JP2002316175A - 排水の処理方法及び処理装置 - Google Patents
排水の処理方法及び処理装置Info
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- Treatment Of Water By Oxidation Or Reduction (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】本発明は、エッチング工程排水及びアルカリ系
工程排水を安価な設備で工程内で再利用することを課題
とする。 【解決手段】クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣ
ｅ（ＩＶ）の状態で含有する排水、その他のアルカリ工
程排水を工程内で純水として再利用する排水の処理方法
であり、予めＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤で
Ｃｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した後、まずＣｒ
（III)及びＣｅ(III)を陽イオン交換樹脂を充填した陽
イオン交換樹脂塔１３にて処理し、処理液にアルカリ工
程排水を混合して陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂
を充填した各イオン交換樹脂塔１８，１９に通液して再
利用する排水の処理方法。
工程排水を安価な設備で工程内で再利用することを課題
とする。 【解決手段】クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣ
ｅ（ＩＶ）の状態で含有する排水、その他のアルカリ工
程排水を工程内で純水として再利用する排水の処理方法
であり、予めＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤で
Ｃｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した後、まずＣｒ
（III)及びＣｅ(III)を陽イオン交換樹脂を充填した陽
イオン交換樹脂塔１３にて処理し、処理液にアルカリ工
程排水を混合して陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂
を充填した各イオン交換樹脂塔１８，１９に通液して再
利用する排水の処理方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、クロム及びセリウ
ムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状態で含む工程排
水、及びその他のアルカリ工程排水をイオン交換樹脂塔
にて設置スペースを極力抑え、再利用する排水の処理方
法及び処理装置に関する。
ムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状態で含む工程排
水、及びその他のアルカリ工程排水をイオン交換樹脂塔
にて設置スペースを極力抑え、再利用する排水の処理方
法及び処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知の如く、ＩＣ製造用フォトマスクや
液晶ディスプレイ用に用いられるガラス基板は、ガラス
（石英ガラス、ソーダライムガラス）の表面に金属クロ
ム単層あるいは金属クロムと酸化クロムの二層からなる
膜を形成し、回路図の焼き付けなどによりガラス表面の
処理を行う。そして、処理後、ガラス基板上のクロムが
エッチングと呼ばれる工程で除去され、製品化されてい
る。
液晶ディスプレイ用に用いられるガラス基板は、ガラス
（石英ガラス、ソーダライムガラス）の表面に金属クロ
ム単層あるいは金属クロムと酸化クロムの二層からなる
膜を形成し、回路図の焼き付けなどによりガラス表面の
処理を行う。そして、処理後、ガラス基板上のクロムが
エッチングと呼ばれる工程で除去され、製品化されてい
る。
【０００３】ところで、ガラス基板のエッチング工程で
は、クロム膜を溶解して除去するために、エッチング液
として硝酸セリウム（ＩＶ）アンモニウム、過塩素酸な
どを混合したエッチング液を使用している。そのため、
エッチング工程及びエッチング後のマスク上の洗浄工程
から出る廃液には、硝酸セリウム（ＩＶ）アンモニウム
中のＣｅ（ＩＶ）により酸化され、ガラス基板上から溶
解されたＣｒ（III）、Ｃｒを酸化したことにより還元
されたＣｅ（III）及び反応に寄与せず残留したＣｅ
（ＩＶ）が含有されており、そのままでは工場外に排出
したり、あるいは工程内で再利用することができなかっ
た。
は、クロム膜を溶解して除去するために、エッチング液
として硝酸セリウム（ＩＶ）アンモニウム、過塩素酸な
どを混合したエッチング液を使用している。そのため、
エッチング工程及びエッチング後のマスク上の洗浄工程
から出る廃液には、硝酸セリウム（ＩＶ）アンモニウム
中のＣｅ（ＩＶ）により酸化され、ガラス基板上から溶
解されたＣｒ（III）、Ｃｒを酸化したことにより還元
されたＣｅ（III）及び反応に寄与せず残留したＣｅ
（ＩＶ）が含有されており、そのままでは工場外に排出
したり、あるいは工程内で再利用することができなかっ
た。
【０００４】そこで、本発明者らは、先にエッチング工
程排水中のＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤を使
用して還元した後、還元液を陽イオン交換樹脂及び陰イ
オン交換樹脂を使用して脱イオン処理し、工程内で再利
用あるいは工場外への排出が可能な処理方法を提案して
いる(特開平９−８５２６４)。即ち、これは還元設備を
設け、還元液をイオン交換樹脂塔で処理する方法であ
る。
程排水中のＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤を使
用して還元した後、還元液を陽イオン交換樹脂及び陰イ
オン交換樹脂を使用して脱イオン処理し、工程内で再利
用あるいは工場外への排出が可能な処理方法を提案して
いる(特開平９−８５２６４)。即ち、これは還元設備を
設け、還元液をイオン交換樹脂塔で処理する方法であ
る。
【０００５】ところで、単塩のＣｅはｐＨが高い場合
は、Ｃｅ（ＩＶ）となり、容易にＣｅ（ＯＨ）４の沈殿
を析出する。この沈殿は前述のとおり、イオン交換樹脂
層を通過してしまう厄介な物質である。一方、ｐＨ及び
酸化還元電位が低い場合、Ｃｅ（ＩＶ）は還元されＣｅ
（III）となる。Ｃｅ（III）はｐＨが低い場合、Ｃｅ
（ＯＨ）３の沈殿を作りにくく、またイオン交換樹脂に
よりＣｅ（III）は溶液中から完全に除去されることが
実験の結果確かめられている。
は、Ｃｅ（ＩＶ）となり、容易にＣｅ（ＯＨ）４の沈殿
を析出する。この沈殿は前述のとおり、イオン交換樹脂
層を通過してしまう厄介な物質である。一方、ｐＨ及び
酸化還元電位が低い場合、Ｃｅ（ＩＶ）は還元されＣｅ
（III）となる。Ｃｅ（III）はｐＨが低い場合、Ｃｅ
（ＯＨ）３の沈殿を作りにくく、またイオン交換樹脂に
よりＣｅ（III）は溶液中から完全に除去されることが
実験の結果確かめられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この方法の場
合は、次の問題があった。即ち、エッチング工程の後工
程には、通常レジストの剥離工程がある。これは、水酸
化カリウム等を主成分とするアルカリ液であり、これら
の水洗排水（以後、アルカリ工程排水と称す）もイオン
交換処理法で再利用したい場合、夫々の工程ごとにイオ
ン交換設備を購入設置しなければならず、設置スペース
の確保の問題があった。
合は、次の問題があった。即ち、エッチング工程の後工
程には、通常レジストの剥離工程がある。これは、水酸
化カリウム等を主成分とするアルカリ液であり、これら
の水洗排水（以後、アルカリ工程排水と称す）もイオン
交換処理法で再利用したい場合、夫々の工程ごとにイオ
ン交換設備を購入設置しなければならず、設置スペース
の確保の問題があった。
【０００７】また、発明者らが提案するエッチング工程
排水処理用のイオン交換設備を既に保有しており、それ
を利用してアルカリ工程排水にも併用した場合、使用方
法としては、例えばエッチング水洗水の還元工程の前に
タンクを設置して投入混合する方法（前者）、又は還元
後のタンクに投入混合する方法（但し、予めｐＨを酸性
に調整するタンクを設けて還元後のタンクに混合投入す
る方法も含む）（後者）が考えられる。
排水処理用のイオン交換設備を既に保有しており、それ
を利用してアルカリ工程排水にも併用した場合、使用方
法としては、例えばエッチング水洗水の還元工程の前に
タンクを設置して投入混合する方法（前者）、又は還元
後のタンクに投入混合する方法（但し、予めｐＨを酸性
に調整するタンクを設けて還元後のタンクに混合投入す
る方法も含む）（後者）が考えられる。
【０００８】しかし、前者の処理方法の場合、液のｐＨ
が上昇してしまい、還元反応を促進させるためには、一
般にｐＨは酸性サイドが望ましいことから、そのｐＨ上
昇分を低下させるために更に硫酸、塩酸等の酸溶液の添
加が必要となる。これは、イオン負荷が加算され、ひい
てはイオン交換樹脂塔の寿命低下の元となり望ましい方
法ではない。なお、このことは、予めアルカリ工程排水
のｐＨを酸性に調整して還元後のタンクに混合投入する
方法についても同様である。
が上昇してしまい、還元反応を促進させるためには、一
般にｐＨは酸性サイドが望ましいことから、そのｐＨ上
昇分を低下させるために更に硫酸、塩酸等の酸溶液の添
加が必要となる。これは、イオン負荷が加算され、ひい
てはイオン交換樹脂塔の寿命低下の元となり望ましい方
法ではない。なお、このことは、予めアルカリ工程排水
のｐＨを酸性に調整して還元後のタンクに混合投入する
方法についても同様である。
【０００９】一方、後者の処理方法の場合、Ｃｒ（II
I）及びＣｅ（III）が水酸化物を生成し、生成したスラ
ッジは、イオン交換樹脂塔内の樹脂表面に付着堆積し、
イオン交換反応に支障をもたらすという問題があった。
通常、イオン交換樹脂塔の前段に１０〜３０μｍ程度の
フィルターカートリッジが付けられていることが多い
が、フィルター交換頻度は従来に比較して増加するのは
必須であった。
I）及びＣｅ（III）が水酸化物を生成し、生成したスラ
ッジは、イオン交換樹脂塔内の樹脂表面に付着堆積し、
イオン交換反応に支障をもたらすという問題があった。
通常、イオン交換樹脂塔の前段に１０〜３０μｍ程度の
フィルターカートリッジが付けられていることが多い
が、フィルター交換頻度は従来に比較して増加するのは
必須であった。
【００１０】本発明はこうした事情を考慮してなされた
もので、クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ
（ＩＶ）の状態で含有する工程及び本工程以外のアルカ
リ工程排水も同じイオン交換設備で効率よく処理し、処
理液を系内で循環使用することが可能な排水の処理方法
を提供することを目的とする。
もので、クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ
（ＩＶ）の状態で含有する工程及び本工程以外のアルカ
リ工程排水も同じイオン交換設備で効率よく処理し、処
理液を系内で循環使用することが可能な排水の処理方法
を提供することを目的とする。
【００１１】また、本発明は、排水の流入側から順に、
還元反応タンク、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン
交換樹脂塔、陽イオン交換樹脂塔からの処理液及びその
他の水洗水が供給されるイオン交換水処理用原水タン
ク、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔、
陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔を配置
した構成とすることにより、クロム及びセリウムをＣｒ
（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状態で含有する工程及び本
工程以外のアルカリ工程排水も同じイオン交換設備で効
率よく処理し、処理液を系内で循環使用することが可能
な排水の処理装置を提供することを目的とする。
還元反応タンク、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン
交換樹脂塔、陽イオン交換樹脂塔からの処理液及びその
他の水洗水が供給されるイオン交換水処理用原水タン
ク、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔、
陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔を配置
した構成とすることにより、クロム及びセリウムをＣｒ
（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状態で含有する工程及び本
工程以外のアルカリ工程排水も同じイオン交換設備で効
率よく処理し、処理液を系内で循環使用することが可能
な排水の処理装置を提供することを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明に係る排水の処理
方法は、クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ
（ＩＶ）の状態で含有する排水、その他のアルカリ工程
排水を工程内で純水として再利用する排水の処理方法で
あり、予めＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤でＣ
ｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した後、まずＣｒ（II
I）及びＣｅ（III）を陽イオン交換樹脂を充填した陽イ
オン交換樹脂塔にて処理し、処理液にアルカリ工程排水
を混合して陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂を充填
した各イオン交換樹脂塔に通液して再利用することを特
徴とする。
方法は、クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ
（ＩＶ）の状態で含有する排水、その他のアルカリ工程
排水を工程内で純水として再利用する排水の処理方法で
あり、予めＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤でＣ
ｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した後、まずＣｒ（II
I）及びＣｅ（III）を陽イオン交換樹脂を充填した陽イ
オン交換樹脂塔にて処理し、処理液にアルカリ工程排水
を混合して陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂を充填
した各イオン交換樹脂塔に通液して再利用することを特
徴とする。
【００１３】また、本発明に係る排水の処理方法は、上
記処理方法において、Ｃｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を
還元剤によりＣｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した液
を、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔に
より脱カチオン処理する工程と、その他のアルカリ工程
排水と混合する工程とを具備することを特徴とする。
記処理方法において、Ｃｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を
還元剤によりＣｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した液
を、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔に
より脱カチオン処理する工程と、その他のアルカリ工程
排水と混合する工程とを具備することを特徴とする。
【００１４】更に、本発明に係る排水の処理装置は、ク
ロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状
態で含有する排水、及びその他のアルカリ工程排水を工
程内で純水として再利用する排水の処理装置であり、排
水の流入側に配置された、還元反応を行うための還元反
応タンクと、この還元反応タンクに連結された、陽イオ
ン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔と、この陽イ
オン交換樹脂塔に連結された、陽イオン交換樹脂塔から
の処理液及びその他の水洗水が供給されるイオン交換水
処理用原水タンクと、このイオン交換水処理用原水タン
クに連結された、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン
交換樹脂塔と、この陽イオン交換樹脂塔に連結された，
陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔とを具
備することを特徴とする。
ロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状
態で含有する排水、及びその他のアルカリ工程排水を工
程内で純水として再利用する排水の処理装置であり、排
水の流入側に配置された、還元反応を行うための還元反
応タンクと、この還元反応タンクに連結された、陽イオ
ン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔と、この陽イ
オン交換樹脂塔に連結された、陽イオン交換樹脂塔から
の処理液及びその他の水洗水が供給されるイオン交換水
処理用原水タンクと、このイオン交換水処理用原水タン
クに連結された、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン
交換樹脂塔と、この陽イオン交換樹脂塔に連結された，
陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔とを具
備することを特徴とする。
【００１５】更には、本発明に係る排水の処理装置は、
前記処理装置において、Ｃｒ及びＣｅを還元剤により還
元するための還元剤溶解タンクを、前記還元反応タンク
に連結させたことを特徴とする。
前記処理装置において、Ｃｒ及びＣｅを還元剤により還
元するための還元剤溶解タンクを、前記還元反応タンク
に連結させたことを特徴とする。
【００１６】本発明において、使用する陽イオン交換樹
脂は、強酸性陽イオン交換樹脂が望ましい。Ｃｅ（II
I）及びＣｒ(III)除去用の陽イオン交換樹脂塔への通液
方法は、下向流、あるいは上向流でもよい。エッチング
工程排水中のＣｅ及びＣｒイオンを前段の陽イオン交換
樹脂塔でＣｅ（III）及びＣｒ(III)として吸着除去する
ことにより、その処理液にｐＨの高い、その他の工程排
水を投入混合しても、スラッジの発生の心配もいらなく
なる。
脂は、強酸性陽イオン交換樹脂が望ましい。Ｃｅ（II
I）及びＣｒ(III)除去用の陽イオン交換樹脂塔への通液
方法は、下向流、あるいは上向流でもよい。エッチング
工程排水中のＣｅ及びＣｒイオンを前段の陽イオン交換
樹脂塔でＣｅ（III）及びＣｒ(III)として吸着除去する
ことにより、その処理液にｐＨの高い、その他の工程排
水を投入混合しても、スラッジの発生の心配もいらなく
なる。
【００１７】工程内で再利用する場合、目的とする純水
の純度に応じて、上記のような複床式以外に、更に純度
を要求するような場合は、陽イオン交換樹脂塔、陰イオ
ン交換樹脂塔の後段に陽イオン交換樹脂と陰イオン交換
樹脂とを充填した混合樹脂塔（以下、混合床と称する）
を付加するのも充分可能である。
の純度に応じて、上記のような複床式以外に、更に純度
を要求するような場合は、陽イオン交換樹脂塔、陰イオ
ン交換樹脂塔の後段に陽イオン交換樹脂と陰イオン交換
樹脂とを充填した混合樹脂塔（以下、混合床と称する）
を付加するのも充分可能である。
【００１８】本発明によれば、従来と比べ設置スペース
のコンパクト化、また従来抱えていたスラッジ発生、ｐ
Ｈ調整に必要な薬剤添加によるイオン交換樹脂塔の寿命
短命化などの問題も解決できる。
のコンパクト化、また従来抱えていたスラッジ発生、ｐ
Ｈ調整に必要な薬剤添加によるイオン交換樹脂塔の寿命
短命化などの問題も解決できる。
【００１９】また、本発明で対象とする排水はエッチン
グ工程の排水と、剥離液のような工程排水だけでなく、
一般的な酸系、アルカリ系排水も対象になりうる。更
に、アルカリ系排水の液組成が、例えば脱脂水洗水のよ
うな界面活性剤を含む場合、純水製造用イオン交換樹脂
塔群の前段に活性炭を充填した活性炭塔を設置すればよ
い。
グ工程の排水と、剥離液のような工程排水だけでなく、
一般的な酸系、アルカリ系排水も対象になりうる。更
に、アルカリ系排水の液組成が、例えば脱脂水洗水のよ
うな界面活性剤を含む場合、純水製造用イオン交換樹脂
塔群の前段に活性炭を充填した活性炭塔を設置すればよ
い。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例に係る排
水の処理方法について図１を参照して説明する。なお、
本実施例では、還元剤として硫酸第一鉄を選定した。ま
た、純水製造用イオン交換塔として、陽イオン交換樹脂
塔、陰イオン交換樹脂塔及び混床塔を組合せた処理例を
示している。
水の処理方法について図１を参照して説明する。なお、
本実施例では、還元剤として硫酸第一鉄を選定した。ま
た、純水製造用イオン交換塔として、陽イオン交換樹脂
塔、陰イオン交換樹脂塔及び混床塔を組合せた処理例を
示している。
【００２１】図中の付番１はエッチング原水を示し、付
番２はＣｅ（ＩＶ）及びＣｒ（ＶＩ）を含有したエッチ
ング水洗水を示す。エッチング水洗水２は、攪拌機３ａ
及びＯＲＰ（oxidation-reduction potential）計４を
備えた還元タンク５に送られるようになっている。前記
還元タンク５には、攪拌機３ｂを備えた還元剤溶解タン
ク６からポンプ７ａより還元剤溶液８が送られるように
なっている。還元反応は、前記還元タンク５に設置され
たＯＲＰ計４と連動するようになっている。還元終了の
目安は、ＯＲＰ値が５００ｍＶ以下が望ましい。
番２はＣｅ（ＩＶ）及びＣｒ（ＶＩ）を含有したエッチ
ング水洗水を示す。エッチング水洗水２は、攪拌機３ａ
及びＯＲＰ（oxidation-reduction potential）計４を
備えた還元タンク５に送られるようになっている。前記
還元タンク５には、攪拌機３ｂを備えた還元剤溶解タン
ク６からポンプ７ａより還元剤溶液８が送られるように
なっている。還元反応は、前記還元タンク５に設置され
たＯＲＰ計４と連動するようになっている。還元終了の
目安は、ＯＲＰ値が５００ｍＶ以下が望ましい。
【００２２】前記還元タンク５には、還元反応を充分行
わせるために、更に図１に示すような還元反応タンク
９、クッションタンク１０を合わせて用意しておくこと
が望ましい。還元反応タンク９の還元液はバルブ１１ａ
を介してポンプ７ｂへ、クッションタンク１０の還元液
はバルブ１１ｂを介してポンプ７ｂへ夫々送られた後、
更にフィルター１２ａを経由して陽イオン交換樹脂塔１
３に通液される。
わせるために、更に図１に示すような還元反応タンク
９、クッションタンク１０を合わせて用意しておくこと
が望ましい。還元反応タンク９の還元液はバルブ１１ａ
を介してポンプ７ｂへ、クッションタンク１０の還元液
はバルブ１１ｂを介してポンプ７ｂへ夫々送られた後、
更にフィルター１２ａを経由して陽イオン交換樹脂塔１
３に通液される。
【００２３】陽イオン交換樹脂塔１３からの処理液、剥
離水洗水１４及びその他アルカリ水洗水１５は、攪拌機
３ｃを備えたイオン交換処理用原水タンク１６に貯めら
れる。このタンク１６からの処理液は、バルブ１１ｃ、
ポンプ７ｃ、フィルター１２ｂ、流量計１７、陽イオン
交換樹脂塔１８、陰イオン交換樹脂塔１９、混床塔２０
に通液されて純水になる。
離水洗水１４及びその他アルカリ水洗水１５は、攪拌機
３ｃを備えたイオン交換処理用原水タンク１６に貯めら
れる。このタンク１６からの処理液は、バルブ１１ｃ、
ポンプ７ｃ、フィルター１２ｂ、流量計１７、陽イオン
交換樹脂塔１８、陰イオン交換樹脂塔１９、混床塔２０
に通液されて純水になる。
【００２４】ここで、陽イオン交換樹脂塔１８内には強
酸性陽イオン交換樹脂が充填され、この樹脂によりＣｅ
（III）、Ｃｒ（III）、Ｆｅ（III）イオン等の陽イオ
ンが吸着除去される。また、前記樹脂はＲ−Ｈ型で設置
使用し、通液中の管理は処理液の分析が望ましいが、処
理液前後のｐＨ変化である程度の予測はできる。
酸性陽イオン交換樹脂が充填され、この樹脂によりＣｅ
（III）、Ｃｒ（III）、Ｆｅ（III）イオン等の陽イオ
ンが吸着除去される。また、前記樹脂はＲ−Ｈ型で設置
使用し、通液中の管理は処理液の分析が望ましいが、処
理液前後のｐＨ変化である程度の予測はできる。
【００２５】また、混床塔２０の処理水は１μＳ／ｃｍ
以下の純水となり、水質計２１を経由してバルブ１１
ｄ、バルブ１１ｅ、バルブ１１ｆを経由して各水洗タン
クに送られ、エッチング水洗水２、剥離水洗水１４、そ
の他のアルカリ水洗水１５として再利用される。
以下の純水となり、水質計２１を経由してバルブ１１
ｄ、バルブ１１ｅ、バルブ１１ｆを経由して各水洗タン
クに送られ、エッチング水洗水２、剥離水洗水１４、そ
の他のアルカリ水洗水１５として再利用される。
【００２６】上記実施例によれば、還元剤溶液８を収容
した還元剤溶解タンク６を用いて予めＣｒ（ＶＩ）及び
Ｃｅ（ＩＶ）を還元剤でＣｒ（III）及びＣｅ（III）に
還元した後、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換
樹脂塔１３にて処理し、処理液にアルカリ工程排水を混
合して陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔
１８、陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔
１９、更に混床塔２０に通液するため、エッチング工程
排水及びアルカリ系工程排水を安価な設備で工程内で再
利用することができる。
した還元剤溶解タンク６を用いて予めＣｒ（ＶＩ）及び
Ｃｅ（ＩＶ）を還元剤でＣｒ（III）及びＣｅ（III）に
還元した後、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換
樹脂塔１３にて処理し、処理液にアルカリ工程排水を混
合して陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔
１８、陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔
１９、更に混床塔２０に通液するため、エッチング工程
排水及びアルカリ系工程排水を安価な設備で工程内で再
利用することができる。
【００２７】また、従来、例えば、エッチング工程排水
とアルカリ工程排水を夫々別々にイオン交換樹脂塔で処
理する場合、イオン交換樹脂塔の必要本数は、陽イオン
交換樹脂塔、陰イオン交換樹脂塔、混床塔の組み合わせ
が２セット、合計６塔が最低必要であった。しかるに、
本実施例によれば、Ｃｒ（III）及びＣｅ（III）除去用
陽イオン交換樹脂塔と、純水製造用陽イオン交換樹脂
塔、陰イオン交換樹脂塔、混床塔の合計４塔ですむこと
により、設置スペースのコンパクト化が可能となる。な
お、従来法と本発明法のイオン交換樹脂塔に充填する樹
脂容量が同じ場合、再生頻度は若干、本発明法の方が多
くなるが、例えば、設置するイオン交換樹脂塔の充填容
量を予め大きく設定しておくことで再生頻度も少なくな
り、より都合がよい。
とアルカリ工程排水を夫々別々にイオン交換樹脂塔で処
理する場合、イオン交換樹脂塔の必要本数は、陽イオン
交換樹脂塔、陰イオン交換樹脂塔、混床塔の組み合わせ
が２セット、合計６塔が最低必要であった。しかるに、
本実施例によれば、Ｃｒ（III）及びＣｅ（III）除去用
陽イオン交換樹脂塔と、純水製造用陽イオン交換樹脂
塔、陰イオン交換樹脂塔、混床塔の合計４塔ですむこと
により、設置スペースのコンパクト化が可能となる。な
お、従来法と本発明法のイオン交換樹脂塔に充填する樹
脂容量が同じ場合、再生頻度は若干、本発明法の方が多
くなるが、例えば、設置するイオン交換樹脂塔の充填容
量を予め大きく設定しておくことで再生頻度も少なくな
り、より都合がよい。
【００２８】なお、上記実施例では、連続式の場合を示
したが、例えば還元反応タンク内の液の発生量が少ない
場合は、回分式で処理し、脱カチオン処理後にイオン交
換処理原水タンクに移送してもよい。
したが、例えば還元反応タンク内の液の発生量が少ない
場合は、回分式で処理し、脱カチオン処理後にイオン交
換処理原水タンクに移送してもよい。
【００２９】また、上記実施例では、Ｃｒ及びＣｅを還
元剤により還元するための還元剤溶解タンクを還元反応
タンクに連結させた場合について述べたが、連続処理
で、比較的処理流量が少ない場合とか回分処理する場合
などには還元剤溶解タンクは必ずしも必要なものではな
い。
元剤により還元するための還元剤溶解タンクを還元反応
タンクに連結させた場合について述べたが、連続処理
で、比較的処理流量が少ない場合とか回分処理する場合
などには還元剤溶解タンクは必ずしも必要なものではな
い。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ク
ロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状
態で含有する工程及び本工程以外のアルカリ工程排水も
同じイオン交換設備で効率よく処理し、処理液を系内で
循環使用することが可能となり、もっと安価な設備投資
で工程内で再利用が可能な排水の処理方法を提供でき
る。
ロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状
態で含有する工程及び本工程以外のアルカリ工程排水も
同じイオン交換設備で効率よく処理し、処理液を系内で
循環使用することが可能となり、もっと安価な設備投資
で工程内で再利用が可能な排水の処理方法を提供でき
る。
【００３１】また、本発明によれば、排水の流入側から
順に、還元反応タンク、陽イオン交換樹脂を充填した陽
イオン交換樹脂塔、陽イオン交換樹脂塔からの処理液及
びその他の水洗水が供給されるイオン交換水処理用原水
タンク、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂
塔、陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔を
配置した構成とすることにより、クロム及びセリウムを
Ｃｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状態で含有する工程及
び本工程以外のアルカリ工程排水も同じイオン交換設備
で効率よく処理し、処理液を系内で循環使用することが
可能となり、もっと安価な設備投資で工程内で再利用が
可能な排水の処理装置を提供できる。
順に、還元反応タンク、陽イオン交換樹脂を充填した陽
イオン交換樹脂塔、陽イオン交換樹脂塔からの処理液及
びその他の水洗水が供給されるイオン交換水処理用原水
タンク、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂
塔、陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔を
配置した構成とすることにより、クロム及びセリウムを
Ｃｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）の状態で含有する工程及
び本工程以外のアルカリ工程排水も同じイオン交換設備
で効率よく処理し、処理液を系内で循環使用することが
可能となり、もっと安価な設備投資で工程内で再利用が
可能な排水の処理装置を提供できる。
【図１】本発明の一実施例の排水の処理方法フローを示
す説明図。
す説明図。
１…エッチング原水、 ２…エッチング水洗水、 ３ａ，３ｂ，３ｃ…攪拌機、 ４…ＯＲＰ計、 ５…還元タンク、 ６…還元剤溶解タンク、 ７ａ，７ｂ，７ｃ…ポンプ、 ８…還元剤溶液、 ９…還元反応タンク、 １０…クッションタンク、 １１ａ，１１ｂ，１１ｃ，１１ｄ，１１ｅ…バルブ、 １２ａ，１２ｂ…フィルター、 １３…陽イオン交換樹脂塔、 １４…剥離水洗水、 １５…その他のアルカリ水洗水、 １６…イオン交換水処理用原水タンク、 １７…流量計、 １８…陽イオン交換樹脂塔、 １９…陰イオン交換樹脂塔、 ２０…混床塔、 ２１…水質計、 ２２…剥離原水。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ０２Ｆ 1/42 Ｃ０２Ｆ 1/42 Ｋ (72)発明者 今津 英幸 福島県郡山市日和田町字小堰26番地 日本 電工株式会社郡山工場内 Ｆターム(参考） 4D025 AA09 AB02 AB21 AB33 BA08 BB04 BB09 DA10 4D050 AA13 AB52 AB54 BA20 BD06 CA08
Claims (4)
- 【請求項１】 クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及び
Ｃｅ（ＩＶ）の状態で含有する排水、及びその他のアル
カリ工程排水を工程内で純水として再利用する排水の処
理方法であり、 予めＣｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤でＣｒ（II
I）及びＣｅ（III）に夫々還元した後、まずＣｒ（II
I）及びＣｅ（III）を陽イオン交換樹脂を充填した陽イ
オン交換樹脂塔にて処理し、処理液にアルカリ工程排水
を混合して陽イオン交換樹脂、陰イオン交換樹脂を充填
した各イオン交換樹脂塔に通液して再利用することを特
徴とする排水の処理方法。 - 【請求項２】 Ｃｒ（ＶＩ）及びＣｅ（ＩＶ）を還元剤
によりＣｒ（III）及びＣｅ（III）に還元した液を、陽
イオン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔により脱
カチオン処理する工程と、その他のアルカリ工程排水と
混合する工程とを具備することを特徴とする請求項１に
記載の排水の処理方法。 - 【請求項３】 クロム及びセリウムをＣｒ（ＶＩ）及び
Ｃｅ（ＩＶ）の状態で含有する排水、及びその他のアル
カリ工程排水を工程内で純水として再利用する排水の処
理装置であり、 排水の流入側に配置された、還元反応を行うための還元
反応タンクと、この還元反応タンクに連結された、陽イ
オン交換樹脂を充填した陽イオン交換樹脂塔と、この陽
イオン交換樹脂塔に連結された、陽イオン交換樹脂塔か
らの処理液及びその他の水洗水が供給されるイオン交換
水処理用原水タンクと、このイオン交換水処理用原水タ
ンクに連結された、陽イオン交換樹脂を充填した陽イオ
ン交換樹脂塔と、この陽イオン交換樹脂塔に連結され
た、陰イオン交換樹脂を充填した陰イオン交換樹脂塔と
を具備することを特徴とする排水の処理装置。 - 【請求項４】 Ｃｒ及びＣｅを還元剤により還元するた
めの還元剤溶解タンクを、前記還元反応タンクに連結さ
せたことを特徴とする請求項３記載の排水の処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001124584A JP2002316175A (ja) | 2001-04-23 | 2001-04-23 | 排水の処理方法及び処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001124584A JP2002316175A (ja) | 2001-04-23 | 2001-04-23 | 排水の処理方法及び処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002316175A true JP2002316175A (ja) | 2002-10-29 |
Family
ID=18973946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001124584A Pending JP2002316175A (ja) | 2001-04-23 | 2001-04-23 | 排水の処理方法及び処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002316175A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102320703A (zh) * | 2011-06-02 | 2012-01-18 | 广州科城环保科技有限公司 | 一种蚀刻废液生产碱式氯化铜后的母液的回收方法 |
| CN102583819A (zh) * | 2012-02-03 | 2012-07-18 | 广州科城环保科技有限公司 | 一种酸性蚀刻废液提取氧化铜后废水的处理方法 |
| CN103663621A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-03-26 | 郑州大学 | 利用弱碱离子交换纤维处理六价铬废水的方法 |
| CN104841497A (zh) * | 2015-06-05 | 2015-08-19 | 河北科技大学 | 离子交换树脂化学接枝蒽醌制备氧化还原介体载体的方法 |
| CN105130064A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-12-09 | 深圳前海中盛环保科技有限公司 | 铬系颜料含铬废水处理和铬回用的新方法 |
-
2001
- 2001-04-23 JP JP2001124584A patent/JP2002316175A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102320703A (zh) * | 2011-06-02 | 2012-01-18 | 广州科城环保科技有限公司 | 一种蚀刻废液生产碱式氯化铜后的母液的回收方法 |
| CN102583819A (zh) * | 2012-02-03 | 2012-07-18 | 广州科城环保科技有限公司 | 一种酸性蚀刻废液提取氧化铜后废水的处理方法 |
| CN103663621A (zh) * | 2013-11-13 | 2014-03-26 | 郑州大学 | 利用弱碱离子交换纤维处理六价铬废水的方法 |
| CN103663621B (zh) * | 2013-11-13 | 2015-11-04 | 郑州大学 | 利用弱碱离子交换纤维处理六价铬废水的方法 |
| CN104841497A (zh) * | 2015-06-05 | 2015-08-19 | 河北科技大学 | 离子交换树脂化学接枝蒽醌制备氧化还原介体载体的方法 |
| CN105130064A (zh) * | 2015-09-25 | 2015-12-09 | 深圳前海中盛环保科技有限公司 | 铬系颜料含铬废水处理和铬回用的新方法 |
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