JP2002299994A - 電子部品 - Google Patents

電子部品

Info

Publication number
JP2002299994A
JP2002299994A JP2001095664A JP2001095664A JP2002299994A JP 2002299994 A JP2002299994 A JP 2002299994A JP 2001095664 A JP2001095664 A JP 2001095664A JP 2001095664 A JP2001095664 A JP 2001095664A JP 2002299994 A JP2002299994 A JP 2002299994A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
case
electrodes
conductive adhesive
electrode
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2001095664A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigehiro Shibata
成弘 柴田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP2001095664A priority Critical patent/JP2002299994A/ja
Publication of JP2002299994A publication Critical patent/JP2002299994A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】電子部品の小型化にともない、電子部品の電極
の間隔が狭まり、ケースの内底面に設けたリード端子の
露出接続部と電子部品素子の電極を導電性接着剤で接続
する際、導電性接着剤が表面張力により広がり、リード
端子電極間で短絡不良が発生するのを防止する。 【解決手段】底部上面に複数の孔部5kを形成した直方
体状のケース4と、一部が孔部5kから露出するように
ケース4の底部に埋め込まれ、両端部がケース4の下面
に導出されたリード端子5と、接続電極23〜25を有
するコンデンサ素子2とからなり、コンデンサ素子2の
接続電極23〜25間で幅方向の略全域に第1壁部8a
を形成し、その両端にコンデンサ素子2の幅方向端辺の
長手方向に延出した第2壁部8bを形成した電子部品で
ある。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線基板
上に表面実装できる表面実装型の電子部品に関し、ケー
ス内に隣り合う電位が異なる複数の接続電極を有する電
子部品素子を接続固定する際に接続電極間の短絡を防止
できる構造に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、通信機器、電子機器にはマイ
クロコンピュータなどが多用されており、これらマイク
ロコンピュータには、表面実装型の電子部品がプリント
配線基板に搭載して用いられている。このような電子部
品の一例として、携帯電話等に用いられているクロック
発振回路に図5に示す電子部品である容量内蔵型圧電共
振子Zを用いている。
【0003】この容量内蔵型圧電共振子Zを説明するた
めにクロック発振回路を等価回路図で示す(図6)。こ
のクロック発振回路は、圧電共振子Rの両端と接地Eと
の間に入出力容量成分C1、C2が接続され、さらに、
圧電共振子Rの両端間に帰還抵抗成分r、インバータI
が接続されている。このクロック発振回路をより簡単に
達成できるように、図6の点線で囲んだ部分を一体化
し、上述の2つの容量成分C1,C2を1つのコンデン
サ基板に形成したコンデンサ素子Cと圧電共振子Rを一
体化した複合電子部品が容量内蔵型圧電共振子である。
【0004】このような容量内蔵型圧電共振子Zの表面
実装の可能な構造として図5の外観斜視図に示すものを
すでに提案している。
【0005】図7に図5のX−X断面図を示すが、上面
に開口41を有する樹脂製の直方体状のケース4と、そ
の底部40に、幅方向に伸びる3つのリード端子5が埋
め込まれている。リード端子5は、ケース4の底部上面
にリード端子5の中央の一部が見える形の孔状の露出接
続部5kによって露出されており、リード端子5の両端
はケース4底部40の下面から側面に沿って屈曲加工さ
れてケース4の外側面に沿って立ち上がっている。
【0006】ケース4の中にはコンデンサ素子2が載置
される。コンデンサ素子2は短冊状の誘電体基板20の
下面に3つの下面電極23〜25と上面電極21、22
を設けて2つの容量成分を形成したもので、下面電極2
3〜25はケースのリード端子5と露出接続部5kに充
填された導電性接着剤7を介して接続される。
【0007】またコンデンサ素子2には、圧電素子1が
両端部分で接合されて一体化されている。圧電素子1は
短冊状の圧電基板10の両主面に振動電極11,12を
形成したもので、両端を接合部材15で貼り合わせたあ
と、両端面に導電接着剤などで端面導体膜16を形成し
てコンデンサ素子2と圧電素子1の各電極間の導通を取
っている。
【0008】ケース4のリード端子5の露出接続部5k
に導電性接着剤7を充填することによりコンデンサ素子
2の下面電極23〜25に電気的に接続し、端面導体膜
16を経由してコンデンサ素子2の上面電極21,22
に接続し、また圧電素子1の振動電極11,12に接続
している。その後、ケース4の開口部は封止樹脂材3を
介して金属蓋6が取り付けられ、気密封止される。
【0009】ここで、図9に示すようにケース4の中の
露出接続部5kはケース4底部40の上面中央に長手方
向に向けて一直線上に配置されるのが一般的である。そ
れは導電性接着剤7を塗布した上にコンデンサ素子2/
圧電素子1の積層体を載せたとき、導電性接着剤7が押
し広げられるが、導電性接着剤7をケース4の側壁から
遠い位置である幅方向中央に塗布することで下面電極2
3〜25間同士の短絡事故を防止できるからである。す
なわち導電性接着剤7が押し広げられたとき、ケース4
内の底部40上面と側壁面が交わるコーナーに到達した
とすると、そのコーナーに沿って容易に広がる傾向があ
り、その結果、隣同士の下面電極23〜25間で短絡が
発生する。このため信頼性が乏しく、また歩留まりが安
定しない管理の難しい製造が必要になっていた。従って
ケース4内で両側の側壁から遠い位置、すなわちほぼ幅
方向の中心を通る長手方向に向けた一直線上に露出接続
部5kが配置されるのである。
【0010】そして、ケース4の底部40の上面に形成
された3つの露出接続部5Kには、幅方向中央に3つの
孔が設けられており、その孔の底にはリード端子5の一
部が露出しており、さらに3つの露出接続部5kの間に
は、底面が一段低くなった溝部42が幅方向に形成され
ている。
【0011】この露出接続部5kに導電性接着剤7を所
定量塗布し、その上にコンデンサ素子2−圧電素子1の
積層体を載置することになるが、図10のようにコンデ
ンサ素子2の下面電極23〜25の中央にそれぞれ記載
した点線円で示したように、この位置で露出接続部5k
に塗布された導電性接着剤7がリード端子5とコンデン
サ素子2の下面電極23〜25に接続される。
【0012】その後、露出接続部5kに塗布された導電
性接着剤7は図10の点線円を越えて広がろうとする
が、ケース4の底面から形成された溝部42により拘束
を受ける。すなわち隣り合う露出接続部5kに向かって
導電性接着剤7が広がろうとすると、表面張力により、
溝部42の段差部に導電性接着剤7が引かれて段差部の
幅方向に広がる傾向がある。導電性接着剤7の塗布量が
多いときには溝部42を越えて隣り合う端子電極を短絡
させる事態も発生するが、塗布量を管理すれば溝部42
を越えて広がることはない。
【0013】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、電子機
器の小型化に呼応して圧電共振子にも一層の小型化が要
求されており、これにともなって下面電極23〜25間
の距離が接近するとともに、露出接続部5kとケース4
の側壁との距離が縮まり、導電性接着剤7の塗布量管理
だけでは短絡事故を防止できなくなっている。
【0014】本発明は、上述の問題点を解決するために
案出されたものであり、その目的は、小型化してもケー
ス内部の電極間の短絡が発生しない電子部品の構造を提
供することにある。
【0015】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、上面が開口するとともに、底部上面の長
手方向に複数の孔部を形成した直方体状のケースと、一
部が前記孔部から露出するように前記ケースの底部に埋
め込まれるとともに、両端部が少なくとも前記ケースの
下面に導出された複数のリード端子と、複数の接続電極
が長手方向に形成された短冊状の電子部品素子とからな
り、前記孔部から導電性接着剤を介して前記電子部品素
子の夫々の接続電極とリード端子とを電気的に接続する
電子部品において、前記接続電極間で前記電子部品素子
の幅方向の略全域に接続した第1壁部と、該第1壁部の
両端で電子部品素子の幅方向端辺に沿って接続した第2
壁部とからなる接続電極囲い部を形成するとともに、該
接続電極囲い部と前記ケース底部上面とが接続されてい
ることを特徴とする電子部品を提供する。
【0016】本発明の構成によれば、複数のリード端子
が露出する孔部に導電性接着剤を塗布して電子部品素子
を接続するとき、電子部品素子の接続電極間に第1、第
2壁部からなる樹脂囲い(接続電極囲い部)が介在する
ため、加熱硬化時に隣接の電極方向に導電接着剤が広が
ることを抑えることができ、その結果、短絡事故を確実
に防止することができる。
【0017】とくに、第1、第2壁部により接続電極の
少なくとも3辺を囲む形にしており、囲みの周囲をまわ
りこんで隣接する他の接続電極間に到達するまでの距離
を大きくとることができるため短絡を効果的に防止する
ことができる。
【0018】このとき樹脂ケースの内底面は平坦なもの
でよく、従来導電性接着剤の広がりを抑えるために樹脂
ケース内底面に形成していた各種の接着剤の拡がり防止
機構(例えば従来の溝部42)が不要になり、電子部品
の小型低背化が容易に達成できることになる。
【0019】
【発明の実施の形態】以下、本発明の電子部品を図面に
基づいて詳説する。
【0020】本発明の電子部品である容量内蔵型圧電共
振子Zの外観斜視図を図5に示すが、図1は図5のX−
X線断面図であり、図2はY−Y線断面図である。な
お、本発明の図5は従来技術に記載した構造と外観が同
じため、共通に用いるものとする。さらに、従来技術と
同じ構成の部分は同じ符号を用いるものとする。図にお
いて、容量内蔵型圧電共振子Zに用いられるケース4
は、直方体状で上面が四角形状の開口部41を有し、内
部に電子部品素子として圧電素子1とコンデンサ素子2
の積層体を収納している。また、5はケース4の底面に
埋め込まれたリード端子であり、6は金属蓋、3は封止
部材である。
【0021】圧電素子1は、その材質としてPT(チタ
ン酸鉛)、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)などの圧電
セラミック材料、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸
リチウムなどの単結晶材料からなる短冊状の圧電基板1
0と振動電極11,12から構成されている。振動電極
11および12は圧電基板10の両主面の中央部付近で
互いに対向するように形成されている。振動電極11は
圧電基板10の上面に形成され他方端部にまで延出され
ている。また、振動電極12は圧電基板の下面に形成さ
れ一方端部にまで延出されている。振動電極11,12
はたとえばAg系材料を主成分とする薄膜導体膜によっ
て形成されている。
【0022】コンデンサ素子2は、その材質はPT(チ
タン酸鉛)、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)、BT
(チタン酸バリウム)などの誘電体セラミック材料から
成る短冊状の誘電体基板20と、該誘電体基板20の上
下両主面に2つの容量成分を形成するための複数の容量
電極とから構成されている。なお、誘電体基板20の平
面形状は、上述の圧電基板10の平面形状と同一形状と
なっている。
【0023】なお、図では、誘電体基板20の上面主面
に2つの上面電極21,22が形成されており、誘電体
基板20の下面に容量成分を形成すると同時に、外部
(3つのリード端子5)との接続を達成するための下面
電極23,24、25が形成されている。また、上面電
極21と下面電極23とは、誘電体基板20の一方端面
ないし側面に形成される導体膜を介して接続されてお
り、上面電極22と下面電極24とは、誘電体基板20
の他方端面または側面の導体膜を介して接続されてい
る。
【0024】また、接続電極23〜25間でコンデンサ
素子2の幅方向の略全域に接続した第1壁部8aと、そ
の両端で電子部品素子2の幅方向端辺に沿って接続した
第2壁部8bとからなる樹脂囲い8を形成するととも
に、樹脂囲い8がケース4底部上面に接続されている。
図4にコンデンサ素子2と圧電素子1の積層体の外観斜
視図を示すが、この樹脂囲い8は下面電極23、24の
中心から見て誘電体基板20の端面側の辺を除く3方を
コの字形にとり囲む形に形成されている。樹脂囲い8は
エポキシ系接着剤を印刷塗布などにより形成したもの
で、60〜80℃で仮硬化させたものである。
【0025】さらに、誘電体基板20の上面電極21、
22は、その一部が誘電体基板20の下面電極25と対
向している。即ち、誘電体基板20の下面電極25を中
心にみた場合、誘電体基板20の厚みを介して上面電極
21との間で所定容量成分C1が形成され、上面電極2
2との間で所定容量成分C2が形成される。
【0026】このような電極21〜25は、誘電体基板
20の上下主面にAgなどを主成分とする導電性ペース
トをスクリーン印刷、焼きつけによって形成される。
尚、誘電体基板20の下面に形成された23〜25は、
各々リード端子5と接続するための接続電極である。
【0027】上述の圧電素子1とコンデンサ素子2と
は、両基板の当接面側の両端部付近に介在させた接合部
材15によって、両者の間に所定間隔をもって機械的に
接合される。この接合部材15は、所定厚みの導電性接
着シートや導電性接着剤から構成される。必ずしも導電
性である必要はないが、圧電素子1とコンデンサ素子2
の当接面の電極を端面に引き出して、他の電極と接続す
ることが容易になるので導電性であることが望ましい。
【0028】接合部材15の厚みを選択することによっ
て、積層体全体の厚みを所定の厚みに制御することがで
きる。すなわち圧電共振子の共振周波数に応じて圧電素
子の厚みが変わるが、接合部材の厚みを調整して積層体
の全体の厚みを所定厚みにすることができる。これによ
り同じ条件で取り扱うことができ、自動組み立てを容易
にすることができる。
【0029】圧電素子1とコンデンサ素子2の積層体端
面には端面導体膜16が形成される。導電接着剤を転写
法などで塗布したり、スパッタリングなどの薄膜手法で
形成してもよい。これにより圧電素子の振動電極11と
コンデンサ素子の上面電極21、下面(接続)電極23が
電気的に接続される。同様に圧電素子の振動電極12と
コンデンサ素子の上面電極22、下面(接続)電極24が
電気的に接続される。
【0030】ケース4は、ポリエーテルエーテルケトン
(PEEK)などの耐熱性に優れた樹脂材料などから成
り、その上面に開口41を有し、内側に電子部品素子を
収容する内部空間43が形成されている。
【0031】ケース4の内部空間43は、実質的に圧電
素子1及びコンデンサ素子2を積層した積層体を収納す
るに充分な形状となっており、開口41の面積は、ケー
ス4の底面の面積から若干広がるような形状となってお
り、これにより、内部空間内に容易に圧電共振素子1と
コンデンサ素子2との積層体が収容配置できるようにな
っている。また、ケース4の内側側面は、収納した圧電
共振素子1とコンデンサ素子2との積層体がケース中央
部に位置決めしやすいように斜面を形成している。さら
に、ケース4の底部40には、リン青銅、洋白などから
成る金属性部材からなるリード端子5が一体的に成型さ
れている。これら金属の線膨張係数はケース4の線膨張
係数に近いことが望ましく適切なフィラーの種類と配合
量の選択が必要である。
【0032】また、ケース4の一体成型されたリード端
子5は、ケース4の底面から両側面方向に広がるよう2
つに分かれており、ケース4の底部40の下面と外周側
面との成す角部で、屈曲加工が施こされ、その2つの他
端が各々ケース4の側面に延びている。
【0033】ケース4の底部40の内底面は平坦で、中
心線上に3つの円形状の孔部からなる露出接続部5kが
形成され、各孔部の底面(不図示)にはリード端子5が
露出している。露出接続部5kに導電性接着剤7を塗布
して誘電体基板2の下主面を押し付けて、接続電極であ
る下面電極23〜25と露出接続部5kの間に導電性接
着剤7を介在させる。この状態で150〜200℃に加
熱することで導電性接着剤を硬化させて電気的、機械的
に接続させることができる。
【0034】また前記樹脂囲い8は一旦溶融して本硬化
に入るため、導電性接着剤7の硬化と同時に達成するこ
とができる。従ってコンデンサ素子2は、導電性接着剤
7と樹脂囲い8のエポキシ接着剤により樹脂ケース4の
内底面に強固に固定することができる。
【0035】本発明の特徴的なことは、露出接続部5k
に塗布された導電性接着剤7が図4のコンデンサ素子2
0の下面電極23〜25上に記載した点線円部に当接す
るが、点線円部を取り囲む形に樹脂囲い8が形成されて
いるため、加熱硬化時に導電性接着剤7がその表面張力
で広がったとしても、間の樹脂囲い8が障害になって隣
接する下面電極同士の短絡事故に繋がることがないこと
である。
【0036】樹脂囲い8の塗布パターンは図4のよう
に、下面電極23、24を中心から外に向かって囲む形
を示した。とくにコンデンサ素子の幅いっぱいにコの字
パターンを形成することが有効である。これにより導電
性接着剤が樹脂囲い8を迂回して隣接の接続電極に到達
するまでに大きな距離を持たすことができるのである。
樹脂囲い8のパターン線幅は本質ではないが、形成の容
易な50〜100ミクロンに取られる。塗布厚みは30
〜50ミクロンである。
【0037】樹脂囲い8の塗布パターンは図5に示すよ
うな形で中央の下面電極25を両端からコの字形に囲む
ものでもよい。ここで下面電極25を囲む形で、口の字
形に樹脂囲いのパターン形成したものでもよいが、この
場合導電性接着剤の加熱硬化時に発生する溶剤蒸気が抜
けるとき、口の字形パターンの周囲の一辺から蒸気が噴
出し、導電性接着剤を巻き込んで隣接する下面電極に短
絡する可能性がある。従って噴出しても問題発生の少な
い側面でコの字形樹脂囲い81が向き合わせる図5の形
の方が望ましい。
【0038】また図示していないが、図4と図5を合わ
せたものでもよい。すなわち下面電極23を取り囲むコ
の字と、下面電極25を囲むコの字とが背中あわせに配
置されて工の字形になったようなパターンを下面電極2
5の両側に配置したものでもよい。
【0039】樹脂囲い8はエポキシ系接着剤で示したが
その他の樹脂接着剤でもよい。仮硬化後再溶融して使用
するタイプの接着剤が望ましいが、未硬化の接着剤を使
っても同様の効果を得ることができる。またシリコンゴ
ム接着剤であれば樹脂囲い8のパターンを塗布硬化させ
たものでも利用することができる。すなわちシリコンゴ
ムパターンの当接部分にはゴムが密着することで導電性
接着剤の侵入を阻止し、また、シリコンゴム自体が導電
性接着剤を撥く性質を持っており、シリコンゴムの樹脂
囲いの周囲に沿って導電性接着剤が拡がることを効果的
に防止することができる。
【0040】複数のリード端子が露出する孔部に導電性
接着剤を塗布して電子部品素子を接続するとき、電子部
品素子の接続電極間に樹脂囲いが介在するため、加熱硬
化時に隣接の電極方向に導電接着剤が広がることを抑え
ることができ、その結果、短絡事故を確実に防止するこ
とができる。
【0041】とくに接続電極の少なくとも3辺を囲む形
にすることにより、囲みの周囲をまわりこんで隣接する
接続電極間に到達するまでの距離を大きくとることがで
き、短絡を効果的に防止することができる。
【0042】圧電共振子は一層の小型化が要求されてお
り、従来の樹脂ケース内に導電性接着剤の広がりを防止
する溝などの構造が採用できなくなっている。この発明
は当接面に樹脂パターンを介在させるだけで短絡不良を
防止することができ、樹脂ケースの内底面は平坦なもの
でよく、従来導電性接着剤の広がりを抑えるために樹脂
ケース内底面に形成していた各種の接着剤の拡がり防止
機構が不要になり、電子部品の小型低背化が容易に達成
できることになる。
【0043】
【発明の効果】本発明の電子部品によれば、電子部品素
子の接続電極に樹脂囲いが施されているため、ケース底
部上面に配置される複数のリード端子が露出した孔部と
接続電極を導電性接着剤で接続する際に、表面張力で広
がろうとする導電性接着剤を遮り、導電性接着剤の広が
りによる短絡発生を抑えることができる。
【0044】とくに第1、第2壁部からなる樹脂囲いの
パターンを導電性接着剤の接続部をとり囲む形にするこ
とにより広がりを封じ込め、短絡不良の発生のない電子
部品を提供することができる。
【0045】さらに樹脂ケース内底面に導電性接着剤の
拡がり防止機構を形成する必要が無く、キャビティ底面
の平面上に形成できるので電子部品の小型、低背化に有
用な構造を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の電子部品を示す図5のX−X線に沿っ
た縦断面図である。
【図2】本発明の電子部品を示す図5のY−Y線に沿っ
た横断面図である。
【図3】本発明の電子部品に用いられるケースの部分断
面斜視図である。
【図4】本発明の電子部品素子の外観斜視図である。
【図5】本発明の他の実施例を示す電子部品素子の外観
斜視図である。
【図6】本発明による電子部品の外観斜視図である。
【図7】電子部品の一例である容量内蔵型圧電共振子の
等価回路図である。
【図8】従来構造の電子部品を示す図5のX−X線に沿
った縦断面図である。
【図9】従来構造の電子部品を示す図5のY−Y線に沿
った横断面図である。
【図10】従来構造の電子部品のケースの部分断面斜視
図である。
【図11】従来構造の電子部品素子の外観斜視図であ
る。
【符号の説明】
1…圧電素子 2…コンデンサ素子 21、22…上面電極 23、24、25…下面電極 3…封止部材 4…ケース 5…リード端子 5k…開口接続部 6…金属蓋 7…導電性接着剤 8…樹脂囲い 15…接合部材 16…端面導体膜

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 上面が開口するとともに、底部上面の長
    手方向に複数の孔部を形成した直方体状のケースと、 一部が前記孔部から露出するように前記ケースの底部に
    埋め込まれるとともに、両端部が少なくとも前記ケース
    の下面に導出された複数のリード端子と、 複数の接続電極が長手方向に形成された短冊状の電子部
    品素子とからなり、 前記孔部から導電性接着剤を介して前記電子部品素子の
    夫々の接続電極とリード端子とを電気的に接続する電子
    部品において、 前記接続電極間で前記電子部品素子の幅方向の略全域に
    接続した第1壁部と、該第1壁部の両端で電子部品素子
    の幅方向端辺に沿って接続した第2壁部とからなる接続
    電極囲い部を形成するとともに、該接続電極囲い部と前
    記ケース底部上面とが接続されていることを特徴とする
    電子部品。
JP2001095664A 2001-03-29 2001-03-29 電子部品 Pending JP2002299994A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001095664A JP2002299994A (ja) 2001-03-29 2001-03-29 電子部品

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001095664A JP2002299994A (ja) 2001-03-29 2001-03-29 電子部品

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002299994A true JP2002299994A (ja) 2002-10-11

Family

ID=18949681

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001095664A Pending JP2002299994A (ja) 2001-03-29 2001-03-29 電子部品

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002299994A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060556A (ja) * 2010-09-13 2012-03-22 Fujitsu Ltd 振動子の作製方法、振動子作製用マスク、および振動子用パッケージ
US11910720B2 (en) 2019-12-26 2024-02-20 Seiko Epson Corporation Piezoelectric device and MEMS device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012060556A (ja) * 2010-09-13 2012-03-22 Fujitsu Ltd 振動子の作製方法、振動子作製用マスク、および振動子用パッケージ
US11910720B2 (en) 2019-12-26 2024-02-20 Seiko Epson Corporation Piezoelectric device and MEMS device
JP7487473B2 (ja) 2019-12-26 2024-05-21 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス、及びmemsデバイス

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3222220B2 (ja) チップ型圧電共振子の製造方法
EP0889585A2 (en) Electric component having an electronic component device located on a face of a package member with a space therebetween
JPH09307397A (ja) 電子部品
JPH11150153A (ja) 電子部品
US6433466B2 (en) Piezoelectric resonant component
JP4724519B2 (ja) 圧電発振器
US6483401B2 (en) Substrate for packaging electronic component and piezoelectric resonance component using the same
JP4724518B2 (ja) 圧電発振器
JP2002299994A (ja) 電子部品
JPH08237066A (ja) 圧電共振子およびその製造方法
JPH10135771A (ja) 圧電部品
JP3441349B2 (ja) 容量内蔵型圧電共振子
JP2002299993A (ja) 電子部品
JP2000269772A (ja) 電子部品
JP3318507B2 (ja) 容量内蔵型圧電共振子
JP2001274271A (ja) 電子部品装置の製造方法
JP3441350B2 (ja) 容量内蔵型圧電共振子
JP2003224221A (ja) 電子部品
JP2003110399A (ja) 電子部品
JPH11261364A (ja) 電子部品
JP7290062B2 (ja) 圧電振動デバイス用容器および当該容器を用いた圧電振動デバイス
JP2003289233A (ja) 電子部品
JP3450993B2 (ja) 容量内蔵型圧電共振子
JP2003163564A (ja) 電子部品
JP2002043769A (ja) 金属蓋付電子部品