JP2002265285A - 高強度SiC繊維/SiC複合材料の製造方法 - Google Patents

高強度SiC繊維/SiC複合材料の製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 SiC繊維間にC等の界面層を施し、SiC
マトリックスを形成したSiC繊維/SiC複合体を製
造する際、簡易な方法で繊維と界面層との接合強度の高
いものを得て、結果的に機械的特性に優れた複合体を製
造する方法を提供する。 【構成】 化学蒸気浸透法によりSiC被覆を施したS
iC繊維を用いた成形体のSiC繊維表面に、Cまたは
BNからなる界面層を形成した後、化学蒸気浸透法によ
りSiCマトリックスを形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、発電分野、航空宇宙分
野、原子力/核融合分野等の高い熱負荷やその他の過酷
な環境下で使用される、優れた熱特性と強度特性を有す
る構造材料に関する。
【0002】
【従来の技術】航空・宇宙分野、原子力分野、発電分野
等の過酷な環境下で使用される材料として、耐熱性、化
学的安定性、機械的特性に優れたSiC,Si34等、
種々のセラミックス材料が開発されてきた。セラミック
ス材料は、熱交換器,メカニカルシール等の過酷な条件
に曝される部材としても使用されている。なかでも、S
iCは耐熱性のみならず、高強度で耐摩耗性に優れ、し
かも化学的安定性等に優れているので、航空・宇宙用途
から原子力分野、化石燃料等の燃焼による発電分野等ま
での広範囲な分野において有望視されている構造材料で
ある。
【0003】SiCは、融点が2600℃と高温特性に
優れているが、それ自体では脆い材料である。そこで、
SiC繊維で強化したSiC繊維/SiC複合材料が提
案され、その製造方法として、ホットプレス法や液相焼
結法等、多様な製造プロセスの検討が進められている。
しかしながら、いずれの製法によっても、高い熱伝導特
性や高い密度、更には高い強度特性、優れた破壊挙動特
性を有するSiC繊維/SiC複合材料を得ることは容
易ではない。
【0004】化学蒸気浸透法(CVD法)による従来の
SiC/SiC複合材料の作成方法は、市販のSiC繊
維に対して、繊維/マトリックス界面となるCやBN等
の層を化学蒸気浸透法により形成し、マトリックスSi
Cを同様に化学蒸気浸透法により形成するものであっ
た。CやBNの界面層は、界面において亀裂を分散させ
ることにより破壊靭性を向上させる働きは有しているも
のの、剥離した界面において応力を伝達する能力はほと
んど得られなかった。
【0005】十分な機械的特性が得られない一つの理由
として、繊維と繊維/マトリックス界面層との接着力が
弱いことが挙げられている。この問題を改善するため
に、繊維表面を化学的に処理することにより、SiC繊
維とCやC/SiC多層界面等との接合強度を向上させ
ることによって、強度特性を向上させることも提案され
ている。しかしこの方法では、化学蒸気法とは全く異な
った化学的なプロセスが加わることによって全体として
コスト高になってしまい、また繊維表面を直接改質する
ために繊維強度の劣化が懸念される。
【0006】本発明は、このような問題を解消すべく、
SiC繊維表面にC等の界面層を施し、SiCマトリッ
クスを形成したSiC繊維/SiC複合体を製造する
際、簡易な方法で繊維と界面層との接合強度の高いもの
を得て、結果的に機械的特性に優れた複合体を製造する
方法を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の高強度SiC繊
維/SiC複合材料の製造方法は、その目的を達成する
ため、化学蒸気浸透法によりSiC被覆を施したSiC
繊維を用いた成形体のSiC繊維表面に、CまたはBN
からなる界面層を形成した後、化学蒸気浸透法によりS
iCマトリックスを形成することを特徴とする。
【0008】
【作用】従来の化学蒸気浸透法により製造されたSiC
繊維/SiC複合材料では、繊維/マトリックス界面で
の破壊は、用いられる界面構造に依らず、繊維と界面層
間で亀裂が進展し易いことが、剥離した界面の透過電子
顕微鏡による観察等で明らかになっていた。この複合材
料では、界面強度特性の中で重要な要素である界面での
摩擦力は、界面構造に依存せず比較的低い。このため、
界面に一旦亀裂が入ると図1(a)で示されるように滑
らかに亀裂が進展し、界面における応力伝達能力が著し
く低下し、一旦亀裂が入ると強度特性が著しく劣化する
ことになる。これは、繊維と界面層との接合強度が界面
層内部や界面層とマトリックスSiCとの接合強度より
低いことに起因すると考えられる。
【0009】そこで、本発明者等は、繊維と界面の接合
強度を界面とマトリックスの接合強度と同等にするため
に、マトリックスSiCと同じ原料ガスであるアルキル
クロロシランを用いて繊維にSiC被覆を行った。Si
C被覆を施したSiC繊維に対して従来のC等の界面層
とSiCマトリックスを形成してSiC繊維/SiC複
合材料を作製した場合、図1(b)に示されるように界
面における亀裂は界面内部をより複雑に進展した。この
結果、繊維を被覆した試料の剥離した界面は、繊維を被
覆しなかったものに比べると、粗くなり、強度は大きく
向上していた。
【0010】繊維のSiC被覆の具体的な方法は、繊維
成形体内での蒸着速度を一定にし、均一なSiC被覆を
形成するために、繊維成形体の反応ガス供給側および排
気側を一定の同じ圧力とし、水素に対するアルキルクロ
ロシランの混合割合を60%以下にした混合ガス中にお
いて、圧力10kPa以上、温度1000℃以下で行
う。
【0011】SiC被覆後、繊維成形体の反応ガス供給
側および排気側を一定の同じ圧力とし、メタン等炭化水
素ガス流量を最大300cc/min、圧力15kPa
以下、反応温度最大1000℃の条件で炭素被覆を行
い、マトリックスSiCの形成は繊維のSiC被覆と同
様な条件で行う。
【0012】本発明では、従来から実施されている化学
蒸気浸透法によるSiC繊維/SiC複合材料の製造プ
ロセスに、一つの化学蒸気浸透工程を付加するだけであ
るから、化学的表面処理のような全く別のプロセスを必
要としない。したがって、他の表面処理に比べて、短時
間で処理することができ、製造コストを抑えることがで
きる。また、他の表面処理法に比べて繊維強度の劣化を
招くことも懸念されない。
【0013】
【実施例】<本発明例>平織りのSiC繊維織物(直径
14μm、繊維密度2.74g/cm3)7層を厚さが
2mmになるように重ね、40mmφの円盤状に成形し
た後、0.13Paの真空中、1200℃で約1時間加
熱し、繊維に付着している樹脂を除去した。その後、繊
維成形体の反応ガス供給側および排気側を一定の同じ圧
力とし、反応ガスのメチルトリクロロシランと還元性キ
ャリアガスの水素の混合ガス(水素に対するメチルトリ
クロロシランの混合割合を50%)を圧力14.7kP
a,温度約1000℃で12分保持し、繊維にSiC被
覆を行った。次いで、反応ガスのメタン(100cc/
min、圧力14.7kPa、反応温度950℃)を導
入し1時間保持し、SiC被覆した繊維成形体の周りに
炭素層を析出させ、再度SiC被覆と同様な条件で反応
ガスのメチルトリクロロシランと還元性キャリアガスの
水素の混合ガスにより19時間保持してマトリックスS
iCを形成した。得られた複合体の密度は2.5g/m
3であった。
【0014】<従来例>SiC繊維にSiC被覆を行わ
ない以外は実施例と同じ条件でSiC/SiC複合材料
を作成した。平織りのSiC繊維織物(直径14μm、
繊維密度2.74g/cm3)7層を厚さが2mmにな
るように重ね、40mmφの円盤状に成形した後、0.
13Paの真空中、1200℃で約1時間加熱し、繊維
に付着している樹脂を除去した。その後、繊維成形体の
反応ガス供給側および排気側を一定の同じ圧力とし、反
応ガスのメタン(100cc/min、圧力14.7k
Pa、反応温度950℃)を導入し1時間保持し、繊維
成形体の周りに炭素層を析出させ、その後、反応ガスの
メチルトリクロロシランと還元性キャリアガスの水素の
混合ガス(水素に対するメチルトリクロロシランの混合
割合を50%)を圧力14.7kPa,温度約1000
℃で15時間保持してマトリックスSiCを形成した。
得られた複合体の密度は2.5g/mm3であった。
【0015】<評価>SiC被覆を施したSiC繊維を
用い、繊維/マトリックス界面にC層を形成したSiC
繊維/SiC複合材料の、繊維とマトリックスとの界面
の透過電子顕微鏡像を図2に示す。また、図3は、繊維
にSiC被覆を施した試料と、施していない試料の引張
り特性を示したものである。上記本発明例と従来例によ
り作成したSiC/SiC複合材料の表面を平面研削に
より余剰SiCを取り除き、図3に示されているような
引っ張り試験片形状に加工した。SiC繊維にSiC被
覆を予め施しておくことにより、弾性率比例限界強度、
引っ張り強度、伸びともに著しく向上した。
【0016】引張り試験により引き抜かれた繊維の表面
をEDSにより元素分析した結果を表1に示す。SiC
被覆を施していない繊維では繊維の成分に相当するSi
とCが検出されたのに対し、SiC被覆を施した繊維で
は検出された成分はほとんどCであった。これは、Si
C被覆がない複合材料では、繊維/C界面間で破壊した
ために繊維表面が剥き出しになっているのに対し、Si
C被覆を施した複合材料ではC界面内で破壊が進行した
ために、検出された成分がほとんどCであったことを示
している。
【0017】
【0018】図4は、繊維にSiC被覆を施した試料
(b)と、施していない試料(a)の引き抜かれた繊維
表面の粗さを評価したものである(なお、図中縦軸の倍
率を変えている)。SiC被覆を施すことによって剥離
した界面は粗くなることが明らかになる。繊維表面粗さ
の二乗平均平方根(root mean square)が、SiC被覆
を施していないものでは2.51nmであったのに対
し、SiC被覆を施したものでは9.0nmであった。
剥離界面が粗くなっていることは、とりもなおさず、応
力伝達能力が十分に維持され破壊強度を向上させている
ことを示している。
【0019】
【発明の効果】以上に説明したように、本発明では、化
学蒸気浸透法によりSiC繊維表面にC等の界面層を施
し、SiCマトリックスを形成したSiC繊維/SiC
複合体を製造する際に、予めSiC繊維の表面に化学蒸
気浸透法によりSiC被覆を施しておくことにより、繊
維/マトリックス界面に起こる亀裂の進展が、繊維/界
面層の境界から界面層内部に移行し、破壊界面での破壊
挙動を複雑にし、剥離界面での摩擦力を大きく向上させ
ることが可能になった。このため、剥離した界面におい
て高い応力伝達能力を維持することができるため、強度
特性は大きく向上した。さらに、他の繊維の表面処理に
比べて簡易な方法で化学蒸気浸透法による複合体製造の
プロセスの範囲内で実施することが可能であるため、他
の方法に比べて時間的にもコスト的にも優位な方法であ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】 界面の破壊挙動に及ぼす繊維のSiC被覆効
果を示す図。
【図2】 SiC被覆を施した繊維を用いて作製したS
iC繊維/SiC複合材料の繊維/マトリックス界面を
透過電子顕微鏡で観察した観察画面概略図。
【図3】 引張り強度特性に及ぼす繊維のSiC被覆効
果を示す図。
【図4】 引張り試験により引き抜かれた繊維の表面粗
さを示す図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 加藤 雄大 京都府宇治市五ヶ庄 京都大学エネルギー 理工学研究所内 Fターム(参考) 4G001 BA22 BA75 BA77 BA86 BB22 BC23 BC32 BC45 BD01 BD13 4K030 AA06 AA09 AA17 BA27 BA37 BA39 BB12 CA08 FA10 LA01 LA11

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 化学蒸気浸透法によりSiC被覆を施し
    たSiC繊維を用いた成形体のSiC繊維表面に、Cま
    たはBNからなる界面層を形成した後、化学蒸気浸透法
    によりSiCマトリックスを形成することを特徴とする
    高強度SiC繊維/SiC複合材料の製造方法。
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