JP2002257531A

JP2002257531A - ビーム位置検出装置

Info

Publication number: JP2002257531A
Application number: JP2001056809A
Authority: JP
Inventors: Shigehiro Yoshiyasu; 重宏吉安
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2001-03-01
Filing date: 2001-03-01
Publication date: 2002-09-11

Abstract

(57)【要約】【課題】簡素な構成により、煩雑な作業を要せず、分
光光学部品を適切な位置及び角度に設置することができ
るビーム位置検出装置を得ること。【解決手段】光学部品中心軸３０ａの周りに２面の反
射面３０ｂ，３０ｃを有し入射レーザビーム１を反射面
３０ｂ，３０ｃにより分光する分光光学部品３０を備え
たビーム位置検出装置であり、分光光学部品３０は、各
反射面３０ｂ，３０ｃ上の、光学部品中心軸３０ａから
等距離の位置に、軸方向が光学部品中心軸３０ａと平行
となる同一開口面積を有する貫通開口部３１ａ，３１ｂ
を設け、この各貫通開口部３１ａ，３１ｂの反射面３０
ｂ，３０ｃと反対側の平面部３０ｄに出力検出手段１７
ａ，１７ｂを設けるとともに、この各出力検出手段１７
ａ，１７ｂからの出力に基き演算を行なう演算手段７
０，７１と、この演算手段７０，７１からの出力に基き
分光光学部品３０の位置を調整するスライドホルダ５０
及び角度を調整する光学部品ホルダ４０とを備えたもの
である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ビーム位置検出
装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】以下、従来例について図に基いて説明す
る。図５は、従来の一般的な、レーザ加工システムの概
略図である。レーザ発振器１０より射出した入射レーザ
ビーム１は反射鏡１１を介して分光光学部品３に入射
し、その反射面によってそれぞれ分光レーザビーム２
ａ，２ｂに分光される。そして、これら分光レーザビー
ム２ａ，２ｂを、それぞれ集光光学系８ａ，８ｂを用い
て被加工物９ａ，９ｂの表面上で集光させる。

【０００３】図６は、従来のビーム位置検出装置を示す
概略図であり、入射レーザビーム１の断面強度形状とし
て、例えばレーザビームプロファイル１ａを有する入射
レーザビーム１を分光光学部品３によって二等分に分光
しようとする場合の、分光光学部品３の調整のための概
略の構成を示したものである。

【０００４】分光光学部品３に入射した入射レーザビー
ム１は、分光光学部品３の反射面３ｂ及び３ｃによって
２方向の分光レーザビーム２ａ及び２ｂに分光される。
図６に示す分光光学部品３において、その２つの反射面
３ｂと３ｃとが交わる交線を通り、その交線を含む面を
中心として２つの反射面３ｂと３ｃとが対称な位置関係
となるような面を図６において３ａの一点鎖線で示し、
これを光学部品中心軸とする。この図６の例のように、
反射面が２面の場合は、その２つの反射面３ｂと３ｃと
が交わる部分は交線となるが、反射面が３面以上の場合
は、その全ての反射面が交わる部分は交点となる。この
ような場合にも、その交点を通る軸を中心として全ての
反射面がその軸と等しい角度で交差するような中心軸を
光学部品中心軸とする。

【０００５】これら分光・反射された分光レーザビーム
２ａ，２ｂの進行方向の延長線上に、各々、出力検出器
７ａ及び７ｂを配置する。出力検出器７ａでは分光レー
ザビーム２ａの、出力検出器７ｂでは分光レーザビーム
２ｂの出力が検出される。図６では、分光レーザビーム
２ａ，２ｂを、それぞれＷｒａ，Ｗｒｂの幅を有する矢
印で示しているが、出力検出器７ａ及び７ｂによって検
出される分光レーザビーム２ａ，２ｂの出力の大小は、
単純に図６で示される幅Ｗｒａ，Ｗｒｂの大きさに比例
するものではなく、それぞれが反射している部分の入射
レーザビーム１のレーザビームプロファイル１ａも関係
する。

【０００６】出力検出器７ａ，７ｂによって分光レーザ
ビーム２ａ，２ｂそれぞれの出力が検出され、検出され
た分光レーザビーム２ａの出力（以下適宜、検出出力と
記す）Ｖａと分光レーザビーム２ｂの検出出力Ｖｂとが
Ｖａ＝Ｖｂであれば、入射レーザビーム１の出力（パワ
ー）が分光光学部品３により正確に二等分されていると
判断されるが、図６に示す場合のように、入射レーザビ
ーム中心軸１ｂと分光光学部品３がもつ光学部品中心軸
３ａとが一致していない場合には、Ｖａ≠Ｖｂとなる。
このようにＶａ≠Ｖｂとなる場合は、入射レーザビーム
１が正確に二等分されていない状態を示すことに他なら
ず、このような場合にはＶａ＝Ｖｂとなるように分光光
学部品３の設置位置と設置角度とを調整する。そして再
度、Ｖａ及びＶｂを測定し、Ｖａ≠Ｖｂでなければ再び
分光光学部品３の設置位置及び設置角度を調整する。以
降、最終的にＶａ＝Ｖｂとなるまで、上述の調整を繰り
返す。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のビーム位置検出
装置においては、以上に述べたような、分光レーザビー
ム２ａ，２ｂの出力の検出機構を用いていた。このた
め、出力検出器７ａ，７ｂが、反射された後の分光レー
ザビーム２ａ，２ｂのレーザ光路上に存在するため、本
来の照射対象物に対してレーザ光路上の障害物となって
おり、照射対象物、例えば図５に示す被加工物９ａ，９
ｂに対して実際に分光レーザビーム２ａ，２ｂを照射す
る場合には出力検出器７ａ，７ｂをレーザ光路上から取
り外さなければならないといった煩雑さがあり、この煩
雑さを解消することが課題であった。

【０００８】また、分光光学部品３を調整する際に、分
光光学部品３の設置位置及び設置角度を調整する度に、
分光レーザビーム２ａ，２ｂの進行方向が変化するた
め、その都度、分光レーザビーム２ａ，２ｂの進行方向
のレーザビーム光軸の延長線上に、出力検出器７ａ，７
ｂを正確に配置し直す作業を必要とし、この煩雑な作業
をいかにして省くかといった課題があった。

【０００９】この発明は、上述の課題を解決するために
なされたものであり、簡素な構成により、煩雑な作業を
要せず、分光光学部品を適切な位置及び角度に設置する
ことができるビーム位置検出装置を得るものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】この発明に係るビーム位
置検出装置は、光学部品中心軸の周りにｎ個（ｎは２以
上の自然数）の反射面を有し入射レーザビームを前記各
反射面により異なるｎ方向に分光する分光光学部品を備
えたものであり、前記分光光学部品は、前記各反射面上
の前記光学部品中心軸から等距離の位置にそれぞれ凹部
を設けこれら各凹部内にそれぞれ出力検出手段を内設す
るものであるとともに、これら各出力検出手段からの出
力に基き演算を行なう演算手段と、この演算手段からの
出力に基き前記分光光学部品の位置及び角度を調整する
調整手段と、を備えたものである。

【００１１】また、光学部品中心軸の周りにｎ個（ｎは
２以上の自然数）の反射面を有し入射レーザビームを前
記各反射面により異なるｎ方向に分光する分光光学部品
を備えたものであり、前記分光光学部品は、前記各反射
面上の前記光学部品中心軸から等距離の位置に、軸方向
が前記光学部品中心軸と平行となる貫通開口部をそれぞ
れ設け、これら貫通開口部同士は同一開口面積を有し、
前記分光光学部品の前記反射面と反対側の平面部の前記
各貫通開口部に対応した位置に出力検出手段をそれぞれ
設けるとともに、これら各出力検出手段からの出力に基
き演算を行なう演算手段と、この演算手段からの出力に
基き前記分光光学部品の位置及び角度を調整する調整手
段と、を備えたものである。

【００１２】また、分光光学部品の本体部と出力検出手
段との間に断熱部材を設けたものである。

【００１３】また、演算手段からの出力に基き調整手段
を駆動する駆動・制御手段を有するものである。

【００１４】

【発明の実施の形態】実施の形態１．この発明の第１の
実施の形態によるビーム位置検出装置を、図１を用いて
説明する。図において、従来のものと同一または相当の
部品には、同一の符号を付し、詳細な説明は省略する。
この実施の形態の分光光学部品３０は、従来の分光光学
部品３とは構造が異なり、反射面３０ｂ，３０ｃのそれ
ぞれに、光学部品中心軸３０ａから等距離の位置に、長
手方向（軸方向）が光学部品中心軸３０ａと平行となる
ように２個の貫通開口部３１ａ，３１ｂが設けられてい
る。

【００１５】この２個の貫通開口部３１ａ，３１ｂは、
高精度の加工により厳密に同一の断面積となっている。
このため、分光光学部品３０の、反射面と反対側の平面
部３０ｄの貫通開口部３１ａの開いた位置には出力検出
器１７ａが、同様に、平面部３０ｄの貫通開口部３１ｂ
の開いた位置には出力検出器１７ｂが、それぞれ設けら
れているが、出力検出器１７ａと１７ｂとの受光面の面
積が厳密に一致していない場合でも、実質的な有効受光
面の面積は、出力検出器１７ａ，１７ｂ自体の受光面の
面積より小さい貫通開口部３１ａ，３１ｂの断面積によ
って規定されるので、出力検出器１７ａと出力検出器１
７ｂとの受光面自体の面積の差に起因して、検出出力Ｖ
ａ，Ｖｂの比較に誤差が生じることはない。また、貫通
開口部３１ａ，３１ｂと光学部品中心軸３０ａとは平行
に形成されているため、貫通開口部３１ａ，３１ｂの長
手方向と平面部３０ｄとを垂直になるよう形成すること
により、結果的に出力検出器１７ａと１７ｂとの受光面
が光学部品中心軸３０ａに対して垂直となる。

【００１６】図１は、レーザビームの断面強度形状とし
て、符号１ａで示されるレーザビームプロファイルを有
する入射レーザビーム１を分光光学部品３０によって二
等分に分光する場合について説明されたものであり、入
射レーザビーム中心軸１ｂと分光光学部品３０がもつ光
学部品中心軸３０ａとが一致していない場合を示してい
る。また、図１において、符号１で示される入射レーザ
ビーム、及び符号２ａ，２ｂで示される分光レーザビー
ムの幅は、ある特定の値以上の強度を有する入射レーザ
ビームの部分を反射の様子を便宜的に示すものである。
また、レーザビームは一般に、中心から遠ざかるにつれ
て徐々に強度を弱めるものの、ある程度の広がりを有す
るものであり、その広がりを有する断面形状を示したの
が、レーザビームプロファイル１ａである。このレーザ
ビームプロファイル１ａで示される入射レーザビーム１
の、出力検出器１７ａへ入射している部分のレーザビー
ムの強さを図中のＷａで、出力検出器１７ｂへ入射して
いる部分のレーザビームの強さを図中のＷｂで示してい
る。

【００１７】次に、この実施の形態の装置の動作につい
て説明する。まず、分光光学部品３０に入射した入射レ
ーザビーム１は、分光光学部品３０の反射面３０ｂ，３
０ｃによって２本に分光され、各々、分光レーザビーム
２ａ及び分光レーザビーム２ｂとなる。

【００１８】一方、分光光学部品３０には、上述のとお
り２個の貫通開口部３１ａ，３１ｂが設けられており、
分光光学部品３０へ入射した入射レーザビーム１の一部
がそれぞれ貫通開口部３１ａ，３１ｂへ進入する。そし
て、貫通開口部３１ａへ進入した入射レーザビーム１の
一部が出力検出器１７ａへ、貫通開口部３１ｂへ進入し
た入射レーザビーム１の一部が出力検出器１７ｂへ到達
し、各々の検出出力Ｖａ，Ｖｂが検出される。

【００１９】ここで、分光レーザビーム２ａの出力強度
としてレーザビームプロファイル１ａの貫通開口部３１
ａへ入射する部分の強度Ｗａを採り、同様に、分光レー
ザビーム２ｂの出力強度としてレーザビームプロファイ
ル１ａの貫通開口部３１ｂへ入射する部分の強度Ｗｂを
採ることとする。出力検出器７ａによる検出出力をＶ
ａ，出力検出器７ｂにより検出出力をＶｂとすると、こ
れらの間には、Ｗａ／Ｗｂ＝Ｖａ／Ｖｂなる比例関係が
成り立つ。したがって、入射レーザビーム中心軸１ｂを
中心に正規分布状の強度を有する入射レーザビーム１に
対し、この入射レーザビーム１の一部を受光する出力検
出器１７ａと出力検出器１７ｂとは、各反射面３０ｂ，
３０ｃ上で、分光光学部品３０の中心軸３０ａから等距
離の位置に設けられている。このため、Ｖａ＝Ｖｂであ
ることはＷａ＝Ｗｂを意味し、さらにＷａ＝Ｗｂであれ
ば、分光レーザビーム２ａ全体の強度と分光レーザビー
ム２ｂ全体の強度とが等しいということになり、入射レ
ーザビーム１が正確に二等分されていると判断すること
ができる。

【００２０】図１に示したような場合は、入射レーザビ
ーム１が二等分されていないことになり、出力検出器１
７ａの検出出力Ｖａと出力検出器１７ｂの検出出力Ｖｂ
とがＶａ≠Ｖｂとなる。このような場合には、Ｖａ＝Ｖ
ｂとなるように分光光学部品３０の設置位置及び設置角
度を調整する。そして再度、Ｖａ及びＶｂを測定し、Ｖ
ａ≠Ｖｂでなければ再び分光光学部品３０の設置位置及
び設置角度を調整する。以降、上述の調整を繰り返すこ
とにより、最終的にＶａ＝Ｖｂとすることが可能であ
り、分光レーザビーム２ａ，分光レーザビーム２ｂの強
度を正確に調整することができる。この結果、分光光学
部品３０の極めて正確な位置及び角度の調整を行うこと
ができるとともに、さらに、分光レーザビームの進行方
向のレーザビーム伝送路の延長線上に、出力検出器を正
確に配置しなければならないといった手間が掛からない
ため、従来の装置と比較して、容易に調整作業を行うこ
とができる。

【００２１】実施の形態２．この発明の第２の実施の形
態によるビーム位置検出装置を、図２を用いて説明す
る。図２に記載された分光光学部品３０には、上述の第
１の実施の形態で説明したものと同様に、複数個の貫通
開口部３１ａ，３１ｂが設けられており、貫通開口部３
１ａへ進入した入射レーザビームの一部が出力検出器１
７ａへ、貫通開口部３１ｂへ進入した入射レーザビーム
の一部が出力検出器１７ｂへ到達し、各々の検出出力Ｖ
ａ，Ｖｂが検出される。

【００２２】この際、分光光学部品３０の外表面及び貫
通開口部３１ａ，３１ｂの内部壁面は、入射レーザビー
ム１の照射にさらされることから、分光光学部品３０自
体が温度上昇する可能性がある。すなわち、分光光学部
品３０に温度変化が生じた場合、出力検出器１７ａ，出
力検出器１７ｂに熱伝導する可能性があり、出力検出器
１７ａ，１７ｂによる出力検出に、温度上昇による誤差
が生じるといった可能性がある。

【００２３】そこで、分光光学部品３０の平面部３０ｄ
と出力検出器７ａとの間に断熱材３２ａが、同様に、平
面部３０ｄと出力検出器７ｂとの間に断熱材３２ｂが挿
入されている。これにより、分光光学部品３０と出力検
出器１７ａ，１７ｂとの間の熱伝導を防止することがで
きる。その結果、出力検出器１７ａ，１７ｂによる出力
検出の精度を向上させることができ、結果的に、分光レ
ーザビーム２ａ，２ｂの強度を正確に把握することが可
能となった。

【００２４】実施の形態３．この発明の第３の実施の形
態によるビーム位置検出装置を、図３，図４を用いて説
明する。図３において、分光光学部品３０は光学部品ホ
ルダ４０に納められており、スライドホルダ５０の表面
とのなす角度を調整できるよう、調整ネジＡ４１、調整
ネジＡ４１を回転させる手段としての駆動装置Ａ４２、
及び、バネＡ４３が設けられている。さらに、スライド
ホルダ５０はホルダ基板６０の中で図中左右方向に摺動
できるよう、調整ネジＢ６１、調整ネジＢ６１を回転さ
せる手段としての駆動装置Ｂ６２、及び、バネＢ６３が
設けられている。

【００２５】以下、レーザビームプロファイル１ａを有
する入射レーザビーム１が、不適切な位置及び角度に設
置された分光光学部品３０に入射した場合、すなわち、
入射レーザビーム中心軸１ｂと光学部品中心軸３０ａと
が一致していない場合に、如何にして分光光学部品３０
を適切な設置位置及び設置角度に調整するかについて説
明する。

【００２６】まず、分光光学部品３０に入射した入射レ
ーザビーム１は、分光光学部品３０に明けられた２個の
貫通開口部３１ａ，３１ｂの内部へ進入し、各々、出力
検出器１７ａ，１７ｂへ到達する。そして、出力検出器
１７ａ，１７ｂから得られる検出出力Vａ，Ｖｂを引算
器７０へ出力し、引算器７０により差：Ｖａ−Ｖｂをと
り、これを増幅器７１により増幅させる。図３に示した
ような場合では、Ｖａ＞Ｖｂとなるが、この場合は、ホ
ルダ基板６０に設置されたスライドホルダ５０を駆動装
置Ｂ６２を用いて調整ネジＢ６１を回転させることによ
って図中で左方向に平行移動させる。

【００２７】ここで、増幅器７１からの出力と、必要な
平行移動量との間には図４（ａ）に示す関係があり、増
幅器７１からの出力が０、すなわちＶａ＝Ｖｂである場
合が、入射レーザビーム中心軸１ｂと分光光学部品３０
の光学部品中心軸３０ａとが一致している場合に相当す
る。そうなるように、増幅器７１からの出力に応じて、
駆動装置Ｂ６２を用いて調整ネジＢ６１を回転させ、分
光光学部品３０を平行移動させる。図３に示すようにＶ
ａ−Ｖｂ＞０の場合は、図中で左方向へスライドホルダ
５０を平行移動するよう調整ネジＢ６１を回転させれば
よい。なお、Ｖａ−Ｖｂ＜０の場合は、図中で右方向へ
スライドホルダ５０を平行移動するよう調整ネジＢ６１
を逆回転させればよい。

【００２８】また、出力検出器１７ａ，１７ｂから得ら
れる検出出力Vａ，Ｖｂは、加算器７２へ送られ、和：
Ｖａ＋Ｖｂを得ることができる。スライドホルダ５０に
設置された光学部品ホルダ４０は、駆動装置Ａ４２を用
いて調整ネジＡ４１を回転させることによって角度調整
することができ、これによって、分光光学部品３０の設
置角度を調整する。図３の場合では、分光光学部品３０
が或る角度θだけ、紙面上、反時計廻り方向へ傾斜して
いるが、この場合は、分光光学部品３０が取る角度θが
θ＝０となった際に入射レーザビーム中心軸１ｂと光学
部品中心軸３０ａとが一致するわけである。

【００２９】ここで、入射レーザビーム中心軸１ｂと光
学部品中心軸３０ａとが０ではない或る角度θを持つ場
合、貫通開口部３１ａ，３１ｂへ入射する、すなわち出
力検出器１７ａ，１７ｂが受光・検出するレーザビーム
は、その検出出力Vａ，ＶｂがそれぞれＶａ・ｃｏｓ
θ，Ｖｂ・ｃｏｓθとなり、入射レーザビーム中心軸１
ｂと光学部品中心軸３０ａとが一致している場合、すな
わち、出力検出器１７ａ，１７ｂの受光面にレーザビー
ムが垂直に入射する場合と比べて出力の和の値が小さく
なる。以上のことから明らかなように、加算器７２から
の出力の値が最大になるように、駆動装置Ａ４２を用い
て調整ネジＡ４１を回転させ、角度θを調整すればよ
い。この、加算器７２からの出力と調整角度θとの間の
関係を図４（ｂ）に示す。また、加算器７２からの出力
に応じた調整だけではなく、引算器７０による差が、Ｖ
ａ−Ｖｂ≠０の場合についても角度θの調整によって
差：Ｖａ−Ｖｂが０に近づくように調整してもよいこと
は言うまでもない。

【００３０】上述のように、スライドホルダ５０の平行
移動と光学部品ホルダ４０の角度調整とを交互に繰り返
すことにより、最終的に入射レーザビーム１の入射レー
ザビーム中心軸１ｂと分光光学部品３０の光学部品中心
軸３０ａとを自動で正確に一致させることができる。こ
れによって、レーザビーム光学部品３０によって分光さ
れた２方向の分光レーザビーム２ａ及び分光レーザビー
ム２ｂの強度が正確に二等分されるよう、調整すること
ができる。

【００３１】なお、上述の各実施の形態のものでは、入
射レーザビーム１を２方向の分光レーザビーム２ａ及び
分光レーザビーム２ｂに二等分する場合について説明し
たが、分光されるレーザビームは、２方向に限定される
ものではなく、３方向以上の任意の数に分光する場合に
も、本発明は同等の効果を奏するものであることは、言
うまでもない。

【００３２】さらに、上述の各実施の形態のものでは、
入射レーザビーム１を２方向の分光レーザビーム２ａ及
び分光レーザビーム２ｂに二等分、すなわち各分光の強
度が等しくなるように分光する場合について説明した
が、出力検出手段や演算手段の設定を変えることによ
り、各分光の強度を等しくせず、強度の重み付けを変え
た分光が生じるように調整するようにしてもよいこと
は、言うまでもない。

【００３３】

【発明の効果】以上に述べたように、この発明によれ
ば、煩雑な作業を要せずに、分光光学部品を適切な位置
及び角度に設置することができるといった効果を奏す
る。

【００３４】また、分光光学部品と出力検出器との間の
熱伝導を防止することができるため出力検出器の検出出
力の精度を向上させることができるといった効果を奏す
る。

【００３５】また、分光光学部品の位置及び角度を自動
的に調整することができるといった効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の第１の実施の形態によるビーム位
置検出装置を示す概略図。

【図２】この発明の第２の実施の形態によるビーム位
置検出装置を示す概略図。

【図３】この発明の第３の実施の形態によるビーム位
置検出装置を示す概略図。

【図４】この発明の第３の実施の形態における演算器
からの出力と平行移動量との関係及び演算器からの出力
と角度調整量との関係を示す図。

【図５】従来の一般的なレーザ加工システムの概略
図。

【図６】従来のビーム位置検出装置を示す概略図。

【符号の説明】

１入射レーザビーム１ａレーザビームプロファイル１ｂ入射レーザビーム中心軸２ａ，２ｂ分光レーザビーム１７ａ，１７ｂ出力検出器３０分光光学部品３０ａ光学部品中心軸３０ｂ，３０ｃ貫通開口部３２ａ，３２ｂ断熱材４０光学部品ホルダ４１調整ネジＡ４２駆動装置Ａ４３バネＡ５０スライドホルダ６０ホルダ基板６１調整ネジＢ６２駆動装置Ｂ６３バネＢ７０引算器７１増幅器７２加算器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】光学部品中心軸の周りにｎ個（ｎは２以
上の自然数）の反射面を有し入射レーザビームを前記各
反射面により異なるｎ方向に分光する分光光学部品を備
えたビーム位置検出装置において、前記分光光学部品
は、前記各反射面上の前記光学部品中心軸から等距離の
位置にそれぞれ凹部を設けこれら各凹部内にそれぞれ出
力検出手段を内設するものであるとともに、これら各出
力検出手段からの出力に基き演算を行なう演算手段と、
この演算手段からの出力に基き前記分光光学部品の位置
及び角度を調整する調整手段と、を備えたことを特徴と
するビーム位置検出装置。
【請求項２】光学部品中心軸の周りにｎ個（ｎは２以
上の自然数）の反射面を有し入射レーザビームを前記各
反射面により異なるｎ方向に分光する分光光学部品を備
えたビーム位置検出装置において、前記分光光学部品
は、前記各反射面上の前記光学部品中心軸から等距離の
位置に、軸方向が前記光学部品中心軸と平行となる貫通
開口部をそれぞれ設け、これら貫通開口部同士は同一開
口面積を有し、前記分光光学部品の前記反射面と反対側
の平面部の前記各貫通開口部に対応した位置に出力検出
手段をそれぞれ設けるとともに、これら各出力検出手段
からの出力に基き演算を行なう演算手段と、この演算手
段からの出力に基き前記分光光学部品の位置及び角度を
調整する調整手段と、を備えたことを特徴とするビーム
位置検出装置。
【請求項３】分光光学部品の本体部と出力検出手段と
の間に断熱部材を設けたことを特徴とする請求項１また
は請求項２のいずれかに記載のビーム位置検出装置。
【請求項４】演算手段からの出力に基き調整手段を駆
動する駆動・制御手段を有することを特徴とする請求項
１乃至請求項３のいずれかに記載されたビーム位置検出
装置。