JP2002258472A - 着色感光性組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】耐熱性、耐光性、分光特性、色純度に優れ、フ
ォトリソグラフィー法でカラーフィルターが製造できる
好適な着色感光性組成物の提供。 【解決手段】感光性樹脂組成物と色素を撹拌、溶解さ
せ、着色感光性組成物を得た。得られた着色感光性組成
物は染料を使用することにより、特に分光特性、色純度
に優れ微細な画素を形成させることができ、現像による
色素の泣き出しも抑えられた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子や固
体撮像素子に用いられるカラーフィルターの製造に好適
な着色感光性組成物とその着色硬化膜画素、これを有す
る液晶表示素子並びに固体撮像素子に関する。

【０００２】

【従来の技術】ノートパソコンや液晶テレビ等に代表さ
れる液晶ディスプレイ（ＬＣＤ）等の液晶表示素子やデ
ジタルカメラやカラーコピー機等の入力デバイスとして
使用される電荷結合素子（ＣＣＤ）を代表とする固体撮
像素子のカラー化にはカラーフィルターが必要である。
これらの液晶表示装置や固体撮像素子に用いられている
カラーフィルターを製造する方法として、染色法、電着
法、印刷法、顔料分散法がある。

【０００３】染色法は、ゼラチン、グリュー、カゼイン
等の天然樹脂あるいはアミン変成ポリビニルアルコール
等の合成樹脂からなる染色基材を酸性染料等の染料で染
色してカラーフィルターを製造する方法で、分光特性や
色純度に優れる。しかし、製造の際、染色および固着特
性を均一にコントロールすることが難しため色むらが発
生しやすい、また染色に際して防染工程を必要とし工程
が煩雑である等の問題点がある。

【０００４】電着法は、予め透明電極を所定のパターン
で形成しておき、溶媒中に溶解または分散した顔料を含
む樹脂をイオン化させ電圧を印加して着色画像をパター
ン上にカラーフィルターを製造する方法である。電着法
では、表示用の透明電極以外にカラーフィルター形成用
の透明電極の製膜とエッチングを含む工程が必要であ
る。その際ショートがあると線欠陥になり歩留まりの低
下をきたす。また原理上ストライプ配列以外、例えばモ
ザイク配列には適用が困難であり、さらに透明電極の管
理が難しい等の問題点がある。

【０００５】印刷法は、熱硬化性樹脂または紫外線硬化
性樹脂に顔料を分散したインクを用いてオフセット印刷
等でカラーフィルターを作成する簡便な方法であるが、
使用できるインクが高粘度であるためフィルタリングが
難しく、ゴミ、異物およびインクバインダーのゲル化し
た部分による欠陥が発生しやすいことや、印刷精度に伴
う位置精度や線幅精度および平面平滑性等の問題点があ
る。

【０００６】顔料分散法は、顔料を均一に感光性樹脂組
成物に分散させた着色感光性組成物を用いてフォトリソ
グラフィー法によってカラーフィルターを製造する方法
である。この方法は顔料を使用しているため耐熱性や耐
光性があり、フォトリソグラフィー法によってパターニ
ングするため位置精度も十分で大画面、高精細カラーデ
ィスプレイ用カラーフィルターの製造に好適な方法であ
る。しかし、顔料は染料に比べて分光特性や色純度が不
十分、あらゆる色の分光調製が可能な染料に比べて顔料
はバリエーションが少ない、画素のザラツキ感がある等
の問題点がある。

【０００７】上記の各種方法があるが、現在カラーフィ
ルターを製造する方法としては顔料分散法が主流であ
る。しかし、耐熱性、耐光性、分光特性、色純度、製造
工程の簡素化等のいずれにも優れた着色感光性組成物が
望まれている。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、染色法と顔
料分散法の特性を兼ね備えた、すなわち耐熱性、耐光
性、分光特性、色純度、製造工程の簡素化等に優れ、現
像による色素の泣き出しがなくフォトリソグラフィー法
でカラーフィルターが製造できる好適な着色感光性組成
物を提供することを目的とする。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記のよう
な問題を解決するために鋭意検討した結果、本発明に至
ったものである。すなわち本発明は、 （１）可染性樹脂、光重合性モノマーあるいはオリゴマ
ー、光重合開始剤、染料、有機溶剤を含有することを特
徴とする着色感光性組成物。 （２）前記可染性樹脂可染性モノマー（Ａ）、親水性モ
ノマー（Ｂ）、疎水性モノマー（Ｃ）からなる混合物を
共重合して得られた共重合体であることを特徴とする
（１）記載の着色感光性組成物。 （３）前記色素が有機溶剤に可溶な染料であることを特
徴とする（１）または（２）記載の着色感光性組成物。 （４）（１）または（２）、（３）に記載の着色感光性
組成物を、基板上に塗布し、露光後、該露光部を硬化さ
せ、非露光部を活性剤水溶液、アルカリ水溶液又は活性
剤とアルカリを含有する水溶液で現像除去し、水でリン
スすることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。 （５）（４）の方法で製造したカラーフィルターの画素
のうち少なくとも１色の画素が請求項１または２に記載
の着色感光性組成物の硬化膜であるカラーフィルター。 （６）（５）に記載のカラーフィルターを有する液晶表
示素子。 （７）（５）に記載のカラーフィルターを有する固体撮
像素子。 を提供することにある。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の着色感光性組成物は、可
染性樹脂、光重合性モノマーあるいはオリゴマー、光重
合開始剤、染料、有機溶剤を含有することを特徴とす
る。

【００１１】本発明で用いられる可染性樹脂とは以下の
ような樹脂である。つまり、可染性モノマー（Ａ）、親
水性モノマー（Ｂ）、疎水性モノマー（Ｃ）からなる混
合物を共重合して得られた共重合体である。また、可染
性樹脂は従来公知の重合方法,例えば特公平６−５８５
３３号公報に記載された方法により合成することができ
る。

【００１２】可染性モノマー（Ａ）としては例えば次の
ものが挙げられる。（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）エチル
アクリレート、（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）エチルメタ
クリレート、（Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）エチルアクリ
レート、（Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ）エチルメタクリレ
ート、（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロピルアクリルア
ミド、（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロピルメタクリル
アミド、（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）エチルビニルエー
テル、（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロピルアクリレー
ト、（Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノ）プロピルメタクリレー
ト、４−ビニルピリジン、ジアリルアミン、２−ヒドロ
キシ−３−メタクリロイルオキシプロピル、トリメチル
アンモニウムクロライド、メタクリロイルオキシエチル
トリメチルアンモニウムクロライド。

【００１３】親水性モノマー（Ｂ）としては例えば次の
ものが挙げられる。ヒドロキシエチルアクリレート、ヒ
ドロキシエチルメタクリレート、アクリルアミド、メタ
クリルアミド、ビニルピロリドン、Ｎ，Ｎ−ジメチルア
クリルアミド。

【００１４】疎水性モノマー（Ｃ）としては例えば次の
ものが挙げられる。メチルアクリレート、メチルメタク
リレート、エチルアクリレート、スチレン、ｐ−メチル
スチレン、ブチルアクリレート、ブチルメタクリレー
ト。

【００１５】本発明で使用される可染性樹脂の共重合体
の構成成分、比率としては可染性モノマー（Ａ）１０〜
８０重量部、親水性モノマー（Ｂ）２〜６０重量部、疎
水性モノマー（Ｃ）５〜５０重量部が好ましい。

【００１６】可染性樹脂の共重合体の重量平均分子量
（Ｍｗ）としては、２０００〜２０００００、好ましく
は３０００〜１３００００である。重量平均分子量が２
０００以下の場合、また数平均分子量が１３００００以
上の場合になると、感度および現像性が悪くなる。ま
た、可染性樹脂の総量は、着色感光性組成物の全固形分
に対して５〜６０量部、好ましくは１０〜４０重量部で
ある。

【００１７】光重合性モノマーあるいはオリゴマーとし
ては、例えば２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレー
ト、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、２
−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、エチレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、ジエチレングリコール
ジ（メタ）アクリレート、トリエチレングリコー（メ
タ）アクリレート、テトラエチレングリコール（メタ）
アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）ア
クリレート、ペンタエリスリトールジ（メタ）アクリレ
ート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレー
ト、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレー
ト、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレー
ト、グリセロール（メタ）アクリレート、ビスフェノー
ル−Ａ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェノ
ール−Ｆ型エポキシジ（メタ）アクリレート、ビスフェ
ノール−フルオレン型エポキシジ（メタ）アクリレート
等が挙げられる。

【００１８】これらは、単独で使用してもよいし２種以
上組み合わせて使用してもよい。光重合性モノマーある
いはオリゴマーの総量は、着色感光性組成物の全固形分
に対して５〜６０重量部、好ましくは１０〜５０重量部
である。

【００１９】光重合開始剤としては、例えばベンジル、
ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルメチルエ
ーテル、ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾフェノ
ン、３，３’−ジメチル−４−メトキシベンゾフェノ
ン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸のエステ
ル化合物、４−ベンゾイル−４’−メチルジフェニルス
ルフィド、ベンジルジメチルケタール、２−ブトキシエ
チル−４−メチルアミノベンゾエート、クロロチオキサ
ントン、メチルチオキサントン、エチルチオキサント
ン、イソプロピルチオキサントン、ジメチルチオキサン
トン、ジエチルチオキサントン、ジイソプロピルチオキ
サントン、ジメチルアミノメチルベンゾエート、ジメチ
ルアミノ安息香酸イソアミドエステル、１−（４−ドデ
シルフェニル）−２−ヒドロキシ−メチルプロパン−１
−オン、１−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケト
ン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパ
ン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２
−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、メチル
ベンゾイルフォーメート、２−ベンジル−２−ジメチル
アミノ−１−（４−モルホリノフェニル）−ブタン−１
−オン、２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，
４’，５，５’−テトラフェニルビスイミダゾール、
２，２’−ビス（２−クロロフェニル）−４，４’，
５，５’−テトラ−（４−メトキシフェニル）ビスイミ
ダゾール、、２，４’−ビス（トリクロロメチル）−６
−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−ｓ−トリア
ジン、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−１，
３，５−ｓ−トリアジン、２，４−ビス（トリブロモメ
チル）−６−（４’−メトキシフェニル）−１，３，５
−ｓ−トリアジン、２，４，６−トリス（トリブロモメ
チル）−１，３，５−ｓ−トリアジン、２ベンゾフェノ
ン、ベンゾイル安息香酸等があげられる。

【００２０】これらは、単独で使用してもよいし２種以
上組み合わせて使用してもよい。特に、露光光源として
一般的に用いられる超高圧水銀灯から出射される紫外線
のｇ線（４３６ｎｍ）、ｈ線（４０５ｎｍ）、ｉ線（３
６５ｎｍ）に感度を有する光重合開始剤が好ましい。光
重合開始剤の総量は、着色感光性組成物の全固形分に対
して０．５〜５０重量部、好ましくは、１〜３０重量部
である。

【００２１】染料は、カラーフィルターに使用可能な分
光を有するものが好ましい。特に分光特性、色純度に優
れ微細な画素を有するカラーフィルターを形成するには
染料を使用するのが好ましく、有機溶剤に可溶な染料を
選び使用する。これらの染料としては酸性染料、塩基性
染料、直接染料、硫化染料、建染染料、ナフトール染
料、反応染料、分散染料、油溶性染料等が挙げられる。
また使用できる染料の詳細は染料便覧（丸善）、染料化
学（色染社）やカラーケミカル辞典（シーエムシー）に
記載されている

【００２２】また、一般的に染料は有機溶剤に溶解しづ
らい。例えば染料の有機溶剤への溶解性を上げるために
例えば酸性染料、塩基性染料等と１級アミン以上のアミ
ン、例えばｎ−プロピルアミン、エチルヘキシルプロピ
オン酸アミン等の有機アミンを反応さたアミン塩染料
や、酸性染料、塩基性染料等のスルホン酸基に１級アミ
ン以上のアミン、例えばｎ−プロピルアミン、エチルヘ
キシルプロピオン酸アミン等の有機アミンを反応させた
スルホンアミド基含有染料等にすると有機溶剤への溶解
性が増すことが知られている。それらアミン変性した染
料も本発明の着色感光性組成物に使用可能である。

【００２３】染料は単独で使用してもよいが、染料の持
つ多種多彩な色の分光調製が可能な特徴を生かし、希望
する分光にするために２種類以上の染料を混合溶解して
色調を調製してもよい。染料の総量は、着色感光性組成
物の全固形分に対して０．５〜４０重量部、好ましく
は、１０〜３０重量部である。

【００２４】有機溶剤は、着色感光性組成物の成分であ
る可染性樹脂、光重合性モノマーあるいはオリゴマー、
光重合開始剤、染料を溶解することが好ましい。使用可
能な有機溶剤としては例えば、ベンゼン、トルエン、キ
シレン等のベンゼン類、メチルセロソルブ、エチルセロ
ソルブ、ブチルセロソルブ等のセロソルブ類、メチルセ
ロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ブ
チルセロソルブアセテート等のセロソルブ酢酸エステル
類、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテー
ト、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテー
ト等のプロピレングリコールモノアルキルエーテル酢酸
エステル類、メトキシプロピオン酸メチル、メトキシプ
ロピオン酸エチル、エトキシプロピオン酸メチル、エト
キシプロピオン酸エチル等のプロピオン酸エステル類、
乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル等の乳酸エステル
類、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチ
レングリコールモノエチルエーテル等のジエチレングリ
コール類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸ブチル等の酢
酸エステル類、ジメチルエーテル、ジエチルエーテル、
テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、アセ
トン、メチルエチルケトン、メチルブチルケトン、シク
ロヘキサノン等のケトン類等があげられる。

【００２５】これらは単独もしくは２種以上組み合わせ
て使用してもよい。また、有機溶剤の添加量は、着色感
光性組成物の全固形分に対して５０〜２０００重量部、
好ましくは１００〜１０００重量部である。

【００２６】本発明の着色感光性組成物は、前記の可染
性樹脂、光重合性モノマーあるいはオリゴマー、光重合
開始剤、染料、有機溶剤をディゾルバー、ホモミキサー
等により、撹拌、溶解して製造される。また、着色感光
性組成物は、スピンコーターによる塗布時の膜厚調製の
ため固形分５〜５０重量％、好ましくは１０〜２５重量
％になるように有機溶剤等で希釈し調製する。

【００２７】着色感光性組成物は、必要に応じて、さら
に各種添加剤、例えば、充填剤、界面活性剤、熱重合防
止剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防
止剤を配合することができる。製品として出荷するため
に異物等を取り除くためフィルター等で精密濾過して製
造される。

【００２８】また、本発明のカラーフィルターは、少な
くとも１色の画素が上記の着色感光性組成物の硬化膜か
らなる。例えば３色からなるカラーフィルターでは、１
色または２色の画素が上記の着色感光性組成物で他の残
りの色の画素が顔料を含有する顔料分散型着色感光性組
成物であってもよく、また、３色のいずれの画素も上記
の着色感光性組成物であってもよい。顔料分散型着色感
光性組成物に使用の顔料としては、例えばレッド：Ｃ．
Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ １７７、２５４、グリー
ン：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｇｒｅｅｎ ７、３６、
ブルー：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：
６、６０、イエロー：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｙｅｌ
ｌｏｗ ８３、１３９、１５０、マゼンタ：Ｃ．Ｉ．Ｐ
ｉｇｍｅｎｔ Ｒｅｄ ８１、１２２、２０９、シア
ン：Ｃ．Ｉ．Ｐｉｇｍｅｎｔ Ｂｌｕｅ １５：３等を
希望する分光特性に調製し、含有した顔料分散型着色感
光性組成物があげられる。

【００２９】カラーフィルターを製造するには、例えば
本発明の着色感光性組成物をガラス基板、シリコン基板
等に、スピンコート法、ロールコート法、バーコート法
等の方法で、膜厚が０．１〜５μｍになるように塗布
し、プリベークを行い製膜する。次にフォトリソグラフ
ィー法により所定のマスクパターンを通して放射線（例
えば電子線、紫外線、好ましくは紫外線）を照射し、活
性剤水溶液又はアルカリ水溶液又は（活性剤＋アルカ
リ）水溶液で現像し、未照射部を取り除き、水でリンス
した後ポストベーク等の処理を行い、着色硬化膜画素を
得る。

【００３０】本発明の着色感光性組成物の着色硬化膜画
素からなるカラーフィルターを有する液晶表示素子は、
バックライト、偏光フィルム、表示電極、液晶、配向
膜、共通電極、本発明のカラーフィルター、偏光フィル
ム等がこの順に積層した構造で作製され、また固体撮像
素子は、転送電極、フォトダイオードを設けたシリコン
ウエハーの上に、本発明のカラーフィルター層を設け、
ついでマイクロレンズを積層することにより作製され
る。ちなみに、カラーフィルターの構成色は原色型がレ
ッド、グリーン、ブルー、補色型は、イエロー、マゼン
タ、シアン、グリーンである。

【００３１】

【実施例】以下、本発明の実施例によって具体的に説明
するが、本発明がこれらの実施例に限定されるものでは
ない。

【００３２】実施例１ （１）着色感光性組成物（イエロー）の製造 可染性樹脂としてジメチルアミノプロピルアクリルアミ
ド３０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５
部、ビニルピロリドン１５部、メチルメタクリレート１
５部、ジメチルアクリルアミド１０部、メタクリル酸１
５部を共重合して得た可染性樹脂（ＣＦＲ樹脂：日本化
薬製）（４０％樹脂分、６０％乳酸エチル）０．８６７
５ｇ、光重合性モノマーまたはオリゴマーとしてＤＰＨ
Ａ（日本化薬製）０．３４７ｇ、光重合開始剤としてト
リアジンＡ（三和ケミカル製）０．１７３５ｇ，染料と
してＰＣ Ｙｅｌｌｏｗ ４２Ｐ（日本化薬製）０．３
６ｇ、有機溶剤として乳酸エチル（武蔵野化学製）６ｇ
をディゾルバーで撹拌、溶解させ更に０．２μｍメンブ
ランフィルターにて精密濾過をし着色感光性組成物（イ
エロー）を得た。得られた着色感光性組成物をガラス基
板上に塗布し、成膜し、顕微鏡観察したところ、異物は
見られず、また光沢があり均一な膜であった。

【００３３】（２）着色画像形成（イエロー） （１）で得られた着色感光性組成物（イエロー）を、シ
リコンウエハー上に熱硬化性下地膜を０．３μｍの膜厚
で形成した基板状にスピンコーターで膜厚が１μｍにな
るように塗布し、８０℃のホットプレート上で１００秒
間プリベークを行った。次に５００Ｗ超高圧水銀灯を用
い、５μｍの正方画素パターンが描かれたマスクを通し
て１０００ｍＪ／ｃｍ２ のエネルギーを照射した。そ
の後、液温２５℃の活性剤水溶液を用いて現像した。水
洗後、１８０℃のホットプレート上でポストベークした
後、顕微鏡にて転写パターンを観察したところ、解像
性、密着性に優れ、残渣の全くない５μｍの正方画素パ
ターンが得られた。また、現像による色素の泣き出しも
なく色純度に優れ分光特性も変化がなかった。

【００３４】実施例２ （３）着色感光性組成物（マゼンタ）の製造 可染性樹脂としてジメチルアミノプロピルアクリルアミ
ド３０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５
部、ビニルピロリドン１５部、メチルメタクリレート１
５部、ジメチルアクリルアミド１０部、メタクリル酸１
５部からなる可染性樹脂（ＣＦＲ−６３３ＤＨＰ：日本
化薬製）（４０％樹脂分、６０％乳酸エチル）０．８６
７５ｇ、光重合性モノマーまたはオリゴマーとしてＤＰ
ＨＡ（日本化薬製）０．３４７ｇ、光重合開始剤として
トリアジンＡ（三和ケミカル製）０．１７３５ｇ，染料
としてＰＣ Ｍａｇｅｎｔａ ４１Ｐ（日本化薬製）の
ＥＨＰアミン変性したスルホンアミド化物０．３ｇ、有
機溶剤として乳酸エチル（武蔵野化学製）６ｇをディゾ
ルバーで撹拌、溶解させ更に０．２μｍメンブランフィ
ルターにて精密濾過をし着色感光性組成物（マゼンタ）
を得た。得られた着色感光性組成物をガラス基板上に塗
布し、成膜し、顕微鏡観察したところ、異物は見られ
ず、また光沢があり均一な膜であった。

【００３５】（４）着色画像形成（マゼンタ） （３）で得られた着色感光性組成物（マゼンタ）を、シ
リコンウエハー上に熱硬化性下地膜を０．３μｍの膜厚
で形成した基板状にスピンコーターで膜厚が１μｍにな
るように塗布し、８０℃のホットプレート上で１００秒
間プリベークを行った。次に５００Ｗ超高圧水銀灯を用
い、５μｍの正方画素パターンが描かれたマスクを通し
て１０００ｍＪ／ｃｍ２ のエネルギーを照射した。そ
の後、液温２５℃の活性剤水溶液を用いて現像した。水
洗後、１８０℃のホットプレート上でポストベークした
後、顕微鏡にて転写パターンを観察したところ、解像
性、密着性に優れ、残渣の全くない５μｍの正方画素パ
ターンが得られた。また、現像による色素の泣き出しも
なく色純度に優れ分光特性も変化がなかった。

【００３６】実施例３ （５）着色感光性組成物（シアン）の製造 可染性樹脂としてジメチルアミノプロピルアクリルアミ
ド３０部、２−ヒドロキシエチルメタクリレート１５
部、ビニルピロリドン１５部、メチルメタクリレート１
５部、ジメチルアクリルアミド１０部、メタクリル酸１
５部を共重合して得た可染性樹脂（ＣＦＲ樹脂：日本化
薬製）（４０％樹脂分、６０％乳酸エチル）０．８６７
５ｇ、光重合性モノマーまたはオリゴマーとしてＤＰＨ
Ａ（日本化薬製）０．３４７ｇ、光重合開始剤としてト
リアジンＡ（三和ケミカル製）０．１７３５ｇ，染料と
してＮｅｏｚａｐｏｎ Ｂｌｕｅ ８０７（ＢＡＳＦ
製）０．３ｇ、有機溶剤として乳酸エチル（武蔵野化学
製）６ｇをディゾルバーで撹拌、溶解させ更に０．２μ
ｍメンブランフィルターにて精密濾過をし着色感光性組
成物（シアン）を得た。得られた着色感光性組成物をガ
ラス基板上に塗布し、成膜し、顕微鏡観察したところ、
異物は見られず、また光沢があり均一な膜であった。

【００３７】（６）着色画像形成（シアン） （５）で得られた着色感光性組成物（シアン）を、シリ
コンウエハー上に熱硬化性下地膜を０．３μｍの膜厚で
形成した基板状にスピンコーターで膜厚が１μｍになる
ように塗布し、８０℃のホットプレート上で１００秒間
プリベークを行った。次に５００Ｗ超高圧水銀灯を用
い、５μｍの正方画素パターンが描かれたマスクを通し
て１０００ｍＪ／ｃｍ２ のエネルギーを照射した。そ
の後、液温２５℃の活性剤水溶液を用いて現像した。水
洗後、１８０℃のホットプレート上でポストベークした
後、顕微鏡にて転写パターンを観察したところ、解像
性、密着性に優れ、残渣の全くない５μｍの正方画素パ
ターンが得られた。また、現像による色素の泣き出しも
なく色純度に優れ分光特性も変化がなかった。

【００３８】実施例４ 補色型カラーフィルターの作製 補色型カラーフィルターの作製は実施例１の（２）、実
施例２の（４）、実施例３の（６）の工程を繰り返し行
うことによって得ることが出来る。また、この工程でイ
エローとシアンを重ねることによってグリーンを得る。
得られた補色型カラーフィルターを顕微鏡にて転写パタ
ーンを観察したところ、混色、色抜けのない、解像性、
密着性に優れ、残渣の全くない５μｍのカラーフィルタ
ーが得られた。また、現像による色素の泣き出しもなく
色純度に優れ分光特性も変化がなかった。

【００３９】

【発明の効果】本発明の着色感光性組成物は、耐熱性、
耐光性、分光特性、色純度、製造工程の簡素化に優れ、
フォトリソグラフィー法でカラーフィルターが製造でき
る好適な着色感光性組成物である。染料を使用している
ため、特に分光特性、色純度に優れ微細な画素を形成さ
せることができるため、液晶表示素子や固体撮像素子に
用いられるカラーフィルターを容易に製造することがで
きる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ Ｇ０２Ｂ 5/20 １０１ 5/22 5/22 Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５ Ｇ０３Ｆ 7/027 Ｇ０３Ｆ 7/027 Ｆターム(参考） 2H025 AA10 AA11 AB13 AC01 AD01 BC13 BC42 BC81 BC86 BC87 CA00 CB41 CC03 CC11 CC13 FA17 2H048 BA02 BA11 BA17 BA24 BA25 BA28 BA29 BA45 BA47 BA48 BB02 BB42 BB46 CA04 CA05 CA14 CA19 2H091 FA02Y FB02 LA30 4J011 PA69 PB25 PC02 PC08 QA03 QA13 QA23 QA24 QA34 QB20 SA01 SA22 SA24 SA26 SA34 SA54 SA61 SA64 SA78 SA83 UA01 VA01 WA01

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】可染性樹脂、光重合性モノマーあるいはオ
   リゴマー、光重合開始剤、染料、有機溶剤を含有するこ
   とを特徴とする着色感光性組成物。
2. 【請求項２】前記可染性樹脂可染性モノマー（Ａ）、親
   水性モノマー（Ｂ）、疎水性モノマー（Ｃ）からなる混
   合物を共重合して得られた共重合体であることを特徴と
   する請求項１記載の着色感光性組成物。
3. 【請求項３】前記色素が有機溶剤に可溶な染料であるこ
   とを特徴とする請求項１または２記載の着色感光性組成
   物。
4. 【請求項４】請求項１または２、３に記載の着色感光性
   組成物を、基板上に塗布し、露光後、該露光部を硬化さ
   せ、非露光部を活性剤水溶液、アルカリ水溶液又は活性
   剤とアルカリを含有する水溶液で現像除去し水でリンス
   することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
5. 【請求項５】請求項４の方法で製造したカラーフィルタ
   ーの画素のうち少なくとも１色の画素が請求項１または
   ２、３に記載の着色感光性組成物の硬化膜であるカラー
   フィルター。
6. 【請求項６】請求項５に記載のカラーフィルターを有す
   る液晶表示素子。
7. 【請求項７】請求項５に記載のカラーフィルターを有す
   る固体撮像素子。