JP2002267029A - 真空シール機構 - Google Patents
真空シール機構Info
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- JP2002267029A JP2002267029A JP2001070436A JP2001070436A JP2002267029A JP 2002267029 A JP2002267029 A JP 2002267029A JP 2001070436 A JP2001070436 A JP 2001070436A JP 2001070436 A JP2001070436 A JP 2001070436A JP 2002267029 A JP2002267029 A JP 2002267029A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 真空破壊事故を回避可能な真空シール機構を
提供する。 【解決手段】 ガス供給源１９から供給流路１８へガス
を送給すると、空間２３、及び両シール部材２１，２２
の内圧が高まり、両ベローズ１３，１４の伸張により移
動座２０がビームＳ進行方向上流側へ移動し、両シール
部材２１，２２がフランジ部Ｆに密着して、ビームライ
ン３１内が真空に保持され得る状態になる。また、排気
ポンプ２７で空間２５内を減圧すると、移動座２０がフ
ランジ部Ｆ側へ引き寄せられる。すなわち、ガス送給系
統の破損などにより空間２３の内圧が急激に低下して
も、空間２５を充分に大きくしておけば、移動座２０を
フランジ部Ｆ側へ引き寄せる力は失効せず、両ベローズ
１３，１４の復元力に抗して、フランジ部Ｆに対して両
シール部材２１，２２が密着した状態が持続する。
提供する。 【解決手段】 ガス供給源１９から供給流路１８へガス
を送給すると、空間２３、及び両シール部材２１，２２
の内圧が高まり、両ベローズ１３，１４の伸張により移
動座２０がビームＳ進行方向上流側へ移動し、両シール
部材２１，２２がフランジ部Ｆに密着して、ビームライ
ン３１内が真空に保持され得る状態になる。また、排気
ポンプ２７で空間２５内を減圧すると、移動座２０がフ
ランジ部Ｆ側へ引き寄せられる。すなわち、ガス送給系
統の破損などにより空間２３の内圧が急激に低下して
も、空間２５を充分に大きくしておけば、移動座２０を
フランジ部Ｆ側へ引き寄せる力は失効せず、両ベローズ
１３，１４の復元力に抗して、フランジ部Ｆに対して両
シール部材２１，２２が密着した状態が持続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は真空シール機構に関
するものである。
するものである。
【０００２】
【従来の技術】光速に近い速度で移動する電子がその進
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光と呼ばれる電磁波（光）を放出する。
行方向を磁場や電場で曲げられると、電子の軌道の接線
方向に放射光と呼ばれる電磁波（光）を放出する。
【０００３】図３は放射光発生手段の一例を示すもの
で、１は線形加速器であり、この線形加速器１は、電子
（荷電粒子）ｅを出射する電子発生装置２と、一端が電
子発生装置２に接続された直管状の加速ダクト３と、該
加速ダクト３の内部を移動する電子ｅに高周波電流を付
与して加速する高周波加速装置４とを有している。
で、１は線形加速器であり、この線形加速器１は、電子
（荷電粒子）ｅを出射する電子発生装置２と、一端が電
子発生装置２に接続された直管状の加速ダクト３と、該
加速ダクト３の内部を移動する電子ｅに高周波電流を付
与して加速する高周波加速装置４とを有している。
【０００４】加速ダクト３の他端には、湾曲管状の偏向
ダクト５の一端が接続されており、偏向ダクト５には、
その内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電
磁石６が設けられている。
ダクト５の一端が接続されており、偏向ダクト５には、
その内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電
磁石６が設けられている。
【０００５】７はシンクロトロン（電子蓄積リング）で
あり、該シンクロトロン７は、電子ｅに周回軌道を形成
させるための無端状ダクト８を有しており、該無端状ダ
クト８の所要箇所には、前記の偏向ダクト５の他端が接
続されている。
あり、該シンクロトロン７は、電子ｅに周回軌道を形成
させるための無端状ダクト８を有しており、該無端状ダ
クト８の所要箇所には、前記の偏向ダクト５の他端が接
続されている。
【０００６】この無端状ダクト８の湾曲部分には、その
内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電磁石
９が設けられ、無端状ダクト８の所要箇所には、その内
部を移動中の電子ｅに高周波電流を付与して加速する高
周波加速装置３０が設けられている。
内部を移動する電子ｅの軌道を曲げるための偏向電磁石
９が設けられ、無端状ダクト８の所要箇所には、その内
部を移動中の電子ｅに高周波電流を付与して加速する高
周波加速装置３０が設けられている。
【０００７】また、無端状ダクト８の所要箇所の湾曲部
には、該湾曲部において光速に近い速度で移動中の電子
ｅの進行方向が曲げられる際に放出される放射光ビーム
Ｓを、無端状ダクト８外方へ導くためのビームライン３
１の一端が接続され、ビームライン３１の他端には、放
射光ビームＳを照射光源とする実験を行なう実験装置３
２が設けられている。
には、該湾曲部において光速に近い速度で移動中の電子
ｅの進行方向が曲げられる際に放出される放射光ビーム
Ｓを、無端状ダクト８外方へ導くためのビームライン３
１の一端が接続され、ビームライン３１の他端には、放
射光ビームＳを照射光源とする実験を行なう実験装置３
２が設けられている。
【０００８】更に、実験装置３２の放射光ビームＳ入口
には、ビームライン３１内部を真空状態に保持するため
のベリリウム窓（図示せず）が設けられている。
には、ビームライン３１内部を真空状態に保持するため
のベリリウム窓（図示せず）が設けられている。
【０００９】図２に示すように、シンクロトロン７の無
端状ダクト８やビームライン３１を構成している真空ダ
クト１０，１０の間には、外部から無端状ダクト８やビ
ームライン３１内方への大気の流入を抑止するための真
空シール機構が介在している。
端状ダクト８やビームライン３１を構成している真空ダ
クト１０，１０の間には、外部から無端状ダクト８やビ
ームライン３１内方への大気の流入を抑止するための真
空シール機構が介在している。
【００１０】真空シール機構は、ビームＳ進行方向下流
側の真空ダクト１０に固着した環状の固定座１１と、該
固定座１１とビームＳ進行方向上流側の真空ダクト１０
との間に同軸に配置した環状の移動座１２と、基端部が
固定座１１のビームＳ進行方向上流側の面に当該固定座
１１開口部を周方向に取り囲むように固着され且つ先端
部が移動座１２のビームＳ進行方向下流側の面に当該移
動座１２開口部を周方向に取り囲むように固着された内
側ベローズ１３と、基端部が固定座１１のビームＳ進行
方向上流側の面に固着され且つ先端部が移動座１２にビ
ームＳ進行方向下流側の面に固着されて内側ベローズ１
３を全長にわたり周方向に取り囲む外側ベローズ１４
と、移動座１２のビームＳ進行方向上流側の面に当該移
動座１２開口部を周方向に取り囲むように設けられ且つ
ビームＳ進行方向上流側の真空ダクト１０のフランジ部
Ｆに密着可能な内側シール部材１５と、移動座１２のビ
ームＳ進行方向上流側の面に内側シール部材１５を周方
向に取り囲むように設けられ且つ前記のフランジ部Ｆに
密着可能な外側シール部材１６とを備えている。
側の真空ダクト１０に固着した環状の固定座１１と、該
固定座１１とビームＳ進行方向上流側の真空ダクト１０
との間に同軸に配置した環状の移動座１２と、基端部が
固定座１１のビームＳ進行方向上流側の面に当該固定座
１１開口部を周方向に取り囲むように固着され且つ先端
部が移動座１２のビームＳ進行方向下流側の面に当該移
動座１２開口部を周方向に取り囲むように固着された内
側ベローズ１３と、基端部が固定座１１のビームＳ進行
方向上流側の面に固着され且つ先端部が移動座１２にビ
ームＳ進行方向下流側の面に固着されて内側ベローズ１
３を全長にわたり周方向に取り囲む外側ベローズ１４
と、移動座１２のビームＳ進行方向上流側の面に当該移
動座１２開口部を周方向に取り囲むように設けられ且つ
ビームＳ進行方向上流側の真空ダクト１０のフランジ部
Ｆに密着可能な内側シール部材１５と、移動座１２のビ
ームＳ進行方向上流側の面に内側シール部材１５を周方
向に取り囲むように設けられ且つ前記のフランジ部Ｆに
密着可能な外側シール部材１６とを備えている。
【００１１】固定座１１には、当該固定座１１のビーム
Ｓ進行方向上流側の面、移動座１２のビームＳ進行方向
下流側の面、内側ベローズ１３の外側面、及び外側ベロ
ーズ１４の内側面で囲まれる空間１７へ、固定座１１外
方から連通する供給流路１８が穿設されており、該供給
流路１８には、ガス供給源１９が接続されている。
Ｓ進行方向上流側の面、移動座１２のビームＳ進行方向
下流側の面、内側ベローズ１３の外側面、及び外側ベロ
ーズ１４の内側面で囲まれる空間１７へ、固定座１１外
方から連通する供給流路１８が穿設されており、該供給
流路１８には、ガス供給源１９が接続されている。
【００１２】この真空シール機構では、ガス供給源１９
から供給流路１８にガスを送給し、空間１７の内圧を高
めると、両ベローズ１３，１４が伸張することにより移
動座１２がビームＳ進行方向上流側へ移動し、両シール
部材１５，１６がフランジ部Ｆに密着して、ビームライ
ン３１内が真空に保持され得る状態になる。
から供給流路１８にガスを送給し、空間１７の内圧を高
めると、両ベローズ１３，１４が伸張することにより移
動座１２がビームＳ進行方向上流側へ移動し、両シール
部材１５，１６がフランジ部Ｆに密着して、ビームライ
ン３１内が真空に保持され得る状態になる。
【００１３】また、保守点検作業にあたり、ビームライ
ン３１を開放する際には、空間１７へのガス圧の付与を
中断して、当該空間１７を大気圧にすると、復元力によ
って両ベローズ１３，１４が縮小し、両シール部材１
５，１６がフランジ部Ｆから離反する。
ン３１を開放する際には、空間１７へのガス圧の付与を
中断して、当該空間１７を大気圧にすると、復元力によ
って両ベローズ１３，１４が縮小し、両シール部材１
５，１６がフランジ部Ｆから離反する。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図２に
示す真空シール機構では、ガス供給源１９から供給流路
１８へのガス送給系統の破損などに起因して、空間１７
の内圧が急激に低下した場合、復元力により両ベローズ
１３，１４が縮小して両シール部材１５，１６がフラン
ジ部Ｆから離反し、外部からの空気の流入でビームライ
ン３１内の真空が保持できなくなる真空破壊事故が発生
することになる。
示す真空シール機構では、ガス供給源１９から供給流路
１８へのガス送給系統の破損などに起因して、空間１７
の内圧が急激に低下した場合、復元力により両ベローズ
１３，１４が縮小して両シール部材１５，１６がフラン
ジ部Ｆから離反し、外部からの空気の流入でビームライ
ン３１内の真空が保持できなくなる真空破壊事故が発生
することになる。
【００１５】本発明は上述した実情に鑑みてなしたもの
で、真空破壊事故を回避可能な真空シール機構を提供す
ることを目的としている。
で、真空破壊事故を回避可能な真空シール機構を提供す
ることを目的としている。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の請求項１に記載の真空シール機構では、真
空ダクトの連結対象物に固着した環状の固定座と、該固
定座と真空ダクト端部の間に配置した環状の移動座と、
基端部が固定座にその開口部を周方向に取り囲むように
固着され且つ先端部が移動座にその開口部を周方向に取
り囲むように固着された内側ベローズと、基端部が固定
座に固着され且つ先端部が移動座に固着されて内側ベロ
ーズを周方向に取り囲む外側ベローズと、移動座にその
開口部を周方向に取り囲んで真空ダクト端面に当接し得
るように設けた内側シール部材と、移動座に内側シール
部材を周方向に取り囲んで真空ダクト端面に当接し得る
ように設けた外側シール部材と、固定座、移動座、及び
両ベローズで囲まれる空間へガスを送給するガス供給手
段と、真空ダクト端面、移動座、及び両シール部材で囲
まれる空間を減圧する中間排気手段とを備えている。
め、本発明の請求項１に記載の真空シール機構では、真
空ダクトの連結対象物に固着した環状の固定座と、該固
定座と真空ダクト端部の間に配置した環状の移動座と、
基端部が固定座にその開口部を周方向に取り囲むように
固着され且つ先端部が移動座にその開口部を周方向に取
り囲むように固着された内側ベローズと、基端部が固定
座に固着され且つ先端部が移動座に固着されて内側ベロ
ーズを周方向に取り囲む外側ベローズと、移動座にその
開口部を周方向に取り囲んで真空ダクト端面に当接し得
るように設けた内側シール部材と、移動座に内側シール
部材を周方向に取り囲んで真空ダクト端面に当接し得る
ように設けた外側シール部材と、固定座、移動座、及び
両ベローズで囲まれる空間へガスを送給するガス供給手
段と、真空ダクト端面、移動座、及び両シール部材で囲
まれる空間を減圧する中間排気手段とを備えている。
【００１７】また、本発明の請求項２に記載の真空シー
ル機構では、内側シール部材及び外側シール部材を中空
構造とし、これらシール部材内に、固定座、移動座及び
両ベローズで囲まれる空間を経てガス供給手段からのガ
スが送給されるように構成している。
ル機構では、内側シール部材及び外側シール部材を中空
構造とし、これらシール部材内に、固定座、移動座及び
両ベローズで囲まれる空間を経てガス供給手段からのガ
スが送給されるように構成している。
【００１８】本発明の請求項１あるいは請求項２に記載
の真空シール機構のいずれにおいても、ガス供給手段か
ら固定座、移動座、及び両ベローズで囲まれる空間へガ
ス圧を付与し、両ベローズを伸張させることによって、
移動座に設けた両シール部材を真空ダクトに密着させた
うえ、真空ダクト、移動座、及び両シール部材で囲まれ
る空間を中間排気手段により減圧して、移動座を真空ダ
クト側へ引き寄せる。
の真空シール機構のいずれにおいても、ガス供給手段か
ら固定座、移動座、及び両ベローズで囲まれる空間へガ
ス圧を付与し、両ベローズを伸張させることによって、
移動座に設けた両シール部材を真空ダクトに密着させた
うえ、真空ダクト、移動座、及び両シール部材で囲まれ
る空間を中間排気手段により減圧して、移動座を真空ダ
クト側へ引き寄せる。
【００１９】本発明の請求項２に記載の真空シール機構
においては、ガス供給手段から中空構造の両シール部材
の内部へガス圧を付与し、真空ダクトに対する両シール
部材の密着性の向上を図る。
においては、ガス供給手段から中空構造の両シール部材
の内部へガス圧を付与し、真空ダクトに対する両シール
部材の密着性の向上を図る。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
示例とともに説明する。
示例とともに説明する。
【００２１】図１は本発明の真空シール機構の実施の形
態の一例であり、図中、図２と同一の符号を付した部分
は同一物を表わしている。
態の一例であり、図中、図２と同一の符号を付した部分
は同一物を表わしている。
【００２２】この真空シール機構は、ビームＳ進行方向
下流側の真空ダクト１０に固着した環状の固定座１１
と、該固定座１１とビームＳ進行方向上流側の真空ダク
ト１０との間に同軸に配置した環状の移動座２０と、基
端部が固定座１１のビームＳ進行方向上流側の面に当該
固定座１１開口部を周方向に取り囲むように固着され且
つ先端部が移動座２０のビームＳ進行方向下流側の面に
当該移動座２０開口部を周方向に取り囲むように固着さ
れた内側ベローズ１３と、基端部が固定座１１のビーム
Ｓ進行方向上流側の面に固着され且つ先端部が移動座２
０にビームＳ進行方向下流側の面に固着されて内側ベロ
ーズ１３を全長にわたり周方向に取り囲む外側ベローズ
１４と、移動座２０に付帯する中空構造の内側シール部
材２１及び外側シール部材２２とを備えている。
下流側の真空ダクト１０に固着した環状の固定座１１
と、該固定座１１とビームＳ進行方向上流側の真空ダク
ト１０との間に同軸に配置した環状の移動座２０と、基
端部が固定座１１のビームＳ進行方向上流側の面に当該
固定座１１開口部を周方向に取り囲むように固着され且
つ先端部が移動座２０のビームＳ進行方向下流側の面に
当該移動座２０開口部を周方向に取り囲むように固着さ
れた内側ベローズ１３と、基端部が固定座１１のビーム
Ｓ進行方向上流側の面に固着され且つ先端部が移動座２
０にビームＳ進行方向下流側の面に固着されて内側ベロ
ーズ１３を全長にわたり周方向に取り囲む外側ベローズ
１４と、移動座２０に付帯する中空構造の内側シール部
材２１及び外側シール部材２２とを備えている。
【００２３】内側シール部材２１及び外側シール部材２
２には、ごく薄い金属板で形成したものを用いている。
２には、ごく薄い金属板で形成したものを用いている。
【００２４】内側シール部材２１は、移動座２０開口部
を周方向に取り囲んで上流側の真空ダクト１０のフラン
ジ部Ｆに密着し得るように、移動座２０のビームＳ進行
方向上流側の面に取り付けられている。
を周方向に取り囲んで上流側の真空ダクト１０のフラン
ジ部Ｆに密着し得るように、移動座２０のビームＳ進行
方向上流側の面に取り付けられている。
【００２５】外側シール部材２２は、内側シール部材２
１を周方向に取り囲んでフランジ部Ｆに密着し得るよう
に、移動座２０のビームＳ進行方向上流側の面に取り付
けられている。
１を周方向に取り囲んでフランジ部Ｆに密着し得るよう
に、移動座２０のビームＳ進行方向上流側の面に取り付
けられている。
【００２６】移動座２０には、当該移動座２０のビーム
Ｓ進行方向下流側の面、固定座１１のビームＳ進行方向
上流側の面、内側ベローズ１３の外側面、及び外側ベロ
ーズ１４の内側面で囲まれる空間２３から両シール部材
２１，２２内に連通する加圧流路２４と、移動座２０の
ビームＳ進行方向上流側の面、フランジ部Ｆ、及び両シ
ール部材２１，２２で囲まれる空間２５から移動座２０
外方へ延びる排気流路２６とが穿設されており、当該排
気流路２６には、排気ポンプ２７が接続されている。
Ｓ進行方向下流側の面、固定座１１のビームＳ進行方向
上流側の面、内側ベローズ１３の外側面、及び外側ベロ
ーズ１４の内側面で囲まれる空間２３から両シール部材
２１，２２内に連通する加圧流路２４と、移動座２０の
ビームＳ進行方向上流側の面、フランジ部Ｆ、及び両シ
ール部材２１，２２で囲まれる空間２５から移動座２０
外方へ延びる排気流路２６とが穿設されており、当該排
気流路２６には、排気ポンプ２７が接続されている。
【００２７】内側シール部材２１と外側シール部材２２
がフランジ部Ｆに密着する際に当該両シール部材２１，
２２で囲まれるフランジ部Ｆ端面の面積Ａ（ｃｍ2）、
内側ベローズ１３と外側ベローズ１４のバネ定数ｋ（ｋ
ｇｆ／ｍｍ）、並びにこれらベローズ１３，１４の伸び
量Ｌ（ｍｍ）は、下記の数式を満たすように設定されて
いる。
がフランジ部Ｆに密着する際に当該両シール部材２１，
２２で囲まれるフランジ部Ｆ端面の面積Ａ（ｃｍ2）、
内側ベローズ１３と外側ベローズ１４のバネ定数ｋ（ｋ
ｇｆ／ｍｍ）、並びにこれらベローズ１３，１４の伸び
量Ｌ（ｍｍ）は、下記の数式を満たすように設定されて
いる。
【００２８】
【数１】Ａ×Ｐ＞ｋ×Ｌ Ｐ：大気圧＝１
【００２９】ビームライン３１内を真空に保持するとき
には、ガス供給源１９から供給流路１８へガスを送給す
るとともに、排気ポンプ２７を作動させると、空間２
３、両シール部材２１，２２の内圧が高まり、両ベロー
ズ１３，１４が伸張することにより移動座２０がビーム
Ｓ進行方向上流側へ移動し、両シール部材２１，２２が
フランジ部Ｆに密着して、ビームライン３１内が真空に
保持され得る状態になり、空間２５内の減圧に応じて、
移動座２０がフランジ部Ｆ側へ引き寄せられる。
には、ガス供給源１９から供給流路１８へガスを送給す
るとともに、排気ポンプ２７を作動させると、空間２
３、両シール部材２１，２２の内圧が高まり、両ベロー
ズ１３，１４が伸張することにより移動座２０がビーム
Ｓ進行方向上流側へ移動し、両シール部材２１，２２が
フランジ部Ｆに密着して、ビームライン３１内が真空に
保持され得る状態になり、空間２５内の減圧に応じて、
移動座２０がフランジ部Ｆ側へ引き寄せられる。
【００３０】すなわち、ガス送給系統の破損などにより
空間２３の内圧が急激に低下しても、空間２５内の減圧
に応じて移動座２０をフランジ部Ｆ側へ引き寄せる力は
失効せず、両ベローズ１３，１４の復元力に抗して、フ
ランジ部Ｆに対して両シール部材２１，２２が密着した
状態が持続し、これにより、ビームライン３１の真空破
壊事故が回避されることになる。
空間２３の内圧が急激に低下しても、空間２５内の減圧
に応じて移動座２０をフランジ部Ｆ側へ引き寄せる力は
失効せず、両ベローズ１３，１４の復元力に抗して、フ
ランジ部Ｆに対して両シール部材２１，２２が密着した
状態が持続し、これにより、ビームライン３１の真空破
壊事故が回避されることになる。
【００３１】また、保守点検作業にあたり、ビームライ
ン３１を開放する際には、空間２３、両シール部材２
１，２２内へのガス圧の付与を中断し、空間２３及び両
シール部材２１，２２内を大気圧に減圧したうえ、排気
ポンプ２７を停止させて、空間２５内を大気圧に昇圧さ
せると、移動座２０をフランジ部Ｆ側へ引き寄せている
力が失効するとともに、復元力により両ベローズ１３，
１４が縮小し、両シール部材２１，２２がフランジ部Ｆ
から離反する。
ン３１を開放する際には、空間２３、両シール部材２
１，２２内へのガス圧の付与を中断し、空間２３及び両
シール部材２１，２２内を大気圧に減圧したうえ、排気
ポンプ２７を停止させて、空間２５内を大気圧に昇圧さ
せると、移動座２０をフランジ部Ｆ側へ引き寄せている
力が失効するとともに、復元力により両ベローズ１３，
１４が縮小し、両シール部材２１，２２がフランジ部Ｆ
から離反する。
【００３２】なお、本発明の真空シール機構は、上述し
た実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明を
真空ダクトとビーム窓などの境界壁との接続に適用する
こと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
変更を加え得ることは勿論である。
た実施の形態のみに限定されるものではなく、本発明を
真空ダクトとビーム窓などの境界壁との接続に適用する
こと、その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲において
変更を加え得ることは勿論である。
【００３３】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の真空シール
機構によれば下記のような種々の優れた効果を奏し得
る。
機構によれば下記のような種々の優れた効果を奏し得
る。
【００３４】（１）本発明の請求項１あるいは請求項２
に記載の真空シール機構のいずれにおいても、ガス供給
手段から固定座、移動座、及び両ベローズで囲まれる空
間へガス圧を付与し、両ベローズを伸張させることによ
って、移動座に設けた両シール部材を真空ダクトに密着
させ、真空ダクト端面、移動座及び両シール部材で囲ま
れる空間を中間排気手段により減圧して、移動座を真空
ダクト側へ引き寄せるので、固定座、移動座及び両ベロ
ーズで囲まれる空間の内圧が急激に減少しても、両シー
ル部材が真空ダクトに密着した状態が持続し、真空破壊
事故を回避することができる。
に記載の真空シール機構のいずれにおいても、ガス供給
手段から固定座、移動座、及び両ベローズで囲まれる空
間へガス圧を付与し、両ベローズを伸張させることによ
って、移動座に設けた両シール部材を真空ダクトに密着
させ、真空ダクト端面、移動座及び両シール部材で囲ま
れる空間を中間排気手段により減圧して、移動座を真空
ダクト側へ引き寄せるので、固定座、移動座及び両ベロ
ーズで囲まれる空間の内圧が急激に減少しても、両シー
ル部材が真空ダクトに密着した状態が持続し、真空破壊
事故を回避することができる。
【００３５】（２）固定座、移動座、及び両ベローズで
囲まれる空間に対するガス圧の付与を中断し、真空ダク
ト端面、移動座、及び両シール部材で囲まれる空間を大
気圧に昇圧すれば、真空ダクトと連結対象物との結合を
簡単に解除することができ、また逆に、固定座、移動
座、及び両ベローズで囲まれる空間にガス圧を付与し、
真空ダクト端面、移動座、及び両シール部材で囲まれる
空間を減圧すれば、真空ダクトと連結対象物とを再び結
合することができる。
囲まれる空間に対するガス圧の付与を中断し、真空ダク
ト端面、移動座、及び両シール部材で囲まれる空間を大
気圧に昇圧すれば、真空ダクトと連結対象物との結合を
簡単に解除することができ、また逆に、固定座、移動
座、及び両ベローズで囲まれる空間にガス圧を付与し、
真空ダクト端面、移動座、及び両シール部材で囲まれる
空間を減圧すれば、真空ダクトと連結対象物とを再び結
合することができる。
【００３６】（３）本発明の請求項２に記載の真空シー
ル機構においては、ガス供給手段により中空構造の両シ
ール部材の内部へガス圧を付与するので、真空ダクト端
面への両シール部材の密着性の向上を図ることができ
る。
ル機構においては、ガス供給手段により中空構造の両シ
ール部材の内部へガス圧を付与するので、真空ダクト端
面への両シール部材の密着性の向上を図ることができ
る。
【図１】本発明の真空シール機構の実施の形態の一例を
示す縦断面図である。
示す縦断面図である。
【図２】従来の真空シール機構の一例を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図３】放射光発生手段の一例を示す概念図である。
１０ 真空ダクト（連結対象物） １１ 固定座 １３ 内側ベローズ １４ 外側ベローズ １９ ガス供給源（ガス供給手段） ２０ 移動座 ２１ 内側シール部材 ２２ 外側シール部材 ２３ 空間 ２５ 空間 ２７ 排気ポンプ（中間排気手段）
Claims (2)
- 【請求項１】 真空ダクトの連結対象物に固着した環状
の固定座と、該固定座と真空ダクト端部の間に配置した
環状の移動座と、基端部が固定座にその開口部を周方向
に取り囲むように固着され且つ先端部が移動座にその開
口部を周方向に取り囲むように固着された内側ベローズ
と、基端部が固定座に固着され且つ先端部が移動座に固
着されて内側ベローズを周方向に取り囲む外側ベローズ
と、移動座にその開口部を周方向に取り囲んで真空ダク
ト端面に当接し得るように設けた内側シール部材と、移
動座に内側シール部材を周方向に取り囲んで真空ダクト
端面に当接し得るように設けた外側シール部材と、固定
座、移動座、及び両ベローズで囲まれる空間へガスを送
給するガス供給手段と、真空ダクト端面、移動座、及び
両シール部材で囲まれる空間を減圧する中間排気手段と
を備えてなることを特徴とする真空シール機構。 - 【請求項２】 内側シール部材及び外側シール部材を中
空構造とし、これらシール部材内に、固定座、移動座及
び両ベローズで囲まれる空間を経てガス供給手段からの
ガスが送給されるように構成した請求項１に記載の真空
シール機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001070436A JP2002267029A (ja) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | 真空シール機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001070436A JP2002267029A (ja) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | 真空シール機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002267029A true JP2002267029A (ja) | 2002-09-18 |
Family
ID=18928311
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001070436A Pending JP2002267029A (ja) | 2001-03-13 | 2001-03-13 | 真空シール機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002267029A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| CN110985433A (zh) * | 2019-12-30 | 2020-04-10 | 蓝箭航天空间科技股份有限公司 | 用于涡轮泵的可调控动密封装置和涡轮泵组 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2001
- 2001-03-13 JP JP2001070436A patent/JP2002267029A/ja active Pending
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| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060623 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060704 |
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| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20061205 |