JP2002312976A - ライトワンスアプリケーションのための相変化記録要素 - Google Patents

ライトワンスアプリケーションのための相変化記録要素

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JP2002312976A JP2002044178A JP2002044178A JP2002312976A JP 2002312976 A JP2002312976 A JP 2002312976A JP 2002044178 A JP2002044178 A JP 2002044178A JP 2002044178 A JP2002044178 A JP 2002044178A JP 2002312976 A JP2002312976 A JP 2002312976A
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Yuan-Sheng Tyan
ティアン ユアン−ション
Thomas Richard Cushman
リチャード クッシュマン トマス
Giuseppe Farruggia
ファルッジア ジュゼッペ
George Russell Olin
ラッセル オリン ジョージ
Bruno Primerano
プリメラノ ブルーノ
Fridrich Vazan
ヴァザァン フリドリッヒ
James A Barnard
アーサー バーナード ジェイムズ
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、相変化材料に基づいた、バーン−
ダーク形式の、データが光記録要素上に記録される前
に、予め結晶化される必要のない、真のWORM特性を
有する、WORM光記録要素を提供することを目的とす
る。 【解決手段】 基板と、基板上に積層されたアモルファ
ス相変化記録層と、アモルファス相変化層に隣接して積
層された誘電体層と、誘電体層に隣接して積層された反
射層とを有し、且つ、層の材料と厚さは、40nS以下
の継続時間のレーザパルスを使用して、相変化層内に結
晶マークを形成するために集光レーザビームを使用して
光記録要素上に記録を行うことができ、平行光ビームに
より測定されたアモルファス相の反射率は28%より高
く且つ読出し信号のコントラストは0.6より高く、前
の記録の上への、第2の且つ後続の書き込みは、読出し
ジッタが少なくとも50%増加するように選択された、
WORM光記録要素により構成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、特にバーン−ダー
ク形式のライトワンスリードメニータイムス(WOR
M)相変化光記録要素に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、光記録を、ディジタル情報を出版
し、配布し、蓄積し、そして、取り出すのに使用するこ
とが増加している。これは、通常は回転するディスクの
形式で、光記録要素に情報を書き込み及び/又は読み出
すためにレーザビームを集光することによりなされる。
読出し専用メモリ(ROM)フォーマットでは、情報
は、要素上に符号化された小さな形状の形式で、工場で
予め製造され、そして、情報を読み出すのに、レーザビ
ームが使用される。書き込み可能なフォーマットでは、
レーザビームが、種々の物理的な記録機構を通して、小
さな符号化されたマークを形成するのに使用される。こ
れは、ユーザが自分自身で、データをディスク上に記録
することを可能とする。幾つかの記録物理機構は、可逆
である。記録されたマークは、消去されそして、繰返し
て再形成されることが可能である。これらの機構を使用
するディスクは、イレーザブル(消去可能)又はリライ
タブル(再書き込み可能)ディスクと呼ばれる。これら
の物理的な機構の幾つかは一方向であり、一旦、マーク
が形成されると、検出可能な明確に識別可能な軌跡を残
さずには、それらを戻せず又は、変更できない。これら
の機構を使用するディスクは、WORM(ライト−ワン
ス−リード−メニータイムス)ディスクと呼ばれる。こ
れらのフォーマットの各々は、特定の実際の応用に対し
て適している。
【0003】コンパクトディスクレコーダブル(CD−
R)、WORMディスク、の人気は、WORMディスク
が多くの応用に適しているからである。これらの応用の
幾つかでは、データは、簡単に検出可能な跡を残すこと
無く内容の変更が可能ではない形式で蓄積される。例え
ば、前に記録された領域の上に記録すると、読み出しデ
ータジッタが増加する。50%のデータジッタの増加
は、簡単に検出可能であり、そして、変更された記録要
素を識別するのに使用できる。変更の試みの検出を可能
とする特徴を有する記録要素は、ここでは、真のWOR
Mと呼ばれる。出版やデータ配布のような他の幾つかの
応用では、より低価格なWORM記録要素が望ましい。
他の幾つかの応用では、高速書き込み速度のような、W
ORM記録要素の幾つかの性能の優位点が書き込み可能
な要素の中でWORM要素を選択する決定的な特徴とな
る。CDフォーマットの成功により、現行のCD−R
(コンパクトディスクレコーダブル)は、最も要求のあ
るWORM記録フォーマットである。他のフォーマット
の出現で、これらのフォーマットに互換性のあるWOR
M記録要素は、同様に要求がある。例えば、ここでは、
DVD−WORMと呼ばれる、ディジタルバーサタイル
ディスク(DVD)フォーマットに基づくWORMディ
スクは、DVDフォーマットの人気が増加しているの
で、需要があると期待されている。
【0004】有益なDVD−WORMディスクは、DV
D−ROM又は、DVD−ビデオディスクと互換性があ
ることが必要である。DVD−フォーマットディスクに
対して既に定義された多くの物理的な特徴に合わせるこ
とが必要である。更に加えて、広く受け入れられたディ
スクに対しては、コストが低いことが必要である。従っ
て、DVD−WORMとして機能する、改善されたWO
RM光記録要素に対する要求がある。
【0005】多くの物理的な機構が、WORM記録に対
して使用されている。第1の実際的なWORM光記録要
素は、パルス化されたレーザビームが記録層内に物理的
なピットを形成するの使用される、アブレーション(融
除)記録を使用した。この機構は、ピット形成処理中に
どのような物理的な障害からも記録層の面を自由にする
ために、空気のサンドイッチされた構造内にある記録層
を必要とする。この要求は、コストを増加するだけでな
く、記録要素の有益性を厳しく制限する多くの望ましく
ない特性を導く。他の機構は、幾つかの層を異なる層
に、融解する又は、化学作用を起こすレーザビームを使
用することである。この機構は、比較的高いレーザパワ
ーを要求されるという問題がある。
【0006】更に、他のアプローチは、記録層として有
機色素を使用することである。CD−Rディスクでは使
用して成功したが、この機構は強い波長依存性の問題が
ある。650nmで動作するDVD装置内で使用される
光ヘッドは例えば、780nmのCD波長で動作するよ
うに設計されたCD−Rディスクを読むことはできな
い。更に、色素に基づく記録要素は、記録に対して更に
レーザーパワーを必要としがちであり、そして、高速で
の記録に困難性を有する。
【0007】望ましいアプローチは、アモルファス−結
晶相変化機構に基づいている。この相変化機構は、DV
D−RAM及びDVD−RW製品として市場に導入され
たリライタブルDVDディスクの基礎である。相変化に
基づくDVD−WORMディスクは、リライタブルDV
Dディスクと特徴が最も良い類似性を有し、リライタブ
ルディスクと同じ製造装置を共有できる。これらの両方
は、非常に望ましい。WORMの特徴は、再書き込みで
きないディスクを必要とするので、異なる相変化材料又
は、ディスク構成は、従来リライタブルディスクに対し
て使用されたものから使用されることを必要とする。米
国特許番号4,904,577;4,798,785;
4,812,386;4,865,955;4,96
0,680;5,271,978;4,774,17
0;4,795,695及び、5,077,181は、
ライトワンス相変化記録に関して使用できる種々の合金
を教示する。これらの合金が、WORM光記録要素を構
成するのに使用されるときには、アモルファス状態から
結晶状態に、記録相変化材料の原子構造を変化させるの
に、記録レーザビームが使用される。これらの合金に基
づく光記録要素は、他のWORM光記録要素の中で、多
くの優位点を有する。特に、劇的に製造コストを減少す
る、単純な、単一層構成が使用できる。しかしながら、
結晶状態の反射率は、通常は、アモルファス状態の反射
率よりも高いので、記録されたデータマークは、周囲の
領域よりも明るく見える。これらの光記録要素は、”バ
ーン−ブライト”形式の光記録要素と呼ばれる。これ
は、全てが、周囲領域よりもより低い実効反射率を有す
る記録されたマークを有する、DVD−ROM及びDV
D−ビデオディスクのような、ROMディスクとは対照
的である。これらの形式の光記録要素は、”バーン−ダ
ーク”光記録要素と呼ばれる。バーン−ダーク形式の光
記録要素と共に動作するように設計されたドライブは、
しばしば、バーン−ブライト形式の光記録要素を読むこ
とができない。従って、バーン−ブライト形式の相変化
光記録要素は、バーン−ダーク形式のROM光記録要素
のために設計された普通のドライブと互換性がない。こ
の非互換性は、バーン−ブライト形式の相変化光記録要
素の有益性を制限しそして、これは、非常に好ましくな
い。この形式の光記録要素は、従って、DVD−WOR
Mとして使用できない。
【0008】DVDディスクが18%より高い反射率と
0.60より高いコントラスト値を有すべきであること
は既知の要求である。ここで、コントラストI
14Mは、 I14M=(I14H−I14L)/I14H のように定義される。ここで、I14Hは、未記録アモ
ルファス領域から離れた反射信号であり、そして、I
14Lは、長記録結晶マークから離れた反射信号であ
る。全反射率信号は、完全に記録されたディスク内で、
読出しレーザビームを使用して測定される。未記録ディ
スク上の平行光線により測定された約28%より大きい
反射率値は、18%反射率要求を達成するために必要と
されると信じられる。DVDでは、マークは、読出しレ
ーザスポットが実際に記録されたマークよりも大きくな
るように、副分解される。従って、I14L信号は、正
確に結晶状態の反射率の測定値ではなく、周囲のアモル
ファス領域からの貢献も含む。同様に、I14H信号
は、正確に、未記録アモルファス領域からの反射率の測
定値ではなく、隣接トラック上の未記録結晶マークから
の貢献も幾らか含む。反射率が18%より大きいという
要求と共に、0.6のコントラストは、結晶状態の平行
光線反射率が約15%より低い場合にのみ達成できると
信じられる。平行光データも、透明基板の前面からの反
射光を含むので、相変化面の面から離れた要求される反
射率は実際には10%より小さい。従って、4層構造の
ような非常に調整された光学的な構造が、要求に合わせ
るために必要である。
【0009】Nagata他(K.Nagata,S.
Furukawa,Y.Kamioka,N.Yama
da及び、A.Akahira”相変化光ディスクのフ
ェーズシフト記録特性”,日本応用物理学会と関連学
会;第44回春季会議、1997年3月31日)は、4
層構造の相変化材料を使用するWORMディスクの構造
を開示する。ディスク構造は、その上に、誘電体層、ア
モルファス状態変化層、もう1つの誘電体層及び、金属
反射層が形成された基板を含む。層の厚さと材料は、ア
モルファス材料が記録レーザビームにより結晶化すると
きに反射率にほとんど変化がないように選択される。代
わりに、反射ビームの光フェーズの実質的な変化が発生
される。結晶マークから反射されたマークは、周囲のア
モルファス領域から反射された光を破壊的に妨害し、そ
して、記録されたマークは読出し時に暗く現れる。この
アプローチは、暗い記録マークを生じるには成功する
が、未記録ディスクの反射率が約10%で、DVDフォ
ーマットディスクの反射率と互換性が要求される28%
よりも低い。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、相変
化材料に基づいたWORM光記録要素を提供することで
ある。
【0011】本発明の更なる目的は、バーン−ダーク形
式のWORM光記録要素を提供することである。
【0012】本発明の更なる目的は、データが光記録要
素上に記録される前に、予め結晶化される必要のない、
WORM光記録要素を提供することである。
【0013】本発明の他の目的は、一旦データが書き込
まれると検出されずに変更できない、真のWORM特性
を有する、WORM光記録要素を提供することである。
【0014】本発明の他の目的は、DVDフォーマット
ディスクのコントラストその他の物理的な要求に合う、
WORM光記録要素を提供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】これらの目的は、(a)
基板と、(b)基板上に積層されたアモルファス相変化
記録層と、(c)アモルファス相変化層に隣接して積層
された誘電体層と、(d)誘電体層に隣接して積層され
た反射層と、を有し、且つ、(e)層の材料と厚さは、
(i)40nS以下の継続時間のレーザパルスを使用し
て、相変化層内に結晶マークを形成するために集光レー
ザビームを使用して光記録要素上に記録を行うことがで
き、(ii)平行光ビームにより測定されたアモルファ
ス相の反射率は28%より高く且つ読出し信号のコント
ラストは0.6より高く、(iii)前の記録の上へ、
第2の且つ後続の書き込みは、読出しジッタが少なくと
も50%増加するように選択された、WORM光記録要
素により達成される。
【0016】本発明は、製造プロセスの一部として初期
化(前結晶化)を必要としない、WORM光記録要素内
で使用できるという優位性があり、これは、真のWOR
M特性を有し、そして、確立されたDVD物理仕様を満
足することができる。DVD−ROM光記録要素として
機能するように設計されているが、本発明は、光テープ
のような他のWORM要素に対しても、使用できること
は理解されるべきである。
【0017】
【発明の実施の形態】光学的に調整された多層構造は、
光相変化要素を構成するために一般的に使用される。そ
のような光相変化要素は、例えば、光ディスクで又は、
光テープで具体化される。図1は、従来例の光記録要素
の一例の概略の断面図を示し、そして、参照番号10に
より示されている。この構造は、一般的に、リライタブ
ル光記録要素を構成するのに使用され、そして、一般的
には、ディスクに構成される。これは、他の層を支持す
るために、典型的にはポリカーボネートにより作られる
透明基板21を含む。透明基板21上には、例えば、Z
nSとSiOの混合物、ZnS:SiOで作られる
誘電体層22がコーティングされる。誘電体層22の上
には、基板21を通して集光レーザビームで書き込むこ
とにより、溶融され且つアモルファス状態に消滅される
ことが可能な、結晶相変化記録層23がある。記録レー
ザビームは、レーザダイオードから来るのが最も一般的
である。相変化層23の上には、例えば、ZnS:Si
で作られる第2の誘電体層24がコーティングされ
ている。例えば、アルミニウム合金により作られる、記
録レーザビームに対して高反射の金属反射層25は、第
2の誘電体層24上にコーティングされる。最後に、保
護層26は、典型的には、ラッカー材料である。各層の
典型的な厚みは、それぞれ、第1の誘電体層22に対し
ては約100nm、結晶相変化記録層23に対しては2
0nm、第2の誘電体層24に対しては20nm、金属
反射層25に対しては100nmそして、保護層26に
対しては3000nmである。多層構成は、調整された
光学的構造を形成し且つ、光記録要素の反射率は光学的
特性と関係する材料の厚みに大きく依存する。典型的に
は、この構成は、アモルファス状態で非常に低い反射率
を有し且つ結晶状態で非常に高い反射率を有するよう
に、選択される。記録処理は、結晶相変化記録層23内
にアモルファスマークを作り、これはその反射率のため
に、結晶の背景に対して暗く現れる。循環を改善する又
は、結晶化率を改善するために、時々、ある特別な機能
を提供するために追加の層が使用される。しかしながら
全ての場合において、反射率は、結晶状態よりもアモル
ファス状態のほうが低い。
【0018】しかしながら、ChenとRubin(米
国特許番号5,242,784)により示されたよう
に、リライタブル相変化ディスクのアモルファス状態の
低い反射率は実際に望ましくない。記録動作を実行する
ために、記録レーザは相変化材料を融点以上に過熱し、
液体状態に変化させる。レーザがオフされたときに、材
料は冷え、そして、アモルファス状態が形成される。液
体状態の光学特性は、アモルファス状態のそれと同様で
ある。この従来の光記録要素の構成では、従って、液体
状態の反射率は、結晶状態の反射率よりも低く、そし
て、レーザ光の吸収が大きい。一旦材料が融けると、更
なるレーザ熱を吸収し、そして、更に高い温度に加熱さ
れる。この追加の加熱は、不必要なだけでなく、潜在的
に有害でもある。例えば、光記録要素パッケージに恒久
的な損害を起こし得る。ChenとRubinは、この
問題を減少させる異なる光記録要素パッケージを開示す
る。その開示では、結晶相変化層23の厚みは、約10
nmに減少され、そして、第2の誘電体層24の厚みは
175nmに増加される。結果の構造は、アモルファス
又は液体状態で、結晶状態よりも高い反射率を有する。
融解時に増加された反射率はレーザエネルギーの吸収を
減少させ、そして、融けた相変化材料が過度に加熱され
るのを減少する。この設計では、結晶状態は、アモルフ
ァス状態よりも暗く見えるが、しかし、両状態は、それ
ぞれ35%と60%の反射率を有する高反射率である。
2つの状態の間の反射コントラストは、前述して定義し
たように、必要な0.6よりも非常に低いと予想され
る。
【0019】リライタブルディスクでは、当業者にはダ
イレクトオーバーライトと呼ばれる処理で、現在あるデ
ータの上に、最初にそれを消去せずに、新たなデータを
直接書き込むことが望ましい。ダイレクトオーバーライ
ト処理では、書き込みレーザパルスは、3つのパワーレ
ベルに変調される。高パワーパルスは、相変化材料を融
解して、アモルファス状態のままにする。中間パワーレ
ベルは、材料を結晶化し、そして、それを結晶化状態の
ままにする。低パワーレベルは、高パワーパルスの後の
アモルファス相の形成を容易にするために、高パワーパ
ルス後の材料の冷却を制御する。これらの書き込みパル
スは、光記録要素に元々記録されていたデータパターン
に注意を払うことなく、記録されるべきデータパターン
に従って与えられる。予め記録された光記録要素上のア
モルファス状態と結晶状態の間の反射率の差は、レーザ
光パワーの吸収を異ならせる。従って、元々アモルファ
ス及び結晶の領域は、異なる量の加熱を受け、新たなデ
ータマークのサイズと形状の変化となる。この変化は、
記録雑音を発生し、且つ望ましくない。この望ましくな
い効果を減少させるために、結晶状態が、アモルファス
状態よりも、レーザ光の反射率が低く且つ吸収が大きい
ような光記録要素を設計することが重要であることが分
かった。Nishimura他(K.Nishimur
a,T.Suzuki,K.Takeguchi,M.
Terada及び、I.Morimoto:SPIE論
文集、Vol.2514,319−328頁)及び、K
obori他(H.Kobori,H.Hasegaw
a,T.Sugaya,N.Nakamura,N.M
orishita,T.Kobayashi及び、K.
Suzuki:SPIE論文集、Vol.2514,3
12−318頁)は、この目的を達成するために、5層
ディスクの設計を開示する。第1の誘電体層22と基板
21の間に、薄いAu層を追加することにより、アモル
ファス状態でよりも、結晶状態でのほうが低反射率を達
成できた。Nishimura他とKobori他は、
達成された反射率コントラストの正確な計算を可能とす
る十分な細部を与えないが、しかし、5層構造は、非常
に複雑で且つ潜在的に高価である。
【0020】前述の説明では、結晶状態でよりもアモル
ファス状態で高い反射率を有する、相変化光記録要素を
設計する動機があることには驚かない。望ましくない解
決方法が考えられた。材料と層の厚みを適切に選択する
と、アモルファス相変化層に基づくバーン−ダーク光記
録要素は、非常に単純な層構造を使用して構成できるこ
とが、思いがけなく発見された。
【0021】図2は、特に、DVDレコーダブルディス
クとして使用するのに適しており且つ、参照番号100
により示されている、本発明に従った光記録要素の断面
を示す図である。これは、他の層を支持するために、典
型的にはポリカーボネートにより作られる透明基板12
1を含む。基板上には、基板121を通して与えられる
記録レーザビームにより、結晶化されることが可能な、
アモルファス相変化記録層123が積層されている。ア
モルファス相変化記録層123の上には、例えば、Zn
S:SiOで作られうる誘電体層124がコーティン
グされている。例えば、アルミニウム合金により作られ
る、記録レーザビームに対して高反射の金属反射層12
5が、誘電体層124上にコーティングされる。最後
に、保護層126は、典型的には、ラッカー材料であ
る。各層の典型的な厚みは、それぞれ、アモルファス相
変化記録層123に対しては約8nm、誘電体層124
に対しては90nm、金属反射層125に対しては10
0nmそして、保護層126に対しては3000nmで
ある。
【0022】図3に戻ると、光テープとして使用するの
に特に適し且つ、参照番号200により示されている、
本発明に従った光記録要素を示す。これは、他の層を支
持するために、典型的にはテレフタル酸塩(PET)に
より作られる基板221を含む。基板221上には、例
えば、アルミニウム合金により作られる、記録レーザビ
ームに対して高反射の金属反射層225がコーティング
される。反射層225の上には、例えば、ZnS:Si
で作られうる誘電体層224がコーティングされて
いる。誘電体層224上には、記録レーザビームによ
り、結晶化されることが可能な、アモルファス相変化記
録層223が積層されている。各層の典型的な厚みは、
それぞれ、アモルファス相変化記録層223に対しては
約6nm、誘電体層224に対しては80nm、金属反
射層225に対しては100nmそして、保護層126
に対しては3000nmである。
【0023】薄膜モデル化プログラムを使用して、発明
者は、広範囲な光特性と、層変化及び誘電体層の広範囲
な厚みに亘って、光記録要素200の反射率を計算し
た。これらの計算に対して、100nmアルミニウム−
1%Cr合金層が反射層125として使用され、そし
て、レーザ波長は650nmに設定された。反射層の厚
みは、約2より大きい光学的濃度を可能とするのに十分
なであることを必要とし、約40nmの厚みは一般的に
は適切である。これらの拡張的な計算の結果、発明者
は、適切な層変化材料と適切な層の厚みが使用される場
合には、本発明の目的に合うWORM光記録要素が、達
成されることを見つけた。以下は、これらの計算及び、
結果に基づいた成果である。
【0024】十分に低い結晶状態反射率(<15%)を
形成するために、ナノメートルを単位とする相変化記録
層123の厚みtpcは、以下の条件EQ.1:
【0025】
【数4】 を満足し、そして、ナノメートルを単位とする誘電体層
124の厚みtは、以下の条件EQ.2:
【0026】
【数5】 を満足し、ここで、nとkはそれぞれ結晶相の光学
的屈折率の実部と虚部であり、nは誘電体層の光学的
屈折率である。EQ.1を満足するどの層変化厚みに対
しても、結晶相の反射率を必要な15%より小さくす
る、EQ.2に規定される範囲内の誘電体相厚みt
ある。ここで、反射率は、平行光を使用するスペクトロ
フォトメータで測定される。
【0027】しかしながら、適切なコントラストと適切
なアモルファス状態反射率を達成するために、他の条件
は、EQ.3:
【0028】
【数6】 を満足しなければならない。ここで、nαとnは光学
的屈折率の実部であり、且つkαとkはそれぞれアモ
ルファスと結状態の光学的屈折率の虚部である。
【0029】EQ.3は、相変化材料の選択を教示し、
そして、EQ.1とEQ.2は、光学的仕様を満足する
WORM光記録要素を構成するのに使用しなければなら
ない、層厚みの範囲を教示する。式は、650nmレー
ザとアルミニウム反射層に基づいて確立されたが、同じ
一般的な原理は、他のレーザ波長と他の反射層にも適用
することが可能である。第2の誘電体層も、実質的にこ
れらの規則の原理を変更することなしに、相変化記録層
123と基板121の間に随意に挿入することが可能で
ある。更に加えて、図3に示された光記録要素200に
対しては、同様な式をも計算できる。
【0030】本発明に従った相変化材料は、相変化材料
が、所望の記録動作により指示される放射条件下で、記
録レーザビームにより結晶化されることが可能であるよ
うに、選択されるべきである。DVD−R形式の記録に
対しては、例えば、データを記録するのに使用されるレ
ーザビームは、短パルスで送られる。実時間記録に対し
ては、(1x速度)、これらのレーザパルスは約20n
S又はそれ以下の継続時間であり、2x速度に対して
は、対応するパルスは約10nS又はそれ以下の継続時
間である。従って、そのような短い時間期間で、完全な
結晶マークを構成する十分な結晶化速度を有することが
できることは肝要である。
【0031】以下の例は、動作するWORM光記録要素
を設計するこれらの原理の応用を示す。
【0032】WORM光記録要素は、図2に従って構成
される。ディスクの形式の基板121は、約0.6mm
の厚みの射出成形ポリカーボネートで作られる。ディス
クの一方の面には、ディスクの内周径からディスクの外
周径に伸びる、連続するらせんグルーブが形成される。
このグルーブは、データの記録と読出しのためのレーザ
ビームを案内するのに使用される。グルーブは、DVD
フォーマットディスクで使用されているのと同様な、約
0.74μmのトラックピッチを有する。相変化記録層
123は、ポリカーボネート基板上にDCスパッタされ
る。相変化層は、Sb70In15Sn15の組成を有
し、厚みは、約8.8nmである。この材料のアモルフ
ァス相の光学的屈折率は、nα=4.50及び、kα
3.00であり、結晶相は、n=2.42及びk
5.02である。ZnS:SiO (80:20)層
は、相変化層上に、RF−スパッタされる。この層は、
誘電体層124として使用され、そして、約100nm
の厚みを有する。100nmAl:1%Cr反射層12
5は、誘電体層上にスッパッタコートされ、続いて厚み
約5μmのスピンされたラッカー保護層126が続く。
【0033】EQ.1に対して検査すると、8.8nm
の相変化層厚みは、下限36/n=2.9nmと
上限146/n=12.0nmの間となる。E
Q.2に対して検査すると、86nmの誘電体層厚み
は、下限(2/n)[40+90log(n
)]=74.8nmと上限(2/n)[94.5+
69log(n/k)]=116.5nmの間とな
る。更に、EQ.3に対して検査すると、相変化層は、
((nα―n+(kα−k)/(nα+n
+kα+k=0.038を与える、要求される
0.015値よりも大きい、光学的屈折率を有する。こ
のディスクは、従って、本発明の教示に従って製造され
た。
【0034】ディスクは、650nmの波長のレーザと
0.6NAの対物系を備えるパルステックDDU−10
00DVD試験器で試験された。ランダムEFM+デー
タパターンがディスク上に記録され、8.8m/sの光
記録要素線速度を生じる回転数で回転され、これは、標
準DVDの読出し速度の約2.5倍である。マルチパル
スライトストラテジーが使用された。3Tマークは単一
の8nSパルスを使用して記録され、そして、(3+
n)Tマークに対しては、6nS継続時間の追加のnパ
ルスが追加された。パルスの終わりは、クロックパルス
の立下りエッジとそろっている。書き込みパルスのパワ
ーは、4.2mWであった。
【0035】集光レーザビームにより測定されたディス
クの反射率は、22.1%であった。記録マークは低反
射率を有し、測定されたコントラスト値I14M=(I
14 −I14L)/I14Hは、約0.78である。
これらの値の両方はDVD仕様を満足する。
【0036】この例は明らかに、本発明の教示を使用し
て、目的を達成することを示す。特定の好適な実施例を
参照して詳細に説明したが、変更と変形は本発明の範囲
を離れることなく行うことができることは理解されよ
う。
【0037】例えば、この例で使用した相変化材料は、
Sb70In15Sn15合金であった。図4で示され
た組成図の、アンチモン、インジウム及び、スズの3元
の組成図内の多角形内の、好適な組成範囲内で使用可能
な全ての組成は予想され、そして、多角形は以下の頂点
と原子百分率での対応する座標を有する。
【0038】
【表1】 更に、SbSn−X合金のような、高速結晶化特性を有
する他の相変化組成も予想される。Xは、Al,Zn,
Ge,Cd,Ga,Ti,Si,Mn,Te,Nb,F
e,Fe,Cu,W,Mo,S,Ni,O,Se,T
h,As,P,Au,Pd,Pt,Hf及び、Vから選
択される。また、GeTe−X合金も使用できる。ここ
で、Xは、Ti又は、Mnから選択される。同様に、酸
化物、窒化物、硫化物又は、他の混合物の形式の他の誘
電材料も、同様な機能として予想される。
【0039】好適な実施例は、原理的な層として、相変
化層、誘電体相及び、金属反射層を含む3層構造を使用
する。この3層構造は、単純さとコストの理由から好ま
しいが、しかし、図2に示された光記録要素100で
は、追加の誘電体層を、相変化記録層123と基板12
1の間に、ディスクの性能に悪影響を及ぼすことなく使
用できることは理解される。同様に、図3に示された光
記録要素200では、他の誘電体層が、本発明の本質を
損なうことなしに、アモルファス相変化記録層223上
に与えられる。
【0040】
【発明の効果】上述のように、相変化材料に基づいた、
バーン−ダーク形式の、データが光記録要素上に記録さ
れる前に、予め結晶化される必要のない、真のWORM
特性を有する、WORM光記録要素を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】リライタブル光ディスクのような従来技術の光
記録要素の断面を示す図である。
【図2】本発明に従ったWORM光記録要素の断面を示
す図である。
【図3】本発明と共に使用される好適な組成範囲を示
す、アンチモン、インジウム及び、スズの3元の組成を
示す図である。
【図4】本発明と共に使用される好適な組成範囲を示
す、アンチモン、インジウム及び、スズの3元の組成を
示す図である。
【符号の説明】 10 従来例の光記録要素 21 透明基板 22 誘電体層 23 相変化層 24 第2の誘電体層 25 金属反射層 26 保護層 100 光記録要素 121 透明基板 123 アモルファス相変化記録層 124 誘電体層 125 金属反射層 126 保護層 200 光記録要素 221 基板 223 アモルファス相変化記録層 224 誘電体層 225 金属反射層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G11B 7/0045 B41M 5/26 X (72)発明者 トマス リチャード クッシュマン アメリカ合衆国 ニューヨーク 14450 フェアポート ウィリンゲート・ロード 3 (72)発明者 ジュゼッペ ファルッジア アメリカ合衆国 ニューヨーク 14580 ウェブスター ビショプス・レーン 706 (72)発明者 ジョージ ラッセル オリン アメリカ合衆国 ニューヨーク 14580 ウェブスター ノースブルック・ウェイ・ サウス 665 (72)発明者 ブルーノ プリメラノ アメリカ合衆国 ニューヨーク 14568 ウォールワース エディ・ロード 1867 (72)発明者 フリドリッヒ ヴァザァン アメリカ合衆国 ニューヨーク 14534 ピッツフォード ヴァンティッジ・ドライ ヴ 3 (72)発明者 ジェイムズ アーサー バーナード アメリカ合衆国 ニューヨーク 14546 スコッツヴィル チリ・アヴェニュー 51 Fターム(参考) 2H111 EA03 EA23 FA01 FA12 FA14 FA21 FA30 FB06 FB09 FB21 5D029 JA01 JB16 JB35 JC02 JC05 5D090 AA01 BB03 CC01 CC14 DD01 KK05

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (a)基板と、(b)基板上に積層され
    たアモルファス相変化記録層と、(c)アモルファス相
    変化層に隣接して積層された誘電体層と、(d)誘電体
    層に隣接して積層された反射層と、を有し、且つ、
    (e)層の材料と厚さは、 (i)40nS以下の継続時間のレーザパルスを使用し
    て、相変化層内に結晶マークを形成するために集光レー
    ザビームを使用して光記録要素上に記録を行うことがで
    き、 (ii)平行光ビームにより測定されたアモルファス相
    の反射率は28%より高く且つ読出し信号のコントラス
    トは0.6より高く、 (iii)前の記録の上への、第2の且つ後続の書き込
    みは、読出しジッタが少なくとも50%増加するように
    選択された、WORM光記録要素。
  2. 【請求項2】 反射層が、基板上に積層されており、誘
    電体層が反射層上に積層されており、且つアモルファス
    相変化層が誘電体層上に積層されている、請求項1に記
    載のWORM光記録要素。
  3. 【請求項3】 アモルファス相変化層が基板上に積層さ
    れており、誘電体層がアモルファス相変化層上に積層さ
    れており、且つ反射層が誘電体層上に積層されている、
    請求項1に記載のWORM光記録要素。
  4. 【請求項4】 ナノメートルを単位とする相変化層の厚
    さtpcは、 【数1】 のように選択され、 ナノメートルを単位とする誘電体層の厚さtは、 【数2】 のように選択され、nとkはそれぞれ結晶相の光学
    的屈折率の実部と虚部であり、nは誘電体層の光学的
    屈折率であり、さらに、相変化材料は、 【数3】 のように選択され、nαは相変化合金のアモルファス層
    の光学的屈折率の実部であり、且つkαは相変化合金の
    アモルファス層の光学的屈折率の虚部である、請求項1
    に記載のWORM光記録要素。
  5. 【請求項5】 さらに、最上面のラッカー保護層を含
    む、請求項1に記載のWORM光記録要素。
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