JP2002318114A

JP2002318114A - 加速度センサを使用した設置型傾斜計

Info

Publication number: JP2002318114A
Application number: JP2002031213A
Authority: JP
Inventors: Kenji Ogata; 健治緒方; Hiroyuki Matsuyama; 裕幸松山; Akio Sato; 亜樹男佐藤; Susumu Takemoto; 将竹本; Masahiro Nezu; 正弘根津; Takashi Kunimi; 敬国見
Original assignee: Akebono Brake Industry Co Ltd; Japan Highway Public Corp
Current assignee: Akebono Brake Industry Co Ltd; Japan Highway Public Corp
Priority date: 2001-02-08
Filing date: 2002-02-07
Publication date: 2002-10-31

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】小型・安価で且つ設置作業が容易な設置型傾
斜計を得る。【解決手段】設置型傾斜計１０は、傾斜検出手段１２
としてマイクロマシニング技術を利用して作成された加
速度センサを用いたものであり、少なくとも１つの傾斜
検出手段（傾斜センサ）１２をケーシング１１内に装備
して、ケーシング１１と傾斜センサ１２とを一体化した
構造である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、土木、建築分野に
おいて、例えば山間部などの傾斜地における地すべり計
測や土留め壁計測等に用いられる設置型傾斜計に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】地すべり計測や土留め壁計測等に用いら
れている傾斜計には、挿入型傾斜計と設置型傾斜計があ
り、一般に使用されている。前者の挿入型傾斜計は、図
１３に示すように、予め専用のガイド管６を地盤や構造
物に鉛直に埋設した状態で、傾斜計７をガイド管６内に
挿入してガイド管６の傾斜角度を計測するものであり、
挿入用ケーブル８で傾斜計７を上から吊り下げ、傾斜計
７を所定の深さに位置させることで、所定深さにおける
ガイド管６の傾斜角度を求めている。

【０００３】後者の設置型傾斜計は、予め傾斜計を地中
の所定の深さに埋設しておいて傾斜角度を計測するもの
であり、従来の設置型傾斜計には、専用のガイド管を介
して地中に設置するタイプのものや、そのまま地中に設
置するタイプのものがある。図１４の（ａ）は専用のガ
イド管３を介して地中に設置するタイプで、傾斜計１を
複数個多段接続した場合の設置例であり、図１４の
（ｂ）はそのまま地中に設置するタイプで、傾斜計４を
複数個多段接続した場合の設置例である。前者のタイプ
の傾斜計１では、傾斜計１相互間の接続に中継ロッド２
および専用のガイド管３を使用し、各傾斜計１がガイド
管３内の測定位置に配置されるようにしてある。一方、
後者のタイプの傾斜計４では、傾斜計４相互間の接続に
専用の中継パイプ５を使用し、各傾斜計４が測定位置に
配置されるようにしてある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の各傾斜計にあっては、次のような問題がある。挿入
型傾斜計においては、計測する度に、傾斜計を毎回同
じ計測位置（所定の深さ）に挿入して傾斜角度を計測す
るのであるが、同じ計測位置に設定することが難しく、
従って、計測位置の誤差が生じ易い、ガイド管が変形
するような大変形時には、傾斜計がガイド管に挿入不可
能になり、計測できなくなる。

【０００５】設置型傾斜計においては、予め地中に設置
する構造上の利点により、上述した挿入型傾斜計の各課
題は解消しているが、従来の設置型傾斜計においては、
共通課題として、傾斜検出手段の寸法が大きく、太いガ
イド管やパイプを使用する必要があり、従って、ボーリ
ング径が大きくなって、設置コストが高価であった。加
えて、専用のガイド管を介して地中に設置するタイプで
は、ガイド管３を設置箇所の地盤や構造物に鉛直に埋設
する作業が必要であり、また、各傾斜計１が測定位置に
くるように中継ロッド２を準備し、傾斜計１の相互間を
中継ロッド２により接続して固定しているので、部品点
数が多数になることの外に、設置作業が煩雑である。更
に、これらのことから設置コストも高価となった。一
方、そのまま地中に設置するタイプでは、中継ロッドに
よる位置調整がなく設置作業が簡単であるが、傾斜計４
に耐衝撃性を持たせる必要があることから、傾斜計４そ
のものが高価になり、これが全体の設置コストを引き上
げた。さらに、挿入型あるいは設置型いずれのタイプの
傾斜計であっても、傾斜検出手段に例えば加速度センサ
を適用した場合、従来技術では、本願の用途に適した小
型の加速度センサを製作することが難しかった。

【０００６】本発明は上述した事情に鑑みてなされたも
ので、挿入型傾斜計に対しては、計測位置の誤差が生
じない、大変形時にも計測できる、という利点が得ら
れ、また、従来の設置型傾斜計に対しては、必要な角度
計測の精度を保った上で、本体および設置コストが安価
で、且つ設置作業が容易である、という利点が得られる
設置型傾斜計を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明に係る請求項１記載の設置型傾斜計は、傾斜検
出手段にマイクロマシニング技術を利用した加速度セン
サを使用することを特徴とする。あるいは、上記目的を
達成するための本発明に係る請求項２記載の設置型傾斜
計は、請求項１記載の設置型傾斜計において、前記加速
度センサをウェット異方性エッチングによるバルクマイ
クロマシニングにより製作したことを特徴とする。ある
いは、上記目的を達成するための本発明に係る請求項３
記載の設置型傾斜計は、少なくとも１つの傾斜検出手段
と前記傾斜検出手段を覆うパイプ状のケーシングとが一
体化されてなることを特徴とする。

【０００８】上記請求項１記載の設置型傾斜計によれ
ば、傾斜検出手段の寸法が小さく、細いガイド管やパイ
プを利用できるためボーリング径が小さくできて、設置
コストの低減が計れる。また、上記請求項２記載の設置
型傾斜計によれば、ウェット異方性エッチングを行うこ
とにより、被加工物が特定の方向に選択的にエッチング
されて立体的な構造の加速度センサを製作できる。ま
た、上記請求項３記載の設置型傾斜計によれば、ガイド
管を使用することなく傾斜計をそのまま地中に設置する
ことができるので、ボーリング孔内に設置するにあた
り、傾斜検出手段が測定位置にくるようなパイプ長さを
選択することにより、設置作業が簡単になる。更に、傾
斜検出手段がケーシングと一体化されて耐衝撃性が得ら
れるので、耐衝撃性を持たない安価な傾斜検出手段が使
用できる。したがって、安価で、且つ設置作業が容易な
設置型傾斜計を提供できる。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る設置型傾斜計
の好適な実施の形態を図面を用いて説明する。図１は本
発明の第１の実施の形態に係る設置型傾斜計の構成を示
す図であり、図２は同傾斜計を多段接続した状態を示す
図である。また、図３は傾斜計の断面図であり、図４は
その分解図である。

【００１０】本実施の形態に係る設置型傾斜計１０は、
傾斜検出手段（以下、傾斜センサと呼ぶ）１２を１つの
み有して、多段接続して使用するものである。ここで、
本発明の特長的な構成要件の一つとして、傾斜センサ１
２に後述するウェット異方性エッチングによるバルクマ
イクロマシニング技術を利用した加速度センサ２０が使
用されていることである。

【００１１】図１に示すように、各傾斜計１０は、パイ
プ状のケーシング１１と傾斜センサ１２とから成り、こ
れらが一体構造となっている。傾斜センサ１２には２本
のケーブル１３、１４が接続されており、各ケーブル１
３、１４の先端には防水処理されたコネクタ１５が取り
付けられている。

【００１２】ケーシング１１は、図３または図４に示す
ように、ケーシング本体１１Ａと、他の傾斜計１０を接
続するための接続部を構成するカップリング１１Ｂとか
ら構成される。カップリング１１Ｂは、内壁の略中央部
に半径方向に延設したフランジ１６が形成されている。
このフランジ１６は、その長さがケーシング本体１１Ａ
の厚みと略同一になっている。

【００１３】ウェット異方性エッチングにより製作され
る加速度センサ２０は、図５（ａ）に示すように、中央
基板１２０と外側基板１２２ａ、１２２ｂとで積層体を
構成し、そして、中央基板１２０をエッチングで加工し
て、カンチレバー型の可動電極部１２４を形成したもの
である。

【００１４】更に詳述すれば、中央基板１２０と外側基
板１２２ａ、１２２ｂとが封止絶縁部１２３ａ、１２３
ｂで封止されている。中央基板１２０は、例えばＳｉか
らなり、可動電極部１２４、可動電極支持部１２６及び
中央端子部１１３を有している。外側基板１２２ａ、１
２２ｂは、例えばＳｉからなり、固定電極部２２１ａ、
２２１ｂ及び外側端子部２２３ａ、２２３ｂを有してい
る。封止絶縁部１２３ａ、１２３ｂは、導電層１３１
ａ、１３１ｂを有している。導電層１３１ａ、１３１ｂ
はＧＮＤに接続される。上下対称構造となっているた
め、中央基板１２０と外側基板（第１層）１２２ａ間、
及び、中央基板１２０と外側基板（第３層）１２２ｂ間
の容量を同じとすることができる。

【００１５】導電層１３１を、端子部２３３を介してＧ
ＮＤに接続することにより、封止絶縁部１２３ａ、１２
３ｂを介して対向する基板部分に生じる静電容量の影響
を完全に排除することができるため、加速度センサの検
出感度を極限まで向上させることができ、封止絶縁部１
２３ａ、１２３ｂは、導電層１３１ａ、１３１ｂ有する
ため、封止絶縁部１２３ａ、１２３ｂの厚さが、固定電
極と可動電極と間のギャップを形成しており、シリコン
等の基板エッチングが不要となるため、ギャップの寸法
精度が非常に高く、加速度センサの特性を安定なものに
できる。また、積層体はＳｉ基板の３層構造となるた
め、温度特性の向上を図ることができる。

【００１６】加速度センサは可動電極部１２４と固定電
極部２２１ａ、２２１ｂとの間に不図示の外部回路から
端子部１１３、２２３を介して電圧を印加しており、そ
して、可動電極部１２４が加速度により力を受けて変位
すると、可動電極部１２４と固定電極部２２１との間の
静電容量が変化し、この変化量を外部回路が検知するこ
とにより、変位量がわかり、加速度の値を測定すること
ができる。そして、加速度センサ２０は、可動電極部１
２４が垂直となるように設置された状態で、例えば地す
べりが発生して、図５（ｂ）に示すように加速度センサ
２０が傾斜すると、重力で常に垂直状態にある可動電極
部１２４の自由端側と固定電極部２２１との間の間隔が
変わって静電容量が変化することから、その変化量を計
測して、傾斜角度を演算するようにしたものである。

【００１７】傾斜センサ１２は、図６に示すように、上
記構成による加速度センサ２０が、パイプ状の金属ケー
シング８０内に、後述する制御回路等と共に２個組み込
まれて構成されている。

【００１８】図６において、傾斜センサ１２は、金属ケ
ーシング８０の両端の開口面がケーブル１３、１４を挿
通させたプラグ８２によって封止されている。ケーブル
１３、１４とプラグ８２との間にはシール材８４が、ま
た、プラグ８２と金属ケーシング８０との間にはＯ−リ
ング８６が嵌め込まれて水密構造に形成されると共に、
金属ケーシング８０に設けられたネジ穴とネジ９７によ
って固着されている。一端側のプラグ８２には、金属ケ
ーシング８０の内部において、断面コ字状からなるブラ
ケット９０の一端が、ボルト９２によって締結されてい
る。ブラケット９０の対向端には、ブラケット９０を挟
持した状態で２個の加速度センサ２０、２０が対向配置
されている。

【００１９】これらの加速度センサ２０、２０は、２軸
（ｘ、ｙ）方向の加速度を検出するために、相互に９０
°回転した状態で配置されている。プラグ８２には、２
軸の内の一方と合わせた位置にビス穴９８を設け、これ
にケーシング本体１１Ａに設けた穴９９を通して取り付
けられるビス１００によって方向決めされる。ブラケッ
ト９０の中央部には、スペーサ９６を介して制御回路を
搭載した基板９４が固定されている。

【００２０】さらに詳述すると、傾斜センサ１２は、図
７のブロック図に示すように、２軸（ｘ、ｙ）方向の加
速度を検出可能とした加速度センサ２０と、基板９４上
の加速度センサ２０の出力信号をデジタル変換するＡ／
Ｄ変換器２１と、多段に連接した傾斜計１０とデータ収
集・解析装置３０（図２参照）との間でネットワークを
組むための伝送手段としてのネットワーク制御回路２２
と、このネットワーク制御回路２２を制御してＡ／Ｄ変
換器２１からのデータをデータ収集・解析装置３０へ送
る制御回路２３と、電源ライン２５を介してデータ収集
・解析装置３０から供給される電源電圧を傾斜センサ１
２で使用する電圧に変換する電源回路２４とを備えて構
成される。

【００２１】ネットワーク制御回路２２は、バスライン
２６を介して他の傾斜計１０のネットワーク制御回路２
２及びデータ収集・解析装置３０と接続される。１つの
傾斜計１０のバスライン２６と電源ライン２５は、１本
に束ねられて図１に示すケーブル１３、１４となってい
る。この場合、ケーブル１３が１次側で、ケーブル１４
が２次側である。制御回路２３は、図示せぬＣＰＵ、Ｒ
ＯＭ、ＲＡＭを有して構成されており、ＲＯＭにはＣＰ
Ｕを制御するプログラムが記憶されている。ＲＡＭはＣ
ＰＵの動作に使用される。なお、ＲＯＭには、傾斜セン
サ部１２を特定するためのＩＤデータも書き込まれてい
る。

【００２２】データ収集・解析装置３０からは、所定時
間（例えば１時間）毎に電源が出力されるようになって
おり、傾斜計１０はその都度動作して傾斜センサ１２に
て検出された加速度をデータとしてデータ収集・解析装
置３０へ出力する。データ収集・解析装置３０は、各傾
斜計１０から送られてきた角度データを元に演算して変
位を求め、その結果を無線で中央の監視センタ４０（図
８参照）に送信する。ここで、変位計測の原理は、図９
に示すように、水平移動量をｔ、前後する２つの傾斜セ
ンサ１２の間隔を例えば５０ｃｍとすると、先の図５
（ｂ）により演算した傾斜角度を用いて、ｔ＝５０・ｓｉｎθ （ｃｍ）として求められる。

【００２３】本実施の形態の設置型傾斜計１０は以上の
ように構成されている。上記した傾斜計１０を、複数個
多段に連結して、測定深度に応じてボーリング孔内に鉛
直に設置した状態で、ボーリング孔との間をグラウトで
固めて固定する。そして、地すべりが生じると、すべり
面を境に前後する２つの傾斜計１０が直線上に配置され
なくなる。このときの変位がデータ収集・解析装置３０
にて求められて、監視センタ４０へ送られる。

【００２４】多段接続した傾斜計１０を複数個設置した
場合、図８に示すように、連鎖状にした各組の傾斜計１
０のうち、すべり面５０を境にして前後する２つの傾斜
計１０が直線上に配置されなくなる。この場合、各組毎
に前後にずれる傾斜計１０の深度位置が異なることか
ら、すべり面を正確に把握することができる。

【００２５】このように、本実施の形態に係る設置型傾
斜計１０は、バルクマイクロマシニング技術を利用した
加速度センサを使用していることで、傾斜センサ自体の
寸法が小さくなされて、細いパイプが利用できるためボ
ーリング径を小さくして、設置コストの低減が計れる。
具体的には、従来品として要求されたパイプの径が、傾
斜センサ自体の高さ寸法を２０ｍｍ程度に形成できるこ
とで、ケーシング寸法を６０ｍｍから３０ｍｍ程度に縮
径できる。また、ガイド管を使用することなくそのまま
地中に埋設することができるので、設置作業の省力化が
図れる。また、傾斜センサ１２がケーシング１１によっ
て保護されるので、耐衝撃性を持たない安価な傾斜セン
サ１２を使用できる。

【００２６】また、複数の傾斜計１０とデータ収集・解
析装置３０との接続をネットワークにより行うようにし
たので、信号ケーブルが１本で済むことから設置の作業
性に優れ、また地中の変位によりケーブルが途中で切断
された場合にも切断点手前側の傾斜計１０のデータは通
信できるため、被害を最小限に食い止めることができ、
しかも残った傾斜計１０で引き続き地中の変位を測定す
ることができる。

【００２７】なお、上記実施の形態では、傾斜センサ１
２をケーシング本体１１Ａ内の所定位置に設けたが、ケ
ーシング１１のカップリング１１Ｂ内に設定する構成と
してもよい。また、上記実施の形態では、ケーシング本
体１１Ａの内部を中空としたが、樹脂を用いてポッティ
ング処理を施してもよい。

【００２８】また、上記実施の形態では、長さの同じ傾
斜計１０を多段接続するようにしたが、測定深度に応じ
た異なる長さの傾斜計１０を用意することで、現場の状
況に合った最適な長さに設定することができる。

【００２９】また、上記実施の形態では、加速度センサ
２０をウェット異方性エッチングによるバルクマイクロ
マシニングにより製作するとしたが、表面マイクロマシ
ニング、ｄｅｅｐ−ＲＩＥ（プラズマによる深いトレン
チエッチング）によるバルクマイクロマシニングを利用
して製作することもできる。下記の表１に、表面マイク
ロマシニング、ウェット異方性エッチングによるバルク
マイクロマシニング、ｄｅｅｐ−ＲＩＥによるバルクマ
イクロマシニングの特徴を比較した。

【００３０】

【表１】

【００３１】なお、比較項目には、形状の自由度、被加
工物の深さ方向の厚さ、実現可能な寸法精度、異方性、
実現できるアスペクト比、典型的なデバイス例を挙げて
ある。上記の表１において、１．形状の自由度、被加工物の深さ方向の厚さ、実現可
能な寸法精度に関しａ．表面マイクロマシニングは、成膜・リソグラフィ・
エッチングの繰り返しであるため、構造物は基本的には
平面的で、その厚さは数ｍｍ程度である。等方性エッチ
ング・異方性エッチング・犠牲層エッチングなどを駆使
すれば、平面的な構造物である限り、非常に自由な構造
を作れる。また、薄膜技術であるため、寸法精度も比較
的良く、一般的に数１００ｎｍである。ｂ．ウェット異方性エッチングでは、結晶方位面に沿っ
た加工という制約のもとで、立体構造を実現できる。寸
法精度は１ｍｍ程度であるが、液体中で加工するために
深さ方向の加工の制約は少なく、構造物が数１００ｍｍ
の厚さでも容易に加工できる。ｃ．ｄｅｅｐ−ＲＩＥでは、基板表面に対して垂直方向
への加工という制約のもとで、立体構造を実現できる。
また、分子加工であるため、寸法精度は数１０ｎｍと非
常に高いが、エッチングされた面の平滑性は異方性ウェ
ットエッチングに劣る。マイクロマシニングでＲＩＥを
用いて加工する厚さは、通常は数ｍｍ程度である。

【００３２】２．異方性、実現できるアスペクト比に関
し、異方性ウェットエッチングで（１１０）面と（１１
１）面のエッチングレートの比は１８０：１、ＲＩＥで
側面と底面のエッチング速度比は０．０５〜０．４程度
である。この特徴と前項の寸法精度とを考慮すると、実
現できるアスペクト比は、前者では数１００、後者では
数１０程度になる。

【００３３】３．典型的なデバイス例に関し、ａ．表面マイクロマシニングでは、ヒンジやマイクロモ
ータの回転機構やスライダ機構といった可動機構を作れ
る。ｂ．ウェット異方性エッチングを用いれば、三角溝や四
角錘のような形状を容易に作れる。これらの形状は、光
ファイバのアライナや走査型プローブ顕微鏡の探針に利
用されている。また、ウェット異方性エッチングは、ダ
イヤフラム形状も容易に作れるため、圧力センサのよう
な各種センサにもしばしば利用されている。ｃ．ｄｅｅｐ−ＲＩＥでは、井戸状の構造、剣山状の構
造、階段状の構造のようなウェット異方性エッチングで
は加工できない微細構造を実現できる。また、ウェット
異方性エッチングと同様に機械的なセンサを作るとき
も、しばしば利用される。

【００３４】図１０は、本発明の第２実施の形態に係る
傾斜計の構成を示す図である。この実施の形態の傾斜計
５９は、パイプ状のケーシング６０と、このケーシング
６０内に設けられた２つの傾斜センサ６１、６２とが一
体構造となっている。傾斜センサ６１、６２は、先の第
１実施の形態と同様、ケーブル（共に不図示のバスライ
ンと電源ライン）で接続されており、また傾斜センサ６
１には１次側のケーブル、傾斜センサ６２には２次側の
ケーブルがそれぞれ接続されている。また、これらのケ
ーブルには防水処置された不図示のコネクタが接続され
る。

【００３５】本実施の形態においても、多段に連結さ
れ、且つ複数準備された傾斜計５９とデータ収集・解析
装置３０（図２参照）とがネットワーク接続される。な
お、傾斜センサ６１、６２は第１実施の形態の傾斜セン
サ１２と同一構成からなっている。傾斜計５９を多段接
続した場合は、図示のようにカップリング６３を使用し
てケーシング６０同士を接続する。

【００３６】このように、本実施の形態に係る傾斜計５
９は、ガイド管を使用することなくそのまま地中に埋設
することができるので、設置作業の省力化が図れる。ま
た、傾斜センサ６１、６２がケーシング１１によって保
護されるので、耐衝撃性を持たない安価な傾斜センサ１
２を使用することができる。

【００３７】また、第１実施の形態と同様、複数の傾斜
計５９とデータ収集・解析装置３０との接続をネットワ
ークにより行うようにしたので、信号ケーブルが１本で
済むことから設置の作業性に優れ、また地中の変位によ
りケーブルが途中で切断された場合にも切断点手前側の
傾斜計５９のデータは通信できるため、被害を最小限に
食い止めることができ、しかも残った傾斜計５９で引き
続き地中の変位を測定することができる。

【００３８】また、１本のケージング６０内に傾斜セン
サを２個設けることで、１個の場合よりもケーブル接続
用のコネクタの数を減らすことができ、作業の省力化及
び全体的なコストの引き下げが可能となる。

【００３９】なお、上記実施の形態では、２個の傾斜セ
ンサ６１、６２を有するものであったが、この数に限定
はなく、それ以上であってもよい。また、上記実施の形
態では、ケーシング６０の内部を中空としたが、樹脂を
用いてポッティング処理を施してもよい。

【００４０】また、上記実施の形態では、ケーシング１
１、６０の形状を共に丸型パイプ状としたが、図１０に
示すような、断面四角形や断面コ字形であっても構わな
い。要は地中への設置をスムーズに行える形状であれば
どのような形状にしてもよい。また、ポッティング処理
は、例えば図１２に示すように、センサケース７２内に
検出センサ１２を入れた状態でポッティング材料７３を
流し込んで構成することもできる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
傾斜検出手段にマイクロマシニング技術を利用して作成
される小型の加速度センサを使用しているので、ボーリ
ング径を小さくできて、設置コストの低減が計れる。ま
た、ウェット異方性エッチングを行っているので、被加
工物が特定の方向に選択的にエッチングされて立体的な
構造の加速度センサを製作できる。また、ケーシングと
傾斜センサを一体化した構造としたので、単にケーシン
グを接続してボーリング孔内に挿入すればよいので、設
置の準備及び設置作業の省力化が図れるとともに、部品
点数が少ないことから本体価格および設置コストの低減
が図れる。すなわち、安価で且つ設置作業が容易な設置
型傾斜計が得られる。さらに、傾斜センサは金属ケーシ
ング内に収容されて高い防水性が確保されているので、
傾斜計への適用に充分対応できる構造からなっている。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施の形態に係る設置型傾斜計の
構成図である。

【図２】図１の傾斜計の使用時の形態を示す図である。

【図３】傾斜計の詳細な構成を示す断面図である。

【図４】傾斜計の詳細な構成を示す分解断面図である。

【図５】ウェット異方性エッチングにより製作される加
速度センサの構造を示し、ａは加工方法を説明すると共
に、その傾斜前の状態を示す断面図、ｂはその傾斜状態
を示して傾斜角度を演算する原理を説明する図である。

【図６】傾斜センサの構造を示す断面図である。

【図７】傾斜計を用いた計測システムの構成を示すブロ
ック図である。

【図８】同計測システムに係る傾斜計の動作を説明する
図である。

【図９】傾斜計における変位の算出を説明するための図
である。

【図１０】本発明の第２実施の形態に係る設置型傾斜計
の構成図である。

【図１１】本発明に係る設置型傾斜計の変更例を示し、
ａはケーシングが四角形になされた斜視図、ｂはケーシ
ングが断面コ字形になされた斜視図である。

【図１２】本発明に係る設置型傾斜計の変形例を示し、
ａは傾斜計の組立前の斜視図、ｂは組立後の断面図であ
る。

【図１３】従来の挿入型傾斜計の構成図である。

【図１４】従来の設置型傾斜計を示し、ａは専用のガイ
ド管を介して埋設するタイプの断面図、ｂはそのまま地
中に埋設するタイプの断面図である。

【符号の説明】

１０、５９傾斜計１１、６０ケーシング１１Ａケーシング本体１１Ｂ、６３カップリング１２、６１、６２傾斜センサ（傾斜検出手段）１３、１４ケーブル１５コネクタ１６フランジ２０加速度センサ２１Ａ／Ｄ変換器２２ネットワーク制御回路２３制御回路２４電源回路２５電源ライン２６バスライン３０データ収集・解析装置４０監視センタ５０すべり面７３ポッティング材料１２４可動電極１２６固定電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者松山裕幸東京都町田市忠生一丁目４番地の１日本道路公団試験研究所内 (72)発明者佐藤亜樹男東京都町田市忠生一丁目４番地の１日本道路公団試験研究所内 (72)発明者竹本将東京都町田市忠生一丁目４番地の１日本道路公団試験研究所内 (72)発明者根津正弘東京都中央区日本橋小網町19番５号曙ブレーキ工業株式会社内 (72)発明者国見敬東京都中央区日本橋小網町19番５号曙ブレーキ工業株式会社内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】傾斜検出手段にマイクロマシニング技術
を利用した加速度センサを使用することを特徴とする設
置型傾斜計。
【請求項２】前記加速度センサをウェット異方性エッ
チングによるバルクマイクロマシニングにより製作した
ことを特徴とする請求項１記載の設置型傾斜計。
【請求項３】少なくとも１つの傾斜検出手段と前記傾
斜検出手段を覆うパイプ状のケーシングとが一体化され
てなることを特徴とする設置型傾斜計。