JP2002282651A5 - - Google Patents

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【特許請求の範囲】
【請求項１】 ハロゲン含有排ガスを、希ガス及び水素供与物質の存在下で放電処理に付すことにより、前記ハロゲン含有排ガス中のハロゲン化合物を分解してなるハロゲン含有排ガス処理方法において、前記ハロゲン化合物の分解により生成される分解生成物を除去した処理ガスを、次の前記ハロゲン含有排ガス処理用のキャリアガスとして再利用することを特徴とするハロゲン含有排ガス処理方法。
【請求項２】 前記希ガスが、Ｈｅ、Ｎｅ、Ａｒ、Ｘｅのいずれかまたはこれらの組み合わせからなる請求項１記載のハロゲン含有排ガス処理方法。
【請求項３】 前記水素供与物質が、水素または水素化合物である請求項１または２に記載のハロゲン含有排ガス処理方法。
【請求項４】 前記ハロゲン化合物が、フッ素化合物である請求項１から３のいずれかに記載のハロゲン含有排ガス処理方法。
【請求項５】 ハロゲン含有ガスを排気するハロゲン含有ガス排気設備に接続可能な排ガス導入部と、当該排ガス導入部に導入されたハロゲン含有排ガスをハロゲン化合物の分解処理を行う放電部へ供給するガス供給経路と、当該ガス供給経路に接続され、前記ガス供給経路に希ガスを導入するキャリアガス供給手段並びに水素供与物質を導入する水素供給手段を備えてなるハロゲン含有排ガス処理装置。
【請求項６】 前記放電部の後段に接続され、前記ハロゲン化合物の分解処理による分解生成物を除去する除去部を備えてなる請求項５に記載のハロゲン含有排ガス処理装置。
【請求項７】 前記除去部が前記ガス供給経路もしくは前記ハロゲン含有ガス排気設備に接続されてなる請求項６に記載のハロゲン含有排ガス処理装置。
【請求項８】 前記ガス供給経路に接続され、前記ガス供給経路に導入された前記ハロゲン含有排ガス中の前記ハロゲン化水素を除去するハロゲン化水素前処理部を備えてなる請求項５から７のいずれかに記載のハロゲン含有排ガス処理装置。
【請求項９】 前記ハロゲン化水素前処理部が、前記ハロゲン化水素前処理部にて処理されたガスが前記ガス供給経路を循環するように前記ガス供給経路もしくは前記ハロゲン含有ガス排気設備に接続されてなる請求項８に記載のハロゲン含有排ガス処理装置。
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