JP2002296006A - 固体を伝搬するレーザ光による測長方法及びそのレーザ光による露光とパターニング方法 - Google Patents
固体を伝搬するレーザ光による測長方法及びそのレーザ光による露光とパターニング方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 信頼性が高く、かつ高い精度を有する固体を
伝搬するレーザ光による測長方法及びそのレーザ光によ
る露光とパターニング方法を提供する。 【解決手段】 ２個の互いに摺動するくさび形プリズム
７，１０を用いて変位に伴い光路が変化する固体光伝搬
路を構成し、複数の光路Ｌ１，Ｌ２の光路差による干渉
に基づいて変位を計測することにより、ナノメートルオ
ーダーの高精度計測を行う。
伝搬するレーザ光による測長方法及びそのレーザ光によ
る露光とパターニング方法を提供する。 【解決手段】 ２個の互いに摺動するくさび形プリズム
７，１０を用いて変位に伴い光路が変化する固体光伝搬
路を構成し、複数の光路Ｌ１，Ｌ２の光路差による干渉
に基づいて変位を計測することにより、ナノメートルオ
ーダーの高精度計測を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固体を伝搬するレ
ーザ光による測長方法及びそのレーザ光による露光とパ
ターニング方法に係り、特に、ナノメートルオーダーの
スケールに関するものである。
ーザ光による測長方法及びそのレーザ光による露光とパ
ターニング方法に係り、特に、ナノメートルオーダーの
スケールに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ光の波長の安定度は高く、特に、
安定なものでは、波長の１０-8以上の安定度が得られて
いる。そのため、精密な計測が必要とされる分野では、
レーザの波長を用いた変位計測が広く用いられている。
安定なものでは、波長の１０-8以上の安定度が得られて
いる。そのため、精密な計測が必要とされる分野では、
レーザの波長を用いた変位計測が広く用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、レーザ
の波長は、光の伝搬する媒体の屈折率の影響を受ける。
波長をλ、屈折率をｎとすると、媒体中の波長はλ／ｎ
となる。レーザが真空中を伝搬する場合は、ｎの揺らぎ
は問題とならないが、空気などの気体中を伝搬する場
合、空気の流れや温度勾配による屈折率のむらが波長の
安定度に影響を与え、真空中の計測と比べ精度の劣化が
生じる。この問題に対し、今までは、なるべく空気の流
れやむらをなくすか、光路を真空にするしか対策がなか
った。
の波長は、光の伝搬する媒体の屈折率の影響を受ける。
波長をλ、屈折率をｎとすると、媒体中の波長はλ／ｎ
となる。レーザが真空中を伝搬する場合は、ｎの揺らぎ
は問題とならないが、空気などの気体中を伝搬する場
合、空気の流れや温度勾配による屈折率のむらが波長の
安定度に影響を与え、真空中の計測と比べ精度の劣化が
生じる。この問題に対し、今までは、なるべく空気の流
れやむらをなくすか、光路を真空にするしか対策がなか
った。
【０００４】そこで、本発明は、レーザの波長は、固
体、特に単結晶を含む均質な媒体では屈折率の局所的な
変動も少なく、温度変化による変動も緩やかであり、し
かも、固体の場合は、必要に応じて固体媒体を温度調節
することも容易であるため、固体内を伝搬するレーザ光
を用いることにより、ナノメートルオーダーのスケール
を得るようにしたものである。
体、特に単結晶を含む均質な媒体では屈折率の局所的な
変動も少なく、温度変化による変動も緩やかであり、し
かも、固体の場合は、必要に応じて固体媒体を温度調節
することも容易であるため、固体内を伝搬するレーザ光
を用いることにより、ナノメートルオーダーのスケール
を得るようにしたものである。
【０００５】本発明は、上記状況に鑑みて、信頼性が高
く、かつ高い精度を有する固体を伝搬するレーザ光によ
る測長方法そのレーザ光による露光とパターニング方法
を提供することを目的とする。
く、かつ高い精度を有する固体を伝搬するレーザ光によ
る測長方法そのレーザ光による露光とパターニング方法
を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕固体を伝搬するレーザ光による測長方法におい
て、２個の互いに摺動するくさび形プリズムを用いて変
位に伴い光路が変化する固体光伝搬路を構成し、複数の
光路の光路差による干渉に基づいて変位を計測すること
により、ナノメートルオーダーの高精度計測を行うこと
を特徴とする。
成するために、 〔１〕固体を伝搬するレーザ光による測長方法におい
て、２個の互いに摺動するくさび形プリズムを用いて変
位に伴い光路が変化する固体光伝搬路を構成し、複数の
光路の光路差による干渉に基づいて変位を計測すること
により、ナノメートルオーダーの高精度計測を行うこと
を特徴とする。
【０００７】〔２〕固体を伝搬するレーザ光による測長
方法において、固体内で内面全反射を生じる、複数本の
レーザ光を前記固体に入射し、その固体内で干渉を生じ
させ、その干渉を反映して、前記固体表面に光路の表面
に対する角度や前記固体の屈折率等によって定まる光近
接場のフリンジを生じさせ、移動部に設けた検出器で前
記フリンジを読み出すことによって、変位や物の大きさ
を計測することを特徴とする。
方法において、固体内で内面全反射を生じる、複数本の
レーザ光を前記固体に入射し、その固体内で干渉を生じ
させ、その干渉を反映して、前記固体表面に光路の表面
に対する角度や前記固体の屈折率等によって定まる光近
接場のフリンジを生じさせ、移動部に設けた検出器で前
記フリンジを読み出すことによって、変位や物の大きさ
を計測することを特徴とする。
【０００８】〔３〕上記〔２〕記載の固体を伝搬するレ
ーザ光による測長方法において、前記光近接場のフリン
ジを光透過性のある試料や金属薄膜の試料に生じさせる
ことにより、長さの基準となる縞模様を試料に重畳する
ことを特徴とする。
ーザ光による測長方法において、前記光近接場のフリン
ジを光透過性のある試料や金属薄膜の試料に生じさせる
ことにより、長さの基準となる縞模様を試料に重畳する
ことを特徴とする。
【０００９】〔４〕固体を伝搬するレーザ光による測長
方法において、固体表面に、積極的に光近接場を伝搬光
に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球の配
列を設け、電場増強をもたらす金属薄膜をコーティング
する固体を全反射面に設け、複数本のレーザ光を前記固
体に入射し、前記複数のレーザ光による内面全反射と干
渉を生じさせ、干渉に対応して縞状に発生した光近接場
をあらかじめ表面に施した処理によって、周期性のある
伝搬光や、周期性のある電界分布を生させ、これによ
り、固体の導波路で、表面に長さの基準となる周期性の
ある物理量が浮き出している物差しを実現することを特
徴とする。
方法において、固体表面に、積極的に光近接場を伝搬光
に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球の配
列を設け、電場増強をもたらす金属薄膜をコーティング
する固体を全反射面に設け、複数本のレーザ光を前記固
体に入射し、前記複数のレーザ光による内面全反射と干
渉を生じさせ、干渉に対応して縞状に発生した光近接場
をあらかじめ表面に施した処理によって、周期性のある
伝搬光や、周期性のある電界分布を生させ、これによ
り、固体の導波路で、表面に長さの基準となる周期性の
ある物理量が浮き出している物差しを実現することを特
徴とする。
【００１０】〔５〕固体を伝搬するレーザ光による露光
とパターニング方法において、固体表面に感光性のある
レジストを塗布し、周期性のある光近接場を伝搬光に変
換したもので露光を行い、これにより、レジストのパタ
ーニングを行い、そのパターニング後、金属蒸着、レジ
ストの除去を行うことにより、金属の目盛りを有する導
波路を得ることを特徴とする。
とパターニング方法において、固体表面に感光性のある
レジストを塗布し、周期性のある光近接場を伝搬光に変
換したもので露光を行い、これにより、レジストのパタ
ーニングを行い、そのパターニング後、金属蒸着、レジ
ストの除去を行うことにより、金属の目盛りを有する導
波路を得ることを特徴とする。
【００１１】〔６〕固体を伝搬するレーザ光による測長
方法において、固体表面に生じた、周期性のある物理量
を読み出すために、走査型光近接場顕微鏡のプローブ
や、１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有する基
板を用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変換
し、基板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化を光検出素
子で検出し、それにより移動部の固体光導波路に対する
相対変位を計測することを特徴とする。
方法において、固体表面に生じた、周期性のある物理量
を読み出すために、走査型光近接場顕微鏡のプローブ
や、１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有する基
板を用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変換
し、基板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化を光検出素
子で検出し、それにより移動部の固体光導波路に対する
相対変位を計測することを特徴とする。
【００１２】〔７〕上記〔２〕、〔３〕、〔４〕または
〔６〕記載の固体を伝搬するレーザ光による測長方法に
おいて、光音響素子を用いて、光近接場がある角周波数
ωで変位するようにすると、移動部が変位しない場合に
光がωで変位し、移動子が変位すると、変位に応じて位
相の回転を生じ、それにより変位を計測することを特徴
とする。
〔６〕記載の固体を伝搬するレーザ光による測長方法に
おいて、光音響素子を用いて、光近接場がある角周波数
ωで変位するようにすると、移動部が変位しない場合に
光がωで変位し、移動子が変位すると、変位に応じて位
相の回転を生じ、それにより変位を計測することを特徴
とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
【００１４】図１は本発明の第１実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光によるマイケルソン干渉測長装置の構成
図、図２は一般的なマイケルソン干渉計であり、図３は
本発明の第１実施例を示すマイケルソン干渉測長システ
ムの模式図である。
搬するレーザ光によるマイケルソン干渉測長装置の構成
図、図２は一般的なマイケルソン干渉計であり、図３は
本発明の第１実施例を示すマイケルソン干渉測長システ
ムの模式図である。
【００１５】図１において、固定部１には、レーザ２、
偏光板３、波長板４、ビームスプリッタ５、光検出器
（ＰＤ）６、小さいくさびプリズム７が搭載されてい
る。
偏光板３、波長板４、ビームスプリッタ５、光検出器
（ＰＤ）６、小さいくさびプリズム７が搭載されてい
る。
【００１６】一方、移動部９には、大きいくさびプリズ
ム１０が搭載され、固定部１と移動部９の摺動面にはイ
ンデックスマッチング液１１が設けられている。
ム１０が搭載され、固定部１と移動部９の摺動面にはイ
ンデックスマッチング液１１が設けられている。
【００１７】このように、固定部１と移動部９の摺動面
にインデックスマッチング液１１を塗布した小さいくさ
びプリズム７と大きいくさびプリズム１０からなる固体
導波路内にレーザ光８を入射し、干渉を生じさせる。つ
まり、レーザ干渉計を構成する。
にインデックスマッチング液１１を塗布した小さいくさ
びプリズム７と大きいくさびプリズム１０からなる固体
導波路内にレーザ光８を入射し、干渉を生じさせる。つ
まり、レーザ干渉計を構成する。
【００１８】以下、そのマイケルソン干渉測長システム
による測長について説明する。
による測長について説明する。
【００１９】上記したように、互いに摺動する固体導波
路内にレーザ干渉計を構成する。摺動面には屈折率を固
体と同じくしたインデックスマッチング液１１を入れ
る。図２には一般的なマイケルソン干渉計が示されてお
り、この図において、１００は固定側であり、光源１０
１、偏光板１０２、波長板１０３、ビームスプリッタ１
０４、固定ミラー１０５、受光素子１０６を有してい
る。１０７は移動ミラー、Ｌ１，Ｌ２は光路である。
路内にレーザ干渉計を構成する。摺動面には屈折率を固
体と同じくしたインデックスマッチング液１１を入れ
る。図２には一般的なマイケルソン干渉計が示されてお
り、この図において、１００は固定側であり、光源１０
１、偏光板１０２、波長板１０３、ビームスプリッタ１
０４、固定ミラー１０５、受光素子１０６を有してい
る。１０７は移動ミラー、Ｌ１，Ｌ２は光路である。
【００２０】このマイケルソン干渉計は、伝搬媒体は空
気、若しくは真空の場合が多い。光路Ｌ１と光路Ｌ２の
差によって光の干渉を強め合ったり、弱め合うように作
用し、その結果、干渉の明暗を生じる。この明暗は受光
素子１０６で検出される。光路中の屈折率が一定であれ
ば、図２で示した構成で移動ミラーの変位が正確に計測
可能である。しかし、媒体が空気の場合、屈折率の揺ら
ぎによって、変位が生じていなくても光路に差を生じ、
変位計測に誤差を生じる場合がある。そのため干渉計に
おいて重要なことは、干渉の対象となる、複数の光路
の、屈折率の変動を抑えることである。
気、若しくは真空の場合が多い。光路Ｌ１と光路Ｌ２の
差によって光の干渉を強め合ったり、弱め合うように作
用し、その結果、干渉の明暗を生じる。この明暗は受光
素子１０６で検出される。光路中の屈折率が一定であれ
ば、図２で示した構成で移動ミラーの変位が正確に計測
可能である。しかし、媒体が空気の場合、屈折率の揺ら
ぎによって、変位が生じていなくても光路に差を生じ、
変位計測に誤差を生じる場合がある。そのため干渉計に
おいて重要なことは、干渉の対象となる、複数の光路
の、屈折率の変動を抑えることである。
【００２１】図３は本発明にかかる干渉測長システムの
模式図であり、図１に対応させた符号が付与されてい
る。ここで、Ａは固定ミラー、Ｂは大きいくさび形プリ
ズム１０に設けられる移動ミラーである。
模式図であり、図１に対応させた符号が付与されてい
る。ここで、Ａは固定ミラー、Ｂは大きいくさび形プリ
ズム１０に設けられる移動ミラーである。
【００２２】この干渉測長システムは、干渉の対象とな
る２個の光路Ｌ１，Ｌ２の大部分が固体内を伝搬する構
成になっている。この干渉測長システムと、図２の一般
的なマイケルソン干渉計の構成とを対比すると、その相
違点は、光路Ｌ２の光路が２個のくさび形プリズム７，
１０からなる点であり、光路Ｌ１が極力短く構成され、
光路Ｌ１に対応するミラーＡがビームスプリッタ５に近
接して設置されている点である。２個のくさび形プリズ
ム７，１０はその斜めの面を互いに摺動させる。その摺
動面は屈折率がプリズムと同一のインデックスマッチン
グ液１１で満たされている。
る２個の光路Ｌ１，Ｌ２の大部分が固体内を伝搬する構
成になっている。この干渉測長システムと、図２の一般
的なマイケルソン干渉計の構成とを対比すると、その相
違点は、光路Ｌ２の光路が２個のくさび形プリズム７，
１０からなる点であり、光路Ｌ１が極力短く構成され、
光路Ｌ１に対応するミラーＡがビームスプリッタ５に近
接して設置されている点である。２個のくさび形プリズ
ム７，１０はその斜めの面を互いに摺動させる。その摺
動面は屈折率がプリズムと同一のインデックスマッチン
グ液１１で満たされている。
【００２３】以上の構成により、干渉光路が固体中を伝
搬する干渉計が実現される。
搬する干渉計が実現される。
【００２４】よって、ナノメートルオーダーの高精度計
測がはじめて可能となった。
測がはじめて可能となった。
【００２５】本発明は、固体内を伝搬するレーザ光を用
いたレーザ干渉計である。固体中の屈折率は急激には変
わることがなく、また、単結晶などの均質な材料を用い
ることにより、屈折率の局所的な変動を大きく抑えるこ
とが可能となる。固体の屈折率は温度により変動し得る
が、その変化は緩やかなものであり、また、近年の精密
な温度制御技術を用いることにより、屈折率の変動幅を
小さく抑えることが可能である。
いたレーザ干渉計である。固体中の屈折率は急激には変
わることがなく、また、単結晶などの均質な材料を用い
ることにより、屈折率の局所的な変動を大きく抑えるこ
とが可能となる。固体の屈折率は温度により変動し得る
が、その変化は緩やかなものであり、また、近年の精密
な温度制御技術を用いることにより、屈折率の変動幅を
小さく抑えることが可能である。
【００２６】以上の理由から、固体内伝搬式のレーザ干
渉計は、正確な変位や、物の大きさを計測する上で極め
て有効、かつ信頼性の高いものとなる。
渉計は、正確な変位や、物の大きさを計測する上で極め
て有効、かつ信頼性の高いものとなる。
【００２７】図４は本発明の第２実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００２８】この図において、２１はプリズムホルダ、
２２はプリズム、２３は縞状に並んだ光近接場、２４は
直動案内機構固定部、２５は直動案内機構移動部、２６
はその移動部にセットされるフォトダイオード、２７は
そのフォトダイオード２６の先端部に設けられるＳＮＯ
Ｍプローブやカンチレバーなどの走査型光近接場プロー
ブである。
２２はプリズム、２３は縞状に並んだ光近接場、２４は
直動案内機構固定部、２５は直動案内機構移動部、２６
はその移動部にセットされるフォトダイオード、２７は
そのフォトダイオード２６の先端部に設けられるＳＮＯ
Ｍプローブやカンチレバーなどの走査型光近接場プロー
ブである。
【００２９】この実施例では、固体（プリズム）２２内
伝搬レーザ光２８，２９の、固体（プリズム）２２の表
面において生じる光近接場２３の干渉フリンジを固体導
波路の表面で走査型光近接場プローブ２７により検出
し、並進変位を計測することができる。なお、プリズム
２２は直角プリズムでも、ガラス平板にプリズムを貼り
付け、光を平板内に導入したものでもよい。
伝搬レーザ光２８，２９の、固体（プリズム）２２の表
面において生じる光近接場２３の干渉フリンジを固体導
波路の表面で走査型光近接場プローブ２７により検出
し、並進変位を計測することができる。なお、プリズム
２２は直角プリズムでも、ガラス平板にプリズムを貼り
付け、光を平板内に導入したものでもよい。
【００３０】このようにして、固体内で内面全反射を生
じる、複数本のレーザ光２８，２９を固体（プリズム）
２２に入射し、固体（プリズム）２２内で干渉を生じさ
せる。これにより、干渉を反映して、固体表面にエバネ
セント場の縞状の分布（フリンジ）が生じる。このフリ
ンジの間隔は波長、光路の表面に対する角度、固体の屈
折率等によって定まる。移動部２５に設けた検出器（フ
ォトダイオード）２６でこのフリンジを読み出すことに
よって、変位や物の大きさを知ることが可能となる。
じる、複数本のレーザ光２８，２９を固体（プリズム）
２２に入射し、固体（プリズム）２２内で干渉を生じさ
せる。これにより、干渉を反映して、固体表面にエバネ
セント場の縞状の分布（フリンジ）が生じる。このフリ
ンジの間隔は波長、光路の表面に対する角度、固体の屈
折率等によって定まる。移動部２５に設けた検出器（フ
ォトダイオード）２６でこのフリンジを読み出すことに
よって、変位や物の大きさを知ることが可能となる。
【００３１】図５は本発明の第３実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００３２】この図において、３１はプリズムホルダ、
３２は光透過性試料（プリズム）、３３は縞状に発生し
た光近接場、３４は被測定対象、３５は光検出器（Ｐ
Ｄ）、３６は走査型光近接場プローブ（ＳＮＯＭプロー
ブ）、３７，３８は入射するレーザ光である。
３２は光透過性試料（プリズム）、３３は縞状に発生し
た光近接場、３４は被測定対象、３５は光検出器（Ｐ
Ｄ）、３６は走査型光近接場プローブ（ＳＮＯＭプロー
ブ）、３７，３８は入射するレーザ光である。
【００３３】光透過性試料（プリズム）３２に被測定対
象３４がパターニングされている場合、表面に光近接場
３３のフリンジを発生させ、光透過性試料３２の寸法を
フリンジ間隔から測定する。なお、光透過性試料３２は
直角プリズムでも、ガラス平板にプリズムを貼り付け、
光を平板内に導入したものでもよい。
象３４がパターニングされている場合、表面に光近接場
３３のフリンジを発生させ、光透過性試料３２の寸法を
フリンジ間隔から測定する。なお、光透過性試料３２は
直角プリズムでも、ガラス平板にプリズムを貼り付け、
光を平板内に導入したものでもよい。
【００３４】図６は本発明の第４実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００３５】この図において、４１はプリズムホルダ、
４２はプリズム、４３はプリズム４２の表面に形成され
た金属薄膜、４４は縞状に並んだ光近接場、４５は直動
案内機構固定部、４６は直動案内機構移動部、４７はそ
の移動部にセットされるフォトダイオード、４８はその
フォトダイオード４７の先端部に設けられるＳＮＯＭプ
ローブやカンチレバーなどの走査型光近接場プローブで
ある。
４２はプリズム、４３はプリズム４２の表面に形成され
た金属薄膜、４４は縞状に並んだ光近接場、４５は直動
案内機構固定部、４６は直動案内機構移動部、４７はそ
の移動部にセットされるフォトダイオード、４８はその
フォトダイオード４７の先端部に設けられるＳＮＯＭプ
ローブやカンチレバーなどの走査型光近接場プローブで
ある。
【００３６】この実施例では、固体導波路の表面に光近
接場を乱すような波長以下の凹凸や電場増強のための金
属薄膜４３を設け、複数本のレーザ光４９，５０を固体
（プリズム）４２に入射し、それによって導波路内部の
レーザ干渉フリンジや電界のフリンジを固体導波路の表
面で検出し、移動部の並進変位を測定する。なお、プリ
ズム４２は直角プリズムでも、ガラス平板にプリズムを
貼り付け、光を平板内に導入したものでもよい。
接場を乱すような波長以下の凹凸や電場増強のための金
属薄膜４３を設け、複数本のレーザ光４９，５０を固体
（プリズム）４２に入射し、それによって導波路内部の
レーザ干渉フリンジや電界のフリンジを固体導波路の表
面で検出し、移動部の並進変位を測定する。なお、プリ
ズム４２は直角プリズムでも、ガラス平板にプリズムを
貼り付け、光を平板内に導入したものでもよい。
【００３７】図７は本発明の第５実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００３８】この図において、５１はプリズムホルダ、
５２はプリズム、５３は縞状に発生した光近接場とそれ
により縞状に発生した伝搬光、５４は金属薄膜、５５は
レジスト膜、５６，５７は複数本のレーザ光である。
５２はプリズム、５３は縞状に発生した光近接場とそれ
により縞状に発生した伝搬光、５４は金属薄膜、５５は
レジスト膜、５６，５７は複数本のレーザ光である。
【００３９】この実施例では、縞状に発生した近接場と
それにより縞状に発生した伝搬光５３を用いて、波長以
下のレベルでレジスト膜５５の露光を行い、レジスト膜
５５のパターニングを行う。これにより、プリズム５２
上に塗布したレジストのパターニングが可能となる。
それにより縞状に発生した伝搬光５３を用いて、波長以
下のレベルでレジスト膜５５の露光を行い、レジスト膜
５５のパターニングを行う。これにより、プリズム５２
上に塗布したレジストのパターニングが可能となる。
【００４０】得られたレジスト膜５５をマスクとして金
属薄膜５４のエッチングを行うと、その目盛りを測長の
基準や、回路パターン、光学グレーチングとして用いる
ことが可能になる。目盛りの間隔は波長を基準としてい
る。なお、プリズム５２は直角プリズムでも、ガラス平
板にプリズムを貼り付け、光を平板内に導入したもので
もよい。
属薄膜５４のエッチングを行うと、その目盛りを測長の
基準や、回路パターン、光学グレーチングとして用いる
ことが可能になる。目盛りの間隔は波長を基準としてい
る。なお、プリズム５２は直角プリズムでも、ガラス平
板にプリズムを貼り付け、光を平板内に導入したもので
もよい。
【００４１】図８は本発明の第６実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００４２】この図において、６１はプリズムホルダ、
６２はプリズム、６３は縞状に発生した光近接場、６４
はレジスト膜、６５は金属薄膜、６６は基板、６７，６
８は複数本のレーザ光である。
６２はプリズム、６３は縞状に発生した光近接場、６４
はレジスト膜、６５は金属薄膜、６６は基板、６７，６
８は複数本のレーザ光である。
【００４３】この実施例では、レジスト膜６４、金属薄
膜６５及び基板６６からなるものをプリズム６２面に押
し当て、レジスト膜６４を露光する。
膜６５及び基板６６からなるものをプリズム６２面に押
し当て、レジスト膜６４を露光する。
【００４４】縞状に発生した光近接場を用いて、波長以
下のレベルでレジスト膜６４の露光を行うことにより、
基板６６上に塗布したレジスト膜６４のパターニングが
可能となる。得られたレジスト膜６４をマスクとして金
属薄膜６５のエッチングを行うと、その目盛りを測長の
基準や、回路パターン、光学グレーチングとして用いる
ことが可能になる。目盛りの間隔は波長を基準としてい
る。プリズム６２は直角プリズムでも、ガラス平板にプ
リズムを貼り付け、光を平板内に導入したものでもよ
い。
下のレベルでレジスト膜６４の露光を行うことにより、
基板６６上に塗布したレジスト膜６４のパターニングが
可能となる。得られたレジスト膜６４をマスクとして金
属薄膜６５のエッチングを行うと、その目盛りを測長の
基準や、回路パターン、光学グレーチングとして用いる
ことが可能になる。目盛りの間隔は波長を基準としてい
る。プリズム６２は直角プリズムでも、ガラス平板にプ
リズムを貼り付け、光を平板内に導入したものでもよ
い。
【００４５】上記した第５及び第６実施例により、光近
接場のフリンジを、光透過性のある試料や、金属薄膜の
試料に生じさせることにより、長さの基準となる縞模様
を試料に重畳することが可能となる。これは、ナノメー
トルオーダーの物差しの目盛りを試料に張りつけて、試
料の特定の部分の大きさを計測することに等しい。
接場のフリンジを、光透過性のある試料や、金属薄膜の
試料に生じさせることにより、長さの基準となる縞模様
を試料に重畳することが可能となる。これは、ナノメー
トルオーダーの物差しの目盛りを試料に張りつけて、試
料の特定の部分の大きさを計測することに等しい。
【００４６】また、固体表面に感光性のあるレジストを
塗布し、上記方法により生じた周期性のある光近接場を
伝搬光に変換したもので露光を行う。これにより、レジ
ストのパターニングが可能となる。パターニングの後、
金属蒸着、レジストの除去を行うことにより、金属の目
盛りを有する導波路が実現する。
塗布し、上記方法により生じた周期性のある光近接場を
伝搬光に変換したもので露光を行う。これにより、レジ
ストのパターニングが可能となる。パターニングの後、
金属蒸着、レジストの除去を行うことにより、金属の目
盛りを有する導波路が実現する。
【００４７】この目盛りを長さの基準として変位や物の
大きさを知ることが可能となる。また、この波長を反映
した金属ストライプのある表面に、上記の方法による光
近接場の縞を生じさせ、さらに光音響素子によりその縞
を意図する方向に走らせることにより、固定周期構造
と、変位する周期性物理量を用いて変位を知ることが可
能となる。
大きさを知ることが可能となる。また、この波長を反映
した金属ストライプのある表面に、上記の方法による光
近接場の縞を生じさせ、さらに光音響素子によりその縞
を意図する方向に走らせることにより、固定周期構造
と、変位する周期性物理量を用いて変位を知ることが可
能となる。
【００４８】図９は本発明の第７実施例を示す固体を伝
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００４９】この図において、７１はプリズムホルダ、
７２はプリズム、７３は縞状に発生した光近接場、７４
は直動案内機構固定部、７５は直動案内機構移動部、７
６はその移動部７５にセットされる複数個並んだ受光素
子、７７はスリットアレーまたはカンチレバーアレー、
７８，７９は複数本のレーザ光である。
７２はプリズム、７３は縞状に発生した光近接場、７４
は直動案内機構固定部、７５は直動案内機構移動部、７
６はその移動部７５にセットされる複数個並んだ受光素
子、７７はスリットアレーまたはカンチレバーアレー、
７８，７９は複数本のレーザ光である。
【００５０】固体表面に生じた周期性のある物理量を読
み出すためには、走査型光近接場顕微鏡のプローブや、
１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有する基板を
用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変換し、基
板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化をフォトダイオー
ドなどの光検出素子で検出する。それにより移動部の、
固体光導波路に対する相対変位を知ることが可能とな
る。光音響素子を用いて、光エバネセント場がある角周
波数ωで変位するようにすると、移動子が変位しない場
合に光がωで変位し、移動子が変位すると、変位に応じ
て位相の回転を生じ、それにより変位を知ることにな
る。
み出すためには、走査型光近接場顕微鏡のプローブや、
１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有する基板を
用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変換し、基
板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化をフォトダイオー
ドなどの光検出素子で検出する。それにより移動部の、
固体光導波路に対する相対変位を知ることが可能とな
る。光音響素子を用いて、光エバネセント場がある角周
波数ωで変位するようにすると、移動子が変位しない場
合に光がωで変位し、移動子が変位すると、変位に応じ
て位相の回転を生じ、それにより変位を知ることにな
る。
【００５１】図１０は本発明の第８実施例を示す固体を
伝搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
伝搬するレーザ光による測長装置の構成図である。
【００５２】この実施例においては、装置の構造は第７
実施例と同様であるが、レーザの波長が異なったものを
入射する。つまり、第１の波長ｆ０のレーザ光８１と、
それを変調した第２の波長ｆ０＋Δｆのレーザ光８２を
用いる。
実施例と同様であるが、レーザの波長が異なったものを
入射する。つまり、第１の波長ｆ０のレーザ光８１と、
それを変調した第２の波長ｆ０＋Δｆのレーザ光８２を
用いる。
【００５３】この方法は、固体に入射するレーザ光の一
本か複数本の波長を光音響素子等で変調することによ
り、周波数差を持った光が干渉することになり、固体表
面を、周波数差によって変位するフリンジを構成するこ
とが可能となる。
本か複数本の波長を光音響素子等で変調することによ
り、周波数差を持った光が干渉することになり、固体表
面を、周波数差によって変位するフリンジを構成するこ
とが可能となる。
【００５４】これにより、変位計測を周波数や位相計測
の形で実現することになり、より正確な変位計測が可能
となる。
の形で実現することになり、より正確な変位計測が可能
となる。
【００５５】また、固体表面に、積極的に光近接場を伝
搬光に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球
の配列を設けたり、電場増強をもたらす金属薄膜をコー
ティングする。そのような固体を光導波路として用い、
上記と同様に複数のレーザ光による内面全反射と干渉を
生じさせる。干渉に対応して縞状に発生した光近接場は
あらかじめ表面に施した処理によって、周期性のある伝
搬光や、周期性のある電界分布を生じる。
搬光に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球
の配列を設けたり、電場増強をもたらす金属薄膜をコー
ティングする。そのような固体を光導波路として用い、
上記と同様に複数のレーザ光による内面全反射と干渉を
生じさせる。干渉に対応して縞状に発生した光近接場は
あらかじめ表面に施した処理によって、周期性のある伝
搬光や、周期性のある電界分布を生じる。
【００５６】これにより、固体の導波路で、表面に長さ
の基準となる周期性のある物理量が浮き出している物差
しが実現される。この方法においても、レーザ光の一本
か複数本を光音響素子で周波数変調することにより、表
面の物理量の周期構造を意図する方向に変位させること
が可能となる。更に、変位計測を周波数や位相計測で行
うことが可能になり、さらに計測の精度を高めることが
可能となる。
の基準となる周期性のある物理量が浮き出している物差
しが実現される。この方法においても、レーザ光の一本
か複数本を光音響素子で周波数変調することにより、表
面の物理量の周期構造を意図する方向に変位させること
が可能となる。更に、変位計測を周波数や位相計測で行
うことが可能になり、さらに計測の精度を高めることが
可能となる。
【００５７】なお、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００５８】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、以下のような効果を奏することができる。
よれば、以下のような効果を奏することができる。
【００５９】（Ａ）固体内伝搬式のレーザ干渉計は、正
確な変位や、物の大きさを計測する上で極めて有効、か
つ信頼性の高いものとなる。
確な変位や、物の大きさを計測する上で極めて有効、か
つ信頼性の高いものとなる。
【００６０】（Ｂ）固体（プリズム）内伝搬レーザ光
の、固体（プリズム）の表面において生じる光近接場の
干渉フリンジを固体導波路の表面で走査型光近接場プロ
ーブ等により検出し、並進変位を計測することができ
る。
の、固体（プリズム）の表面において生じる光近接場の
干渉フリンジを固体導波路の表面で走査型光近接場プロ
ーブ等により検出し、並進変位を計測することができ
る。
【００６１】（Ｃ）光透過性のある基板（プリズム）に
被測定対象がパターニングされている場合、表面に光近
接場のフリンジを発生させ、試料の寸法をフリンジ間隔
から測定することができる。
被測定対象がパターニングされている場合、表面に光近
接場のフリンジを発生させ、試料の寸法をフリンジ間隔
から測定することができる。
【００６２】（Ｄ）固体導波路の表面に光近接場を乱す
ような波長以下の凹凸や電場増強のための金属薄膜を設
け、それによって導波路内部のレーザ干渉フリンジや電
界のフリンジを固体導波路の表面で検出し、移動部の並
進変位を測定することができる。
ような波長以下の凹凸や電場増強のための金属薄膜を設
け、それによって導波路内部のレーザ干渉フリンジや電
界のフリンジを固体導波路の表面で検出し、移動部の並
進変位を測定することができる。
【００６３】（Ｅ）縞状に発生した光近接場を用いて、
波長以下のレベルでレジスト膜の露光を行い、レジスト
膜のパターニングを行う。これにより、プリズム上に塗
布したレジストのパターニングが可能となる。
波長以下のレベルでレジスト膜の露光を行い、レジスト
膜のパターニングを行う。これにより、プリズム上に塗
布したレジストのパターニングが可能となる。
【００６４】（Ｆ）光近接場のフリンジを光透過性のあ
る試料や金属薄膜の試料に生じさせることにより、長さ
の基準となる縞模様を試料に重畳することが可能とな
る。
る試料や金属薄膜の試料に生じさせることにより、長さ
の基準となる縞模様を試料に重畳することが可能とな
る。
【００６５】（Ｇ）固体に入射するレーザ光の一本か複
数本の波長を光音響素子等で変調することにより、周波
数差を持った光が干渉することになり、固体表面を周波
数差によって変位するフリンジを構成することが可能と
なる。これにより、変位計測を周波数や位相計測の形で
実現することになり、より正確な変位計測が可能とな
る。
数本の波長を光音響素子等で変調することにより、周波
数差を持った光が干渉することになり、固体表面を周波
数差によって変位するフリンジを構成することが可能と
なる。これにより、変位計測を周波数や位相計測の形で
実現することになり、より正確な変位計測が可能とな
る。
【００６６】（Ｈ）前項と同様に光近接場のフリンジを
光透過性のある試料や金属薄膜の試料に生じさせること
により、長さの基準となる縞模様を試料に重畳すること
が可能となる。これは、ナノメートルオーダーの物差し
の目盛りを試料に張りつけて、試料の特定の部分の大き
さを計測することに等しい。
光透過性のある試料や金属薄膜の試料に生じさせること
により、長さの基準となる縞模様を試料に重畳すること
が可能となる。これは、ナノメートルオーダーの物差し
の目盛りを試料に張りつけて、試料の特定の部分の大き
さを計測することに等しい。
【００６７】（Ｉ）固体表面に、積極的に光近接場を伝
搬光に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球
の配列を設けたり、電場増強をもたらす金属薄膜をコー
ティングする。そのような固体を全反射面に設け、複数
のレーザ光による内面全反射と干渉を生じさせる。干渉
に対応して縞状に発生した光近接場はあらかじめ表面に
施した処理によって、周期性のある伝搬光や、周期性の
ある電界分布を生じる。これにより、固体の導波路で、
表面に長さの基準となる周期性のある物理量が浮き出し
ている物差しが実現される。この方法においても、レー
ザ光の一本か複数本を光音響素子で周波数変調すること
により、表面の物理量の周期構造を意図する方向に変位
させることが可能となる。これにより、変位計測を周波
数や位相計測で行うことが可能になり、さらに計測の精
度を高めることが可能となる。
搬光に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球
の配列を設けたり、電場増強をもたらす金属薄膜をコー
ティングする。そのような固体を全反射面に設け、複数
のレーザ光による内面全反射と干渉を生じさせる。干渉
に対応して縞状に発生した光近接場はあらかじめ表面に
施した処理によって、周期性のある伝搬光や、周期性の
ある電界分布を生じる。これにより、固体の導波路で、
表面に長さの基準となる周期性のある物理量が浮き出し
ている物差しが実現される。この方法においても、レー
ザ光の一本か複数本を光音響素子で周波数変調すること
により、表面の物理量の周期構造を意図する方向に変位
させることが可能となる。これにより、変位計測を周波
数や位相計測で行うことが可能になり、さらに計測の精
度を高めることが可能となる。
【００６８】（Ｊ）固体表面に感光性のあるレジストを
塗布し、上記方法により生じた周期性のある光近接場を
伝搬光に変換したもので露光を行う。これにより、レジ
ストのパターニングが可能となる。パターニングの後、
金属蒸着、レジストの除去を行うことにより、金属の目
盛りを有する導波路が実現する。
塗布し、上記方法により生じた周期性のある光近接場を
伝搬光に変換したもので露光を行う。これにより、レジ
ストのパターニングが可能となる。パターニングの後、
金属蒸着、レジストの除去を行うことにより、金属の目
盛りを有する導波路が実現する。
【００６９】この目盛りを長さの基準として変位や物の
大きさを知ることが可能となる。また、この波長を反映
した金属ストライプのある表面に、上記の方法による光
近接場の縞を生じさせ、さらに光音響素子によりその縞
を意図する方向に走らせることにより、固定周期構造
と、変位する周期性物理量を用いて変位を知ることが可
能となる。
大きさを知ることが可能となる。また、この波長を反映
した金属ストライプのある表面に、上記の方法による光
近接場の縞を生じさせ、さらに光音響素子によりその縞
を意図する方向に走らせることにより、固定周期構造
と、変位する周期性物理量を用いて変位を知ることが可
能となる。
【００７０】（Ｋ）固体表面に生じた、周期性のある物
理量を読み出すためには、走査型光近接場顕微鏡のプロ
ーブや、１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有す
る基板を用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変
換し、基板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化をフォト
ダイオードなどの光検出素子で検出する。それにより移
動部の固体光導波路に対する相対変位を知ることが可能
となる。光音響素子を用いて、光エバネセント場がある
角周波数ωで変位するようにすると移動子が変位しない
場合に光がωで変位し、移動部が変位すると、変位に応
じて位相の回転を生じ、それにより変位を知ることにな
る。
理量を読み出すためには、走査型光近接場顕微鏡のプロ
ーブや、１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有す
る基板を用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変
換し、基板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化をフォト
ダイオードなどの光検出素子で検出する。それにより移
動部の固体光導波路に対する相対変位を知ることが可能
となる。光音響素子を用いて、光エバネセント場がある
角周波数ωで変位するようにすると移動子が変位しない
場合に光がωで変位し、移動部が変位すると、変位に応
じて位相の回転を生じ、それにより変位を知ることにな
る。
【図１】本発明の第１実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図２】一般的なマイケルソン干渉計を示す図である。
【図３】本発明の第１実施例を示すマイケルソン干渉測
長システムの模式図である。
長システムの模式図である。
【図４】本発明の第２実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図７】本発明の第５実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図８】本発明の第６実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図９】本発明の第７実施例を示す固体を伝搬するレー
ザ光による測長装置の構成図である。
ザ光による測長装置の構成図である。
【図１０】本発明の第８実施例を示す固体を伝搬するレ
ーザ光による測長装置の構成図である。
ーザ光による測長装置の構成図である。
１ 固定部 ２ レーザ ３ 偏光板 ４ 波長板 ５，１０４ ビームスプリッタ ６，３５ 光検出器（ＰＤ） ７ 小さいくさびプリズム ８，２８，２９，４９，５０，５６，５７，６７，６
８，７８，７９ 複数本のレーザ光 ９ 移動部 １０ 大きいくさびプリズム １１ インデックスマッチング液 Ａ 固定ミラー Ｂ 移動ミラー ２１，３１，４１，５１，６１，７１ プリズムホル
ダ ２２，４２，５２，６２，７２ プリズム ２３，４４ 縞状に並んだ光近接場 ２４，４５，７４ 直動案内機構固定部 ２５，４６，７５ 直動案内機構移動部 ２６，４７ フォトダイオード ２７，４８ 走査型光近接場プローブ（ＳＮＯＭプロ
ーブやカンチレバー） ３２ 光透過性試料（プリズム） ３３，６３，７３ 縞状に発生した近接場 ３４ 被測定対象 ３６ 走査型光近接場プローブ（ＳＮＯＭプローブ） ３７，３８ 入射するレーザ光 ４３，５４，６５ 金属薄膜 ５３ 縞状に発生した近接場とそれにより縞状に発生
した伝搬光 ５５，６４ レジスト膜 ６６ 基板 ７６ 複数個並んだ受光素子 ７７ スリットアレーまたはカンチレバーアレー ８１ 第１の波長ｆ０のレーザ光 ８２ 第２の波長ｆ０＋Δｆのレーザ光 １００ 固定側 １０１ 光源 １０２ 偏光板 １０３ 波長板 １０５ 固定ミラー １０６ 受光素子 １０７ 移動ミラー
８，７８，７９ 複数本のレーザ光 ９ 移動部 １０ 大きいくさびプリズム １１ インデックスマッチング液 Ａ 固定ミラー Ｂ 移動ミラー ２１，３１，４１，５１，６１，７１ プリズムホル
ダ ２２，４２，５２，６２，７２ プリズム ２３，４４ 縞状に並んだ光近接場 ２４，４５，７４ 直動案内機構固定部 ２５，４６，７５ 直動案内機構移動部 ２６，４７ フォトダイオード ２７，４８ 走査型光近接場プローブ（ＳＮＯＭプロ
ーブやカンチレバー） ３２ 光透過性試料（プリズム） ３３，６３，７３ 縞状に発生した近接場 ３４ 被測定対象 ３６ 走査型光近接場プローブ（ＳＮＯＭプローブ） ３７，３８ 入射するレーザ光 ４３，５４，６５ 金属薄膜 ５３ 縞状に発生した近接場とそれにより縞状に発生
した伝搬光 ５５，６４ レジスト膜 ６６ 基板 ７６ 複数個並んだ受光素子 ７７ スリットアレーまたはカンチレバーアレー ８１ 第１の波長ｆ０のレーザ光 ８２ 第２の波長ｆ０＋Δｆのレーザ光 １００ 固定側 １０１ 光源 １０２ 偏光板 １０３ 波長板 １０５ 固定ミラー １０６ 受光素子 １０７ 移動ミラー
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F064 AA01 BB05 CC04 EE01 FF01 GG00 GG12 GG13 GG22 GG32 GG37 HH01 JJ01 2F065 AA09 AA21 CC31 FF00 FF52 GG04 JJ01 JJ18 LL01 LL12 LL33 LL35 LL46 LL57 QQ00 2H097 AA20 CA06 CA17
Claims (7)
- 【請求項１】 ２個の互いに摺動するくさび形プリズム
を用いて変位に伴い光路が変化する固体光伝搬路を構成
し、複数の光路の光路差による干渉に基づいて変位を計
測することにより、ナノメートルオーダーの高精度計測
を行うことを特徴とする固体を伝搬するレーザ光による
測長方法。 - 【請求項２】 固体内で内面全反射を生じる、複数本の
レーザ光を前記固体に入射し、該固体内で干渉を生じさ
せ、該干渉を反映して、前記固体表面に光路の表面に対
する角度や前記固体の屈折率等によって定まる光近接場
のフリンジを生じさせ、移動部に設けた検出器で前記フ
リンジを読み出すことによって、変位や物の大きさを計
測することを特徴とする固体を伝搬するレーザ光による
測長方法。 - 【請求項３】 請求項２記載の固体を伝搬するレーザ光
による測長方法において、前記光近接場のフリンジを、
光透過性のある試料や、金属薄膜の試料に生じさせるこ
とにより、長さの基準となる縞模様を試料に重畳するこ
とを特徴とする固体を伝搬するレーザ光による測長方
法。 - 【請求項４】 固体表面に、積極的に光近接場を伝搬光
に変換する、ナノメートルオーダーの凹凸や微小球の配
列を設け、電場増強をもたらす金属薄膜をコーティング
する固体を全反射面に設け、複数本のレーザ光を前記固
体に入射し、前記複数のレーザ光による内面全反射と干
渉を生じさせ、干渉に対応して縞状に発生した光近接場
をあらかじめ表面に施した処理によって、周期性のある
伝搬光や、周期性のある電界分布を生じさせ、これによ
り、固体の導波路で、表面に長さの基準となる周期性の
ある物理量が浮き出している物差しを実現することを特
徴とする固体を伝搬するレーザ光による測長方法。 - 【請求項５】 固体表面に感光性のあるレジストを塗布
し、周期性のある光近接場を伝搬光に変換したもので露
光を行い、これにより、レジストのパターニングを行
い、該パターニング後、金属蒸着、レジストの除去を行
うことにより、金属の目盛りを有する導波路を得ること
を特徴とする固体を伝搬するレーザ光による露光とパタ
ーニング方法。 - 【請求項６】 固体表面に生じた、周期性のある物理量
を読み出すために、走査型光近接場顕微鏡のプローブ
や、１００ｎｍオーダーのスリットを周期的に有する基
板を用い、スリットを用いて光近接場を伝搬光に変換
し、基板の変位に伴う伝搬光の光強度の変化を光検出素
子で検出し、それにより移動部の固体光導波路に対する
相対変位を計測することを特徴とする固体を伝搬するレ
ーザ光による測長方法。 - 【請求項７】 請求項２、３、４又は６記載の固体を伝
搬するレーザ光による測長方法において、光音響素子を
用いて、光近接場がある角周波数ωで変位するようにす
ると、移動部が変位しない場合に光がωで変位し、移動
子が変位すると、変位に応じて位相の回転を生じ、それ
により変位を計測することを特徴とする固体を伝搬する
レーザ光による測長方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001097925A JP3933881B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 固体を伝搬するレーザ光による測長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001097925A JP3933881B2 (ja) | 2001-03-30 | 2001-03-30 | 固体を伝搬するレーザ光による測長方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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