JP2002286426A - 画像処理による寸法計測方法およびその装置 - Google Patents

画像処理による寸法計測方法およびその装置

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JP2002286426A JP2001091364A JP2001091364A JP2002286426A JP 2002286426 A JP2002286426 A JP 2002286426A JP 2001091364 A JP2001091364 A JP 2001091364A JP 2001091364 A JP2001091364 A JP 2001091364A JP 2002286426 A JP2002286426 A JP 2002286426A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】画像内で検査対象が基準位置に対して回転変位
が生じている場合でも検査対象の寸法を回転変位がない
場合と同様に正確に求める。 【解決手段】画像入力装置11はワークを撮像し、画像
処理装置2の画像メモリ12にワークの画像を格納す
る。画像メモリ12に格納された画像内で、ワークの画
像である検査対象の直線部分の両端部に位置検出領域を
設定する。各位置検出領域内で検査対象のエッジ上の1
つの点をそれぞれ抽出し、2点の座標から検査対象の傾
き角度を求める。基準の検査対象の傾き角度と寸法計測
を行う検査対象の傾き角度との角度差が回転変位量にな
る。基準の検査対象について寸法計測を行う方向に対し
て回転変位量だけ傾斜した仮想直線を設定し、検査対象
を仮想直線上に投影したときの距離を用いて目的の寸法
を求める。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、主として生産ライ
ンなどにおいて検査対象物となるワークを撮像して得た
画像を用いてワークの寸法計測を行う画像処理による寸
法計測方法およびその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来から、検査対象物となるワークをT
Vカメラのような画像入力装置により撮像して得られた
画像に基づいて、ワークの外形寸法を求めワークの外観
を検査する画像処理技術が知られている。いま、一例と
して、直方体状のパッケージの両側にL型のリードが複
数本ずつ突出しているワークについて(たとえば、デュ
アルインラインパッケージ(DIP)のような形状を想
定する)、各リードにおいて折曲されている部位のパッ
ケージからの突出寸法が揃っているか否かを検査する場
合を考える。このような検査はワークが実装に適合する
か否かの判断に必要である。
【0003】このような検査では、ワークの一面に直交
する方向から画像入力装置によってワークを撮像し、す
べてのリードが含まれる図6のような画像(たとえば、
2値化画像)を生成する。以下、ワークの全体の画像を
検査対象1と呼ぶことにする。図示する検査対象1で
は、パッケージに相当する部分を本体部1a、リードに
相当する部分を脚片1bとする。この画像を用いてリー
ドの折曲部位のばらつきを検査するには、たとえば図7
に示すように、各脚片1bの先端部付近にそれぞれ検査
領域Ddを設定する。つまり、各検査領域Ddの中で各
脚片1bの先端縁の位置を測定点として抽出するのであ
って(図7における×印の位置が抽出された測定点を示
す)、図示例では各検査領域Ddにおける各脚片1bの
先端縁の位置を画像内において本体部1aからもっとも
遠いy座標値として抽出している。なお、一般的な画像
における座標系の設定方法として画像の左上角を原点と
し、右に向かってx軸、下に向かってy軸をとるものと
する。
【0004】ここで、検査対象1の幅寸法Wを、図にお
いて本体部1aの上側の検査領域Ddで抽出したy座標
値の最小値(本体部1aからもっとも遠い座標値)と本
体部1aの下側の検査領域Ddで抽出したy座標の最大
値(本体部1aからもっとも遠い座標値)との差と定義
する。また、本体部1aからの脚片1bの突出寸法のば
らつきの程度を評価するために、本体部1aの上側の検
査領域Ddで抽出したy座標値の最大値と最小値との寸
法差Δd1および本体部1aの下側の検査領域Ddで抽
出したy座標値の最大値と最小値との寸法差Δd2を用
いる。つまり、寸法差Δd1,Δd2が大きいほど脚片
1bの突出寸法のばらつきが大きいことになる。図7に
示す例は一例であり、画像内の横方向において幅寸法を
求めたりばらつきを評価したりするときにはx座標値を
用いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した技
術は、幅寸法Wや寸法差Δd1,Δd2を求める方向が
x軸またはy軸に平行な方向であることを前提にしてい
る。つまり、図示例について言えば、本体部1aにおい
て脚片1bの突出している輪郭線がx方向に一致してい
ることを前提にしている。しかしながら、実際には検査
対象1における本体部1aが図8に示すようにx方向や
y方向に対して傾くことがある。
【0006】いま、検査対象1について図7に示す位置
を基準位置とすれば、図8に示す検査対象1では基準位
置に対して左回りの回転変位が生じていることになる。
したがって、図8に示す検査対象1について、図7に示
した画像と同じ技術を適用して幅寸法W′および寸法差
Δd1′,Δd2′を求めると、同じ検査対象1であっ
ても結果の値が異なってしまう(W≠W′,Δd1≠Δ
d1′,Δd2≠Δd2′)。つまり、上述のように、
脚片1bの先端部に設定した検査領域Ddのみを用い、
x座標あるいはy座標の差によって幅寸法Wや寸法差Δ
d1,Δd2を求める技術では、図7に示す基準位置の
検査対象1に対して画像内で回転変位が生じているか否
かを知ることができず、測定結果の信頼性が損なわれる
ことになる。
【0007】本発明は上記事由に鑑みて為されたもので
あり、その目的は、画像内で検査対象が基準位置に対し
て回転変位が生じている場合であっても検査対象の寸法
を回転変位がない場合と同様に正確に求めることができ
る画像処理による寸法計測方法およびその装置を提供す
ることにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、画像
内の検査対象について複数の測定点間の距離を検査対象
に関する寸法として計測する画像処理による寸法計測方
法であって、画像内に複数個の位置検出領域を設定する
とともに検査対象の既知形状を各位置検出領域内で検出
することにより既知形状の位置を特定した後、基準の検
査対象について検出した既知形状の位置と寸法計測を行
う検査対象について検出した既知形状の位置とを用いて
基準の検査対象に対する検査対象の回転変位量を求め、
次に前記既知形状と前記測定点との既知の位置関係を用
いて測定点をそれぞれ含む複数個の検査領域を画像内に
設定して各検査領域内で測定点を抽出し、かつ基準の検
査対象で寸法を計測する方向に対して前記回転変位量だ
け傾斜させた仮想直線を設定し、寸法計測を行う検査対
象について設定した検査領域内で抽出した各測定点から
前記仮想直線に下ろした垂線と仮想直線との交点間の距
離を目的の寸法に用いることを特徴とする。
【0009】請求項2の発明は、画像内の検査対象につ
いて複数の測定点間の距離を検査対象に関する寸法とし
て計測する画像処理による寸法計測方法であって、画像
内に複数個の位置検出領域を設定するとともに検査対象
の既知形状を各位置検出領域内で検出することにより既
知形状の位置を特定した後、寸法計測を行う検査対象に
ついて検出した既知形状の位置から求めた検査対象の傾
き角度とあらかじめ検査対象の理想位置として登録され
ている傾き角度との角度差を回転変位量として求め、次
に寸法計測を行う検査対象を含む画像を前記回転変位量
だけ回転させ、前記既知形状と前記測定点との既知の位
置関係を用いて測定点をそれぞれ含む複数個の検査領域
を画像内に設定し各検査領域内で抽出した測定点を用い
て目的の寸法を計測することを特徴とする。
【0010】請求項3の発明は、請求項1または請求項
2の発明において、前記既知形状が前記検査対象の直線
部分であって、当該直線部分の両端部のエッジを検出す
るように前記位置検出領域が画像内で2箇所に設定され
ることを特徴とする。
【0011】請求項4の発明は、請求項2の発明におい
て、前記検査対象の理想位置が寸法計測を行う方向を画
像の座標軸に平行にする方向であることを特徴とする。
【0012】請求項5の発明は、画像内の検査対象につ
いて複数の測定点間の距離を検査対象に関する寸法とし
て計測する画像処理による寸法計測装置であって、ワー
クを撮像する画像入力装置と、ワークを撮像した画像か
ら目的の寸法を計測する画像処理装置とを備え、画像処
理装置が、前記画像内に複数個の位置検出領域を設定す
るとともに検査対象の既知形状を各位置検出領域内で検
出することにより既知形状の位置を特定した後、基準の
検査対象について検出した既知形状の位置と寸法計測を
行う検査対象について検出した既知形状の位置とを用い
て基準の検査対象に対する検査対象の回転変位量を求
め、次に前記既知形状と前記測定点との既知の位置関係
を用いて測定点をそれぞれ含む複数個の検査領域を画像
内に設定して各検査領域内で測定点を抽出し、かつ基準
の検査対象で寸法を計測する方向に対して前記回転変位
量だけ傾斜させた仮想直線を設定し、寸法計測を行う検
査対象について設定した検査領域内で抽出した各測定点
から前記仮想直線に下ろした垂線と仮想直線との交点間
の距離を目的の寸法に用いることを特徴とする。
【0013】請求項6の発明は、画像内の検査対象につ
いて複数の測定点間の距離を検査対象に関する寸法とし
て計測する画像処理による寸法計測装置であって、ワー
クを撮像する画像入力装置と、ワークを撮像した画像か
ら目的の寸法を計測する画像処理装置とを備え、画像処
理装置が、画像内に複数個の位置検出領域を設定すると
ともに検査対象の既知形状を各位置検出領域内で検出す
ることにより既知形状の位置を特定した後、寸法計測を
行う検査対象について検出した既知形状の位置から求め
た検査対象の傾き角度とあらかじめ検査対象の理想位置
として登録されている傾き角度との角度差を回転変位量
として求め、次に寸法計測を行う検査対象を含む画像を
前記回転変位量だけ回転させ、前記既知形状と前記測定
点との既知の位置関係を用いて測定点をそれぞれ含む複
数個の検査領域を画像内に設定し各検査領域内で抽出し
た測定点を用いて目的の寸法を計測することを特徴とす
る。
【0014】
【発明の実施の形態】(第1の実施の形態)本実施形態
では、図1に示す画像処理装置2を用いる。図示する画
像処理装置2は、TVカメラのような画像入力装置11
により撮像した画像を格納する画像メモリ12を有し、
画像メモリ12に格納された画像に対して画像処理部が
以下の画像処理を施す。画像処理部は、マイクロプロセ
ッサであるCPU10と、CPU10による画像処理を
実行させるためのプログラムおよび実行条件などを格納
した主記憶メモリ13とにより構成される。また、画像
メモリ12は画像処理の際の作業用メモリとしても用い
られる。CPU10には、画像処理の過程や結果を表示
するディスプレイ、画像処理の過程や結果を保存する外
部記憶装置などの外部装置を接続するために外部インタ
フェース14が設けられている。さらに、外部インタフ
ェース14を通して主記憶メモリ13の内容を書き換え
ることも可能になっている。
【0015】従来例との比較を容易にするために、本実
施形態の説明には図6に示した検査対象(斜線部で示
す)1を用いる。ただし、本実施形態では、図2に示す
ように、従来例として示した6箇所の検査領域Ddに加
えて本体部1aの長手方向の一辺の両端部に対応する2
箇所の位置検出領域Deを付加している。一般化して言
えば、検査対象1における直線部分のうち寸法のもっと
も大きい直線部分の両端部にそれぞれ対応させて位置検
出領域Deを設定するのが望ましい。
【0016】位置検出領域Deは検査対象1の座標軸に
対する「傾き角度」と検査対象1の位置(代表点の座標
であって、以下では「基準位置」という)とを検出する
ために設定される。また、本実施形態における検査領域
Ddは、位置検出領域Deを用いて求められた検査対象
1の傾き角度および基準位置に基づいて設定される。さ
らに、本実施形態では、検査対象1の傾き角度および基
準位置を求めるために、基準とするワークを撮像した画
像での基準の検査対象1について傾き角度および基準位
置を求めて主記憶メモリ13に格納しておき、計測の対
象となるワークを撮像した画像での検査対象1について
求められる傾き角度および基準位置との差を求めるよう
にしてある。基準の検査対象1は寸法計測の標準となる
検査対象1を意味する。
【0017】以下に本実施形態の処理手順を具体的に説
明する。まず、基準の検査対象1に設定した各位置検出
領域Deについて、図3に示すように、検査対象1のエ
ッジ(図示例では本体部1aの輪郭線)の上の1つの点
の座標(x1、y1),(x2,y2)をそれぞれ求め
る(求めた一点を図3に×印で示している)。各位置検
出領域Deでは検査対象1の1つのエッジの上であれば
どの点の座標を求めてもよい。ただし、位置検出領域D
eは検査対象1の位置を検出するために、検出しようと
するエッジに交差する方向に長い矩形状に設定される。
1つの直線上の2点の座標(x1、y1),(x2,y
2)が求まれば、画像内のx方向またはy方向に対する
直線部分の傾き角度を求めることができる。つまり、x
軸を基準とする傾き角度をθsとすれば、直線部分の傾
き角度θsの正接は、(y2−y1)/(x2−x1)
になる。一方、基準位置の座標には、位置検出領域De
で求めた2点の(x1、y1),(x2,y2)の中点
(((x1+x2)/2),((y1+y2)/2))
の座標を用いる。このようにして求めた傾き角度θsお
よび基準位置は主記憶メモリ13に格納され基準値とし
て用いられる。
【0018】次に、寸法を計測するワークを撮像し、そ
の画像での検査対象1について同様の処理を行って、傾
き角度θfと基準位置とを求める。寸法を計測する検査
対象1について傾き角度θおよび基準位置が求まれば、
基準の検査対象1との相対位置を知ることができるか
ら、基準の検査対象1について設定した検査領域Ddの
位置を補正する。つまり、寸法計測を行う検査対象1の
傾き角度θfと、基準の検査対象1の傾き角度θsとの
差分を求めると、基準の検査対象1に対する寸法を計測
する検査対象1の回転変位量θ(=θf−θs)を求め
ることができるから、基準位置の変位分だけ検査領域D
dを平行移動させ、さらに回転変位量θだけ検査領域D
dの配置を回転させることによって、寸法を計測する検
査対象1とに対し、基準の検査対象1に対して設定した
検査領域Ddとほぼ同じ位置関係の検査領域Ddを設定
することができる。要するに、検査対象1における測定
点の既知の位置関係を用いて検査領域Ddの位置を補正
する。
【0019】また、回転変位量θが求まると、基準の検
査対象1について寸法を求めた方向に対して回転変位量
θだけ傾斜させた仮想直線を設定することができる。図
3においては、基準の検査対象1の幅寸法Wおよび寸法
差Δd1,Δd2をy方向について求めているから、仮
想直線Lyはy軸に対して回転変位量θだけ傾斜させて
ある。換言すれば、座標軸を回転変位量θだけ原点の回
りに回転させて、x軸およびy軸に対応する仮想直線L
x,Lyを設定したことになる。ただし、図示例におい
ては仮想直線Lyのみを用いる。
【0020】上述のように寸法計測を行う検査対象1に
合わせて検査領域Ddの位置を補正するとともに、仮想
直線Lyを設定すれば、基準の検査対象1と同様にして
検査領域Ddの中で仮想直線Lyに沿う方向において脚
片1bの先端縁の位置(図3において×印で示した位置
であって、以下では「測定点」という)を抽出すること
ができるから、各検査領域Ddで抽出された各測定点か
らそれぞれ仮想直線Lyに対して垂線を下ろし、各垂線
と仮想直線Lyとの交点を求める。こうして交点を決定
すれば、仮想直線Lyの上での交点間の距離によって幅
寸法Wおよび寸法差Δd1,Δd2を求めることができ
る。
【0021】なお、上述の例では検査対象1の傾き角度
θs,θfおよび基準位置を求めるために検査対象1の
直線部分の両端部に位置検出領域Deを設定している
が、必ずしも直線部分を用いる必要はなく、検査対象1
について形状が既知かつ変化の生じない部分であれば、
他の箇所に位置検出領域Deを設定してもよい。さら
に、検査対象1に適宜のマークを複数箇所(3箇所以上
でもよい)に付与してマークの位置を位置検出領域De
の中で検出するようにしても、傾き角度および基準位置
を決定することが可能である。また、仮想直線は座標軸
を原点の回りに回転させて設定したものである必要はな
く、検査対象1について寸法を計測しようとする方向に
平行な方向に設定すればよい。
【0022】(第2の実施の形態)第1の実施の形態で
は、基準の検査対象1について求めた傾き角度を求めて
登録しておくことによって、寸法計測を行う検査対象1
に対して基準の検査対象1との相対差として仮想直線を
設定したのに対して、本実施形態では寸法計測を行う検
査対象1を含んだ画像を回転させることによって寸法計
測を行う。
【0023】一般に、ワーク1と画像入力装置11との
相対位置を正確に位置合わせすることは困難であるが、
一般に寸法計測はワーク1と画像入力装置11とが正確
に位置合わせされている状態を想定して行われる。つま
り、第1の実施の形態における基準の検査対象1として
は画像内で理想の位置が存在する。そこで、本実施形態
では検査対象1が理想の位置に位置すると想定して基準
に用いる。このような検査対象1の傾き角度は一般には
0度に設定して手入力で設定され、主記憶メモリ13に
登録される。
【0024】次に、図4のように寸法計測を行う検査対
象1について位置検出領域Deを設定し、位置検出領域
Deを用いて検査対象1の傾き角度を求める。外部イン
タフェース14を介して接続されるディスプレイ装置の
画面の右上部には、図4に示すように、手入力で設定さ
れた基準の傾き角度(図では、「基準登録角度」として
示してある)と、位置検出領域Deにより設定した傾き
角度とが表示される。
【0025】上述のようにして寸法計測を行う検査対象
1について傾き角度が求められると、図5のように、寸
法計測を行う検査対象1を含む画像P1を、寸法計測を
行う検査対象1から求めた傾き角度と主記憶メモリ13
に登録された基準の傾き角度との差分だけ回転させた画
像P2が生成される。この画像P2の中で検査領域Dd
を設定し、幅寸法Wおよび寸法差Δd1,Δd2を求め
れば、検査対象1を理想の位置に位置させた場合と同じ
条件で幅寸法Wおよび寸法差Δd1,Δd2を求めたこ
とになる。他の構成および動作は第1の実施の形態と同
様である。
【0026】なお、本実施形態では検査対象1の基準位
置について説明していないが、寸法計測を行う検査対象
1について検査領域Ddを設定する際に、理想の検査対
象1との相対的な位置関係に基づいて設定するのが望ま
しいから、理想の検査対象1についての基準位置をワー
ク1の実寸に基づいて外部インタフェース14を通して
手入力で設定しておくのが望ましい。
【0027】
【発明の効果】請求項1または請求項5の発明は、基準
の検査対象に対して寸法計測を行う検査対象の回転変位
量を求め、基準の検査対象について寸法を計測する方向
に対して回転変位量だけ変位させた仮想直線を設定し、
寸法計測を行う検査対象を仮想直線に投影することによ
って寸法を計測するから、寸法計測を行う検査対象が回
転変位を含んでいても正確な寸法計測が可能になるとい
う利点がある。
【0028】請求項2または請求項6の発明は、寸法計
測を行う検査対象の画像のみがあればよく、基準の検査
対象を作成するためにワークを撮像する必要がない。し
かも、寸法計測の基準は理想の検査対象について設定さ
れるから、基準にばらつきがなく、計測結果の信頼性が
高くなるという利点がある。
【0029】請求項3の発明は、検査対象の直線部分の
両端部のエッジによって検査対象の傾き角度を求めるか
ら、直線部分の上であれば任意の場所かつ2点で検査対
象の傾き角度を求めることができ処理が簡単である。
【0030】請求項4の発明は、検査対象の理想位置に
おいて寸法計測を行う方向を画像の座標軸に平行な方向
としているから、理想位置の傾き角度を0度に設定する
ことができ、寸法計測を行う検査対象についてのみ傾き
角度を求めればよく、処理が簡単になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施形態を示すブロック図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態を示す動作説明図で
ある。
【図3】同上の動作説明図である。
【図4】本発明の第2の実施の形態を示す動作説明図で
ある。
【図5】同上の動作説明図である。
【図6】従来例を示す動作説明図である。
【図7】同上の動作説明図である。
【図8】同上の動作説明図である。
【符号の説明】
1 検査対象 2 画像処理装置 10 CPU 11 画像入力装置 12 画像メモリ 13 主記憶メモリ 14 外部インタフェース
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2F065 AA03 AA32 AA37 CC25 EE00 FF04 FF61 JJ03 JJ19 QQ00 QQ24 QQ25 QQ26 QQ28

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 画像内の検査対象について複数の測定点
    間の距離を検査対象に関する寸法として計測する画像処
    理による寸法計測方法であって、画像内に複数個の位置
    検出領域を設定するとともに検査対象の既知形状を各位
    置検出領域内で検出することにより既知形状の位置を特
    定した後、基準の検査対象について検出した既知形状の
    位置と寸法計測を行う検査対象について検出した既知形
    状の位置とを用いて基準の検査対象に対する検査対象の
    回転変位量を求め、次に前記既知形状と前記測定点との
    既知の位置関係を用いて測定点をそれぞれ含む複数個の
    検査領域を画像内に設定して各検査領域内で測定点を抽
    出し、かつ基準の検査対象で寸法を計測する方向に対し
    て前記回転変位量だけ傾斜させた仮想直線を設定し、寸
    法計測を行う検査対象について設定した検査領域内で抽
    出した各測定点から前記仮想直線に下ろした垂線と仮想
    直線との交点間の距離を目的の寸法に用いることを特徴
    とする画像処理による寸法計測方法。
  2. 【請求項2】 画像内の検査対象について複数の測定点
    間の距離を検査対象に関する寸法として計測する画像処
    理による寸法計測方法であって、画像内に複数個の位置
    検出領域を設定するとともに検査対象の既知形状を各位
    置検出領域内で検出することにより既知形状の位置を特
    定した後、寸法計測を行う検査対象について検出した既
    知形状の位置から求めた検査対象の傾き角度とあらかじ
    め検査対象の理想位置として登録されている傾き角度と
    の角度差を回転変位量として求め、次に寸法計測を行う
    検査対象を含む画像を前記回転変位量だけ回転させ、前
    記既知形状と前記測定点との既知の位置関係を用いて測
    定点をそれぞれ含む複数個の検査領域を画像内に設定し
    各検査領域内で抽出した測定点を用いて目的の寸法を計
    測することを特徴とする画像処理による寸法計測方法。
  3. 【請求項3】 前記既知形状が前記検査対象の直線部分
    であって、当該直線部分の両端部のエッジを検出するよ
    うに前記位置検出領域が画像内で2箇所に設定されるこ
    とを特徴とする請求項1または請求項2記載の画像処理
    による寸法計測方法。
  4. 【請求項4】 前記検査対象の理想位置が寸法計測を行
    う方向を画像の座標軸に平行にする方向であることを特
    徴とする請求項2記載の画像処理による寸法計測方法。
  5. 【請求項5】 画像内の検査対象について複数の測定点
    間の距離を検査対象に関する寸法として計測する画像処
    理による寸法計測装置であって、ワークを撮像する画像
    入力装置と、ワークを撮像した画像から目的の寸法を計
    測する画像処理装置とを備え、画像処理装置が、前記画
    像内に複数個の位置検出領域を設定するとともに検査対
    象の既知形状を各位置検出領域内で検出することにより
    既知形状の位置を特定した後、基準の検査対象について
    検出した既知形状の位置と寸法計測を行う検査対象につ
    いて検出した既知形状の位置とを用いて基準の検査対象
    に対する検査対象の回転変位量を求め、次に前記既知形
    状と前記測定点との既知の位置関係を用いて測定点をそ
    れぞれ含む複数個の検査領域を画像内に設定して各検査
    領域内で測定点を抽出し、かつ基準の検査対象で寸法を
    計測する方向に対して前記回転変位量だけ傾斜させた仮
    想直線を設定し、寸法計測を行う検査対象について設定
    した検査領域内で抽出した各測定点から前記仮想直線に
    下ろした垂線と仮想直線との交点間の距離を目的の寸法
    に用いることを特徴とする画像処理による寸法計測装
    置。
  6. 【請求項6】 画像内の検査対象について複数の測定点
    間の距離を検査対象に関する寸法として計測する画像処
    理による寸法計測装置であって、ワークを撮像する画像
    入力装置と、ワークを撮像した画像から目的の寸法を計
    測する画像処理装置とを備え、画像処理装置が、画像内
    に複数個の位置検出領域を設定するとともに検査対象の
    既知形状を各位置検出領域内で検出することにより既知
    形状の位置を特定した後、寸法計測を行う検査対象につ
    いて検出した既知形状の位置から求めた検査対象の傾き
    角度とあらかじめ検査対象の理想位置として登録されて
    いる傾き角度との角度差を回転変位量として求め、次に
    寸法計測を行う検査対象を含む画像を前記回転変位量だ
    け回転させ、前記既知形状と前記測定点との既知の位置
    関係を用いて測定点をそれぞれ含む複数個の検査領域を
    画像内に設定し各検査領域内で抽出した測定点を用いて
    目的の寸法を計測することを特徴とする画像処理による
    寸法計測装置。
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