JP2002260561A - 平面型ディスプレイパネル及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ２枚の平面基板を互いに平行に、かつ所定の
間隔を保持できる高品質の平面型ディスプレイパネル及
びその製造方法を得ること。 【解決手段】 本発明の平面型ディスプレイパネルの製
造方法は、２枚の平面基板１０、２０を画像表示エリア
Ａ内で複数本の同一長さのスペ−サ３０を用いて所定の
間隔を開け、互いに平行に保持して接合するに当たり、
平面ガラス基板２０の内面の複数箇所に断熱層２２とそ
の上に金属層２３を溶射して形成し、これらの各金属層
２３と、スペ−サ３０の端面に溶射して形成された金属
層３１とを当接させ、レーザビームＬで両金属層２３、
３１を溶接し、或いは超音波振動で接合して（図６）、
固定するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、平面型ディスプレ
イパネルに関し、特に２枚の平面型ディスプレイパネル
用平面ガラス基板をスペ−サを用いて所定の間隔を保持
し、内部に真空の空間を形成することがことができる平
面型ディスプレイパネル用平面ガラス基板、平面型ディ
スプレイパネル、及びその製造方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】今日、カラーＴＶ、コンピュータ、ワー
ドプロセッサ、ビデオカメラなどのモニターなどには平
面型ディスプレイパネル装置が多く用いられるようにな
り、普及している。その平面型ディスプレイ装置として
は、例えば、ＦＥＤ（Ｆｉｅｌｄ Ｅｍｉｓｓｉｏｎ
Ｄｉｓｐｌａｙの略）装置、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄ
ｉｓｐｌａｙの略）装置などがある。

【０００３】そして、例えば、ＦＥＤ装置に組み込まれ
ている平面型ディスプレイパネルは、特表平１１−５０
８３９７「ＦＥＤの配列および封止方法」に開示されて
いるように、所定の間隔を開けて互いに平行に配設さ
れ、内部が真空に形成された２枚の平面ガラス基板で構
成されている。一枚の平面ガラス基板は背面板であっ
て、電子を発生させるカソード基板であり、他の一枚の
平面ガラス基板は前面板であって、内表面に蛍光体が塗
布されているアノード基板であり、前記カソード基板か
ら放出される電子により光を発生し、画像を表示する。

【０００４】画像の表示原理はブラウン管と同じで、電
子を発生させ、その電子を加速し、目標の蛍光面に正確
に当てて発光させるので、ブラウン管と同程度の真空度
（例えば、１０〜６Ｔｏｒｒ）を必要とする。

【０００５】その真空度ではガラス表面に大気圧が掛か
り、その真空空間を潰していまうので何らかの対策が必
要である。ブラウン管ではガラスの厚み、形状でこの問
題を解決しているが、ＦＥＤでは２枚の平面ガラス基板
の間にガラス基板同士を支える耐圧用の模造物（以下、
これを「スペ−サ」と記す）を配置することにより、こ
の問題を解決している。

【０００６】高圧型のＦＥＤの場合、このスペ−サは高
さが１〜２ｍｍ、幅が４０〜６０μｍといったアスペク
ト比が非常に大きな形状であり、何らかの方法でこれを
平面ガラス基板に組付け、固定する必要がある。そこで
このスペ−サを接着剤で固定する方法が考えられる（特
開平１１−２５０８０３、特許第２５６３０８号）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかし、ＦＥＤでは高
真空度を要求するため、有機物を含む接着剤の使用は製
品の性能上好ましくない。また、高解像度のＦＥＤでは
表示画面内では接着剤塗布に使える面積が非常に狭く、
平面的な溝造では表示画素に接着剤が流れ込んでしま
い、不良の原因となる。

【０００８】従って、本発明はこのような問題点に鑑み
てなされたものであって、平面型ディスプレイパネルを
構成する２枚の平面基板を互いに平行に、かつ所定の間
隔を保持できる高品質の平面型ディスプレイパネル及び
その製造方法を得ることを目的とするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】それ故、前記の目的を達
成するため、請求項１に記載の発明は、２枚の平面基板
が画像表示エリア内で複数本の同一長さのスペ−サを用
いて所定の間隔を開け、互いに平行に保持されて接合さ
れている平面型ディスプレイパネルにおいて、前記複数
本のスペ−サが前記画像表示エリア内の前記平面基板の
内表面の複数箇所に金属層とを介して接合されているこ
とを特徴とする。

【００１０】そして請求項２に記載の発明は、２枚の平
面基板が画像表示エリア内で複数本の同一長さのスペ−
サを用いて所定の間隔を開け、互いに平行に保持されて
接合されている平面型ディスプレイパネルにおいて、前
記複数本のスペ−サが前記画像表示エリア内の前記平面
基板の内表面の複数箇所に直接形成されている断熱層を
介して金属層で接合されていることを特徴とする。

【００１１】また、請求項３に記載の発明は、請求項２
に記載の平面型ディスプレイパネルにおいて、前記断熱
層がセラミック材であることを特徴とする。

【００１２】そしてまた、請求項４に記載の発明は、２
枚の平面基板を画像表示エリア内で複数本の同一長さの
スペ−サを用いて所定の間隔を開け、互いに平行に保持
されて接合されている平面型ディスプレイパネルの製造
方法において、その製造方法が、前記少なくとも一方の
平面基板の画像表示エリア内の複数箇所の内表面に断熱
層と該断熱層の表面に金属層を形成する工程と、前記各
スペ−サの一端面に金属層を形成する工程と、前記平面
基板の前記金属層に、前記複数本のスペ−サを、それら
の金属層を突き合わせ、その突合わせ状態を保持する工
程と、然る後、前記突き合わせた両金属層に向けてレー
ザを照射し、前記両金属層を溶接する工程とを含むこと
を特徴とする。

【００１３】更に、請求項５に記載の発明は、請求項４
に記載の平面型ディスプレイパネルの製造方法におい
て、前記レーザがレーザ照射ユニットから出射され、該
レーザ照射ユニットがＸ−ＹテーブルにＸ軸、Ｙ軸方向
に移動できるように保持され、前記両金属層の位置に順
次送られるように制御されていることを特徴とする。

【００１４】更に、請求項６に記載の発明は、２枚の平
面基板を画像表示エリア内で複数本の同一長さのスペ−
サを用いて所定の間隔を開け、互いに平行に保持されて
接合されている平面型ディスプレイパネルの製造方法に
おいて、その製造方法が、前記少なくとも一方の平面基
板の画像表示エリア内の複数箇所の内表面に金属層を形
成する工程と、前記各スペ−サの一端面に金属層を形成
する工程と、前記平面基板の前記金属層に、前記複数本
のスペ−サを、それらの金属層を突き合わせ、その突合
わせ状態を保持する工程と、然る後、前記突き合わせた
両金属層に超音波振動エネルギーを伝達し、前記両金属
層を超音波接合する工程とを含むことを特徴とする。前
記少なくとも一方の平面基板の画像表示エリア内の複数
箇所の内表面に金属層を形成する工程と、前記各スペ−
サの一端面に金属層を形成する工程と、前記平面基板の
前記金属層上に前記複数本のスペ−サを、それらの金属
層を向き合わせた状態で所定の間隔を開けて載置する工
程と、該複数本のスペ−サを載置した平面基板を、該平
面基板を下にして超音波発生装置の固定ヘッド上に載置
する工程と、然る後、該固定ヘッド上に載置された前記
平面基板上の各スペ−サの他端面に前記固定ヘッドと協
働する振動ヘッドを当てがって、前記両金属層に向けて
超音波振動エネルギーを伝達し、前記両金属層を超音波
接合する工程とを含むことを特徴とする。

【００１５】更にまた、請求項７に記載の発明は、請求
項６に記載の平面型ディスプレイパネルの製造方法にお
いて、前記振動ヘッドがＸ−ＹテーブルにＸ軸、Ｙ軸方
向に移動できるように保持され、前記両金属層の位置に
順次送られるように制御されていることを特徴とする。

【００１６】それ故、請求項１に記載の発明によれば、
金属で接合されているので２枚の平面基板の間隔を比較
的精密に開けることができ、そして有機物を用いてスペ
−サを固定していないので良好な特性の平面型ディスプ
レイパネルが得られる。

【００１７】そして請求項２に記載の発明によれば、断
熱層の存在によりスペ−サを平面基板に溶着する時に伝
わる熱を軽減できるので、平面基板の損傷のない平面型
ディスプレイパネルが得られ、そして金属で接合されて
いるので２枚の平面基板の間隔を比較的精密に開けるこ
とができ、また、有機物を用いてスペ−サを固定してい
ないので良好な特性の平面型ディスプレイパネルが得ら
れる。

【００１８】また、請求項３に記載の発明によれば、請
求項２に記載の作用効果に加えて、断熱層の材料にセラ
ミックスを用いたことにより、発生した熱を一層効果的
に遮断できるので、より信頼性の高い平面型ディスプレ
イパネルが得られる。

【００１９】そしてまた、請求項４に記載の発明によれ
ば、金属同士のレーザ溶接であるので極めて短時間にス
ペ−サを平面基板に固定でき、しかも固定に必要とする
面積を極めて少ない面積で済み、画像表示エリア内にも
固定するポイントを設けることができ、両者の接合に有
機物を用いていないので特性に悪影響を与えるガスも発
生せず、そして発生した熱は断熱層で遮断できるなど、
良好な平面型ディスプレイパネルを安価に製造すること
ができる。

【００２０】更に、請求項５に記載の発明によれば、請
求項４に記載の作用効果に加えて、レーザの照射スポッ
トをＸ軸方向及びＹ軸方向に容易に順次移動させること
ができ、効率的に平面型ディスプレイパネルを製造する
ことができる。

【００２１】更にまた、請求項６に記載の発明によれ
ば、金属同士の超音波接合であるので極めて短時間にス
ペ−サを平面基板に固定でき、しかも固定に必要とする
面積を極めて少ない面積で済み、画像表示エリア内にも
固定するポイントを設けることができる。その超音波接
合の際に金属の表面で摩擦によるクリーニング効果が発
生し、金属層の表面に付着した酸化物、吸着ガスなどを
除去できるので、これらの不純物から発生するガスによ
る不良をなくすことができる。また、両者の接合に有機
物を用いていないので特性に悪影響を与えるガスも発生
せず、そして発生した熱は断熱層で遮断できるなど、良
好な平面型ディスプレイパネルを安価に製造することが
できる。

【００２２】そして更にまた、請求項７に記載の発明に
よれば、請求項６に記載の作用効果に加えて、超音波の
照射スポットをＸ軸方向及びＹ軸方向に容易に順次移動
させることができ、効率的に平面型ディスプレイパネル
を製造することができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、図を用いて、本発明の一実
施形態の平面型ディスプレイパネル及びその製造方法を
説明する。

【００２４】図１は本発明の一実施形態の平面型ディス
プレイパネルの構造を示す断面側面図、図２は本発明の
平面型ディスプレイパネルの製造に用いられる平面ガラ
ス基板の一部分の構造を示す斜視図、図３は本発明の平
面型ディスプレイパネルの製造に用いられるスペ−サの
一部分の構造を示す斜視図、図４は平面型ディスプレイ
パネルの内面に複数本のスペ−サを固定するために用い
る本発明のレーザー溶接による製造方法を説明するため
の略線的斜視図、図５は図４に示したレーザー溶接によ
るスペ−サと平面ガラス基板の溶接の様子を説明するた
めの一部断面側面図、図６は平面型ディスプレイパネル
の内面に複数本のスペ−サを固定するために用いる本発
明の超音波接合による製造方法を説明するための略線的
斜視図、そして図７は図６に示した超音波接合によるス
ペ−サと平面ガラス基板の接合の様子を説明するための
一部断面側面図である。

【００２５】図１において、符号１は全体として本発明
の一実施形態の平面型ディスプレイパネルを指す。この
平面型ディスプレイパネル１は、２枚の平面ガラス基
板、即ち、カソード基板である平面ガラス基板１０とア
ノード基板である平面ガラス基板２０とから構成されて
いる。

【００２６】平面ガラス基板１０は平面型ディスプレイ
パネル１の背面板であって、その内表面にはエミッタ１
１が成膜されており、平面ガラス基板２０は平面型ディ
スプレイパネル１の前面板であって、その内表面には蛍
光体２１が成膜されており、平面ガラス基板２０の蛍光
体２１は平面ガラス基板１０のエミッタ１１から放出さ
れる電子により光を発し、画像が表示される。図１にお
ける符号Ａで示した点線内のエリアが画像表示エリアで
ある。

【００２７】本発明の平面型ディスプレイパネル１で
は、少なくとも画像表示エリアＡ内における平面ガラス
基板１０と平面ガラス基板２０とを、例えば、１〜２ｍ
ｍ程度の間隔を開けて互いに平行を保って固定されてい
る。この間隔を保つために、平面ガラス基板２０の内面
に複数本のスペ−サ３０がほぼ等間隔で互いに平行に配
設され、固定されている。スペ−サ３０の材料は、両平
面ガラス基板１０、２０の外周部をフリットシール時の
高温（約５００°Ｃ）で変形、損傷することなく、２枚
の平面ガラス基板１０、２０を保持するものでなければ
ならない。

【００２８】なお、両平面ガラス基板１０、２０もこの
条件を満たすガラスを用いて形成されているが、前記の
条件を満たすものであれば、平面ガラス基板１０はガラ
スでなくてもよく、半導体ウェーハであってもよい。ま
た、平面ガラス基板２０は透明ガラスで構成することが
望ましいが、ガラスに限定されるものではない。

【００２９】平面ガラス基板２０には、図２に示したよ
うに、その画像表示エリアＡ内の内表面の複数箇所に、
予め、セラミックの断熱層２２を、そしてその断熱層２
２の表面に金属層２３を形成する。

【００３０】また、スペ−サ３０は、前記のように、例
えば、高さＨが１〜２ｍｍ、幅Ｗが４０〜６０μｍ（図
５）といったアスペクト比が非常に大きな形状のもので
あって、図３に示したように、その一端面に、金属層２
３の位置と合致するように金属層２３の間隔と同一の間
隔で金属層３１を予め形成しておく。

【００３１】実施例としては、スペ−サ３０にガラスを
使用し、断熱層２２に数１０μｍ程度の厚さでアルミナ
（Ａｌ_２ Ｏ_３ −ＺｒＯ_２ ）を、金属層２３及び金
属層３１に数１０μｍ程度の厚さでニッケル（Ｎｉ）を
それぞれ溶射により成膜した。

【００３２】次に、図４及び図５を用いて、本発明の第
１実施形態の平面型ディスプレイパネルの製造方法を説
明する。

【００３３】先ず、平面ガラス基板２０を、その内面を
上向きにして、図４に示したように、レーザ照射ユニッ
ト５０の上方に配置、固定する。

【００３４】次に、その平面ガラス基板２０の内面に所
定の間隔で配列されている前記のような断熱層２２と金
属層２３との積層のそれぞれの金属層２３に、前記のよ
うな構造の複数本のスペ−サ３０を、例えば、ロボット
で保持して、その金属層３１を突き合わせ、この状態を
維持する。

【００３５】次に、このように付き合わされた両金属層
２３、３１の突合わせ部分に向けて、平面ガラス基板２
０の背面を通してレーザ照射ユニット５０からレーザビ
ームＬを照射し、金属層２３と金属層３１とを溶接す
る。

【００３６】レーザ照射ユニット５０はＸ−Ｙテーブル
４０の上にＸ軸方向及びＹ軸方向に移動できるように取
り付けられており、そのレーザ照射ユニット５０は予め
プログラムされている手順に従って、１カ所の溶接が終
了すると、Ｘ−Ｙテーブル４０上をＸ軸方向及び又はＹ
軸方向に移動して、順次、異なる場所の金属層２３と金
属層３１とにレーザビームＬを照射し、溶接する。

【００３７】レーザーＬは、例えば、ＹＡＧレーザー
（波長１０６４ｎｍ）を用いるとよい。この波長のレー
ザーＬは平面ガラス基板２０を透過するため、レーザー
Ｌの照射によるガラスの損傷はない。更に、このレーザ
ーＬはセラミックスである断熱層（セラミックス層）２
２で減衰はするものの、この断熱層２２を透過し、金属
層２３、３１同士を溶接することができる。

【００３８】図５にレーザＬによる詳細な溶接メカニズ
ムを示した。この溶接の際に金属層２３と金属層３１と
が当接している溶接部Ｃで熱Ｈが発生し、その熱Ｈが平
面ガラス基板２０に伝わる。符号Ｄで示した部分は、断
熱層２２が無い場合に、熱Ｈが平面ガラス基板２０に伝
わり、急激な温度変化が生じて損傷してしまう部分であ
る。平面ガラス基板２０全体を或る程度の温度まで加熱
しながらレーザビームＬを照射し、この急激な温度変化
を緩和するという方法も考えられるが、本発明では、こ
の熱Ｈが平面ガラス基板２０に伝わらないよう、平面ガ
ラス基板２０と金属層２２の間に断熱層２３を設けて断
熱した。

【００３９】断熱層２２のセラミックスは断熱が目的で
あるので、前記の実施例のもの以外にＭｇＯ−ＳｉＯ
_２ などの他のセラミックスでもよいし、特に断熱でき
ればセラミックスに限定されるものではない。

【００４０】この構造によリレーザー溶接が可能とな
り、非常にシンプル、かつ短時間で平面ガラス基板１
０、２０同士を固定することが可能となった。

【００４１】図４に示したように、本実施例では、１台
のレーザー出射ユニット５０を移動させながら溶接箇所
を順次溶接を行うようにしたが、全ての溶接場所にレー
ザー出射ユニット５０を設置して溶接を全て同時に行う
ようにしてもよい。

【００４２】次に、この平面ガラス基板２０は他方の平
面ガラス基板１０に合わされて仮固定され、この仮固定
が終了すると、次に、図１に示したように、画像表示エ
リアＡ外のエリアにおいて、両平面ガラス基板１０、２
０の全周の隙間にフリットガラス４０を挿入し、そして
フリットガラス３２を加熱、溶融し、そして冷却してシ
ールする。

【００４３】この合体された平面型ディスプレイパネル
１の内部は、最終的に真空にされるが、その時、前記各
スペ−サ３０は外気圧で平面ガラス基板２０側に押し込
まれようとする平面ガラス基板１０を支え、両平面ガラ
ス基板１０、２０間の間隔が所定の寸法で保持されるこ
とになる。

【００４４】次に、図６及び図７を用いて、本発明の第
２実施形態の平面型ディスプレイパネルの製造方法を説
明する。

【００４５】この製造方法は、超音波によりスペ−サ３
０を平面ガラス基板２０の内面に接合しようとする方法
で、図６に示したような構成の超音波発生装置６０を用
いる。この超音波発生装置６０は超音波ユニット６１と
固定ヘッド６２とから構成されており、超音波ユニット
６１は超音波振動エネルギーを伝達し、かつ圧力を加わ
えることができる振動ヘッド６１１を備えている。そし
て超音波ユニット６１はＸ−Ｙテーブル７０に取り付け
られて、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に、平面ガラス基板２０
Ａ上の任意の位置に移動できるように構成されている。

【００４６】この超音波接合の場合のスペ−サ３０が取
り付けられる平面ガラス基板２０Ａ面の接合表面の構造
は前記のものと異なり、熱を遮断するための断熱層２２
を必要とせず、金属層２３のみが成膜されている。前記
の平面ガラス基板２０と区別するために、この場合の平
面ガラス基板に符号２０Ａを付す。スペ−サ３０の構造
は同様であるので、それらの説明は省略する。

【００４７】先ず、その平面ガラス基板２０Ａを、その
内面を上向きにして固定ヘッド６２上の所定の位置に載
置、位置決めし、固定する（図６及び図７）。

【００４８】次に、この平面ガラス基板２０Ａの内面の
金属層２３に、複数本のスペ−サ３０を、その金属層３
１を下にして突き合わせ、その突合わせ状態を維持する
（図６）。

【００４９】次に、スペ−サ３０の他端面（図示の場
合、上端面）に振動ヘッド６１１を当てがい、金属層２
３、３１の当接部分でスペ−サ３０を加圧しながら超音
波振動エネルギーを伝達する。これにより金属膜２３、
３１同士が超音波接合される。この超音波接合では５０
ｍｓｅｃ程度の短時間で固定に必要な強度を確保するこ
とができる。

【００５０】この超音波発接合により非常にシンプルな
構造で、短時間でスペ−サ３０を平面ガラス基板２０Ａ
に固定することができる。

【００５１】図６及び図７に示したように、本実施例で
は、一台の振動ヘッド６１１を移動させながら接合箇所
を順次接合するようにしたが、大きな振動ヘッドを用い
て、複数の接合箇所を同時に接合するようにしてもよ
く、また、複数の振動ヘッドを用いて複数の接合箇所を
同時に接合するようにしてもよい。

【００５２】次に、この平面ガラス基板２０Ａは他方の
平面ガラス基板１０と仮固定され、この仮固定が終了す
ると、次に、図１に示したように、画像表示エリアＡ外
のエリアにおいて、両平面ガラス基板１０、２０Ａの全
周の隙間にフリットガラス４０を挿入し、そして加熱し
てフリットガラス３２を溶融、冷却してシールする。

【００５３】前記のスペ−サ３０の形状については、こ
れらの実施形態では薄い連続した板状のものを例に上げ
ているが、独立した円柱形状のものなど、どのような形
状のスベーサーについても、レーザー及び超音波振動に
よる接合方法を適用することができる。

【００５４】また、図３に示したように、金属層３１を
スペ−サ３０の端面の複数部分に独立して形成したが、
その端面の全面に金属層３１を形成してもよい。

【００５５】また、金属層２３、３１は溶接、或いは超
音波接合ができるものであれば、特に前記の材料に限定
されるものではない。

【００５６】金属層２３、３１の成膜ではスパッタ、蒸
着などの薄膜成膜法でもよいが、前記のように溶射とい
う方法はスパッタ、蒸着などの薄膜成膜方法より材料に
制限が少なく、また膜厚もこれらの方法と比べものにな
らないほど厚く（数１０μｍ〜数ｍｍまで）成膜できる
ので、材料、条件の選択範囲を広くすることができる。

【００５７】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、 Ａ．平面型ディスプレイパネルとしては、 １．スペーサーを固定するのに必要な面積が小さいので
高精細な平面型ディスプレイパネルが得られる ２．安定してスペ−サを固定できるので、耐圧性能の高
い平面型ディスプレイパネルを実現できる Ｂ．平面型ディスプレイパネルの製造方法としては、 １．簡潔な工程で製造できるので不良品の発生を減少さ
せることができる。

【００５８】２．製品の特性上、好ましくない材料（樹
脂などの有機物）を使用しないためこれらから発生する
ガスによる不良を無くすことができる。

【００５９】３．製造工程が短いので１台の設備で処理
できる製品数量が増え、設備投資を削減することができ
る。

【００６０】４．金属同士を接合するにも関わらず熱が
発生しないので、平面ガラス基板の加熱や不活性ガス雰
囲気を必要とせず、設備本体以外のコストを大幅に削減
することができる特に、超音波振動を用いた場合、 ５．超音波接合の際に金属の表面で摩擦によるクリーニ
ング効果が発生し、金属表面に付着した酸化物、吸着ガ
スなどを除去することができるので、これらの不純物か
ら発生するガスによる不良を無くすことができる。な
ど、数々の優れた効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態の平面型ディスプレイパ
ネルの構造を示す断面側面図である。

【図２】 本発明の平面型ディスプレイパネルの製造に
用いられる平面ガラス基板の一部分の構造を示す斜視図
である。

【図３】 本発明の平面型ディスプレイパネルの製造に
用いられるスペ−サの一部分の構造を示す斜視図であ
る。

【図４】 平面型ディスプレイパネルの内面に複数本の
スペ−サを固定するために用いる本発明のレーザー溶接
による製造方法を説明するための略線的斜視図である。

【図５】 図４に示したレーザー溶接によるスペ−サと
平面ガラス基板の溶接の様子を説明するための一部断面
側面図である。

【図６】 平面型ディスプレイパネルの内面に複数本の
スペ−サを固定するために用いる本発明の超音波接合に
よる製造方法を説明するための略線的斜視図である。

【図７】 図６に示した超音波接合によるスペ−サと平
面ガラス基板の接合の様子を説明するための一部断面側
面図である。

【符号の説明】

１…本発明の一実施形態の平面型ディスプレイパネル、
１０，２０…（平面型ディスプレイパネル用）平面ガラ
ス基板、２２…断熱層、２３，３１…金属層、３０…ス
ペ−サ、３２…フリットガラス、４０，６０…超音波発
生装置、６１…超音波ユニット、６１１…振動ヘッド、
６２…固定ヘッド、７０…Ｘ−Ｙテーブル、５０…レー
ザー出射ユニット、Ａ…画像表示エリア、Ｃ…溶接部、
Ｄ…断熱層が無い場合、発生した熱Ｈで損傷を受ける平
面ガラス基板２０の部分、Ｈ…溶接により発生した熱、
Ｌ…レーザビーム

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ２枚の平面基板が画像表示エリア内で複
   数本の同一長さのスペ−サを用いて所定の間隔を開け、
   互いに平行に保持されて接合されている平面型ディスプ
   レイパネルにおいて、 前記複数本のスペ−サが前記画像表示エリア内の前記平
   面基板の内表面の複数箇所に金属層とを介して接合され
   ていることを特徴とする平面型ディスプレイパネル。
2. 【請求項２】 ２枚の平面基板が画像表示エリア内で複
   数本の同一長さのスペ−サを用いて所定の間隔を開け、
   互いに平行に保持されて接合されている平面型ディスプ
   レイパネルにおいて、 前記複数本のスペ−サが前記画像表示エリア内の前記平
   面基板の内表面の複数箇所に直接形成されている断熱層
   を介して金属層で接合されていることを特徴とする平面
   型ディスプレイパネル。
3. 【請求項３】 前記断熱層がセラミック材であることを
   特徴とする請求項２に記載の平面型ディスプレイパネ
   ル。
4. 【請求項４】 ２枚の平面基板を画像表示エリア内で複
   数本の同一長さのスペ−サを用いて所定の間隔を開け、
   互いに平行に保持されて接合されている平面型ディスプ
   レイパネルの製造方法において、 前記少なくとも一方の平面基板の画像表示エリア内の複
   数箇所の内表面に断熱層と該断熱層の表面に金属層を形
   成する工程と、 前記各スペ−サの一端面に金属層を形成する工程と、 前記平面基板の前記金属層に、前記複数本のスペ−サ
   を、それらの金属層を突き合わせ、その突合わせ状態を
   保持する工程と、 然る後、前記突き合わせた両金属層に向けてレーザを照
   射し、前記両金属層を溶接する工程とを含むことを特徴
   とする平面型ディスプレイパネルの製造方法。
5. 【請求項５】 前記レーザはレーザ照射ユニットから出
   射され、該レーザ照射ユニットがＸ−ＹテーブルにＸ
   軸、Ｙ軸方向に移動できるように保持され、前記両金属
   層の位置に順次送られるように制御されていることを特
   徴とする請求項３に記載の平面型ディスプレイパネルの
   製造方法。
6. 【請求項６】 ２枚の平面基板を画像表示エリア内で複
   数本の同一長さのスペ−サを用いて所定の間隔を開け、
   互いに平行に保持されて接合されている平面型ディスプ
   レイパネルの製造方法において、 前記少なくとも一方の平面基板の画像表示エリア内の複
   数箇所の内表面に金属層を形成する工程と、 前記各スペ−サの一端面に金属層を形成する工程と、 前記平面基板の前記金属層に、前記複数本のスペ−サ
   を、それらの金属層を突き合わせ、その突合わせ状態を
   保持する工程と、 然る後、前記突き合わせた両金属層に超音波振動エネル
   ギーを伝達し、前記両金属層を超音波接合する工程とを
   含むことを特徴とする平面型ディスプレイパネルの製造
   方法。
7. 【請求項７】 前記振動ヘッドはＸ−ＹテーブルにＸ
   軸、Ｙ軸方向に移動できるように保持され、前記両金属
   層の位置に順次送られるように制御されていることを特
   徴とする請求項６に記載の平面型ディスプレイパネルの
   製造方法。