JP2002318102A - マッハツェンダ干渉計光センサ - Google Patents
マッハツェンダ干渉計光センサInfo
- Publication number
- JP2002318102A JP2002318102A JP2001123066A JP2001123066A JP2002318102A JP 2002318102 A JP2002318102 A JP 2002318102A JP 2001123066 A JP2001123066 A JP 2001123066A JP 2001123066 A JP2001123066 A JP 2001123066A JP 2002318102 A JP2002318102 A JP 2002318102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- phase change
- optical
- mach
- physical quantity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定環境の影響を受けることなく正確に物理
量を測定することができるマッハツェンダ干渉計光セン
サを提供する。 【解決手段】 それぞれ異なる発振周波数ωs 、ωref
で位相変化が与えられた物理量検出媒質７による光位相
変化信号Ｖs と位相変調器１１による信号Ｖrefとをフ
ィルタ１４、１５若しくはスイッチ２０、２１で分離
し、位相変調器１１による信号Ｖref を用いて物理量検
出媒質７による光位相変化信号Ｖs を規格化すること
で、光源１の光強度、干渉性、マッハツェンダ干渉計の
光路長差の時間的変化がある場合でも測定対象の物理量
によって一意的に定まる信号を取り出すことができ、測
定環境の変化によらないマッハツェンダ干渉計光センサ
が得られる。
量を測定することができるマッハツェンダ干渉計光セン
サを提供する。 【解決手段】 それぞれ異なる発振周波数ωs 、ωref
で位相変化が与えられた物理量検出媒質７による光位相
変化信号Ｖs と位相変調器１１による信号Ｖrefとをフ
ィルタ１４、１５若しくはスイッチ２０、２１で分離
し、位相変調器１１による信号Ｖref を用いて物理量検
出媒質７による光位相変化信号Ｖs を規格化すること
で、光源１の光強度、干渉性、マッハツェンダ干渉計の
光路長差の時間的変化がある場合でも測定対象の物理量
によって一意的に定まる信号を取り出すことができ、測
定環境の変化によらないマッハツェンダ干渉計光センサ
が得られる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、マッハツェンダ干
渉計光センサに関する。
渉計光センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】マッハツェンダ干渉計は、一つの光源か
ら出射した光を二つのパスに分岐させた後合波し、その
二つのパス間の光路長差に応じた信号を出力するもので
ある。このマッハツェンダ干渉計の一方のパス中に、検
出対象となる物理量に応じて光路長を変化させる物理量
検出媒質を挿入すればマッハツェンダ干渉計は、任意の
物理量検出センサとして使用できる。このようなセンサ
を以下「マッハツェンダ干渉計光センサ」という。
ら出射した光を二つのパスに分岐させた後合波し、その
二つのパス間の光路長差に応じた信号を出力するもので
ある。このマッハツェンダ干渉計の一方のパス中に、検
出対象となる物理量に応じて光路長を変化させる物理量
検出媒質を挿入すればマッハツェンダ干渉計は、任意の
物理量検出センサとして使用できる。このようなセンサ
を以下「マッハツェンダ干渉計光センサ」という。
【０００３】ここで、光路長とは、そのパス中を通過す
る光が感じるパスの長さで、一般に物理的なパスの長さ
Ｌとパスの屈折率ｎとの積の経路積分で表される。パス
通過後の光の位相は光路長に応じた位相遅れを有するた
め、本明細書では、光路長変化を（パス通過後の）光位
相変化と言い換えて使用することとする。
る光が感じるパスの長さで、一般に物理的なパスの長さ
Ｌとパスの屈折率ｎとの積の経路積分で表される。パス
通過後の光の位相は光路長に応じた位相遅れを有するた
め、本明細書では、光路長変化を（パス通過後の）光位
相変化と言い換えて使用することとする。
【０００４】図４は従来のマッハツェンダ干渉計光セン
サの概略図である。
サの概略図である。
【０００５】このマッハツェンダ干渉計光センサは、光
源１と、光源１の光軸上に配置された第一のビームスプ
リッタ２と、第一のビームスプリッタ２の透過光（一方
のパスＰa ）の光軸上に配置された受光器３と、反射光
が一方のパスＰa と平行になるように第一のビームスプ
リッタ２の反射光（他方のパスＰb ）の光軸上に配置さ
れた第一のミラー４と、反射光が一方のパスＰa と直交
するように第一のミラー４の反射光（他方のパスＰb ）
の光軸上に配置された第二のミラー５と、第二のミラー
５からの反射光を反射して受光器３に入射するように一
方のパスＰａ上に配置された第二のビームスプリッタ６
と、他方のパスＰb 上に配置され、検出対象の物理量に
応じ、光位相を変化させる物理量検出媒質７とで構成さ
れている。
源１と、光源１の光軸上に配置された第一のビームスプ
リッタ２と、第一のビームスプリッタ２の透過光（一方
のパスＰa ）の光軸上に配置された受光器３と、反射光
が一方のパスＰa と平行になるように第一のビームスプ
リッタ２の反射光（他方のパスＰb ）の光軸上に配置さ
れた第一のミラー４と、反射光が一方のパスＰa と直交
するように第一のミラー４の反射光（他方のパスＰb ）
の光軸上に配置された第二のミラー５と、第二のミラー
５からの反射光を反射して受光器３に入射するように一
方のパスＰａ上に配置された第二のビームスプリッタ６
と、他方のパスＰb 上に配置され、検出対象の物理量に
応じ、光位相を変化させる物理量検出媒質７とで構成さ
れている。
【０００６】この物理量検出媒質７により他方のパスＰ
b 中の光の位相が変化するようになっている。両ビーム
スプリッタ２、６の分岐比を１：１とし、パスＰa 、Ｐ
b 中の光の損失を無視すると、２本のパスＰa 、Ｐb 通
過後の光の電場Ｅa は数１式で表され、電場Ｅb は数２
式で表される。
b 中の光の位相が変化するようになっている。両ビーム
スプリッタ２、６の分岐比を１：１とし、パスＰa 、Ｐ
b 中の光の損失を無視すると、２本のパスＰa 、Ｐb 通
過後の光の電場Ｅa は数１式で表され、電場Ｅb は数２
式で表される。
【０００７】
【数１】Ｅa ＝Ｅ（ｔ）ｃｏｓ（ωｔ＋Ｌa ／λ）
【０００８】
【数２】 Ｅb ＝Ｅ（ｔ）ｃｏｓ（ωｔ＋Ｌb ／λ＋Δθ） ここで、ωは光の角周波数、λは光の波長、Ｌa 、Ｌb
は２本のパスＰa 、Ｐ b の光路長、Δθは物理量検出媒
質７において検出対象の物理量に応じて与えられる位相
変化量、ｔは時刻をそれぞれ示す。
は２本のパスＰa 、Ｐ b の光路長、Δθは物理量検出媒
質７において検出対象の物理量に応じて与えられる位相
変化量、ｔは時刻をそれぞれ示す。
【０００９】数１式及び数２式で表される２本のパスＰ
a 、Ｐb 中の光はビームスプリッタ６により合波され、
受光器３で光信号が検出される。受光器３における光強
度は数３式で表される。
a 、Ｐb 中の光はビームスプリッタ６により合波され、
受光器３で光信号が検出される。受光器３における光強
度は数３式で表される。
【００１０】
【数３】 Ｉ＝〈（Ｅa ＋Ｅb ）2 〉＝〈Ｅa 2 〉＋〈Ｅb 2 〉＋〈２Ｅa Ｅb 〉 ＝Ｉ0 ＋Ｉ0 Ｖ（ｌ，ΔＬ）ｃｏｓ（Δθs ＋ΔＬ／λ） ここで、Ｉ0 は〈Ｅ2 〉を示し、Δθs は物理量検出媒
質７で与えられる光位相変化量を示し、λは光の波長を
示している。ΔＬは２本のパスＰa 、Ｐb の光路長差で
Ｌb −Ｌa である。Ｖ（ｌ，ΔＬ）はｖｉｓｉｖｉｌｉ
ｔｙ（可視度）と呼ばれる二つの光の干渉性を表すパラ
メータであり、光源１のコヒーレント長ｌと、２本のパ
スＰa 、Ｐb の光路長差ΔＬに依存し、ｌ→∞、ΔＬ→
０の極限で１、ｌ→０、ΔＬ→∞の極限で０となる。
質７で与えられる光位相変化量を示し、λは光の波長を
示している。ΔＬは２本のパスＰa 、Ｐb の光路長差で
Ｌb −Ｌa である。Ｖ（ｌ，ΔＬ）はｖｉｓｉｖｉｌｉ
ｔｙ（可視度）と呼ばれる二つの光の干渉性を表すパラ
メータであり、光源１のコヒーレント長ｌと、２本のパ
スＰa 、Ｐb の光路長差ΔＬに依存し、ｌ→∞、ΔＬ→
０の極限で１、ｌ→０、ΔＬ→∞の極限で０となる。
【００１１】数３式において、右辺の第一項は光源１の
光強度のみに依存するオフセットである。
光強度のみに依存するオフセットである。
【００１２】一方、数３式の右辺の第二項は、物理量検
出媒質７によって与えられる光位相変化量Δθｓに依存
する（以下この右辺第二項を「干渉信号」という。）。
出媒質７によって与えられる光位相変化量Δθｓに依存
する（以下この右辺第二項を「干渉信号」という。）。
【００１３】数３式におけるＩ0 、ｌ、ΔＬが時間で変
化しないとすれば、物理量検出媒質７で与えられる位相
変化量Δθｓによって干渉信号は一意的に決定される。
このことを利用して従来は、干渉信号強度を測定し、そ
の結果から検出対象の物理量を演算する方法がとられて
いた。
化しないとすれば、物理量検出媒質７で与えられる位相
変化量Δθｓによって干渉信号は一意的に決定される。
このことを利用して従来は、干渉信号強度を測定し、そ
の結果から検出対象の物理量を演算する方法がとられて
いた。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常の
環境下では、光源１の周囲温度や、光源１の駆動電流の
変化によって、光強度Ｉ0 及び光源１のコヒーレント長
ｌは変化する。またマッハツェンダ干渉計の周囲温度の
変化によって、マッハツェンダ干渉計のパスＰa、Ｐb
の長さや屈折率も変化し、２本のパスＰa 、Ｐb の光路
長差ΔＬも変化する。この場合、干渉信号は位相変化量
Δθs によって一意に決定されないため、干渉信号強度
から検出対象の物理量を正しく演算することができな
い。特に、屋外でマッハツェンダ干渉計光センサを使用
する場合、周囲温度の変化が激しく、このことが大きな
問題となっていた。
環境下では、光源１の周囲温度や、光源１の駆動電流の
変化によって、光強度Ｉ0 及び光源１のコヒーレント長
ｌは変化する。またマッハツェンダ干渉計の周囲温度の
変化によって、マッハツェンダ干渉計のパスＰa、Ｐb
の長さや屈折率も変化し、２本のパスＰa 、Ｐb の光路
長差ΔＬも変化する。この場合、干渉信号は位相変化量
Δθs によって一意に決定されないため、干渉信号強度
から検出対象の物理量を正しく演算することができな
い。特に、屋外でマッハツェンダ干渉計光センサを使用
する場合、周囲温度の変化が激しく、このことが大きな
問題となっていた。
【００１５】以上の理由により、従来の技術では、光源
やマッハツェンダ干渉計の周囲温度の変化等により、光
源の光強度、干渉性、マッハツェンダ干渉計の光路長差
が時間で変化すると、干渉信号強度が変化し、測定対象
の物理量が正しく演算できなくなるという問題があっ
た。
やマッハツェンダ干渉計の周囲温度の変化等により、光
源の光強度、干渉性、マッハツェンダ干渉計の光路長差
が時間で変化すると、干渉信号強度が変化し、測定対象
の物理量が正しく演算できなくなるという問題があっ
た。
【００１６】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、測定環境の影響を受けることなく正確に物理量を測
定することができるマッハツェンダ干渉計光センサを提
供することにある。
し、測定環境の影響を受けることなく正確に物理量を測
定することができるマッハツェンダ干渉計光センサを提
供することにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のマッハツェンダ干渉計光センサは、光源から
出射した光を二つのパスに分岐させた後合波させて受光
器で受光すると共に、一方のパス中に物理量検出媒質を
挿入し、両パス間の光路長差に応じた信号を受光器で検
出するマッハツェンダ干渉計光センサにおいて、物理量
検出媒質に接続され検出物理量に応じた振幅の光位相変
化を与えるための第一の発振器と、他方のパス中に挿入
された位相変調器と、第一の発振器と異なる発振周波数
を有すると共に位相変調器において一定の振幅の光位相
変化を与えるための第二の発振器と、受光器の信号の中
から物理量検出媒質による光位相変化信号Ｖs 及び位相
変調器による光位相変化信号Ｖref を分離し、光位相変
化信号Ｖref により光位相変化信号Ｖs を規格化し、得
られた演算結果に比例する信号Ｖout を出力する信号処
理回路とを備えたものである。
に本発明のマッハツェンダ干渉計光センサは、光源から
出射した光を二つのパスに分岐させた後合波させて受光
器で受光すると共に、一方のパス中に物理量検出媒質を
挿入し、両パス間の光路長差に応じた信号を受光器で検
出するマッハツェンダ干渉計光センサにおいて、物理量
検出媒質に接続され検出物理量に応じた振幅の光位相変
化を与えるための第一の発振器と、他方のパス中に挿入
された位相変調器と、第一の発振器と異なる発振周波数
を有すると共に位相変調器において一定の振幅の光位相
変化を与えるための第二の発振器と、受光器の信号の中
から物理量検出媒質による光位相変化信号Ｖs 及び位相
変調器による光位相変化信号Ｖref を分離し、光位相変
化信号Ｖref により光位相変化信号Ｖs を規格化し、得
られた演算結果に比例する信号Ｖout を出力する信号処
理回路とを備えたものである。
【００１８】上記構成に加え本発明のマッハツェンダ干
渉計光センサの信号処理回路は、受光器から出力される
信号の中から第一の発振器の発振周波数に対応した光位
相変化信号Ｖs を出力する第一のフィルタと、受光器か
ら出力される信号の中から第二の発振器の発振周波数に
対応した光位相変化信号Ｖref を出力する第二のフィル
タと、光位相変化信号Ｖref により上記光位相変化信号
Ｖs を規格化し、得られた演算結果に比例する信号Ｖ
out を出力する演算器とで構成されていてもよい。
渉計光センサの信号処理回路は、受光器から出力される
信号の中から第一の発振器の発振周波数に対応した光位
相変化信号Ｖs を出力する第一のフィルタと、受光器か
ら出力される信号の中から第二の発振器の発振周波数に
対応した光位相変化信号Ｖref を出力する第二のフィル
タと、光位相変化信号Ｖref により上記光位相変化信号
Ｖs を規格化し、得られた演算結果に比例する信号Ｖ
out を出力する演算器とで構成されていてもよい。
【００１９】上記構成に加え本発明のマッハツェンダ干
渉計光センサの信号処理回路は、第一の発振器と物理量
検出媒質との間に接続され制御信号が入力されるとＯＦ
ＦからＯＮに切替わる第一のスイッチと、第二の発振器
と位相変調器との間に接続され制御信号が入力されると
ＯＦＦからＯＮに切替わる第二のスイッチと、第一のス
イッチ及び第二のスイッチに交互に制御信号を入力する
と共にいずれのスイッチがＯＮであるかを表示する表示
信号を発生するスイッチ制御装置と、受光器から出力さ
れる信号の中から第一の発振器の発振周波数に対応した
光位相変化信号Ｖs と第二の発振器の発振周波数に対応
した光位相変化信号Ｖref とを表示信号で識別すると共
に、光位相変化信号Ｖref により光位相変化信号Ｖs を
規格化し、得られた演算結果に比例する信号Ｖout を出
力する演算器とで構成されていてもよい。
渉計光センサの信号処理回路は、第一の発振器と物理量
検出媒質との間に接続され制御信号が入力されるとＯＦ
ＦからＯＮに切替わる第一のスイッチと、第二の発振器
と位相変調器との間に接続され制御信号が入力されると
ＯＦＦからＯＮに切替わる第二のスイッチと、第一のス
イッチ及び第二のスイッチに交互に制御信号を入力する
と共にいずれのスイッチがＯＮであるかを表示する表示
信号を発生するスイッチ制御装置と、受光器から出力さ
れる信号の中から第一の発振器の発振周波数に対応した
光位相変化信号Ｖs と第二の発振器の発振周波数に対応
した光位相変化信号Ｖref とを表示信号で識別すると共
に、光位相変化信号Ｖref により光位相変化信号Ｖs を
規格化し、得られた演算結果に比例する信号Ｖout を出
力する演算器とで構成されていてもよい。
【００２０】上記構成に加え本発明のマッハツェンダ干
渉計光センサの光源がレーザ光源であり、２本のパスの
光路長差がレーザ光源のコヒーレント長よりも短くなる
ように設定されているのが好ましい。
渉計光センサの光源がレーザ光源であり、２本のパスの
光路長差がレーザ光源のコヒーレント長よりも短くなる
ように設定されているのが好ましい。
【００２１】本発明によれば、物理量検出媒質による光
位相変化信号Ｖs と位相変調器による信号Ｖref とをフ
ィルタ若しくはスイッチで分離し、位相変調器による信
号Ｖ ref を用いて物理量検出媒質による光位相変化信号
Ｖs を規格化することで、光源の光強度、干渉性、マッ
ハツェンダ干渉計の光路長差の時間的変化がある場合で
も測定対象の物理量によって一意的に定まる信号を取り
出すことができ、測定環境の変化によらないマッハツェ
ンダ干渉計光センサが得られる。
位相変化信号Ｖs と位相変調器による信号Ｖref とをフ
ィルタ若しくはスイッチで分離し、位相変調器による信
号Ｖ ref を用いて物理量検出媒質による光位相変化信号
Ｖs を規格化することで、光源の光強度、干渉性、マッ
ハツェンダ干渉計の光路長差の時間的変化がある場合で
も測定対象の物理量によって一意的に定まる信号を取り
出すことができ、測定環境の変化によらないマッハツェ
ンダ干渉計光センサが得られる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を添付
図面に基づいて詳述する。
図面に基づいて詳述する。
【００２３】図１は本発明のマッハツェンダ干渉計光セ
ンサの一実施の形態を示す概略図である。なお、図４に
示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
ンサの一実施の形態を示す概略図である。なお、図４に
示した従来例と同様の部材には共通の符号を用いた。
【００２４】このマッハツェンダ干渉計光センサは、主
に光源１から出射した光を二つのパスＰa 、Ｐb に分岐
させた後合波させて受光器３で受光すると共に、一方の
パスＰa 中に物理量検出媒質７を挿入し、両パスＰa 、
Ｐb 間の光路長差に応じた信号を受光器３で検出するマ
ッハツェンダ干渉計光センサであって、物理量検出媒質
７に接続され検出物理量に応じた振幅の光位相変化を与
えるための第一の発振器１０と、他方のパスＰb 中に挿
入された位相変調器１１と、第一の発振器１０と異なる
発振周波数を有すると共に位相変調器１１において一定
振幅の光位相変化を与えるための第二の発振器１２と、
受光器３の信号の中から物理量検出媒質７による光位相
変化信号Ｖs 及び位相変調器１１による光位相変化信号
Ｖref を分離し、光位相変化信号Ｖref により光位相変
化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に比例する信
号Ｖout を出力する信号処理回路１３とで構成されたも
のである。
に光源１から出射した光を二つのパスＰa 、Ｐb に分岐
させた後合波させて受光器３で受光すると共に、一方の
パスＰa 中に物理量検出媒質７を挿入し、両パスＰa 、
Ｐb 間の光路長差に応じた信号を受光器３で検出するマ
ッハツェンダ干渉計光センサであって、物理量検出媒質
７に接続され検出物理量に応じた振幅の光位相変化を与
えるための第一の発振器１０と、他方のパスＰb 中に挿
入された位相変調器１１と、第一の発振器１０と異なる
発振周波数を有すると共に位相変調器１１において一定
振幅の光位相変化を与えるための第二の発振器１２と、
受光器３の信号の中から物理量検出媒質７による光位相
変化信号Ｖs 及び位相変調器１１による光位相変化信号
Ｖref を分離し、光位相変化信号Ｖref により光位相変
化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に比例する信
号Ｖout を出力する信号処理回路１３とで構成されたも
のである。
【００２５】信号処理回路１３は、受光器３から出力さ
れる信号の中から第一の発振器１０の発振周波数ωs に
対応した光位相変化信号Ｖs を出力する第一のフィルタ
１４と、受光器３から出力される信号の中から第二の発
振器１２の発振周波数ωrefに対応した光位相変化信号
Ｖref を出力する第二のフィルタ１５と、光位相変化信
号Ｖref により光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られ
た演算結果に比例する信号Ｖout を出力する演算器１６
とで構成されている。
れる信号の中から第一の発振器１０の発振周波数ωs に
対応した光位相変化信号Ｖs を出力する第一のフィルタ
１４と、受光器３から出力される信号の中から第二の発
振器１２の発振周波数ωrefに対応した光位相変化信号
Ｖref を出力する第二のフィルタ１５と、光位相変化信
号Ｖref により光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られ
た演算結果に比例する信号Ｖout を出力する演算器１６
とで構成されている。
【００２６】物理量検出媒質７としては、外界の磁束密
度に応じ、光ファイバの長さを変化させる一定電流を流
したメタルコートファイバや、印加電圧に応じ、その屈
折率を変化させる電気光学効果を有する結晶等が挙げら
れる。
度に応じ、光ファイバの長さを変化させる一定電流を流
したメタルコートファイバや、印加電圧に応じ、その屈
折率を変化させる電気光学効果を有する結晶等が挙げら
れる。
【００２７】位相変調器１１は、パスＰa を通過する光
に対し、常に一定の位相変化を与えるものとし、使用環
境内の物理量変化（温度等）に対する位相変化量の依存
性が十分小さいものとする。位相変調器１１の例として
は、ＬｉＮｂＯ3 結晶を用いた位相変調器や、光ファイ
バ及びファイバ延伸機構を組み合わせた位相変調器が挙
げられる。
に対し、常に一定の位相変化を与えるものとし、使用環
境内の物理量変化（温度等）に対する位相変化量の依存
性が十分小さいものとする。位相変調器１１の例として
は、ＬｉＮｂＯ3 結晶を用いた位相変調器や、光ファイ
バ及びファイバ延伸機構を組み合わせた位相変調器が挙
げられる。
【００２８】ビームスプリッタ２、６の分岐比を１：
１、光路中の光の損失を無視すると、２本のパスＰa 、
Ｐb 通過後の光の電場Ｅa は数４式で表され、電場Ｅb
は、数５式で表される。
１、光路中の光の損失を無視すると、２本のパスＰa 、
Ｐb 通過後の光の電場Ｅa は数４式で表され、電場Ｅb
は、数５式で表される。
【００２９】
【数４】 Ｅa ＝Ｅ（ｔ）ｃｏｓ（ωｔ＋Ｌa ／λ＋Δθref ）
【００３０】
【数５】 Ｅb ＝Ｅ（ｔ）ｃｏｓ（ωｔ＋Ｌb ／λ＋Δθ） ここで、ωは光の角周波数、λは光の波長、Ｌa 、Ｌb
は２本のパスＰa 、Ｐ b の光路長、Δθは物理量検出媒
質７において検出対象の物理量に応じて与えられる位相
変化量、ｔは時間をそれぞれ示す。数４式及び数５式で
表される２本のパスＰa 、Ｐb の光はビームスプリッタ
２、６により合波され、受光器３において光信号が検出
される。受光器３における光強度は数６式で表される。
は２本のパスＰa 、Ｐ b の光路長、Δθは物理量検出媒
質７において検出対象の物理量に応じて与えられる位相
変化量、ｔは時間をそれぞれ示す。数４式及び数５式で
表される２本のパスＰa 、Ｐb の光はビームスプリッタ
２、６により合波され、受光器３において光信号が検出
される。受光器３における光強度は数６式で表される。
【００３１】
【数６】 Ｉ＝〈（Ｅa ＋Ｅb ）2 〉＝〈Ｅa 2 〉＋〈Ｅb 2 〉＋〈２Ｅa Ｅb 〉 ＝Ｉ0 ＋Ｉ0 Ｖ（ｌ，ΔＬ）ｃｏｓ（Δθs −Δθref ＋ΔＬ／λ） ここで、Ｉ0 は〈Ｅ2 〉を示し、Δθs は物理量検出媒
質７で与えられる光位相変化量を示し、λは光の波長を
示している。ΔＬは２本のパスＰa 、Ｐb の光路長差で
Ｌb −Ｌa である。Ｖ（ｌ，ΔＬ）はｖｉｓｉｖｉｌｉ
ｔｙ（可視度）と呼ばれる二つの光の干渉性を表すパラ
メータであり、光源１のコヒーレント長ｌと、２本のパ
スＰa 、Ｐb の光路長差ΔＬに依存し、ｌ→∞、ΔＬ→
０の極限で１、ｌ→０、ΔＬ→∞の極限で０となる。
質７で与えられる光位相変化量を示し、λは光の波長を
示している。ΔＬは２本のパスＰa 、Ｐb の光路長差で
Ｌb −Ｌa である。Ｖ（ｌ，ΔＬ）はｖｉｓｉｖｉｌｉ
ｔｙ（可視度）と呼ばれる二つの光の干渉性を表すパラ
メータであり、光源１のコヒーレント長ｌと、２本のパ
スＰa 、Ｐb の光路長差ΔＬに依存し、ｌ→∞、ΔＬ→
０の極限で１、ｌ→０、ΔＬ→∞の極限で０となる。
【００３２】第一の発振器１０は、角周波数ωs の交流
発振器であり、物理量検出媒質７の駆動電源でもある。
物理量検出媒質７が磁束密度を検出するメタルコートフ
ァイバの場合、メタルコートファイバに印加する電流源
が第一の発振器１０に相当する。電界を検出する電気光
学結晶の場合、測定対象の直流電界を交流電界振幅に変
換する電源回路が第一の発振器１０に相当する。このよ
うな発振器１０を用いて物理量検出媒質７において与え
られる位相変化量Δθs が駆動信号に比例すると、Δθ
s は数７式で与えられる。
発振器であり、物理量検出媒質７の駆動電源でもある。
物理量検出媒質７が磁束密度を検出するメタルコートフ
ァイバの場合、メタルコートファイバに印加する電流源
が第一の発振器１０に相当する。電界を検出する電気光
学結晶の場合、測定対象の直流電界を交流電界振幅に変
換する電源回路が第一の発振器１０に相当する。このよ
うな発振器１０を用いて物理量検出媒質７において与え
られる位相変化量Δθs が駆動信号に比例すると、Δθ
s は数７式で与えられる。
【００３３】
【数７】Δθs ＝Ｓαｃｏｓ（ωs ｔ＋θs ） ここで、Ｓは検出対象の物理量の大きさ、α、Δθｓは
発振器１０と物理量検出媒質７によって決定される定数
であり、ωs は第一の発振器１０の角周波数であり、ｔ
は時間である。
発振器１０と物理量検出媒質７によって決定される定数
であり、ωs は第一の発振器１０の角周波数であり、ｔ
は時間である。
【００３４】第二の発振器１２は、角周波数ωref の交
流発振器であり、位相変調器１１の駆動電源である。位
相変調器１１にＬｉＮｂＯ3 結晶を用いる場合、結晶に
印加する振幅一定の交流電圧源がこの第二の発振器に相
当する。光ファイバと光ファイバ延伸機（いずれも図示
せず。）とを位相変調器１１に用いる場合は光ファイバ
延伸機を駆動する電源が第二の発振器１２に相当する。
第二の発振器１２を用いて、位相変調器１１で与えられ
る位相変化量Δθref が駆動信号に比例する場合には、
Δθref は数８式で与えられる。
流発振器であり、位相変調器１１の駆動電源である。位
相変調器１１にＬｉＮｂＯ3 結晶を用いる場合、結晶に
印加する振幅一定の交流電圧源がこの第二の発振器に相
当する。光ファイバと光ファイバ延伸機（いずれも図示
せず。）とを位相変調器１１に用いる場合は光ファイバ
延伸機を駆動する電源が第二の発振器１２に相当する。
第二の発振器１２を用いて、位相変調器１１で与えられ
る位相変化量Δθref が駆動信号に比例する場合には、
Δθref は数８式で与えられる。
【００３５】
【数８】Δθref ＝β（ωref ｔ＋θref ） ここで、β、θref は、位相変調器１１と第二の発振器
１２とで決定される定数、ωref は第二の発振器１２の
角周波数であり、ｔは時間である。
１２とで決定される定数、ωref は第二の発振器１２の
角周波数であり、ｔは時間である。
【００３６】次に、数７式及び数８式を受光器３に入力
する光強度の数６式に代入する。この際、物理量検出媒
質７及び位相変調器１１で与えられる位相変調の振幅が
π（ｒａｄ）に比較し、十分小さい領域で使用する場
合、数６式は以下の数９式で表される。
する光強度の数６式に代入する。この際、物理量検出媒
質７及び位相変調器１１で与えられる位相変調の振幅が
π（ｒａｄ）に比較し、十分小さい領域で使用する場
合、数６式は以下の数９式で表される。
【００３７】
【数９】
【００３８】数９式におけるＪ0 （ｘ）、Ｊ1 （ｘ）は
それぞれ０次、１次のベッセル関数である。
それぞれ０次、１次のベッセル関数である。
【００３９】数９式より受光器３に入力する光の光強度
には直流成分と角周波数ωs 、ωre f 、ωs ＋ωref 、
ωs −ωref の４つの交流成分が含まれることが分か
る。受光器３からこの光強度に比例する信号が出力する
ものとする。両フィルタ１４、１５は受光器３の出力信
号のうち、角周波数がωs 、ωref の成分の振幅に比例
した信号を出力するものであり、例えば、両発振器１
０、１２の信号を同期信号としたロックインアンプ（図
示せず。）で実現することができる。両フィルタ１４、
１５におけるゲインを「１」とした場合、両フィルタ１
４、１５の出力信号Ｖs は数１０式、Ｖref は数１１式
で表される。
には直流成分と角周波数ωs 、ωre f 、ωs ＋ωref 、
ωs −ωref の４つの交流成分が含まれることが分か
る。受光器３からこの光強度に比例する信号が出力する
ものとする。両フィルタ１４、１５は受光器３の出力信
号のうち、角周波数がωs 、ωref の成分の振幅に比例
した信号を出力するものであり、例えば、両発振器１
０、１２の信号を同期信号としたロックインアンプ（図
示せず。）で実現することができる。両フィルタ１４、
１５におけるゲインを「１」とした場合、両フィルタ１
４、１５の出力信号Ｖs は数１０式、Ｖref は数１１式
で表される。
【００４０】
【数１０】 Ｖs ＝−２Ｉ0 Ｖｓｉｎ（ΔＬ／λ）Ｊ1 （Ｓα）Ｊ0 （β）
【００４１】
【数１１】 Ｖref ＝−２Ｉ0 Ｖｓｉｎ（ΔＬ／λ）Ｊ0 （Ｓα）Ｊ1 （β） 演算器１６は、（光位相変化信号Ｖs ）／（光位相変化
信号Ｖref ）の除算を行い、その結果に比例した信号Ｖ
out を出力する。演算器１６のゲインを「１」とした場
合、信号Ｖout は数１２式で表される。
信号Ｖref ）の除算を行い、その結果に比例した信号Ｖ
out を出力する。演算器１６のゲインを「１」とした場
合、信号Ｖout は数１２式で表される。
【００４２】
【数１２】
【００４３】数１２式で表されるこのマッハツェンダ干
渉計光センサの出力信号Ｖout には光源光強度Ｉ0 、コ
ヒーレント長ｌ、干渉計光路長差ΔＬが含まれない。つ
まり、本発明のマッハツェンダ干渉計光センサは、セン
サ使用環境の温度等が変化し、Ｉ0 、ｌ、ΔＬ等が一定
の時間で変化する場合もそれらの変化に依存せず、検出
対象の物理量Ｓによって一意的に定まる出力を得ること
ができる。
渉計光センサの出力信号Ｖout には光源光強度Ｉ0 、コ
ヒーレント長ｌ、干渉計光路長差ΔＬが含まれない。つ
まり、本発明のマッハツェンダ干渉計光センサは、セン
サ使用環境の温度等が変化し、Ｉ0 、ｌ、ΔＬ等が一定
の時間で変化する場合もそれらの変化に依存せず、検出
対象の物理量Ｓによって一意的に定まる出力を得ること
ができる。
【００４４】ところで、図１に示した実施例は物理量検
出媒質７からの光位相変化信号Ｖsと位相変調器１１か
らの光位相変化信号Ｖref とを第一のフィルタ１４と第
二のフィルタ１５とで分離する方法を用いたものである
が、本発明はこれに限定されるものではなく、光位相変
化信号Ｖs 及び光位相変化信号Ｖref を一定の時間ごと
にスイッチで切り換えることによって分離してもよい。
出媒質７からの光位相変化信号Ｖsと位相変調器１１か
らの光位相変化信号Ｖref とを第一のフィルタ１４と第
二のフィルタ１５とで分離する方法を用いたものである
が、本発明はこれに限定されるものではなく、光位相変
化信号Ｖs 及び光位相変化信号Ｖref を一定の時間ごと
にスイッチで切り換えることによって分離してもよい。
【００４５】図２は本発明のマッハツェンダ干渉計光セ
ンサの他の実施の形態を示す概略図である。
ンサの他の実施の形態を示す概略図である。
【００４６】図１に示した実施の形態との相違点は、光
位相変化信号Ｖs 及び光位相変化信号Ｖref を一定時間
ごとに第一のスイッチ２０及び第二のスイッチ２１で切
り換えて分離するようにした点である。
位相変化信号Ｖs 及び光位相変化信号Ｖref を一定時間
ごとに第一のスイッチ２０及び第二のスイッチ２１で切
り換えて分離するようにした点である。
【００４７】すなわち、本マッハツェンダは、光源１か
ら出射した光を二つのパスＰa 、Ｐ b に分岐させた後合
波させて受光器３で受光すると共に、一方のパスＰa 中
に物理量検出媒質７を挿入し、両パスＰa 、Ｐb 間の光
路長差に応じた信号を受光器３で検出するマッハツェン
ダ干渉計光センサであって、物理量検出媒質７に接続さ
れ物理量に応じた振幅の光位相変化を与えるための第一
の発振器１０と、一方のパスＰa 中に挿入された位相変
調器１１と、第一の発振器１０と異なる発振周波数を有
すると共に位相変調器１１において一定振幅の光位相変
化を与えるための第二の発振器１２と、第一の発振器１
０と物理量検出媒質７との間に接続され制御信号が入力
されるとＯＦＦからＯＮに切替わる第一のスイッチ２０
と、位相変調器１１と第二の発振器１２との間に接続さ
れ制御信号が入力されるとＯＦＦからＯＮに切替わる第
二のスイッチ２１と、第一のスイッチ２０及び第二のス
イッチ２１に交互に制御信号を入力すると共にいずれの
スイッチ２０、２１がＯＮであるかを表示する表示信号
を発生するスイッチ制御装置２２と、受光器３から出力
される信号の中から第一の発振器１０の発振周波数ωs
に対応した光位相変化信号Ｖs と第二の発振器１２の発
振周波数ωref に対応した光位相変化信号Ｖ ref とを表
示信号で識別すると共に、光位相変化信号Ｖref により
光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に比
例する信号Ｖout を出力する演算器２３とで構成されて
いる。
ら出射した光を二つのパスＰa 、Ｐ b に分岐させた後合
波させて受光器３で受光すると共に、一方のパスＰa 中
に物理量検出媒質７を挿入し、両パスＰa 、Ｐb 間の光
路長差に応じた信号を受光器３で検出するマッハツェン
ダ干渉計光センサであって、物理量検出媒質７に接続さ
れ物理量に応じた振幅の光位相変化を与えるための第一
の発振器１０と、一方のパスＰa 中に挿入された位相変
調器１１と、第一の発振器１０と異なる発振周波数を有
すると共に位相変調器１１において一定振幅の光位相変
化を与えるための第二の発振器１２と、第一の発振器１
０と物理量検出媒質７との間に接続され制御信号が入力
されるとＯＦＦからＯＮに切替わる第一のスイッチ２０
と、位相変調器１１と第二の発振器１２との間に接続さ
れ制御信号が入力されるとＯＦＦからＯＮに切替わる第
二のスイッチ２１と、第一のスイッチ２０及び第二のス
イッチ２１に交互に制御信号を入力すると共にいずれの
スイッチ２０、２１がＯＮであるかを表示する表示信号
を発生するスイッチ制御装置２２と、受光器３から出力
される信号の中から第一の発振器１０の発振周波数ωs
に対応した光位相変化信号Ｖs と第二の発振器１２の発
振周波数ωref に対応した光位相変化信号Ｖ ref とを表
示信号で識別すると共に、光位相変化信号Ｖref により
光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に比
例する信号Ｖout を出力する演算器２３とで構成されて
いる。
【００４８】これら第一のスイッチ２０、第二のスイッ
チ２１、スイッチ制御装置２２及び演算器２３で信号処
理回路２４が構成されている。
チ２１、スイッチ制御装置２２及び演算器２３で信号処
理回路２４が構成されている。
【００４９】物理量検出媒質７及び位相変調器１１は各
スイッチ２０、２１がＯＮのときのみ光位相変化が与え
られるようになっている。
スイッチ２０、２１がＯＮのときのみ光位相変化が与え
られるようになっている。
【００５０】図３（ａ）は図２に示したマッハツェンダ
干渉計光センサの第一のスイッチに印加される制御信号
を示し、図３（ｂ）は同マッハツェンダ干渉計光センサ
の第二のスイッチに印加される制御信号を示し、図３
（ｃ）は同マッハツェンダ干渉計光センサの演算器の入
力信号を示す。図３（ａ）〜（ｃ）において横軸は時間
を示し、図３（ａ）、（ｂ）において縦軸はＯＮ−ＯＦ
Ｆ状態を示し、図３（ｃ）において縦軸は信号強度を示
している。
干渉計光センサの第一のスイッチに印加される制御信号
を示し、図３（ｂ）は同マッハツェンダ干渉計光センサ
の第二のスイッチに印加される制御信号を示し、図３
（ｃ）は同マッハツェンダ干渉計光センサの演算器の入
力信号を示す。図３（ａ）〜（ｃ）において横軸は時間
を示し、図３（ａ）、（ｂ）において縦軸はＯＮ−ＯＦ
Ｆ状態を示し、図３（ｃ）において縦軸は信号強度を示
している。
【００５１】いま、例えば図３（ａ）、（ｂ）に示すタ
イミングで、スイッチが切り替わる場合を考える。
イミングで、スイッチが切り替わる場合を考える。
【００５２】演算器２３に入力する信号は時刻０から時
刻ｔs までの間は物理量検出媒質７に起因する信号Ｖｓ
であり、ｔs 〜ｔref までの間に入力する信号は位相変
調器１１に起因する信号Ｖref である。演算器２３にお
いてはＶs ／Ｖref の演算を行い、その値に比例する信
号Ｖout を出力するものとする。このとき、時刻ｔs〜
ｔref が十分小さく、Ｔ（＝ｔs ＋ｔref ）の間Ｉ0 、
ｌ、ΔＬが変化しないとみなせる場合、出力Ｖout はＩ
0 、ｌ、ΔＬによらない量となり、周波数で二つの信号
を分離した図１に示したマッハツェンダ干渉計光センサ
と同様の効果が得られる。
刻ｔs までの間は物理量検出媒質７に起因する信号Ｖｓ
であり、ｔs 〜ｔref までの間に入力する信号は位相変
調器１１に起因する信号Ｖref である。演算器２３にお
いてはＶs ／Ｖref の演算を行い、その値に比例する信
号Ｖout を出力するものとする。このとき、時刻ｔs〜
ｔref が十分小さく、Ｔ（＝ｔs ＋ｔref ）の間Ｉ0 、
ｌ、ΔＬが変化しないとみなせる場合、出力Ｖout はＩ
0 、ｌ、ΔＬによらない量となり、周波数で二つの信号
を分離した図１に示したマッハツェンダ干渉計光センサ
と同様の効果が得られる。
【００５３】以上において、本発明によれば異なる発振
周波数で物理量検出媒質と位相変調器に位相変化を与
え、第一及び第二のフィルタで分離するかあるいは第一
のスイッチ及び第二のスイッチを切替えることで受光器
から出力される信号の中から光位相変化信号Ｖref と光
位相変化信号Ｖs を分離し、光位相変化信号Ｖref によ
り光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に
比例する信号Ｖout を出力することにより、光源の光強
度、干渉性、マッハツェンダ干渉計の光路長差の時間的
変化がある場合でも測定対象の物理量によって一意的に
定まる信号を取り出すことができ、測定環境の変化によ
らないマッハツェンダ干渉計光センサが得られる。
周波数で物理量検出媒質と位相変調器に位相変化を与
え、第一及び第二のフィルタで分離するかあるいは第一
のスイッチ及び第二のスイッチを切替えることで受光器
から出力される信号の中から光位相変化信号Ｖref と光
位相変化信号Ｖs を分離し、光位相変化信号Ｖref によ
り光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に
比例する信号Ｖout を出力することにより、光源の光強
度、干渉性、マッハツェンダ干渉計の光路長差の時間的
変化がある場合でも測定対象の物理量によって一意的に
定まる信号を取り出すことができ、測定環境の変化によ
らないマッハツェンダ干渉計光センサが得られる。
【００５４】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００５５】測定環境の影響を受けることなく正確に物
理量を測定することができるマッハツェンダ干渉計光セ
ンサの提供を実現することができる。
理量を測定することができるマッハツェンダ干渉計光セ
ンサの提供を実現することができる。
【図１】本発明のマッハツェンダ干渉計光センサの一実
施の形態を示す概略図である。
施の形態を示す概略図である。
【図２】本発明のマッハツェンダ干渉計光センサの他の
実施の形態を示す概略図である。
実施の形態を示す概略図である。
【図３】（ａ）は図２に示したマッハツェンダ干渉計光
センサの第一のスイッチに印加される制御信号を示し、
（ｂ）は同マッハツェンダ干渉計光センサの第二のスイ
ッチに印加される制御信号を示し、（ｃ）は同マッハツ
ェンダ干渉計光センサの演算器の入力信号を示す。
センサの第一のスイッチに印加される制御信号を示し、
（ｂ）は同マッハツェンダ干渉計光センサの第二のスイ
ッチに印加される制御信号を示し、（ｃ）は同マッハツ
ェンダ干渉計光センサの演算器の入力信号を示す。
【図４】従来のマッハツェンダ干渉計光センサの概略図
である。
である。
１ 光源 ２、６ ビームスプリッタ ３ 受光器 ４、５ ミラー ７ 物理量検出媒質 １１ 位相変調器 １３、２４ 信号処理回路 １４、１５ フィルタ １６、２３ 演算器 ２０、２１ スイッチ
フロントページの続き (72)発明者 池田 幸雄 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 宮崎 淳平 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 酒井 克己 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 椎名 則文 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 大橋 健一 茨城県日立市日高町５丁目１番１号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 砂原 秀一 愛知県豊田市トヨタ町１番地 トヨタ自動 車株式会社内 Ｆターム(参考） 2F064 DD02 EE04 FF00 GG02 GG12 GG22 GG41 GG51 HH01 JJ01
Claims (4)
- 【請求項１】 光源から出射した光を二つのパスに分岐
させた後合波させて受光器で受光すると共に、一方のパ
ス中に物理量検出媒質を挿入し、両パス間の光路長差に
応じた信号を上記受光器で検出するマッハツェンダ干渉
計光センサにおいて、上記物理量検出媒質に接続され検
出物理量に応じた振幅の光位相変化を与えるための第一
の発振器と、他方のパス中に挿入された位相変調器と、
第一の発振器と異なる発振周波数を有すると共に上記位
相変調器において一定振幅の光位相変化を与えるための
第二の発振器と、上記受光器の信号の中から上記物理量
検出媒質による光位相変化信号Ｖs 及び上記位相変調器
による光位相変化信号Ｖ ref を分離し、該光位相変化信
号Ｖref により上記光位相変化信号Ｖs を規格化し、得
られた演算結果に比例する信号Ｖout を出力する信号処
理回路とを備えたことを特徴とするマッハツェンダ干渉
計光センサ。 - 【請求項２】 上記信号処理回路は、上記受光器から出
力される信号の中から第一の発振器の発振周波数に対応
した光位相変化信号Ｖs を出力する第一のフィルタと、
上記受光器から出力される信号の中から第二の発振器の
発振周波数に対応した光位相変化信号Ｖref を出力する
第二のフィルタと、上記光位相変化信号Ｖref により上
記光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られた演算結果に
比例する信号Ｖout を出力する演算器とで構成されてい
る請求項１に記載のマッハツェンダ干渉計光センサ。 - 【請求項３】 上記信号処理回路は、第一の発振器と上
記物理量検出媒質との間に接続され制御信号が入力され
るとＯＦＦからＯＮに切替わる第一のスイッチと、第二
の発振器と上記位相変調器との間に接続され制御信号が
入力されるとＯＦＦからＯＮに切替わる第二のスイッチ
と、第一のスイッチ及び第二のスイッチに交互に制御信
号を入力すると共にいずれのスイッチがＯＮであるかを
表示する表示信号を発生するスイッチ制御装置と、上記
受光器から出力される信号の中から第一の発振器の発振
周波数に対応した光位相変化信号Ｖs と第二の発振器の
発振周波数に対応した光位相変化信号Ｖref とを上記表
示信号で識別すると共に、上記光位相変化信号Ｖref に
より上記光位相変化信号Ｖs を規格化し、得られた演算
結果に比例する信号Ｖout を出力する演算器とで構成さ
れている請求項１に記載のマッハツェンダ干渉計光セン
サ。 - 【請求項４】 上記光源がレーザ光源であり、上記２本
のパスの光路長差が上記レーザ光源のコヒーレント長よ
りも短くなるように設定されている請求項１から３のい
ずれかに記載のマッハツェンダ干渉計光センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001123066A JP4213877B2 (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | マッハツェンダ干渉計光センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001123066A JP4213877B2 (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | マッハツェンダ干渉計光センサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002318102A true JP2002318102A (ja) | 2002-10-31 |
| JP4213877B2 JP4213877B2 (ja) | 2009-01-21 |
Family
ID=18972678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001123066A Expired - Fee Related JP4213877B2 (ja) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | マッハツェンダ干渉計光センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4213877B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007205767A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 三次元座標計測装置および方法 |
-
2001
- 2001-04-20 JP JP2001123066A patent/JP4213877B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007205767A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 三次元座標計測装置および方法 |
| JP4651550B2 (ja) * | 2006-01-31 | 2011-03-16 | 日本電信電話株式会社 | 三次元座標計測装置および方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4213877B2 (ja) | 2009-01-21 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE254759T1 (de) | Optischer phasendetektor | |
| US6798523B2 (en) | Sensor and method for detecting fiber optic faults | |
| US6144450A (en) | Apparatus and method for improving the accuracy of polarization mode dispersion measurements | |
| DE602005009540D1 (de) | Optische Vorrichtung zur Messung von modulierten Lichtsignalen | |
| JP2007500362A (ja) | サニャック干渉計用固有振動数検出器 | |
| JP2619981B2 (ja) | 電磁界強度測定装置 | |
| KR101097396B1 (ko) | 광변류기 및 이의 신호처리방법 | |
| WO1992000501A1 (en) | Interferometric signal analysis with modulation switching | |
| JP2002318102A (ja) | マッハツェンダ干渉計光センサ | |
| EP0908710A2 (en) | Apparatus and method for measuring characteristics of light | |
| KR850007483A (ko) | 위상 해독 광학섬유 간섭계 | |
| CN106796125A (zh) | 具有微分调制相位检测的干涉测定传感器 | |
| AU2003204491A1 (en) | Optic fiber current sensor, comprising several sensing heads | |
| JP2001027513A (ja) | 光波長測定方法及び装置 | |
| JP2003270127A (ja) | 光振幅位相時間応答測定装置 | |
| JPH07181211A (ja) | 表面電位計測装置 | |
| JPH0658228B2 (ja) | 光フアイバジヤイロ | |
| JPH052075A (ja) | レーザドツプラ速度計 | |
| JP2638312B2 (ja) | 光センサ | |
| JP3041637B2 (ja) | 光応用直流電流変成器 | |
| JPS5963513A (ja) | 光フアイバ・ジヤイロスコ−プ | |
| JPH01320489A (ja) | 距離測定方法およびその装置 | |
| JPH02140639A (ja) | 後方散乱光測定装置 | |
| JPS63188704A (ja) | 高感度光フアイバセンサ | |
| JPH11211572A (ja) | 光振幅位相特性測定装置およびその測定方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061005 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080515 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20080520 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080716 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20081021 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20081031 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111107 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |