、4d、4eの光軸との距離をそ
れぞれ11a,11b,11c,11d,11eとす
る。これらの距離を、第2微小レンズ4a、4b、4
c、4d、4eの光軸間距離を1として正規化して表記
すると、上記の距離は、下方への距離を正として、それ
ぞれ+0.33、−0.67、0.00、+0.67、
−0.33(ただし、この場合の数値範囲は、−0.8
3〜0.83)となる。このように、上記各微小レンズ
光軸と各光源としてのLEDチップとの距離は、隣接す
る微小レンズ間で異なっている。
d、4eの光軸に対して、これら光軸近傍に位置するL
EDチップ1a、1b、1cの位置と、上記第2微小レ
ンズ4a、4b、4c、4d、4eの光軸との距離をそ
れぞれ11a,11b,11c,11d,11eとす
る。これらの距離を、第2微小レンズ4a、4b、4
c、4d、4eの光軸間距離を1として正規化して表記
すると、上記の距離は、下方への距離を正として、それ
ぞれ+0.33、−0.67、0.00、+0.67、
−0.33(ただし、この場合の数値範囲は、−0.8
3〜0.83)となる。このように、上記各微小レンズ
光軸と各光源としてのLEDチップとの距離は、隣接す
る微小レンズ間で異なっている。
【0020】図2は、図1に示す実施形態において、幅
を正規化した平面的な光強度分布の変化の模式図を示
す。図2において、(a)は図1における前記点線8
a,8b,8cで示される光強度分布に対応して表した
ものであり、(b)は図1における符号9a,9b,9
c,9d,9eに対応する光強度分布であり、(c)は
図1における符号10a,10b,10c,10d,1
0eに対応する光強度分布であり、(d)は平面状被照
明物体6での照明光の光強度分布を示している。
を正規化した平面的な光強度分布の変化の模式図を示
す。図2において、(a)は図1における前記点線8
a,8b,8cで示される光強度分布に対応して表した
ものであり、(b)は図1における符号9a,9b,9
c,9d,9eに対応する光強度分布であり、(c)は
図1における符号10a,10b,10c,10d,1
0eに対応する光強度分布であり、(d)は平面状被照
明物体6での照明光の光強度分布を示している。
【0021】図2(a)で示されるように、複数の光源
にはそれぞれの光源中心と周辺との間に光強度分布があ
るが、3つの山が光強度分布になるこの照明光を、第2
微小レンズ4a、4b、4c、4d、4eで光源との位
置関係を変化させながら5つの光束に分割することによ
り、図2(b)で示すように互いに光強度分布の異なる
光束を生じる。この光強度分布の異なる複数の光束はそ
れぞれ独立した照明光学系である間は、図2(c)に示
すようにその光強度分布が保たれる。しかし、図1に示
す第2微小レンズ4a,4b,4c,4d,4e、およ
びコンデンサレンズ5の作用により被照明物体6の平面
上に統合されると、図2(d)に示されるように、複数
の光源の配列やその光源の光強度分布不均一の影響が低
減された照明光にすることができる。
にはそれぞれの光源中心と周辺との間に光強度分布があ
るが、3つの山が光強度分布になるこの照明光を、第2
微小レンズ4a、4b、4c、4d、4eで光源との位
置関係を変化させながら5つの光束に分割することによ
り、図2(b)で示すように互いに光強度分布の異なる
光束を生じる。この光強度分布の異なる複数の光束はそ
れぞれ独立した照明光学系である間は、図2(c)に示
すようにその光強度分布が保たれる。しかし、図1に示
す第2微小レンズ4a,4b,4c,4d,4e、およ
びコンデンサレンズ5の作用により被照明物体6の平面
上に統合されると、図2(d)に示されるように、複数
の光源の配列やその光源の光強度分布不均一の影響が低
減された照明光にすることができる。
【0022】図12は、図11に対応した従来の照明装
置の光強度分布を比較例として示したものである。ただ
し、図1に示す実施形態と条件をできるだけ同一にする
ために、赤色LEDチップ3つのかわりに赤色LD(半
導体レーザ)チップを3つ用い、このLDチップ3つに
対して、それぞれ集光レンズ、第1微小レンズ、第2微
小レンズを用いた場合とし、図2に示す実施形態と対応
する符号にダッシュを添付して表記した。
置の光強度分布を比較例として示したものである。ただ
し、図1に示す実施形態と条件をできるだけ同一にする
ために、赤色LEDチップ3つのかわりに赤色LD(半
導体レーザ)チップを3つ用い、このLDチップ3つに
対して、それぞれ集光レンズ、第1微小レンズ、第2微
小レンズを用いた場合とし、図2に示す実施形態と対応
する符号にダッシュを添付して表記した。
【0023】図12(a)で示されるように、複数の光
源がその光源中心と周辺との間に光強度分布があるが、
3つの山が光強度分布になるこの照明光を第2微小レン
ズで光源との位置関係を同じにしたまま3つの光束に分
割することにより、図12(b)で示されるように光強
度分布の同じ光束を生じる。この光強度分布の同じ複数
の光束はそれぞれ独立した照明光学系である間では、図
2(c)に示すようにその光強度分布が保たれる。しか
し、図1に示す実施形態と同様に、第2微小レンズ4
a,4b,4c,4d,4e、およびコンデンサレンズ
5の作用により被照明物体6に統合されると、図12
(d)に示されるように、もと光源の光強度分布不均一
の影響がそのまま残った照明光となってしてしまう。
源がその光源中心と周辺との間に光強度分布があるが、
3つの山が光強度分布になるこの照明光を第2微小レン
ズで光源との位置関係を同じにしたまま3つの光束に分
割することにより、図12(b)で示されるように光強
度分布の同じ光束を生じる。この光強度分布の同じ複数
の光束はそれぞれ独立した照明光学系である間では、図
2(c)に示すようにその光強度分布が保たれる。しか
し、図1に示す実施形態と同様に、第2微小レンズ4
a,4b,4c,4d,4e、およびコンデンサレンズ
5の作用により被照明物体6に統合されると、図12
(d)に示されるように、もと光源の光強度分布不均一
の影響がそのまま残った照明光となってしてしまう。
【0024】第1微小レンズにより照明光を複数の光束
に分割する技術は、放電ランプまたはハロゲンランプを
用いたステッパー装置、空間光変調手段を用いた映像表
示装置等で使用されている公知の技術である。しかし、
面状に配列された複数の光源から放出されてなる照明光
に対しては、特開平10−333599号公報、特開平
11−237601号公報等に記載されているように、
もとの光源の光強度分布と第1微小レンズの光軸との位
置関係を考慮してはおらず、このため、もとの光源の、
光強度分布不均一の影響がそのまま影響する照明光とな
ってしてしまう。かかる不具合があることを、従来の技
術では全く想定していない。
に分割する技術は、放電ランプまたはハロゲンランプを
用いたステッパー装置、空間光変調手段を用いた映像表
示装置等で使用されている公知の技術である。しかし、
面状に配列された複数の光源から放出されてなる照明光
に対しては、特開平10−333599号公報、特開平
11−237601号公報等に記載されているように、
もとの光源の光強度分布と第1微小レンズの光軸との位
置関係を考慮してはおらず、このため、もとの光源の、
光強度分布不均一の影響がそのまま影響する照明光とな
ってしてしまう。かかる不具合があることを、従来の技
術では全く想定していない。
【0025】これに対し、本発明の第1の実施形態にか
かる照明装置は、第1微小レンズ3a、3b、3c、3
d、3eにより照明光を複数の光束に分割する際に、こ
の分割される照明光からなる複数の光束の光軸に対し
て、もとの光源の位置が光束間で異なる照明光学系を構
成することを特徴とする。これにより、分割された光束
の光強度分布が異なるために、これらの分割された複数
の光束を統合することにより、複数の光源の配列やその
光源の光強度分布不均一の影響を低減した照明装置を実
現することができる。
かる照明装置は、第1微小レンズ3a、3b、3c、3
d、3eにより照明光を複数の光束に分割する際に、こ
の分割される照明光からなる複数の光束の光軸に対し
て、もとの光源の位置が光束間で異なる照明光学系を構
成することを特徴とする。これにより、分割された光束
の光強度分布が異なるために、これらの分割された複数
の光束を統合することにより、複数の光源の配列やその
光源の光強度分布不均一の影響を低減した照明装置を実
現することができる。
【0026】従来から、もとの光源の位置と微小レンズ
の光軸との位置関係を考慮した公知の技術として、特開
平8−1900095号公報、特開平10−12351
2号公報等に記載された技術が知られている。しかしが
なら、これらの従来技術は、RGB三色の色分解を目的
とした、異なる種類の複数の光源を有するものであり、
第1の本発明の目的である同一種類の複数の光源を用い
た場合に、複数の光源の配列やその光源の光強度分布不
均一の影響を低減した照明光を得ることとは、全く異な
る技術思想に基づくものである。
の光軸との位置関係を考慮した公知の技術として、特開
平8−1900095号公報、特開平10−12351
2号公報等に記載された技術が知られている。しかしが
なら、これらの従来技術は、RGB三色の色分解を目的
とした、異なる種類の複数の光源を有するものであり、
第1の本発明の目的である同一種類の複数の光源を用い
た場合に、複数の光源の配列やその光源の光強度分布不
均一の影響を低減した照明光を得ることとは、全く異な
る技術思想に基づくものである。
【0027】この第1の実施形態にかかる照明装置は、
同一種類の複数の光源のみの場合に限定されるものでは
なく、複数の種類の光源に対しても適用できる。同一種
類の複数の光源に対しては、分割される照明光からなる
複数の光束の光軸に対してもとの光源の位置が光束間で
異なる照明光学系を構成し、かつこの構成を種類の異な
る複数の光源どうしに対して適用する。例えば、赤色L
ED以外に、青色LED、緑色LEDにも適用する。こ
うすることにより、白色照明やフルカラー照明の場合に
おいても、複数の光源の配列やその光源の光強度分布不
均一の影響を低減した照明を行うことができる。この場
合には、青緑赤色の3種類のLEDを同一の面状に配列
してもよいし、またそれぞれの色のLEDを異なる面上
に配列し、または共通の面上に混合で配列し、合成プリ
ズムで合成して光学的に同一の面上に配列したものと実
質同一にしたものでもよい。
同一種類の複数の光源のみの場合に限定されるものでは
なく、複数の種類の光源に対しても適用できる。同一種
類の複数の光源に対しては、分割される照明光からなる
複数の光束の光軸に対してもとの光源の位置が光束間で
異なる照明光学系を構成し、かつこの構成を種類の異な
る複数の光源どうしに対して適用する。例えば、赤色L
ED以外に、青色LED、緑色LEDにも適用する。こ
うすることにより、白色照明やフルカラー照明の場合に
おいても、複数の光源の配列やその光源の光強度分布不
均一の影響を低減した照明を行うことができる。この場
合には、青緑赤色の3種類のLEDを同一の面状に配列
してもよいし、またそれぞれの色のLEDを異なる面上
に配列し、または共通の面上に混合で配列し、合成プリ
ズムで合成して光学的に同一の面上に配列したものと実
質同一にしたものでもよい。
【0028】また、分割される照明光からなる複数の光
束の光軸に対してもとの光源の位置が光束間で異なるよ
うにする光束は、隣接する光束間であることが好ましい
が、これに限定されるのもではない。隣接する複数の光
束間では分割される照明光からなる複数の光束の光軸に
対してもとの光源の位置が同じグループを形成し、この
隣接したグループ間で、分割される照明光からなる複数
の光束の光軸に対してもとの光源の位置が異なっている
ことにより、複数の光源の配列やその光源の光強度分布
不均一の影響を低減した照明を行うことができる。
束の光軸に対してもとの光源の位置が光束間で異なるよ
うにする光束は、隣接する光束間であることが好ましい
が、これに限定されるのもではない。隣接する複数の光
束間では分割される照明光からなる複数の光束の光軸に
対してもとの光源の位置が同じグループを形成し、この
隣接したグループ間で、分割される照明光からなる複数
の光束の光軸に対してもとの光源の位置が異なっている
ことにより、複数の光源の配列やその光源の光強度分布
不均一の影響を低減した照明を行うことができる。
【0029】また、分割された照明光からなる複数の光
束の光軸に対するもとの光源の位置は、特定の光源に対
して常に一定値であることに限定されるものではない。
面状すなわち2次元的に配列された複数の光源全体、ま
たは面状に配列された複数の光源のうち一部分、または
第1微小レンズ全体、または第1微小レンズの一部分を
移動させる手段を設けることにより、複数の光源の配列
やその光源の光強度分布不均一の影響を低減した照明を
行うことができるとともに、常に最適な条件に設定する
ことができる。
束の光軸に対するもとの光源の位置は、特定の光源に対
して常に一定値であることに限定されるものではない。
面状すなわち2次元的に配列された複数の光源全体、ま
たは面状に配列された複数の光源のうち一部分、または
第1微小レンズ全体、または第1微小レンズの一部分を
移動させる手段を設けることにより、複数の光源の配列
やその光源の光強度分布不均一の影響を低減した照明を
行うことができるとともに、常に最適な条件に設定する
ことができる。
【0030】第1の実施形態にかかる照明装置は、照明
光を、複数の光源が配列された面形状の方向に空間的に
分割する照明光学系であった。この分割された照明光を
面形状被照明物体において統合する照明光学系として
は、第1微小レンズおよび第2微小レンズおよびコンデ
ンサレンズを用いた図1に示す照明光学系に限定される
ものではない。第1微小レンズと第2微小レンズが複合
化された複合機能微小レンズを用いてもよく、ホログラ
ム素子を用いてもよく、光ファイバや光導波路を用いて
もよく、さらには集光レンズとガラス柱とコンデンサレ
ンズを用いた照明光学系でもよい。
光を、複数の光源が配列された面形状の方向に空間的に
分割する照明光学系であった。この分割された照明光を
面形状被照明物体において統合する照明光学系として
は、第1微小レンズおよび第2微小レンズおよびコンデ
ンサレンズを用いた図1に示す照明光学系に限定される
ものではない。第1微小レンズと第2微小レンズが複合
化された複合機能微小レンズを用いてもよく、ホログラ
ム素子を用いてもよく、光ファイバや光導波路を用いて
もよく、さらには集光レンズとガラス柱とコンデンサレ
ンズを用いた照明光学系でもよい。
【0031】本発明は面状に配列された複数の光源に対
して、図1で示した実施形態のように、1次元方向に対
してのみ最適化するものに限定されるものではなく、照
明光として2次元方向で最適化するものでもよく、その
方が好ましい。また、もとの光源の光強度分布に対応し
て、分割される照明光からなる複数の光束の光軸に対す
るもとの光源の位置は、最適値が存在する。この最適値
に近い値になるように、照明装置としての光強度分布の
要求仕様に適合させることができるが、それ以外に、コ
ストや量産性を含めた実用的な範囲で照明光学系の設計
することが好ましい。
して、図1で示した実施形態のように、1次元方向に対
してのみ最適化するものに限定されるものではなく、照
明光として2次元方向で最適化するものでもよく、その
方が好ましい。また、もとの光源の光強度分布に対応し
て、分割される照明光からなる複数の光束の光軸に対す
るもとの光源の位置は、最適値が存在する。この最適値
に近い値になるように、照明装置としての光強度分布の
要求仕様に適合させることができるが、それ以外に、コ
ストや量産性を含めた実用的な範囲で照明光学系の設計
することが好ましい。
【0032】図3は、前記本発明の第1の実施形態にか
かる照明装置の構成を変形し、空間的に分割された照明
光を被照明体において統合する光学素子の一部としてガ
ラス柱を用いた第2の実施形態を示す光学配置図であ
る。図3において、符号1a、1b、1cは同一平面上
に実装された赤色LD(半導体レーザ)チップ、2a、
2b,2cはLDチップの前面に設けたコリメートレン
ズ、12は入射用レンズ、13はガラス柱、14はコン
デンサレンズ、6は被照明物体をそれぞれ示している。
コリメートレンズ2a、2b,2cはLDチップ1a、
1b、1cの数に対応した数だけ用いられているのに対
し、入射用レンズ12は1個用いられている。入射用レ
ンズ12は、コリメートレンズ2a、2b,2cによっ
て平行光束とされた複数の照明光を、ガラス柱13の図
3において左側の入射端部の中心18に収束させながら
入射させるものである。上記コンデンサレンズ14は、
ガラス柱13の図3において右側の出射端部16に生ず
る像を、平面の被照明物体6に結像する作用がある。
かる照明装置の構成を変形し、空間的に分割された照明
光を被照明体において統合する光学素子の一部としてガ
ラス柱を用いた第2の実施形態を示す光学配置図であ
る。図3において、符号1a、1b、1cは同一平面上
に実装された赤色LD(半導体レーザ)チップ、2a、
2b,2cはLDチップの前面に設けたコリメートレン
ズ、12は入射用レンズ、13はガラス柱、14はコン
デンサレンズ、6は被照明物体をそれぞれ示している。
コリメートレンズ2a、2b,2cはLDチップ1a、
1b、1cの数に対応した数だけ用いられているのに対
し、入射用レンズ12は1個用いられている。入射用レ
ンズ12は、コリメートレンズ2a、2b,2cによっ
て平行光束とされた複数の照明光を、ガラス柱13の図
3において左側の入射端部の中心18に収束させながら
入射させるものである。上記コンデンサレンズ14は、
ガラス柱13の図3において右側の出射端部16に生ず
る像を、平面の被照明物体6に結像する作用がある。
【0033】図3において、LDチップ1a、1b、1
cから放出された、符号7a、7b、7cで示される3
つの光束からなる照明光は、隣接した集光微小レンズ2
a、2b,2cの作用により、点線8a、8b、8cで
示される平面的な光強度分布を有した3つの光束とな
る。この3つの光束は、入射用レンズ12により並列的
に統合されて、1つの光束からなる照明光となる。この
1つの光束からなる照明光は、もとの3つの光束のつな
ぎ部分に、空間に照明光のない隙間があっても構わな
い。この照明光は、入射用レンズ12の作用によりガラ
ス柱13の入射端部に入射したあと、ガラス柱13の出
射端部16から出射する。その際に、照明光の入射角度
によってガラス柱13内を反射する角度が異なるため、
その出射端部16の中心から出射する光線が、符号15
a,15b,15cで示すように3本生じ、これらの光
線はどれもコンデンサレンズ14により被照明物体6の
中心に入射する。この光線15a,15b,15cが実
質的な光軸に相当する。
cから放出された、符号7a、7b、7cで示される3
つの光束からなる照明光は、隣接した集光微小レンズ2
a、2b,2cの作用により、点線8a、8b、8cで
示される平面的な光強度分布を有した3つの光束とな
る。この3つの光束は、入射用レンズ12により並列的
に統合されて、1つの光束からなる照明光となる。この
1つの光束からなる照明光は、もとの3つの光束のつな
ぎ部分に、空間に照明光のない隙間があっても構わな
い。この照明光は、入射用レンズ12の作用によりガラ
ス柱13の入射端部に入射したあと、ガラス柱13の出
射端部16から出射する。その際に、照明光の入射角度
によってガラス柱13内を反射する角度が異なるため、
その出射端部16の中心から出射する光線が、符号15
a,15b,15cで示すように3本生じ、これらの光
線はどれもコンデンサレンズ14により被照明物体6の
中心に入射する。この光線15a,15b,15cが実
質的な光軸に相当する。
【0034】これに対応して、1つの光束からなる照明
光は、2重矢印18a,18b,18cで示される実質
的に3つの光束に分割され、この分割された照明光がガ
ラス柱13の出射端部16に至る。1つの光束からなる
照明光の図3において最上部の境界は、入射用レンズ1
2の最上部とガラス柱13の入射端部18を結ぶ線17
aであり、照明光の最下部の境界は、入射用レンズ12
の最下部とガラス柱13の入射端部18を結ぶ線17c
である。また、分割された3つの光束の境界は、出射端
部16の最下部と入射端部中心の18を結ぶ線17b、
および射端部16の最上部と入射端部中心の18を結ぶ
線17cである。このため、3つの光束は、それぞれ線
17aと線17b、線17bと線17c、および線17
cと17dで挟まれた領域に分割されている。これらの
光束は2重矢印18a,18b,18cで示されてい
る。そして、これらの3つの光束からなる照明光は、コ
ンデンサレンズ14により統合されて被照明物体6の中
心に入射する。
光は、2重矢印18a,18b,18cで示される実質
的に3つの光束に分割され、この分割された照明光がガ
ラス柱13の出射端部16に至る。1つの光束からなる
照明光の図3において最上部の境界は、入射用レンズ1
2の最上部とガラス柱13の入射端部18を結ぶ線17
aであり、照明光の最下部の境界は、入射用レンズ12
の最下部とガラス柱13の入射端部18を結ぶ線17c
である。また、分割された3つの光束の境界は、出射端
部16の最下部と入射端部中心の18を結ぶ線17b、
および射端部16の最上部と入射端部中心の18を結ぶ
線17cである。このため、3つの光束は、それぞれ線
17aと線17b、線17bと線17c、および線17
cと17dで挟まれた領域に分割されている。これらの
光束は2重矢印18a,18b,18cで示されてい
る。そして、これらの3つの光束からなる照明光は、コ
ンデンサレンズ14により統合されて被照明物体6の中
心に入射する。
【0035】上記3つの光束の実質的な光軸に対して、
この実質的光軸近傍に位置するLDチップ1a,1b,
1cの、実質的光軸からの距離19a,19b,19c
を、LDチップの光源間距離を1として正規化して表記
すると、下方を正として、それぞれ+0.33、0.0
0、−0.33となり、隣接する光源間で距離が異なっ
ている。
この実質的光軸近傍に位置するLDチップ1a,1b,
1cの、実質的光軸からの距離19a,19b,19c
を、LDチップの光源間距離を1として正規化して表記
すると、下方を正として、それぞれ+0.33、0.0
0、−0.33となり、隣接する光源間で距離が異なっ
ている。
【0036】図4に、図3に示す実施形態の場合に幅を
正規化した平面的な光強度分布の変化を模式的に示す。
ただし、図4(b)、(c)に関しては出射端部16の
位置で正規化してある。図4において、(a)は図3に
おいて点線8a,8b,8cで示す光強度分布に対応し
た光強度分布である。図4(b)は、図3に示す実施形
態における3つの光束18a,18b,18cの光強度
分布であり、(c)は出射端部16での上記点線8a,
8b,8cで示す光束に対応した光束の光強度分布であ
り、(d)は被照明物体6での照明光の光強度分布であ
る。
正規化した平面的な光強度分布の変化を模式的に示す。
ただし、図4(b)、(c)に関しては出射端部16の
位置で正規化してある。図4において、(a)は図3に
おいて点線8a,8b,8cで示す光強度分布に対応し
た光強度分布である。図4(b)は、図3に示す実施形
態における3つの光束18a,18b,18cの光強度
分布であり、(c)は出射端部16での上記点線8a,
8b,8cで示す光束に対応した光束の光強度分布であ
り、(d)は被照明物体6での照明光の光強度分布であ
る。
【0037】図4(a)で示されるように、複数の光源
中心と周辺との間に光強度分布があるが、この光強度分
布のある照明光を、ガラス柱13を用いて実質的な光軸
と光源との位置関係を変化させながら3つの光束に分割
することにより、図4(b)、(c)で示される光強度
分布の異なる光束を生じさせることができる。この光強
度分布の異なる複数の光束は、コンデンサレンズ14の
作用により被照明物体6の平面上に統合されると、図4
(d)に示されるように、複数の光源の配列やその光源
の光強度分布不均一の影響を低減した照明光にすること
ができる。図4(c)における符号16a、16b、1
6cは、それぞれ、ガラス柱13の出射端部16と線1
7cとの交点、上記出射端部16と線17dとの交点、
上記出射端部16と線17bとの交点を示している。
中心と周辺との間に光強度分布があるが、この光強度分
布のある照明光を、ガラス柱13を用いて実質的な光軸
と光源との位置関係を変化させながら3つの光束に分割
することにより、図4(b)、(c)で示される光強度
分布の異なる光束を生じさせることができる。この光強
度分布の異なる複数の光束は、コンデンサレンズ14の
作用により被照明物体6の平面上に統合されると、図4
(d)に示されるように、複数の光源の配列やその光源
の光強度分布不均一の影響を低減した照明光にすること
ができる。図4(c)における符号16a、16b、1
6cは、それぞれ、ガラス柱13の出射端部16と線1
7cとの交点、上記出射端部16と線17dとの交点、
上記出射端部16と線17bとの交点を示している。
【0038】図13は、比較例として、従来の照明装置
の例にガラス柱を用いた場合の光強度分布の例を示す。
ただし、図3に示す実施形態と同様の条件とし、前記3
つの光束の実質的な光軸19a、19b、19cがいず
れも3つのLDチップ1a、1b、1cおよびコリメー
タレンズ2a,2b,2cの中心を通るように、3つの
LDチップ1a、1b、1cの間隔およびコリメータレ
ンズ2a,2b,2cの間隔を設定した。そして、図4
と対応する符号にダッシュを添付して表記した。
の例にガラス柱を用いた場合の光強度分布の例を示す。
ただし、図3に示す実施形態と同様の条件とし、前記3
つの光束の実質的な光軸19a、19b、19cがいず
れも3つのLDチップ1a、1b、1cおよびコリメー
タレンズ2a,2b,2cの中心を通るように、3つの
LDチップ1a、1b、1cの間隔およびコリメータレ
ンズ2a,2b,2cの間隔を設定した。そして、図4
と対応する符号にダッシュを添付して表記した。
【0039】図13(a)に示されているように、複数
の光源から射出される照明光には、その中心と周辺との
間に光強度分布があるが、この光強度分布が存在する照
明光を、ガラス柱13を用いて実質的な光軸と光源との
位置関係が同じ状態で3つの光束に分割すると、分割さ
れた光束の強度分布は、図13(b)、(c)に示され
るように、上記光源の光強度分布とほぼ同じで、かつ、
互いにほぼ同じ強度分布の光束になる。この光強度分布
のほぼ同じ複数の光束は、コンデンサレンズ14の作用
によりにより被照明物体6に統合されると、図4(d)
に示されるように、もとの光源に見られる光強度分布不
均一の影響がそのまま影響する照明光となってしまう。
の光源から射出される照明光には、その中心と周辺との
間に光強度分布があるが、この光強度分布が存在する照
明光を、ガラス柱13を用いて実質的な光軸と光源との
位置関係が同じ状態で3つの光束に分割すると、分割さ
れた光束の強度分布は、図13(b)、(c)に示され
るように、上記光源の光強度分布とほぼ同じで、かつ、
互いにほぼ同じ強度分布の光束になる。この光強度分布
のほぼ同じ複数の光束は、コンデンサレンズ14の作用
によりにより被照明物体6に統合されると、図4(d)
に示されるように、もとの光源に見られる光強度分布不
均一の影響がそのまま影響する照明光となってしまう。
【0040】従来の、面状に配列した複数の光源を用い
た照明装置としては、拡散透過板等による光強度分布の
均一化と、この拡散透過面のクリティカル照明等が基本
であった。本発明の上記実施形態のように、複数の光源
の位置とガラス柱を用いた場合に、実質的に複数の光束
に照明光を分割することができる光束の実質的な光軸と
光源との位置関係を考慮した技術はない。本発明の上記
実施形態にかかる照明装置は、複数の光束の実質的な光
軸と光源との位置関係を異なる状態とすることを構成上
の特徴としており、これによって、上記の説明から明ら
かなように、もと光源の配列やその光源の光強度分布不
均一の影響を低減した照明光にすることができる。
た照明装置としては、拡散透過板等による光強度分布の
均一化と、この拡散透過面のクリティカル照明等が基本
であった。本発明の上記実施形態のように、複数の光源
の位置とガラス柱を用いた場合に、実質的に複数の光束
に照明光を分割することができる光束の実質的な光軸と
光源との位置関係を考慮した技術はない。本発明の上記
実施形態にかかる照明装置は、複数の光束の実質的な光
軸と光源との位置関係を異なる状態とすることを構成上
の特徴としており、これによって、上記の説明から明ら
かなように、もと光源の配列やその光源の光強度分布不
均一の影響を低減した照明光にすることができる。
【0041】上記実施の形態において、ガラス柱13に
入射する複数の光源の入射形態は、1枚の入射レンズ1
2を用いる形態に限定されるわけではなく、複数の入射
レンズを用いる構成でもよく、コリメートレンズ2a,
2b,2cの部分に入射用微小レンズを設けて入射する
構成でもよく、さらに、この入射用微小レンズに代えて
光ファイバで入射する構成でもよく、直接結合により入
射する構成でもよい。これらは導光板に対する結合構成
に従って構成することが効果的である。いずれの場合に
おいても、分割された光束の実質的な光軸ともとの光源
との位置関係を異なる構成とすることが必要である。
入射する複数の光源の入射形態は、1枚の入射レンズ1
2を用いる形態に限定されるわけではなく、複数の入射
レンズを用いる構成でもよく、コリメートレンズ2a,
2b,2cの部分に入射用微小レンズを設けて入射する
構成でもよく、さらに、この入射用微小レンズに代えて
光ファイバで入射する構成でもよく、直接結合により入
射する構成でもよい。これらは導光板に対する結合構成
に従って構成することが効果的である。いずれの場合に
おいても、分割された光束の実質的な光軸ともとの光源
との位置関係を異なる構成とすることが必要である。
【0042】図5は、本発明にかかる照明装置の別の実
施形態を示す光学配置図である。図5において、符号1
a、1b、1c、1d、1eは同一平面上に実装された
赤色LEDチップ、2a、2b,2c、2d、2eはL
EDチップ1a、1b、1c、1d、1eと一体となっ
た集光用微小レンズ、3a、3bは照明光を複数の光束
に分割する第1微小レンズ、4a、4bは、コンデンサ
レンズ5との協働により、第1微小レンズ3a、3bの
像を平面の被照明物体6に結像する作用のある第2微小
レンズをそれぞれ示している。集光微小レンズ2a、2
b,2c、2d、2eは、通常は封止樹脂の形状効果に
より形成される。
施形態を示す光学配置図である。図5において、符号1
a、1b、1c、1d、1eは同一平面上に実装された
赤色LEDチップ、2a、2b,2c、2d、2eはL
EDチップ1a、1b、1c、1d、1eと一体となっ
た集光用微小レンズ、3a、3bは照明光を複数の光束
に分割する第1微小レンズ、4a、4bは、コンデンサ
レンズ5との協働により、第1微小レンズ3a、3bの
像を平面の被照明物体6に結像する作用のある第2微小
レンズをそれぞれ示している。集光微小レンズ2a、2
b,2c、2d、2eは、通常は封止樹脂の形状効果に
より形成される。
【0043】図5において、LEDチップ1a、1b、
1c、1d、1eから放出された5つの光束7a、7
b、7c、7d、7eからなる照明光は、互いに隣接し
た集光微小レンズ2a、2b,2c、2d、2eの作用
により、点線8a、8b、8c、8d、8eで示される
平面的な光強度分布を有した5つの光束が並列的に統合
されて1つの光束からなる照明光となる。1つの光束か
らなる照明光は、もとの5つの光束のつなぎ部分に、空
間に照明光のない隙間があっても構わない。この照明光
は、第1微小レンズ3a、3bの作用により、符号9
a、9b、で示される2つの光束からなる照明光に分割
され、この分割された照明光は、第2微小レンズ4a,
4bおよびコンデンサレンズ5の作用により、2重矢印
10a,10bで示される光束となって、被照明物体6
上で統合され、被照明物体6を照明する。
1c、1d、1eから放出された5つの光束7a、7
b、7c、7d、7eからなる照明光は、互いに隣接し
た集光微小レンズ2a、2b,2c、2d、2eの作用
により、点線8a、8b、8c、8d、8eで示される
平面的な光強度分布を有した5つの光束が並列的に統合
されて1つの光束からなる照明光となる。1つの光束か
らなる照明光は、もとの5つの光束のつなぎ部分に、空
間に照明光のない隙間があっても構わない。この照明光
は、第1微小レンズ3a、3bの作用により、符号9
a、9b、で示される2つの光束からなる照明光に分割
され、この分割された照明光は、第2微小レンズ4a,
4bおよびコンデンサレンズ5の作用により、2重矢印
10a,10bで示される光束となって、被照明物体6
上で統合され、被照明物体6を照明する。
【0044】第2微小レンズ4a,4bの光軸に対し
て、この光軸近傍のLEDチップ1a、1b、1c、1
d、1eの位置11a,11b,11c,11d,11
eを、第2微小レンズ4a,4bの光軸間距離を1とし
て正規化して表記すると、下方を正として、それぞれ+
0.33、−0.67、0.00、+0.67、−0.
33(ただし、この場合の数値範囲は、−0.83〜
0.83)となり、隣接する微小レンズ2a、2b,2
c、2d、2e間で異なっている。
て、この光軸近傍のLEDチップ1a、1b、1c、1
d、1eの位置11a,11b,11c,11d,11
eを、第2微小レンズ4a,4bの光軸間距離を1とし
て正規化して表記すると、下方を正として、それぞれ+
0.33、−0.67、0.00、+0.67、−0.
33(ただし、この場合の数値範囲は、−0.83〜
0.83)となり、隣接する微小レンズ2a、2b,2
c、2d、2e間で異なっている。
【0045】第2微小レンズ4a,4bのそれぞれで2
つ以上のLEDからの照明光が入射する構成とし、かつ
分割された光束の光軸に対する2つ以上の光源の位置を
異なる構成とすることにより、複数の光源間の距離が小
さい場合に、1つの光源に対応して微小レンズを1つま
たは2つ以上設けるのではなく、1つの微小レンズに対
応して、2つ以上の光源を設けることにより、微小レン
ズの有効直径を大きくすることができる。これにより、
微小レンズを精度よく、安価に成型できるようになる。
さらに、もと光源の光強度分布不均一の影響がそのまま
影響することのない照明光を有する安価な照明装置を作
製できるようになる。
つ以上のLEDからの照明光が入射する構成とし、かつ
分割された光束の光軸に対する2つ以上の光源の位置を
異なる構成とすることにより、複数の光源間の距離が小
さい場合に、1つの光源に対応して微小レンズを1つま
たは2つ以上設けるのではなく、1つの微小レンズに対
応して、2つ以上の光源を設けることにより、微小レン
ズの有効直径を大きくすることができる。これにより、
微小レンズを精度よく、安価に成型できるようになる。
さらに、もと光源の光強度分布不均一の影響がそのまま
影響することのない照明光を有する安価な照明装置を作
製できるようになる。
【0046】ここで、複数の光源間の距離が小さいと
は、樹脂封止されている汎用LEDの通常の5mmΦ
や、これよりも小型の3mmΦであることと比較した場
合であり、3mmΦ以下の場合をいう。特にベアのLE
Dチップを面上に実装した場合の2mmΦ以内の場合を
いう。この2mmΦ以内の小さい間隔の場合に、図1に
示すように、一つのLEDに対して、1つまたは2つ以
上の微小レンズを構成することもできるが、この場合に
は、その精度のよい安価な微小レンズ成型が困難になる
範囲である。
は、樹脂封止されている汎用LEDの通常の5mmΦ
や、これよりも小型の3mmΦであることと比較した場
合であり、3mmΦ以下の場合をいう。特にベアのLE
Dチップを面上に実装した場合の2mmΦ以内の場合を
いう。この2mmΦ以内の小さい間隔の場合に、図1に
示すように、一つのLEDに対して、1つまたは2つ以
上の微小レンズを構成することもできるが、この場合に
は、その精度のよい安価な微小レンズ成型が困難になる
範囲である。
【0047】図6に、図5の実施形態において、幅を正
規化した平面的な光強度分布の変化の模式図を示す。図
6において、(a)は図5において点線8a,8b,8
c、8d、8eで示す光強度分布に対応する強度分布を
示し、(b)は図5の実施形態における第1微小レンズ
3a,3bで分割された光束9a,9bの光強度分布を
示し、(c)はコンデンサレンズ5を透過した光束10
a,10bの光強度分布を示し、(d)は被照明物体6
での照明光の光強度分布を示す。
規化した平面的な光強度分布の変化の模式図を示す。図
6において、(a)は図5において点線8a,8b,8
c、8d、8eで示す光強度分布に対応する強度分布を
示し、(b)は図5の実施形態における第1微小レンズ
3a,3bで分割された光束9a,9bの光強度分布を
示し、(c)はコンデンサレンズ5を透過した光束10
a,10bの光強度分布を示し、(d)は被照明物体6
での照明光の光強度分布を示す。
【0048】図6(a)で示されるように、5つの光源
にはそれぞれの光源中心と周辺との間に光強度分布があ
る。5つの山が光強度分布となる上記5つの光源からの
照明光を、第1微小レンズ3a,3bおよび第2微小レ
ンズ4a,4bで2つの光束に分割する。分割されたそ
れぞれの光束は、図6(b)、(c)に示されるよう
に、2つの山と半分の山を有し、かつその山の位置(こ
れは光源の位置に相当するが)が、2つの光束の光軸と
の位置が異なる関係あることにより、中央部分の光強度
分布に対する周辺部分の光強度分布の低下量が低減され
ており、さらに2つの光束の光強度分布形状が異なるこ
とにより、全体の光強度分布のムラが減少し、結果とし
て、照明光のもととなる光源の配列や光源の光強度分布
不均一の影響を低減した照明光にすることができる。
にはそれぞれの光源中心と周辺との間に光強度分布があ
る。5つの山が光強度分布となる上記5つの光源からの
照明光を、第1微小レンズ3a,3bおよび第2微小レ
ンズ4a,4bで2つの光束に分割する。分割されたそ
れぞれの光束は、図6(b)、(c)に示されるよう
に、2つの山と半分の山を有し、かつその山の位置(こ
れは光源の位置に相当するが)が、2つの光束の光軸と
の位置が異なる関係あることにより、中央部分の光強度
分布に対する周辺部分の光強度分布の低下量が低減され
ており、さらに2つの光束の光強度分布形状が異なるこ
とにより、全体の光強度分布のムラが減少し、結果とし
て、照明光のもととなる光源の配列や光源の光強度分布
不均一の影響を低減した照明光にすることができる。
【0049】図7は、本発明にかかる照明装置のさらに
別の実施形態を説明するための模式図である。図7は、
図5と同様の構成において、光源となる赤色LEDの数
を6つとし、それぞれの光源から放出され集光微小レン
ズの作用を受けた光束を8a,8b,8c,8d,8
e,8fとし、さらにこのそれぞれの光束に2つから6
つの異なる数の第1微小レンズを作用させた場合に、こ
れら第1微小レンズで分割されたそれぞれの光束を9
a,9b,9c,9d,9e,9fとし(ただし、第1
微小レンズの数が5以下の場合には、その数に対応して
光束の数が減少する、)被照明物体を符号6で示した場
合の、図6に対応する模式図である。ただし、図7
(b),(c),(d),(e),(f)は、それぞれ
第1微小レンズの数が2つ、3つ、4つ、5つ、6つの
場合の第1微小レンズにより分割された光束の光強度分
布を示し、図7(b’),(c’),(d’),
(e’),(f’)は、それぞれ第1微小レンズの数が
2つ、3つ、4つ、5つ、6つの場合の被照明物体6で
の光強度分布を示す。
別の実施形態を説明するための模式図である。図7は、
図5と同様の構成において、光源となる赤色LEDの数
を6つとし、それぞれの光源から放出され集光微小レン
ズの作用を受けた光束を8a,8b,8c,8d,8
e,8fとし、さらにこのそれぞれの光束に2つから6
つの異なる数の第1微小レンズを作用させた場合に、こ
れら第1微小レンズで分割されたそれぞれの光束を9
a,9b,9c,9d,9e,9fとし(ただし、第1
微小レンズの数が5以下の場合には、その数に対応して
光束の数が減少する、)被照明物体を符号6で示した場
合の、図6に対応する模式図である。ただし、図7
(b),(c),(d),(e),(f)は、それぞれ
第1微小レンズの数が2つ、3つ、4つ、5つ、6つの
場合の第1微小レンズにより分割された光束の光強度分
布を示し、図7(b’),(c’),(d’),
(e’),(f’)は、それぞれ第1微小レンズの数が
2つ、3つ、4つ、5つ、6つの場合の被照明物体6で
の光強度分布を示す。
【0050】図7において、(a)で示されるように、
複数の光源がその光源中心と周辺との間に光強度分布が
あり、これが一つの光束となると、この複数の光源に対
応して6つの山がある光強度分布を有する照明光とな
る。図7(b)に示すように、この照明光を2つの光束
に分割すると、それぞれの分割された光束は、3つ分の
山の光強度分布を有することになる。これは2つの第1
微小レンズで分割したのと同様の光強度分布である(図
7(b)9a、9b参照)。このため、分割された2つ
の光束が被照明物体6で統合されても、3つの山を有す
る図7(b)9a、9bの光強度分布と同様の、図7
(b’)に示される光強度分布となる。これを、単純に
6つ山の光強度分布を有する第1微小レンズを使用しな
い場合と比較すると、光強度分布ムラの空間周波数が減
少したために、その不均一性を視認しやすくなる場合が
生じる。
複数の光源がその光源中心と周辺との間に光強度分布が
あり、これが一つの光束となると、この複数の光源に対
応して6つの山がある光強度分布を有する照明光とな
る。図7(b)に示すように、この照明光を2つの光束
に分割すると、それぞれの分割された光束は、3つ分の
山の光強度分布を有することになる。これは2つの第1
微小レンズで分割したのと同様の光強度分布である(図
7(b)9a、9b参照)。このため、分割された2つ
の光束が被照明物体6で統合されても、3つの山を有す
る図7(b)9a、9bの光強度分布と同様の、図7
(b’)に示される光強度分布となる。これを、単純に
6つ山の光強度分布を有する第1微小レンズを使用しな
い場合と比較すると、光強度分布ムラの空間周波数が減
少したために、その不均一性を視認しやすくなる場合が
生じる。
【0051】図7(c)においても、図7(b)と同様
で、この照明光を3つの光束に分割すると、それぞれの
分割された光束は、2つ分の山の光強度分布を有するこ
とになる。これは3つの第1微小レンズを用いたのと同
様の光強度分布になる(図7(c)9a、9b、9c参
照)。このため、分割された3つの光束が被照明物体6
で統合されても、図7(b)9a、9b、9cの光強度
分布と同様の図7(c’)に示される2つの山を有する
光強度分布となる。第1微小レンズを使用しない場合
は、単純に6つ山の光強度分布を有することと比較する
と、光強度分布ムラの空間周波数が減少したために、そ
の不均一性を視認しやすくなる場合が生じる。
で、この照明光を3つの光束に分割すると、それぞれの
分割された光束は、2つ分の山の光強度分布を有するこ
とになる。これは3つの第1微小レンズを用いたのと同
様の光強度分布になる(図7(c)9a、9b、9c参
照)。このため、分割された3つの光束が被照明物体6
で統合されても、図7(b)9a、9b、9cの光強度
分布と同様の図7(c’)に示される2つの山を有する
光強度分布となる。第1微小レンズを使用しない場合
は、単純に6つ山の光強度分布を有することと比較する
と、光強度分布ムラの空間周波数が減少したために、そ
の不均一性を視認しやすくなる場合が生じる。
【0052】図7(d)は、光源からの照明光を4つの
光束に分割した場合を示しており、それぞれの分割され
た光束は、一つ半分の山の光強度分布を有することにな
る。これは、図7(d)9a、9b、9c、9dに示す
ように、4つの第1微小レンズで分割することによって
得られる、同じ形状と、異なる形状とが混在する光強度
分布となる。このため、分割された4つの光束が被照明
物体6で統合された場合に、2つの山を有する図7
(d)に示す9aの光束に対する9b、9dの光束や、
また、図7(d)に示す9bの光束に対する9a,9c
の光束が、光強度分布を均一化する作用を有するが、図
7(d)に示す9aの光束と9cの光束、および図7
(d)に示す9cの光束と9dの光束は、光強度分布を
均一化する作用を持たない。よって、図7(d‘)で示
されるように、第1微小レンズを4つ用いたにもかかわ
らず、中心強度が大きく、周辺強度がもとの光源から射
出される光束の光強度分布と同程度に小さい、不均一な
光強度分布となり、その不均一性を視認しやすくなる場
合が生じる。
光束に分割した場合を示しており、それぞれの分割され
た光束は、一つ半分の山の光強度分布を有することにな
る。これは、図7(d)9a、9b、9c、9dに示す
ように、4つの第1微小レンズで分割することによって
得られる、同じ形状と、異なる形状とが混在する光強度
分布となる。このため、分割された4つの光束が被照明
物体6で統合された場合に、2つの山を有する図7
(d)に示す9aの光束に対する9b、9dの光束や、
また、図7(d)に示す9bの光束に対する9a,9c
の光束が、光強度分布を均一化する作用を有するが、図
7(d)に示す9aの光束と9cの光束、および図7
(d)に示す9cの光束と9dの光束は、光強度分布を
均一化する作用を持たない。よって、図7(d‘)で示
されるように、第1微小レンズを4つ用いたにもかかわ
らず、中心強度が大きく、周辺強度がもとの光源から射
出される光束の光強度分布と同程度に小さい、不均一な
光強度分布となり、その不均一性を視認しやすくなる場
合が生じる。
【0053】図7(d)は、光源の数が6,第1微小レ
ンズの数が4のため、これらレンズ数の公約数が2とな
り、もとの数6,および4に比べて、1/3、1/2と
大きい比率のために不均一性を視認しやすいが、もとの
数と比べて公約数が1/5以下である場合には、その不
均一性が視認しにくくなる場合も生じる。
ンズの数が4のため、これらレンズ数の公約数が2とな
り、もとの数6,および4に比べて、1/3、1/2と
大きい比率のために不均一性を視認しやすいが、もとの
数と比べて公約数が1/5以下である場合には、その不
均一性が視認しにくくなる場合も生じる。
【0054】図7(f)においても、照明光を6つの光
束に分割すると、それぞれの分割された光束は、1つ分
の山の光強度分布を有することになる。これは6つの第
1微小レンズでもとの光源と全く同じ形状の光強度分布
である(図7(c)9a、9b、9c、9d,9e,9
f参照)。このため、分割された6つの光束が被照明物
体6で統合されても、図7(b)において9a、9b、
9c,9d,9e,9fで示すように1つの山を有する
光強度分布と同様の、図7(f’)に示される光強度分
布となり、第1微小レンズを使用しない場合が単純に6
つ山の光強度分布を有することと比較して、光強度分布
ムラの空間周波数が減少したために、その不均一性を視
認しやすくする場合が生じる。もちろん、もとの光源光
強度分布が均一な場合にこの構成は効果的ではあるが、
この場合には直接クリティカル照明を用いることもでき
る。
束に分割すると、それぞれの分割された光束は、1つ分
の山の光強度分布を有することになる。これは6つの第
1微小レンズでもとの光源と全く同じ形状の光強度分布
である(図7(c)9a、9b、9c、9d,9e,9
f参照)。このため、分割された6つの光束が被照明物
体6で統合されても、図7(b)において9a、9b、
9c,9d,9e,9fで示すように1つの山を有する
光強度分布と同様の、図7(f’)に示される光強度分
布となり、第1微小レンズを使用しない場合が単純に6
つ山の光強度分布を有することと比較して、光強度分布
ムラの空間周波数が減少したために、その不均一性を視
認しやすくする場合が生じる。もちろん、もとの光源光
強度分布が均一な場合にこの構成は効果的ではあるが、
この場合には直接クリティカル照明を用いることもでき
る。
【0055】図7(e)は、照明光を6つの光束に分割
すると、それぞれの分割された光束は、約1.3個分の
山の光強度分布を有することを示している。これは4つ
の第1微小レンズですべて異なる光分布形状が混在する
光強度分布である(図7(e)9a、9b、9c、9
d,9e参照)。このため、分割された5つの光束が被
照明物体6で統合された場合に、光強度分布を均一化す
る作用を有する。そして、図7(e‘)で示されるよう
に、他の第1微小レンズ数の場合と比較して、全体の光
強度分布がなだらかになると同時に、周辺部の光強度の
低下が大きく減少した非常に優れた均一な照明光とな
る。
すると、それぞれの分割された光束は、約1.3個分の
山の光強度分布を有することを示している。これは4つ
の第1微小レンズですべて異なる光分布形状が混在する
光強度分布である(図7(e)9a、9b、9c、9
d,9e参照)。このため、分割された5つの光束が被
照明物体6で統合された場合に、光強度分布を均一化す
る作用を有する。そして、図7(e‘)で示されるよう
に、他の第1微小レンズ数の場合と比較して、全体の光
強度分布がなだらかになると同時に、周辺部の光強度の
低下が大きく減少した非常に優れた均一な照明光とな
る。
【0056】このように、本発明にかかる上記実施形態
においては、複数の光源の実質的な数と空間的に分割さ
れる照明光の光束の、特定の実質的な数とが公約数を有
しない照明光学系にすることにより、少ない光源数や少
ない分割数で照明光を均一化することができる。ここで
の「実質的な数」とは、光源の有効領域、照明光を空間
分割する照明光学系の有効領域における数をいう。さら
にはこの数値が自然数でない場合には、光源の間隔や、
照明光を空間分割する手段の実効的な間隔が、図7
(b)、(c)、(d)、(f)で示されるような、ほ
ぼ同形状の光強度分布の光束が重なる状態となる照明光
学系の間隔となる場合を示す。この、ほぼ同形状の光強
度分布とは、空間的に分割される数に対して、その光束
の幅に対して1/4以下の範囲で光強度分布のピークが
存在する場合をいう。
においては、複数の光源の実質的な数と空間的に分割さ
れる照明光の光束の、特定の実質的な数とが公約数を有
しない照明光学系にすることにより、少ない光源数や少
ない分割数で照明光を均一化することができる。ここで
の「実質的な数」とは、光源の有効領域、照明光を空間
分割する照明光学系の有効領域における数をいう。さら
にはこの数値が自然数でない場合には、光源の間隔や、
照明光を空間分割する手段の実効的な間隔が、図7
(b)、(c)、(d)、(f)で示されるような、ほ
ぼ同形状の光強度分布の光束が重なる状態となる照明光
学系の間隔となる場合を示す。この、ほぼ同形状の光強
度分布とは、空間的に分割される数に対して、その光束
の幅に対して1/4以下の範囲で光強度分布のピークが
存在する場合をいう。
【0057】図8は、本発明にかかる照明装置のさらに
別の実施形態を示す光学配置図である。図8において、
符号1a、1bは互いに異なった平面上に実装された赤
色LEDチップ、2a、2bはLEDチップ1a、1b
と一体となった集光用微小レンズ、3a、3bは照明光
を複数の光束に分割する第1微小レンズ、4a、4b
は、コンデンサレンズ5とにより、第1微小レンズ3
a、3bの像を平面の被照明物体6に結像する作用のあ
る第2微小レンズをそれぞれ示している。上記二つの集
光微小レンズ2a、2bは、その直径の比が1:2とな
っている。
別の実施形態を示す光学配置図である。図8において、
符号1a、1bは互いに異なった平面上に実装された赤
色LEDチップ、2a、2bはLEDチップ1a、1b
と一体となった集光用微小レンズ、3a、3bは照明光
を複数の光束に分割する第1微小レンズ、4a、4b
は、コンデンサレンズ5とにより、第1微小レンズ3
a、3bの像を平面の被照明物体6に結像する作用のあ
る第2微小レンズをそれぞれ示している。上記二つの集
光微小レンズ2a、2bは、その直径の比が1:2とな
っている。
【0058】図8において、LEDチップ1a、1bか
ら放出された、符号7a、7bで示される2つの光束か
らなる照明光は、隣接した集光微小レンズ2a、2bの
作用により、点線8a、8bで示される同じ平面的な光
強度分布の形状を有した2つの光束が並列的に統合され
て1つの光束からなる照明光となる。このとき、1つの
光束からなる照明光は、第1微小レンズ3a、3bの作
用により、符号9a、9bで示される、互いに異なる光
強度分布形状からなる2つの光束に分割され、この分割
された光束からなる照明光は、第2微小レンズ4a,4
bおよびコンデンサレンズ5の作用により、2重矢印1
0a,10bで示される光束となって、被照明物体6上
で統合される。この統合された照明光は、光強度分布曲
線20で模式的に示されるように、片側に偏った位置で
ピークを持った光強度分布形状を有する照明光となる。
ら放出された、符号7a、7bで示される2つの光束か
らなる照明光は、隣接した集光微小レンズ2a、2bの
作用により、点線8a、8bで示される同じ平面的な光
強度分布の形状を有した2つの光束が並列的に統合され
て1つの光束からなる照明光となる。このとき、1つの
光束からなる照明光は、第1微小レンズ3a、3bの作
用により、符号9a、9bで示される、互いに異なる光
強度分布形状からなる2つの光束に分割され、この分割
された光束からなる照明光は、第2微小レンズ4a,4
bおよびコンデンサレンズ5の作用により、2重矢印1
0a,10bで示される光束となって、被照明物体6上
で統合される。この統合された照明光は、光強度分布曲
線20で模式的に示されるように、片側に偏った位置で
ピークを持った光強度分布形状を有する照明光となる。
【0059】このように、光源の数が2つ、分割した光
束の数が2つと同じ数にもかかわらず、光源の間隔を一
定としないことにより、形状の異なる光強度分布の光束
を2つ得ることができ、これを統合することにより、照
明光を均一化することができる。ここでいう「光源の間
隔」とは、通常の光源相互間の距離以外に、図8に示す
ように、1つの光源が集光微小レンズ2a,2b等で割
り当てられた部分の幅となる距離も含む。また、これら
の光源の間隔は、図8に示すように2種類であることに
限定されるものではなく、3種類以上あってもよく、こ
の光源の間隔を2次元的に最適に分布させることが好ま
しい。
束の数が2つと同じ数にもかかわらず、光源の間隔を一
定としないことにより、形状の異なる光強度分布の光束
を2つ得ることができ、これを統合することにより、照
明光を均一化することができる。ここでいう「光源の間
隔」とは、通常の光源相互間の距離以外に、図8に示す
ように、1つの光源が集光微小レンズ2a,2b等で割
り当てられた部分の幅となる距離も含む。また、これら
の光源の間隔は、図8に示すように2種類であることに
限定されるものではなく、3種類以上あってもよく、こ
の光源の間隔を2次元的に最適に分布させることが好ま
しい。
【0060】図9は、本発明にかかる照明装置のさらに
別の実施形態を示す光学配置図である。図9において、
符号1a、1bは同一平面上に実装された赤色LEDチ
ップ、2a、2bはLEDチップ1a、1bと一体とな
った集光用微小レンズ、3a、3bは照明光を複数の光
束に分割する第1微小レンズ、4a、4bは、補正レン
ズ21とコンデンサレンズ5とにより、上記第1微小レ
ンズ3a、3bの像を平面の被照明物体6に結像する作
用のある第2微小レンズをそれぞれ示している。また、
上記第1微小レンズ3a、3b、第2集光微小レンズ4
a、4bは、それぞれ直径の比率が1:2となってい
る。
別の実施形態を示す光学配置図である。図9において、
符号1a、1bは同一平面上に実装された赤色LEDチ
ップ、2a、2bはLEDチップ1a、1bと一体とな
った集光用微小レンズ、3a、3bは照明光を複数の光
束に分割する第1微小レンズ、4a、4bは、補正レン
ズ21とコンデンサレンズ5とにより、上記第1微小レ
ンズ3a、3bの像を平面の被照明物体6に結像する作
用のある第2微小レンズをそれぞれ示している。また、
上記第1微小レンズ3a、3b、第2集光微小レンズ4
a、4bは、それぞれ直径の比率が1:2となってい
る。
【0061】図9において、LEDチップ1a、1bか
ら放出された、符号7a、7bで示される2つの光束か
らなる照明光は、互いに隣接した集光微小レンズ2a、
2bの作用により、点線8a、8bで示されるように、
同じ平面的な光強度分布の形状を有した2つの光束が並
列的に統合されて1つの光束からなる照明光となる。こ
のとき、1つの光束からなる照明光は、第1微小レンズ
3a、3bの作用により、符号9a、9bで示されるよ
うに、異なる光強度分布をもつ2つの光束からなる照明
光に分割される。この分割された照明光は、第2微小レ
ンズ4a、4bおよびコンデンサレンズ5の作用によ
り、2重矢印10a,10bで示される光束となって、
被照明物体6上で統合され、平面状の被照明物体6を照
明する。被照明物体6上での照明光は、図9において符
号22で模式的に示されるように、中央部にピークを持
った光強度分布形状を有する。
ら放出された、符号7a、7bで示される2つの光束か
らなる照明光は、互いに隣接した集光微小レンズ2a、
2bの作用により、点線8a、8bで示されるように、
同じ平面的な光強度分布の形状を有した2つの光束が並
列的に統合されて1つの光束からなる照明光となる。こ
のとき、1つの光束からなる照明光は、第1微小レンズ
3a、3bの作用により、符号9a、9bで示されるよ
うに、異なる光強度分布をもつ2つの光束からなる照明
光に分割される。この分割された照明光は、第2微小レ
ンズ4a、4bおよびコンデンサレンズ5の作用によ
り、2重矢印10a,10bで示される光束となって、
被照明物体6上で統合され、平面状の被照明物体6を照
明する。被照明物体6上での照明光は、図9において符
号22で模式的に示されるように、中央部にピークを持
った光強度分布形状を有する。
【0062】このように、光源の数が2つ、分割した光
束の数が2つで、光源数と分割した光束数が同じである
にもかかわらず、空間的に分割する光束の間隔を一定と
しないことにより、形状の異なる光強度分布の光束を2
つ得ることができ、これを統合することにより、照明光
を均一化することができる。ここでいうところの「空間
的に分割する光束の間隔」とは、通常の空間的に分割す
る光束中心の距離以外に、図9に示すように、照明光が
第1微小レンズ3a,3b等で分割された際に割り当て
られた部分の幅となる距離を含む。また、これらの空間
的に分割する光束の間隔は、図9に示すように2種類で
あることに限定されるものではなく、3種類以上あって
もよい。この空間的に分割する光束の間隔を2次元的に
最適に分布させることが好ましい。
束の数が2つで、光源数と分割した光束数が同じである
にもかかわらず、空間的に分割する光束の間隔を一定と
しないことにより、形状の異なる光強度分布の光束を2
つ得ることができ、これを統合することにより、照明光
を均一化することができる。ここでいうところの「空間
的に分割する光束の間隔」とは、通常の空間的に分割す
る光束中心の距離以外に、図9に示すように、照明光が
第1微小レンズ3a,3b等で分割された際に割り当て
られた部分の幅となる距離を含む。また、これらの空間
的に分割する光束の間隔は、図9に示すように2種類で
あることに限定されるものではなく、3種類以上あって
もよい。この空間的に分割する光束の間隔を2次元的に
最適に分布させることが好ましい。
【0063】
【発明の効果】請求項1、請求項6から8記載の発明に
よれば、面状に配列された複数の光源がその光源中心と
周辺との間に光強度分布がある場合において、これら複
数の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光
の光強度分布不均一の影響を低減した照明装置を提供で
きる。
よれば、面状に配列された複数の光源がその光源中心と
周辺との間に光強度分布がある場合において、これら複
数の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光
の光強度分布不均一の影響を低減した照明装置を提供で
きる。
【0064】請求項2記載の発明によれば、面状に配列
された複数の光源の間隔が大きい場合に、これら複数の
光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光の光
強度分布不均一の影響を低減した照明装置を提供でき
る。
された複数の光源の間隔が大きい場合に、これら複数の
光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光の光
強度分布不均一の影響を低減した照明装置を提供でき
る。
【0065】請求項3記載の発明によれば、面状に配列
された複数の光源の数が小さい場合、または照明光を空
間的に分割される照明光の複数に分割される光束の数が
小さい場合に、複数の光源の配列やその光源の光強度分
布不均一に基づく照明光の光強度分布の影響を低減した
照明装置を提供できる。
された複数の光源の数が小さい場合、または照明光を空
間的に分割される照明光の複数に分割される光束の数が
小さい場合に、複数の光源の配列やその光源の光強度分
布不均一に基づく照明光の光強度分布の影響を低減した
照明装置を提供できる。
【0066】請求項4記載の発明によれば、簡単で低コ
ストな照明光学系を使用しているにもかかわらず、複数
の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光の
光強度分布不均一の影響をより低減した照明装置を提供
できる。
ストな照明光学系を使用しているにもかかわらず、複数
の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく照明光の
光強度分布不均一の影響をより低減した照明装置を提供
できる。
【0067】請求項5記載の発明によれば、簡単で低コ
ストな実装ができる光源を使用しているにもかかわら
ず、複数の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく
照明光の光強度分布不均一の影響をより低減した照明装
置を提供することができる。
ストな実装ができる光源を使用しているにもかかわら
ず、複数の光源の配列やその光源の光強度分布に基づく
照明光の光強度分布不均一の影響をより低減した照明装
置を提供することができる。
【図1】本発明にかかる照明装置の第1実施形態を示す
光学配置図である。
光学配置図である。
【図2】同上第1実施形態における各部の光強度分布を
示す特性線図である。
示す特性線図である。
【図3】本発明にかかる照明装置の第2実施形態を示す
光学配置図である。
光学配置図である。
【図4】同上第2実施形態における各部の光強度分布を
示す特性線図である。
示す特性線図である。
【図5】本発明にかかる照明装置の第3実施形態を示す
光学配置図である。
光学配置図である。
【図6】同上第3実施形態における各部の光強度分布を
示す特性線図である。
示す特性線図である。
【図7】本発明にかかる照明装置の第4実施形態におけ
る各部の光強度分布を示す特性線図である。
る各部の光強度分布を示す特性線図である。
【図8】本発明にかかる照明装置の第5実施形態を示す
光学配置図である。
光学配置図である。
【図9】本発明にかかる照明装置の第6実施形態を示す
光学配置図である。
光学配置図である。
【図10】従来の照明装置の一例を示す光学配置図であ
る。
る。
【図11】従来の照明装置の別の例を示す光学配置図で
ある。
ある。
【図12】本発明の第1実施形態における各部の光強度
分布と対比するために従来の照明装置における光強度分
布を示す特性線図である。
分布と対比するために従来の照明装置における光強度分
布を示す特性線図である。
【図13】本発明の第2実施形態における各部の光強度
分布と対比するために従来の照明装置における光強度分
布を示す特性線図である。
分布と対比するために従来の照明装置における光強度分
布を示す特性線図である。
1a,1b,1c 光源 2a,2b,2c 集光微小レンズ 3a,3b,3c,3d,3e 分割手段としての第1
微小レンズ 4a,4b,4c,4d,4e 統合手段としての第2
微小レンズ 5 統合手段としてのコンデンサレンズ 6 被照明体
微小レンズ 4a,4b,4c,4d,4e 統合手段としての第2
微小レンズ 5 統合手段としてのコンデンサレンズ 6 被照明体
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G03B 15/02 G03B 15/02 Z G03F 7/20 501 G03F 7/20 501 G02B 27/00 V H01L 21/027 H01L 21/30 527
Claims (8)
- 【請求項1】 面形状に配列された同一種類の複数の光
源から出射される照明光を、面形状被照明体に照射する
照明光学系を有する照明装置において、 照明光学系は、照明光を複数の光源の配列方向に空間的
に分割する手段を有するとともに、空間的に分割される
照明光を面形状被照明体において統合する手段を有し、 空間的に分割される照明光からなる複数の光束の、光軸
に対する複数の光源位置が、光束間で異なることを特徴
とする照明装置。 - 【請求項2】 空間的に分割される照明光からなる複数
の光束に少なくとも2つ以上の光源からの照明光が含ま
れることを特徴とする請求項1に記載の照明装置。 - 【請求項3】複数の光源の、特定の1次元方向の実質的
な数と、空間的に分割される照明光の光束の、特定の1
次元方向の実質的な数とが、公約数を有しない数である
ことを特徴とする請求項1または2記載の照明装置。 - 【請求項4】 複数の光源は、その間隔が一定値ではな
い面状に配列されていることを特徴とする請求項1、2
または3記載の照明装置。 - 【請求項5】 空間的に分割される照明光の光束の間隔
が一定値ではないことを特徴とする請求項1、2、3ま
たは4記載の照明装置。 - 【請求項6】 分割する手段は、複数の微小集光レンズ
を含む請求項1記載の照明装置。 - 【請求項7】 統合する手段は、複数の微小レンズとコ
ンデンサレンズを含む請求項1記載の照明装置。 - 【請求項8】 統合する手段は、コンデンサレンズとガ
ラス柱を含む請求項1記載の照明装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001122406A JP2002318364A (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | 照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001122406A JP2002318364A (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | 照明装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002318364A true JP2002318364A (ja) | 2002-10-31 |
Family
ID=18972119
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001122406A Pending JP2002318364A (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | 照明装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2002318364A (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004049410A1 (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-10 | Nikon Corporation | 露光装置及び露光方法 |
JP2006332077A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Nikon Corp | 光源ユニット、照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2008076489A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 照明光学系及びこの照明光学系を有する光学装置 |
JP2009065173A (ja) * | 2003-07-23 | 2009-03-26 | Asml Netherlands Bv | リソグラフ装置及びデバイスの製造方法 |
JP2009301066A (ja) * | 2004-03-31 | 2009-12-24 | Hitachi Via Mechanics Ltd | パターン露光方法およびパターン露光装置 |
US8731376B2 (en) | 2007-03-14 | 2014-05-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Recorder control apparatus and control method |
US20210325787A1 (en) * | 2020-04-16 | 2021-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Exposure apparatus and method of manufacturing display device using the same |
-
2001
- 2001-04-20 JP JP2001122406A patent/JP2002318364A/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2004049410A1 (ja) * | 2002-11-25 | 2004-06-10 | Nikon Corporation | 露光装置及び露光方法 |
JP2009065173A (ja) * | 2003-07-23 | 2009-03-26 | Asml Netherlands Bv | リソグラフ装置及びデバイスの製造方法 |
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JP4678493B2 (ja) * | 2005-05-23 | 2011-04-27 | 株式会社ニコン | 光源ユニット、照明光学装置、露光装置、および露光方法 |
JP2008076489A (ja) * | 2006-09-19 | 2008-04-03 | Olympus Corp | 照明光学系及びこの照明光学系を有する光学装置 |
US8731376B2 (en) | 2007-03-14 | 2014-05-20 | Canon Kabushiki Kaisha | Recorder control apparatus and control method |
US20210325787A1 (en) * | 2020-04-16 | 2021-10-21 | Samsung Display Co., Ltd. | Exposure apparatus and method of manufacturing display device using the same |
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