JP2002215974A - 材料管理装置及び材料管理方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体製造ラインにおいて使用される材料の
在庫・発注を効率的に適正量管理し得る材料管理装置及
び材料管理方法を得る。 【解決手段】 演算部１１は、データ処理部１０からデ
ータＤ３を入力するとともに、演算部１２からデータＤ
６を入力する。データＤ３は、材料ＩＤに関する情報
と、第１の単位期間におけるウェハの処理予定数に関す
る情報とを含むデータである。また、データＤ６は、演
算部１２によって求められた、材料の耐久限界回数に関
するデータである。そして、演算部１１は、ウェハの処
理予定数を材料の耐久限界回数で除算する演算を行うこ
とにより、第１の単位期間内に処理が予定されているウ
ェハの全てを処理するために必要な材料の個数（予測使
用数）を求め、データＤ７として出力する。データＤ７
は発注管理部４に入力される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造ライ
ンにおいて使用される材料の在庫・発注を管理する、材
料管理装置及び材料管理方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造ラインにおいては、化学物質
や装置部品等、多種の材料が使用されている。半導体製
造ラインのスムーズな物流を確保するためには、これら
の材料の在庫・発注の適正量を効率的に管理することが
重要である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】半導体製造ラインにお
いて材料の在庫・発注管理を行う場合、以下のような問
題がある。

【０００４】第１に、材料によって管理目的が異なるた
め、様々な材料を画一的に管理することが困難であると
いう問題がある。具体的に、品質保証期間がある材料
（多くの化学物質等）の管理においては、使用期限の管
理を行う必要がある。これに対して、例えば装置部品に
は品質保証期間がない場合が多いため、そのような装置
部品の管理においては、使用期限の管理を行う必要がな
い。逆に、例えば装置部品（特に小さなパーツ等）に関
しては、その保管場所が特定の場所に決められていない
ことが多いため、そのような装置部品の管理において
は、保管場所を特定するための管理を行う必要がある。
これに対して、化学物質に関しては、その保管場所が特
定の場所に決められていることが多いため、そのような
化学物質の管理においては、保管場所を特定するための
管理を行う必要がない。

【０００５】第２に、材料の発注に関して、適正な時期
に、適正な量あるいは個数の材料を発注することが困難
であるという問題がある。半導体製造ラインにおいて
は、品種が随時変化するため、それに伴って、使用する
材料の種類も変化する。従って、在庫として確保してお
くべき材料の必要量あるいは必要個数を把握しにくく、
結果として、在庫切れを懸念して過剰発注になることが
多い。そのため、材料の使用期限が切れて廃却せざるを
得ない状況が多く発生し、無駄な経費（製造に関わらな
い経費）を多く発生してしまう。

【０００６】本発明はこれらの問題を解決するために成
されたものであり、半導体製造ラインにおいて使用され
る材料の在庫・発注の適正量を効率的に管理し得る材料
管理装置及び材料管理方法を得ることを目的とするもの
である。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明のうち請求項１
に記載の材料管理装置は、稼働している製造ラインに関
するデータに基づいて、装置部品を含む材料の、単位期
間内における予測使用数を算出する予測使用数算出部
と、前記材料の在庫をデータ上で管理する在庫管理部
と、前記予測使用数算出部からの前記予測使用数のデー
タと、前記在庫管理部からの前記材料の現在在庫数のデ
ータとに基づいて、前記材料の発注数に関するデータを
出力する発注管理部とを備えるものである。

【０００８】また、この発明のうち請求項２に記載の材
料管理装置は、請求項１に記載の材料管理装置であっ
て、前記予測使用数算出部は、単位期間内に処理された
ウェハの枚数に関するデータと、前記単位期間内に使用
された前記材料の個数に関するデータとに基づいて、前
記材料の耐久限界を算出する第１の演算部と、ウェハの
処理予定数に関するデータと、前記第１の演算部からの
前記耐久限界に関するデータとに基づいて、前記予測使
用数を算出する第２の演算部とを有することを特徴とす
るものである。

【０００９】また、この発明のうち請求項３に記載の材
料管理装置は、請求項１に記載の材料管理装置であっ
て、前記材料に関する複数の所定項目のデータが格納さ
れた記憶部をさらに備え、前記在庫管理部は、前記記憶
部に格納された前記データを参照して前記材料の在庫管
理を行い、前記発注管理部は、前記記憶部に格納された
前記データを参照して前記材料の発注管理を行うことを
特徴とするものである。

【００１０】また、この発明のうち請求項４に記載の材
料管理装置は、請求項３に記載の材料管理装置であっ
て、前記材料には化学物質も含まれ、前記記憶部には、
前記装置部品の管理に必要な項目、及び前記化学物質の
管理に必要な項目を含む複数の管理項目を有するマスタ
がさらに格納されており、前記在庫管理部は、管理対象
である前記材料ごとに、前記複数の管理項目の中から特
定の項目を選択して管理することを特徴とするものであ
る。

【００１１】また、この発明のうち請求項５に記載の材
料管理装置は、請求項３又は４に記載の材料管理装置で
あって、前記複数の所定項目の中には、前記材料の保管
場所に関する項目が含まれることを特徴とするものであ
る。

【００１２】また、この発明のうち請求項６に記載の材
料管理装置は、請求項３又は４に記載の材料管理装置で
あって、前記複数の所定項目の中には、前記材料の使用
期限に関する項目が含まれることを特徴とするものであ
る。

【００１３】また、この発明のうち請求項７に記載の材
料管理装置は、請求項３又は４に記載の材料管理装置で
あって、前記複数の所定項目の中には、処理装置内で使
用されている前記材料の使用期限に関する項目が含まれ
ることを特徴とするものである。

【００１４】また、この発明のうち請求項８に記載の材
料管理装置は、請求項３又は４に記載の材料管理装置で
あって、前記複数の所定項目の中には、前記材料が現在
管理対象であるか否かを示す項目が含まれることを特徴
とするものである。

【００１５】また、この発明のうち請求項９に記載の材
料管理装置は、請求項８に記載の材料管理装置であっ
て、現在管理対象である前記材料に関する在庫管理デー
タと、現在管理対象ではない前記材料に関する在庫管理
データとを区別して別画面に表示する表示部をさらに備
えることを特徴とするものである。

【００１６】また、この発明のうち請求項１０に記載の
材料管理装置は、請求項３又は４に記載の材料管理装置
であって、前記複数の所定項目の中には、前記材料が繰
り返し再生して使用可能な材料であるか否かを示す項目
が含まれることを特徴とするものである。

【００１７】また、この発明のうち請求項１１に記載の
材料管理装置は、請求項１０に記載の材料管理装置であ
って、購入発注を行う前記材料に関する発注データと、
再生発注を行う前記材料に関する発注データとを区別し
て別画面に表示する表示部をさらに備えることを特徴と
するものである。

【００１８】また、この発明のうち請求項１２に記載の
材料管理装置は、請求項１に記載の材料管理装置であっ
て、前記発注管理部は、前記予測使用数のデータと、前
記現在在庫数のデータと、所定の式によって規定される
発注数の上限値とに基づいて、前記材料の前記発注数に
関するデータを出力することを特徴とするものである。

【００１９】また、この発明のうち請求項１３に記載の
材料管理装置は、請求項１２に記載の材料管理装置であ
って、前記発注数の前記上限値は、前記材料の納期をパ
ラメータとする前記所定の式によって規定されることを
特徴とするものである。

【００２０】また、この発明のうち請求項１４に記載の
材料管理装置は、請求項１２に記載の材料管理装置であ
って、前記材料が品質保証期間のある材料である場合、
前記発注数の前記上限値は、前記材料の納期と前記品質
保証期間とをパラメータとする前記所定の式によって規
定されることを特徴とするものである。

【００２１】また、この発明のうち請求項１５に記載の
材料管理装置は、請求項１に記載の材料管理装置であっ
て、前記発注管理部は、単位期間内に使用された前記材
料の実績使用数と、前記材料の納期と、前記材料の前記
現在在庫数とをパラメータとする所定の式に基づいて、
前記材料の発注時期を決定することを特徴とするもので
ある。

【００２２】また、この発明のうち請求項１６に記載の
材料管理装置は、請求項１に記載の材料管理装置であっ
て、前記発注管理部は、前記材料管理装置内で使用され
ている前記材料の単位を、前記材料を発注するメーカー
で使用されている前記材料の単位に変換して、前記材料
の発注数に関するデータを出力することを特徴とするも
のである。

【００２３】また、この発明のうち請求項１７に記載の
在庫管理装置は、在庫として保管されている材料の総個
数である現在在庫数に関するデータと、保管されている
前記材料のうちすでに使用期限が切れている材料の個数
に関するデータとに基づいて、使用期限が切れていない
材料の個数である第１の有効在庫数を求め、前記第１の
有効在庫数に関するデータと、前記材料の必要個数に関
するデータとに基づいて、前記材料の発注数を決定する
発注管理部を備えるものである。

【００２４】また、この発明のうち請求項１８に記載の
在庫管理装置は、請求項１７に記載の材料管理装置であ
って、前記発注管理部は、さらに、前記材料が保管され
ている保管場所とは異なる保管場所に保管され、かつ使
用期限が切れていない材料の個数である第２の有効在庫
数に関するデータに基づいて、前記材料の発注数を決定
することを特徴とするものである。

【００２５】また、この発明のうち請求項１９に記載の
在庫管理装置は、請求項１７又は１８に記載の材料管理
装置であって、前記発注管理部は、さらに、メーカーか
らの納品待ちの材料の個数に関するデータに基づいて、
前記材料の発注数を決定することを特徴とするものであ
る。

【００２６】また、この発明のうち請求項２０に記載の
材料管理方法は、（ａ）稼働している製造ラインに関す
るデータに基づいて、装置部品を含む材料の、単位期間
内における予測使用数を算出する工程と、（ｂ）前記材
料の現在在庫数を求める工程と、（ｃ）前記予測使用数
のデータと前記現在在庫数のデータとに基づいて、前記
材料の発注数を決定する工程とを備えるものである。

【００２７】また、この発明のうち請求項２１に記載の
材料管理方法は、請求項２０に記載の材料管理方法であ
って、前記工程（ａ）は、（ａ−１）単位期間内に処理
されたウェハの枚数に関するデータと、前記単位期間内
に使用された前記材料の個数に関するデータとに基づい
て、前記材料の耐久限界を算出する工程と、（ａ−２）
ウェハの処理予定数に関するデータと、前記耐久限界に
関するデータとに基づいて、前記予測使用数を算出する
工程とを有することを特徴とするものである。

【００２８】

【発明の実施の形態】まず、本発明の前提技術として、
本願発明者らによって提出された日本国特許出願（特開
２０００−１４７１６５号）に係る材料管理装置につい
て説明する。図１は、この材料管理装置の全体構成を概
略的に示すブロック図である。この材料管理装置は、品
質保証期間のある化学物質を管理対象としている。予測
使用数算出手段１０２は、第１の単位期間（例えば１ヶ
月）内に使用が予測される材料の予測使用数を算出し、
データＳ１として出力する。在庫数算出手段１０３は、
その材料の在庫数を算出し、データＴ１として出力す
る。データＴ１には、その材料の使用期限に関する情報
も含まれている。管理装置１０１は、予測使用数算出手
段１０２からデータＳ１を入力するとともに、在庫数算
出手段１０３からデータＴ１を入力する。そして、第１
の単位期間内における材料の予測使用数と、その単位期
間内に使用期限が切れない材料の在庫数とを比較し、そ
の材料の発注数に関するデータＵ１を出力する。

【００２９】第１の単位期間の終了後、管理装置１０１
は、第１の単位期間内に実際に使用された材料の使用数
に関するデータＴ２を在庫数算出手段１０３から入力す
るとともに、第１の単位期間内に半導体製造ラインにお
いて実際に処理されたウェハの枚数を算出し、これらの
情報をデータＶとして出力する。実績使用数算出手段１
０４は、管理装置１０１からデータＶを入力する。そし
て、ウェハ１枚あたりの材料の使用数（実績使用数）を
算出し、データＷとして出力する。

【００３０】予測使用数算出手段１０２は、管理装置１
０１を介して、実績使用数算出手段１０４からデータＷ
を入力する。そして、第１の単位期間内における実績使
用数と、第１の単位期間に続く第２の単位期間内に処理
が予定されているウェハの枚数とに基づいて、第２の単
位期間内における材料の予測使用数を算出し、データＳ
２として出力する。管理装置１０１は、予測使用数算出
手段１０２からデータＳ２を入力するとともに、在庫数
算出手段１０３からデータＴ３を入力する。データＴ３
は、その材料の在庫数に関するデータであり、データＴ
１と同様に、その材料の使用期限に関する情報も含まれ
ている。そして、データＳ２とデータＴ３とに基づい
て、第２の単位期間内におけるその材料の発注数を算出
し、データＵ２として出力する。

【００３１】このように上記材料管理装置によると、過
去の単位期間内における材料の使用実績を集計してお
き、ウェハ１枚あたりの実際の材料使用数を計算して、
次の予測にフィードフォワードする機能を有しているた
め、材料の種類や数の変化に対応した正確な予測を立て
ることができる。

【００３２】本発明に係る材料管理装置は、上記材料管
理装置をさらに発展させて、化学物質のみならず、耐久
限界回数のある装置部品（即ち、消耗パーツ）等の材料
に関しても、適正な在庫の管理を実現するものである。
なお、本明細書における「材料」とは、半導体製造ライ
ンにおいて使用される半導体製造装置の装置部品や、半
導体製造ラインにおいて、半導体製造装置内でウェハを
処理するために使用される化学物質等の材料を意味す
る。

【００３３】図２は、本発明に係る材料管理装置の全体
構成を概略的に示すブロック図である。本発明に係る材
料管理装置は、予測使用数算出部２、在庫管理部３、及
び発注管理部４を有するデータ処理装置１と、データ処
理装置１にそれぞれ接続された端末機器６及び記憶部５
と、端末機器６に接続された表示部７とを備えている。
以下、本発明に係る材料管理装置の具体的な実施の形態
について説明する。

【００３４】実施の形態１．図３は、本発明の実施の形
態１に係る予測使用数算出部２の構成を具体的に示すブ
ロック図である。予測使用数算出部２は、データ処理部
１０と、データ処理部１０の出力に接続された演算部１
１と、データ処理部１０及び演算部１２の各出力に接続
された演算部１１とを備えている。データ処理部１０
は、システム外部のプロセスフロー管理システム８及び
レシピ管理システム９にともに接続されている。プロセ
スフロー管理システム８は、半導体製造ラインにおける
ロットの製造プロセスの流れを管理しているシステムで
ある。レシピ管理システム９は、各製造プロセスにおけ
る処理内容を記述しているレシピ（仕様書）の内容を管
理しているシステムである。演算部１１は発注管理部４
に接続されており、演算部１２は在庫管理部３に接続さ
れている。

【００３５】図４は、本実施の形態１に係る予測使用数
算出部２の動作を説明するためのフローチャートであ
る。以下、管理対象が消耗パーツである場合を例にと
り、本実施の形態１に係る材料管理装置の動作について
説明する。図４を参照して、まず予測使用数算出部２
は、材料１個あたりのウェハの処理枚数を求める（ステ
ップＳＰ１１）。具体的には以下の通りである。図３を
参照して、まずデータ処理部１０は、プロセスフロー管
理システム８からデータＤ１を入力するとともに、レシ
ピ管理システム９からデータＤ２を入力する。データＤ
１は、それぞれレシピの種類ごとの、第１の単位期間
（例えば１ヶ月）内に処理が予定されているウェハの枚
数（処理予定数）に関する情報と、過去の第２の単位期
間（例えば最近１ヶ月）内に処理されたウェハの枚数
（実績使用数）に関する情報とを含むデータである。ま
た、データＤ２は、管理対象である材料の名称（材料Ｉ
Ｄ）と、レシピの種類及びその内容に関する情報とを含
むデータである。そして、データ処理部１０は、共通項
目であるレシピの種類に基づいて、プロセスフロー管理
システム８及びレシピ管理システム９からそれぞれ入力
した、材料とウェハの枚数とに関する情報をまとめる。

【００３６】演算部１２は、データ処理部１０からデー
タＤ４を入力するとともに、在庫管理部３からデータＤ
５を入力する。データＤ４は、材料ＩＤに関する情報
と、ウェハの実績使用数に関する情報とを含むデータで
ある。また、データＤ５は、第２の単位期間内において
減少した在庫数、即ち、第２の単位期間内に使用された
材料の個数（実績使用数）に関する情報を含むデータで
ある。そして、演算部１２は、ウェハの実績使用数を材
料の実績使用数で除算する演算を行うことにより、第２
の単位期間内において、材料１個あたりで処理されたウ
ェハの枚数の平均値を求める。

【００３７】図４を参照して、次に予測使用数算出部２
は、材料の予測使用数を求める（ステップＳＰ１２）。
具体的には以下の通りである。図３を参照して、演算部
１１は、データ処理部１０からデータＤ３を入力すると
ともに、演算部１２からデータＤ６を入力する。データ
Ｄ３は、材料ＩＤに関する情報と、第１の単位期間にお
けるウェハの処理予定数に関する情報とを含むデータで
ある。また、データＤ６は、演算部１２によって求めら
れた、材料の耐久限界回数に関するデータである。そし
て、演算部１１は、ウェハの処理予定数を材料の耐久限
界回数で除算する演算を行うことにより、第１の単位期
間内に処理が予定されているウェハの全てを処理するた
めに必要な材料の個数（予測使用数）を求め、データＤ
７として出力する。データＤ７は発注管理部４に入力さ
れ、材料の発注管理に利用される。

【００３８】なお、以上の説明では、単位期間を１ヶ月
という時間単位で設定した場合の例について述べたが、
２週間、３ヶ月等の他の時間単位を単位期間として設定
してもよい。

【００３９】また、消耗パーツの最新の交換時期と、材
料の耐久限界回数と、ウェハの処理枚数とに基づいて、
消耗パーツの次回の交換予定時期を半導体製造ラインに
おいて管理することもできる。これにより、作業者が、
現在使用されている消耗パーツの検査を行ったり、何ら
かのトラブルが生じた場合の原因の同定に利用したりす
ることができる。

【００４０】このように本実施の形態１に係る材料管理
装置によると、化学物質のみならず装置の消耗パーツに
関しても、在庫・発注の効率的な適正量管理を実現する
ことができる。

【００４１】実施の形態２．本実施の形態２では、化学
物質及び装置部品等を管理対象として、在庫管理部３に
おいて材料の効率的な適正量材料管理を実現する材料管
理装置及び材料管理方法を説明する。

【００４２】図５は、本発明の実施の形態２に係る記憶
部５の記憶内容を示す図である。記憶部５には、材料マ
スタＭ１１、装置マスタＭ１２、単位マスタＭ１３、作
業者マスタＭ１４、保管場所マスタＭ１５、交換理由マ
スタＭ１６、購入発注先マスタＭ１７、再生発注先マス
タＭ１８、及び品質保証期間マスタＭ１９等の様々な情
報が、マスタデータとして記憶されている。

【００４３】図６は、材料マスタＭ１１の一例を示す図
である。図６に示すように、材料マスタＭ１１には、
「保管場所」「使用期限」「管理対象外」「再生使用」
「製造番号」及び「装置内期限管理」の複数の管理項目
が設けられており、材料ＩＤで表される各材料ごとにど
の項目の管理を行うかが、各管理項目をオンに設定する
（○）か、オフに設定する（×）かによって記述されて
いる。例えば図６に示した例では、材料ＩＤ５００１で
表される材料に関しては、保管場所の管理のみが行われ
ることになる。

【００４４】「保管場所」の項目は、材料が装置部品で
ある場合等に管理項目に含まれる。保管場所の管理につ
いては、本実施の形態２において後述する。「使用期
限」の項目は、材料が品質保証期間のある化学物質であ
る場合等に管理項目に含まれる。保管場所内における使
用期限の管理については、後述の実施の形態３において
説明する。

【００４５】「管理対象外」の項目は、材料が化学物質
であるか装置部品であるかに拘わらず管理項目に含まれ
る。「管理対象外」の項目は通常は「×」に設定されて
いるが、その材料が使用される装置が廃却されたり、開
発や実験が終了した等の理由により、その材料が今後使
用されなくなった場合、「管理対象外」の項目は「○」
に設定される。「管理対象外」の項目の管理について
は、後述の実施の形態５において具体的に説明する。

【００４６】「再生使用」の項目は、その材料が、所定
回数内で繰り返し再生（洗浄を含む）して使用できる材
料である場合に管理項目に含まれる。再生使用される材
料としては、価格的に高価な、石英管等の装置部品があ
る。再生使用の管理については、後述の実施の形態６に
おいて説明する。「製造番号」の項目は、材料が化学物
質であるか装置部品であるかに拘わらず管理項目に含ま
れる。少なくとも「使用期限」及び「再生使用」のいず
れかの項目が「○」に設定されているとき、「製造番
号」の項目も「○」に設定される。

【００４７】「装置内期限管理」の項目は、その材料が
品質保証期間のある材料であり、かつ、装置内でその材
料が定期的に使用される運営において、装置に使用中の
材料の使用期限の管理を行う場合に管理項目に含まれ
る。装置内における使用期限の管理については、後述の
実施の形態４において具体的に説明する。

【００４８】図７は、装置マスタＭ１２の一例を示す図
である。図７に示すように、装置マスタＭ１２は、装置
ＩＤと、装置名と、装置内期限管理を行う対象装置であ
るか否かとの対応関係を表すマスタデータである。図８
は、単位マスタＭ１３の一例を示す図である。図８に示
すように、単位マスタＭ１３は、単位ＩＤと単位との対
応関係を表すマスタデータである。図９は、作業者マス
タＭ１４の一例を示す図である。図９に示すように、作
業者マスタＭ１４は、作業者ＩＤと作業者名との対応関
係を表すマスタデータである。

【００４９】図１０は、保管場所マスタＭ１５の一例を
示す図である。図１０に示すように、保管場所マスタＭ
１５は、保管場所ＩＤと保管場所との対応関係を表すマ
スタデータである。図１１は、交換理由マスタＭ１６の
一例を示す図である。図１１に示すように、交換理由マ
スタＭ１６は、交換理由ＩＤと、交換理由と、装置内期
限管理を行う対象装置であるか否かとの対応関係を表す
マスタデータである。図１２は、購入発注先マスタＭ１
７の一例を示す図である。図１２に示すように、購入発
注先マスタＭ１７は、購入発注先ＩＤと、材料の購入を
発注するメーカー名との対応関係を表すマスタデータで
ある。

【００５０】図１３は、再生発注先マスタＭ１８の一例
を示す図である。図１３に示すように、再生発注先マス
タＭ１８は、再生発注先ＩＤと、材料の再生（洗浄を含
む）を発注するメーカー名との対応関係を表すマスタデ
ータである。図１４は、品質保証期間マスタＭ１９の一
例を示す図である。図１４に示すように、品質保証期間
マスタＭ１９は、材料ＩＤと、その材料の品質保証期間
との対応関係を表すマスタデータである。

【００５１】以下、本実施の形態２に係る材料管理装置
における、材料の保管場所の管理について説明する。図
１５は、本実施の形態２に係る材料管理装置の構成を示
すブロック図である。在庫管理部３は、材料の入出庫の
履歴を管理する入出庫履歴管理部３１と、該入出庫履歴
管理部３１及び端末機器６に接続されたデータ処理部３
０とを有している。図１５における記憶部５には、材料
の保管場所の管理に最低限必要なマスタデータ、即ち、
材料マスタＭ１１及び保管場所マスタＭ１５のみを示し
ている。

【００５２】図１６は、本実施の形態２に係る材料管理
装置において、材料の保管場所の管理動作を説明するた
めのフローチャートである。図１６を参照して、まず、
データ処理部３０は、材料マスタＭ１１の内容を参照し
て、「保管場所」の項目が「○」に設定されている材料
の材料ＩＤを確認する（ステップＳＰ２１）。

【００５３】次に、データ処理部３０は、記憶部５に記
憶されている複数のマスタデータの中から、材料の保管
場所の管理に必要なマスタデータを抽出する（ステップ
ＳＰ２２）。具体的には、図１５を参照して、データ処
理部３０は、材料マスタＭ１１及び保管場所マスタＭ１
５の中から、上記ステップＳＰ２１で確認した材料ＩＤ
に対応する、材料名称、保管場所、及び保管場所ＩＤを
それぞれ抽出して、それらのデータを入力する。次に、
データ処理部３０は、入出庫履歴管理部３１から、その
材料の現在在庫数に関するデータを入力する（ステップ
ＳＰ２３）。

【００５４】次に、データ処理部３０は、材料マスタＭ
１１、保管場所マスタＭ１５、及び入出庫履歴管理部３
１からそれぞれ入力したデータに基づいて、材料の保管
場所に関するデータ３２を作成する（ステップＳＰ２
４）。図１７は、材料の保管場所に関するデータ３２の
一例を示す図である。データ３２には、材料ＩＤと、保
管場所ＩＤと、現在在庫数との対応関係が、各材料ごと
に記述されている。但し、データ３２には、作業者等
の、他のマスタデータによって表される情報を任意に組
み合わせて記述してもよい。後述する他のデータ３４，
３６等についても同様である。このデータ３２は、デー
タ処理部３０から端末機器６に入力される。

【００５５】次に、端末機器６は、データ３２に記述さ
れている材料ＩＤ及び保管場所ＩＤを材料名称及び保管
場所にそれぞれ変換して、材料の保管場所に関する管理
一覧表３３を作成し、その管理一覧表３３を表示部７に
表示する（ステップＳＰ２５）。図１８は、材料の保管
場所に関する管理一覧表３３の一例を示す図である。管
理一覧表３３には、材料名称と、保管場所と、現在在庫
数との対応関係が、各材料ごとに記述されている。

【００５６】このように本実施の形態２に係る材料管理
装置によれば、各材料の管理目的に応じて材料マスタＭ
１１の各項目を「○」又は「×」に予め設定しておくこ
とによって、各材料ごとに必要な項目のみを漏れなく管
理することができる。

【００５７】例えば、保管場所の管理が必要な装置部品
等に関しては、材料マスタＭ１１の「保管場所」の項目
を「○」に設定しておき、保管場所の管理が必要でない
化学物質等に関しては、材料マスタＭ１１の「保管場
所」の項目を「×」に設定しておく。これにより、保管
場所の管理が必要な材料に関してのみ、その管理を行う
ことができる。

【００５８】実施の形態３．本実施の形態３では、品質
保証期間のある化学物質等の材料に関して、在庫管理部
３において材料の使用期限の管理を実現し得る材料管理
装置及び材料管理方法を説明する。以下、本実施の形態
３に係る材料管理装置における、材料の使用期限の管理
について説明する。図１９は、本実施の形態３に係る材
料管理装置の構成を示すブロック図である。在庫管理部
３は、端末機器６に接続されたデータ処理部３０を有し
ている。図１９における記憶部５には、材料の使用期限
の管理に最低限必要なマスタデータ、即ち、材料マスタ
Ｍ１１及び品質保証期間マスタＭ１９のみを示してい
る。

【００５９】図２０は、本実施の形態３に係る材料管理
装置において、材料の使用期限の管理動作を説明するた
めのフローチャートである。図２０を参照して、まず、
データ処理部３０は、材料マスタＭ１１の内容を参照し
て、「使用期限」の項目が「○」に設定されている材料
の材料ＩＤを確認する（ステップＳＰ３１）。

【００６０】次に、データ処理部３０は、記憶部５に記
憶されている複数のマスタデータの中から、材料の使用
期限の管理に必要なマスタデータを抽出する（ステップ
ＳＰ３２）。具体的には、図１９を参照して、データ処
理部３０は、材料マスタＭ１１及び品質保証期間マスタ
Ｍ１９の中から、上記ステップＳＰ３１で確認した材料
ＩＤに対応する、材料名称及び品質保証期間をそれぞれ
抽出して、それらのデータを入力する。次に、データ処
理部３０は、上記ステップＳＰ３１で確認した材料ＩＤ
に対応する材料の製造番号を入力する（ステップＳＰ３
３）。材料の製造番号は、その材料が入庫された時にオ
ペレータによって入力され、その材料の材料ＩＤと対応
付けられて材料管理装置内に記憶されている。

【００６１】次に、データ処理部３０は、材料マスタＭ
１１及び品質保証期間マスタＭ１９からそれぞれ入力し
たデータと、材料の製造番号とに基づいて、材料の使用
期限に関するデータ３４を作成する（ステップＳＰ３
４）。図２１は、材料の使用期限に関するデータ３４の
一例を示す図である。データ３４には、材料ＩＤと、製
造番号と、使用期限年月日との対応関係が、各材料ごと
に記述されている。このデータ３４は、データ処理部３
０から端末機器６に入力される。材料の製造番号にはそ
の材料の製造年月日に関する情報が含まれている。従っ
て、データ処理部３０は、材料の製造年月日と、その材
料の品質保証期間とを加算する演算を実行することによ
り、その材料の製造番号ごとの使用期限年月日を求める
ことができる。材料の製造番号にその材料の製造年月日
に関する情報が含まれていない場合は、材料の製造番号
とは別に、その材料の製造年月日に関する情報をデータ
処理部３０に入力すればよい。

【００６２】次に、端末機器６は、データ３４に記述さ
れている材料ＩＤを材料名称に変換して、材料の使用期
限に関する管理一覧表３５を作成し、その管理一覧表３
５を表示部７に表示する（ステップＳＰ３５）。図２２
は、材料の使用期限に関する管理一覧表３５ａ，３５ｂ
の一例を示す図である。管理一覧表３５ａには、材料の
使用期限が切れる年月日が、その材料の材料名称及び製
造番号に対応して一覧表示されている。管理一覧表３５
ｂには、その月に使用期限の切れる材料の製造番号が、
材料名称に対応して一覧表示されている。図２２に示す
ように、使用期限が過ぎている材料に関しては、他の欄
と異なる色によってその欄の背景を着色して表示しても
よい。これにより、使用期限がすでに過ぎている材料
を、速やかに認識することができる。

【００６３】このように本実施の形態３に係る材料管理
装置によれば、各材料の管理目的に応じて材料マスタＭ
１１の各項目を「○」又は「×」に予め設定しておくこ
とによって、各材料ごとに必要な項目のみを漏れなく管
理することができる。

【００６４】例えば、品質保証期間のある化学物質等の
材料に関しては、材料マスタＭ１１の「使用期限」の項
目を「○」に設定しておき、使用期限の管理が必要でな
い装置部品等に関しては、材料マスタＭ１１の「使用期
限」の項目を「×」に設定しておく。これにより、使用
期限の管理が必要な材料に関してのみ、その管理を行う
ことができる。

【００６５】実施の形態４．本実施の形態４では、在庫
としてストックされている材料のみならず、処理装置内
で現在使用中の材料に関しても、その使用期限を管理し
得る材料管理装置及び材料管理方法を説明する。以下、
本実施の形態４に係る材料管理装置における、材料の使
用期限の管理について説明する。図２３は、本実施の形
態４に係る材料管理装置の構成を示すブロック図であ
る。在庫管理部３は、端末機器６に接続されたデータ処
理部３０を有している。図２３における記憶部５には、
装置内で使用中の材料に関する使用期限の管理に最低限
必要なマスタデータ、即ち、材料マスタＭ１１、品質保
証期間マスタＭ１９、装置マスタＭ１２、及び交換理由
マスタＭ１６のみを示している。

【００６６】在庫管理部３は、材料の出庫履歴を管理し
ている。具体的には、出庫理由と出庫年月日との履歴
を、各材料ごとに管理している。出庫理由としては、例
えば「装置内で使用」や「トラブルで廃却」（それぞ
れ、図１１に示した交換理由マスタＭ１６の交換理由Ｉ
Ｄ１、交換理由ＩＤ２に対応する）等がある。また、装
置内期限管理を行う対象の材料については、その製造番
号も併せて管理されている。

【００６７】図２４は、本実施の形態４に係る材料管理
装置において、材料の使用期限の管理動作を説明するた
めのフローチャートである。図２４を参照して、まず、
データ処理部３０は、装置マスタＭ１２及び材料マスタ
Ｍ１１の内容をそれぞれ参照し、両マスタにおいて「装
置内期限管理」の項目を確認することにより、装置内期
限管理を行う対象の装置と、装置内期限管理を行う対象
の材料との組合せを求める（ステップＳＰ４１）。

【００６８】次に、データ処理部３０は、上記材料の出
庫履歴を参照することにより、現在装置内で使用中の材
料の製造番号を割り出す（ステップＳＰ４２）。具体的
には、装置マスタＭ１２、材料マスタＭ１１、及び交換
理由マスタＭ１６の各「装置内期限管理」の項目を確認
することにより、装置内期限管理を行う対象の材料であ
り、かつ装置内期限管理を行う対象の装置内で使用する
ために、かつ、装置内で使用する目的で出庫された材料
の出庫履歴を求め、そのうちの、出庫年月日が最新のも
のの製造番号を、現在装置内で使用中の材料の製造番号
として割り出す。

【００６９】次に、データ処理部３０は、品質保証期間
マスタＭ１９を参照することにより、上記ステップＳＰ
４２で割り出した製造番号に基づいて、その材料の使用
期限年月日を算出する（ステップＳＰ４３）。

【００７０】次に、データ処理部３０は、上記ステップ
ＳＰ４１で求めた、装置内期限管理を行う対象の装置と
装置内期限管理を行う対象の材料との組合せと、上記ス
テップＳＰ４２で割り出された、現在装置内で使用中の
材料の製造番号と、上記ステップＳＰ４３で算出され
た、材料の使用期限年月日とに基づいて、材料の使用期
限に関するデータ３６を作成する（ステップＳＰ４
４）。図２５は、材料の使用期限に関するデータ３６の
一例を示す図である。データ３６には、材料ＩＤ、製造
番号、及び使用期限年月日が、装置ＩＤごとに記述され
ている。このデータ３６は、データ処理部３０から端末
機器６に入力される。

【００７１】次に、端末機器６は、データ３６に記述さ
れている装置ＩＤ及び材料ＩＤを装置名及び材料名称に
それぞれ変換して、材料の使用期限に関する管理一覧表
３７を作成し、その管理一覧表３７を表示部７に表示す
る（ステップＳＰ４５）。図２６は、材料の使用期限に
関する管理一覧表３７の一例を示す図である。管理一覧
表３７には、材料の材料名称と、材料の製造番号と、そ
の材料の使用期限年月日とが、その材料が使用されてい
る装置名ごとに一覧表示されている。また、図２２に示
した管理一覧表３５と同様に、使用期限が過ぎている材
料に関しては、他の欄と異なる色によってその欄の背景
を着色して表示してもよい。

【００７２】このように本実施の形態４に係る材料管理
装置によれば、各材料の管理目的に応じて材料マスタＭ
１１の各項目を「○」又は「×」に予め設定しておくこ
とによって、各材料ごとに必要な項目のみを漏れなく管
理することができる。

【００７３】例えば、品質保証期間のある化学物質や、
消耗する装置部品等の材料に関しては、材料マスタＭ１
１の「装置内期限管理」の項目を「○」に設定しておく
とともに、装置マスタＭ１２及び交換理由マスタＭ１６
の各「装置内期限管理」の項目を「○」に設定してお
く。これにより、使用期限の管理が必要な材料と装置に
関してのみ、その管理を行うことができる。これによ
り、装置内で使用されている状態で材料の使用期限が切
れて製造プロセスに悪影響を及ぼすという事態を回避す
ることができる。

【００７４】実施の形態５．上記実施の形態２では、材
料マスタＭ１１に「管理対象外」の項目を設け、現在そ
の材料が管理対象であるか否かを管理することについて
説明した。ここで、管理対象外として設定された材料に
ついては、それ以降に発注をしても無駄になるだけであ
るが、一般の作業者にとっては、多種（例えば数千種
類）に及ぶ材料のそれぞれに対応する全てのデータを検
索して、発注しようとしている材料が管理対象外である
か否かを調査するのは煩雑である。そこで、本実施の形
態５においては、その材料が管理対象外であるか否かを
容易に区別し得る材料管理装置及び材料管理方法を説明
する。

【００７５】以下、本実施の形態５に係る材料管理装置
における、材料の管理について説明する。図２７は、本
実施の形態５に係る材料管理装置の構成を示すブロック
図である。在庫管理部３は、端末機器６に接続されたデ
ータ処理部３０を有している。図２７における記憶部５
には、図５に示した様々なマスタデータが記憶されてい
る。

【００７６】図２８は、本実施の形態５に係る材料管理
装置において、材料の管理動作を説明するためのフロー
チャートである。図２８を参照して、まず、データ処理
部３０は、材料マスタＭ１１の内容を参照する（ステッ
プＳＰ５１）。そして、各材料に関して、「管理対象
外」の項目が「○」に設定されているか否かを確認する
（ステップＳＰ５２）。

【００７７】上記実施の形態２〜４で述べたデータ３
２，３４，３６を作成するにあたり、データ処理部３０
は、上記ステップＳＰ５２における判定結果ごとに材料
を区別して、データを別々に作成する。具体的には、上
記ステップＳＰ５２における判定結果が「ＮＯ」である
材料に関しては、ステップＳＰ５３において、管理対象
である材料用のデータを作成する。一方、上記ステップ
ＳＰ５２における判定結果が「ＹＥＳ」の材料に関して
は、ステップＳＰ５５において、管理対象外である材料
用のデータを作成する。

【００７８】ステップＳＰ５３において作成されたデー
タは端末機器６に入力され、そのデータに対応する管理
一覧表が表示部７の画面３８に表示される。一方、ステ
ップＳＰ５５において作成されたデータは、それらの材
料が管理対象外である旨を示す識別符号とともに端末機
器６に入力される。そして、そのデータに対応する管理
一覧表は、表示部７において、画面３８とは異なる画面
３９に表示される。

【００７９】また、材料が入庫される際に行われる入庫
処理において、材料が管理対象外である旨を示す上記識
別符号を参照することにより、管理対象外である材料の
入庫処理（画面３９からのアクセスによる入庫処理）を
禁止する。さらに、上記識別符号を発注管理部４に入力
することにより、管理対象外の材料に関する発注処理
（画面３９からのアクセスによる発注処理）を禁止す
る。

【００８０】このように本実施の形態５に係る材料管理
装置によれば、現在管理対象である材料に関する管理一
覧表と、現在管理対象ではない材料に関する管理一覧表
とを、表示部７において別々の画面３８，３９に表示す
る構成とした。従って、作業者は、表示部７を参照する
ことにより、その材料が管理対象であるか管理対象外で
あるかを容易に区別することができる。

【００８１】実施の形態６．上記実施の形態２では、材
料マスタＭ１１に「再生使用」の項目を設けることにつ
いて説明した。ここで、再生が可能な材料に関して、購
入を行う場合と再生を行う場合では、発注メーカーや単
価等が異なるため、その時々の目的（購入又は再生）に
応じて、２つのデータを使い分ける必要がある。そこ
で、本実施の形態６においては、購入発注と再生発注と
を容易に区別し、目的に応じて各々に必要なデータを用
いて発注し得る材料管理装置及び材料管理方法を説明す
る。

【００８２】図２９は、本発明の実施の形態６に係る材
料管理装置の構成を示すブロック図である。発注管理部
４は、端末機器６に接続されたデータ処理部４２を有し
ている。図２９における記憶部５には、材料の購入発注
又は再生発注の管理に最低限必要なマスタデータ、即
ち、材料マスタＭ１１、購入発注先マスタＭ１７、及び
再生発注先マスタＭ１８のみを示している。

【００８３】図３０は、本実施の形態６に係る材料管理
装置において、材料の購入発注又は再生発注の管理動作
を説明するためのフローチャートである。図３０を参照
して、まず、データ処理部４２は、材料の発注数を求め
る（ステップＳＰ６１）。具体的には、図２９を参照し
て、データ処理部４２は、単位期間内における材料の予
測使用数を予測使用数算出部２から入力するとともに、
その材料の現在在庫数を在庫管理部３から入力する。予
測不要の材料の場合は、必要在庫数データを保持する。
そして、予測使用数から現在在庫数を減算する演算を行
うことにより、材料の発注数を求める。

【００８４】次に、図３０を参照して、データ処理部４
２は材料マスタＭ１１の内容を参照し（ステップＳＰ６
２）、その材料の「再生使用」の項目が「○」に設定さ
れているか否かを確認する（ステップＳＰ６３）。ステ
ップＳＰ６３における判定の結果が「ＮＯ」である場合
は、ステップＳＰ６４に進み、その材料の購入発注のみ
を行う。具体的には、図２９を参照して、データ処理部
４２は、材料マスタＭ１１及び購入発注先マスタＭ１７
に基づいて、購入を発注する材料名称と、その材料の購
入発注先のメーカー名とを調べ、発注個数とともに、購
入発注用のデータを作成する。そして、作成したデータ
を端末機器６に入力する。

【００８５】次に、図３０を参照して、端末機器６は、
購入発注用のデータを、表示部７の画面４０に表示する
（ステップＳＰ６５）。

【００８６】一方、ステップＳＰ６３における判定の結
果が「ＹＥＳ」である場合は、ステップＳＰ６６に進
み、作業者によって、その材料の再生発注を行うのか購
入発注を行うのかが選択される。再生発注を行う場合
（即ち、ステップＳＰ６６における判定の結果が「ＹＥ
Ｓ」である場合）はステップＳＰ６７に進み、図２９を
参照して、データ処理部４２は、材料マスタＭ１１及び
再生発注先マスタＭ１８に基づいて、再生を発注する材
料名称と、その材料の再生発注先のメーカー名とを調
べ、発注個数とともに、再生発注用のデータを作成す
る。そして、作成したデータを端末機器６に入力する。
ここで、再生発注用のデータの中に材料の製造番号を含
めることにより、再生回数に限度がある材料に関して、
その材料を再生使用できる残り回数をも管理することが
できる。次に、図３０を参照して、端末機器６は、再生
発注用のデータを、表示部７において、画面４０とは異
なる画面４１に表示する。再生発注が行われた場合、在
庫管理部３において、その材料の現在在庫数から発注個
数分を減算することによって、現在在庫数が自動的に更
新される。

【００８７】一方、ステップＳＰ６６における判定の結
果が「ＮＯ」である場合は、ステップＳＰ６３の判定結
果が「ＮＯ」である場合と同様にステップＳＰ６４に進
み、購入発注を行う。図２９を参照して、データ処理部
４２は、材料マスタＭ１１及び購入発注先マスタＭ１７
に基づいて、購入を発注する材料名称と、その材料の購
入発注先のメーカー名とを調べ、発注個数とともに、購
入発注用のデータを作成する。そして、作成したデータ
を端末機器６に入力する。次に、図３０を参照して、端
末機器６は、購入発注用のデータを、表示部７において
画面４０に表示する（ステップＳＰ６５）。

【００８８】このように本実施の形態６に係る材料管理
装置によれば、材料マスタＭ１１に「再生使用」の項目
を設け、その項目を「○」又は「×」に設定しておくこ
とにより、その材料が再生可能な材料であるか否かを各
材料ごとに区別する。さらに、材料の再生発注は、購入
発注が行われる際に使用される画面４０とは異なる画面
４１からのアクセスによって行われるため、各々の発注
を行う際のパラメータ（発注先や単価）が１つの材料で
異なっていても、材料の購入発注と再生発注とを容易か
つ確実に区別することが可能となる。

【００８９】実施の形態７．上記実施の形態１〜６に係
る発注管理部４は、予測使用数から現在在庫数を減算す
る演算を実行することによって、材料の発注数を求め
た。しかし、実際に発注を行う作業者が、在庫切れを懸
念して、発注管理部４が求めた発注数よりも多めに発注
を行うことも考えられる。このような場合に、作業者の
独断によって任意の発注数を決定できるとしたのでは、
過剰発注になって、使用期限切れで廃却せざるを得ない
在庫が発生することにもなる。そこで、本実施の形態７
においては、在庫切れを回避するために発注数にある程
度の余裕を持たせつつも、所定の規則に従って発注数に
上限値を設定して、過剰発注となることを回避し得る材
料管理装置及び材料管理方法を説明する。

【００９０】図３１は、本発明の実施の形態７に係る材
料管理装置の構成を示すブロック図である。発注管理部
４は、比較部４４と、比較部４４に接続された演算部４
３とを有している。図３１における記憶部５には、品質
保証期間のある材料の購入発注数の管理に最低限必要な
マスタデータ、即ち、材料マスタＭ１１ａ、購入発注先
マスタＭ１７、及び品質保証期間マスタＭ１９のみを示
している。

【００９１】図３２は、本実施の形態７における材料マ
スタＭ１１ａの一例を示す図である。図３２に示すよう
に、材料マスタＭ１１ａには、図６に示した材料マスタ
Ｍ１１に対して、各材料の納期（即ち、発注してから入
庫されるまでの予想期間）に関する項目が追加されてい
る。

【００９２】図３３は、本実施の形態７に係る材料管理
装置において、材料の購入発注数の管理動作を説明する
ためのフローチャートである。図３３を参照して、ま
ず、発注管理部４は、購入しようとしている材料の上限
発注数を求める（ステップＳＰ７１）。具体的には、図
３１を参照して、演算部４３は、予測使用数算出部２か
ら材料の予測使用数又は必要在庫数を、在庫管理部３か
らその材料の現在在庫数をそれぞれ入力するとともに、
材料マスタＭ１１ａ、購入発注先マスタＭ１７、及び品
質保証期間マスタＭ１９から、材料名称、納期（ここで
は月単位とする）、購入発注先ＩＤ、及び品質保証期間
に関するデータを入力する。そして、演算部４３は、
「予測使用数×（納期＋品質保証期間）／月−現在在庫
数」なる演算を実行することにより、その材料の発注上
限値を求める。このようにして求められた発注上限値に
関するデータは、比較部４４に入力される。なお、品質
保証期間がない材料の場合は、演算部４３は、「予測使
用数×納期／月−現在在庫数」なる演算を実行すること
により、その材料の発注上限値を求める。

【００９３】次に、図３３を参照して、発注管理部４
は、作業者が希望する希望発注数を入力する（ステップ
ＳＰ７２）。図３１を参照して、希望発注数は、比較部
４４に入力される。

【００９４】次に、図３３を参照して、発注管理部４
は、ステップＳＰ７２で入力された希望発注数と、ステ
ップＳＰ７１で入力された上限発注数とを比較する（ス
テップＳＰ７３）。この比較動作は、比較部４４におい
て行われる。そして、ステップＳＰ７３における比較の
結果、希望発注数が上限発注数以上である場合は、ステ
ップＳＰ７４に進み、購入発注数は上限発注数に制限さ
れて、材料の購入発注が行われる。一方、ステップＳＰ
７３における比較の結果、希望発注数が上限発注数より
も少ない場合は、ステップＳＰ７５に進み、希望発注数
をそのまま購入発注数として、材料の購入発注が行われ
る。

【００９５】このように、本実施の形態７に係る材料管
理装置によれば、材料の納期や品質保証期間を考慮した
所定の関係式に基づいて材料の購入発注数の上限値を算
出し、その上限値を上限として、材料の購入発注数を決
定する構成とした。従って、材料が過剰発注となること
を回避することができる。

【００９６】実施の形態８．材料の発注において、材料
の最適な発注時期を把握することは難しい。品質保証期
間が短い材料に関して、材料の発注が早過ぎた場合に
は、その材料が入庫されてから、その材料の使用期限が
切れるまでの期間が短くなるという状況が生じる。ま
た、納期が長い材料に関して、材料の発注が遅すぎた場
合には、その材料が必要な時にその材料がまだ入庫され
ていないという状況が生じる。そこで、本実施の形態８
においては、材料の発注時期を適切な時期に設定し得る
材料管理装置及び材料管理方法を説明する。

【００９７】図３４は、本発明の実施の形態８に係る材
料管理装置の構成を示すブロック図である。発注管理部
４は、演算部４６と、演算部４６に接続された演算部４
５とを有している。図３４における記憶部５には、材料
の購入発注時期の管理に最低限必要なマスタデータ、即
ち、材料マスタＭ１１ａ及び購入発注先マスタＭ１７の
みを示している。

【００９８】図３５は、本実施の形態８に係る材料管理
装置において、材料の購入発注時期の管理動作を説明す
るためのフローチャートである。図３５を参照して、ま
ず、発注管理部４は、材料の購入発注数を求める（ステ
ップＳＰ８１）。具体的には、図３４を参照して、演算
部４６は、予測使用数算出部２から材料の予測使用数又
は必要在庫数を、在庫管理部３からその材料の現在在庫
数をそれぞれ毎日入力する。そして、予測使用数から現
在在庫数を減算する演算を行うことにより、材料の購入
発注数を求める。

【００９９】次に、発注管理部４は、所定の購入発注許
可条件を満足しているか否かを判断する（ステップＳＰ
８２）。具体的には以下の通りである。図３４を参照し
て、演算部４５は、単位期間あたりの材料の実績使用数
に関するデータと、その材料の現在在庫数に関するデー
タとを在庫管理部３から毎日入力するとともに、材料マ
スタＭ１１ａ及び購入発注先マスタＭ１７から、材料名
称、納期、及び購入発注先ＩＤをそれぞれ入力する。こ
こで、単位期間あたりの材料の実績使用数に関して、例
えば半年に１個だけ必要な材料の場合は、その値は小数
で表される数字となる。

【０１００】そして、演算部４５は、「単位期間あたり
の材料の実績使用数×納期／月−（現在在庫数＋１）」
なる演算を毎日実行し、上記演算の結果が０又は正の場
合は、購入発注許可条件を満足し、上記演算の結果が負
の場合は、購入発注許可条件を満足していないと判断す
る。なお、上記式の第２項において現在在庫数に１を加
算しているのは、材料の在庫数に余裕を持たせることに
より、トラブル等で一時的に材料の必要量が高まった場
合に、在庫が全くなくなるという事態を回避するためで
ある。

【０１０１】次に、図３５を参照して、ステップＳＰ８
２における判定の結果が「ＹＥＳ」である場合は、ステ
ップＳＰ８３に進み、材料の購入発注を行う。一方、ス
テップＳＰ８２における判定の結果が「ＮＯ」である場
合は、ステップＳＰ８４に進み、その日は材料の購入発
注を行わずに待機する。そして、翌日に、以上の処理を
改めて実行する。

【０１０２】このように、本実施の形態８に係る材料管
理装置によれば、単位期間あたり（ここでは１ヶ月あた
り）の材料の実績使用数、その材料の納期、及びその材
料の現在在庫数を考慮して、その材料についての発注時
期を決定する構成とした。従って、その材料の発注時期
を適切な時期に設定することができる。

【０１０３】実施の形態９．上記実施の形態１〜８に係
る材料管理装置の内部においては、その材料が化学物質
であるか装置部品であるかに拘わらず、全て「個」を単
位として材料を管理することによって、日々の入出庫入
力に容易に対応することができる。一方、材料の製造メ
ーカーや再生メーカーにおいては、各製造ラインにおけ
る事情により、セット単位や容量単位等、材料に使用す
る単位として個数単位以外の単位が採用されていること
が多い。従って、発注管理部４において個数単位で材料
を発注した場合、メーカーが使用している単位との不整
合が生じる。そこで、本実施の形態９においては、材料
の発注管理や入庫管理において、メーカーが採用してい
る単位に合わせて材料を発注できる材料管理装置及び材
料管理方法を説明する。

【０１０４】図３６は、本発明の実施の形態９に係る材
料管理装置の構成を示すブロック図である。発注管理部
４は、データ処理部４８と、データ処理部４８に接続さ
れた演算部４７とを有している。図３６における記憶部
５には、材料の単位変換の管理に最低限必要なマスタデ
ータ、即ち、材料マスタＭ１１ｂ及び単位マスタＭ１３
のみを示している。

【０１０５】図３７は、本実施の形態９における材料マ
スタＭ１１ｂの一例を示す図である。図３７に示すよう
に、材料マスタＭ１１ｂには、図６に示した材料マスタ
Ｍ１１に対して、各材料の単位ＩＤに関する項目と、単
位変換係数に関する項目とが追加されている。なお、本
材料管理装置の内部で使用されている単位と、製造メー
カーや再生メーカーで使用されている単位とが同一であ
る場合は、単位変換係数は「１」である。

【０１０６】図３８は、本実施の形態９に係る材料管理
装置において、材料の単位変換の管理動作を説明するた
めのフローチャートである。図３８を参照して、まず、
発注管理部４は、材料の購入発注数を求める（ステップ
ＳＰ９１）。具体的には、図３６を参照して、演算部４
７は、予測使用数算出部２から材料の予測使用数又は必
要在庫数を、在庫管理部３からその材料の現在在庫数を
それぞれ入力する。そして、予測使用数から現在在庫数
を減算する演算を行うことにより、材料の購入発注数を
求める。

【０１０７】次に、データ処理部４８は、材料マスタＭ
１１ｂの内容を参照し（ステップＳＰ９２）、その材料
の「単位」の項目が「個」に設定されているか否かを確
認する（ステップＳＰ９３）。ステップＳＰ９３におけ
る判定の結果が「ＹＥＳ」である場合は、ステップＳＰ
９６に進み、データ処理部４８は、本材料管理装置の内
部で用いられている単位と同様に、個数単位で材料の購
入発注を行う。

【０１０８】一方、ステップＳＰ９３における判定の結
果が「ＮＯ」である場合は、ステップＳＰ９４に進み、
データ処理部４８は、記憶部５に記憶されている複数の
マスタデータの中から、材料の単位変換の管理に必要な
マスタデータを抽出する（ステップＳＰ９４）。具体的
には、図３６を参照して、データ処理部４８は、材料マ
スタＭ１１ｂ及び単位マスタＭ１３の中から、その材料
の材料ＩＤ、材料名称、単位、単位ＩＤ、及び単位変換
係数をそれぞれ抽出して、それらのデータを入力する。

【０１０９】次に、図３８を参照して、データ処理部４
８は、材料の単位変換を行う（ステップＳＰ９５）。具
体的には、図３６を参照して、データ処理部４８は、演
算部４７から入力された個数単位の購入発注数に単位変
換係数を乗算する演算を実行することにより、材料の単
位変換を行う。次に、図３８を参照して、ステップＳＰ
９６に進み、データ処理部４８は、単位変換が行われた
後の単位で、材料の購入発注を行う。

【０１１０】このように、本実施の形態９に係る材料管
理装置によれば、発注管理部４は、材料管理装置の内部
で使用されている材料の単位を、材料の製造メーカーや
再生メーカーで使用されている材料の単位に自動的に変
換して、変換後の単位で材料の発注を行う。そのため、
材料の製造メーカや再生メーカーは、自ら使用している
単位で材料の発注を受けることができる。

【０１１１】なお、以上の説明では、発注管理部４にお
いて単位の変換を行う場合について説明したが、在庫管
理部３において、上記とは逆の単位変換を行うこともで
きる。具体的には、図３９を参照して、製造メーカーか
ら例えばセット単位で材料が入庫された場合に、データ
処理部５０において、入庫されたセット数（入庫情報に
含まれる）に、上記の単位変換係数の逆数で表される係
数を乗算することにより、セット単位を個数単位に変換
することができる。単位変換係数が整数である場合も同
様である。

【０１１２】なお、以上の説明では材料の購入発注を行
う場合について説明したが、再生発注を行う場合も同様
である。

【０１１３】実施の形態１０．図４０は、本発明の実施
の形態１０に係る材料管理装置の構成を示すブロック図
である。発注管理部４は、演算部６０を備えている。演
算部６０は、入力装置６１及び出力装置６２に接続され
ている。図４０における記憶部５には、材料の発注管理
に最低限必要なマスタデータ、即ち、材料マスタＭ１１
及び品質保証期間マスタＭ１９のみを示している。保管
場所６３には材料が保管されている。ここでは一例とし
て、「Ａ」〜「Ｇ」の７個の材料が保管されているもの
とする。在庫管理部３は、保管場所６３における材料の
在庫を管理している。

【０１１４】発注管理部４は、所定の発注管理プログラ
ムに基づいて動作する。発注管理プログラムは、定期的
に起動される。例えば、毎日５時や毎週月曜日の９時等
に、自動的に起動される。あるいは発注管理プログラム
は、オペレータからの命令によって起動される。例え
ば、材料の在庫数が減ったとオペレータが判断した場合
に、オペレータが入力装置６１を操作することにより、
発注管理プログラムが起動される。発注管理プログラム
が起動することにより、発注管理部４は以下の動作を実
行する。

【０１１５】図４１は、本実施の形態１０に係る材料管
理装置に関して、材料の発注の管理動作を説明するため
のフローチャートである。また、図４２は、材料の発注
数を決定する一事例を示す図である。図４２では、２０
０１年６月２０日（２００１−０６−２０）が現在とし
て想定されている。まず、演算部６０は、保管場所６３
に保管されている材料の現在在庫数（この例では７個）
を、在庫管理部３から入力する（ステップＳＰ１０
１）。次に、演算部６０は、材料マスタＭ１１及び品質
保証期間マスタＭ１９を参照することにより、保管場所
６３に保管されている複数の材料の各使用期限をそれぞ
れ算出する（ステップＳＰ１０２）。図４２に示すよう
に、ここでは、材料Ａ及び材料Ｇの２個の材料の使用期
限がすでに切れているものとする。

【０１１６】次に、演算部６０は、現在在庫数（７個）
から、すでに使用期限が切れている材料の個数（２個）
を減算することにより、使用期限が切れていない材料の
個数（有効在庫数。この例では５個）を算出する（ステ
ップＳＰ１０３）。あるいは図４２に示すように、材料
Ａから順番に材料Ｇまで、使用期限が切れていない材料
の個数を累積していくことにより、有効在庫数を求めて
もよい。この場合、材料Ｇに関する「在庫数累積」が有
効在庫数に相当する。

【０１１７】次に、演算部６０は、予測使用数算出部２
から材料の予測使用数を入力する（ステップＳＰ１０
４）。例えば、予測使用数が６個であったものとする。
なお、予測使用数が入力されるのではなく、材料の種類
等に応じて予め設定された必要在庫数が入力されてもよ
い。次に、演算部６０は、予測使用数（６個）から有効
在庫数（５個）を減算することにより、材料の発注数
（１個）を算出する（ステップＳＰ１０５）。算出され
た発注数に関する情報は出力装置６２に入力され、出力
装置６２によって画面表示やプリントアウト等が行われ
る。

【０１１８】このように本実施の形態１０に係る材料管
理装置によれば、単に予測使用数と現在在庫数とに基づ
いて材料の発注数が決定されるのではなく、予測使用数
と、材料の使用期限が考慮された有効在庫数とに基づい
て、材料の発注数が決定される。上記の例の場合、現在
在庫数が７個であり予測使用数が６個であるため、見か
け上は在庫数が足りていることになる。しかし、保管さ
れている７個の材料のうち２個の材料は使用期限が切れ
ているため、実際には在庫数が１個不足している。本実
施の形態１０に係る材料管理装置によれば、有効在庫数
に基づいて材料の発注数が決定されるため、見かけ上は
在庫数が足りている場合であっても、使用期限切れに起
因する在庫数の不足を発見することができる。従って、
使用期限が切れていない材料が在庫切れになる前に、そ
の材料の発注を行うことが可能となる。

【０１１９】なお、本実施の形態１０に係る材料管理装
置は、上記実施の形態１〜９に係る材料管理装置と適宜
に組み合わせて使用することができる。また、材料の発
注管理のみならず、製品の発注管理等にも適用すること
ができる。後述の第１及び第２の変形例についても同様
である。

【０１２０】図４３は、本発明の実施の形態１０の第１
の変形例に係る材料管理装置の構成を示すブロック図で
ある。在庫管理部３には、インターネット等のネットワ
ーク７０を介して、他工場に関する在庫管理部７１が接
続されている。在庫管理部７１は、他工場の保管場所７
２における材料の在庫を管理している。ここでは一例と
して、「Ｈ」〜「Ｌ」の５個の材料が保管場所７２に保
管されているものとする。

【０１２１】図４４は、本実施の形態１０の第１の変形
例に係る材料管理装置に関して、材料の発注の管理動作
を説明するためのフローチャートである。また、図４５
は、材料の発注数を決定する一事例を示す図である。図
４２と同様に、図４５においても、２００１年６月２０
日が現在として想定されている。

【０１２２】ステップＳＰ１１１からステップＳＰ１１
５までの動作は、図４１のステップＳＰ１０１からステ
ップＳＰ１０５までの動作と同様である。まず、演算部
６０は、自工場の保管場所６３に関する現在在庫数（７
個）を入力する（ステップＳＰ１１１）。次に、演算部
６０は、保管場所６３に保管されている複数の材料の各
使用期限をそれぞれ算出する（ステップＳＰ１１２）。
次に、演算部６０は、ステップＳＰ１１１で入力した現
在在庫数（７個）から、すでに使用期限が切れている材
料の個数（２個）を減算することにより、自工場の保管
場所６３に関する有効在庫数（５個）を算出する（ステ
ップＳＰ１１３）。次に、演算部６０は、材料の予測使
用数（６個）を入力する（ステップＳＰ１１４）。次
に、演算部６０は、ステップＳＰ１１３で算出した有効
在庫数（５個）を予測使用数（６個）から減算すること
により、材料の仮の発注数（１個）を算出する（ステッ
プＳＰ１１５）。

【０１２３】次に、演算部６０は、在庫管理部７１から
ネットワーク７０及び在庫管理部３を介して、他工場の
保管場所７２における材料の現在在庫数（５個）を入力
する（ステップＳＰ１１６）。次に、演算部６０は、材
料マスタＭ１１及び品質保証期間マスタＭ１９を参照す
ることにより、保管場所７２に保管されている複数の材
料の各使用期限をそれぞれ算出する（ステップＳＰ１１
７）。図４５に示すように、ここでは、材料Ｌの使用期
限がすでに切れているものとする。なお、材料マスタＭ
１１及び品質保証期間マスタＭ１９には、他工場の保管
場所７２に保管されている材料に関する情報も記述され
ている。

【０１２４】次に、演算部６０は、ステップＳＰ１１６
で入力した現在在庫数（５個）から、すでに使用期限が
切れている材料の個数（１個）を減算することにより、
他工場の保管場所７２に関する有効在庫数（４個）を算
出する（ステップＳＰ１１８）。あるいは図４５に示す
ように、材料Ｈから順番に材料Ｌまで、使用期限が切れ
ていない材料の個数を累積していくことにより、有効在
庫数を求めてもよい。この場合、材料Ｌに関する「在庫
数累積」が有効在庫数に相当する。

【０１２５】ここで、他工場においても材料を使用する
必要があることを考慮して、ステップＳＰ１１８で算出
した有効在庫数から、他工場における必要在庫数を減算
したものを、他工場の保管場所７２に関する有効在庫数
としてもよい。但し本例では、他工場における必要在庫
数をゼロと仮定している。

【０１２６】次に、演算部６０は、ステップＳＰ１１５
で算出した仮の発注数（１個）から、ステップＳＰ１１
８で算出した有効在庫数（４個）を減算することによ
り、正式な発注数を算出する（ステップＳＰ１１９）。
具体的には、その減算結果が正の値である場合、演算部
６０は、その値を正式な発注数として決定する。一方、
本例の場合のように、減算結果が負の値（１−４＝−
３）となる場合、及び減算結果がゼロとなる場合は、演
算部６０は材料の発注数をゼロと決定する。算出された
発注数に関する情報は出力装置６２に入力され、出力装
置６２によって画面表示やプリントアウト等が行われ
る。

【０１２７】なお、以上の説明では、他工場の保管場所
７２に関する有効在庫数が、演算部４による演算によっ
て算出される場合について述べた。しかし、他工場の在
庫管理部７１が保管場所７２に関する有効在庫数を算出
し、演算部４は、在庫管理部７１からネットワーク７０
及び在庫管理部３を介して、その有効在庫数を入力する
構成としてもよい。

【０１２８】このように本実施の形態１０の第１の変形
例に係る材料管理装置によれば、発注管理部４は、他工
場における材料の在庫状況を把握できるため、自工場の
保管場所６３に保管されている個数よりも多くの材料が
緊急に必要となった場合に、他工場から材料を取り寄せ
て使用することができる。

【０１２９】また、演算部６０は、他工場における在庫
をも考慮して材料の発注数を決定する。従って、材料の
発注数を抑えることができるとともに、他工場における
余剰の在庫を有効的に活用できるため、全体としてコス
トの低減を図ることができる。

【０１３０】図４６は、本発明の実施の形態１０の第２
の変形例に係る材料管理装置の構成を示すブロック図で
ある。発注管理部４には、インターネット等のネットワ
ーク８０を介して、材料を発注するメーカーの在庫管理
部８１が接続されている。在庫管理部８１は、メーカー
における材料の受注状況、出庫履歴、工場への納品の完
了の有無を管理している。ここでは一例として、「Ｍ」
〜「Ｎ」の３個の材料は、納品のためにメーカーから工
場に向けてすでに出庫されたが、工場には未到着の材料
であるものとする。工場にとっては、これら３個の材料
は、メーカーからの納入待ちの材料である。

【０１３１】図４７は、本実施の形態１０の第２の変形
例に係る材料管理装置に関して、材料の発注の管理動作
を説明するためのフローチャートである。また、図４８
は、材料の発注数を決定する一事例を示す図である。図
４２と同様に、図４８においても、２００１年６月２０
日が現在として想定されている。

【０１３２】ステップＳＰ１２１からステップＳＰ１２
５までの動作は、図４１のステップＳＰ１０１からステ
ップＳＰ１０５までの動作と同様である。まず、演算部
６０は、保管場所６３に関する現在在庫数（７個）を入
力する（ステップＳＰ１２１）。次に、演算部６０は、
保管場所６３に保管されている複数の材料の各使用期限
をそれぞれ算出する（ステップＳＰ１２２）。次に、演
算部６０は、ステップＳＰ１２１で入力した現在在庫数
（７個）から、すでに使用期限が切れている材料の個数
（２個）を減算することにより、保管場所６３に関する
有効在庫数（５個）を算出する（ステップＳＰ１２
３）。次に、演算部６０は、材料の予測使用数（６個）
を入力する（ステップＳＰ１２４）。次に、演算部６０
は、ステップＳＰ１２３で算出した有効在庫数（５個）
を予測使用数（６個）から減算することにより、材料の
仮の発注数（１個）を算出する（ステップＳＰ１２
５）。

【０１３３】次に、演算部６０は、在庫管理部８１から
ネットワーク８０を介して、メーカーからの納品待ちの
材料の個数（３個）を入力する（ステップＳＰ１２
６）。次に、演算部６０は、ステップＳＰ１２５で算出
した仮の発注数（１個）から、ステップＳＰ１２６で入
力した納品待ち個数（３個）を減算することにより、正
式な発注数を算出する（ステップＳＰ１２７）。具体的
には、その減算結果が正の値である場合、演算部６０
は、その値を正式な発注数として決定する。一方、本例
の場合のように、減算結果が負の値（１−３＝−２）と
なる場合、及び減算結果がゼロとなる場合は、演算部６
０は材料の発注数をゼロと決定する。算出された発注数
に関する情報は出力装置６２に入力され、出力装置６２
によって画面表示やプリントアウト等が行われる。

【０１３４】このように本実施の形態１０の第２の変形
例に係る材料管理装置によれば、演算部４は、メーカー
からの納品待ちの材料の個数をも考慮して材料の発注数
を決定する。従って、材料の余剰の発注を抑えることが
できるため、コストの低減を図ることができる。

【０１３５】なお、本実施の形態１０の第２の変形例に
係る材料管理装置は、上記第１の変形例に係る材料管理
装置と組み合わせて使用することもできる。

【０１３６】

【発明の効果】この発明のうち請求項１に係るものによ
れば、化学物質のみならず装置部品に関しても、在庫・
発注の効率的な適正量管理を実現することができる。

【０１３７】また、この発明のうち請求項２に係るもの
によれば、過去の単位期間内に処理されたウェハの枚数
に関するデータと、その単位期間内に使用された材料の
個数に関するデータとを利用することにより、材料の予
測使用数を正確に求めることができる。

【０１３８】また、この発明のうち請求項３に係るもの
によれば、材料の在庫管理や発注管理に必要な所定項目
のデータを記憶部に記憶しておくことにより、在庫管理
部による材料の在庫管理、及び発注管理部による材料の
発注管理の連携（効率化）が容易となる。

【０１３９】また、この発明のうち請求項４に係るもの
によれば、管理対象である材料の管理目的に応じて、必
要な項目のみを漏れなく管理することができる。

【０１４０】また、この発明のうち請求項５に係るもの
によれば、保管場所の特定が必要な材料に関して、材料
の保管場所を管理することができる。

【０１４１】また、この発明のうち請求項６に係るもの
によれば、品質保証期間のある材料に関して、材料の使
用期限を管理することができる。

【０１４２】また、この発明のうち請求項７に係るもの
によれば、特定の装置内で使用中の、品質保証期間のあ
る材料に関して、材料の使用期限を管理することができ
る。

【０１４３】また、この発明のうち請求項８に係るもの
によれば、材料が使用される装置が廃却されたり、開発
や実験が終了した等の理由により、その材料が今後使用
されなくなった場合に、管理データを参照することによ
り、以後のその材料の発注や入庫を中止して無駄（不
要）な在庫の増加を未然に防ぐことができる。

【０１４４】また、この発明のうち請求項９に係るもの
によれば、作業者が、膨大な量の管理データの中から、
現在管理対象ではない材料に関する管理データを検索す
るという煩雑さを回避することができる。

【０１４５】また、この発明のうち請求項１０に係るも
のによれば、管理対象である材料が再生処理によって繰
り返し使用できる材料である場合に、目的（購入又は再
生）に応じて各々必要なパラメータを用いて、適切な発
注を行うことができる。

【０１４６】また、この発明のうち請求項１１に係るも
のによれば、購入発注用の発注データと再生発注用の発
注データとを区別して別画面に表示することにより、購
入発注と再生発注との取り違えを回避することができ
る。

【０１４７】また、この発明のうち請求項１２に係るも
のによれば、材料の発注数に上限値を設けることによ
り、材料が過剰発注となることを回避することができ
る。

【０１４８】また、この発明のうち請求項１３に係るも
のによれば、材料の納期の長短に応じて、発注数の上限
値を適切な値に設定することができる。

【０１４９】また、この発明のうち請求項１４に係るも
のによれば、材料の納期の長短と品質保証期間の長短と
に応じて、発注数の上限値を適切な値に設定することが
できる。

【０１５０】また、この発明のうち請求項１５に係るも
のによれば、材料の発注が早過ぎた場合に、その材料が
入庫されてからその材料の使用期限が切れるまでの期間
が短くなるという状況や、材料の発注が遅すぎた場合
に、その材料が必要な時にその材料がまだ入庫されてい
ないという状況を回避することができる。

【０１５１】また、この発明のうち請求項１６に係るも
のによれば、材料管理装置の内部で使用されている統一
単位で材料の発注を行いながらも、材料を発注するメー
カーに対しては、そのメーカが使用している単位を用い
て材料の発注を行うことができる。

【０１５２】また、この発明のうち請求項１７に係るも
のによれば、材料の使用期限が考慮された第１の有効在
庫数に基づいて材料の発注数が決定されるため、見かけ
上は在庫数が足りている場合であっても、使用期限切れ
に起因する在庫数の不足を発見することができる。従っ
て、使用期限が切れていない材料が在庫切れになる前
に、その材料の発注を行うことが可能となる。

【０１５３】また、この発明のうち請求項１８に係るも
のによれば、他の保管場所における第２の有効在庫数を
も考慮して材料の発注数が決定されるため、材料の発注
数を抑えることができる。また、他の保管場所における
余剰の在庫を有効的に活用できるため、全体としてコス
トの低減を図ることができる。

【０１５４】また、この発明のうち請求項１９に係るも
のによれば、メーカーからの納品待ちの材料の個数をも
考慮して材料の発注数が決定されるため、材料の余剰の
発注を抑えることができ、コストの低減を図ることがで
きる。

【０１５５】また、この発明のうち請求項２０に係るも
のによれば、化学物質のみならず装置部品に関しても、
在庫・発注の効率的な適正量管理を実現することができ
る。

【０１５６】また、この発明のうち請求項２１に係るも
のによれば、過去の単位期間内に処理されたウェハの枚
数に関するデータと、その単位期間内に使用された材料
の個数に関するデータとを利用することにより、材料の
予測使用数を正確に求めることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の前提技術に係る材料管理装置の全体
構成を概略的に示すブロック図である。

【図２】 本発明に係る材料管理装置の全体構成を概略
的に示すブロック図である。

【図３】 本発明の実施の形態１に係る予測使用数算出
部の構成を具体的に示すブロック図である。

【図４】 本発明の実施の形態１に係る予測使用数算出
部の動作を説明するためのフローチャートである。

【図５】 本発明の実施の形態２に係る記憶部の記憶内
容を示す図である。

【図６】 材料マスタの一例を示す図である。

【図７】 装置マスタの一例を示す図である。

【図８】 単位マスタの一例を示す図である。

【図９】 作業者マスタの一例を示す図である。

【図１０】 保管場所マスタの一例を示す図である。

【図１１】 交換理由マスタの一例を示す図である。

【図１２】 購入発注先マスタの一例を示す図である。

【図１３】 再生発注先マスタの一例を示す図である。

【図１４】 品質保証期間マスタの一例を示す図であ
る。

【図１５】 本発明の実施の形態２に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図１６】 本発明の実施の形態２に係る材料管理装置
において、材料の保管場所の管理動作を説明するための
フローチャートである。

【図１７】 材料の保管場所に関するデータの一例を示
す図である。

【図１８】 材料の保管場所に関する管理一覧表の一例
を示す図である。

【図１９】 本発明の実施の形態３に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図２０】 本発明の実施の形態３に係る材料管理装置
において、材料の使用期限の管理動作を説明するための
フローチャートである。

【図２１】 材料の使用期限に関するデータの一例を示
す図である。

【図２２】 材料の使用期限に関する管理一覧表の一例
を示す図である。

【図２３】 本発明の実施の形態４に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図２４】 本発明の実施の形態４に係る材料管理装置
において、材料の使用期限の管理動作を説明するための
フローチャートである。

【図２５】 材料の使用期限に関するデータの一例を示
す図である。

【図２６】 材料の使用期限に関する管理一覧表の一例
を示す図である。

【図２７】 本発明の実施の形態５に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図２８】 本発明の実施の形態５に係る材料管理装置
において、材料の管理動作を説明するためのフローチャ
ートである。

【図２９】 本発明の実施の形態６に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図３０】 本発明の実施の形態６に係る材料管理装置
において、材料の購入発注又は再生発注の管理動作を説
明するためのフローチャートである。

【図３１】 本発明の実施の形態７に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図３２】 本発明の実施の形態７における材料マスタ
の一例を示す図である。

【図３３】 本発明の実施の形態７に係る材料管理装置
において、材料の購入発注数の管理動作を説明するため
のフローチャートである。

【図３４】 本発明の実施の形態８に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図３５】 本発明の実施の形態８に係る材料管理装置
において、材料の購入発注時期の管理動作を説明するた
めのフローチャートである。

【図３６】 本発明の実施の形態９に係る材料管理装置
の構成を示すブロック図である。

【図３７】 本発明の実施の形態９における材料マスタ
の一例を示す図である。

【図３８】 本発明の実施の形態９に係る材料管理装置
において、材料の単位変換の管理動作を説明するための
フローチャートである。

【図３９】 本発明の実施の形態９に係る材料管理装置
の他の構成を示すブロック図である。

【図４０】 本発明の実施の形態１０に係る材料管理装
置の構成を示すブロック図である。

【図４１】 本発明の実施の形態１０に係る材料管理装
置に関して、材料の発注の管理動作を説明するためのフ
ローチャートである。

【図４２】 本発明の実施の形態１０に係る材料管理装
置に関して、材料の発注数を決定する一事例を示す図で
ある。

【図４３】 本発明の実施の形態１０の第１の変形例に
係る材料管理装置の構成を示すブロック図である。

【図４４】 本発明の実施の形態１０の第１の変形例に
係る材料管理装置に関して、材料の発注の管理動作を説
明するためのフローチャートである。

【図４５】 本発明の実施の形態１０の第１の変形例に
係る材料管理装置に関して、材料の発注数を決定する一
事例を示す図である。

【図４６】 本発明の実施の形態１０の第２の変形例に
係る材料管理装置の構成を示すブロック図である。

【図４７】 本発明の実施の形態１０の第２の変形例に
係る材料管理装置に関して、材料の発注の管理動作を説
明するためのフローチャートである。

【図４８】 本発明の実施の形態１０の第２の変形例に
係る材料管理装置に関して、材料の発注数を決定する一
事例を示す図である。

【符号の説明】

１ データ処理装置、２ 予測使用数算出部、３ 在庫
管理部、４ 発注管理部、５ 記憶部、８ プロセスフ
ロー管理システム、９ レシピ管理システム、１０，３
０，４２，４８，５０ データ処理部、１１，１２，４
３，４５〜４７，６０ 演算部、３１ 入出庫履歴管理
部、３８，３９，４０，４１ 画面、４４ 比較部。

Claims (21)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 稼働している製造ラインに関するデータ
   に基づいて、装置部品を含む材料の、単位期間内におけ
   る予測使用数を算出する予測使用数算出部と、 前記材料の在庫をデータ上で管理する在庫管理部と、 前記予測使用数算出部からの前記予測使用数のデータ
   と、前記在庫管理部からの前記材料の現在在庫数のデー
   タとに基づいて、前記材料の発注数に関するデータを出
   力する発注管理部とを備える材料管理装置。
2. 【請求項２】 前記予測使用数算出部は、 単位期間内に処理されたウェハの枚数に関するデータ
   と、前記単位期間内に使用された前記材料の個数に関す
   るデータとに基づいて、前記材料の耐久限界を算出する
   第１の演算部と、 ウェハの処理予定数に関するデータと、前記第１の演算
   部からの前記耐久限界に関するデータとに基づいて、前
   記予測使用数を算出する第２の演算部とを有する、請求
   項１に記載の材料管理装置。
3. 【請求項３】 前記材料に関する複数の所定項目のデー
   タが格納された記憶部をさらに備え、 前記在庫管理部は、前記記憶部に格納された前記データ
   を参照して前記材料の在庫管理を行い、 前記発注管理部は、前記記憶部に格納された前記データ
   を参照して前記材料の発注管理を行うことを特徴とす
   る、請求項１に記載の材料管理装置。
4. 【請求項４】 前記材料には化学物質も含まれ、 前記記憶部には、前記装置部品の管理に必要な項目、及
   び前記化学物質の管理に必要な項目を含む複数の管理項
   目を有するマスタがさらに格納されており、 前記在庫管理部は、管理対象である前記材料ごとに、前
   記複数の管理項目の中から特定の項目を選択して管理す
   ることを特徴とする、請求項３に記載の材料管理装置。
5. 【請求項５】 前記複数の所定項目の中には、前記材料
   の保管場所に関する項目が含まれることを特徴とする、
   請求項３又は４に記載の材料管理装置。
6. 【請求項６】 前記複数の所定項目の中には、前記材料
   の使用期限に関する項目が含まれることを特徴とする、
   請求項３又は４に記載の材料管理装置。
7. 【請求項７】 前記複数の所定項目の中には、処理装置
   内で使用されている前記材料の使用期限に関する項目が
   含まれることを特徴とする、請求項３又は４に記載の材
   料管理装置。
8. 【請求項８】 前記複数の所定項目の中には、前記材料
   が現在管理対象であるか否かを示す項目が含まれること
   を特徴とする、請求項３又は４に記載の材料管理装置。
9. 【請求項９】 現在管理対象である前記材料に関する在
   庫管理データと、現在管理対象ではない前記材料に関す
   る在庫管理データとを区別して別画面に表示する表示部
   をさらに備える、請求項８に記載の材料管理装置。
10. 【請求項１０】 前記複数の所定項目の中には、前記材
    料が繰り返し再生して使用可能な材料であるか否かを示
    す項目が含まれることを特徴とする、請求項３又は４に
    記載の材料管理装置。
11. 【請求項１１】 購入発注を行う前記材料に関する発注
    データと、再生発注を行う前記材料に関する発注データ
    とを区別して別画面に表示する表示部をさらに備える、
    請求項１０に記載の材料管理装置。
12. 【請求項１２】 前記発注管理部は、前記予測使用数の
    データと、前記現在在庫数のデータと、所定の式によっ
    て規定される発注数の上限値とに基づいて、前記材料の
    前記発注数に関するデータを出力することを特徴とす
    る、請求項１に記載の材料管理装置。
13. 【請求項１３】 前記発注数の前記上限値は、前記材料
    の納期をパラメータとする前記所定の式によって規定さ
    れることを特徴とする、請求項１２に記載の材料管理装
    置。
14. 【請求項１４】 前記材料が品質保証期間のある材料で
    ある場合、前記発注数の前記上限値は、前記材料の納期
    と前記品質保証期間とをパラメータとする前記所定の式
    によって規定されることを特徴とする、請求項１２に記
    載の材料管理装置。
15. 【請求項１５】 前記発注管理部は、単位期間内に使用
    された前記材料の実績使用数と、前記材料の納期と、前
    記材料の前記現在在庫数とをパラメータとする所定の式
    に基づいて、前記材料の発注時期を決定することを特徴
    とする、請求項１に記載の材料管理装置。
16. 【請求項１６】 前記発注管理部は、前記材料管理装置
    内で使用されている前記材料の単位を、前記材料を発注
    するメーカーで使用されている前記材料の単位に変換し
    て、前記材料の発注数に関するデータを出力することを
    特徴とする、請求項１に記載の材料管理装置。
17. 【請求項１７】 在庫として保管されている材料の総個
    数である現在在庫数に関するデータと、保管されている
    前記材料のうちすでに使用期限が切れている材料の個数
    に関するデータとに基づいて、使用期限が切れていない
    材料の個数である第１の有効在庫数を求め、前記第１の
    有効在庫数に関するデータと、前記材料の必要個数に関
    するデータとに基づいて、前記材料の発注数を決定する
    発注管理部を備える材料管理装置。
18. 【請求項１８】 前記発注管理部は、さらに、前記材料
    が保管されている保管場所とは異なる保管場所に保管さ
    れ、かつ使用期限が切れていない材料の個数である第２
    の有効在庫数に関するデータに基づいて、前記材料の発
    注数を決定する、請求項１７に記載の材料管理装置。
19. 【請求項１９】 前記発注管理部は、さらに、メーカー
    からの納品待ちの材料の個数に関するデータに基づい
    て、前記材料の発注数を決定する、請求項１７又は１８
    に記載の材料管理装置。
20. 【請求項２０】 （ａ）稼働している製造ラインに関す
    るデータに基づいて、装置部品を含む材料の、単位期間
    内における予測使用数を算出する工程と、 （ｂ）前記材料の現在在庫数を求める工程と、 （ｃ）前記予測使用数のデータと前記現在在庫数のデー
    タとに基づいて、前記材料の発注数を決定する工程とを
    備える材料管理方法。
21. 【請求項２１】 前記工程（ａ）は、 （ａ−１）単位期間内に処理されたウェハの枚数に関す
    るデータと、前記単位期間内に使用された前記材料の個
    数に関するデータとに基づいて、前記材料の耐久限界を
    算出する工程と、 （ａ−２）ウェハの処理予定数に関するデータと、前記
    耐久限界に関するデータとに基づいて、前記予測使用数
    を算出する工程とを有する、請求項２０に記載の材料管
    理方法。