JP2002250350A - 固体潤滑転がり軸受 - Google Patents
固体潤滑転がり軸受Info
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- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C2240/00—Specified values or numerical ranges of parameters; Relations between them
- F16C2240/40—Linear dimensions, e.g. length, radius, thickness, gap
- F16C2240/54—Surface roughness
Abstract
りも格段に進歩させ、また始動時にも発塵量のきわめて
少ない固体潤滑転がり軸受を提供することである。 【解決手段】 転がり軸受に組み込まれる複数の転動体
が、軸受荷重が負荷される負荷転動体と軸受荷重が負荷
されない非負荷転動体からなり、少なくとも1以上の非
負荷転動体が四フッ化エチレン樹脂の成形体からなる表
面粗さ(Ra)1.0μm以下の転動体であり、かつ非
負荷転動体の負荷転動体に対する直径比Aが0.8≦A
<1であることを特徴とする固体潤滑転がり軸受とす
る。さらに、転がり軸受内の転がり摩擦または滑り摩擦
を生ずる摩擦面に平均分子量が5000以下の四フッ化
エチレン樹脂被膜を形成する。
Description
軸受に関し、特に半導体、液晶またはハードディスクな
どを製造する装置にも適用できる固体潤滑転がり軸受に
関する。
ィスク製造工程における成膜装置などに取り付けられる
転がり軸受は、大気中でも真空中でも使用できるという
両用性が必要とされる場合があり、また低発塵性や耐久
性が要求されるため、固体潤滑転がり軸受が採用される
ことが多い。
常の軸受におけるグリース等による液体潤滑に代えて、
銀イオンプレーティング膜や四フッ化エチレン樹脂(以
下、PTFEと略記する。)膜などの固体潤滑で行なわ
れるものである。
体潤滑転がり軸受は、特開平8−93774号公報に開
示されている。また、PTFE被膜を有する非負荷ボー
ルを有する転がり軸受は、特開平7−145820号公
報に開示されており、これらは使用条件によっては良好
な潤滑性を充分な時間発揮できるものである。
固体潤滑転がり軸受は、装置全体の機能性の向上に伴な
う過酷な使用条件においては、従来の金属被膜やPTF
E膜では所要の耐久性を満たせない場合がある。
軸受は、摩擦面を覆っている潤滑被膜が摩耗して破れる
と軸受寿命に至るため、無潤滑条件で転がり軸受に長期
間の耐久性をもたせることはできなかった。
潤滑剤を軸受内に備えて、これを摩擦面に徐々に供給す
るが、軸受の回転開始の直後において、固体潤滑剤から
発塵する場合があり、低発塵性と共に耐久性の向上を兼
ね備えた固体潤滑転がり軸受を製作することは困難であ
った。
題点を解決して、固体潤滑転がり軸受の耐久性を従来レ
ベルよりも格段に進歩させ、潤滑油を供給しない条件
(以下、無潤滑条件という。)でも耐久寿命の長い固体
潤滑転がり軸受を提供することである。
課題を解決して固体潤滑転がり軸受の耐久性を向上さ
せ、かつ始動時にも発塵量のきわめて少ない固体潤滑転
がり軸受を提供することである。
め、本願の第1の請求項に係る発明においては、転がり
軸受に組み込まれる複数の転動体が、軸受荷重が負荷さ
れる負荷転動体と軸受荷重が負荷されない非負荷転動体
からなり、少なくとも1以上の非負荷転動体が四フッ化
エチレン樹脂の成形体からなる転動体であり、かつ非負
荷転動体の負荷転動体に対する直径比Aが0.8≦A<
1であることを特徴とする固体潤滑転がり軸受としたの
である。
潤滑転がり軸受は、非負荷転動体の全体が四フッ化エチ
レン樹脂からなることにより、長時間使用した場合に非
負荷転動体の表面が擦り減っても四フッ化エチレン樹脂
が常に転動体の表面に露出しているため、四フッ化エチ
レン樹脂の摩擦面への移着供給は常に途切れることなく
安定し、摩擦面は充分に潤滑される。
直径比Aが0.8≦A<1であることにより、非負荷転
動体が負荷転動体より低速または間欠的に回転する状態
で負荷転動体や保持器および内・外輪に軽く摩擦接触
し、その際に転動体表面が少量ずつ摩耗して摩擦面に四
フッ化エチレン樹脂を安定した速度で移着させる。
軸受は、長期間の使用中に四フッ化エチレン樹脂が摩擦
面に適当な量を途切れることなく長時間供給されるの
で、軸受耐久寿命が長くなる。
は、上記の固体潤滑転がり軸受において、表面がフッ素
樹脂で形成されている非負荷転動体が、表面粗さ(R
a)1.0μm以下の転動体としたのである。
に調整された四フッ化エチレン樹脂で形成された非負荷
転動体は、過剰に摩耗することなく、始動当初から安定
して四フッ化エチレン樹脂を摩擦面に供給するので、発
塵量が少なくなり、また軸受耐久寿命が従来よりもさら
に顕著に長期化した固体潤滑転がり軸受になる。
くとも転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる面に平均分子
量が5000以下の四フッ化エチレン樹脂被膜を形成し
た固体潤滑転がり軸受は、始動期の発塵量がより少なく
なり、始動後には軸受回転が安定して非負荷転動体の四
フッ化エチレン樹脂による潤滑状態に徐々に移行するの
で、軸受の始動当初から速やかに充分な潤滑性が発揮さ
れ、発塵量の少ない固体潤滑転がり軸受になる。
ン樹脂(以下、PTFEと略記する。)の成形体からな
る非負荷転動体は、テトラフルオロエチレンを繰り返し
単位とする分子量300万〜1000万の重合体からな
るPTFEを、真球状、円筒状、円錐状または針状等の
ように周知の転動体の形状に成形したものである。また
PTFEは327℃という高融点以上でも溶融粘度が高
いので、成形法としては、圧縮成形やラム押出し成形法
が採用される。市販のPTFEとしては、伊国モンテジ
ソン社製:アルゴフロン、デュポン社製:テフロン、英
国アイ・シー・アイ社製:フルオン、ダイキン工業社
製:ポリフロンが挙げられる。
置数は、一つ以上であれば良く、軸受に所要の負荷耐久
性に応じてその数を設定する。また、非負荷転動体を複
数組み込む場合の配置形態は、このものを負荷転動体と
交互に配置するか、または複数の負荷転動体おきに1つ
または複数個の非負荷転動体を配置する。
される周知の鋼球やセラミック球などの球またはコロ、
ニードル形状の転動体を採用できる。
Aは、0.8≦A<1である。なぜなら、A<0.8で
は、非負荷転動体が負荷転動体や保持器および内・外輪
に摩擦接触した際、転動体表面が摩耗する量が少なくな
り、PTFEの移着量が少なくなって潤滑に殆ど寄与で
きない。また、A≧1では、非負荷転動体が負荷転動体
や保持器および内・外輪に摩擦接触した際に、PTFE
の摩耗量が多くなり耐久性(軸受寿命)が低下するので
好ましくない。
粗さ(Ra)が、1.0μm以下の転動体を採用するこ
とが好ましい。なぜなら、上記所定値を超える表面粗さ
の転動体は、使用の初期から過剰に摩耗する場合があ
り、そのような摩耗速度は速やかに低減せず、安定した
量のPTFEを摩擦面に供給できず、軸受耐久寿命の長
期化を充分に達成できないからである。
て、転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる面に平均分子量
が5000以下のPTFE被膜を形成することが好まし
い。このようなPTFE被膜は、PTFEの分散液を被
膜形成面に噴霧塗布するか、またはこのような分散液に
軸受部品を浸漬して塗布することによって容易に形成で
き、PTFE被膜の厚さは、通常、0.6μm前後とす
れば好ましい結果が得られる。
4〕深溝玉軸受(NTN社製:SEB08J1UCおよ
びSEB26J1UC3)の転動体を、軸受荷重が負荷
される負荷転動体と軸受荷重が負荷されない非負荷転動
体で構成し、1つの非負荷転動体は四フッ化エチレン樹
脂(PTFE)の圧縮成形体とした。
製の負荷転動体に対する直径比A/Bは、実施例1:
0.85、実施例2:0.91、実施例3:0.99、
比較例1:0(PTFE製の非負荷転動体を使用せ
ず。)、比較例2:0.6、比較例3:0.78とし
た。
さは、実施例1〜3と比較例2、3はRa0.32μm
とし、実施例4はRa0.96μm、比較例4はRa
1.5μm((A/B)=0.99)とした。
の転がり軸受内の転がり摩擦または滑り摩擦を生ずる摩
擦面(転動体の表面を除く。)に、平均分子量が500
0以下の四フッ化エチレン樹脂被膜を浸漬処理によって
約0.6μmの膜厚に形成した。
がり軸受に対して、下記の試験1〜3を行い、これらの
結果をそれぞれ図1〜3の図表に示した。
E製非負荷転動体と鋼球製負荷転動体の径比の影響) 実施例1〜3と比較例1〜3の深溝玉軸受として、NT
N社製:SEB08J1UCおよびSEB26J1UC
3を一組ずつ用い、これを高真空軸受寿命試験機に装着
した。試験条件は、アキシャル荷重9.8N、回転速度
2500rpmとして2個の軸受の摩擦トルクが10-2
N・mに達したときを耐久寿命として、この結果(時
間)を図1に示した。なお、図中のA/Bは、PTFE
製非負荷転動体の径(A)/鋼球製負荷転動体の径
(B)である。
A/Bは、軸受の耐久寿命に顕著な影響を及ぼし、A/B
が0.8以上の場合に耐久寿命が顕著に増加し、実施例
2、3では、PTFE製の非負荷転動体を使用しないで
SEB08J1UCおよびSEB26J1UC3を用い
た比較例1の耐久寿命の3倍以上であった。
E製非負荷転動体の表面粗さの影響) 深溝玉軸受(SEB08J1UC)として、所定の表面
粗さのPTFE製の非負荷転動体を組み込んだ実施例
3、4と比較例4を用い、その他の条件は試験1と全く
同様にして転がり軸受の耐久寿命を調べ、その結果を図
2の図表に示した。
E製非負荷転動体の表面粗さRa=0.32μmの実施
例3と、Ra=0.96μmの実施例4の耐久寿命は、
いずれも1000時間以上であったが、Ra=1.5μ
mの比較例4の耐久寿命は、短く、実施例3または実施
例4の1/4以下であった。
溝玉軸受として、NTN社製:SEB08J1UCおよ
びSEB26J1UC3を一組ずつ用い、これを真空発
塵量測定試験機に装着した。試験条件は、アキシャル荷
重9.8N、回転速度50rpmとして、70時間の駆
動中に発生した粒子径0.20μm以上の発塵総個数を
測定し、この結果(時間)を図3に示した。
A/Bは、軸受の発塵量に顕著な影響はみられず、転が
り軸受に四フッ化エチレン樹脂被膜を形成したことが良
好な結果をもたらしていると認められた。また、図外に
比較例4の発塵量を測定したが、測定当初に比較的多く
の発塵があった。
滑転がり軸受は、非負荷転動体が、四フッ化エチレン樹
脂の成形体からなり、かつその直径比を所定範囲に調整
したので、固体潤滑転がり軸受の耐久性が格段に向上
し、無潤滑条件で耐久寿命の長い固体潤滑転がり軸受に
なるという利点がある。
て、転動体の表面粗さが所定の程度に滑らかに調整され
ているものは、転動体が過剰に摩耗することなく、安定
して四フッ化エチレン樹脂を摩擦面に供給するので、軸
受耐久寿命が、より確実に長期化する利点がある。
て、転がり摩擦または滑り摩擦をする面に所定の平均分
子量の四フッ化エチレン樹脂被膜を形成したものは、使
用開始の当初から充分に潤滑されるため、初期の発塵量
が極めて少ないものになる。
FE製非負荷転動体と鋼球製負荷転動体の径比と耐久寿
命時間との関係を示す図表
FE製非負荷転動体の表面粗さと耐久寿命時間との関係
を示す図表
E製非負荷転動体と鋼球製負荷転動体の径比と発塵量と
の関係を示す図表
Claims (3)
- 【請求項1】 転がり軸受に組み込まれる複数の転動体
が、軸受荷重が負荷される負荷転動体と軸受荷重が負荷
されない非負荷転動体からなり、少なくとも1以上の非
負荷転動体が四フッ化エチレン樹脂の成形体からなる転
動体であり、かつ非負荷転動体の負荷転動体に対する直
径比Aが0.8≦A<1であることを特徴とする固体潤
滑転がり軸受。 - 【請求項2】 非負荷転動体が、表面粗さ(Ra)1.
0μm以下の転動体である請求項1記載の固体潤滑転が
り軸受。 - 【請求項3】 請求項1または2に記載の固体潤滑転が
り軸受において、転がり軸受内の転がり摩擦または滑り
摩擦を生ずる摩擦面に平均分子量が5000以下の四フ
ッ化エチレン樹脂被膜を形成した固体潤滑転がり軸受。
Priority Applications (1)
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JP2001046824A JP4038341B2 (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | 固体潤滑転がり軸受 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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---|---|---|---|
JP2001046824A Expired - Lifetime JP4038341B2 (ja) | 2001-02-22 | 2001-02-22 | 固体潤滑転がり軸受 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP4038341B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013042701A1 (ja) * | 2011-09-23 | 2013-03-28 | Ntn株式会社 | 固体潤滑転がり軸受 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11493089B2 (en) | 2020-04-10 | 2022-11-08 | Ntn Corporation | Rolling bearing |
-
2001
- 2001-02-22 JP JP2001046824A patent/JP4038341B2/ja not_active Expired - Lifetime
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