JP2002232265A - 弾性表面波フィルタ - Google Patents
弾性表面波フィルタInfo
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Abstract
(57)【要約】
【課題】弾性表面波電極を用いたラダー型フィルタ回路
を構成した弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域の低
周波側肩特性を急峻にすることにある。 【解決手段】並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０
のうち、弾性表面波電極６０は、得られるＱ値を弾性表
面波電極５７〜５９のＱ値よりも劣化させたＱ値劣化構
造とすると共に、弾性表面波電極６０の共振周波数Ｆｒ
を弾性表面波電極５７〜５９の反共振周波数Ｆａよりも
低く、かつ弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数Ｆｒ
よりも高くしたことにある。
を構成した弾性表面波フィルタにおいて、通過帯域の低
周波側肩特性を急峻にすることにある。 【解決手段】並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０
のうち、弾性表面波電極６０は、得られるＱ値を弾性表
面波電極５７〜５９のＱ値よりも劣化させたＱ値劣化構
造とすると共に、弾性表面波電極６０の共振周波数Ｆｒ
を弾性表面波電極５７〜５９の反共振周波数Ｆａよりも
低く、かつ弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数Ｆｒ
よりも高くしたことにある。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電基板上に複数
の弾性表面波電極をラダー型に構成してなる弾性表面波
フィルタに関し、特に、フィルタの通過帯域における低
域側の肩特性を改善した弾性表面波フィルタに関する。
の弾性表面波電極をラダー型に構成してなる弾性表面波
フィルタに関し、特に、フィルタの通過帯域における低
域側の肩特性を改善した弾性表面波フィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】移動体通信機器において、高周波用の帯
域フィルタとして、複数の弾性表面波電極を圧電基板上
に構成してなる弾性表面波フィルタが知られている。例
えば、特開平５−１８３３８０号公報には、圧電基板上
に複数の弾性表面波電極によりラダー型フィルタ回路を
構成した弾性表面波フィルタが開示されている。
域フィルタとして、複数の弾性表面波電極を圧電基板上
に構成してなる弾性表面波フィルタが知られている。例
えば、特開平５−１８３３８０号公報には、圧電基板上
に複数の弾性表面波電極によりラダー型フィルタ回路を
構成した弾性表面波フィルタが開示されている。
【０００３】図８は、上記先行技術に開示されている弾
性表面波フィルタを説明するための模式的な回路図であ
る。従来の弾性表面波フィルタ５１０は、矩形の圧電基
板５２０を用いて構成されている。圧電基板５２０上に
は、弾性表面波電極（不図示）からなる共振子５３０，
５４０，５５０，５６０が配設されている。すなわち、
図に示すように、入力端子５７０と出力端子５８０との
間に構成される直列腕において共振子５３０，５４０が
直列に接続されている（各共振子５３０，５４０を直列
共振子と称す。また、共振子５３０，５４０を併せて直
列共振子群と称す。以下同じ。）。また、直列腕とグラ
ンド電極５９０との間に、共振子５５０，５６０が並列
に接続されている（各共振子５５０，５６０を並列共振
子と称す。また、共振子５５０，５６０を併せて並列共
振子群と称す。以下、同じ。）。なお、直列共振子５３
０，５４０と並列共振子５５０，５６０とは入出力間に
おいて交互に配置されており、各並列共振子５５０，５
６０は夫々インダクタンス５５５，５６５を介してグラ
ンド電極５９０に接続されている。この直列共振子５３
０と並列共振子５５０の１組で１段のラダー型フィルタ
を構成しており、同様に直列共振子５４０と並列共振子
５６０の１組で１段のラダー型フィルタを構成してい
る。
性表面波フィルタを説明するための模式的な回路図であ
る。従来の弾性表面波フィルタ５１０は、矩形の圧電基
板５２０を用いて構成されている。圧電基板５２０上に
は、弾性表面波電極（不図示）からなる共振子５３０，
５４０，５５０，５６０が配設されている。すなわち、
図に示すように、入力端子５７０と出力端子５８０との
間に構成される直列腕において共振子５３０，５４０が
直列に接続されている（各共振子５３０，５４０を直列
共振子と称す。また、共振子５３０，５４０を併せて直
列共振子群と称す。以下同じ。）。また、直列腕とグラ
ンド電極５９０との間に、共振子５５０，５６０が並列
に接続されている（各共振子５５０，５６０を並列共振
子と称す。また、共振子５５０，５６０を併せて並列共
振子群と称す。以下、同じ。）。なお、直列共振子５３
０，５４０と並列共振子５５０，５６０とは入出力間に
おいて交互に配置されており、各並列共振子５５０，５
６０は夫々インダクタンス５５５，５６５を介してグラ
ンド電極５９０に接続されている。この直列共振子５３
０と並列共振子５５０の１組で１段のラダー型フィルタ
を構成しており、同様に直列共振子５４０と並列共振子
５６０の１組で１段のラダー型フィルタを構成してい
る。
【０００４】従来の弾性表面波フィルタ５１０の動作原
理は以下の通りである。図９は直列・並列共振子５３０
〜５６０を形成する各弾性表面波電極の構造を説明する
図である。図では１ポート型弾性表面波共振子の電極部
分のみが模式的に示されている。
理は以下の通りである。図９は直列・並列共振子５３０
〜５６０を形成する各弾性表面波電極の構造を説明する
図である。図では１ポート型弾性表面波共振子の電極部
分のみが模式的に示されている。
【０００５】図において、７００は弾性表面波電極であ
る。弾性表面波電極７００は中央に配置されたＩＤＴ７
１０の両側に反射器７２０，７３０を配置した構造を有
する。ＩＤＴ７１０は、複数の電極指７１１を有する櫛
歯状電極７１０ａと、複数の電極指７１２を有する櫛歯
状電極７１０ｂとを、互いの電極指７１１，７１２が間
挿し合うように交叉して配置した構造を有する。なお、
例えば、櫛歯状電極７１０ａは入出力電極に接続され、
また櫛歯状電極７１０ｂはグランド電極に接続される。
る。弾性表面波電極７００は中央に配置されたＩＤＴ７
１０の両側に反射器７２０，７３０を配置した構造を有
する。ＩＤＴ７１０は、複数の電極指７１１を有する櫛
歯状電極７１０ａと、複数の電極指７１２を有する櫛歯
状電極７１０ｂとを、互いの電極指７１１，７１２が間
挿し合うように交叉して配置した構造を有する。なお、
例えば、櫛歯状電極７１０ａは入出力電極に接続され、
また櫛歯状電極７１０ｂはグランド電極に接続される。
【０００６】このような構造の弾性表面波電極７００の
ＩＤＴ７１０に入力された信号により励振された表面波
が、反射器７２０，７３０で反射されて定在波とされ、
反射器７２０，７３０間に閉じ込められ高いＱ値を有す
る共振子として動作する。この弾性表面波電極７００の
インピーダンス特性においては、周知のように、共振周
波数でインピーダンスが低くなる極が存在し、反共振周
波数においてインピーダンスが高くなる極が現れる共振
特性を有するようになる。
ＩＤＴ７１０に入力された信号により励振された表面波
が、反射器７２０，７３０で反射されて定在波とされ、
反射器７２０，７３０間に閉じ込められ高いＱ値を有す
る共振子として動作する。この弾性表面波電極７００の
インピーダンス特性においては、周知のように、共振周
波数でインピーダンスが低くなる極が存在し、反共振周
波数においてインピーダンスが高くなる極が現れる共振
特性を有するようになる。
【０００７】このような構造の直列・並列共振子５３０
〜５６０を有した弾性表面波フィルタ５１０では、弾性
表面波電極７００のインピーダンス特性を利用して所望
の帯域幅を有する通過帯域を得ている。すなわち、各直
列共振子５３０，５４０の共振周波数と、各並列共振子
５５０，５６０の反共振周波数とを略一致させることに
より、この間の周波数付近において入出力インピーダン
スを特性インピーダンスと整合させており、それによっ
て通過帯域を構成している。特にラダー型フィルタ回路
では、弾性表面波電極７００は所定のインピーダンス特
性を有するため、直列共振子５３０，５４０の反共振周
波数付近では非常に高インピーダンスとなり、逆に並列
共振子５５０，５６０の共振周波数付近では非常に低イ
ンピーダンスとなるため、この特性を利用してラダー型
フィルタ回路では、高域側の阻止域から通過帯域を介し
て低域側の阻止域を形成した幅広のフィルタ特性を得る
ことになる。
〜５６０を有した弾性表面波フィルタ５１０では、弾性
表面波電極７００のインピーダンス特性を利用して所望
の帯域幅を有する通過帯域を得ている。すなわち、各直
列共振子５３０，５４０の共振周波数と、各並列共振子
５５０，５６０の反共振周波数とを略一致させることに
より、この間の周波数付近において入出力インピーダン
スを特性インピーダンスと整合させており、それによっ
て通過帯域を構成している。特にラダー型フィルタ回路
では、弾性表面波電極７００は所定のインピーダンス特
性を有するため、直列共振子５３０，５４０の反共振周
波数付近では非常に高インピーダンスとなり、逆に並列
共振子５５０，５６０の共振周波数付近では非常に低イ
ンピーダンスとなるため、この特性を利用してラダー型
フィルタ回路では、高域側の阻止域から通過帯域を介し
て低域側の阻止域を形成した幅広のフィルタ特性を得る
ことになる。
【０００８】このようなラダー型フィルタ回路において
減衰極の減衰量を改善する方法として共振子に弾性表面
波電極で形成したＬＣ回路を設けたり（特開平９−２３
２９０６）、外部接続時のワイヤ長を変えることでワイ
ヤ自体のもつインダクタンス値を変化させ減衰極の位置
を変え減衰量を調整する（特開平１１−５５０６７）技
術が開示されている。
減衰極の減衰量を改善する方法として共振子に弾性表面
波電極で形成したＬＣ回路を設けたり（特開平９−２３
２９０６）、外部接続時のワイヤ長を変えることでワイ
ヤ自体のもつインダクタンス値を変化させ減衰極の位置
を変え減衰量を調整する（特開平１１−５５０６７）技
術が開示されている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、近年の
移動体通信システムにおいては、電波の有効利用のため
に規格が決められており、例えば、米国のＰＣＳ規格で
は受信帯域が１９３０〜１９９０ＭＨｚ、送信帯域が１
８５０〜１９１０ＭＨｚ、送受信フィルタの通過帯域同
士の間隔は２０ＭＨｚとなり、受信帯域に隣接して送信
帯域が形成されているため、受信用フィルタにおいて
は、広帯域を維持しつつ、充分な減衰量と通過帯域にお
ける低挿入損失を確保することが必要となる。従って、
隣接する受信帯域の低域側（左肩側）において阻止域か
ら通過帯域の急峻な特性が必要となるが、上述の特開平
９−２３２９０６や特開平１１−５５０６７の何れの技
術でもってしてもフィルタ特性における広帯域化・左肩
側の急峻化の達成は困難であった。
移動体通信システムにおいては、電波の有効利用のため
に規格が決められており、例えば、米国のＰＣＳ規格で
は受信帯域が１９３０〜１９９０ＭＨｚ、送信帯域が１
８５０〜１９１０ＭＨｚ、送受信フィルタの通過帯域同
士の間隔は２０ＭＨｚとなり、受信帯域に隣接して送信
帯域が形成されているため、受信用フィルタにおいて
は、広帯域を維持しつつ、充分な減衰量と通過帯域にお
ける低挿入損失を確保することが必要となる。従って、
隣接する受信帯域の低域側（左肩側）において阻止域か
ら通過帯域の急峻な特性が必要となるが、上述の特開平
９−２３２９０６や特開平１１−５５０６７の何れの技
術でもってしてもフィルタ特性における広帯域化・左肩
側の急峻化の達成は困難であった。
【００１０】本発明は上述の課題に鑑みて案出されたも
のであり、その目的は、特別なＬＣ回路等がなくても、
広域化を維持しつつ、フィルタの通過帯域における低域
側の急峻性を十分取ることができる弾性表面波フィルタ
を提供することにある。
のであり、その目的は、特別なＬＣ回路等がなくても、
広域化を維持しつつ、フィルタの通過帯域における低域
側の急峻性を十分取ることができる弾性表面波フィルタ
を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明は、圧電基板の表面に、入力端子と出力端子
との間に複数の弾性表面波電極が直列接続された直列共
振子群と、直列共振子群の各弾性表面波電極の入力端子
側あるいは出力端子側とグランドとの間に複数の弾性表
面波電極が並列に接続された並列共振子群とを配すると
共に、直列共振子群の弾性表面波電極で形成される共振
周波数と並列共振子群の弾性表面波電極で形成される反
共振周波数を略一致させることでフィルタの通過帯域を
形成した弾性表面波フィルタにおいて、前記並列共振子
群の弾性表面波電極のうち、一部の弾性表面波電極は、
得られるＱ値を他の弾性表面波電極で得られるＱ値より
も劣化させたＱ値劣化構造とすると共に、前記一部の弾
性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群
の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、
かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振
周波数よりも高くしたことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタを提供する。
めに本発明は、圧電基板の表面に、入力端子と出力端子
との間に複数の弾性表面波電極が直列接続された直列共
振子群と、直列共振子群の各弾性表面波電極の入力端子
側あるいは出力端子側とグランドとの間に複数の弾性表
面波電極が並列に接続された並列共振子群とを配すると
共に、直列共振子群の弾性表面波電極で形成される共振
周波数と並列共振子群の弾性表面波電極で形成される反
共振周波数を略一致させることでフィルタの通過帯域を
形成した弾性表面波フィルタにおいて、前記並列共振子
群の弾性表面波電極のうち、一部の弾性表面波電極は、
得られるＱ値を他の弾性表面波電極で得られるＱ値より
も劣化させたＱ値劣化構造とすると共に、前記一部の弾
性表面波電極で形成する共振周波数が他の並列共振子群
の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よりも低く、
かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する共振
周波数よりも高くしたことを特徴とする弾性表面波フィ
ルタを提供する。
【００１２】本発明の構成によれば、前記一部の弾性表
面波電極はＱ値劣化構造とし、その共振周波数が、他の
並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数
よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で
形成する共振周波数よりも高くしたために、フィルタ特
性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまでの間
に新たな減衰極が形成され、これによりフィルタの通過
帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急峻度
が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能となる。
面波電極はＱ値劣化構造とし、その共振周波数が、他の
並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数
よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で
形成する共振周波数よりも高くしたために、フィルタ特
性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまでの間
に新たな減衰極が形成され、これによりフィルタの通過
帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急峻度
が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施例について
図面を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態に係
る弾性表面波フィルタの構造を示す図であり、図２は本
発明の特徴を説明するための並列共振子の拡大図であ
る。図１において弾性表面波フィルタＡは、圧電基板１
の主面に、入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）との
間に複数の弾性表面波電極５４，５５，５６が直列に接
続された直列共振子群と、弾性表面波電極５７，５８，
５９，６０が入出力端子（ＩＮ，ＯＵＴ）とグランド
（ＧＮＤ）に対して並列に接続された並列共振子群が形
成されている。以下、直列共振子群の弾性表面波電極５
４〜５６の夫々を直列共振子と称し、並列共振子群の弾
性表面波電極５７〜６０の夫々を並列共振子と称す。
図面を用いて説明する。図１は本発明の実施の形態に係
る弾性表面波フィルタの構造を示す図であり、図２は本
発明の特徴を説明するための並列共振子の拡大図であ
る。図１において弾性表面波フィルタＡは、圧電基板１
の主面に、入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）との
間に複数の弾性表面波電極５４，５５，５６が直列に接
続された直列共振子群と、弾性表面波電極５７，５８，
５９，６０が入出力端子（ＩＮ，ＯＵＴ）とグランド
（ＧＮＤ）に対して並列に接続された並列共振子群が形
成されている。以下、直列共振子群の弾性表面波電極５
４〜５６の夫々を直列共振子と称し、並列共振子群の弾
性表面波電極５７〜６０の夫々を並列共振子と称す。
【００１４】直列共振子群の弾性表面波電極５４，５
５，５６及び並列共振子群の弾性表面波電極５７，５
８，５９，６０は、何れも中央に櫛歯状のインターデジ
タルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）５４ａ〜６０ａ
を有し、その両側に反射器５４ｂ，５４ｃ，５５ｂ，５
５ｃ・・・６０ｂ，６０ｃを形成した構造を有する。
５，５６及び並列共振子群の弾性表面波電極５７，５
８，５９，６０は、何れも中央に櫛歯状のインターデジ
タルトランスデューサ（以下、ＩＤＴ）５４ａ〜６０ａ
を有し、その両側に反射器５４ｂ，５４ｃ，５５ｂ，５
５ｃ・・・６０ｂ，６０ｃを形成した構造を有する。
【００１５】圧電基板１は所定カット角、所定伝搬方向
となるように矩形状に切断処理された水晶、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム等から
成る。また、弾性表面波電極５４，５５，５６及び弾性
表面波電極５７，５８，５９，６０は、例えば、アルミ
ニウム薄膜からなり、その厚みは０．1〜０．３μmで所
定のパターンに被着形成されている。また、ＩＤＴ５４
ａ〜６０ａ及びその両側の反射器５４ｂ，５４ｃ，５５
ｂ，５５ｃ・・・６０ｂ，６０ｃの電極指幅及び電極指
間隔は、例えば、弾性表面波の波長λに対して略１／４
λとなっている。
となるように矩形状に切断処理された水晶、ニオブ酸リ
チウム、タンタル酸リチウム、四ホウ酸リチウム等から
成る。また、弾性表面波電極５４，５５，５６及び弾性
表面波電極５７，５８，５９，６０は、例えば、アルミ
ニウム薄膜からなり、その厚みは０．1〜０．３μmで所
定のパターンに被着形成されている。また、ＩＤＴ５４
ａ〜６０ａ及びその両側の反射器５４ｂ，５４ｃ，５５
ｂ，５５ｃ・・・６０ｂ，６０ｃの電極指幅及び電極指
間隔は、例えば、弾性表面波の波長λに対して略１／４
λとなっている。
【００１６】ＩＤＴ５４ａ〜６０ａの構造としては、例
えば、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０のＩＤ
Ｔ５７ａ〜６０ａの構造は図２（ａ）（ｂ）に示すよう
に、電極指Ａ１及びそれに交叉する電極指Ａ２が互いに
交叉して配設されており、発生する弾性表面波の伝搬方
向に直交して整列しており、例えば、電極指Ａ１及び電
極指Ａ２の電極幅Ｐｗと各電極指Ａ１、Ａ２の電極指間
隔Ｐｐは略同じ長さに設定されている。なお、本実施例
では電極幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの長さは略同じに設定
したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、電極
幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの長さを異ならせたとしても本
発明の同様の効果を得ることができる。
えば、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０のＩＤ
Ｔ５７ａ〜６０ａの構造は図２（ａ）（ｂ）に示すよう
に、電極指Ａ１及びそれに交叉する電極指Ａ２が互いに
交叉して配設されており、発生する弾性表面波の伝搬方
向に直交して整列しており、例えば、電極指Ａ１及び電
極指Ａ２の電極幅Ｐｗと各電極指Ａ１、Ａ２の電極指間
隔Ｐｐは略同じ長さに設定されている。なお、本実施例
では電極幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの長さは略同じに設定
したが、必ずしもこれに限定されるものではなく、電極
幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの長さを異ならせたとしても本
発明の同様の効果を得ることができる。
【００１７】６１は入力端子であり、６２は出力端子で
ある。入力端子６１から直列にＩＤＴ５４ａ〜５６ａが
接続され出力端子６２につながっている。これらにＩＤ
Ｔ５７ａ〜６０ａの一方側が各反射器５７ｂ，５８ｃ，
５９ｃ，６０ｂを通じて接続されており、他方側が各反
射器５７ｃ，５８ｂ，５９ｂ，６０ｃにより各グランド
電極（ＧＮＤ）に接続されている。
ある。入力端子６１から直列にＩＤＴ５４ａ〜５６ａが
接続され出力端子６２につながっている。これらにＩＤ
Ｔ５７ａ〜６０ａの一方側が各反射器５７ｂ，５８ｃ，
５９ｃ，６０ｂを通じて接続されており、他方側が各反
射器５７ｃ，５８ｂ，５９ｂ，６０ｃにより各グランド
電極（ＧＮＤ）に接続されている。
【００１８】ここで、本発明では、図３に示すように、
並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の内、弾性表
面波電極６０は、得られるＱ値を劣化させるＱ値劣化構
造となっている。更に、Ｑ値劣化構造に加えて、弾性表
面波電極６０の共振周波数Ｆｒが並列共振子群の弾性表
面波電極５７〜５９の反共振周波数Ｆａよりも低く、か
つ弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数Ｆｒよりも高
くになるようにした。
並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０の内、弾性表
面波電極６０は、得られるＱ値を劣化させるＱ値劣化構
造となっている。更に、Ｑ値劣化構造に加えて、弾性表
面波電極６０の共振周波数Ｆｒが並列共振子群の弾性表
面波電極５７〜５９の反共振周波数Ｆａよりも低く、か
つ弾性表面波電極５７〜５９の共振周波数Ｆｒよりも高
くになるようにした。
【００１９】ここで、Ｑ値は一般的にＱ＝２πＦＬ／Ｒ
（Ｆ：共振周波数 Ｌ：インダクタンス Ｒ：共振抵
抗）としてあらわされるが、本発明は、弾性表面波電極
６０の共振周波数Ｆｒがフィルタの通過帯域に近く、か
つ弾性表面波電極６０で得られるＱ値を低くすることで
通過帯域の左肩を急峻なものにすることを見出したもの
である。
（Ｆ：共振周波数 Ｌ：インダクタンス Ｒ：共振抵
抗）としてあらわされるが、本発明は、弾性表面波電極
６０の共振周波数Ｆｒがフィルタの通過帯域に近く、か
つ弾性表面波電極６０で得られるＱ値を低くすることで
通過帯域の左肩を急峻なものにすることを見出したもの
である。
【００２０】Ｑ値を劣化させる程度としては、弾性表面
波電極６０の共振周波数Ｆｒでのインピーダンスが弾性
表面波電極５７〜５９の共振特性中で共振周波数Ｆｒと
反共振周波数Ｆａで結ばれる軌跡に近づくように共振特
性の挿入損失を劣化させると良い。
波電極６０の共振周波数Ｆｒでのインピーダンスが弾性
表面波電極５７〜５９の共振特性中で共振周波数Ｆｒと
反共振周波数Ｆａで結ばれる軌跡に近づくように共振特
性の挿入損失を劣化させると良い。
【００２１】Ｑ値劣化構造としては、共振抵抗Ｒを高く
するように形成すれば良く、高くするためには以下のよ
うな具体的構成とすると良い。具体的に、弾性表面波電
極６０の各電極指Ａ１、Ａ２の対数が弾性表面波電極５
７〜５９の各電極指Ａ１、Ａ２の対数に比べて少なくす
ることで共振抵抗Ｒが高くなりＱ値を劣化させることが
できる。また、弾性表面波電極６０の各電極指Ａ１、Ａ
２同士が交叉した長さＰｘが他の弾性表面波電極５７〜
５９の各電極指同士が交叉した長さＰｘに比べて短くす
ることで共振抵抗Ｒを高くしてＱ値を劣化させることが
できる。
するように形成すれば良く、高くするためには以下のよ
うな具体的構成とすると良い。具体的に、弾性表面波電
極６０の各電極指Ａ１、Ａ２の対数が弾性表面波電極５
７〜５９の各電極指Ａ１、Ａ２の対数に比べて少なくす
ることで共振抵抗Ｒが高くなりＱ値を劣化させることが
できる。また、弾性表面波電極６０の各電極指Ａ１、Ａ
２同士が交叉した長さＰｘが他の弾性表面波電極５７〜
５９の各電極指同士が交叉した長さＰｘに比べて短くす
ることで共振抵抗Ｒを高くしてＱ値を劣化させることが
できる。
【００２２】さらに、図４に示すように、弾性表面波電
極６０１は櫛歯状電極から形成されたサブ電極６１、６
２から構成され、そのサブ電極６１、６２が互いに直列
に接続されている。この櫛歯状電極からなるサブ電極６
１は一方が入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）を結
ぶ線に接続される電極６１ａと、電極６１ａに対向する
電極６１ｂと、電極６１ａに接続するサブ電極６２の一
方の電極６２ａと、電極６２ａに対向してグランド側に
接続される電極６２ｂとが直列に接続されている。この
直列接続のため、共振抵抗Ｒが図１の弾性表面波電極６
０に比べて高くなり、Ｑ値を劣化させることができる。
極６０１は櫛歯状電極から形成されたサブ電極６１、６
２から構成され、そのサブ電極６１、６２が互いに直列
に接続されている。この櫛歯状電極からなるサブ電極６
１は一方が入力端子（ＩＮ）と出力端子（ＯＵＴ）を結
ぶ線に接続される電極６１ａと、電極６１ａに対向する
電極６１ｂと、電極６１ａに接続するサブ電極６２の一
方の電極６２ａと、電極６２ａに対向してグランド側に
接続される電極６２ｂとが直列に接続されている。この
直列接続のため、共振抵抗Ｒが図１の弾性表面波電極６
０に比べて高くなり、Ｑ値を劣化させることができる。
【００２３】一方、弾性表面波電極６０で形成する共振
周波数Ｆｒが他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜
５９で形成する反共振周波数Ｆａよりも低く、かつ他の
並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９で形成する共
振周波数Ｆｒよりも高くする為の手段としては、図２に
示すように、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０
の電極指の幅Ｐｗと各電極指同士の電極指間隔Ｐｐで構
成する電極指ピッチを、弾性表面波電極６０よりも他の
弾性表面波電極５７〜５９が長くなるように形成すると
よい。この場合、電極指ピッチを変えるのは、並列共振
子群の弾性表面波電極５７〜６０の各電極指の幅Ｐｗを
略同じとし、各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを変更する
方法、各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを略同じとし、各
電極指の幅Ｐｗを変える方法及び並列共振子群の弾性表
面波電極５７〜６０の各電極指の幅Ｐｗを変更し、かつ
各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを変更する方法があげら
れる。
周波数Ｆｒが他の並列共振子群の弾性表面波電極５７〜
５９で形成する反共振周波数Ｆａよりも低く、かつ他の
並列共振子群の弾性表面波電極５７〜５９で形成する共
振周波数Ｆｒよりも高くする為の手段としては、図２に
示すように、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜６０
の電極指の幅Ｐｗと各電極指同士の電極指間隔Ｐｐで構
成する電極指ピッチを、弾性表面波電極６０よりも他の
弾性表面波電極５７〜５９が長くなるように形成すると
よい。この場合、電極指ピッチを変えるのは、並列共振
子群の弾性表面波電極５７〜６０の各電極指の幅Ｐｗを
略同じとし、各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを変更する
方法、各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを略同じとし、各
電極指の幅Ｐｗを変える方法及び並列共振子群の弾性表
面波電極５７〜６０の各電極指の幅Ｐｗを変更し、かつ
各電極指同士の電極指間隔Ｐｐを変更する方法があげら
れる。
【００２４】また、弾性表面波電極６０のメタライゼー
ションレシオ（電極指ピッチに対する電極指幅Ｐｗの比
をいう。以下同じ）よりも他の並列共振子群の弾性表面
波電極５７〜５９のメタライゼーションレシオが大きく
なるように形成する方法がある。例えば、図２（ａ）に
示す弾性表面波電極５７〜５９について、電極指Ａ１、
Ａ２の電極指幅をＰｗ＝０．５００μm、電極指間隔Ｐ
ｐ＝０．５００μmとし、図２（ｂ）に示す弾性表面波
電極６０について、電極指幅をＰｗ＝０．４００μm、
電極指間隔Ｐｐ＝０．６００μmとすることで、得られ
る共振周波数を異ならせることができる。
ションレシオ（電極指ピッチに対する電極指幅Ｐｗの比
をいう。以下同じ）よりも他の並列共振子群の弾性表面
波電極５７〜５９のメタライゼーションレシオが大きく
なるように形成する方法がある。例えば、図２（ａ）に
示す弾性表面波電極５７〜５９について、電極指Ａ１、
Ａ２の電極指幅をＰｗ＝０．５００μm、電極指間隔Ｐ
ｐ＝０．５００μmとし、図２（ｂ）に示す弾性表面波
電極６０について、電極指幅をＰｗ＝０．４００μm、
電極指間隔Ｐｐ＝０．６００μmとすることで、得られ
る共振周波数を異ならせることができる。
【００２５】また、他の方法としては、弾性表面波電極
６０の電極厚みを他の並列共振子群の弾性表面波電極５
７〜５９の電極厚みに比べて薄くしても良い。
６０の電極厚みを他の並列共振子群の弾性表面波電極５
７〜５９の電極厚みに比べて薄くしても良い。
【００２６】なお、上述では並列共振子群の１つの弾性
表面波電極６０で並列共振子群の他の弾性表面波電極５
７〜５９により形成される減衰極よりも高周波側に極を
形成しているが、これに限定されることはなく並列共振
子群の２つ以上の弾性表面波電極で形成してもよい。こ
のような構成にしても同様の効果が得られる。
表面波電極６０で並列共振子群の他の弾性表面波電極５
７〜５９により形成される減衰極よりも高周波側に極を
形成しているが、これに限定されることはなく並列共振
子群の２つ以上の弾性表面波電極で形成してもよい。こ
のような構成にしても同様の効果が得られる。
【００２７】かくして、本発明の弾性表面波フィルタＡ
によれば、従来、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜
６０の減衰極が通過帯域の低域側の減衰極を形成するの
に用いていたのに対して、並列共振子群の一つの弾性表
面波電極６０をＱ値劣化構造とすると共に、その共振周
波数Ｆｒが、他の弾性表面波電極５７〜５９の反共振周
波数Ｆａよりも低く、かつ他の弾性表面波電極５７〜５
９の共振周波数Ｆｒよりも高くなるようにしたために、
フィルタ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入
るまでの間で新たにもう１つの極が形成され、これによ
りフィルタの通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域
の低域側の急峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する
事が可能となる。しかも、通過帯域減衰特性はほとんど
変化しないため、従来の設計方法はそのまま使用できる
ものである。
によれば、従来、並列共振子群の弾性表面波電極５７〜
６０の減衰極が通過帯域の低域側の減衰極を形成するの
に用いていたのに対して、並列共振子群の一つの弾性表
面波電極６０をＱ値劣化構造とすると共に、その共振周
波数Ｆｒが、他の弾性表面波電極５７〜５９の反共振周
波数Ｆａよりも低く、かつ他の弾性表面波電極５７〜５
９の共振周波数Ｆｒよりも高くなるようにしたために、
フィルタ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入
るまでの間で新たにもう１つの極が形成され、これによ
りフィルタの通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域
の低域側の急峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する
事が可能となる。しかも、通過帯域減衰特性はほとんど
変化しないため、従来の設計方法はそのまま使用できる
ものである。
【００２８】また、従来は外部引きまわし電極であるア
ルミ線ワイヤや金線ワイヤのワイヤ長を変えることでワ
イヤのもつインダクタンス値を変えて低域側の減衰域の
減衰量を確保しており結線状態により極の位置が微妙に
ずれ、特性検査の歩留まりを落とす原因になっていた
が、本発明によれば、そのようなものを利用せずに通過
帯域低域側肩特性を急峻にできるため安定した歩留まり
も確保できるものである。
ルミ線ワイヤや金線ワイヤのワイヤ長を変えることでワ
イヤのもつインダクタンス値を変えて低域側の減衰域の
減衰量を確保しており結線状態により極の位置が微妙に
ずれ、特性検査の歩留まりを落とす原因になっていた
が、本発明によれば、そのようなものを利用せずに通過
帯域低域側肩特性を急峻にできるため安定した歩留まり
も確保できるものである。
【００２９】
【実施例】次に本発明の作用効果を確認するために本発
明の実施例を示す。 （実施例１）圧電基板１としては４２°Ｙ−Ｘタンタル
酸リチウム基板を用い、その表面にＡｌまたはＡｌ合金
からなる直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６
及び並列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９，６
０を図１の配線のように形成した。これにより、中心周
波数１．９６ＧＨｚのラダー型ＳＡＷフィルタを製作し
た。
明の実施例を示す。 （実施例１）圧電基板１としては４２°Ｙ−Ｘタンタル
酸リチウム基板を用い、その表面にＡｌまたはＡｌ合金
からなる直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６
及び並列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９，６
０を図１の配線のように形成した。これにより、中心周
波数１．９６ＧＨｚのラダー型ＳＡＷフィルタを製作し
た。
【００３０】この場合、直列共振子の弾性表面波電極５
４，５５，５６の交叉幅ＰｘはＰｘ＝１０〜１５λ、並
列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９の交叉幅Ｐ
ｘは何れもＰｘ＝３０λ、弾性表面波電極６０の交差幅
ＰｘはＰｘ＝２０λとした。また、直列共振子の弾性表
面波電極５４，５５，５６の電極対数を９５対、並列共
振子の弾性表面波電極５７，５８，５９の電極対数を４
５対、弾性表面波電極６０の電極対数を１５対としてい
る。また、弾性表面波電極５７、５８，５９の電極指幅
Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐの双方を、Ｐｐ、Ｐｗ＝０．５
０３μｍとし弾性表面波電極６０の電極指幅Ｐｗと電極
指間隔Ｐｐの双方をＰｗ、Ｐｐ＝０．５００μｍとして
弾性表面波電極５７〜５９よりも電極指ピッチを短くし
た。なお、直列共振子の弾性表面波電極５４、５５、５
６の電極指幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの双方をＰｐ、Ｐｗ
＝０．４８４５μｍとし、電極幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐ
ｐは同じ長さに設定されている。
４，５５，５６の交叉幅ＰｘはＰｘ＝１０〜１５λ、並
列共振子の弾性表面波電極５７，５８，５９の交叉幅Ｐ
ｘは何れもＰｘ＝３０λ、弾性表面波電極６０の交差幅
ＰｘはＰｘ＝２０λとした。また、直列共振子の弾性表
面波電極５４，５５，５６の電極対数を９５対、並列共
振子の弾性表面波電極５７，５８，５９の電極対数を４
５対、弾性表面波電極６０の電極対数を１５対としてい
る。また、弾性表面波電極５７、５８，５９の電極指幅
Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐの双方を、Ｐｐ、Ｐｗ＝０．５
０３μｍとし弾性表面波電極６０の電極指幅Ｐｗと電極
指間隔Ｐｐの双方をＰｗ、Ｐｐ＝０．５００μｍとして
弾性表面波電極５７〜５９よりも電極指ピッチを短くし
た。なお、直列共振子の弾性表面波電極５４、５５、５
６の電極指幅Ｐｗと電極指間隔Ｐｐの双方をＰｐ、Ｐｗ
＝０．４８４５μｍとし、電極幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐ
ｐは同じ長さに設定されている。
【００３１】このように形成した弾性表面波フィルタＡ
のフィルタ特性を図５に示す。このとき、図５の縦軸は
減衰量（５ｄＢ／ｄｉｖ）であり、横軸は規格化周波数
（中心周波数ｆ０：１９６０ＭＨｚ、span：１９６ＭＨ
ｚ）である。
のフィルタ特性を図５に示す。このとき、図５の縦軸は
減衰量（５ｄＢ／ｄｉｖ）であり、横軸は規格化周波数
（中心周波数ｆ０：１９６０ＭＨｚ、span：１９６ＭＨ
ｚ）である。
【００３２】図５において０．９７近傍に並列共振子の
弾性表面波電極５７〜５９による減衰極が形成されてい
る。さらに、１．０４近傍に直列共振子の弾性表面波電
極５４，５５，５６による減衰極が形成されている。
弾性表面波電極５７〜５９による減衰極が形成されてい
る。さらに、１．０４近傍に直列共振子の弾性表面波電
極５４，５５，５６による減衰極が形成されている。
【００３３】図５に示すように、通過帯域低域側の極の
高周波側に並列共振子の弾性表面波電極６０による減衰
極Ｂが形成されることで低域側の通過域肩特性が急峻と
なり通過域特性が広帯域となっていることがわかる。こ
れに対し比較例として、直列共振子の弾性表面波電極５
４，５５，５６の交叉幅Ｐｘは何れもＰｘ＝１０〜１５
λ、並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０の交叉幅Ｐ
ｘは何れもＰｘ＝３０λとして同じ長さに形成し、また
並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０のＰｗおよびＰ
ｐは何れもＰｗ，Ｐｐ＝０．５０３μｍとした。また、
直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６の電極対
数を９５対、並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０の
電極対数を４５対とし、電極幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐ
を同じ長さに設定した比較例の弾性表面波フィルタを形
成してフィルタ特性を図６に示した。図６の縦軸も減衰
量（５ｄＢ／ｄｉｖ）であり、横軸は規格化周波数（中
心周波数ｆ０：１９６０ＭＨｚ、span：１９６ＭＨｚ）
とする。このフィルタ特性によれば、通過帯域の低域側
肩特性のスペックを十分満足するものが得られてないこ
とがわかる。 （実施例２）図1で示す弾性表面波電極６０を図４で示
す弾性表面波電極６０１（直列に接続されたサブ電極６
１、６２の構造）とする以外は実施例１と同一条件で実
験を行った。なお、サブ電極６１、６２の何れもが交叉
幅ＰｘはＰｘ＝２０λ、電極指幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐ
ｐの双方をＰｐ、Ｐｗ＝０．５μｍとした。また、電極
対数を４５対としている。このように実験されたフィル
タ特性を図７に示す。この結果でもサブ電極６１，６２
で構成される直列共振子の弾性表面波電極６０１が図1
で示した弾性表面波電極６０に比べて共振抵抗が増加し
て弾性表面波電極６０１のＱ値が他の並列共振子群の弾
性表面波電極５７〜５９のＱ値に比べて劣化しており、
さらに弾性表面波電極６０の共振周波数を、弾性表面波
電極５７〜５９の反共振周波数よりも低く、かつ弾性表
面波電極５７〜５９の共振周波数よりも高くしているの
で、通過帯域の左肩に新たな減衰極が発生し、通過帯域
の低域側の急峻度が大きくなっていることが理解でき
る。
高周波側に並列共振子の弾性表面波電極６０による減衰
極Ｂが形成されることで低域側の通過域肩特性が急峻と
なり通過域特性が広帯域となっていることがわかる。こ
れに対し比較例として、直列共振子の弾性表面波電極５
４，５５，５６の交叉幅Ｐｘは何れもＰｘ＝１０〜１５
λ、並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０の交叉幅Ｐ
ｘは何れもＰｘ＝３０λとして同じ長さに形成し、また
並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０のＰｗおよびＰ
ｐは何れもＰｗ，Ｐｐ＝０．５０３μｍとした。また、
直列共振子の弾性表面波電極５４，５５，５６の電極対
数を９５対、並列共振子の弾性表面波電極５７〜６０の
電極対数を４５対とし、電極幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐｐ
を同じ長さに設定した比較例の弾性表面波フィルタを形
成してフィルタ特性を図６に示した。図６の縦軸も減衰
量（５ｄＢ／ｄｉｖ）であり、横軸は規格化周波数（中
心周波数ｆ０：１９６０ＭＨｚ、span：１９６ＭＨｚ）
とする。このフィルタ特性によれば、通過帯域の低域側
肩特性のスペックを十分満足するものが得られてないこ
とがわかる。 （実施例２）図1で示す弾性表面波電極６０を図４で示
す弾性表面波電極６０１（直列に接続されたサブ電極６
１、６２の構造）とする以外は実施例１と同一条件で実
験を行った。なお、サブ電極６１、６２の何れもが交叉
幅ＰｘはＰｘ＝２０λ、電極指幅Ｐｗ及び電極指間隔Ｐ
ｐの双方をＰｐ、Ｐｗ＝０．５μｍとした。また、電極
対数を４５対としている。このように実験されたフィル
タ特性を図７に示す。この結果でもサブ電極６１，６２
で構成される直列共振子の弾性表面波電極６０１が図1
で示した弾性表面波電極６０に比べて共振抵抗が増加し
て弾性表面波電極６０１のＱ値が他の並列共振子群の弾
性表面波電極５７〜５９のＱ値に比べて劣化しており、
さらに弾性表面波電極６０の共振周波数を、弾性表面波
電極５７〜５９の反共振周波数よりも低く、かつ弾性表
面波電極５７〜５９の共振周波数よりも高くしているの
で、通過帯域の左肩に新たな減衰極が発生し、通過帯域
の低域側の急峻度が大きくなっていることが理解でき
る。
【００３４】
【発明の効果】本発明の構成によれば、一部の弾性表面
波電極はＱ値劣化構造とし、その共振周波数を、他の弾
性表面波電極の反共振周波数よりも低く、かつ他の弾性
表面波電極の共振周波数よりも高くしたために、フィル
タ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまで
の間に新たな減衰極が形成され、これによりフィルタの
通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急
峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能とな
る弾性表面波フィルタを提供できる。
波電極はＱ値劣化構造とし、その共振周波数を、他の弾
性表面波電極の反共振周波数よりも低く、かつ他の弾性
表面波電極の共振周波数よりも高くしたために、フィル
タ特性において低域側の減衰極から通過帯域に入るまで
の間に新たな減衰極が形成され、これによりフィルタの
通過帯域が広帯域を確保しつつ、通過帯域の低域側の急
峻度が大きくなり十分な肩特性を確保する事が可能とな
る弾性表面波フィルタを提供できる。
【図１】本発明の弾性表面波フィルタの平面図である。
【図２】（ａ）は弾性表面波電極５７〜５９を示す図、
（ｂ）は弾性表面波電極６０の構成を示す図である。
（ｂ）は弾性表面波電極６０の構成を示す図である。
【図３】本発明の弾性表面波電極５７〜５９と弾性表面
波電極６０との共振特性を示す図である。
波電極６０との共振特性を示す図である。
【図４】本発明の他の弾性表面波フィルタを説明する回
路図である。
路図である。
【図５】本発明のフィルタ特性を示す特性図である。
【図６】比較例のフィルタ特性を示す特性図である。
【図７】本発明の他の弾性表面波フィルタにおいてのフ
ィルタ特性を示す特性図である。
ィルタ特性を示す特性図である。
【図８】従来の弾性表面波フィルタを説明するための模
式的平面図である。
式的平面図である。
【図９】１ポート型弾性表面波電極を説明するための拡
大平面図である。
大平面図である。
Ａ：弾性表面波フィルタ １：圧電基板 ５４〜５６：直列共振子の弾性表面波電極 ５７〜６０：並列共振子の弾性表面波電極 ６１：入力端子 ６２：出力端子
Claims (7)
- 【請求項１】 圧電基板の表面に、入力端子と出力端子
との間に複数の弾性表面波電極が直列接続された直列共
振子群と、直列共振子群の各弾性表面波電極の入力端子
側あるいは出力端子側とグランドとの間に複数の弾性表
面波電極が並列に接続された並列共振子群とを配すると
共に、直列共振子群の弾性表面波電極で形成される共振
周波数と並列共振子群の弾性表面波電極で形成される反
共振周波数を略一致させることでフィルタの通過帯域を
形成した弾性表面波フィルタにおいて、 前記並列共振子群の弾性表面波電極のうち、一部の弾性
表面波電極は、得られるＱ値を他の弾性表面波電極で得
られるＱ値よりも劣化させたＱ値劣化構造とすると共
に、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が
他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周
波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電
極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とす
る弾性表面波フィルタ。 - 【請求項２】 弾性表面波電極を電極指が互いに交叉す
るように対向配置された櫛歯状電極で構成しており、前
記弾性表面波電極の電極指の幅と電極指同士の電極指間
隔とからなる電極指ピッチを、前記一部の弾性表面波電
極よりも前記並列共振子群の他の弾性表面波電極が長く
なるように形成することで、前記一部の弾性表面波電極
で形成する共振周波数が他の並列共振子群の弾性表面波
電極で形成する反共振周波数よりも低く、かつ他の並列
共振子群の弾性表面波電極で形成する共振周波数よりも
高くしたことを特徴とする請求項１記載の弾性表面波フ
ィルタ。 - 【請求項３】 弾性表面波電極を電極指が互いに交叉す
るように対向配置された櫛歯状電極で構成しており、弾
性表面波電極の電極指の幅と各電極指同士の電極指間隔
とからなる電極指ピッチに対する電極指の幅の比を、前
記一部の弾性表面波電極よりも前記並列共振子群の他の
弾性表面波電極が大きくなるように形成することで、前
記一部の弾性表面波電極で形成する共振周波数が他の並
列共振子群の弾性表面波電極で形成する反共振周波数よ
りも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表面波電極で形
成する共振周波数よりも高くしたことを特徴とする請求
項１記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項４】 前記弾性表面波電極を電極指が互いに交
叉するように対向配置された櫛歯状電極で構成すると共
に、前記一部の弾性表面波電極の電極厚みを他の並列共
振子群の弾性表面波電極の電極厚みに比べて薄く形成す
ることで、前記一部の弾性表面波電極で形成する共振周
波数が他の並列共振子群の弾性表面波電極で形成する反
共振周波数よりも低く、かつ他の並列共振子群の弾性表
面波電極で形成する共振周波数よりも高くしたことを特
徴とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項５】 前記Ｑ値劣化構造として、前記弾性表面
波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された
櫛歯状電極から構成すると共に、前記一部の弾性表面波
電極の各電極指の対数を他の並列共振子群の弾性表面波
電極の各電極指の対数に比べて少なくしたたことを特徴
とする請求項１記載の弾性表面波フィルタ。 - 【請求項６】 前記Ｑ値劣化構造として、前記弾性表面
波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された
櫛歯状電極から構成すると共に、前記一部の弾性表面波
電極の各電極指同士が交叉した長さを他の並列共振子群
の弾性表面波電極の各電極指同士が交叉した長さに比べ
て短くしてなること特徴とする請求項１記載の弾性表面
波フィルタ。 - 【請求項７】 前記Ｑ値劣化構造として、前記弾性表面
波電極を電極指が互いに交叉するように対向配置された
櫛歯状電極から構成すると共に、前記一部の弾性表面波
電極が前記櫛歯状電極から形成された複数のサブ電極の
直列接続からなることを特徴とする請求項１記載の弾性
表面波フィルタ。
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