JP2002269986A - マルチプレクサ並びにこれを用いたメモリ回路及び半導体装置 - Google Patents

マルチプレクサ並びにこれを用いたメモリ回路及び半導体装置

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JP2002269986A JP2001068062A JP2001068062A JP2002269986A JP 2002269986 A JP2002269986 A JP 2002269986A JP 2001068062 A JP2001068062 A JP 2001068062A JP 2001068062 A JP2001068062 A JP 2001068062A JP 2002269986 A JP2002269986 A JP 2002269986A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】オフ状態のスイッチに流れるリーク電流により
生ずる相補的なデータバスライン対の電位差のばらつき
を低減して動作を高速化する。 【解決手段】同電位にプリチャージされるバスラインD
B及び*DBに接続された互いに同一構成の4スイッチ
回路を有し、第1のスイッチ回路は、相補的な信号が供
給される入力信号線SI1及び*SI1のSI1とバス
ラインDBとの間及び*SI1とバスライン*DBとの
間にそれぞれスイッチ11及び12が接続され、入力信
号線SI1とバスライン*DBとの間及び入力信号線*
SI1とバスラインDBとの間にそれぞれダミースイッ
チ31及び32が接続されている。スイッチ11〜18
がデコーダ出力で選択的にオン/オフ制御されるのに対
し、ダミースイッチ31〜38は常にオフである。

Description

【発明の詳細な説明】
【発明の属する技術分野】本発明は、相補信号入出力か
つプリチャージ型のマルチプレクサ並びにこれを用いた
メモリ回路及び半導体装置に関する。
【従来の技術】図7は、従来のマルチプレクサ10の概
略回路図である。図7中、*が付加された信号及び信号
線は、ロウアクティブであることを示している。このマ
ルチプレクサ10は、例えばメモリ回路のコラム選択回
路として用いられる。図7では簡単化のために、マルチ
プレクサ10が4ビット入力である場合を示している。
入力信号線SI1〜SI4はそれぞれ、スイッチ11〜
14を介してデータバスラインDBに接続され、入力信
号線SI1〜SI4と相補的な*SI1〜SI4はそれ
ぞれスイッチ15〜18を介して、データバスラインD
Bと相補的なデータバスライン*DBに接続されてい
る。スイッチ11〜18はいずれも、PMOSトランジ
スタとNMOSトランジスタとが並列接続された構成で
ある。スイッチ11〜14のNMOSトランジスタのゲ
ートにはそれぞれ、デコーダ20の出力が供給される入
力選択線C1〜C4が接続され、スイッチ11〜14の
PMOSトランジスタのゲートにはそれぞれ、入力選択
線C1〜C4と相補的な入力選択線*C1〜*C4が接
続されている。デコーダ20は、出力イネーブル信号E
Nが活性の時、2ビットの選択制御信号SELの値に応
じて一対のスイッチをオンにする。データバスラインD
B及び*DBは、チャージ回路21の出力端に接続さ
れ、選択制御前にプリチャージ信号*PCGが低レベル
にされて、入力データ信号の高レベルと同じ電位でプリ
チャージされる。データバスラインDBと*DBの電位
差はセンスアンプ回路22に供給され、増幅されて相補
的な出力信号SO及び*SOとして取り出される。図8
は、図7の入力信号線SI1及び*SI1が選択され、
信号SO及び*SOとして出力される場合の動作を示す
波形図である。最初、出力イネーブル信号ENが不活性
でスイッチ11〜18が全てオフである。この状態でプ
リチャージ信号*PCGが低レベルになって、チャージ
回路21によりデータバスラインDB及び*DBが高レ
ベルにプリチャージされる。この間に、4ビットのデー
タがマルチプレクサ10に供給される。図7中に示すよ
うに、入力信号線SI1及び*SI2〜*SI4が高レ
ベル(‘H’)で、入力信号線*SI1及びSI2〜S
I4が低レベル(‘L’)であるとする。次に、プリチ
ャージ信号*PCGが高レベルになって、このプリチャ
ージが停止され、データバスラインDB及び*DBがフ
ローティング状態になる。一方、出力イネーブル信号E
Nが活性になって、デコーダ20により入力選択線C1
及び*C1がそれぞれ高レベル及び低レベルに遷移し、
スイッチ11及び15がオンになる。入力信号線*SI
1が低レベルであるので、データバスライン*DBから
スイッチ11を介し入力信号線SI1へ正電荷が移動し
て、データバスライン*DBの電位が低下する。メモリ
の場合、入力信号線SI1〜SI4及び*SI1〜SI
4の抵抗と寄生容量及びスイッチ11〜18のオン抵抗
が比較的大きいので、抵抗と容量の積である時定数が比
較的大きく、この電位の低下は緩やかである。センスア
ンプ駆動信号SADが高レベルになってセンスアンプ回
路22が活性化され、これによりデータバスラインDB
と*DBの電位差が増幅され、出力信号SO及び*SO
として出力される。ノイズによるセンスアンプ回路22
の誤動作を防止するため、データバスラインDBと*D
Bの電位差ΔVが約100mVになったと想定される時
点でセンスアンプ回路22が活性化される。ここで、全
トランジスタの閾値を低下させれば、動作を高速化する
ことができる。しかし、トランジスタスイッチ11〜1
8の閾値も低下するので、これらのオフ時のリーク電流
が増加し、高レベルのデータバスラインDBからスイッ
チ12〜14を介し低レベルの入力信号線SI2〜SI
4へ移動する正電荷の量が増加し、データバスライン*
DBのみならずデータバスラインDBの電位も低下す
る。このため、電位差ΔVが約100mVに達するまで
の時間が長くなり、センスアンプ回路22の活性化開始
時点を遅らせなければならず、高速化が妨げられる。ま
た、マルチプレクサ10の4ビット入力データ値に応じ
てこのリーク電流が異なるので、データバスラインDB
と*DBの電位差にばらつきが生ずる。設計において
は、最悪条件下でも誤動作しないようにしなければなら
ず、このばらつきは動作の高速化を妨げる。
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、この
ような問題点に鑑み、オフ状態のスイッチに流れるリー
ク電流により生ずる相補的なデータバスライン対の電位
差のばらつきを低減して動作を高速化することが可能な
マルチプレクサ並びにこれを用いたメモリ回路及び半導
体装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段及びその作用効果】本発明
によるマルチプレクサの一態様では、同電位にプリチャ
ージされる第1及び第2出力バスラインに接続された複
数のスイッチ回路と、該複数のスイッチ回路の1つを選
択的にオンにする選択制御回路とを有し、各スイッチ回
路は、相補的な信号が供給される第1及び第2入力信号
線の該第1入力信号線と該第1出力バスラインとの間及
び該第2入力信号線と該第2出力バスラインとの間にそ
れぞれ接続され、選択制御信号に応じてオン/オフされ
る第1及び第2スイッチと、該第1入力信号線と該第2
出力バスラインとの間及び該第2入力信号線と該第1出
力バスラインとの間にそれぞれ接続され、オフにされる
第1及び第2ダミースイッチとを有する。この構成によ
れば、全てのスイッチ回路の第1及び第2スイッチがオ
フで、各スイッチ回路の第1及び第2入力信号線に相補
的な信号が供給され、第1及び第2出力バスラインが同
電位にプリチャージされている状態では、第1出力バス
ラインとこれにスイッチ及びダミースイッチを介して接
続された入力信号線との間に流れるリーク電流の値は、
第2出力バスラインとこれにスイッチ及びダミースイッ
チを介して接続された入力信号線との間に流れるリーク
電流の値にほぼ等しくなる。このため、データバスライ
ンDBと*DBの電位差は0を維持し、電位差を増幅す
るセンスアンプ回路22にとっては、リーク電流が無い
場合と同じである。したがって、選択制御信号によりい
ずれか1つのスイッチ回路が選択された時、第1及び第
2データバスライン間の電位差に対するリーク電流の影
響は殆どなくなる。これにより、マルチプレクサに対す
る並列データ入力値に起因する該電位差のばらつきが防
止されるとともに、リーク電流による該電位差の低減が
抑制されて、動作の高速化が達成される。本発明の他の
目的、構成及び効果は以下の説明から明らかになる。
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施形態を説明する。図中、*が付加された信号及び信号
線はロウアクティブであることを示している。 [第1実施形態]図1は、本発明の第1実施形態のマル
チプレクサ10Aを示す概略回路図である。図7と同一
構成要素には、同一符号を付してその説明を省略する。
このマルチプレクサ10Aでは、その動作の高速化を図
るために全トランジスタの閾値が低く設定されている。
このため、上述のようにオフ状態のスイッチに流れるリ
ーク電流が増加する。また、スイッチ11〜14を介し
てデータバスラインDBに接続された入力信号線SI1
〜SI4と、データバスライン*DBとの間にそれぞ
れ、ダミースイッチ31〜34が接続され、スイッチ1
5〜18を介してデータバスライン*DBに接続された
入力信号線*SI1〜*SI4と、データバスラインD
Bとの間にそれぞれ、ダミースイッチ35〜38が接続
されている。ダミースイッチ31〜38のPMOSトラ
ンジスタ及びNMOSトランジスタのゲートはそれぞれ
内部電源電位VDD及びグランド電位GNDに接続され
ており、ダミースイッチ31〜38は常時オフになって
いる。ダミースイッチ35〜38はスイッチ11〜18
と同一構成及び同一サイズであり、動作特性も同一であ
る。デコーダ20の出力の高レベル及び低レベルはそれ
ぞれ内部電源電位VDD及びグランド電位GNDであ
り、オフ状態のダミースイッチ31〜38はオフ状態の
スイッチ11〜18と同一特性を有する。他の点は、図
7のマルチプレクサ10と同一である。図2は、図1の
入力信号線SI1及び*SI1が選択され、出力信号S
O及び*SOとして出力される場合の動作を示す波形図
であり、図8と対応している。次に、この場合の動作を
説明する。最初、出力イネーブル信号ENが不活性でス
イッチ11〜18は全てオフである。この時、データバ
スラインDB及び*DBはいずれもオフ状態のスイッチ
又はダミースイッチを介して入力信号線SI1〜SI4
及び*SI1〜*SI4に接続されている。また、プリ
チャージ信号*PCGが低レベルで、チャージ回路21
によりデータバスラインDB及び*DBが高レベルにプ
リチャージされる。この間に、4ビットのデータがマル
チプレクサ10に供給される。この状態で仮に、プリチ
ャージ信号*PCGを高レベルにしデータバスラインD
B及び*DBに対するプリチャージを停止させて、デー
タバスラインDB及び*DBをフローティング状態にす
ると、データバスラインDB及び*DBから低レベルの
入力信号線にリーク電流が流れる。しかし、マルチプレ
クサ10Aの4ビット入力値によらず、データバスライ
ンDB及び*DBのいずれからも、オフ状態のスイッチ
11〜18又はダミースイッチ31〜38を介して4本
の低レベル入力信号線へリーク電流が流れるので、デー
タバスラインDBから入力信号線に流れるリーク電流と
データバスライン*DBから入力信号線に流れるリーク
電流とが、同じ値になる。このため、データバスライン
DBと*DBの電位差は0を維持し、電位差を増幅する
センスアンプ回路22にとっては、リーク電流が無い場
合と同じである。したがって、次にプリチャージ信号*
PCGが高レベルになってプリチャージが停止されると
ともに、出力イネーブル信号ENが活性になってデコー
ダ20により入力選択線C1及び*C1がそれぞれ高レ
ベル及び低レベルに遷移し、スイッチ11及び15がオ
ンになった場合、データバスラインDBと*DBの電位
差に対するリーク電流の影響は殆どなくなる。これによ
り、マルチプレクサ10Aの4ビット入力値に起因する
データバスラインDBと*DBとの電位差のばらつきが
防止されるとともに、リーク電流によるデータバスライ
ンDBと*DBとの電位差の低減が抑制され、図2に示
すように従来よりも早い時点でセンスアンプ回路22を
活性化させることが可能となり、高速化が達成される。
他の点は、図8に関し説明した動作と同一である。 [第2実施形態]図3は、図1のマルチプレクサ10A
を用いた本発明の第2実施形態のSRAM回路を示す概
略図である。簡単化のために、図3には2行4列のメモ
リセルMC11〜MC14及びMC21〜MC24を備
えたメモリセルアレイが示されている。このSRAM回
路は、SRAMメモリデバイス又はプロセッサなどの半
導体装置に形成されている。このSRAM回路では、相
補的な一対のデータバスラインDB及び*DBに、コラ
ム回路41〜44が接続されている。コラム回路41で
は、メモリセルMC11の制御入力端がワード線WL1
に接続され、メモリセルMC11の第1及び第2のデー
タ端がそれぞれビット線B1及び*B1に接続されてい
る。メモリセルMC11は、ワード線WL1が活性のと
き、記憶内容に応じた相補的な電位をビット線B1及び
*B1へ出力する。メモリセルMC21についてもメモ
リセルMC11と同様であり、その制御入力端はワード
線WL2に接続されている。ワード線WL1及びWL2
はロウデコーダ50の出力端に接続され、ロウデコーダ
50が活性の時、ロウアドレスRAの値に応じてロウデ
コーダ50の出力の1つが活性化される。ビット線B1
及び*B1はチャージ回路51の出力端に接続され、メ
モリセルのアクセス開始前に、メモリセルが出力する相
補的な電位のうち高い方と同じ電位になるように充電さ
れる。ビット線B1〜B4、*B1〜*B4及びコラム
アドレスCAはそれぞれ図1の入力信号線SI1〜SI
4、*SI1〜*SI4及び選択制御信号SELに対応
している。マルチプレクサ10A中のコラムスイッチ1
1、15、ダミーコラムスイッチ31及び32は、コラ
ム回路41の構成要素である。コラム回路42〜44は
いずれも、コラム回路41と同一構成である。センスア
ンプ回路22で増幅された電圧の論理値は、出力回路5
5でラッチされ、さらに電圧が外部レベルに変換され
て、データ入出力端子56から取り出される。データ入
出力端子56はまた、入力回路57を介してデータバス
ラインDB及び*DBに接続され、入力回路57は入力
電圧レベルを内部電圧レベルに変換してラッチする。動
作のタイミングは、制御回路60により制御される。す
なわち、コラム回路41〜44のチャージ回路51〜5
4並びにチャージ回路21のオン/オフ、デコーダ20
及び50並びにセンスアンプ回路22の活性化及び不活
性化のタイミング、並びに出力回路55及び入力回路5
7でのラッチのタイミングは、制御回路60により従来
と同様に制御される。図4は、図3中のコラム回路41
びチャージ回路21のより詳細な構成を示す。メモリセ
ルMC11は、6トランジスタSRAMセルであり、ク
ロス接続されたNMOSトランジスタQ1とQ2のノー
ドN1及びN2がそれぞれ、一方ではクロス接続された
PMOSトランジスタQ3及びQ4を介し共に内部電源
電位VDDに接続され、他方ではNMOSトランジスタ
QA及びQBを介しビット線B1及び*B1に接続さ
れ、NMOSトランジスタQA及びQBのゲートが共に
ワード線WL1に接続されている。ビット線B1及び*
B1はそれぞれ、チャージ回路51のPMOSトランジ
スタQ5及びQ6を介して内部電源電位VDDに接続さ
れ、PMOSトランジスタQ5及びQ6のゲートには図
3の制御回路60からプリチャージ信号*PCGが供給
される。同様に、データバスラインDB及び*DBはそ
れぞれ、チャージ回路21のPMOSトランジスタQ7
及びQ8を介して内部電源電位VDDに接続され、PM
OSトランジスタQ7及びQ8のゲートにはプリチャー
ジ信号*PCGが供給される。図5は、図3のメモリセ
ルMC11の記憶内容を読み出す場合の動作を示す波形
図である。次に、この場合の動作を説明する。メモリセ
ルMC11では、図4において、ノードN1及びN2が
それぞれ高レベル及び低レベルでPMOSトランジスタ
Q3及びQ4がそれぞれオン及びオフ、NMOSトラン
ジスタQ1及びQ2がそれぞれオフ及びオンになってい
るとする。最初、デコーダ20及び50が不活性にされ
て、スイッチ11〜18がオフ、ワード線WL1及びW
L2が低レベルでNMOSトランジスタQA及びQBが
オフになっている。センスアンプ回路22も不活性にな
っている。また、プリチャージ信号*PCGが低レベル
で、ビット線B1〜B4、*B1〜*B4、データバス
ラインDB及び*DBが内部電源電位VDDでプリチャ
ージされている。プリチャージ信号*PCGが高レベル
に遷移してこのプリチャージが停止され、データバスラ
インDB及び*DB並びにビット線B1〜B4及び*B
1〜*B4がフローティング状態になる。一方、コラム
デコーダ20が活性化され、入力選択線C1及び*C1
がそれぞれ高レベル及び低レベルに遷移してコラムスイ
ッチ11及び15がオンになる。この状態では、ビット
線B1〜B4、*B1〜*B4、データバスラインDB
及び*DBのいずれも高レベルであるので、データバス
ラインDBと*DBの電位差は0である。次に、ワード
線WL1が高レベルに遷移して図4のNMOSトランジ
スタQA及びQBがオンになる。ビット線*B1上の正
電荷はNMOSトランジスタQB及びQ2を通ってグラ
ンドに流れ、ビット線*B1の電位が低下する。メモリ
セルMC12〜MC14についても同様であり、記憶内
容に応じて各ビット線対の一方の電位が低下する。上述
のように、データバスラインDB及び*DBからオフ状
態のスイッチを介してビット線へ流れるリーク電流はほ
ぼ同じ値であるので、記憶状態によるデータバスライン
DBと*DBの電位差のばらつきは殆どなく、従来より
も早期にセンスアンプ22を活性化させることができ
る。この電位差が100mV程度になったと想定される
時点で、センスアンプ回路22が活性化され、該電位差
を増幅した信号がセンスアンプ回路22から出力され
る。この出力の論理値は、出力回路55でラッチされ、
さらに電圧が外部レベルに変換されてデータ出力端子5
6から取り出される。次に、ロウデコーダ50が不活性
にされてワード線WL1が低レベルに遷移し、メモリセ
ルMC11〜MC14とビット線対との間が遮断され
る。次に、コラムデコーダ20が不活性になってスイッ
チ11及び15がオフになり、また、チャージ回路51
〜54及び21がオンになって上記プリチャージが行わ
れる。これにより、データバスラインDBと*DBの電
位差が0になる。本第2実施形態によれば、上記理由に
より従来よりも早期にセンスアンプ22を活性化させる
ことができるので、メモリアクセスの高速化が実現でき
る。 [第2実施形態]図6は、本発明の第2実施形態の、S
RAM回路を構成するコラム回路40Aびチャージ回路
21を示す、図4に対応した図である。このコラム回路
40Aでは、図4の6トランジスタSRAMセルMC1
1の替わりに、4トランジスタSRAMセルMC11A
が用いられ、ワード線*WL1の電位でオン/オフされ
るスイッチがPMOSトランジスタQC及びQDで構成
されている。例えば、ノードN1及びN2がそれぞれ高
レベル及び低レベルでNMOSトランジスタQ1及びQ
2がそれぞれオフ及びオンになっていると時、ワード線
*WL1が低レベルに遷移してPMOSトランジスタQ
C及びQDがオンになると、ビット線*B1上の正電荷
はPMOSトランジスタQD及びNMOSトランジスタ
Q2を通ってグランドに流れ、ビット線*B1の電位が
低下する。ノードN2の電位は、ビット線*B1の電位
とPMOSトランジスタQ4及びNMOSトランジスタ
Q2のオン抵抗の比により定まり、この電位がNMOS
トランジスタQ1の閾値電圧以下になるように設計され
ている。したがって、NMOSトランジスタQ1はオフ
を維持する。他の点は、上記第1実施例と同一である。
なお、本発明には外にも種々の変形例が含まれる。例え
ば、上記実施形態ではメモリセルがSRAMセルである
場合について説明したが、本発明は複数の相補ビット線
対と1対の相補データバスライン対との間にスイッチが
接続されたすべてのメモリ回路に適用可能である。ま
た、本発明のマルチプレクサは、メモリ回路以外の各種
デジタル回路に適用可能である。さらに、上記実施形態
ではデータバスラインDB及び*DBを高レベルにプリ
チャージする場合を説明したが、データバスラインDB
と*DBとを同電位にプリチャージすればよく、低レベ
ル、又は高レベルと低レベルの中間電位にプリチャージ
する場合であっても、本発明の効果が得られる。また、
マルチプレクサの選択制御回路として、デコーダの替わ
りに、1ビットのみ選択ビット(例えば‘1’)にされ
るレジスタやシフトレジスタを用いてもよい。スイッチ
は、オン/オフ制御できるものであればよく、FETに
限定されず、バイポーラトランジスタであってもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施形態のマルチプレクサ10A
を示す概略回路図である。
【図2】図1の入力信号線SI1及び*SI1が選択さ
れる場合の動作を示す波形図である。
【図3】図1のマルチプレクサを用いた本発明の第2実
施形態のSRAM回路を示す概略図である。
【図4】図3中のコラム回路41びチャージ回路21の
より詳細な構成を示す図である。
【図5】図3のメモリセルMC11の記憶内容を読み出
す場合の動作を示す波形図である。
【図6】本発明の第2実施形態のコラム回路びチャージ
回路を示す、図4に対応した図である。
【図7】従来のマルチプレクサの概略回路図である。
【図8】図7の入力信号線SI1及び*SI1が選択さ
れる場合の動作を示す、図2と対応した波形図である。
【符号の説明】
10、10A マルチプレクサ 11〜18 スイッチ 20 デコーダ 21、51〜54 チャージ回路 22 センスアンプ回路 31〜38 ダミースイッチ 41〜44 コラム回路 50 ロウデコーダ 55 出力回路 60 制御回路 MC11〜MC24、MC11A メモリセル SI1〜SI4 入力信号線 SO、*SO データバスライン SEL 選択制御信号 *PCG プリチャージ信号 SAD センスアンプ駆動信号 B1〜B4、*B1〜*B4 ビット線 DB、*DB データバスライン C1〜C4、*C1〜*C4 入力選択線 RA ロウアドレス CA コラムアドレス WL1、WL2、*WL1 ワード線
フロントページの続き Fターム(参考) 5B015 HH01 JJ21 KA13 KA38 KB03 KB09 QQ01 5J055 AX02 AX48 AX54 AX66 BX03 CX27 DX27 EX07 EX21 EY21 EZ00 EZ19 EZ38 FX12 FX17 FX35 GX01 GX04

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 同電位にプリチャージされる第1及び第
    2出力バスラインに接続された複数のスイッチ回路と、
    該複数のスイッチ回路の1つを選択的にオンにする選択
    制御回路とを有し、各スイッチ回路は、 相補的な信号が供給される第1及び第2入力信号線の該
    第1入力信号線と該第1出力バスラインとの間及び該第
    2入力信号線と該第2出力バスラインとの間にそれぞれ
    接続され、選択制御信号に応じてオン/オフされる第1
    及び第2スイッチと、 該第1入力信号線と該第2出力バスラインとの間及び該
    第2入力信号線と該第1出力バスラインとの間にそれぞ
    れ接続され、オフにされる第1及び第2ダミースイッチ
    と、 を有することを特徴とするマルチプレクサ。
  2. 【請求項2】 上記第1及び第2出力バスライン間の電
    位差を増幅するセンスアンプをさらに有することを特徴
    とする請求項1記載のマルチプレクサ。
  3. 【請求項3】 請求項1又は2記載のマルチプレクサが
    形成されていることを特徴とする半導体装置。
  4. 【請求項4】 同電位にプリチャージされる第1及び第
    2データバスラインに接続された複数のコラム回路を有
    するメモリ回路において、各コラム回路は、 ロウアドレスに応じて活性化されるワード線に接続され
    た制御入力端と、第1及び第2ビット線にそれぞれ接続
    され該制御入力端が活性である時に記憶内容に応じた相
    補的な電位を出力する第1及び第2データ端とを有する
    メモリセルと、 該第1ビット線と該第1データバスラインとの間及び該
    第2ビット線と該第2データバスラインとの間にそれぞ
    れ接続され、コラムアドレスに応じてオン/オフされる
    第1及び第2コラムスイッチと、 該第1ビット線と該第2データバスラインとの間及び該
    第2ビット線と該第1データバスラインとの間にそれぞ
    れ接続され、オフにされる第1及び第2ダミーコラムス
    イッチと、 を有することを特徴とするメモリ回路。
  5. 【請求項5】 上記第1及び第2コラムスイッチをオン
    にする前に上記第1及び第2ビット線並びに上記第1及
    び第2データバスラインをプリチャージするチャージ回
    路、 をさらに有することを特徴とする請求項4記載のメモリ
    回路。
  6. 【請求項6】 上記プリチャージ回路は、上記相補的な
    電位のうち高い方と同じ電位でプリチャージすることを
    特徴とする請求項5記載のメモリ回路。
  7. 【請求項7】 上記第1ダミーコラムスイッチは、上記
    第1ビット線と上記第2データバスラインとの間に並列
    接続された第1pMOSトランジスタと第1nMOSト
    ランジスタとを有し、上記第2ダミーコラムスイッチ
    は、上記第2ビット線と上記第1データバスラインとの
    間に接続された第2pMOSトランジスタと第2nMO
    Sトランジスタとを有する、 ことを特徴とする請求項5記載のメモリ回路。
  8. 【請求項8】 上記メモリセルは、 相補的な電位をもつ第1端と第2端を有するフリップフ
    ロップと、 該第1端と上記第1データ端との間に接続された第1電
    流路と第1制御入力端とを備えた第1スイッチと、 該第2端と上記第2データ端との間に接続された第2電
    流路と第2制御入力端とを備えた第2スイッチと、 を有し、該メモリセルの上記制御入力端は該第1及び第
    2制御入力端を有することを特徴とする請求項4乃至7
    のいずれか1つに記載のメモリ回路。
  9. 【請求項9】 請求項4乃至8のいずれか1つに記載の
    メモリ回路が形成されていることを特徴とする半導体装
    置。
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