JP2002267224A - 既設室のクリーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニット - Google Patents
既設室のクリーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニットInfo
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- JP2002267224A JP2002267224A JP2001060190A JP2001060190A JP2002267224A JP 2002267224 A JP2002267224 A JP 2002267224A JP 2001060190 A JP2001060190 A JP 2001060190A JP 2001060190 A JP2001060190 A JP 2001060190A JP 2002267224 A JP2002267224 A JP 2002267224A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーン化工事の作業日数を短縮すると共
に、コストを低減する。 【解決手段】天井接合部と高機能フィルタから構成され
る外付け式フィルタユニットを既存の空気吹出口に被せ
て天井に取り付けることで室のクリーンルーム化を行
う。
に、コストを低減する。 【解決手段】天井接合部と高機能フィルタから構成され
る外付け式フィルタユニットを既存の空気吹出口に被せ
て天井に取り付けることで室のクリーンルーム化を行
う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は既設室のクリーンル
ーム化方法及び外付け式フィルタユニットに係り、特に
既設室を対象にして、工事作業を軽減化してクリーン化
する方法並びにこの工事で新設されるフィルタユニット
に関する。
ーム化方法及び外付け式フィルタユニットに係り、特に
既設室を対象にして、工事作業を軽減化してクリーン化
する方法並びにこの工事で新設されるフィルタユニット
に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造工場などの新設工事に伴って
クリーンルームが構築されるが、最近の設備更新などク
リーンルームの需要の増加に伴って既設室のクリーン化
工事の要求も増えつつあり、既設建屋を利用して低コス
トでクリーンルーム化する要請もあって、クリーン化工
事に関する技術の改良が急がれている。
クリーンルームが構築されるが、最近の設備更新などク
リーンルームの需要の増加に伴って既設室のクリーン化
工事の要求も増えつつあり、既設建屋を利用して低コス
トでクリーンルーム化する要請もあって、クリーン化工
事に関する技術の改良が急がれている。
【０００３】従来、既設室のクリーン化を行う場合、図
６に示すようなフィルタユニットを新設する。このフィ
ルタユニット１は、フィルタケーシング２、このケーシ
ング２に内蔵されるフィルタ３、並びに吹出口に設けら
れる整流板（パンチンググリル）４から構成される。こ
のようなフィルタユニット１を既設室に設備することに
よって、既設室のクリーンルーム化ができる。
６に示すようなフィルタユニットを新設する。このフィ
ルタユニット１は、フィルタケーシング２、このケーシ
ング２に内蔵されるフィルタ３、並びに吹出口に設けら
れる整流板（パンチンググリル）４から構成される。こ
のようなフィルタユニット１を既設室に設備することに
よって、既設室のクリーンルーム化ができる。
【０００４】実際のクリーン化を行う作業工程を図７に
示す。図示のように、最初に天井５を解体し（同図
（１））、既設空調空気の吹出口６及びダクト７を撤去
した後（同図（２））、フィルタユニット１を新設して
新たなダクト８を接続し（同図（３））、天井５を復旧
する（同図（４））という工程を経てクリーンルーム化
される。
示す。図示のように、最初に天井５を解体し（同図
（１））、既設空調空気の吹出口６及びダクト７を撤去
した後（同図（２））、フィルタユニット１を新設して
新たなダクト８を接続し（同図（３））、天井５を復旧
する（同図（４））という工程を経てクリーンルーム化
される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来のフィ
ルタユニット１を用いたクリーンルーム化工事は、天井
の解体・復旧工事やダクト工事の必要があるため、作業
日数が掛かり、労務費、材料費共に大きいという欠点が
ある。また、できるだけ早く生産ラインを稼働させるた
めに、工事にかかる日数を短くしたいという要望が強
い。作業工程を短くするためには、ダクト系の上流にフ
ィルタを新設するという方法が考えられるが、室内で十
分なクリーン度を確保するためにはダクト系の末端であ
る吹出口にフィルタを設けるのが望ましい。
ルタユニット１を用いたクリーンルーム化工事は、天井
の解体・復旧工事やダクト工事の必要があるため、作業
日数が掛かり、労務費、材料費共に大きいという欠点が
ある。また、できるだけ早く生産ラインを稼働させるた
めに、工事にかかる日数を短くしたいという要望が強
い。作業工程を短くするためには、ダクト系の上流にフ
ィルタを新設するという方法が考えられるが、室内で十
分なクリーン度を確保するためにはダクト系の末端であ
る吹出口にフィルタを設けるのが望ましい。
【０００６】本発明の目的は、前記従来技術の欠点を解
消し、クリーン化工事の作業日数を短縮すると共に、コ
ストを低減することが可能な既設室のクリーンルーム化
方法及び外付け式フィルタユニットを提供することにあ
る。
消し、クリーン化工事の作業日数を短縮すると共に、コ
ストを低減することが可能な既設室のクリーンルーム化
方法及び外付け式フィルタユニットを提供することにあ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る既設室のクリーンルーム化方法は、天
井接合部と高機能フィルタから構成される外付け式フィ
ルタユニットを既存の空気吹出口に被せて天井に取り付
けることで室のクリーンルーム化を行うことにより上記
目的を達成するように構成した。
に、本発明に係る既設室のクリーンルーム化方法は、天
井接合部と高機能フィルタから構成される外付け式フィ
ルタユニットを既存の空気吹出口に被せて天井に取り付
けることで室のクリーンルーム化を行うことにより上記
目的を達成するように構成した。
【０００８】また、本発明に係る外付け式フィルタユニ
ットは、室の空調空気吹出口を囲み吹出空気を取り込む
とともに取り込み空気の吐出部を有し天井面に気密に取
り付けられる天井接合フレームと、当該天井接合フレー
ムの前記空気吐出部に装着される高機能フィルタとから
構成され、既設室の空気吹出口全体を被って後付設置可
能としたものである。
ットは、室の空調空気吹出口を囲み吹出空気を取り込む
とともに取り込み空気の吐出部を有し天井面に気密に取
り付けられる天井接合フレームと、当該天井接合フレー
ムの前記空気吐出部に装着される高機能フィルタとから
構成され、既設室の空気吹出口全体を被って後付設置可
能としたものである。
【０００９】すなわち、外付け式のフィルタユニットを
天井面への接合部と、当該接合部を介して吹き出される
空気を透過させるフィルタとから構成し、既存の吹出口
に天井接合部を被せることで室のクリーン化を簡単に行
うことができるようにしている。好ましくは接合部の開
口形状を円形若しくは角形に分類する。これによって、
既存の吹出口にフィルタユニットを被せることで、天井
の解体を要することなく、クリーン化工事を容易に行う
ことができる。
天井面への接合部と、当該接合部を介して吹き出される
空気を透過させるフィルタとから構成し、既存の吹出口
に天井接合部を被せることで室のクリーン化を簡単に行
うことができるようにしている。好ましくは接合部の開
口形状を円形若しくは角形に分類する。これによって、
既存の吹出口にフィルタユニットを被せることで、天井
の解体を要することなく、クリーン化工事を容易に行う
ことができる。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る既設室のク
リーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニットの具
体的実施の形態を、図面を参照しながら、詳細に説明す
る。図１は実施形態に係る外付け式フィルタユニットの
取付作業状態の作業工程図であり、図２〜４は外付けフ
ィルタユニットにおける構成部材の詳細図である。この
実施形態は、天井面に同心円形状のアネモスタッド型の
空気吹出口が形成されている既設室をクリーンルーム化
する場合に適用したものである。
リーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニットの具
体的実施の形態を、図面を参照しながら、詳細に説明す
る。図１は実施形態に係る外付け式フィルタユニットの
取付作業状態の作業工程図であり、図２〜４は外付けフ
ィルタユニットにおける構成部材の詳細図である。この
実施形態は、天井面に同心円形状のアネモスタッド型の
空気吹出口が形成されている既設室をクリーンルーム化
する場合に適用したものである。
【００１１】まず、実施形態の外付け式フィルタユニッ
ト１０を図２〜４に基づいて説明する。実施形態に係る
フィルタユニット１０は図２に示される天井接合フレー
ム１２と、図３に示される高機能フィルタ１４いわゆる
ＨＥＰＡフィルタとを主要素として構成される。天井接
合フレーム１２は短尺の矩形ダクト形態をなしており、
上下に貫通する風洞が断面コ字形状のＣチャンネル材を
矩形に曲げ加工して形成されている。この天井接合フレ
ーム１２はクリーンルーム化しようとする既設室の天井
１６に取り付けられている空調空気の吹出口１８を内包
するように天井１６面に取り付け、吹出空気を全面的に
取り込むようにしている。空気吹出口１８は前述したよ
うにアネモスタッド型であるため、実施形態の天井接合
フレーム１２の上面開口は、図２（１）に示しているよ
うに、円形開口２０とされ、吹出口１８の周囲を取り囲
むようにして天井１６に接合される。接合面部分にはパ
ッキン２２が張り付けられ、ボルト締めするためのボル
ト孔２４が穿設されている。これによって、空気吹出口
１８を覆うように天井接合フレーム１２が天井１６面に
取り付けられ、ボルトを締め付けることで、パッキン２
２と天井１６面が密着し、空気の漏洩を防ぐようにして
いる。
ト１０を図２〜４に基づいて説明する。実施形態に係る
フィルタユニット１０は図２に示される天井接合フレー
ム１２と、図３に示される高機能フィルタ１４いわゆる
ＨＥＰＡフィルタとを主要素として構成される。天井接
合フレーム１２は短尺の矩形ダクト形態をなしており、
上下に貫通する風洞が断面コ字形状のＣチャンネル材を
矩形に曲げ加工して形成されている。この天井接合フレ
ーム１２はクリーンルーム化しようとする既設室の天井
１６に取り付けられている空調空気の吹出口１８を内包
するように天井１６面に取り付け、吹出空気を全面的に
取り込むようにしている。空気吹出口１８は前述したよ
うにアネモスタッド型であるため、実施形態の天井接合
フレーム１２の上面開口は、図２（１）に示しているよ
うに、円形開口２０とされ、吹出口１８の周囲を取り囲
むようにして天井１６に接合される。接合面部分にはパ
ッキン２２が張り付けられ、ボルト締めするためのボル
ト孔２４が穿設されている。これによって、空気吹出口
１８を覆うように天井接合フレーム１２が天井１６面に
取り付けられ、ボルトを締め付けることで、パッキン２
２と天井１６面が密着し、空気の漏洩を防ぐようにして
いる。
【００１２】また、天井接合フレーム１２の下面開口は
矩形開口２５とされ、一対の開口縁部分にはその全長に
亘ってガイドレール２６を形成している。ガイドレール
２６は断面が曲げ角が９０度のＺ型成形材であり、上端
面をフレーム本体側に接合して取り付けた一対のガイド
レール２６によって矩形開口２５部分を閉塞する矩形フ
ィルタを抱きかかえ状態でスライド装着できるようにし
ているのである。また、矩形開口２４の他方の開口縁部
分には、各縁辺に２カ所のボルト孔２８が穿孔され、こ
こにスライド装着される高機能フィルタ３０の前後端部
を押さえる固定金具３２を取り付け得るようにしてい
る。
矩形開口２５とされ、一対の開口縁部分にはその全長に
亘ってガイドレール２６を形成している。ガイドレール
２６は断面が曲げ角が９０度のＺ型成形材であり、上端
面をフレーム本体側に接合して取り付けた一対のガイド
レール２６によって矩形開口２５部分を閉塞する矩形フ
ィルタを抱きかかえ状態でスライド装着できるようにし
ているのである。また、矩形開口２４の他方の開口縁部
分には、各縁辺に２カ所のボルト孔２８が穿孔され、こ
こにスライド装着される高機能フィルタ３０の前後端部
を押さえる固定金具３２を取り付け得るようにしてい
る。
【００１３】高機能フィルタ３０としては当該実施形態
ではＨＥＰＡフィルタが用いられている。これは、図３
に示しているように、前記天井接合フレーム１２の矩形
開口２５より一回り大きい矩形フレーム３４の内部に濾
材３６を装填して構成されている。濾材３６はガラス繊
維に少量のバインダを加えた紙状のものであり、濾材面
積を拡大するためにつづら折り状に密に折り畳み、その
間にセパレータを入れて構成され、微細粉塵を高効率で
除去できるようにしたものである。このＨＥＰＡフィル
タ３０の前記矩形フレーム３４の上面部にはパッキン３
８が設けられ、天井接合フレーム１２の矩形開口２５の
周囲に後述固定金具により密着接合状態で固定されるよ
うになっている。
ではＨＥＰＡフィルタが用いられている。これは、図３
に示しているように、前記天井接合フレーム１２の矩形
開口２５より一回り大きい矩形フレーム３４の内部に濾
材３６を装填して構成されている。濾材３６はガラス繊
維に少量のバインダを加えた紙状のものであり、濾材面
積を拡大するためにつづら折り状に密に折り畳み、その
間にセパレータを入れて構成され、微細粉塵を高効率で
除去できるようにしたものである。このＨＥＰＡフィル
タ３０の前記矩形フレーム３４の上面部にはパッキン３
８が設けられ、天井接合フレーム１２の矩形開口２５の
周囲に後述固定金具により密着接合状態で固定されるよ
うになっている。
【００１４】また、固定金具３２は、図４に示している
ように、前記ガイドレール２６を短尺に切断したような
やはり曲げ角が９０度のＺ型成形材から形成されてい
る。フレーム本体への接合面側にはボルト孔４０が形成
され、ガイドレール２６と同様に、スライド方向前後の
フィルタ端面部分で抱きかかえて保持できるようになっ
ている。これは図示していないボルトによって天井接合
フレーム１２に取り付けられる。
ように、前記ガイドレール２６を短尺に切断したような
やはり曲げ角が９０度のＺ型成形材から形成されてい
る。フレーム本体への接合面側にはボルト孔４０が形成
され、ガイドレール２６と同様に、スライド方向前後の
フィルタ端面部分で抱きかかえて保持できるようになっ
ている。これは図示していないボルトによって天井接合
フレーム１２に取り付けられる。
【００１５】このように構成された外付け式フィルタユ
ニット１０を用いて既設室をクリーンルーム化する方法
は次のようになる。まず、図１（１）に示すように、既
設の空気吹出口１８を覆うように天井接合フレーム１２
を天井１６に取り付ける。ボルト孔２４を介してボルト
を締め付けることで、フレーム１２の上面パッキン２２
と天井１６面が密着し、空気の漏洩を防止する。次に、
図１（２）に示すように、天井接合フレーム１２部の下
部に設けたガイドレール２６の間にフィルタ３０を挿入
する。そして、図１（３）に示すように、固定金具３２
をボルト（図示せず）で締めることにより、フィルタ３
０上部に取り付けられているパッキン３８が天井接合フ
レーム１２の矩形開口２５の周辺部分に密着し、接合部
分からの空気の漏洩を遮断する。
ニット１０を用いて既設室をクリーンルーム化する方法
は次のようになる。まず、図１（１）に示すように、既
設の空気吹出口１８を覆うように天井接合フレーム１２
を天井１６に取り付ける。ボルト孔２４を介してボルト
を締め付けることで、フレーム１２の上面パッキン２２
と天井１６面が密着し、空気の漏洩を防止する。次に、
図１（２）に示すように、天井接合フレーム１２部の下
部に設けたガイドレール２６の間にフィルタ３０を挿入
する。そして、図１（３）に示すように、固定金具３２
をボルト（図示せず）で締めることにより、フィルタ３
０上部に取り付けられているパッキン３８が天井接合フ
レーム１２の矩形開口２５の周辺部分に密着し、接合部
分からの空気の漏洩を遮断する。
【００１６】このような作業を既設室の各部屋に設けら
ている空気吹出口１８の全部に行う。この作業は、単純
に吹出口１８の外周部分を囲むように天井１６に天井接
合フレーム１２をボルト締めして取り付け、高機能フィ
ルタ３０を装着して固定金具３２で保持することで簡単
にクリーンルーム化ができる。この作業には天井、ダク
トの解体と再構築が無くなり、極めて簡単に行うことが
できる。したがって、本実施形態と同一の外付け用フィ
ルタユニット１０を使用することにより、天井工事及び
ダクト工事の必要性が無くなり、工期を大幅に短縮する
と共に、コストの削減が可能である。
ている空気吹出口１８の全部に行う。この作業は、単純
に吹出口１８の外周部分を囲むように天井１６に天井接
合フレーム１２をボルト締めして取り付け、高機能フィ
ルタ３０を装着して固定金具３２で保持することで簡単
にクリーンルーム化ができる。この作業には天井、ダク
トの解体と再構築が無くなり、極めて簡単に行うことが
できる。したがって、本実施形態と同一の外付け用フィ
ルタユニット１０を使用することにより、天井工事及び
ダクト工事の必要性が無くなり、工期を大幅に短縮する
と共に、コストの削減が可能である。
【００１７】図５に本発明の変形例を示す。前記第１の
実施形態と異なる点は、天井接合フレーム１２ａの上面
の開口形状を角形開口２０ａにした点である。これによ
り角形の吹出口への取付けも可能になる。その他の構成
は第１実施形態と同一である。したがって、空気吹出口
の形状には左右されない。
実施形態と異なる点は、天井接合フレーム１２ａの上面
の開口形状を角形開口２０ａにした点である。これによ
り角形の吹出口への取付けも可能になる。その他の構成
は第１実施形態と同一である。したがって、空気吹出口
の形状には左右されない。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
天井接合部と高機能フィルタから構成される外付け式フ
ィルタユニットを既存の空気吹出口に被せて天井に取り
付けるように構成したので、誰でも簡単にフィルタユニ
ットを既設の吹出口に被せて取り付けることができ、ク
リーン化工事の工期及びコストを大幅に削減することが
できる。また、吹出口の形状如何に拘わらず対応できる
という効果がある。
天井接合部と高機能フィルタから構成される外付け式フ
ィルタユニットを既存の空気吹出口に被せて天井に取り
付けるように構成したので、誰でも簡単にフィルタユニ
ットを既設の吹出口に被せて取り付けることができ、ク
リーン化工事の工期及びコストを大幅に削減することが
できる。また、吹出口の形状如何に拘わらず対応できる
という効果がある。
【図１】本実施形態に係るクリーン化工事のためのフィ
ルタユニット取付工程を示す説明図である。
ルタユニット取付工程を示す説明図である。
【図２】本実施形態に係るフィルタユニットの天井接合
フレームの平面、断面、底面、および側面を示す詳細図
である。
フレームの平面、断面、底面、および側面を示す詳細図
である。
【図３】同フィルタユニットの高機能フィルタの平面
図、側面図、および斜視図である。
図、側面図、および斜視図である。
【図４】同フィルタユニットのフィルタ固定金具の側面
図と平面図である。
図と平面図である。
【図５】本発明の変形例に係る天井接合フレームを示す
詳細図である。
詳細図である。
【図６】従来のＨＥＰＡフィルタの側面図および底面図
である。
である。
【図７】従来のフィルタユニットを用いてクリーンルー
ム化をなす場合の作業工程図である。
ム化をなす場合の作業工程図である。
１０………外付け式フィルタユニット、１２………天井
接合フレーム、１４………高機能フィルタ、１６………
天井、１８………空気吹出口、２０………円形開口、２
２………パッキン、２４………天井取付用ボルト孔、２
５………矩形開口、２６………ガイドレール、２８……
…固定金具用ボルト孔 ３０………高機能フィルタ、３２………固定金具、３４
………矩形フレーム、３６………濾材、３８………パッ
キン、４０………ボルト孔。
接合フレーム、１４………高機能フィルタ、１６………
天井、１８………空気吹出口、２０………円形開口、２
２………パッキン、２４………天井取付用ボルト孔、２
５………矩形開口、２６………ガイドレール、２８……
…固定金具用ボルト孔 ３０………高機能フィルタ、３２………固定金具、３４
………矩形フレーム、３６………濾材、３８………パッ
キン、４０………ボルト孔。
Claims (2)
- 【請求項１】 天井接合部と高機能フィルタから構成さ
れる外付け式フィルタユニットを既存の空気吹出口に被
せて天井に取り付けることで室のクリーンルーム化を行
うことを特徴とする既設室のクリーンルーム化方法。 - 【請求項２】 室の空調空気吹出口を囲み吹出空気を取
り込むとともに取り込み空気の吐出部を有し天井面に気
密に取り付けられる天井接合フレームと、当該天井接合
フレームの前記空気吐出部に装着される高機能フィルタ
とから構成され、既設室の空気吹出口全体を被って後付
設置可能としてなることを特徴とする外付け式フィルタ
ユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001060190A JP2002267224A (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 既設室のクリーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001060190A JP2002267224A (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 既設室のクリーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267224A true JP2002267224A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18919645
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001060190A Pending JP2002267224A (ja) | 2001-03-05 | 2001-03-05 | 既設室のクリーンルーム化方法及び外付け式フィルタユニット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267224A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006105516A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Sekisui Chem Co Ltd | 建物の換気構造 |
| KR100735952B1 (ko) | 2006-04-05 | 2007-07-06 | 엘지전자 주식회사 | 후드용 정화기 |
| JP2008170102A (ja) * | 2007-01-12 | 2008-07-24 | Idaburutei Sakurai Kogyo Kk | 建築物の換気設備における中間ストレーナー装置 |
| WO2008143453A3 (en) * | 2007-05-21 | 2009-01-08 | Dong-Ku Kim | Air cleaning apparatus for ceiling |
| JP2009180403A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Tang Yi Lin | 加湿水冷ファン |
-
2001
- 2001-03-05 JP JP2001060190A patent/JP2002267224A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2006105516A (ja) * | 2004-10-06 | 2006-04-20 | Sekisui Chem Co Ltd | 建物の換気構造 |
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| KR100887022B1 (ko) * | 2007-05-21 | 2009-03-04 | 동 규 김 | 천정형 공기정화장치 |
| JP2009180403A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Tang Yi Lin | 加湿水冷ファン |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060306 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060309 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060626 |