JP2002240144A

JP2002240144A - 低複屈折のフッ素樹脂フィルム

Info

Publication number: JP2002240144A
Application number: JP2001041216A
Authority: JP
Inventors: Yoshiaki Higuchi; 義明樋口; Yukio Sanegiri; 幸男実桐
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2001-02-19
Filing date: 2001-02-19
Publication date: 2002-08-28

Abstract

(57)【要約】【課題】複屈折が顕著に低下したフッ素樹脂フィ
ルムを提供する。【解決手段】原反フィルムをアシスト法により二軸
延伸することにより、厚みｔと、厚みに対する複屈折Δ
ｎとをプロットして得られる右下がりの線分Ｌにより、
線分Ｌより上の領域Ａと、これより下の領域Ｂに分割し
た場合、延伸フィルムの複屈折Δｎが、上記Ｂの領域に
存在するフッ素樹脂フィルムとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、複屈折が顕著に低
下したフッ素樹脂フィルムに関する。

【０００２】

【従来の技術】フッ素樹脂フィルムは、基本的に耐熱
性、耐候性、耐薬品性、非粘着性等の物理的・化学的特
性をバランスよく具備している点で、他のフィルムには
ない、優れた物性を有するものであるといえる。このた
め、当該特性を活かし、ラミネート用フィルム資材、粘
着テープ用フィルム資材、電気絶縁性フィルム、重包装
用フィルム等の広範囲な分野で好適に使用されている。

【０００３】フッ素樹脂フィルムは、さらに、上記特性
に加え、自然光に対する光線透過率等が高いという光学
的特性を有していることから、その特性を生かし、農業
用被覆フィルムや太陽電池のカバーフィルム等としても
好ましく使用されている。

【０００４】すなわち、フッ素樹脂フィルムを農業用被
覆フィルムに使用したハウス栽培の場合は、当該フィル
ムが自然光をハウス内に充分透過させることから、ハウ
ス内部では、光合成が盛んに行われて締まった作物が生
育し、かつ、紫外線を感知するミツバチ等の昆虫による
受粉交配が可能となるという効果を有する。

【０００５】また、アモルファスシリコン太陽電池等の
光電変換素子モジュールのフロントカバーフィルム（保
護フィルム）としても、自然光に対する透明性が高いフ
ッ素樹脂フィルムは、広範囲の波長領域の波長をモジュ
ール内に取り込むことができるので、モジュールの光電
変換効率を高く維持することができ好適である。

【０００６】一方、フッ素樹脂フィルムは、紫外線領域
の光を透過するので、ＬＳＩ製造工程中のステッパーを
使用する光リソグラフィ工程におけるフォトマスク（レ
クチル）を、異物付着から防止するための防塵フィルム
（ペリクル保護膜）としても好ましく使用されている。
ペリクル保護膜は、レクチルのパターン面の下側に張り
付けられるのが一般的であり、ペリクル保護膜には、レ
クチルパターンを通過した光が照射されることになる。
このように、ペリクル保護膜は、投影光学系の一部と見
なされるので、ｇ線（波長４３６ｎｍ）やｉ線（波長３
６５ｎｍ）等の短波長の露光光源に対し複屈折が大きい
と、当該光学系に収差を発生させ、結像性能が低下する
ことになるため、この複屈折Δｎは出来るだけ少ないこ
とが求められる。

【０００７】また、カラーフィルター、偏光板、光ファ
イバー、液晶セル、反射板、鏡等の光学部品又は光学製
品は、輸送・保管過程での傷や汚れからその表面を保護
するため、保護フィルムで被覆するのが通常である。し
かして、その場合、偏光等を用いて行われる外観検査
が、保護フィルムをわざわざ途中ではずす煩雑さを伴う
ことなく、そのままフィルム越しに正確に行えることは
必須であり、そのためには、透明性とともに、複屈折の
より小さなフィルム、特にΔｎが１×１０^-3以下である
フィルムが望まれている。

【０００８】本発明の目的は、上記したような、フッ素
樹脂フィルムの有する光学特性、特に複屈折をさらに従
来にない低レベルまで下げることを目的とする。これが
実現できれば、上記のごときパターンの微細化が絶えず
進展しているリソグラフィ分野において、複屈折が顕著
に低下したフッ素樹脂フィルムは、ペリクル保護膜とし
てより好適に適用されることが期待され、又光学部品等
の検査用保護フィルをはじめとするさらに低いフィルム
の複屈折が要求される産業分野にも、当該フッ素樹脂フ
ィルムの用途が新たに広がることが期待される。

【０００９】通常、樹脂フィルムの屈折率や光沢等の光
学特性を向上させるための常法の一つとして、延伸法が
ある。これは、フィルムを一軸又は二軸延伸し、分子鎖
や微結晶を配向させることにより、光学的性質を向上さ
せようとするものであり、種々の工業用フィルムの分野
で広く行われているが、フッ素樹脂フィルムの分野で
は、一般的に、延伸してもかかる物性上の改良の効果が
低いとされており、又延伸性がよくないこともあって、
フッ素樹脂の延伸フィルムとしては、現実にはわずかに
ポリフッ化ビニリデンについて工業的に実施されている
だけであるのが実状である。

【００１０】本発明者らはかかる観点から詳細に検討し
た結果、たしかにフッ素樹脂フィルムの原反は、基本的
に延伸性が悪いものであり、これをそのまま延伸した場
合（以下、単体延伸とも称する。）は、なんとか延伸で
きたとしても、得られたフィルムは必ずしも均質には延
伸されておらず、フィルム全体としてのバランスのよい
光学的特性の向上は、到底達成することができないこと
がわかった。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかして本発明者ら
は、フッ素樹脂フィルムを単体延伸するのでなく、これ
を、それ自身容易に延伸される易延伸性のフィルムでサ
ンドイッチして積層フィルムとし、当該積層フィルム
を、その外層を形成する易延伸性のフィルムを主体とし
て延伸させれば、芯層（コア層）となっている対象フッ
素樹脂フィルムは、外層の易延伸性フィルムに引っ張ら
れて強制的に追随して延伸され、結果として均一に延伸
されることを見いだした。

【００１２】かくして本発明の目的は、上記のごとき新
しい延伸原理（以下、アシスト法と称すことがある。）
に基づいて調製される、優れた耐候性、耐熱性等の諸特
性を保持したまま、光学的特性を大幅に向上させた、極
めて低い複屈折を有する新規なフッ素樹脂フィルムを提
供することである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】本発明は、前述の課題を
解決するためになされたものであって、本発明に従え
ば、誘電率が５以下である二軸延伸フッ素樹脂フィルム
において、延伸前の原反フィルム厚みｔと、厚みに対す
る複屈折Δｎとをプロットして得られる右下がりの線分
Ｌによって、当該線分Ｌより上の領域Ａと、これより下
の領域Ｂに分割した場合、当該延伸フィルムの複屈折Δ
ｎは、上記Ｂの領域に存在するものであることを特徴と
するフッ素樹脂フィルム、が提供される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
本発明のフッ素樹脂フィルムとしては、誘電率が５以下
のフッ素樹脂フィルムであれば、特に限定するものでは
ないが、例えば以下のものが好ましいものとして挙げら
れる。すなわち、エチレン−テトラフルオロエチレン系
共重合体（以下、ＥＴＦＥと略記することがある。）、
テトラフルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニ
ルエーテル）系共重合体（以下、ＰＦＡと略記すること
がある。）（但し、パーフルオロアルキル基の炭素数
は、１〜１８程度であるものが好ましい。）、テトラフ
ルオロエチレン−ヘキサフルオロプロピレン系共重合体
（ＦＥＰ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）
等のテトラフルオロエチレン系フッ素樹脂；ポリクロロ
トリフルオロエチレン（ＰＣＴＦＥ）、エチレン−クロ
ロトリフルオロエチレン系共重合体（ＥＣＴＦＥ）等の
クロロトリフルオロエチレン系フッ素樹脂等である。ま
た、これらのブレンドや上記単量体成分のさらなる共重
合体でもよい。

【００１５】なお、誘電率５以下と規定したのは、本発
明の対象とするフッ素樹脂フィルムからは、ポリフッ化
ビニリデン（ＰＶＤＦ）（誘電率１０〜１３）のごとき
フッ化ビニリデン系や、ポリフッ化ビニル（ＰＶＦ）
（誘電率８〜９）のようなフッ化ビニル系のフッ素樹脂
フィルムは、除かれる趣旨である。これは、ＰＶＤＦ等
は、電気的性質が本発明の対象とするその他のフッ素樹
脂とは異質であり、また単体延伸が比較的容易で、本発
明を適用する実益に乏しいからである。

【００１６】本発明のフッ素樹脂フィルムは、上記のフ
ッ素樹脂からまず原反フィルムを形成し、これを特定の
条件下で延伸することにより得られる。

【００１７】以下、図面に基づいて、この延伸工程を説
明する。図１は、この延伸工程の一例をモデル的に示す
説明図であり、主として、原反フィルムとアシストフィ
ルムの積層体を形成する第Ｉ工程と、当該積層体を延伸
する第II工程と、及び延伸後アシストフィルムを剥離す
る第III工程からなる。

【００１８】まず第Ｉ工程について説明する。第Ｉ工程
は、原反フィルム１０の少なくとも片面、好ましくは両
面に、延伸をアシストすべきアシストフィルム２０，２
０'を積層し、原反フィルム／アシストフィルム積層体
（以下、原反フィルム積層体と称する。）３０を形成す
る工程である。

【００１９】なお、原反フィルム積層体の層構成として
は、より一般的には、原反フィルムを“Ｔ”、
“Ｔ’”、 “Ｔ””、・・・、アシストフィルムを
“Ａ”で表せば、以下の態様の構成を選択することが可
能である。すなわち、（１）Ｔ／Ａ又はＡ／Ｔ（二層）（２）Ｔ／Ａ／Ｔ（三層）（３）Ａ／Ｔ／Ａ（三層）（４）Ａ（Ｔ／Ａ／Ｔ／Ａ・・・Ｔ／Ａ）（Ｔ／Ａ
の繰り返しによる多層）（５）Ｔ（Ａ／Ｔ／Ａ／Ｔ・・・Ａ／Ｔ）（Ａ／Ｔ
の繰り返しによる多層）（６）Ａ／Ｔ／Ｔ’／Ｔ”／・・・／Ａ（ここ
で、Ｔ／Ｔ’／Ｔ”／・・・は、原反フィルムが二層以
上の多層原反フィルムであることを示す。）

【００２０】ここで（６）の場合においては、構成原反
フィルムＴ／Ｔ’／Ｔ”／・・・は、各積層面において
互いに容易には剥離できない程度に充分接合されている
ものであり、例えば高温におけるホットプレス等よる熱
融着、積層面のコロナ放電による活性化処理後に積層、
又は接着剤による接合等の手段が採用できる。

【００２１】なお、特に限定するものではないが、原反
フィルムの厚みは、通常８０〜１０００μｍ程度、アシ
ストフィルムの厚みは、５０〜６００μｍ程度である。

【００２２】まず延伸にさきだって、原反フィルム積層
体３０を形成することが、本発明で目的とする複屈折の
小さなフッ素樹脂フィルムを得るためのポイントにな
る。すなわち、ここにいう積層体とは、通常の積層体と
異なり、当該アシストフィルム２０，２０'が、コア層
となる原反フィルム１０に強固に接着又は熱融着し、最
終製品としての積層フィルムを形成することを目的とす
るものではない。コア層に積層されたアシストフィルム
は、ある程度の界面接着力（又は、界面剪断強度）で当
該コア層と重なり合っていればよい。すなわち、次の延
伸工程において、外表面を形成する当該アシスト層が、
延伸装置のロール、ガイドレール、クリップ等により把
持されて延伸を受ける場合、両層の界面がすべってコア
層／アシスト層の両層がそれぞれ独立に動くことがな
く、コア層の原反フィルムを当該外層であるアシスト層
の延伸に強制的に追随せしめることができる程度の必要
最小限のものでよいのである。そして、当該アシストフ
ィルムは、延伸工程後の剥離工程において、コア層と容
易に剥離しうるものであることが必要であることから
も、当該剥離が困難なほどの必要以上の界面接着力は、
好ましくない。

【００２３】かかる原反フィルム積層体３０の形成は、
種々の方法により行うことができる。例えば、（１）別
々に調製した、フッ素樹脂原反フィルム１０とアシスト
フィルム２０，２０'を重ねて熱プレス機により、又は
熱ロールを通して加熱圧着する熱ラミネーション法を用
いることができる。また、（２）フッ素樹脂とアシスト
フィルムを形成すべき樹脂を多層ダイ内で溶融し、積層
フィルムとして押し出す共押出ラミネーション法を用い
ることもできる。当該多層ダイの場合、フッ素樹脂とア
シストフィルムとを積層する位置は、ダイ内であって
も、ダイ外であってもよく、さらに前者の場合は、ダイ
の構造は、シングルマニホールドであっても、マルチマ
ニホールドであってもよい。さらに（３）フッ素樹脂フ
ィルムをあらかじめ調製し、当該フィルム上に、アシス
トフィルムを形成する樹脂を押出機によりフィルム状に
押出して圧着させる押出ラミネーション法を用いること
も可能である。なお、熱プレス等により加熱圧着させる
場合は、ホットメルト接着剤等の適当な接着剤を両層間
に介在させて接着力を調整することもできる。

【００２４】通常、上記した方法で積層フィルムを形成
する場合は、層間の接着力を強めるため、基材であるフ
ィルムの表面をあらかじめコロナ放電処理等の表面処理
することが行われるが、本発明におけるフッ素樹脂フィ
ルムの原反フィルム積層体においては、延伸後に、アシ
ストフィルムは、容易に剥離できるものでなければなら
ないので、通常これらの前処理は必要ではない。

【００２５】本発明において、アシストフィルムとして
使用できる樹脂は、基本的にそれ自身で、容易に単体延
伸（より詳しくは、例えば単体二軸延伸）が可能である
樹脂フィルムから選択され、かつ、コアとなるフッ素樹
脂フィルムより、融点（ｍｐ）もしくはガラス転移点
（Ｔｇ）が、低いものが好ましい。このようなアシスト
フィルムとして使用できる樹脂としては、特に限定する
ものではないが、たとえば、ポリエチレンテレフタレー
ト（ＰＥＴ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリエチレン
（ＰＥ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ナイロン６（Ｐ
Ａ６）、ナイロン６６（ＰＡ６６）、ポリスチレン（Ｐ
Ｓ）、ポリα−メチルスチレン（ＰαＭＳ）、ポリアク
リロニトリル（ＰＡＮ）、ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）、
ポリ酢酸ビニル（ＰＶＡＣ）、ポリブテン（ＰＢ）、塩
素化ポリエチレン（ＣＰＥ）、エチレン塩化ビニル共重
合体（ＥＶＣ）、エチレン酢酸ビニル共重合体（ＥＶ
Ａ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリビ
ニルアルコール（ＰＶＡＬ）等が挙げられ、なかでもＰ
ＥＴ、ＰＰ、ＰＥ、ＰＣ及びＰＡ６が好ましい。これら
樹脂から形成されるアシストフィルムは、未延伸フィル
ムであることが好ましい。

【００２６】第II工程は、以上のごとくして第Ｉ工程で
形成された原反フィルム積層体を延伸する延伸工程であ
る。

【００２７】延伸工程は、図１に示したように、主とし
て、原反フィルム積層体３０の延伸温度への予熱４１、
延伸４３、熱処理４５による熱固定（安定化）の各工程
からなる。

【００２８】原反フィルム積層体３０は、まず延伸温度
に予熱される。予熱温度は、原反であるフッ素樹脂フィ
ルム及びこれに組み合わせられるアシストフィルムのガ
ラス転移点以上、融点以下の適当な温度が選択される。
例えば、原反として、ＥＴＦＥフィルムを、アシストフ
ィルムとして、ＰＥＴフィルムを組み合わせた場合は、
８０〜１２０℃程度である。なお、予熱は、当該原反フ
ィルム積層体を熱ロールに接触させることによって行う
こともできるし、または、熱風、赤外線ヒータ等の照射
によって行うこともできる。

【００２９】本発明において延伸は、二軸延伸を意味す
るもので、それ自身公知の方法によって行うことがで
き、特に限定するものではないが、同時二軸延伸又は逐
次二軸延伸によって行うことが好ましく、同時二軸延伸
が最も好ましい。

【００３０】同時二軸延伸は、タテ延伸（フィルムの進
行方向（ＭＤ方向）の延伸）とヨコ方向（すなわちフィ
ルムの進行方向と直角な方向（ＴＤ方向）の延伸）を同
時に行うものであり、通常、後記する逐次二軸延伸とは
ややメカニズム的に異なった装置が使用される。すなわ
ち、ガイドレールにより原反フィルム積層体を移動させ
ながら、所定の形状に配置されたテンタで当該ガイドレ
ールを開いて横方向の延伸を行うと同時に、タテ方向の
間隔が開くパンタグラフ式機構のクリップにより縦方向
の延伸を同時に行うものが基本である。

【００３１】一方、逐次二次延伸は、通常まずタテ延伸
を行い、引き続いてヨコ延伸を行うものである。当該タ
テ延伸の典型的な手段は、延伸ロールを使用するもの
で、低速度回転ロールを上流側に、高速度回転ロールを
下流側に配置し、予熱された原反フィルム積層体を、こ
のロールを通すことにより両ロールの周速度の差を利用
して、フィルムの進行方向に張力を印加し、タテ方向に
延伸させるものである。引き続いてヨコ延伸では、基本
的には、すでに述べたと同様のテンタによりフィルムを
ヨコ方向に延伸する。逐次二次延伸の場合は、原反フィ
ルムにアシストフィルムを重ね合わせる原反フィルム積
層体の形成は、基本的には、第一段の延伸（タテ延伸）
の前に行うが、場合によっては、第二段の延伸（ヨコ延
伸）の前に行ってもよい。例えば、１０μｍ以下程度の
薄いフッ素樹脂フィルムの形成を目的とするような場合
は、延伸後におけるアシストフィルムの剥離を容易にす
るため、第一段の延伸は、原反フィルムの単体延伸とし
て行い、第二段の延伸のみ、アシストフィルムを重ねた
原反フィルム積層体について行う操作を選択することも
できる。これは、フッ素樹脂フィルムに関しては、一軸
延伸であれば、実際上比較的容易かつ安定的に、アシス
トフィルムなしでも延伸が可能であるという本発明者ら
の得た実験的知見によるものである。

【００３２】なお、延伸は、上記したようないわゆる平
板延伸だけでなく、サーキュラーダイと組み合わせて行
われるインフレーション法による延伸であってもよい。

【００３３】延伸倍率は、原反フィルムやアシストフィ
ルムの厚み、種類、目的とするフィルムの引張り破断強
度等によって変わりうるが、通常、タテ２〜１５倍、ヨ
コ２〜１５倍、好ましくはタテ２〜６倍、ヨコ２〜６倍
程度である。

【００３４】以上のごとくして延伸された原反フィルム
積層体は、延伸温度より高い温度で熱処理して、残留応
力を緩和し寸法安定性を向上させることも好ましい。

【００３５】通常熱処理温度としては、対象とするフッ
素樹脂フィルムの融点以下〜延伸温度の範囲が好まし
く、融点より１０℃程度低い温度〜延伸温度より２０℃
高い温度の範囲がより好ましい。また、熱処理時間は、
０．１〜６０分が好ましい。例えば、ＥＴＦＥフィルム
の場合は、２００〜１４０℃において、０．２〜１０分
間熱処理することが望ましい。

【００３６】最後に第III工程において、（延伸され
た）アシストフィルム６０，６０'を、剥離することに
より、本発明の低い複屈折を有するフッ素樹脂フィルム
５０が得られる。延伸後のフッ素樹脂フィルムの厚み
は、１〜２００μｍ、好ましくは１〜１００μｍ程度で
ある。

【００３７】以下、上記のごとくして得られた本発明の
フッ素樹脂フィルムの複屈折特性について、図２に基づ
いて説明する。図２は、同時二軸延伸法によりタテ３．
５倍、ヨコ３．５倍の倍率で延伸した例である。図にお
いて、Ｌは延伸前のフッ素樹脂フィルム原反の複屈折Δ
ｎと、フィルム厚みｔを対数目盛にプロットした右下が
りの線分（ここでは直線）であり、Ｌ₁はＥＴＦＥフィ
ルム、Ｌ₂はＰＦＡフィルムのΔｎである。なお、図中
にプロットしたデータは、後記実施例の条件に準じて得
られたものである。

【００３８】このように延伸前のフッ素樹脂フィルムに
おいて、当該フィルム厚みｔと、厚みに対する複屈折Δ
ｎとをプロットして得られる右下がりの線分Ｌによっ
て、当該線分Ｌより上の領域Ａと、これより下の領域Ｂ
に分割した場合、本発明の延伸フィルムの複屈折Δｎ
は、上記Ｂの領域に存在することを特徴とするものであ
る。

【００３９】例えば具体的には、ＥＴＦＥフィルムに対
する複屈折Δｎを表示するＬ₁において、例えば厚み３
０μｍにおける延伸前のフィルムの複屈折Δｎがａ₀で
あるとすると、本発明の厚み３０μｍの延伸フィルムの
複屈折Δｎはａ点で表示される。すなわち領域（Ｂ）に
存在するものである。

【００４０】同様にして、ＰＦＡフィルムに対する複屈
折Δｎを表示するＬ₂において、例えば厚み４０μｍに
おける延伸前のフィルムの複屈折Δｎがｂ₀であるとす
ると、本発明の厚み４０μｍの延伸フィルムの複屈折Δ
ｎはｂ点で表示され、領域Ｂに存在するものである。

【００４１】本発明のフッ素樹脂フィルムは、好ましく
は、同一厚みの原反フィルム（未延伸フィルム）と比較
して、その複屈折Δｎが、原反フィルムのそれの１／２
以下であるものである。またさらに好ましくは、複屈折
Δｎが、１×１０^-3以下であるものである。

【００４２】なお、これに反し、原反フィルムを押出し
成形方向に一軸延伸した場合は、本発明で規定する二軸
延伸と異なり、当該フィルムの複屈折は、逆に増大して
しまうことが見いだされた。例えば、Ｌ₁において、一
軸延伸したフィルムの上記ａ₀に対応する点は、ａ’と
なるのである。すなわち、当該延伸フィルムの複屈折Δ
ｎは、原反フィルムよりもその複屈折が増大する領域Ａ
に存在することになるのである。

【００４３】本発明において、複屈折（△ｎ）は式
（１）で定義される。 Δｎ＝（ｎ_e−ｎ_o）＝Ｒ_d×１０^-3／ｔ（１）

【００４４】ここで、ｎ_eは異常光（extraordinary ra
y）に対する屈折率、ｎ_oは常光（ordinary ray）に対
する屈折率、Ｒ_dは測定レーザ光源の波長で規格化した
位相差（リターデーション）（ｎｍ）、ｔはフィルム厚
さ（μｍ）を表す。

【００４５】本発明のフッ素樹脂フィルムは、フッ素樹
脂本来の耐熱性、耐光性、耐薬品性等のすぐれた物理的
・化学的特性を保持しながら、かつ、その複屈折が同一
厚みの原反フィルム（未延伸フィルム）に比較して好ま
しくは１／２以下、より好ましくは複屈折が１×１０^-3
以下という顕著に低下したフィルムであるから、ペリク
ル保護膜、光学部品検査用保護フィルム等として好適に
使用される。

【００４６】

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
るが、本発明がこれらによって限定的に解釈されるもの
でないことはもちろんである。

【００４７】〔実施例１〕（１）３００℃におけるメルトインデックス（ＭＩ）値
が３．８であるエチレン−テトラフルオロエチレン共重
合体（旭硝子製アフロンＣＯＰ（登録商標）Ｃ−８８Ａ
Ｘ、以下、ＥＴＦＥと表記する。）を口径４０ｍｍの１
軸押出し成形機（ＶＳ４０、池貝社製）を用いて７００
ｍｍの口金幅を有するフラットダイを用い、ダイス温度
３３０℃、押し出し速度７．５ｋｇ／時間で押し出し、
吐出物を得た。当該吐出物を表面温度が１３０℃になる
ように調整したロールに沿わせて０．５５ｍ／分の速度
で引き取ることにより、厚さ２０３μｍのＥＴＦＥフィ
ルムを得た。

【００４８】（２）得られたフィルム（以下、ＥＴＦＥ
原反フィルムと称する。）を以下の方法で二軸延伸を行
い、複屈折測定用の試料を得た。

【００４９】（ａ）すなわち、まず、当該２０３μｍの
ＥＴＦＥ原反フィルムの上下に、延伸をアシストすべき
フィルムとして２１０μｍの未延伸ポリエステルフィル
ム（Ａ−ＰＥＴＦＲ−１、帝人社製）を重ねて３枚重
ねのフィルムを得た。ついで、金属ロールと厚さ１０ｍ
ｍのゴムを被覆したロールの一対からなるロールを用い
て、表面温度が８５℃になるように調整した後、前記３
枚重ねのフィルムを、当該フィルムの幅で換算した線圧
力が４０ｋｇ／ｃｍとなるように加圧し、速度１０ｃｍ
／分で積層し、３層積層フィルムを得た。得られた３層
積層フィルム（原反フィルム積層体）を９０ｍｍ角に切
断して延伸用の試料を得た。

【００５０】（ｂ）この原反フイルム積層体の試料を二
軸延伸試験装置（二軸延伸試験装置×６Ｈ、東洋精機製
作所製）を用い、温度８８℃、予熱３分、延伸速度２ｍ
／分で、延伸前の試料の寸法に対してタテ、ヨコ共３倍
となるように同時二軸軸延伸し二軸延伸フィルムを得
た。得られた二軸延伸フィルムを、表面温度が４０℃以
下になるまで緊張下で風冷した後取り出した。ついで、
上下に積層されたアシストフィルムであるＡ−ＰＥＴを
剥離し、二軸延伸ＥＴＦＥフィルムを得た。当該二軸延
伸ＥＴＦＥフィルムの厚みは２６μｍであった。

【００５１】（ｃ）得られた二軸延伸ＥＴＦＥフィルム
の複屈折を複屈折測定装置（自動複屈折測定装置ＡＤＲ
−１５０ＬＣ、ＯＲＣ社製）を用いて測定した結果を表
１に示す。

【００５２】〔比較例１〕吐出物を引き取るロールの速
度を４．７６ｍ／分とする以外、実施例１と同様にして
厚さ２５μｍの未延伸ＥＴＦＥフィルムを得た。実施例
１と同様にフィルムの複屈折を測定した結果を表１に示
す。

【００５３】〔比較例２〕（１）引き取り速度を１．７１ｍ／分とする以外は、実
施例１と同様にして、厚さ７２μｍのＥＴＦＥの原反フ
ィルムを得た。

【００５４】（２）得られた原反ＥＴＦＥフィルムを以
下の方法で一軸延伸を行い、複屈折測定用の試料を得
た。

【００５５】（ａ）すなわち、まず、当該７２μｍ厚さ
のＥＴＦＥフィルムの上下に、延伸をアシストすべき２
１０μｍの未延伸ポリエステルフィルム（Ａ−ＰＥＴ
ＦＲ−１、帝人社製）を重ねて３枚重ねのフィルムを得
た。ついで、金属ロールと厚さ１０ｍｍのゴムを被覆し
た一対からなるロールを用いて、表面温度が８５℃にな
るように調整した後、前記３枚重ねのフィルムを、当該
フィルムの幅で換算した線圧力が４０ｋｇ／ｃｍとなる
ように加圧し、速度１０ｃｍ／分で積層し、３層の積層
フィルムを得た。得られた３層積層フィルム（原反フィ
ルム積層体）を９０ｍｍ角に切断して延伸用の試料を得
た。

【００５６】（ｂ）この原反フィルム積層体の試料を一
軸延伸試験装置（二軸延伸試験装置×６Ｈ、東洋精機製
作所製）を用い、温度８８℃、予熱３分、延伸速度２ｍ
／分で、延伸前の試料の寸法に対してタテ、ヨコが共に
３．５倍となるように一軸延伸し延伸フィルムを得た。
得られた延伸フィルムを、表面温度が４０℃以下になる
まで緊張下で風冷した後取り出した。ついで、上下に積
層されたアシストフィルムであるＡ−ＰＥＴ層を剥離
し、厚みが２６μｍの一軸延伸ＥＴＦＥフィルムを得
た。

【００５７】（ｃ）得られた一軸延伸ＥＴＦＥフィルム
の複屈折を実施例１と同様にして測定した結果を表１に
示す。

【００５８】

【表１】

【００５９】〔実施例２〕（１）３７２℃、荷重５０００ｇにおけるメルトインデ
ックス（ＭＩ）値が１．９であるテトラフルオロエチレ
ン−パーフルオロ（アルキルビニルエーテル）共重合体
（旭硝子社製アフロンＰＦＡ（登録商標）Ｐ−６６Ｐ、
以下、ＰＦＡと表記する。）を口径４０ｍｍの一軸押出
し成形機（ＶＳ４０、池貝社製）を用いて７００ｍｍの
口金幅を有するフラットダイを用い、ダイス温度４２５
℃、押出速度７．９ｋｇ／時間で押し出し吐出物を得
た。当該吐出物を表面温度が１６０℃になるよう調整し
たロールに沿わせて０．５９ｍ／分の速度で引き取り、
厚さ２０２μｍのＰＦＡフィルムを得た。

【００６０】（２）得られたＰＦＡフィルム（以下、Ｐ
ＦＡ原反フィルムと称する。）を以下の方法で二軸延伸
を行い、複屈折測定用の試料を得た。

【００６１】（ａ）すなわち、まず、当該２０２μｍ厚
さのＰＦＡ原反フィルムの上下に、延伸をアシストすべ
き２１０μｍの未延伸ポリエステルフィルム（Ａ−ＰＥ
ＴＦＲ−１、帝人社製）を重ねて３枚重ねのフィルム
を得た。ついで、金属ロールと厚さ１０ｍｍのゴムを被
覆した一対からなるロールを用いて、表面温度が８５℃
になるように調整した後、前記３枚重ねのフィルムを、
当該フィルムの幅で換算した線圧力が４０ｋｇ／ｃｍと
なるように加圧し、速度１０ｃｍ／分で積層し、３層の
積層フィルムを得た。得られた３層積層フィルム（原反
フィルム積層体）を９０ｍｍ角に切断して延伸用の試料
を得た。

【００６２】（ｂ）この原反フィルム積層体の試料を二
軸延伸試験装置（二軸延伸試験装置×６Ｈ、東洋精機製
作所製）を用い、温度８８℃、予熱３分、延伸速度２ｍ
／分で、延伸前の試料の寸法に対してタテ、ヨコが共に
３倍となるように同時二軸延伸し延伸フィルムを得た。
得られた延伸フィルムを、表面温度が４０℃以下になる
まで緊張下で風冷した後取り出した。ついで、上下に積
層されたアシストフィルムであるＡ−ＰＥＴ層を剥離
し、厚みが２７μｍの二軸延伸ＰＦＡフィルムを得た。

【００６３】（ｃ）得られた二軸延伸ＰＦＡフィルムの
複屈折を複屈折測定装置（自動複屈折測定装置ＡＤＲ
−１５０ＬＣ、ＯＲＣ社製）を用いて測定した結果を表
２に示す。

【００６４】〔比較例３〕吐出物を引き取るロールの速
度を４．８２ｍ／分とする以外、実施例２と同様にして
厚さが２７μｍの未延伸ＰＦＡフィルムを得た。実施例
２と同様にフィルムの複屈折を測定した結果を表２に示
す。

【００６５】〔比較例４〕（１）引き取り速度を１．７１ｍ／分とする以外は、実
施例２と同様にして、厚さ７２μｍのＰＦＡフィルムを
得た。

【００６６】（２）得られたＰＦＡフィルム（ＰＦＡ原
反フィルム）を比較例２に準じて一軸延伸を行い、複屈
折測定用の試料を得た。得られた一軸延伸ＰＦＡフィル
ムの複屈折を実施例２と同様にして測定した結果を表２
に示す。

【００６７】

【表２】

【００６８】以上実施例１〜２、比較例１〜４の結果を
図３に示した。図から明らかなように、実施例１及び２
の場合、いずれも延伸フィルムの複屈折Δｎは、原反フ
ィルムより複屈折が低下する領域Ｂに存在することが認
められる。また、その複屈折は、原反フィルムと比較し
て、１／２以下であり、また１×１０^-3 以下であるこ
とが明らかである。

【発明の効果】本発明のフッ素樹脂フィルムは、フッ素
樹脂本来の耐熱性、耐光性、耐薬品性等のすぐれた物理
的・化学的特性を保持しながら、かつ、その複屈折が同
一厚みの原反フィルムに比較して好ましくは１／２以
下、さらに好ましくは１×１０^-3以下という顕著に低下
したフィルムであるから、ペリクル保護膜、光学部品検
査用保護フィルム等として好適に使用される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における延伸工程の一例をモデル的に示
す説明図である。

【図２】延伸前後のフッ素系フィルムの複屈折と厚みと
の関係を示すグラフである。

【図３】延伸前後のフッ素系フィルムの複屈折と厚みと
の関係を示すグラフである。

【符号の説明】

１０原反フィルム２０，２０' アシストフィルム３０原反フィルム積層体４１予熱工程４３延伸工程４５熱処理工程４７アシストフィルムの剥離工程５０延伸後のＥＴＦＥフィルム６０，６０' 延伸後のアシストフィルムＬ₁,Ｌ₂ 各フッ素樹脂フィルムの複屈折とフィルム厚
みとの関係を示す線分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 4F071 AA15 AA15X AA26 AA26X AA27 AA27X AF30 AF31Y AH04 AH19 BA01 BB06 BB07 BC01 4F210 AA16 AG01 QC05 QC07 QG01 QG17 QG18

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】誘電率が５以下である二軸延伸フッ素樹
脂フィルムにおいて、延伸前の原反フィルム厚みｔと、
厚みに対する複屈折Δｎとをプロットして得られる右下
がりの線分Ｌによって、当該線分Ｌより上の領域Ａと、
これより下の領域Ｂに分割した場合、当該延伸フィルム
の複屈折Δｎは、上記Ｂの領域に存在するものであるこ
とを特徴とするフッ素樹脂フィルム。
【請求項２】同一厚みの原反フィルムと比較して、そ
の複屈折Δｎが、原反フィルムのそれの１／２以下であ
る請求項１に記載のフッ素樹脂フィルム。
【請求項３】複屈折Δｎが、１×１０^-3以下である請
求項１又は２に記載のフッ素樹脂フィルム。
【請求項４】前記フッ素樹脂フィルムが、エチレン−
テトラフルオロエチレン系共重合体フィルム又はテトラ
フルオロエチレン−パーフルオロ（アルキルビニルエー
テル）系共重合体フィルムである請求項１〜３のいずれ
かに記載のフィルム。